JP2016112632A - 研削方法 - Google Patents

Abstract

【課題】研削砥石を用いて硬質の板状ワークに対し連続研削加工できるようにする。【解決手段】本発明の研削方法は、板状ワークＷを吸引保持する吸引面１４ａを有するポーラス構造の吸引板１４と、吸引面１４ａを露出させて吸引板１４を囲繞する枠体１５と、から構成されるチャックテーブル１３を備える研削装置１０を用いて、該吸引面１４ａに吸引保持される板状ワークＷの上面に研削砥石３６の研削面を接触させ板状ワークＷを研削する研削工程と、チャックテーブル１３の吸引面１４ａに研削砥石３６の研削面を接触させて吸引面１４ａを研削して少なくとも研削面をドレスするドレス工程とを備えるため、研削装置１０にドレッサーボードを別に配置する必要がない。よって、ドレッサーボードを用いなくとも、研削砥石３６に的確なドレスを行うことができ、硬質の板状ワークに対し連続研削することが可能となる。【選択図】図３

Description

本発明は、研削砥石を用いて板状ワークに対して研削を行うとともに、研削砥石に対してドレスを行う研削方法に関する。

板状ワークを研削する研削装置において、サファイアやＳｉＣ等の硬質の板状ワークを研削する場合は、研削加工に使用する研削砥石に目詰まりが生じやすいため、例えば、ドレッサーボードをチャックテーブルの近傍に配設し、板状ワークの研削中または板状ワークをチャックテーブルに搬出入するタイミング等において、研削砥石の研削面のドレス（目立て）を行っている（例えば、下記の特許文献１及び特許文献２を参照）。このように研削砥石の研削面をドレスすることで、研削面に新しい砥粒を表出させ、硬質の板状ワークに対する連続研削を可能にしている。

特開２０１２−１３５８５１号公報 特開２０１１−１８９４５６号公報

しかしながら、上記したようなドレッサーボードを研削装置に配置して研削砥石のドレスを行うようにすると、ドレッサーボードの残り厚みを管理したり、ドレッサーボードの上面と研削砥石の研削面との平行度の管理をしたりする必要性があり、オペレータに負担がかかる上、研削砥石のドレスを的確に行うことができないという問題がある。

本発明は、上記の事情にかんがみてなされたもので、研削砥石に的確なドレスを行い、硬質の板状ワークに対して連続加工できるようにすることを目的としている。

本発明は、板状ワークを吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに吸引保持される板状ワークに研削砥石の研削面を接触させ研削する研削手段と、を備える研削装置を用いた研削方法であって、該チャックテーブルは、板状ワークを吸引保持する吸引面を有するポーラス構造の吸引板と、該吸引板に吸引源を連通させる連通路を有し該吸引面を露出させて該吸引板を囲繞する枠体と、から構成され、該チャックテーブルの該吸引面に吸引保持される板状ワークの上面に該研削砥石の該研削面を接触させ板状ワークを研削する研削工程と、該チャックテーブルの該吸引面に該研削砥石の該研削面を接触させて該吸引面を研削して少なくとも該研削面をドレスするドレス工程と、を備え、該研削工程を所定の回数実施したのち、該ドレス工程を実施して連続的な該研削工程の実施を可能にする。

本発明にかかる研削方法は、板状ワークを吸引保持する吸引面を有するポーラス構造の吸引板と、吸引面を露出させて吸引板を囲繞する枠体とから構成されるチャックテーブルを備える研削装置を用いて、該吸引面に吸引保持される板状ワークの上面に研削砥石の研削面を接触させ板状ワークを研削する研削工程と、チャックテーブルの吸引面に研削砥石の研削面を接触させて該吸引面を研削して少なくとも該研削面をドレスするドレス工程とを備え、ドレス工程で該チャックテーブルの吸引面を研削砥石で直接研削してドレスを行えるように構成したため、研削装置にドレッサーボードを別に配置する必要がなく、ドレッサーボードの管理が不要となる。
よって、ドレッサーボードを用いなくとも、研削砥石の研削面に対して的確なドレスを行うことができ、ドレスが施された研削砥石で硬質の板状ワークに対して連続研削することが可能となる。

研削方法の第１例で用いられる研削装置の一例の構成を示す斜視図である。 研削方法の第１例のうち研削工程を示す側面視断面図である。 研削方法の第１例のうちドレス工程を示す側面視断面図である。 研削方法の第２例で用いられる研削装置の一例の構成を示す斜視図である。 研削方法の第２例において板状ワークを２枚研削する毎に研削砥石のドレスを行う状態を説明する模式図である。 研削方法の第３例において板状ワークを１枚研削する毎に研削砥石のドレスを行う状態を説明する模式図である。

１ 研削方法の第１例
図１に示す研削装置１０は、被加工物の一例である板状ワークＷに研削を行う研削装置の一例である。研削装置１０は、Ｙ軸方向にのびる装置ベース１１と、装置ベース１１のＹ軸方向後部側に立設されたコラム１２とを有している。装置ベース１１の上面１１ａには、Ｙ軸方向に移動可能でかつ回転可能なチャックテーブル１３を備えている。

コラム１２の側部においては、板状ワークに研削を施す研削手段３０が研削送り手段４０によって昇降可能に支持されている。研削手段３０は、Ｚ軸方向の軸心を有するスピンドル３１と、スピンドル３１を回転可能に支持するハウジングを保持するホルダ３２と、スピンドル３１の上端に接続されたモータ３３と、スピンドル３１の下端にマウント３４を介して装着された研削ホイール３５と、研削ホイール３５の下部に環状に固着された研削砥石３６とを備えている。この研削砥石３６の下面が、板状ワークＷの上面に接触する研削面となっている。モータ３３がスピンドル３１を所定の回転速度で回転させることにより、研削ホイール３５を所定の回転速度で回転させることができる。

研削送り手段４０は、Ｚ軸方向に延在するボールネジ４１と、ボールネジ４１の一端に接続されたモータ４２と、ボールネジ４１と平行に延在する一対のガイドレール４３と、内部に備えるナットがボールネジ４１に螺合するとともに側部がガイドレール４３に摺接する昇降板４４とを備えている。モータ４２がボールネジ４１が回動させることにより、一対のガイドレール４３に沿って昇降板４４とともに研削手段３０を昇降させることができる。また、図２に示すように、コラム１２の内部には、研削ホイール３５の上下方向の位置を検出するためのスケール２４が、ボールネジ４１と平行に配設されている。

チャックテーブル１３は、図２に示すように、上面が板状ワークＷを吸引保持する吸引面１４ａで構成されるポーラス構造の吸引板１４と、吸引板１４に吸引源１７を連通させる連通路１６を有し吸引面１４ａを上方に露出させ吸引板１４の周囲を囲繞する枠体１５とから構成されている。吸引板１４は、例えば＃８００のポーラス部材で形成され、板状ワークＷを吸引保持する吸引保持部材として使用できるほか、研削砥石３６に対してドレス（目立て）を施すドレッサーボードとしても使用することができる。

チャックテーブル１３の下方には、吸引板１４の吸引面１４ａと研削砥石３６の研削面３６０との対面状態を調整する傾き調整部１９が配設されており、傾き調整部２０を調整することにより吸引面１４ａを所定角度傾けることができる。研削される板状ワークの厚みを均一にするため、傾き調整部１９によって、吸引面１４ａと研削砥石３６の研削面３６０とを平行にしておく。

装置ベース１１の上面１１ａには、チャックテーブル１３の上面高さを測定するとともに、チャックテーブル１３に吸引保持された板状ワークＷの上面高さを測定することにより、板状ワークＷの厚みを認識する接触式のハイトゲージ２０が配設されている。ハイトゲージ２０は、チャックテーブル１３の上面高さを測定するテーブル上面測定部２１と、チャックテーブル１３に吸引保持される板状ワークＷの上面高さを測定するワーク上面測定部２２とにより構成されている。

テーブル上面測定部２１及びワーク上面測定部２２には、チャックテーブル１３に板状ワークＷが保持されているか否かを判断するワーク有無判断部２３が接続されている。このワーク有無判断部２３は、テーブル上面測定部２１の測定値とワーク上面測定部２２の測定値との差を板状ワークの厚みとして認識することで、チャックテーブル１３の吸引面１４ａにおいて板状ワークが保持されているか否かを判断することが可能となっている。なお、ワーク有無判断部は、連通路１６に圧力計を接続しておき、圧力計の測定値によってワークが保持されたか否かを判断する構成としてもよい。

次に、研削装置１０を用いて、板状ワークＷを研削するとともに、研削砥石３６の研削面３６０をドレスする研削方法について説明する。板状ワークＷは、例えば，シリコンカーバイト、サファイアなどの硬質材料で形成されている。

（１）搬入工程
図１に示すように、板状ワークＷをチャックテーブル１３に搬入する。その後、図２に示す吸引源１７が作動し、吸引路１６を通じて吸引面１４ａで吸引力を作用させ、板状ワークＷを吸引面１４ａで吸引保持する。

（２）研削工程
次いで、図２に示すように、研削手段３０によって板状ワークＷを研削する。まず、図１に示したチャックテーブル１３がＹ軸方向に移動し、板状ワークＷを研削手段３０の下方に移動させる。

ここで、ハイトゲージ２０は、板状ワークＷの厚みを認識する際の基準面となるチャックテーブル１３の吸引面１４ａの高さと、板状ワークＷの上面の高さとを測定する。具体的には、テーブル上面測定部２１が枠体１５の上面に接触して吸引板１４の吸引面１４ａの高さを測定する。枠体１５の上面と吸引板１４の吸引面１４ａとが面一に形成されているため、枠体１５の上面の高さは、吸引板１４の吸引面１４ａの高さと同じである。

一方、ワーク上面測定部２２が吸引面１４ａに吸引保持されている板状ワークＷの上面に接触して板状ワークＷの上面の高さを測定する。続いてワーク有無判断部２３は、テーブル上面測定部２１が測定した測定値とワーク上面測定部２２が測定した測定値とに差があると認識したら、チャックテーブル１３の吸引面１４ａに板状ワークＷが保持されていると判断する。

ワーク有無判断部２３が吸引面１４ａに板状ワークＷが保持されていると判断すると、図示しない回転手段によってチャックテーブル１３を所定の回転速度で回転させるとともに、研削手段３０が所定の回転速度で研削ホイール３５を回転させながら、研削送り手段４０によって、研削砥石３６がチャックテーブル１３に吸引保持されている板状ワークＷの上面に接触する位置に研削手段３０を下降させていく。

そして、回転する研削砥石３６の研削面３６０を板状ワークＷの上面に接触させて押圧しながら研削を行う。研削中は、スケール２４で研削手段３０の鉛直方向の位置を検出しながら、研削送り手段４０が所定の深さ位置まで研削手段３を研削送りする。そして、板状ワークＷが所望の厚みに薄化された時点で、研削送り手段４０によって研削手段３０を上昇させ、研削工程を終了する。ワーク有無判断部２３は、研削中も、テーブル上面測定部２１が測定した測定値とワーク上面測定部２２が測定した測定値との差を板状ワークＷ
の厚さとして認識することで、板状ワークＷが所望の厚みに薄化されたか否かの判断を行うことができる。

（３）ドレス工程
研削工程を実施した後、チャックテーブル１３から板状ワークＷを搬出する。図３に示すように、ハイトゲージ２０では、テーブル上面測定部２１とワーク上面測定部２２とによってそれぞれ高さ測定を行い、ワーク有無判断部２３は、テーブル上面測定部２１の測定値とワーク上面測定部２２の測定値とに差がないと認識すると、チャックテーブル１３の吸引面１４ａに板状ワークＷが保持されていないと判断する。

板状ワークＷの研削により研削砥石３６の研削能力が低下している場合は、研削手段３０が研削ホイール３５を回転させつつ、研削送り手段４０は、ハイトゲージ２０が測定した測定値に基づき、吸引板１４の吸引面１４ａに研削砥石３６の研削面３６０が接触する位置に研削手段３０を近づけていく。そして、回転する研削砥石３６を吸引板１４の吸引面１４ａに接触させて研削し、研削砥石３６の研削面をドレスすることにより、研削砥石３６の研削面３６０に新たな砥粒を表出させる。

こうして研削砥石３６の研削面３６０に新たな砥粒が表出して研削能力が復活すると、チャックテーブル１３に新たな板状ワークを搬入し、上記した研削工程を連続的に実施することができる。研削工程を所定回数実施した後にドレス工程を実施することで、研削工程を連続的に実施することが可能となる。

このように、研削方法の第１例では、板状ワークＷを吸引保持する吸引面１４ａを有するポーラス構造の吸引板１４と吸引板１４を囲繞する枠体１５とから構成されるチャックテーブル１３と、板状ワークＷを研削する研削手段３０とを備える研削装置１０を用いて、吸引板１４の吸引面１４ａを研削砥石３６で直接研削して研削砥石３６の研削面のドレスを行えるようにしたため、研削装置１０にドレッサーボードを別に配置する必要がなく、ドレッサーボードの管理等が不要となり、硬質の板状ワークＷを研削砥石３６で連続的に研削することが可能となる。
また、研削砥石３６の研削面３６０と吸引板１４の吸引面１４ａとが平行となるようにあらかじめ調整されていることにより、ドレス時も、研削面３６０と吸引面１４ａとが平行な状態で接触するため、ドレス用に両者の平行度を管理する必要もない。

２ 研削方法の第２例
図４に示す研削装置５０は、板状ワークＷに対して粗研削及び仕上げ研削を行う研削装置の一例である。研削装置５０は、Ｙ軸方向にのびる装置ベース５１を有しており、装置ベース５１の上面中央には、回転可能なターンテーブル５２が配設されている。ターンテーブル５２には、板状ワークＷを吸引保持し回転可能なチャックテーブル６０Ａ，６０Ｂ及び６０Ｃが等間隔に配設されている。そして、ターンテーブル５２が回転することにより、チャックテーブル６０Ａ，６０Ｂ及び６０Ｃを公転させることが可能となっている。

チャックテーブル６０Ａ，６０Ｂ及び６０Ｃは、図１に示したチャックテーブル１３と同様の構成となっている。すなわち、図４に示すように、各チャックテーブルは、板状ワークを吸引保持する吸引面６１ａを有するポーラス構造の吸引板６１と、吸引板６１の周囲を囲繞する枠体６２とからそれぞれ構成されている。

装置ベース５１のＹ軸方向前部には、研削前の板状ワークＷを収容するカセット５３ａと、研削後の板状ワークを収容するカセット５３ｂとを備えている。また、カセット５３ａ及びカセット５３ｂに対面する位置には、カセット５３ａからの板状ワークＷの搬出を行うとともにカセット５３ｂへの板状ワークＷの搬入を行う搬送手段５４が配設されている。搬送手段５４の可動範囲には、板状ワークＷを仮置きするための仮置き手段５５と、研削後の板状ワークＷに付着した研削屑を除去する洗浄手段５８が配設されている。

仮置き手段５５の近傍には、仮置き手段５５に仮置きされた研削前の板状ワークＷをチャックテーブル６０Ａ，６０Ｂ及び６０Ｃのいずれかに搬送する第１の搬送手段５６ａが配設されている。また、洗浄手段５８の近傍には、各チャックテーブルのいずれかに保持された研削後の板状ワークＷを洗浄手段５８に搬送する第２の搬送手段５６ｂが配設されている。

ターンテーブル５２の周囲には、ハイトゲージ６３ａ，６３ｂが配設されている。ハイトゲージ６３ａ，６３ｂは、各チャックテーブルの上面高さを測定するテーブル上面測定部６４と、各チャックテーブルに吸引保持される板状ワークＷの上面高さを測定するワーク上面測定部６５とによりそれぞれ構成されている。テーブル上面測定部６４及びワーク上面測定部６５には、各チャックテーブルの吸引面６１ａに板状ワークＷが保持されているか否かを判断するワーク有無判断部６６が接続されている。

装置ベース５２のＹ軸方向後部には、Ｚ軸方向に延在するコラム５７ａが立設され、コラム５７ａの前方には、研削送り手段８０ａを介して粗研削手段７０ａが配設されている。また、Ｚ軸方向にのびるコラム５７ｂがコラム５７ａと並列に装置ベース５２に立設され、コラム５７ｂの前方には、研削送り手段８０ｂを介して仕上げ研削手段７０ｂが配設されている。

粗研削手段７０ａは、Ｚ軸方向の軸心を有するスピンドル７１と、スピンドル７１を回転可能に支持するハウジングを保持するホルダ７２と、スピンドル７１の一端に接続されたモータ７３と、スピンドル７１の下端にマウント７４を介して着脱可能に装着された研削ホイール７５と、研削ホイール７５の下部において環状に固着された粗研削用の研削砥石７６ａとを備えている。モータ７３の駆動によりスピンドル７１が回転し、研削ホイール７５を所定の回転速度で回転させることができる。なお、仕上げ研削手段７０ｂは、研削砥石が仕上げ研削用の研削砥石７６ｂとなっている点以外は粗研削手段７０ａと同様の構成となっているため、同様に構成される部分には同一の符号を付し、説明を省略する。

研削送り手段８０ａは、Ｚ軸方向に延在するボールネジ８１と、ボールネジ８１の一端に接続されたモータ８２と、ボールネジ８１と平行に延在するガイドレール８３と、一方の面がホルダ７２に連結された昇降板８４とを備えている。昇降板８４の他方の面に一対のガイドレール８３が摺接するとともに中央部に形成されたナットにボールネジ８１が螺合している。モータ８２がボールネジ８１が回動させることで、昇降板８４とともにホルダ７２を昇降させ、研削ホイール７５を所定の研削送り速度で昇降させることができる。なお、研削送り手段８０ｂについても研削送り手段８０ａと同様の構成となっているため、同様に構成される部分には同一の符号を付し、説明を省略する。

次に、研削装置５０を用いて、板状ワークＷを２枚研削する毎に研削砥石７６ａ，７６ｂをドレスする研削方法について図４及び図５を参照しながら説明する。なお、粗研削用の研削砥石７６ａとしては、粒径が大きいタイプのもの（例えば＃３００）を使用する。また、仕上げ研削用の研削砥石７６ｂとしては、粒径が小さいタイプのもの（例えば＃２０００）を使用する。

（１）搬入工程
まず、搬送手段５４により、カセット５３ａから研削前の板状ワークＷを１枚取り出し、仮置き手段５５に仮置きする。仮置き手段５５において板状ワークＷの位置合わせをした後、第１の搬送手段５６ａは、図５（ａ）に示すように、搬入出位置で待機するチャックテーブル６０Ａに板状ワークＷを搬入する。搬入出位置とは、図４に示した第１の搬送手段５６ａ及び第２の搬送手段５６ｂが、チャックテーブル６０Ａ〜６０Ｃに対して板状ワークＷの搬入及び搬出を行うことができる位置を意味する。

（２）粗研削工程
次いで、図５（ｂ）に示すように、ターンテーブル５２が回転し、チャックテーブル６０Ａを粗研削手段７０ａの下方に移動させる。ここで、図４に示すハイトゲージ６３ａは、テーブル上面測定部６４でチャックテーブル６０Ａの吸引面６１ａの高さを測定するとともに、ワーク上面測定部６５で板状ワークＷの上面高さを測定する。続いてワーク有無判断部６６は、テーブル上面測定部６４が測定した測定値とワーク上面測定部６５が測定した測定値とに差があれば、チャックテーブル６０Ａの吸引面６１ａに板状ワークＷが保持されていると判断する。その後、粗研削手段７０ａが研削ホイール７５を回転させつつ、研削送り手段８０ａによって研削砥石７６ａを板状ワークＷの上面に接触する位置に粗研削手段７０ａを位置づける。そして、回転する研削砥石７６ａでチャックテーブル６０Ａに吸引保持された板状ワークＷを粗研削する。

また、チャックテーブル６０Ａに保持されている板状ワークＷが粗研削されている間に、図５（ｂ）に示す搬入出位置に位置づけられたチャックテーブル６０Ｂに研削前の板状ワークＷを搬入しておく。そして、チャックテーブル６０Ａに保持された板状ワークＷの粗研削が終了すると、図５（ｃ）に示すように、ターンテーブル５２が回転しチャックテーブル６０Ｂを粗研削手段７０ａの下方に移動させる。その後、ワーク有無判断部６６が、上記と同様にチャックテーブル６０Ｂの吸引面６１ａに板状ワークＷが保持されていると判断すると、粗研削手段７０ａによって、チャックテーブル６０Ｂに吸引保持された板状ワークＷが粗研削される。

（３）仕上げ研削工程
チャックテーブル６０Ｂに吸引保持された板状ワークＷが粗研削手段７０ａの下方に移動すると、チャックテーブル６０Ａに吸引保持された板状ワークＷは、仕上げ研削手段７０ｂの下方に移動する。そして、図４に示したハイトゲージ６３ｂがチャックテーブル６０Ａの吸引面６１ａの高さと板状ワークＷの上面高さとを測定し、２つの測定値に差があると、ワーク有無判断部６６は、チャックテーブル６０Ａの吸引面６１ａに板状ワークＷが保持されていると判断する。その後、仕上げ研削手段７０ｂは、回転する研削砥石７６ｂをチャックテーブル６０Ａに吸引保持された板状ワークＷの上面に接触されて仕上げ研削する。

チャックテーブル６０Ａに吸引保持された板状ワークＷの仕上げ研削終了後は、図５（ｄ）に示すように、ターンテーブル５２がさらに回転することにより、チャックテーブル６０Ｂを仕上げ研削手段７０ｂの下方に移動させる。ワーク有無判断部６６が、チャックテーブル６０Ｂの吸引面６１ａに板状ワークＷが保持されていると判断したら、仕上げ研削手段７０ｂによってチャックテーブル６０Ｂに吸引保持された板状ワークＷを仕上げ研削する。

上記のように、ターンテーブル５２の回転によりチャックテーブル６０Ｂが仕上げ研削手段７０ｂの下方に移動すると、チャックテーブル６０Ａは、図５（ｄ）に示すように、搬入出位置に移動する。そして、搬送手段５４は、チャックテーブル６０Ａから仕上げ研削後の板状ワークＷを搬出し、カセット５３ｂに収容する。一方、チャックテーブル６０Ａには、搬送手段５４によってカセット５３ａから搬出された研削前の板状ワークＷが搬入される。

（４）ドレス工程
２枚の板状ワークＷに対して粗研削及び仕上げ研削をそれぞれ施した後に、図４に示した研削砥石７６ａ，７６ｂの研削面に対してドレスを順次行う。まず、図５（ｄ）に示すように、何も保持していないチャックテーブル６０Ｃがターンテーブル５２の回転により粗研削手段７０ａの下方に移動したら、ハイトゲージ６３ａがテーブル上面測定部６４とワーク上面測定部６５とによりチャックテーブル６０Ｃの吸引面６１ａの高さを測定する。ワーク有無判断部６６は、テーブル上面測定部６４が測定した測定値とワーク上面測定部６５が測定した測定値とに差がないと認識したら、チャックテーブル６０Ｃの吸引面６１ａに板状ワークＷが保持されていないと判断する。

その後、図４に示した研削送り手段８０ａは、ハイトゲージ６３ａが測定した測定値に基づき、チャックテーブル６０Ｃの吸引面６１ａに研削砥石７６ａが接触する位置に粗研削手段７０ａを位置づける。続いて研削ホイール７５とともに回転する研削砥石７６ａで吸引面６１ａを研削し、研削砥石７６ａの研削面をドレスする。

こうして研削砥石７６ａの研削面をドレスした後、図５（ｅ）に示すように、ターンテーブル５２がさらに回転することにより、チャックテーブル６０Ｃを仕上げ研削手段７０ｂの下方に移動させる。ワーク有無判断部６６が、チャックテーブル６０Ｃの吸引面６１ａに板状ワークＷが保持されていないと判断したら、仕上げ研削手段７０ｂの研削砥石７６ｂでチャックテーブル６０Ｃの吸引面６１ａを研削して研削砥石７６ｂの研削面をドレスする。このようにして、研削砥石７６ａ，７６ｂの研削面に新たな砥粒を表出させる。

３ 研削方法の第３の例
次に、研削装置５０を用いて、板状ワークＷを１枚研削する毎に研削砥石７６ａ，７６ｂをドレスする研削方法について図４及び図６を参照しながら説明する。なお、上記した研削方法の第２例の各工程における動作と同様の部分については、省略して説明する。

（１）粗研削工程
図６（ａ）に示すように、ターンテーブル５２が回転し、板状ワークＷが吸引保持されたチャックテーブル６０Ａを粗研削手段７０ａの下方に移動させ、粗研削手段７０ａによって板状ワークＷに対して粗研削を行う。

（２）第１のドレス工程
その後、図６（ｂ）に示すように、ターンテーブル５２がさらに回転し、何も保持していないチャックテーブル６０Ｂを粗研削手段７０ａの下方に移動させ、粗研削手段７０ａによってチャックテーブル６０Ｂの吸引面６１ａを研削し図４に示した研削砥石７６ａの研削面のドレスを行う。搬入出位置に移動したチャックテーブル６０Ｃには、研削前の板状ワークＷを搬入する。

（３）仕上げ研削工程
第１のドレス工程においてチャックテーブル６０Ｂが粗研削手段７０ａの下方に移動するのと同時に、図６（ｂ）に示すように、粗研削された板状ワークＷが吸引保持されたチャックテーブル６０Ａが仕上げ研削手段７０ｂの下方に移動する。そして、仕上げ研削手段７０ｂによって、チャックテーブル６０Ａに保持された板状ワークＷに対して仕上げ研削を行う。

（４）第２のドレス工程
その後、図６（ｃ）に示すように、ターンテーブル５２がさらに回転し、何も保持していないチャックテーブル６０Ｂを仕上げ研削手段７０ｂの下方に移動させ、仕上げ研削手段７０ｂによってチャックテーブル６０Ｂの吸引面６１ａを研削し研削砥石７６ｂのドレスを行う。搬入出位置に移動したチャックテーブル６０Ａからは、仕上げ研削後の板状ワークＷを搬出する。

上記のように、チャックテーブル６０Ｂが仕上げ研削手段７０ｂの下方に移動すると、チャックテーブル６０Ｃが粗研削手段７０ａの下方に移動し、チャックテーブル６０Ｃに保持された板状ワークＷが粗研削される。その後、ターンテーブル５２がさらに回転し、図６（ｄ）に示すように、何も保持していないチャックテーブル６０Ａを粗研削手段７０ａの下方に移動させて、チャックテーブル６０Ａの吸引面６１ａを研削して研削砥石７６ａの研削面のドレスを行う。

その後、図６（ｄ）及び（ｅ）に示すように、上記仕上げ研削工程及び第２のドレス工程と同様の工程を繰り返す。すなわち、図６（ｄ）に示すチャックテーブル６０Ｃがターンテーブル５２の回転により仕上げ研削手段７０ｂの下方に移動したら、板状ワークＷに仕上げ研削を行う。その後、ターンテーブル５２がさらに回転し、図６（ｅ）に示すように、何も保持していないチャックテーブル６０Ａが仕上げ研削手段７０ｂの下方に移動すると、チャックテーブル６０Ａの吸引面６１ａを研削して研削砥石７６ｂのドレスを行う。

以上のとおり、研削方法の第２，３例では、研削装置５０に備えるチャックテーブル６０Ａ，６０Ｂ及び６０Ｃの各吸引板６１の各吸引面６１ａを研削砥石７６ａ，７６ｂで研削してドレスを行えるようにしたため、研削装置５０にドレッサーボードを設置する必要がない。
このように、各チャックテーブルの各吸引板６１がドレッサーボートとして機能することから、硬質の板状ワークＷに対する研削と研削砥石７６ａ，７６ｂに対するドレスとをフルオートで実施することが可能となるため、オペレータが研削装置５０を逐一操作する必要がなくなる。

なお、研削方法の第１例及び研削方法の第２例において、ドレス工程の前に実施する各研削工程の回数制限はなく、任意に設定することができる。

１０：研削装置 １１：装置ベース １１ａ：上面 １２：コラム
１３：チャックテーブル １４：吸引板 １４ａ：吸引面
１５：枠体 １６：連通路 １７：吸引源
１９：傾き調整部
２０：ハイトゲージ ２１：テーブル上面測定部 ２２：ワーク上面測定部
２３：ワーク有無判断部 ２４：スケール
３０：研削手段 ３１：スピンドル ３２：ホルダ ３３：モータ
３４：マウント ３５：研削ホイール ３６：研削砥石
４０：研削送り手段 ４１：ボールネジ ４２：モータ ４３：ガイドレール
４４：昇降板
５０：研削装置 ５１：装置ベース ５２：ターンテーブル ５３ａ，５３ｂ：カセット
５４：搬送手段 ５５：仮置き手段 ５６ａ：第１の搬送手段 ５６ｂ：第２の搬送手段
５７ａ，５７ｂ：コラム ５８：洗浄手段
６０：チャックテーブル ６１：吸引板 ６１ａ：吸引面 ６２：枠体
６３：ハイトゲージ
６４：テーブル上面測定部 ６５：ワーク上面測定部 ６６：ワーク有無判断部
７０ａ：粗研削手段 ７０ｂ：仕上げ研削手段
７１：スピンドル ７２：ホルダ ７３：モータ
７４：マウント ７５：研削ホイール ７６，７７：研削砥石
８０ａ，８０ｂ：研削送り手段 ８１：ボールネジ ８２：モータ ８３：ガイドレール８４：昇降板

Claims (1)

1. 板状ワークを吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに吸引保持される板状ワークに研削砥石の研削面を接触させ研削する研削手段と、を備える研削装置を用いた研削方法であって、
   該チャックテーブルは、板状ワークを吸引保持する吸引面を有するポーラス構造の吸引板と、該吸引板に吸引源を連通させる連通路を有し該吸引面を露出させて該吸引板を囲繞する枠体と、から構成され、
   該チャックテーブルの該吸引面に吸引保持される板状ワークの上面に該研削砥石の該研削面を接触させ板状ワークを研削する研削工程と、
   該チャックテーブルの該吸引面に該研削砥石の該研削面を接触させて該吸引面を研削して少なくとも該研削面をドレスするドレス工程と、を備え、
   該研削工程を所定の回数実施したのち、該ドレス工程を実施して連続的な該研削工程の実施を可能にする研削方法。

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