JP6324556B1 - 光ファイバーフェルールの端面研磨装置 - Google Patents

Abstract

【課題】調節した研磨圧力で光ファイバーフェルールの端面の研磨を行わせて研磨精度の向上を可能にする端面研磨装置を提供する。【解決手段】研磨用駆動軸により研磨駆動される研磨盤５と保持部９で保持した光ファイバーフェルールとの間に研磨圧力を付与して光ファイバーフェルールの端面を研磨する光ファイバーフェルールの端面研磨装置１であって、研磨用駆動軸と研磨盤５との間の軸周りの相対回転と軸方向の相対移動とを許容するための軸受部と、保持部９に対し研磨盤５の軸方向の進退動作を可能として研磨圧力を付与するために研磨盤５をベース部３に可動支持する研磨盤ガイド支持部３１と、研磨圧力を付与するために押圧用の駆動力を調節可能に出力する押圧用駆動源１５と、押圧用駆動源１５から出力される駆動力を研磨盤５の進退動作の方向へ押圧力として伝達する押圧力伝達機構２１とを備えたことを特徴とする。【選択図】 図９

Description

本発明は、光ファイバーフェルールの端面の研磨に供する光ファイバーフェルールの端面研磨装置に関する。

従来の光ファイバーフェルールの端面研磨装置としては、特許文献1に記載されたものがある。

特許文献1の端面研磨装置は、研磨盤の上部に対向して保持部を配置している。保持部は、フェルールを保持する盤状の基盤を備え、この基盤が可動支持されている。この可動支持により基盤が下方へ押圧移動する構成となっている。この基盤の押圧移動は、基盤側の中心部に配されたコイルばねによって行なわれる。コイルばねは、基盤を下方へ付勢する構成となっている。

従って、基盤に支持された光ファイバーフェルールの端面は、研磨盤上の研磨フィルム等の研磨材に、コイルばねの圧縮弾発力を受けながら押圧力を持って当接する。この押圧力を持った当接により光ファイバーフェルールの端面に研磨材に対する研磨圧力を付与することができる。この研磨圧力の付与により、研磨精度の高い光ファイバーフェルールを得ることができる。

しかし、単にコイルばねにより押圧力を付与する構造であるため、研磨反力により基盤が動くなどして研磨圧力が安定せず、研磨精度の向上には限界があった。

これに対し、エアシリンダーにより加工圧を設定して加工物を研削、ポリッシュする装置が特許文献２に記載されている。

特許文献２のポリッシュ装置は、回転する下プラテンと可逆変速回転する上プラテンとを備えている。上プラテンの可逆変速回転は、下プラテンの軸心部を貫通する上プラテンの回転軸により行われる。また、上プラテンは、回転軸系に結合された複数のエアシリンダーにより下プラテンに対して上下するように構成されている。

従って、空気圧により上プラテンが回転軸を介して下降し、下プラテンとの間で加工物に設定した加工圧をかけることができる。

しかし、かかる構造では、上プラテンが回転する構造であり、光ファイバーフェルールの研磨に単に用いることはできなかった。

特許第２７８７２９３号公報 米国特許第５６９７８３２号公報

解決しようとする問題点は、単にコイルばねにより研磨圧力を付与する構造であるため、研磨圧力が安定せず、研磨精度の向上には限界があり、設定した加工圧をかけることのできるポリッシュ装置は、光ファイバーフェルールの研磨に単に用いることはできなかった点である。

本発明は、調節した研磨圧力で光ファイバーフェルール端面の研磨を行わせて研磨精度の向上を可能とするため、研磨用駆動軸により研磨駆動される研磨盤と保持部で保持した光ファイバーフェルールとの間に研磨圧力を付与して前記光ファイバーフェルールの端面を研磨する光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、前記研磨用駆動軸と前記研磨盤との間の軸周りの相対回転と軸方向の相対移動とを許容するための軸受部と、前記保持部に対し前記研磨盤の前記軸方向の進退動作を可能として前記研磨圧力を付与するために前記研磨盤をベース部に可動支持して前記進退動作の方向にのみ可動である研磨盤ガイド支持部と、前記研磨圧力を付与するために押圧用の駆動力を調節可能に出力する押圧用駆動源と、前記押圧用駆動源から出力される駆動力を前記研磨盤の進退動作の方向へ押圧力として前記研磨盤ガイド支持部を介して伝達する押圧力伝達機構とを備えた。

また、研磨用駆動軸により研磨駆動される研磨盤と保持部で保持した光ファイバーフェルールとの間に研磨圧力を付与して前記光ファイバーフェルールの端面を研磨する光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、前記研磨盤に対し前記保持部の進退動作を可能として前記研磨圧力を付与するために前記保持部をベース部に可動支持する保持部ガイド支持部と、前記研磨圧力を付与するために押圧用の駆動出力を調節可能な押圧用駆動源と、前記押圧用駆動源から出力される駆動力を前記保持部の進退動作の方向へ押圧力として伝達する押圧力伝達機構とを備え、前記保持部ガイド支持部は、複数本の進退ガイドを備え、前記進退ガイドは、一端側が前記光ファイバーフェルールを固定する研磨治具を取り付けるポストに接合され他端から前記押圧力伝達機構の一部として前記押圧入力を伝達するために前記ベース部に可動支持された。

本発明の光ファイバーフェルールの端面研磨装置は、上記構成であるから、保持部に光ファイバーフェルールを保持させた状態で、押圧用駆動源からの押圧用駆動入力の伝達により研磨盤を保持部に対し進退動作させて研磨圧力の調節を行わせることができる。かかる調節により、研磨盤と光ファイバーフェルールの端面との間に研磨圧力を付与し、光ファイバーフェルールの端面を研磨することができる。

従って、光ファイバーフェルールの端面を研磨盤の調節された押圧力による研磨圧力で精度良く研磨し、研磨精度の向上を図ることができる。

また、保持部に光ファイバーフェルールを保持させた状態で、押圧用駆動源からの押圧用駆動入力の伝達により保持部を研磨盤に対し進退動作させて研磨圧力の調節を行わせることができる。かかる調節により研磨用駆動軸により研磨盤と光ファイバーフェルールの端面との間に研磨圧力を付与し、光ファイバーフェルールの端面を研磨することができる。

従って、光ファイバーフェルールの端面を保持部の調節された押圧力による研磨圧力で精度良く研磨し、研磨精度の向上を図ることができる。

光ファイバーフェルールの端面研磨装置の要部を示す斜視図である。（実施例１） 光ファイバーフェルールの端面研磨装置の要部を示す側面図である。（実施例１） 光ファイバーフェルールの端面研磨装置の要部を下面の一方側から見て示す斜視図である。（実施例１） 光ファイバーフェルールの端面研磨装置の要部を下面の他方側から見て示す斜視図である。（実施例１） 光ファイバーフェルールの端面研磨装置の要部を正面側から見て示す概略断面図である。（実施例１） 公転駆動軸と研磨盤との間の軸受部を示す要部拡大断面図である。（実施例１） 公転駆動軸と自転駆動軸との関係を示す平面図である。（実施例１） 公転駆動軸と研磨盤との間の軸受部の変形例を示す要部概略断面図である。（実施例１） 研磨盤ガイド支持部と押圧力伝達機構とを示す光ファイバーフェルールの端面研磨装置の一部を断面にした概略側面図である。（実施例１） 押圧力伝達機構を示す光ファイバーフェルールの端面研磨装置の一部を断面にした概略下面図である。（実施例１） カム構成体と進退ガイドとスラストリングとの固定連鎖を示す概念図である。（実施例１） 押圧力伝達機構のレイアウトを示す説明図である。（実施例１） 押圧力伝達機構のリフト及びレイアウトを示す説明図である。（実施例１） 光ファイバーフェルールの端面研磨装置に用いる研磨治具の正面図である。（実施例１） 研磨治具の押え部材が固定位置にある状態を示し、（Ａ）は、拡大平面図、（Ｂ）は、断面図である。（実施例１） 研磨治具の平面図である。（実施例１） 研磨治具の下面図である。（実施例１） 研磨治具を取り付けた状態を示す光ファイバーフェルールの端面研磨装置の平面図である。（実施例１） 研磨治具を取り付けてない状態を示す光ファイバーフェルールの端面研磨装置の正面図である。（実施例１） 研磨治具を取り付ける様子を示す要部平面図である。（実施例１） ＳＣコネクタの研磨結果に係り、光ファイバーフェルール端面の半径のばらつきを示すグラフである。 ＳＣコネクタの研磨結果に係り、光ファイバーフェルールの頂点と中心とのずれ量のばらつきを示すグラフである。（実施例１） ＳＣコネクタの研磨結果に係り、光ファイバーフェルールからの光ファイバーの突き出し量のばらつきを示すグラフである。（実施例１） ＭＴフェルールの研磨結果に係り、光ファイバーフェルール端面の角度でＸ方向の角度のばらつきを示すグラフである。（実施例１） ＭＴフェルールの研磨結果に係り、光ファイバーフェルール端面の角度でＹ方向の角度のばらつきを示すグラフである。（実施例１） ＭＴフェルールの研磨結果に係り、光ファイバーフェルール端面の平坦度でＸ方向の半径のばらつきを示すグラフである。（実施例１） ＭＴフェルールの研磨結果に係り、光ファイバーフェルール端面の平坦度でＹ方向の半径のばらつきを示すグラフである。（実施例１） （Ａ）は、端雌面研磨前の光ファイバーフェルールの要部を示す断面概念図、（Ｂ）は、単一研磨の状況を示す平面概念図である。 押圧力伝達機構に対するロードセルの配置の変形例を示す要部概略断面図である。（実施例１） 変形例を示し、（Ａ）は、カム部及びカム駆動部の概略断面図、（Ｂ）は、カム部の概略断面図、（Ｃ）は、カム部の概略断面図である。（実施例１） 光ファイバーフェルールの端面研磨装置の要部を示す概略斜視断面図である。（実施例２） 保持部ガイド支持部と押圧力伝達機構とを示す光ファイバーフェルールの端面研磨装置の一部を断面にした概略側面図である。（実施例３） 光ファイバーフェルールの端面研磨装置の要部を示す概略平面図である。（実施例４） 光ファイバーフェルールの端面研磨装置の要部を示す図３３のＸＸＸＩＶ−ＸＸＸＩＶ線矢視概略断面図である。（実施例４） 光ファイバーフェルールの端面研磨装置の要部を示す概略側面図である。（実施例４） 楔プレートを用いた構造に係り、研磨盤への適用例を示す固定連鎖の概念図である。（実施例５） 固定連鎖に適用する楔プレート及びその周辺の構造を示す概念図である。（実施例５） ポストへの適用例に係り、固定連鎖に適用する楔プレート及びその周辺の構造を示す概念図である。（実施例５）

調節した研磨圧力で光ファイバーフェルールの端面の研磨を行わせて研磨精度の向上を可能にするという目的を、以下のように実現した。

［請求項１の発明］
請求項１の発明は、研磨用駆動軸により研磨駆動される研磨盤と保持部で保持した光ファイバーフェルールとの間に研磨圧力を付与して前記光ファイバーフェルールの端面を研磨する光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、前記研磨用駆動軸と前記研磨盤との間の軸周りの相対回転と軸方向の相対移動とを許容するための軸受部と、前記保持部に対し前記研磨盤の進退動作を可能として前記研磨圧力を付与するために前記研磨盤をベース部に可動支持するスラストリング及び進退ガイドを含む研磨盤ガイド支持部と、前記研磨圧力を付与するために押圧用の駆動力を調節可能に出力する押圧用駆動モーターと、前記押圧用駆動モーターから出力される駆動力を前記研磨盤の進退動作の方向へ押圧力として伝達する直動機構及びカム機構を含む押圧力伝達機構とを備えて実現した。

［請求項２の発明］
請求項２の発明は、請求項１記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、前記研磨用駆動軸は、前記研磨盤の中心部に嵌合して前記研磨盤の自転を許容しつつ公転駆動する公転駆動軸を含み、前記軸受部は、前記公転駆動軸と前記研磨盤との間の軸周りの相対回転と軸方向の相対移動とを許容するボールガイドである形態とした。

［請求項３の発明］
請求項３の発明は、請求項１又は２記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、前記スラストリングは、前記研磨駆動を可能としつつ前記押圧力伝達機構の一部として前記押圧力を伝達するために前記研磨盤の下面外周部を平面で支持し、前記進退ガイドは、一端が前記スラストリングに接合され他端から前記押圧力伝達機構の一部として前記押圧力を伝達するために前記ベース部に可動支持される形態とした。

［請求項４の発明］
請求項４の発明は、請求項１〜３の何れか１項記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、前記直動機構は、前記押圧力の伝達により前記進退動作の方向に交差して直進動作する直動部材と前記直進動作を可能とするために前記直動部材を前記ベース部に支持する直動ガイドとを含み、前記カム機構は、カム作用により前記直動部材の直進動作による力を前記進退動作の方向へ押圧力として伝達する形態とした。

［請求項５の発明］
請求項５の発明は、請求項４記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、前記カム機構は、前記カム作用を行うカム部とカム駆動部とを含み、前記カム部は、カム構成体に備えた傾斜面を有し、前記カム構成体は、前記変換伝達を可能とするために前記進退ガイドの他端に接合され、前記カム駆動部は、前記直動部材の直進動作による力を前記傾斜面に伝達するために前記直動部材に支持されて前記傾斜面に当接する形態とした。

［請求項６の発明］
請求項６の発明は、請求項１又は２記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、前記研磨盤ガイド支持部は、スラストリング及びガイドリングを備え、前記スラストリングは、前記研磨駆動を可能としつつ前記押圧力伝達機構の一部として前記押圧力を伝達するために前記研磨盤の下面外周部を平面で支持し、前記ガイドリングは、前記進退動作の方向へ前記押圧力を伝達するために前記スラストリングを前記ベース部に可動支持し、前記押圧力伝達機構は、前記スラストリングの下部に対向配置され前記駆動力で前記進退動作の方向に沿った回転軸を中心に回転駆動される駆動リングを前記ベース部に備え、前記スラストリングと前記駆動リングとの間に、前記駆動リングの回転により前記スラストリングを前記進退動作の方向へ前記押圧力を伝達するために移動させる端面カムを備える形態とした。

［請求項７の発明］
請求項７の発明は、研磨用駆動軸により研磨駆動される研磨盤と保持部で保持した光ファイバーフェルールとの間に研磨圧力を付与して前記光ファイバーフェルールの端面を研磨する光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、前記研磨盤に対し前記保持部の進退動作を可能として前記研磨圧力を付与するために前記保持部をベース部に可動支持する進退ガイドを有したポストを含む保持部ガイド支持部と、前記研磨圧力を付与するために押圧用の駆動出力を調節可能な押圧用駆動モーターと、前記押圧用駆動源から出力される駆動力を前記保持部の進退動作の方向へ押圧力として伝達する直動機構及びカム機構を含む押圧力伝達機構とを備えて実現した。

［請求項８の発明］
請求項８の発明は、請求項７記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、前記進退ガイドは、一端側が前記研磨治具を取り付けるポストに一体に設けられて他端から前記押圧力伝達機構の一部として前記押圧入力を伝達するために前記ベース部に可動支持される形態とした。

［請求項９の発明］
請求項９の発明は、請求項７又は８記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、前記直動機構は、前記押圧力の伝達により前記進退動作の方向に交差して直進動作する直動部材と前記直進動作を可能とするために前記直動部材を前記ベース部に支持する直動ガイドとを含み、前記カム機構は、カム作用により前記直動部材の直進動作による力を前記進退動作の方向へ押圧力として伝達する形態とした。

［請求項１０の発明］
請求項１０の発明は、請求項９記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、前記カム機構は、前記カム作用を行うカム部とカム駆動部とを含み、前記カム部は、カム構成体に備えた傾斜面を有し、前記カム構成体は、前記変換伝達を可能とするために前記進退ガイドの他端に接合され、前記カム駆動部は、前記直動部材の直進動作を前記傾斜面に伝達するために前記直動部材に支持されて前記傾斜面に当接する形態とした。

［請求項１１の発明］
請求項１１の発明は、請求項３又８は記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、前記押圧力伝達機構は、楔作用により直進動作による力を前記進退動作の方向へ押圧力として伝達する楔機構を含む形態とした。

［請求項１２の発明］
請求項１２の発明は、請求項３、８、１１の何れか１項記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、前記押圧力伝達機構は、前記進退動作の方向に前記押圧力を伝達するための押圧下部材を前記ベース部よりも下位側に備え、前記押圧下部材は、前記直進動作の前後方向に沿った平坦な上向きの結合面を備え、前記複数本の進退ガイドは、前記上向きの結合面に直接又は間接的に固定された形態とした。

［請求項１３の発明］
請求項１３の発明は、請求項１２記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、前記押圧力伝達機構は、前記進退動作の方向に前記押圧力を伝達するための押圧上部材を前記ベース部よりも上位側に備え、前記押圧上部材は、前記直進動作の前後方向に沿った平坦な下向きの結合面を備え、前記複数本の進退ガイドは、前記下向きの結合面に直接又は間接的に固定され、前記押圧下部材と前記進退ガイドと前記押圧上部材とが固定連鎖をなす形態とした。

［請求項１４の発明］
請求項１４の発明は、請求項１〜１３の何れか１項記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、前記押圧用駆動源は、押圧用駆動モーター又はエアシリンダーである形態とした。

［請求項１５の発明］
請求項１５の発明は、請求項１〜３、７、８の何れか１項記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、前記押圧用駆動源は、エアシリンダーであり、前記押圧力伝達機構は、前記エアシリンダーの出力の方向を前記進退動作の方向として前記押圧力を伝達する形態とした。

［請求項１６の発明］
請求項１６の発明は、請求項１〜１５の何れか1項に記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、前記押圧力伝達機構に備えられ前記研磨圧力を直接的に又は間接的に検出するセンサーと、前記検出された研磨圧力を設定した研磨圧力とするために前記押圧用駆動源を制御する制御部とを備える形態とした。

［その他の形態１］
請求項５記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、前記カム部とカム駆動部とは、それぞれ一対備えられ、前記カム構成体は、前記一対のカム部を前記直進動作の前後方向に対し左右両側に振り分けて配置した枠状に形成され、前記進退ガイドは、前記左右両側及び前記前後方向の前後両側に複数本が振り分けて配置され、前記直動部材は、前記カム構成体の左右両側外に配置された一対のアーム部を備え、前記一対のカム駆動部は、前記一対のカム部の各傾斜面に各別に当接するために前記アーム部に振り分け支持され、前記一対のカム駆動部の前記各傾斜面への当接は、前記直進動作の前後方向に配置した進退ガイド間で行なう形態にすることも可能である。

［その他の形態２］
その他の形態１記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、前記複数本の進退ガイドは、前記スラストリングの周方向にバランスして配置される形態にすることも可能である。

［その他の形態３］
その他の形態２記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、前記一対のカム駆動部の前記各傾斜面への当接は、前記直進動作の前後方向に配置した進退ガイド間の中央位置である形態にすることも可能である。

［その他の形態４］
その他の形態１〜３の何れか１に記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、前記研磨盤の研磨駆動は、公転用モーター及び自転用モーターによる前記研磨用駆動軸の公転自転駆動により行われ、前記公転用モーター及び自転用モーターは、前記カム構成体の枠状の内側で前記直進動作の前後方向に配列されて前記ベース部に固定される形態にすることも可能である。

［光ファイバーフェルールの端面研磨装置の外観概略］
図１は、光ファイバーフェルールの端面研磨装置の要部を示す斜視図である。図２は、光ファイバーフェルールの端面研磨装置の要部を示す側面図である。図３は、光ファイバーフェルールの端面研磨装置の要部を下面の一方側から見て示す斜視図である。図４は、光ファイバーフェルールの端面研磨装置の要部を下面の他方側から見て示す斜視図である。

なお、以下の説明において、前後左右とは、端面研磨装置を正面から見た前後左右、上下とは、端面研磨装置の研磨盤を上方に向けた上下を意味する。

図１〜図４のように、光ファイバーフェルールの端面研磨装置１は、ベース部としてベースプレート３を備えている。ベースプレート３の上面側には研磨盤５とポスト９とが配置されている。

ベースプレート３は、各部を取り付ける基体をなし、矩形板状に形成されている。但し、ベースプレート３の形状は矩形板状に限るものではない。ベースプレート３の形状は、装置の仕様に応じて種々変更することができる。研磨盤５は、上面に研磨フィルムや研磨パッドが取り付けられ、研 磨用駆動軸により研磨駆動される。ポスト９は、本実施例の保持部を構成し、後述のように光ファイバーフェルールを保持する。

端面研磨装置１は、研磨盤５とポスト９で保持した光ファイバーフェルールとの間に研磨圧力を付与し、研磨駆動される研磨盤５の例えば研磨フィルムにより光ファイバーフェルールの端面を研磨する。

ベースプレート３の下面側には、公転用モーター１１と自転用モーター１３とが取り付けられている。公転用モーター１１及び自転用モーター１３は、公転自転による研磨駆動の駆動源となる。

また、ベースプレート３の下面側には、押圧用駆動源となる押圧用駆動モーター１５が配置されている。押圧用駆動モーター１５は、研磨圧力を付与するために押圧用の駆動力を調節可能に出力する。

押圧用駆動モーター１５は、位置及び荷重制御のためにステッピングモーターやサーボモーターで構成されている。但し、押圧用駆動モーター１５は、駆動出力を調節可能とする押圧用駆動源であればよく、装置の仕様によってはその他のモーターで構成することもできる。また、押圧用駆動源としてエア駆動、油圧駆動なども採用することができる。エア駆動については後述する。

押圧用駆動モーター１５の出力側にはタイミングギヤ及びタイミングベルトなどの連動機構１７を介してボールねじ１９が連動連結されている。ボールねじ１９は、押圧力伝達機構２１の一部を構成している。押圧力伝達機構２１は、押圧用駆動モーター１５から出力される駆動力を研磨盤５の進退動作の方向へ押圧力として伝達する。

押圧力伝達機構２１による押圧力の伝達により研磨盤５がポスト９に対し上方へ動作する。この動作により研磨盤５からポスト９で保持した光ファイバーフェルールに対し押圧力を調節して付与し、光ファイバーフェルール端面の研磨圧力を調節する。

前記押圧用駆動モーター１５と前記公転用モーター１１及び自転用モーター１３とは、制御部２２に接続されている。制御部２２は、マイクロコンピュターなどで構成され、ＭＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭなどを備えて前記押圧用駆動モーター１５と前記公転用モーター１１及び自転用モーター１３とを制御するようになっている。

この制御で、押圧用駆動モーター１５は、後述するようにフィードバック制御されて前記研磨圧力の調節を行う。前記制御で公転用モーター１１及び自転用モーター１３は、予めインストールされたプログラムにより回転数及び回転方向等が制御され、研磨盤５の自公転を行わせる。

［公転自転構造等］
図５は、光ファイバーフェルールの端面研磨装置の要部を正面側から見て示す概略断面図である。図６は、公転駆動軸と研磨盤との間の軸受部を示す要部拡大断面図である。図７は、公転駆動軸と自転駆動軸との関係を示す平面図である。図８は、公転駆動軸と研磨盤との間の軸受部の変形例を示す要部概略断面図である。

図５のように、本実施例の研磨盤５は、研磨用駆動軸により公転自転の研磨駆動が行なわれる構成となっている。

研磨用駆動軸は、研磨盤５の中心部に嵌合して研磨盤５の自転を許容しつつ公転駆動する公転駆動軸２３を含んでいる。本実施例では、公転駆動軸２３及び自転駆動軸２５が研磨用駆動軸を構成している。なお、研磨盤５は、公転自転駆動によるものに限らないので研磨用駆動軸は、公転駆動軸のみ、或いは自転駆動軸のみにより構成されるものでもよい。

研磨盤５は、円盤状に形成されている。研磨盤５の下面外周部は、平坦なスラスト面５ａとして形成されている。研磨盤５の下面中央部側は、スラスト面５ａよりも下方へ突出してボス部５ｂが設けられている。研磨盤５の中心部には、ボス部５ｂの下面に開口する軸受孔５ｃが設けられている。研磨盤５の中心部から偏芯した位置には、ボス部５ｂの下面に開口する軸嵌合孔５ｄが設けられている。研磨盤５の上面には、研磨パッド２６及び研磨フィルム２７が貼り付けられている。

（軸受部）
図５、図６のように、研磨盤５の軸受孔５ｃには、ボールガイド２９を介して公転駆動軸２３の上部が嵌合している。軸受孔５ｃ及びボールガイド２９は、前記研磨用駆動軸である公転駆動軸２３と前記研磨盤５との間に設けられ軸周りの相対回転と軸方向の相対移動とを許容するための軸受部３０を構成している。しかも、ボールガイド２９であることは、公転駆動軸２３と研磨盤５との間の軸周りの相対回転と軸方向の相対移動とを許容する。

なお、軸周りの相対回転と軸方向の相対移動とを許容する軸受部としては、ボールガイド２９の他に、ボールブッシュ、無給油ブッシュ、その他を適用することもできる。また、公転駆動軸２３と前記研磨盤５との間の軸受部は、軸周りの相対回転と軸方向の相対移動とを許容するものであれば、軸周りの相対回転と軸方向の相対移動とを積極的に許容するものである必要はない。

（研磨盤ガイド支持部）
図５のように、研磨盤５の下面外周部は、研磨盤ガイド支持部３１によりベースプレート３に支持されている。研磨盤ガイド支持部３１は、保持部であるポスト９に対し研磨盤５の進退動作を可能として前記研磨圧力を付与する構成となっている。このため、研磨盤５をベースプレート３に可動支持している。研磨盤５を進退動作は、ベースプレート３及びポスト９に対して上下方向となっている。

この研磨盤ガイド支持部３１は、スラストリング３３及び進退ガイド３５を備えている。

スラストリング３３は、研磨盤５の研磨駆動を可能としつつ押圧力伝達機構２１の一部として前記押圧力を伝達する構成となっている。このため、スラストリング３３は、研磨盤５の下面外周部を平面で支持している。押圧力伝達機構２１についてはさらに後述する。

スラストリング３３の上面３３ａには、スラスト受け面３３ｂが設けられている。スラストリング３３の下面には、平坦な下向きの結合面３３ｃが備えられている。結合面３３ｃは、後述する直進動作の前後方向に沿って構成されている。

進退ガイド３５は、スプラインシャフトで構成され、複数本備えられている。以下、進退ガイド３５をスプラインシャフト３５と称する。このスプラインシャフト３５は、実施例では４本備えられている。但し、スプラインシャフト３５は、少なくとも２本以上備える構成であればよい。

スプラインシャフト３５は、スラストリング３３の下向きの結合面３３ｃに直接固定されている。スプラインシャフト３５は、ベースプレート３に可動支持されて研磨盤５の進退動作の方向にガイドされている。スプラインシャフト３５のベースプレート３に対する可動支持には、後述するスプラインブッシュが用いられている。

スプラインシャフト３５は、一端がスラストリング３３に接合されて他端から研磨盤５の進退方向へ前記押圧力の伝達を可能としている。つまり、スプラインシャフト３５は、前記押圧力伝達機構２１の一部としても機能する構成となっている。

つまり、スラストリング３３は、ベースプレート３よりも上位側に配置され、後述する直進動作の前後方向に沿った平坦な下向きの結合面３３ｃを有する部材として押圧力伝達機構２１の一部を構成している。

従って、研磨盤５の下面外周部は、スラストリング３３のスラスト受け面３３ｂ上で支持される。スプラインシャフト３５が押圧力の伝達を受けてベースプレート３から押し上げられるとスラストリング３３を介して研磨盤５が押圧力で上昇連動する。スプラインシャフト３５が下降すると研磨盤５が下降連動する。

なお、スプラインシャフト３５とスラストリング３３との間は、固定による接合に限らず、単なる接合でもよい。単なる接合であるときは、スラストリング３３がバネなどによりベースプレート３の下方向に付勢されることになる。また、スプラインシャフト３５は、一般的なシャフト等で構成することも可能である。

さらに、スプラインシャフト３５は、必ずしも押圧力伝達機構２１の一部として機能させる必要は無く、ベースプレート３に別に設定した押圧ロッドを用いてスラストリング３３に押圧力を伝達させることもできる。

（公転自転構造）
前記公転駆動軸２３は、軸心が端面研磨装置１の上下に沿って配置されている。端面研磨装置１の上下は、端面研磨装置１が水平に載置されたとき垂直上下となる。この場合、公転駆動軸２３の軸心は、垂直上下に沿って配置されることになる。

公転駆動軸２３は、公転用出力軸３７に併設されている。公転駆動軸２３の下部は、公転用出力軸３７の上部に連結部材３９によって連結されている。連結部材３９と公転用出力軸３７との嵌合間は、図示しない止めネジ、或は接着材等で固定され、相対回転が不能である。本実施例では、連結部材３９と公転駆動軸２３との嵌合間も、図示しない止めネジ、或は接着材等で固定され、相対回転が不能である。

なお、前記研磨盤５及び公転駆動軸２３間のボールガイド２９等に代え、前記連結部材３９及び公転駆動軸２３間側に、前記ボールガイド２９等を採用することもできる。さらに、公転駆動軸２３及び研磨盤５間と連結部材３９及び公転駆動軸２３間との一方にボールベアリングによる支持構造を採用し、他方にボールガイド２９等を採用することもできる。

前記公転用出力軸３７は、公転用モーター１１の出力軸である。従って、公転用モーター１１が駆動されると公転用出力軸３７が回転し、この回転が連結部材３９により公転駆動軸２３に伝達される構成である。この回転伝達により、公転駆動軸２３が、公転用出力軸３７の軸心周りを一体的に公転する。

ベースプレート３には、公転用出力軸３７の周りに軸挿通孔４１がベースプレート３の下面から同心に貫通形成されている。軸挿通孔４１は、公転用出力軸３７の外径よりも拡大形成され、公転用出力軸３７との間に間隔を有している。公転用出力軸３７は、軸挿通孔４１を貫通して上方に突出している。

ベースプレート３の内部には、軸挿通孔４１の上部に連通する軸支持孔４３が軸挿通孔４１よりも大径で同心に形成されている。さらに、ベースプレート３の厚み方向上部側には、軸支持孔４３の上部に連通する自転用ギヤ収容孔４５が軸支持孔４３よりも大径で同心に形成されている。自転用ギヤ収容孔４５は、ベースプレート３の上面に貫通している。自転用ギヤ収容孔４５の底部には、ギヤ載置部４５ａが設けられている。

自転用ギヤ収容孔４５内には、自転駆動ギヤ４７が回転自在に収容配置されている。自転駆動ギヤ４７の下面中央部は、下方へ突出するボス部４７ａが設けられている。自転駆動ギヤ４７の中心部には、大径孔４７ｂが設けられている。自転駆動ギヤ４７の外周部下面が自転用ギヤ収容孔４５のギヤ載置部４５ａに載置され、ボス部４７ａが軸支持孔４３に嵌合している。ボス部４７ａと軸支持孔４３の底部との間には隙間が形成されている。この自転駆動ギヤ４７の収容配置により、自転駆動ギヤ４７が自転用ギヤ収容孔４５内で円滑な相対回転が可能となっている。

自転用ギヤ収容孔４５の大径孔４７ｂには、前記公転用出力軸３７と共に、公転駆動軸２３及び連結部材３９が動作可能に配置されている。

自転駆動ギヤ４７の上面には、第２の連結部材４９がピン５１により固定されている。第２の連結部材４９には、自転駆動軸２５が固定されている。自転駆動軸２５は、ピン５１よりも自転駆動ギヤ４７の外径側に配置されている。自転駆動軸２５は、研磨盤５の軸嵌合孔５ｄに嵌合している。この嵌合は、自転駆動軸２５及び軸嵌合孔５ｄ間での軸周りの相対回転と軸方向の相対移動とを許容する。自転駆動軸２５及び軸嵌合孔５ｄ間にブッシュ等を介設して軸周りの相対回転と軸方向の相対移動とを許容する構成にすることもできる。ブッシュ等としては、ボールブッシュ、無給油ブッシュ、その他がある。

なお、自転駆動軸２５を軸嵌合孔５ｄに固定し、自転駆動軸２５及び第２の連結部材４９間の軸周りの相対回転と軸方向の相対移動とを行なわせる構成にすることもできる。さらに、自転駆動軸２５を軸嵌合孔５ｄの間と自転駆動軸２５及び第２の連結部材４９間との一方にボールベアリングによる支持構造を採用し、他方を軸周りの相対回転と軸方向の相対移動とを許容する構成にすることもできる。

図５、図７のように、公転駆動軸２３は、公転用出力軸３７の周りを軌跡Ｔ１により公転し、公転用出力軸３７が相対的に静止しているとするとき自転駆動軸２５は、軌跡Ｔ２により公転駆動軸２３を中心に旋回する。

かかる構造により、公転用モーター１１が駆動されると公転用出力軸３７が回転し、この回転が連結部材３９により公転駆動軸２３に伝達され、公転駆動軸２３が、公転用出力軸３７の軸心周りを一体的に公転する。

同時に自転用モーター１３が駆動されると自転駆動ギヤ４７が連動回転し、ピン５１及び第２の連結部材４９を介して自転駆動軸２５の旋回駆動が行なわれる。

かかる公転用モーター１１及び自転用モーター１３の公転自転駆動により研磨盤５が公転用出力軸３７の周りを公転しながら自転し、研磨盤５の自公転による研磨駆動が行なわれる。研磨盤５は、研磨駆動により例えばハイポトロコイド運動をする。

この場合、例えば公転回転数１００回に対し、自転回転数０．５〜１．２回程度としている。但し、自公転の回転数の設定は装置の仕様により自由に設定できる。

なお、研磨盤５の研磨駆動は、ポスト９で保持した光ファイバーフェルールの端面を研磨できればよく、ハイポトロコイド運動に限らず、エピトロコイド運動、その他の運動でもよい。同様に、研磨盤５の研磨駆動は、公転自転によるものに限らず、自転のみ或は公転のみによるものでもよい。さらに、研磨盤５の研磨駆動は、直線的な前後動でもよい。

また、図８のように、軸受部３０の変形例を構成することもできる。図５においては、研磨盤５の下面にボス部５ｂを設ける構成とした。一方、図８の変形例では、研磨盤５の平坦な下面に連結ボス５３を溶着、接着などにより固定した。連結ボス５３には、軸受孔５ｃに連通する軸受孔５３ａが同心同径に貫通形成されている。研磨盤５と公転駆動軸２３との間のボールガイド２９は、主に軸受孔５３ａに支持される。

かかる変形例では、研磨盤５の厚みを薄く形成することができ、研磨盤５の重量軽減が可能となる。

［押圧力伝達機構］
図９は、研磨盤ガイド支持部と押圧力伝達機構とを示す光ファイバーフェルールの端面研磨装置の一部を断面にした概略側面図である。図１０は、押圧力伝達機構を示す光ファイバーフェルールの端面研磨装置の一部を断面にした概略下面図である。図１１は、押圧力伝達機構のリフト及びレイアウトを示す説明図である。図１２は、カム構成体と進退ガイドとスラストリングとの固定連鎖を示す概念図である。図１３は、押圧力伝達機構のレイアウトを示す説明図である。

図９〜図１３のように、押圧力伝達機構２１は、前記研磨圧力を調節する構成となっている。このため、押圧力伝達機構２１は、押圧用駆動モーター１５から出力される駆動力を研磨盤５の進退動作の方向へ押圧力として伝達する。

押圧力伝達機構２１は、ベースプレート３を取り付けた装置の筐体５５内に配置されている。この押圧力伝達機構２１は、ベースプレート３に支持された直動機構５７とカム機構５９とを含んでいる。

（直動機構）
直動機構５７は、直動部材６１と直動ガイド６３とを含んでいる。

前記直動部材６１は、前記押圧力の伝達により研磨盤５の進退動作の方向に交差して直進動作する。直進動作の前後方向は、端面研磨装置１の前後方向に設定している。但し、端面研磨装置１の仕様によっては、直進動作の前後方向を端面研磨装置１の左右方向に設定してもよい。

直動部材６１は、一対のアーム部６１ａ、６１ｂと基部６１ｃとを備えている。アーム部６１ａ、６１ｂは、直進動作の前後方向に沿って基部６１ｃの左右両端に一体に備えられている。アーム部６１ａ、６１ｂの先端には、下方へ突出するカムフォロワ支持部６１ａａ、６１ｂａが設けられている。カムフォロワ支持部６１ａａ、６１ｂａは、後述するカム構成体の左右両側外に分けて対向配置されている。

前記直動ガイド６３は、直動部材６１の直進動作を可能とするために直動部材６１をベースプレート３に支持する構成となっている。つまり、直動部材６１をベースプレート３に支持して直進動作を可能とする。直動ガイド６３は、ボールスプライン、ボールブッシュ、リニアブッシュ、クロスローラー、リニアガイドなどで構成することができる。実施例は、リニアガイドで構成し、ガイドレール６３ａとブロック６３ｂとを備えている。ガイドレール６３ａは、ベースプレート３の下面に固定されている。

ガイドレール６３ａは、アーム部６１ａ、６１ｂの前後方向に沿って左右一対が平行に設けられている。

ブロック６３ｂは、硬球、保持器などで構成され、各ガイドレール６３ａにそれぞれ２個設けられている。但し、ブロック６３ｂの個数の設定は自由である。各ガイドレール６３ａのブロック６３ｂは、左右のアーム部６１ａ、６１ｂにそれぞれ取り付けられている。各アーム部６１ａ、６１ｂにおいて、ブロック６３ｂの一つは、カムフォロワ支持部６１ａａ、６１ｂａの上端に配置され、同他方は基部６１ｃ側上に配置されている。このブロック６３ｂの配置によりカム機構５９でのカム作用により各アーム部６１ａ、６１ｂに働くモーメントを一対のブロック６３ｂでガイドレール６３ａ側へ確実に伝達する。

従って、直動部材６１が直動ガイド６３で前後方向へ直進動作しながらカム機構５９のカム作用を確実に行なわせることができる。

押圧用駆動モーター１５は、直動機構５７に対して後方に間隔を空けて配置されている。押圧用駆動モーター１５は、固定ブラケット６７に固定されている。固定ブラケット６７は、板状に形成され、板面が前後方向に向くように配置されている。固定ブラケット６７の上端は、ベースプレート３の下面に固定され、上下に垂下配置されている。

固定ブラケット６７と直動機構５７との間には、移動ブラケット６９が配置されている。移動ブラケット６９は、板状に形成されている。移動ブラケット６９は、板面が前後方向に向くように固定ブラケット６７に平行に配置されている。移動ブラケット６９の下端側は、ブラケットガイド７１により可動ガイドされている。従って、移動ブラケット６９は、ブラケットガイド７１に沿って固定ブラケット６７と直動機構５７との間を前後に移動することができる。

移動ブラケット６９には、ブラケットガイド７１の上方で左右中央にナット７３が取り付けられボールねじ１９が螺合している。ボールねじ１９は、固定ブラケット６７を遊嵌状態で貫通し押圧用駆動モーター１５に結合されている。

従って、押圧用駆動モーター１５が回転駆動されるとボールねじ１９が回転し、ナット７３を介して移動ブラケット６９が固定ブラケット６７と直動機構５７との間で直進する。

なお、図９、図１０に示している押圧用駆動モーター１５及び移動ブラケット６９間の結合構造は、図１〜図４で示すタイミングベルト等を用いた結合構造とは若干異なっている。図９、図１０では概略構成としてボールねじ１９を押圧用駆動モーター１５に直結している。何れにしても、押圧用駆動モーター１５の回転がボールねじ１９を介して移動ブラケット６９を直進駆動する概念は、図１〜図４の結合構造と共通である。図９、図１０は、これを簡略化して示した。

移動ブラケット６９の上部は、直動部材６１の基部６１ｃ側に対して設定範囲で前後相対動ができるように連動結合されている。移動ブラケット６９の上部には、ロードセル過負荷防止機構７５が取り付けられている。ロードセル過負荷防止機構７５の前端は、ロードセル７７に当接するようになっている。ロードセル７７は、前記直動部材６１の基部６１ｃ後端面に配置されている。

従って、移動ブラケット６９が前進すると一体にロードセル過負荷防止機構７５が前方へ移動する。この移動によりロードセル過負荷防止機構７５がロードセル７７を押圧して直動部材６１に押圧力を伝達する。ロードセル７７は、直動部材６１に伝達される押圧力を検出する。この検出による検出信号は、制御部２２に入力される。

このロードセル７７は、本実施例において、押圧力伝達機構２１に備えられ研磨盤５とポスト９で保持した光ファイバーフェルールとの間の研磨圧力を間接的に検出するセンサーである。

制御部２２は、入力された信号から研磨盤５と光ファイバーフェルール端面との間の研磨圧力を演算する。制御部２２は、この演算により検出された研磨圧力が設定された研磨圧力となるように押圧用駆動モーター１５をフィードバック制御する構成となっている。この制御により光ファイバーフェルール端面を設定された研磨圧力で研磨することができる。

直動部材６１は、伝達された押圧力によりガイドレール６３ａに沿って移動する。この移動時は、直動部材６１のブロック６３ｂがガイドレール６３ａに直動ガイドされる。

（カム機構）
図９、図１０のように、カム機構５９は、直動部材６１の直進動作を研磨盤５の進退動作の方向、図では上下方向に変換伝達するカム作用を行う。

カム機構５９は、カム作用を行うカム部７９とカム駆動部８１とを含んでいる。

カム部７９は、カム構成体８３に備えた傾斜面７９ａ、７９ｂを有している。カム構成体８３は、スプラインシャフト３５の他端である実施例の下端に接合されてカム作用による変換伝達を可能とする。

カム駆動部８１のカムフォロワ８１ａ、８１ｂは、直動部材６１に支持されて傾斜面７９ａ、７９ｂに当接し、直動部材６１に連動するカム駆動部８１の直進動作による力を傾斜面７９ａ、７９ｂに伝達する。この伝達により前記カム作用が行なわれる。

カム部７９の傾斜面７９ａ、７９ｂとカム駆動部８１のカムフォロワ８１ａ、８１ｂとは、それぞれ左右に一対備えられている。

前記カム構成体８３は、枠状に形成されている。このカム構成体８３に一対の傾斜面７９ａ、７９ｂが直動部材６１の直進動作の前後方向に対し左右両側に振り分け配置された構成となっている。本実施例において、カム構成体８３は、左右部８３ａ、８３ｂと前後部８３ｃ、８３ｄとで構成され平面視で矩形枠状に一体に形成されている。左右部８３ａ、８３ｂは、相互に平行に配置され、前後方向に沿っている。この左右部８３ａ、８３ｂに、前記のように傾斜面７９ａ、７９ｂが形成されている。前後部８３ｃ、８３ｄは、相互に平行に配置され、左右方向に沿っている。

カム構成体８３は、平面から見て外郭矩形の対角線の交点が前記スラストリング３３の外郭円の中心に一致するように配置されている。この配置でカム構成体８３の左右部８３ａ、８３ｂは、直動部材６１の一対のアーム部６１ａ、６１ｂの左右内側に配置されている。この配置で、一対のアーム部６１ａ、６１ｂは、カム構成体８３の左右両側外に位置した構成となる。一対のアーム部６１ａ、６１ｂのカムフォロワ支持部６１ａａ、６１ｂａは、カム構成体８３の左右両側外で左右部８３ａ、８３ｂの側面に僅かな隙間を持って対向した構成となっている。

一対のカム部７９の各傾斜面７９ａ、７９ｂは、カム構成体８３の左右部８３ａ、８３ｂの上下中間部に設けられている。傾斜面７９ａ、７９ｂは、左右部８３ａ、８３ｂに沿って前方へ下降傾斜形成された長穴状の開口８５ａ、８５ｂにそれぞれ配置設定されている。傾斜面７９ａ、７９ｂは、上下に平行に対向し開口８５ａ、８５ｂの傾斜に沿って前方へ下降傾斜設定されている。従って、本実施例のカム部７９は、各開口８５ａ、８５ｂにそれぞれ上下の傾斜面７９ａ、７９ｂを備えた枠カム状に形成されている。

カム駆動部８１は、一対のカムフォロワ８１ａ、８１ｂで構成されている。カムフォロワ８１ａ、８１ｂは、ローラーで形成されている。一対のカムフォロワ８１ａ、８１ｂは、左右一対のアーム部６１ａ、６１ｂに振り分けられ、ピン８７により支持カムフォロワ支持部６１ａａ、６１ｂａに各別に回転自在に支持されている。カムフォロワ８１ａ、８１ｂのローラーの直径は、傾斜面７９ａ、７９ｂ間の垂直上下方向の間隔寸法に対し同程度に形成されている。この直径の設定によりカムフォロワ８１ａ、８１ｂが傾斜面７９ａ、７９ｂ間で転動できるように構成されている。

なお、一般的にカムフォロワは、従動節を意味するが、実施例では、カムフォロワを従動節ではなく駆動部材として利用している。この場合、カム部７９が従動節となっている。カム駆動部８１は、カム部７９を駆動して変換伝達するカム作用が行なわれるものであればよい。このため、本願実施例のカムフォロワの概念以外の変形例の形態も含まれる。また、必ずしもカム作用を得るものでなくても良く、カム機構を用いない他の形態も考えられる。これらの形態については後述する。

そして、直動部材６１が前方へ直進動作するとカムフォロワ８１ａ、８１ｂが各開口８５ａ、８５ｂ内で前方へ転動しながら上の傾斜面７９ａを押し上げる。直動部材６１が後方へ直進動作するとカムフォロワ８１ａ、８１ｂが各開口８５ａ、８５ｂ内で後方へ転動しながらの下の傾斜面７９ｂを押し下げる。

つまり、直動部材６１の前後方向への直進動作による力を研磨盤５の進退動作の上下方向に押圧力として伝達するカム作用が行なわれる。このカム作用によりカム構成体８３が上下方向に移動調節される。

（カムフォロワのスプラインシャフト間当接）
図９〜図１１のように、前記カム構成体８３の上部には、直動部材６１の直進動作の前後方向に沿った平坦な上向きの結合面８９が備えられている。

前記４本のスプラインシャフト３５は、前記上向きの結合面８９に固定により接合されている。この固定は、スプラインシャフト３５の平坦な下端面を結合面８９に突き当て接合し、ボルト９１を用いた締結により実現されている。

なお、スプラインシャフト３５とカム構成体８３との間は、固定による接合に限らず、単に突き当てて接合する構成でもよい。単なる接合であるときは、スプラインシャフト３５が前記のようにバネなどによりベースプレート３の下方向に付勢されていることが好ましい。

カム構成体８３へのスプラインシャフト３５の接合は、４本のスプラインシャフト３５を左右両側及び直進動作の前後方向の前後両側に対称に振り分け配置した構成となっている。４本のスプラインシャフト３５は、図１０の平面で見たときカム構成体８３の結合面８９の各角部側に配置されている。

このカム構成体８３に対するスプラインシャフト３５の振り分け配置で、一対のカムフォロワ８１ａ、８１ｂの各傾斜面７９ａ、７９ｂへの前記当接は、直動部材６１の直進動作の前後方向に配置したスプラインシャフト３５間で行なっている。

図１１の左側はカム構成体８３のリフト前であり、図１１の右側はカム構成体８３のリフト後である。

この図１１のように、一対のカムフォロワ８１ａ、８１ｂの各傾斜面７９ａ、７９ｂへの当接が、直動部材６１の直進動作の前後方向に配置したスプラインシャフト３５間に維持されている。

従って、カム機構５９の前記カム作用により直動部材６１の直進動作による力を押圧力として上下方向に変換しつつ４本のスプラインシャフト３５に確実に伝達される。

（スラストリング入力バランス）
図９〜図１３のように、４本のスプラインシャフト３５は、ベースプレート３のガイド孔３ａを上下に貫通している。ガイド孔３ａの下端部には、スプラインシャフト３５毎にスプラインブッシュ９３が取り付けられている。ガイド孔３ａを貫通するスプラインシャフト３５は、スプラインブッシュ９３に嵌合している。スプリンブッシュ９３は、スプラインシャフト３５を上下の押圧力伝達方向に円滑にガイドする。

このスプラインシャフト３５は、スラストリング３３に対し、その平坦なリング状の結合面３３ｃの外周部内側で周方向に９０度振り分けで均等配置により接合され、固定されている。この固定は、スプラインシャフト３５の平坦な上端面が結合面３３ｃに突き当てられ、ボルト９５による締結で実現されている。

従って、４本のスプラインシャフト３５は、スラストリング３３の周方向にバランスした配置により固定されている。

このバランス配置によりスプラインシャフト３５により伝達される押圧力をスラストリング３３に荷重バランスよく作用させることができる。従って、研磨盤５をスラストリング３３により平面で支持しながらスラストリング３３を介して上方向へ荷重バランス良く確実に押し上げることができる。

（最大荷重バランス入力）
図１１のように、４本のスプラインシャフト３５のスラストリング３３に対するバランス配置に対し、一対のカムフォロワ８１ａ、８１ｂは、直動部材６１の直進動作の前後方向に配置したスプラインシャフト３５間の中央位置でカム作用による研磨盤５の最大の押圧力を設定するように構成している。つまり、スプラインシャフト３５間の前後中央位置は、スプラインシャフト３５を介しスラストリング３３へ伝達する押圧力のバランス位置となる。このバランス位置にカムフォロワ８１ａ、８１ｂの中心位置が乗ることで最大荷重を伝達する構成となっている。

このような設定により、カムフォロワ８１ａ、８１ｂから傾斜面７９ａを介して伝達される進退方向の最大荷重の押圧力は、カム構成体８３の平坦な結合面８９から４本のスプラインシャフト３５に均等に分散伝達される。

４本のスプラインシャフト３５に均等に分散伝達された押圧力は、４本のスプラインシャフト３５からスラストリング３３の外周部の均等位置の４箇所に分散伝達される。

（固定連鎖等）
前記したが、図１２、図１３のように、４本のスプラインシャフト３５の下端は、カム構成体８３の平坦な結合面８９に突き当てて接合し、ボルト９１を用いて締結固定している。

かかる固定により結合面８９から４本のスプラインシャフト３５の下端へほぼ同一条件で荷重伝達を行わせることができる。

しかも、４本のスプラインシャフト３５の上端は、スラストリング３３の平坦な結合面３３ｃに突き当てて接合し、ボルト９５を用いて締結固定している。

かかる固定により、４本のスプラインシャフト３５、カム構成体８３、及びスラストリング３３が、固定連鎖を構成する。この固定連鎖によりカム構成体８３が受けた上下方向の荷重を、結合面８９から４本のスプラインシャフト３５、スラストリング３３を介して研磨盤５へ剛性を持って伝達する。

この場合、カム構成体８３は、本実施例の押圧力伝達機構２１の押圧下部材を構成する。つまり、押圧力伝達機構２１は、上記のように前記進退動作の方向に前記押圧力を伝達するためのカム構成体８３をベースプレート３よりも下位側に備えた構成となっている。

また、スラストリング３３は、本実施例の押圧力伝達機構２１の押圧上部材を構成する。つまり、押圧力伝達機構２１は、上記のように前記進退動作の方向に前記押圧力を伝達するためのスラストリング３３をベースプレート３よりも上位側に備えた構成となっている。

スプラインシャフト３５のカム構成体８３及びスラストリング３３への結合は、実施例のように直接行なう構造の他、他部材を介して間接的に行わせることもできる。また、カム構成体８３、スラストリング３３と別体の押圧下部材、押圧上部材をスプラインシャフト３５に結合して固定連鎖とし、これら押圧下部材、押圧上部材をカム構成体８３、スラストリング３３に対し前記進退方向に接合させる構成にすることもできる。

（公転自転用モーター配置）
図９、図１０では、公転用モーター及び自転用モーターの図示を省略しているが、図１〜図４、で前記のように示し、さらに図１１、図１３でも示す公転用モーター１１と自転用モーター１３とは、研磨盤５の研磨駆動を行なわせる駆動源である。これら公転用モーター１１及び自転用モーター１３は、ベースプレート３に固定されカム構成体８３の矩形の枠状の内側で直動部材６１の直進動作の前後方向に配列されている。

相対的に大きな公転用モーター１１は、平面から見てベースプレート３の中央寄りに配置され、相対的に小さな自転用モーター１３は、平面から見てベースプレート３の前方側に配置されている。自転用モーター１３及び公転用モーター１１共に、スラストリング３３の前後方向の中心線上が中央を通るように左右方向にも均等配置されている。

［保持部、研磨冶具］
図１４は、光ファイバーフェルールの端面研磨装置に用いる研磨治具の正面図である。図１５は、研磨治具の押え部材が固定位置にある状態を示し、（Ａ）は、拡大平面図、（Ｂ）は、断面図である。図１６は、研磨治具の平面図である。図１７は、研磨治具の下面図である。図１８は、研磨治具を取り付けた状態を示す光ファイバーフェルールの端面研磨装置の平面図である。図１９は、研磨治具を取り付けてない状態を示す光ファイバーフェルールの端面研磨装置の正面図である。図２０は、研磨治具を取り付ける様子を示す要部平面図である。

（保持部）
先ず、図１〜図４、図９のように、研磨盤５の周囲には、光ファイバーフェルールの保持部として４本のポスト９がベースプレート３に配置されている。４本のポスト９の配置は、スラストリング３３の中心回りに均等間隔で四隅を構成するようになっている。

ポスト９は、研磨冶具を保持するために基軸９７、レバー支持軸９９、加圧レバー１０１、ばね受け１０３、加圧ばね１０５を備えている。

前記基軸９７は、下部に段付きに細く形成された嵌合軸部９７ａを有し、上部に嵌合筒部９７ｂを有している。基軸９７の嵌合軸部９７ａは、嵌合穴３ｂに嵌合固定されている。嵌合穴３ｂは、４本のポスト９を配置する位置でベースプレート３に形成されている。なお、図面では、図示の便宜上単一の嵌合穴３ｂ及びポスト９のみ示す。

嵌合筒部９７ｂには、レバー支持軸９９の下部が嵌合している。レバー支持軸９９は、嵌合筒部９７ｂに対し軸回転及び軸方向移動可能に支持されている。レバー支持軸９９の上部にはばね受け穴９９ａが形成されている。

レバー支持軸９９中間部には、径方向から加圧レバー１０１が取り付けられている。加圧レバー１０１は、加圧ピン部１０１ａを一体に有している。レバー支持軸９９に対し径方向の一側に加圧レバー１０１が突出し、同他側に加圧ピン部１０１ａが突出している。

ばね受け１０３は、一端に頭部１０３ａを有し、他端部に雄ネジ部１０３ｂを有している。ばね受け１０３は、レバー支持軸９９の軸心部に軸方向相対移動可能に配置されている。ばね受け１０３の頭部１０３ａは、ばね受け穴９９ａ内に配置されている。ばね受け１０３の雄ネジ部１０３ｂは、嵌合軸部９７ａに螺合固定されている。この螺合固定は、止めねじ１０４により緩み止めがなされている。ばね受け１０３の頭部１０３ａとばね受け穴９９ａの底部との間には、加圧ばね１０５が介設されている。

従って、加圧レバー１０１を持ち軸回りに回転操作すると基軸９７の嵌合筒部９７ｂに対しレバー支持軸９９が軸心の回りに回転する。この回転により、加圧レバー１０１の軸回りの操作を許容し、加圧ピン部１０１ａがレバー支持軸９９の軸心の回りに移動する。

加圧レバー１０１を持ち軸上方に引き上げ操作すると加圧ばね１０５の付勢力に抗してレバー支持軸９９が嵌合筒部９７ｂに対し軸方向の上方に移動する。この移動により、加圧レバー１０１の引き上げ操作を許容し、加圧ピン部１０１ａが軸方向の上方に移動する。

（研磨冶具）
図１４は、光ファイバーフェルールの端面研磨装置に用いる研磨治具の正面図である。図１５は、研磨治具の押え部材が固定位置にある状態を示し、（Ａ）は、拡大平面図、（Ｂ）は、断面図である。図１６は、研磨治具の平面図である。図１７は、研磨治具の下面図である。

なお、実施例では、ＭＴ光コネクタのＭＴフェルールを用いて説明しているが、ＳＣ光コネクタのＳＣフェルール等でも同様に適用することができる。ＭＴフェルールとは、複数本の光ファイバー（図示省略）を並べて１本のテープ状に構成した光ファイバーテープをフェルールに挿通固定した光ファイバーフェルールである。ＳＣフェルールとは、１本の光ファイバーをフェルールに挿通固定した光ファイバーフェルールである。ＭＴフェルールの断面は矩形であり、ＳＣフェルールの断面は円形である。従って、ＳＣフェルールの場合は、研磨冶具が断面円形の支持用の挿入孔を有する形態となる。

図１４〜図１７のように、研磨治具１０７は、前記端面研磨装置１に装着されるホルダープレート１０９と押え部材１１１とロッド部材１１３とを有している。

ホルダープレート１０９は、平面視で正方形の板材である。ホルダープレート１０９の四隅には、円弧状の縁部１１０が形成されている。ホルダープレート１０９の中央には、ねじ孔１１５が形成されている。

ホルダープレート１０９の面内には、挿入孔１１９が、例えば１０個形成されている。挿入孔１９には、ＭＴフェルール１１７が挿入される構成となっている。挿入孔１１９は、面内中央のねじ孔１１５（図１７）の回りの同心円に沿って周方向等間隔で配列されている。各挿入孔１１９は、断面矩形のＭＴフェルール１１７に合わせて矩形に形成されている。各挿入孔１１９にＭＴフェルール１１７を挿入したとき挿入孔１１９とＭＴフェルール１１７との間に僅かなクリアランスが形成される構成となっている。各挿入孔１１９の矩形の１辺は、前記同心円状の接線と平行に配置されている。

ホルダープレート１０９の上面には、各挿入孔１１９の周囲に保持面１２１が形成されている。保持面１２１は、挿入孔１１９の上下方向の内壁に対し直交している。但し、ホルダープレート１０９の保持面１２１以外の一般面である上面に対し、各挿入孔１１９の内壁は、光ファイバーフェルールの端面に要求される研磨角度に応じた角度で設定される。勿論、研磨角度によってはホルダープレート１０９の一般面である上面に対し挿入孔１１９が直交して設定されることもある。

ホルダープレート１０９の各挿入孔１１９に応じてねじ穴１２３がそれぞれ形成されている。ねじ穴１２３には、押え部材１１１を装着するための止めねじ１２５をねじ込ませる。

各押え部材１１１の中央には、長孔１２７が貫通して形成されている。長孔１２７に止めねじ１２５を挿入し、止めねじ１２５をねじ穴１２３にねじ込んだ構成となっている。

各押え部材１１１の先端には、壁面１２９と押え面１３１とが形成されている。壁面１２９は、ＭＴフェルール１１７のフランジ部１１７ａの高さに実質的に等しい高さで形成されている。押え面１３１は、壁面１２９の上部から保持面１２１にほぼ平行に延びている。

そして、止めねじ１２５をねじ穴１２３から離脱させずに緩めると、止めねじ１２５に対する長孔１２７を介した相対移動により押え部材１１１を挿入孔１１９に対して外方へスライドさせることができる。このスライドにより押え面１３１が挿入孔１１９の領域から離れるため、押え部材１１１は、待機位置となる構成となっている。この待機位置でＭＴフェルール１１７を挿入孔１１９に対して挿入離脱可能とする

ＭＴフェルール１１７の固定に際しては、挿入孔１１９にＭＴフェルール１１７を挿入し、押え部材１１１の壁面１２９がＭＴフェルール１１７のフランジ部１１７ａを軽く押すまで押え部材１１１をスライドさせる。このスライドにより押え面１３１がＭＴフェルール１１７のフランジ部１１７ａに乗り上げた位置となる。この位置でトルクレンチなどを用いて止めねじ１２５を設定された力で締め付ける。この締め付けで押え面１３１がＭＴフェルール１１７のフランジ部１１７ａの上面を所定の力で下向きに押しつける。この押し付けでＭＴフェルール１１７のフランジ部１１７ａの下面が保持面１２１に密着して保持される。

ロッド部材１１３は、下端にねじ部１３５（図１７）を有し、上端に取手１３７を有し、中間部にケーブルフック１３９を有している。

ロッド部材１１３のねじ部１３５が、ホルダープレート１０９のねじ孔１１５にねじ込まれている。このねじ込みにより、ホルダープレート１０９の中央にロッド部材１１３が着脱可能に取り付けられている。

ロッド部材１１３の取手１３７は、作業者が片手で握ることができるようにしている。

ロッド部材１１３のケーブルフック１３９は、ホルダープレート１０９上のＭＴフェルール１１７に連なる光ファイバーテープ１４１を係止する。このケーブルフック１３９は、例えば円盤状の板材で形成されている。ケーブルフック１３９の外周には、一端が連通する屈曲した係止部１４３が形成されている。係止部１４３は、例えば１２個形成されている。各ＭＴフェルール１１７に連なる光ファイバーテープ１４１を各係止部１４３に係止することで、ＭＴフェルール１に連なる光ファイバーテープ１４１の全てを、研磨治具１０７に束ねて取り付けることができる。

（光ファイバーフェルール保持）
図１８は、研磨治具を取り付けた状態を示す光ファイバーフェルールの端面研磨装置の平面図である。図１９は、研磨治具を取り付けてない状態を示す光ファイバーフェルールの端面研磨装置の正面図である。図２０は、研磨治具を取り付ける様子を示す要部平面図である。

図１８、図１９のように、端面研磨装置１に研磨治具１０７を装着した。

図２０のように、研磨治具１０７を取り付ける際には、４本の加圧レバー１０１を回して加圧ピン１０１ａをすべて外側へ向けておく（鎖線図示）。ホルダープレート１０９の縁部１１０（図１６）を４本のポスト９の嵌合筒部９７ｂ上に上から載せて研磨治具１０７を端面研磨装置１上に配置する。各加圧レバー１０１を引き上げながら回し、各加圧ピン１０１ａがホルダープレート１０９の四隅を上から押すようにセットする（実線図示）。したがって、本実施例では、嵌合筒部９７ｂ上端の平坦なリング状の面の一部が冶具搭載部を構成している。但し、冶具搭載部を嵌合筒部９７ｂとは別にしてポスト９に並設することもできる。

このようにして、研磨治具１０７を端面研磨装置１の４本のポスト９に位置決め固定したとき、研磨治具１０７の下面から突出したＭＴフェルール１１７の先端が、研磨フィルム２７（図５）に対向する。

［研磨］
図１４〜図２０の前記のように、複数のＭＴフェルール１１７を保持した研磨冶具１０７を端面研磨装置１の４本のポスト９に位置決め固定する。

図１〜図５、図９、図１０のように、起動スイッチがＯＮ操作されると、制御部２２からの公転自転信号により公転用モーター１１、自転用モーター１３が駆動制御される。

この駆動制御により公転用モーター１１及び自転用モーター１３が公転自転駆動される。この公転自転駆動により前記のように研磨盤５がスラストリング３３上で研磨駆動を行い、例えばハイポトロコイド運動をする。

一方、制御部２２（図２）からの押圧駆動信号により押圧用駆動モーター１５（図２、図９、図１０）が駆動制御される。

この駆動制御によりボールねじ１９が回転し、ナット７３を介して移動ブラケット６９が固定ブラケット６７と直動機構５７との間で前記のように直進する。この直進によりロードセル過負荷防止機構７５がロードセル７７を押圧して直動部材６１に押圧力を伝達する。ロードセル７７は、直動部材６１に伝達される押圧力を検出する。この検出による検出信号は、制御部２２に入力される。

直動部材６１は、伝達された押圧力により直動ガイド６３のガイドレール６３ａに沿って前記のように前方へ直進動作する。

直動部材６１の直進動作によりカムフォロワ８１ａ、８１ｂが前記のように転動しながら傾斜面７９ａを押し上げる。なお、直動部材６１が後方へ直進動作するとカムフォロワ８１ａ、８１ｂが前記のように転動しながら傾斜面７９ｂを押し下げる。

つまり、前記のように、直動部材６１の前後方向への直進動作による力を研磨盤５の進退動作の上下方向に押圧力として伝達するカム機構５９のカム作用が行なわれる。

カムフォロワ８１ａ、８１ｂにより傾斜面７９ａが押し上げられると、カム構成体８３が上方に押し上げられ、スプラインシャフト３５がスプラインブッシュ９３にガイドされながら上昇してスラストリング３３に押圧力を伝達する。

この押圧力の伝達によりスラストリング３３が上昇し、研磨盤５を押し上げる。

研磨盤５の押し上げにより研磨盤５の研磨フィルム２７がＭＴフェルール１１７の先端に下方から押し当てられる。この押し当てにより、例えば研磨フィルム２７が０．１ｍｍ程度押し込まれるような研磨圧力が付与される。

この場合、前記のように、ロードセル７７が検出する押圧力の検出信号が制御部２２に入力され、制御部２２が入力された検出信号から現在の研磨圧力を演算する。この演算により現在の研磨圧力が予め制御部２２に記憶されている設定された研磨圧力となるように押圧駆動モーター１５がフィードバック制御される。この結果、前記研磨圧力の維持、調節を実現することができる。

［実施例１の効果］
本願発明の実施例１に係る光ファイバーフェルールの端面研磨装置１は、ボールガイド２９を含む軸受部３０と、スラストリング３３及びスプラインシャフト３５を含む研磨盤ガイド支持部３１と、押圧用駆動モーター１５と、直動機構５７及びカム機構５９を含む押圧力伝達機構２１とを備えている。

軸受部３０は、公転駆動軸２３と研磨盤５との間の軸周りの相対回転と軸方向の相対移動とを許容する構成である。研磨盤ガイド支持部３１、ポスト９に対し研磨盤５の進退動作を可能として研磨圧力を付与するために研磨盤５をベースプレート３に可動支持する構成である。押圧用駆動モーター１５は、研磨圧力を付与するために押圧用の駆動力を調節可能に出力する構成である。押圧力伝達機構２１は、押圧用駆動モーター１５から出力される駆動力を研磨盤５の進退動作の方向へ押圧力として伝達する構成である。

従って、研磨盤５は、公転自転の研磨駆動が行なわれながら押圧用駆動モーター１５の駆動によりポスト９に対して進退動作することができる。

このときの進退動作は、スラストリング３３及びスプラインシャフト３５によりベースプレート３に対して確実に行なわせることができる。

しかも、公転駆動軸２３から公転駆動されている研磨盤５は、ポスト９に対する進退動作に際しボールガイド２９により軸回りの相対回転及び軸方向の相対移動が許容される。

このため、研磨盤５は、研磨駆動されながらポスト９に保持されたＭＴフェルール１１７に対し下方から押圧力を付与し、研磨盤５とＭＴフェルール１１７との間の研磨圧力を正確に調整してＭＴフェルール１１７の端面を精度良く研磨することができる。

研磨盤５の上下方向への進退動作により研磨圧力を調整する構造であるため、ポスト９の加圧ばね１０５を省略し、或いは加圧ばね１０５の弾発力を強く設定し、研磨冶具１０７をポスト９に完全固定保持させ、或いは強力に固定保持させてＭＴフェルール１１７の端面研磨を行わせることもできる。

このような完全固定等の保持による端面研磨は、従来できなかった研磨形態を実現することもできる。この研磨形態については、後述する。

さらに、研磨盤５を押圧駆動する押圧用駆動モーター１５、直動機構５７及びカム機構５９等は、下部の筐体５５内に収容させることができ、研磨盤５の上部側を開放させることができる。

このため、端面研磨装置１をラインに配置し、ＭＴフェルール１１７を支持した研磨冶具１０７をラインの中で自動により端面研磨装置１に上方から供給配置する自動化も可能となる。

前記スラストリング３３は、前記研磨駆動を可能としつつ前記押圧力伝達機構２１の一部として前記押圧力を伝達するために前記研磨盤５の下面外周部を平面で支持する構成である。前記スプラインシャフト３５は、一端が前記スラストリング３３に接合され他端から前記押圧力伝達機構２１の一部として前記進退動作の方向へ前記押圧力を伝達するために前記ベースプレート３にボールガイド２９を介して可動支持される構成である。

従って、スプラインシャフト３５は、押圧力伝達機構２１の一部として押圧力の伝達を受けるとベースプレート３に対し軸方向の上方へ円滑に移動し、スラストリング３３を押し上げる。

このため、スラストリング３３上で公転自転の研磨駆動が行なわれている研磨盤５を調節された押圧力で押し上げることができる。

この押圧力により、研磨盤５とＭＴフェルール１１７との間の研磨圧力を正確に調整し、ＭＴフェルール１１７の端面を精度良く研磨することができる。

前記直動機構５７は、前記押圧力の伝達により前記進退動作の方向に交差して直進動作する直動部材６１と前記直進動作を可能とするために前記直動部材６１を前記ベースプレート３に支持する直動ガイド６３とを含む構成である。前記カム機構５９は、カム作用により前記直動部材６１の直進動作による力を前記進退動作の方向に押圧力として伝達する構成である。

従って、押圧用駆動モーター１５の出力される駆動力により直動部材６１が動作するとカム機構５９が直動部材６１の直進動作による力を研磨盤５の進退動作の方向に押圧力として伝達させる。

このため、押圧用駆動モーター１５の駆動により研磨盤５とＭＴフェルール１１７との間の研磨圧力を正確に調整してＭＴフェルール１１７の端面を精度良く研磨することができる。

前記カム機構５９は、前記カム作用を行うカム部７９とカム駆動部８１であるカムフォロワ８１ａ、８１ｂとを含む構成である。前記カム部７９は、カム構成体８３に備えた傾斜面７９ａ、７９ｂを有する構成である。前記カム構成体８３は、前記変換伝達を可能とするために前記スプラインシャフト３５の他端に接合された構成である。前記カムフォロワ８１ａ、８１ｂは、前記直動部材６１の直進動作による力を前記傾斜面７９ａ、７９ｂに伝達するために前記直動部材６１に支持されて前記傾斜面７９ａ、７９ｂに当接させる構成である。

従って、カム作用が傾斜面７９ａ、７９ｂに対するカムフォロワ８１ａ、８１ｂの当接で行われ、所謂楔作用でカム作用を行わせることができる。

このため、押圧用駆動モーター１５から出力される駆動力を研磨盤５へ増大して伝達させることができ、大きな荷重を得ることができる。

しかも、小さな部品で実現できるため、機構をコンパクトに構成することができ、押圧用駆動モーター１５や直動機構５７及びカム機構５９などを装置の筐体５５内へ容易に収容し、装置全体の小型化を図ることが可能となる。

前記カム部７９とカム駆動部８１とは、それぞれ一対備えられ、前記カム構成体８３は、前記一対のカム部７９を前記直進動作の前後方向に対し左右両側に振り分けて配置した枠状に形成されている。前記スプラインシャフト３５は、前記左右両側及び前記前後方向の前後両側に複数本が振り分けて配置されている。前記直動部材６１は、前記カム構成体８３の左右両側外に配置された一対のアーム部６１ａ、６１ｂを備えている。前記一対のカムフォロワ８１ａ、８１ｂは、前記一対のカム部７９の各傾斜面７９ａ、７９ｂに各別に当接するために前記アーム部６１ａ、６１ｂに振り分け支持されている。前記一対のカムフォロワ８１ａ、８１ｂの前記各傾斜面７９ａ、７９ｂへの当接は、前記直進動作の前後方向に配置したスプラインシャフト３５間で行なっている。

従って、押圧用駆動モーター１５から出力される駆動力の変換伝達をスプラインシャフト３５間で行うことにより、変換伝達された押圧力を４本のスプラインシャフト３５に分散し、研磨盤５へ確実に伝達させることができる。

前記４本のスプラインシャフト３５は、スラストリング３３の同一半径上で周方向にバランスし、等間隔に配置されている。

従って、スプラインシャフト３５間で行った変換伝達をスプラインシャフト３５から研磨盤５へ押圧力としてバランスよく伝達することができる。

前記一対のカムフォロワ８１ａ、８１ｂの前記各傾斜面７９ａ、７９ｂへの当接は、前記直進動作の前後方向に配置したスプラインシャフト３５間の中央位置とする構成である。この中央位置は、４本のスプラインシャフト３５がスラストリング３３の周方向にバランスして配置され、前後左右に対称の配置が前提となっている。

このような配置での前記中央位置は、スプラインシャフト３５からスラストリング３３へ伝達する押圧力のバランス位置となる。

従って、スプラインシャフト３５間の中央位置で行った変換伝達をスプラインシャフト３５から研磨盤５へ押圧力としてバランスよく、4箇所で均等の荷重を伝達することができる。この位置を最も荷重を受ける位置とし、研磨盤５へ研磨圧力を付与するための押圧力を確実に伝達することができる。

このため、押圧用駆動モーター１５のフィードバック制御により研磨盤５とＭＴフェルール１１７との間の研磨圧力を正確に調整してＭＴフェルール１１７の端面を精度良く研磨することができる。

前記研磨盤５の研磨駆動は、公転用モーター１１及び自転用モーター１３による前記公転駆動軸２３及び自転駆動軸２５の公転自転駆動により行われ、前記公転用モーター１１及び自転用モーター１３は、前記カム構成体８３の枠状の内側で前記直進動作の前後方向に配列されて前記ベースプレート３に固定されている。

従って、公転用モーター１１及び自転用モーター１３と直動機構５７及びカム機構５９となどをスペース効率よく収納することができる。

このため、公転用モーター１１及び自転用モーター１３と直動機構５７及びカム機構５９などとの間の前後左右上下の相対的な無駄な空間を抑制することができ、これらを筐体５５内へ容易に収容し、装置全体の小型化を図ることが可能となる。

前記カム構成体８３の上部に、前記直進動作の前後方向に沿った平坦な上向きの結合面８９を備え、前記４本のスプラインシャフト３５は、前記上向きの結合面８９に固定されている。

従って、カム機構５９により変換伝達された押圧力をカム構成体８３から4本のスプラインシャフト３５に伝達するとき、カム構成体８３の結合面８９から4本のスプラインシャフト３５に均等に分散伝達することができる。

この均等な押圧力の分散伝達により4本のスプラインシャフト３５を介してスラストリング３３の外周部に押圧力を確実に伝達することができる。

しかも、平坦な上向きの結合面８９に対する4本のスプラインシャフト３５の平坦な端面の結合固定により相互間がずれたり、ふらついたりすることがないか、抑制される。

このため、カム機構５９により変換伝達された押圧力をカム構成体８３から４本のスプラインシャフト３５に上下方向でバランスよく確実に伝達することができる。

前記スラストリング３３に、前記直進動作の前後方向に沿った平坦な下向きの結合面３３ｃを備えている。前記４本のスプラインシャフト３５は、前記下向きの結合面３３ｃに固定されている。これにより、前記カム構成体８３と前記スプラインシャフト３５と前記スラストリング３３とが相互間に動きがない固定連鎖をなしている。

従って、カム機構５９により変換伝達された押圧力をカム構成体８３から４本のスプラインシャフト３５を介してスラストリング３３に伝達するとき、固定連鎖で伝達することができる。

このため、カム機構５９により変換伝達された押圧力をカム構成体８３から４本のスプラインシャフト３５を介してスラストリング３３に上下方向でバランスよく確実に伝達することができる。

しかも、平坦な下向きの結合面３３ｃに対する４本のスプラインシャフト３５の平坦な端面の結合固定により相互間がずれたり、ふらついたりすることがないか、抑制される。

端面研磨装置１は、前記押圧力伝達機構２１の直動部材６１に備えられ前記研磨圧力を間接的に検出するロードセル７７と、前記検出された研磨圧力を設定した研磨圧力とするために前記押圧用駆動モーター１５を制御する制御部２２とを備えている。

従って、研磨盤５とＭＴフェルール１１７との間の研磨圧力を押圧用駆動モーター１５のフィードバック制御により確実に制御することができる。

このため、研磨圧力を正確に調整してＭＴフェルール１１７の端面を精度良く研磨することができる。

以上の効果は、ＳＣコネクタのＳＣフェルールでも同様に得ることができる。

（研磨結果）
図２１〜図２７は、研磨結果の評価に係るグラフである。図２１は、ＳＣコネクタの研磨結果に係り、光ファイバーフェルール端面の半径のばらつきを示すグラフである。図２２は、ＳＣコネクタの研磨結果に係り、光ファイバーフェルールの頂点と中心とのずれ量のばらつきを示すグラフである。図２３は、ＳＣコネクタの研磨結果に係り、光ファイバーフェルールからの光ファイバーの突き出し量のばらつきを示すグラフである。図２４は、ＭＴフェルールの研磨結果に係り、光ファイバーフェルール端面の角度でＸ方向の角度のばらつきを示すグラフである。図２５は、ＭＴフェルールの研磨結果に係り、光ファイバーフェルール端面の角度でＹ方向の角度のばらつきを示すグラフである。図２６は、ＭＴフェルールの研磨結果に係り、光ファイバーフェルール端面の平坦度でＸ方向の半径のばらつきを示すグラフである。図２７は、ＭＴフェルールの研磨結果に係り、光ファイバーフェルール端面の平坦度でＹ方向の半径のばらつきを示すグラフである。

図２１〜図２３は、ＩＰＣモードでの研磨結果、図２４〜図２７は、ＯＰＣモードでの研磨結果を示す。

ここに、ＩＰＣモードは、出願人が既に提案した特開２００２−１６４１に記載された研磨手法である。このＩＰＣモードでは、研磨盤を基準位置として位置精度を保持し、光ファイバーフェルールごとに独立して保持させた研磨ホルダー内にばねを設置し、研磨荷重を光ファイバーフェルールごとに独立して付与する。

ＯＰＣモードは、研磨盤は基準位置とするものではなく、研磨盤から光ファイバーフェルールの端面に与える荷重で制御して研磨する手法である。上記既提案の特許文献とはことなり、光ファイバーフェルールを、研磨ホルダーに完全に固定させて研磨するため、研磨盤による荷重の制御が必要となる。

図２１〜図２３は、円柱形の光ファイバーフェルール（ＳＣＰＣ）を２０本保持させて研磨した（IPC20軸-SCPC）。図２４〜図２７は、上記ＭＴフェルールを２４本固定して研磨した（固定24軸-MT）。

IPC20軸-SCPCと固定24軸-MTとの研磨条件は、一例として以下の表１、表２の通りである。

図２１〜図２３のように、ラジアス（Radius）、アペックス（Apex）、ファイバーハイト（Fiber Height）共に、要求スペック内であった。

具体的には、図２１のラジアス（Radius）は、フェルール端面の半径であり、R１０〜２５ｍｍであった。図２２のアペックス（Apex）は、アペックスオフセット（Apex offset）、フェルールの頂点とファイバー中心とのずれ量であり、５０μｍ以下であった。図２３の ファイバーハイト（Fiber Height）は、フェルールからのファイバーの突き出し量であり、０〜５０ｎｍであった。

図２４〜図２７のように、Ｘアングル（X angle）、Ｙアングル（Y angle）、Ｘラジアスミニマム２０００ｍｍ（X Radius min 2000mm）、Ｙラジアスミニマム５ｍｍ（Y Radius min 5mm）共に、要求スペック内であった。

具体的には、図２４のＸアングル（X angle）は、フェルール端面の角度のＸ方向の角度であり、±０．１５°であった。図２５のＹアングル（Y angle）は、フェルール端面の角度のＹ方向の角度であり、±０．２０°であった。図２６のＸラジアスミニマム２０００ｍｍ（X Radius min 2000mm）は、フェルール端面の平坦度でＸ方向の半径２０００ｍｍ以上であった。図２７のＹラジアスミニマム５ｍｍ（Y Radius min 5mm）は、フェルール端面の平坦度でＹ方向の半径５ｍｍ以上であった。

（研磨形態の拡張性）
図２８（Ａ）は、端面研磨前の光ファイバーフェルールの要部を示す断面概念図、（Ｂ）は、単一研磨の状況を示す平面概念図である。

図２８（Ａ）のように、研磨前に光ファイバーフェルール１４４の端面には、光ファイバー１４４ａの除去予定部１４４ａａ及び接着剤１４４ｂの除去予定部１４４ｂａが露出している。

光ファイバー１４４ａの露出している除去予定部１４４ａａは、従来、作業者が手作業によりカットしていた。

一方、本発明の実施例による研磨形態では、研磨冶具１０７をポスト9に固定し、研磨盤５を公転自転させながら下方から徐々に上昇させることができる、研磨冶具１０７に支持させた光ファイバー１４４ａの除去予定部１４４ａａの研磨除去も可能となる。

図２８（Ｂ）のように、単一の光ファイバーフェルール１４５ａの研磨を行なうとき、従来のＯＰＣモードでの研磨では、研磨冶具１４７に支持した研磨対象の光ファイバーフェルール１４５ａに対し、ダミー１４５ｂ、１４５ｃを配置する必要があった。このダミー１４５ｂ、１４５ｃの配置により研磨圧力により研磨冶具１４７が傾斜するのを規制していた。

一方、本発明の実施例による研磨形態では、研磨冶具１０７をポスト9に完全固定し、研磨盤５を公転自転させながら下方から上昇させて研磨することが可能となり、ダミー１４５ｂ、１４５ｃの配置が不要となり、一本研磨の作業性が著しく向上する。

（研磨圧力直接検出）
図２９は、押圧力伝達機構に対するロードセルの配置の変形例を示す要部概略断面図である。なお、基本的な構成は、図９などと同様であり、同符号を付して重複した説明は省略する。また、図２９において示されていない構成及び符号は、図９などを参照する。

図９では、センサーであるロードセル７７を直動部材６１に取り付けた。この位置での取り付けによる検出は、研磨駆動される研磨盤５とポスト９で保持した光ファイバーフェルールとの間の研磨圧力を間接的に検出するものである。

一方、図２９の端面研磨装置１Ａの例では、研磨盤ガイド支持部３１Ａの他に押圧力伝達機構２１Ａとなる押圧ロッド１４９を追加した。図２９において、カム機構５９Ａのカム構成体８３Ａは、カム部７９Ａにおいて部分的に示し、概念的に楔プレート状に示している。

押圧ロッド１４９は、スラストリング３３に対し、研磨盤ガイド支持部３１Ａの４本のスプラインシャフト３５の間に周方向均等配置され、スラストリング３３の下面に接合されている。変形例の研磨盤ガイド支持部３１Ａは、押圧力を伝達せず、押圧力伝達機構２１の一部を構成しない。

なお、スプラインシャフト３５及び押圧ロッド１４９の本数及び配置は、研磨盤５の進退方向へのガイドを円滑に行ない、押圧力を円滑に伝達できれば特に限定されない。

ロードセル７７Ａは、押圧ロッド１４９の平坦な下端面とカム構成体８３Ａの平坦な結合面８９Ａとの間に固定した。押圧ロッド１４９の平坦な上端面は、スラストリング３３の結合面３３ｃに接合され、図９と同様にしてボルトにより固定されている。ロードセル７７Ａは、は、図２で示す制御部２２に接続されている。

従って、上記のようにして押圧用駆動モーターから出力された駆動力がカムフォロワ８１Ａａ、（８１Ａｂ）に伝達され、カム作用によりカム構成体８３Ａが上方へ押圧されると押圧力がロードセル７７Ａ及び押圧ロッド１４９を介してスラストリング３３に伝達される。

この押圧力の伝達によりスラストリング３３が上昇し、研磨盤５を光ファイバーフェルールの端面に押し当てる。スラストリング３３が上昇するとき、上記同様にスプラインシャフト３５がスプラインブッシュ９３にガイドされる。このガイドを受けながらスプラインシャフト３５が、スラストリング３３を介して研磨盤５を進退方向に移動ガイドし、研磨盤５に押圧力を伝達する。研磨盤５は進退方向への押圧力の伝達を受けながら前記のようにスラストリング３３上で研磨駆動される。

研磨盤５への押圧力の伝達により研磨盤５とポスト９で保持した光ファイバーフェルールの端面との間の研磨圧力が調節される。この研磨圧力は、ロードセル７７Ａが直接的に検出し、信号を制御部２２に入力する。この入力で、制御部２２が押圧用駆動モーター１５をフィードバック制御する。

従って、この変形例では、研磨圧力の直接的な検出により押圧用駆動モーター１５のフィードバック制御をより直接的に行わせることができる。

（カム部及びカム駆動部の変形例）
図３０は、変形例を示し、（Ａ）は、カム部及びカム駆動部の概略断面図、（Ｂ）は、カム部の概略断面図、（Ｃ）は、カム部の概略断面図である。

図３０（Ａ）は、カム構成体８３Ｂをカム部７９Ｂにおいて部分的に示し、概念的に楔プレート状に示している。カム部７９Ｂは、単一直線の傾斜面７９Ｂａ（７９Ｂｂ）を有している。なお、括弧内は、図示していない右側を示す。以下同様である。

カム機構５９Ｂのカム駆動部８１Ｂは、楔プレート８１Ｂａ（８１Ｂｂ）であり、単一の傾斜面８１Ｂａａ（８１Ｂｂａ）を有している。傾斜面８１Ｂａａ（８１Ｂｂａ）は、カム構成体８３Ｂのカム部７９Ｂの傾斜面７９Ｂａ（７９Ｂｂ）に対向している。

従って、上記カムフォロワ８１ａ（８１ｂ）と同様に楔プレート８１Ｂａ（８１Ｂｂ）に押圧用駆動モーターから出力された駆動力が伝達されると傾斜面８１Ｂａａ（８１Ｂｂａ）と傾斜面７９Ｂａ（７９Ｂｂ）との間のカム作用により、直動部材の直進動作による力を研磨盤５の進退動作の方向に押圧力として伝達することができ、上記実施例と同様の作用効果を得ることができる。

図３０（Ｂ）、（Ｃ）は、カム機構５９Ｃ、５９Ｄのカム構成体８３Ｃ、８３Ｄを図３０（Ａ）と同様に部分的に示している。

図３０（Ｂ）のカム構成体８３Ｃは、カム部７９Ｃの傾斜面７９Ｃａ（７９Ｃｂ）を二つの傾斜面７９Ｃａａ（７９Ｃａｂ）、７９Ｃｂａ（７９Ｃｂｂ）とした。

従って、相対的に傾斜の大きな傾斜面７９Ｃａａ（７９Ｃｂａ）によりカム構成体８３Ｃの上方への移動を迅速に行なわせ、相対的に傾斜の小さな傾斜面７９Ｃａｂ（７９Ｃｂｂ）により大きな押圧力を僅かな移動により伝達させることができる。

このような段階的な押圧力伝達により迅速且つ精度良く押圧力の伝達ができる。

なお、カム部７９Ｃでは、傾斜面７９Ｃａ（７９Ｃｂ）を二つの傾斜面７９Ｃａａ（７９Ｃａｂ）、７９Ｃｂａ（７９Ｃｂｂ）で構成したが、三つ以上の傾斜面で構成することもできる。

図３０（Ｃ）のカム構成体８３Ｄは、カム部７９Ｄの傾斜面７９Ｄａ（７９Ｄｂ）を曲面とした。

この曲面の傾斜面７９Ｄａ（７９Ｄｂ）により、前記図３０（Ｂ）のカム構成体８３Ｃの段階的な伝達作用に比較し、カム構成体８３Ｄでは、より連続的な伝達作用を行わせることができる。

図３１は、実施例２に係り、光ファイバーフェルールの端面研磨装置の要部を示す概略斜視断面図である。なお、基本的な構成は、実施例１と同様であり、同符号を付して重複した説明は省略する。また、図３１において示されていない構成及び符号は、実施例１の図９などを参照する。

図３１の端面研磨装置１Ｅは、回転力出の駆動力を端面カム１５１によりそのままスラストリング３３Ｅに押圧力を伝達する構成とした。

研磨盤ガイド支持部３１Ｅは、スラストリング３３Ｅ及びガイドリング１５３を備えている。

前記スラストリング３３Ｅは、研磨盤５の前記同様な研磨駆動を可能としつつ押圧力伝達機構２１Ｅの一部として押圧力を伝達する構成とした。このためスラストリング３３Ｅは、前記同様に研磨盤５の下面外周部を平面で支持している。この支持構造の概念は、上記実施例と同様である。

前記ガイドリング１５３は、ボールリテーナーを有し、前記スラストリング３３Ｅをベースプレート３Ｅに可動支持している。この支持構造の形態は異なるが、進退動作の方向へ押圧力を伝達する概念は上記実施例と同様である。

従って、スラストリング３３Ｅは、ガイドリング１５３に支持されつつ上方の研磨盤５に押圧力を伝達するように研磨盤５の進退動作の方向へ移動することができる。

一方、本変形例の押圧力伝達機構２１Ｅは、駆動リング１５５を備えている。

駆動リング１５５は、前記スラストリング３３Ｅの下部に対向配置され押圧用駆動源である押圧用駆動モーターが出力する駆動力で研磨盤の進退動作の方向に沿った回転軸を中心に回転駆動される構成となっている。

押圧用駆動モーターは、例えば駆動リング１５５の下部等にギヤにより連動結合されている。この連動結合により押圧用駆動モーターが出力する駆動力で駆動リング１５５の回転駆動が可能となっている。この駆動リング１５５は、ベアリング１５７によりベースプレート３Ｅに支持され、軸回りの回転が可能となっている。

駆動リング１５５には、支持ローラー１５９が複数支持されている。支持ローラー１５９は、周方向等間隔で支持され、スラストリング３３Ｅの下面を支持している。

スラストリング３３Ｅの下面には、前記端面カム１５１が設けられ、支持ローラー１５９が当接している。

従って、押圧用駆動モーターが出力する駆動力で駆動リング１５５が回転すると支持ローラー１５９の周方向位置がスラストリング３３Ｅの端面カム１５１に対して変化する。この支持ローラー１５９の周方向位置により端面カム１５１がカム作用を奏し、スラストリング３３Ｅが研磨盤の進退動作の方向へ押圧力を伝達する。

この押圧力の伝達により研磨盤が押圧され、研磨盤と光ファイバーフェルールの端面との間に研磨圧力が付与される。

従って、本変形例でも、上記実施例１と同様な作用効果を奏することができる。

しかも、押圧用駆動モーターの駆動力をスラストリング３３Ｅに直接的に伝達することができ、伝達経路の短い部品点数の少ない簡単な構造を実現することができる。

なお、端面カムを駆動リング１５５に形成し、支持ローラー１５９をスラストリング３３Ｅ側に支持する構造を採用することもできる。

また、駆動リング１５５をベースプレート３Ｅに固定し、複数設けられている支持ローラー１５９を板カムとし、スラストリング３３Ｅの下面に板カムの周面に当接する斜面や平面を形成する構成にすることもできる。押圧用駆動モーターと板カムとは、押圧用駆動モーターにより回転駆動されるギヤリングと、板カムの各軸に取り付けたピニオンギヤとを噛み合わせることで連動構成することができる。板カムの各回転軸にそれぞれ小型の押圧用駆動モーターを組付ける構成にすることもできる。

さらに、実施例1のカム構成体に代えてスプラインシャフト３５の下端に加圧プレートを固定し、この加圧プレートの下面に端面カムを形成し、この端面カムを備えた加圧プレートに対し駆動リング１５５及び支持ローラー１５９の構造のような機構を組み合わせて構成することもできる。

図３２は、実施例３に係り、保持部ガイド支持部と押圧力伝達機構とを示す光ファイバーフェルールの端面研磨装置の一部を断面にした概略側面図である。なお、基本的な構成は、実施例１と同様であり、同符号を付して重複した説明は省略する。

本実施例の端面研磨装置１Ｆは、ポスト９Ｆを研磨盤５に対して上下方向に進退動作可能として研磨圧力の調節を行なうようにした。

従って、本実施例の端面研磨装置１Ｆでは、スラストリング３３Ｆはベースプレート３Ｆに上下位置変更不能に位置決められている。

本実施例の端面研磨装置１Ｆは、保持部ガイド支持部１６１を備えている。保持部ガイド支持部１６１は、研磨盤５に対しポスト９Ｆの進退動作を可能として研磨圧力を付与する構成とした。このため、端面研磨装置１Ｆは、研磨治具１０７のホルダープレート１０９を取り付けるポスト９Ｆをベースプレート３Ｆに可動支持している。ポスト９Ｆの基本的な構造は、実施例１と同様であり、複数本として例えば４本備えている。

本実施例のポスト９Ｆは、一端の上部側に前記研磨治具１０７のホルダープレート１０９を取り付けて他端の進退ガイド９Ｆａから押圧力伝達機構２１Ｆの一部としてポスト９Ｆの進退動作の方向へ前記押圧力を伝達する構成としている。

つまり、ポスト９Ｆの下部に、進退ガイド９Ｆａが下方へストレートに延長形成されている。ポスト９Ｆの進退ガイド９Ｆａは、基軸９７と同軸同径で一体に形成されている。なお、ポスト９Ｆの進退動作を可能とする限り、進退ガイド９Ｆａを基軸９７よりも太く或いは細く形成することもできる。また、進退ガイド９Ｆａのポスト９Ｆへの接合は、本実施例において一体を意味する。但し、ポスト９Ｆと進退ガイド９Ｆａとを別体としポスト９Ｆを進退ガイド９Ｆａに螺合結合するような構成にすることもできる。螺合結合の場合は、進退ガイド９Ｆａの長さを選択して装置の仕様を変更することができる。

ポスト９Ｆは、進退ガイド９Ｆａにおいてベースプレート３Ｆの嵌合穴３Ｆｂにボールブッシュ１６３を介して支持されている。この支持により、押圧入力を伝達するために進退ガイド９Ｆａをベースプレート３Ｆに可動支持する構成となる。この可動支持により、ポスト９Ｆが研磨盤５に対し上下方向に進退動作可能となる。ポスト９Ｆの他端である進退ガイド９Ｆａの平坦な端面には、筐体５５内でカム構成体８３Ｆの上向きの結合面８９が接合固定されている。この固定は、実施例１同様にボルトにより行なわれている。

この接合固定は、カム機構５９のカム作用により直動部材６１の直進動作による力をポスト９Ｆの進退動作の方向に押圧力として伝達することを可能とする。

ポスト９Ｆの上部には、押圧力伝達機構２１Ｆの部材として研磨冶具１０７のホルダープレート１０９が配置されている。このホルダープレート１０９は、ベースプレート３Ｆよりも上位側に位置する。上記同様にホルダープレート１０９の縁部１１０（図１６）が、４本のポスト９Ｆの嵌合筒部９７ｂ上の平坦な上向きの結合面に載置され、加圧ピン部１０１ａにより固定される。ホルダープレート１０９は、直動部材６１の直進動作の前後方向に沿った平坦な下向きの結合面１０９ａを有する。この結合面１０９ａにより前記嵌合筒部９７ｂ上の平坦な上向きの結合面にホルダープレート１０９が固定される。

この固定により複数本の進退ガイド９７Ｆａは、ホルダープレート１０９の下向きの結合面１０９ａにポスト９Ｆを介して間接的に固定される構造となる。

この構造において、加圧ばね１０５の設定を強くし、或いは省いてレバー支持軸９９を基軸９７に固定する完全固定の形態を採ることで、カム構成体８３Ｆと進退ガイド９Ｆａとホルダープレート１０９とが固定連鎖をなす。

なお、ポスト９Ｆとホルダープレート１０９との間は、ボルト締結ではない。この場合でも、ホルダープレート１０９を介してＭＴフェルール１１７に押圧力を伝達するときホルダープレート１０９がポスト９Ｆに対し相対的な動作をしないという意味において前記固定連鎖をなす。

この場合、カム構成体８３Ｆは、本実施例の押圧力伝達機構２１Ｆの押圧下部材を構成する。つまり、押圧力伝達機構２１Ｆは、上記のように前記進退動作の方向に前記押圧力を伝達するためのカム構成体８３Ｆをベースプレート３Ｆよりも下位側に備えた構成となっている。

また、ホルダープレート１０９は、本実施例の押圧力伝達機構２１Ｆの押圧上部材を構成する。つまり、押圧力伝達機構２１Ｆは、上記のように前記進退動作の方向に前記押圧力を伝達するためのホルダープレート１０９をベースプレート３Ｆよりも上位側に備えた構成となっている。

進退ガイド９Ｆａのカム構成体８３への結合は、実施例のように直接行なう構造の他、他部材を介して間接的に行わせることもできる。また、カム構成体８３と別体の押圧下部材を進退ガイド９Ｆａに結合して固定連鎖とし、これら押圧下部材をカム構成体８３に対し前記進退方向に接合させる構成にすることもできる。

その他、押圧用駆動モーター１５Ｆからカム構成体８３Ｆまでの押圧力伝達機構２１Ｆの構造は、実施例１と同様であり、直動機構５７及びカム機構５９に同符号を付し、重複した説明は省略する。また、本実施例において矛盾しない限り実施例１の各種変形例を採用することができる。

そして、本実施例では、実施例１と同様にして押圧用駆動モーター１５Ｆから駆動力が出力されると、直動機構５７及びカム機構５９を介してカム構成体８３Ｆに押圧力として変換伝達される。

本実施例では、直動部材６１の前方への直進動作によりカムフォロワ８１ａ、８１ｂが転動しながら傾斜面７９ｂを押し下げる。直動部材６１が後方へ直進動作するとカムフォロワ８１ａ（８１ｂ）が転動しながら傾斜面７９ａを押し上げる。

従って、研磨圧力を付与するとき、カム構成体８３Ｆは、カムフォロワ８１ａ（８１ｂ）と下方の傾斜面７９ｂとの間のカム作用によりポスト９Ｆの進退動作の方向に移動し、ポスト９Ｆの進退ガイド９Ｆａを下方へ引き込むように押圧力を伝達する。

しかも、平坦な上向きの結合面８９に対する4本の進退ガイド９Ｆａの平坦な端面の結合固定により相互間がずれたり、ふらついたりすることがないか、抑制される。

このため、カム機構５９により変換伝達された押圧力をカム構成体８３Ｆから４本の進退ガイド９Ｆａを介し、ポスト９Ｆに上下方向でバランスよく確実に伝達することができる。

さらに、カム構成体８３Ｆと進退ガイド９Ｆａと部材であるホルダープレート１０９とがなす固定連鎖により、カム構成体８３Ｆが受けた上下方向の荷重を、結合面８９から４本の進退ガイド９Ｆａ、ポスト９Ｆを介してホルダープレート１０９へ剛性を持って伝達する。

この押圧力の伝達によりポスト９Ｆが確実に下降する。

このポスト９Ｆの下降により研磨冶具１０７に支持されているＭＴフェルール１１７の先端が、高さ方向に位置決めされている研磨盤５の研磨フィルム２７に上方から押し当てられる。この押し当ては、実施例１同様であり、例えば研磨フィルム２７が０．１ｍｍ程度押し込まれるような設定された研磨圧力が付与される。

この場合、実施例１同様に、ロードセル７７が検出する押圧力の検出信号が制御部２２（図２参照）に入力され、制御部２２が入力された検出信号から現在の研磨圧力を演算する。この演算により実施例１同様に押圧駆動モーター１５Ｆのフィードバック制御が行なわれる。この結果、前記研磨圧力の維持、調節を実現することができる。

従って、本実施例では、スラストリング３３Ｆを可動支持する必要が無く、構造を簡素化することができる。

その他、実施例１と同様な作用効果を奏することができる。

なお、本実施例では、ポスト９Ｆとは別に押圧力を伝達するロッドを設け、このロッドの下端をカム構成体８３Ｆに連動結合し、ロッドの上端側をポスト９Ｆに連動結合する構成にすることも可能である。この場合、ポスト９Ｆの進退ガイド９Ｆａは、カム構成体８３Ｆに対し連動結合されることなくフリーな状態とする。ロッドは、前記固定連鎖の構成部材となる。

図３３〜図３５は、実施例４に係る。図３３は、光ファイバーフェルールの端面研磨装置の要部を示す概略平面図である。図３４は、光ファイバーフェルールの端面研磨装置の要部を示す図３３のＸＸＸＩＶ−ＸＸＸＩＶ線矢視概略断面図である。図３５は、光ファイバーフェルールの端面研磨装置の要部を示す概略側面図である。なお、基本的な構成は、実施例１と同様であり、同符号を付して重複した説明は省略する。また、図３３〜図３５において示されていない構成及び符号は、実施例１の図９などを参照する。

図３３〜図３５のように、本実施例の端面研磨装置１Ｇは、押圧用駆動源としてエアシリンダー１５Ｇを採用し、押圧力伝達機構２１Ｇは、前記エアシリンダー１５Ｇの出力の方向を研磨盤５の進退動作の方向として押圧力を直接的に伝達する構成とした。従って、本実施例では、実施例１の直動機構５７及びカム機構５９は設けていない。

前記エアシリンダー１５Ｇは、電空レギュレーターにより内圧が制御される構造である。電空レギュレーターは、エアシリンダー１５Ｇの内圧及びピストン径から研磨圧力を演算する。電空レギュレーターは、制御部２２Ｇに接続され、電空レギュレーターが演算した研磨圧力が設定された研磨圧力となるように制御部２２Ｇが電空レギュレーターをフィードバック制御する。

このエアシリンダー１５Ｇは、シリンダー取付板１６５の下面に取り付けられている。シリンダー取付板１６５は、例えば４本の支柱１６７によりベースプレート３Ｇの下面に取り付けられている。

エアシリンダー１５Ｇのピストンロッド１５Ｇａは、加圧プレート１６９に結合されている。加圧プレート１６９は、押圧力伝達機構２１Ｇの一部であり、平面視で例えば円形に形成され、上面に平坦な結合面１６９ａを備えている。加圧プレート１６９の外周部において、結合面１６９ａは、スプラインシャフト３５の平坦な下端面にボルトなどにより結合固定されている。このボルトによる結合は、実施例１と同様である。

スプラインシャフト３５は、実施例１と同様に例えば４本がスラストリング３３の外周部で周方向に均等配置されている。ピストンロッド１５Ｇａの軸心は、スラストリング３３の中心と一致して配置されている。この配置で、エアシリンダー１５Ｇの駆動力がスラストリング３３に片寄り無くバランスよく伝達される構成となっている。

また、図３４、図３５のように、４本のスプラインシャフト３５の下端は、加圧プレート１６９の平坦な結合面１６９ａに突き当てて上記のように締結固定している。

かかる固定により結合面１６９ａから４本のスプラインシャフト３５の下端へほぼ同一条件で荷重伝達を行わせることができることは実施例１同様である。

しかも、４本のスプラインシャフト３５の上端とスラストリング３３の平坦な結合面３３ｃとの締結固定も実施例１同様である。

かかる固定により、４本のスプラインシャフト３５、加圧プレート１６９、及びスラストリング３３が、固定連鎖を構成する。この固定連鎖により加圧プレート１６９が受けた上下方向の荷重を、結合面１６９ａから４本のスプラインシャフト３５、スラストリング３３を介して研磨盤５へ剛性を持って伝達する。

この場合、加圧プレート１６９は、本実施例の押圧力伝達機構２１Ｇの押圧下部材を構成する。つまり、押圧力伝達機構２１Ｇは、上記のように前記進退動作の方向に前記押圧力を伝達するための加圧プレート１６９をベースプレート３よりも下位側に備えた構成となっている。

また、スラストリング３３は、本実施例の押圧力伝達機構２１Ｇの押圧上部材を構成する。つまり、押圧力伝達機構２１Ｇは、上記のように前記進退動作の方向に前記押圧力を伝達するためのスラストリング３３をベースプレート３よりも上位側に備えた構成となっている。

スプラインシャフト３５の加圧プレート１６９及びスラストリング３３への結合は、実施例のように直接行なう構造の他、他部材を介して間接的に行わせることもできる。また、加圧プレート１６９、スラストリング３３と別体の押圧下部材、押圧上部材をスプラインシャフト３５に結合して固定連鎖とし、これら押圧下部材、押圧上部材を加圧プレート１６９、スラストリング３３に対し前記進退方向に接合させる構成にすることもできる。

本実施例においても、スプラインシャフト３５及びスラストリング３３が研磨盤ガイド支持部３１として機能する他に、実施例１同様に押圧力伝達機構２１Ｇの一部としても機能する。

本実施例では、エアシリンダー１５Ｇの出力によりピストンロッド１５Ｇａが上方へ突出し、駆動力が加圧プレート１６９に伝達される。

加圧プレー１６９に伝達された駆動力は、押圧力として４本のスプラインシャフト３５に均等に伝達される。４本のスプラインシャフト３５は、ベースプレート３に対して上昇し、スラストリング３３の外周部の４箇所を均等に押圧する。

スラストリング３３に押圧力が伝達されると、研磨盤５が押し上げられ、実施例１と同様に研磨圧力が付与される。

この研磨圧力は、電空レギュレーターが演算し、制御部２２Ｇが検出された研磨圧力を設定された研磨圧力とするように電空レギュレーターに電気信号を送る。電空レギュレーターは、エアシリンダー１５Ｇの圧力を制御し、ピストンロッド１５Ｇａを進退制御する。

ピストンロッド１５Ｇａが下方へ退避制御されると上記とは逆の動作により研磨盤５が下降制御され、研磨圧力が減少するか無くなる。

こうして研磨圧力が正確に制御される。

従って、本実施例では、直動機構、カム機構等を省略することができ、構造を簡素化し、装置をコンパクトにすることができる。

その他、実施例１と同様な作用効果を奏することができる。

なお、本実施例においても、実施例１と同様にロードセルで研磨圧力を直接又は間接的に検出し、検出した信号により電空レギュレーターを制御する構成にすることもできる。

また、実施例１〜３において、押圧用駆動源をエアシリンダーに代えることもできる。この場合、エアシリンダーは、出力の方向に応じて適宜横置きとなる。

図３６〜図３８は、楔プレートを用いた構造に係る。図３６は、研磨盤への適用例に係り、固定連鎖の概念図である。図３７は、固定連鎖に適用する楔プレート及びその周辺の構造を示す概念図である。図３８は、ポストへの適用例に係り、固定連鎖に適用する楔プレート及びその周辺の構造を示す概念図である。なお、基本的な構成は、実施例１又は実施例３と同様であり、同符号を付して重複した説明は省略する。また、図３６〜図３８において示されていない構成及び符号は、実施例１、３の図９、図３２などを参照する。

図３６の光ファイバーフェルールの端面研磨装置は、スラストリング３３を押圧力伝達機構２１Ｈに含む構造である。

図３６のように、押圧力伝達機構２１Ｈは、楔機構５９Ｈを含んでいる。なお、楔機構５９Ｈの具体的な構造は図３８で後述する。ここでは、楔機構５９Ｈを概念化して説明する。

楔機構５９Ｈは、第１、第２の楔プレート８３Ｈ、８１Ｈを含んでいる。第１、第２の楔プレート８３Ｈ、８１Ｈは、楔作用により直進動作による力を研磨盤５の進退動作の方向へ押圧力として伝達する。第１、第２の楔プレート８３Ｈ、８１Ｈは、例えば実施例１のカム構成体８３と同様に枠状に形成されている。

前記第１の楔プレート８３Ｈの平坦な結合面８９Ｈには、進退ガイドであるスプラインシャフト３５の下端が実施例１と同様の構造で接合固定されている。第１の楔プレート８３Ｈは、単一直線の傾斜面７９Ｈａ（７９Ｈｂ）を左右側に有している。なお、括弧内は、図示していない右側を示す。以下同様である。スラストリング３３の平坦な結合面３３ｃには、スプラインシャフト３５の上端が実施例１と同様の構造で接合固定されている。

かかる固定により、４本のスプラインシャフト３５、第１の楔プレート８３Ｈ、及びスラストリング３３が、固定連鎖を構成する。この固定連鎖により第１の楔プレート８３Ｈが受けた上下方向の荷重を、結合面８９Ｈから４本のスプラインシャフト３５、スラストリング３３を介して研磨盤５へ剛性を持って伝達する。

この場合、第１の楔プレート８３Ｈは、本実施例の押圧力伝達機構２１Ｈの押圧下部材を構成する。つまり、押圧力伝達機構２１Ｈは、上記のように前記進退動作の方向に前記押圧力を伝達するための第１の楔プレート８３Ｈをベースプレート３よりも下位側に備えた構成となっている。

また、スラストリング３３は、本実施例の押圧力伝達機構２１Ｈの押圧上部材を構成する。つまり、押圧力伝達機構２１Ｈは、上記のように前記進退動作の方向に前記押圧力を伝達するためのスラストリング３３をベースプレート３よりも上位側に備えた構成となっている。

スプラインシャフト３５の第１の楔プレート８３Ｈ及びスラストリング３３への結合は、実施例のように直接行なう構造の他、他部材を介して間接的に行わせることもできる。また、第１の楔プレート８３Ｈ、スラストリング３３と別体の押圧下部材、押圧上部材をスプラインシャフト３５に結合して固定連鎖とし、これら押圧下部材、押圧上部材を第１の楔プレート８３Ｈ、スラストリング３３に対し前記進退方向に接合させる構成にすることもできる。

前記第２の楔プレート８１Ｈは、押圧用駆動源である押圧用駆動モーターやエアシリンダーなどから出力される駆動力により第１の楔プレート８３Ｈに対し楔作用を働かせて前記変換伝達を行なわせる。第２の楔プレート８１Ｈは、第１の楔プレート８３Ｈとほぼ同形状に形成されている。

第２の楔プレート８１Ｈは、傾斜面８１Ｈａａ（８１Ｈｂａ）を有している。傾斜面８１Ｈａａ（８１Ｈｂａ）は、第１の楔プレート８３Ｈの傾斜面７９Ｈａ（７９Ｈｂ）に対向している。

従って、第２の楔プレート８１Ｈに押圧用駆動モーターやエアシリンダーから出力された駆動力が伝達されると傾斜面８１Ｈａａ（８１Ｈｂａ）と傾斜面７９Ｈａ（７９Ｈｂ）との間の楔作用により、第２の楔プレート８１Ｈの直進動作による力を第１の楔プレート８３Ｈを介し研磨盤５の進退動作の方向の押圧力として伝達することができ、上記実施例と同様の作用効果を得ることができる。

図３７の楔プレート及びその周辺の構造では、第１、第２の楔プレート８３Ｈ、８１Ｈが、第１、第２のリニアガイド１７１、１７３で支持されている。第１、第２のリニアガイド１７１、１７３は、ガイドレール１７１ａ、１７３ａとブロック１７１ｂ、１７３ｂとからなっている。

第１のリニアガイド１７１のガイドレール１７１ａは、第２の楔プレート８１Ｈの傾斜面８１Ｈａａ（８１Ｈｂａ）にそれぞれ固定されている。

第１のリニアガイド１７１のブロック１７１ｂは、第１の楔プレート８３Ｈの傾斜面７９Ｈａ（７９Ｈｂ）にそれぞれ固定されている。

第２のリニアガイド１７３のブロック１７３ｂは、第２の楔プレート８１Ｈの平坦な下面８１Ｈａｂ（８１Ｈｂｂ）にそれぞれ固定されている。

第２のリニアガイド１７３のガイドレール１７３ａは、ベースプレート３側などの固定側にブラケットなどを介して取り付けられている。

第２の楔プレート８１Ｈは、連結部材１７５により実施例１の直動部材６１と同様な構造の直動部材に結合され、或いはエアシリンダーのピストンロッドに結合されている。

従って、第２の楔プレート８１Ｈに押圧用駆動モーターやエアシリンダーから出力された駆動力が伝達される第２の楔プレート８１Ｈが移動する。この移動は、第２のリニアガイド１７３のガイドレール１７３ａ上をブロック１７３ｂが走行することにより円滑に行なわれる。

第２の楔プレート８１Ｈが移動すると第１のリニアガイド１７１のガイドレール１７１ａが一体に移動する。

第１のリニアガイド１７１のブロック１７１ｂは第２の楔プレート８１Ｈの直進方向へは移動しないのでガイドレール１７１ａの移動により楔作用が働き第１の楔プレート８３Ｈがスプラインシャフト３５に矢印で示す方向に押圧力を伝達する。この押圧力の伝達により、例えば図３６の押圧力伝達機構２１Ｈを機能させることができる。

楔機構５９Ｈは、上下逆に配置することもできる。この配置では、第１の楔プレート８３Ｈを固定側に接合させ、第２のリニアガイド１７３のガイドレール１７３ａをスプラインシャフト３５に接合固定する。楔機構５９Ｈをユニット化し、スプラインシャフト３５及びベースプレート３間に着脱自在に配置することもできる。

図３８の光ファイバーフェルールの端面研磨装置は、ホルダープレート１０９を押圧力伝達機構２１Ｉに含む構造である。楔機構５９Ｉの基本的な構造は、図３７の楔機構５９Ｈと同様である。従って、対応する構成部分には同符号を付し、また符号のＨをＩに代えて付し、重複した説明は省略する。

図３８では、図３２のポスト９Ｆを研磨盤５に対して上下方向に進退動作可能とする構造に楔機構５９Ｉを適用した。

この場合、第１の楔プレート３Ｆｃは、図３７の第１の楔プレート８３Ｈとは異なり、固定側であるベースプレート３Ｆに固定され、固定側の部材となっている。このため、第１の楔プレート３Ｆｃは、対応する部材の符号を変更している。

第２のリニアガイド１７３のガイドレール１７３ａは、伝達プレート８３Ｉに固定されている。この例では、伝達プレート８３Ｉが、実施例１の図９のカム構成体８３に対応している。従って、伝達プレート８３Ｉに、平坦な上向きの結合面８９Ｉが形成されている。

前記第１の楔プレート８３Ｉの平坦な結合面８９Ｉには、進退ガイド９Ｆａの下端が実施例１と同様の構造で接合固定されている。

かかる固定により、４本の進退ガイド９Ｆａ及びポスト９Ｆ、伝達プレート８３Ｉ、ホルダープレート１０９が、固定連鎖を構成する。この固定連鎖において、第２の楔プレート８１Ｉの駆動により第１の楔プレート３Ｆｃが受けた上下方向の荷重を、ベースプレート３Ｆが受ける。ベースプレート３Ｆが受けた荷重は、反力として楔機構５９Ｉを介し結合面８９Ｉから４本の進退ガイド９Ｆａ及びポスト９Ｆを介してホルダープレート１０９へ剛性を持って伝達される。

この場合、伝達プレート８３Ｉは、本実施例の押圧力伝達機構２１Ｉの押圧下部材を構成する。つまり、押圧力伝達機構２１Ｉは、上記のように前記進退動作の方向に前記押圧力を伝達するための伝達プレート８３Ｉをベースプレート３Ｆよりも下位側に備えた構成となる。

また、ホルダープレート１０９は、本実施例の押圧力伝達機構２１Ｉの押圧上部材を構成する。つまり、押圧力伝達機構２１Ｉは、上記のように前記進退動作の方向に前記押圧力を伝達するためのホルダープレート１０９をベースプレート３Ｆよりも上位側に備えた構成となる。

進退ガイド９Ｆａの伝達プレート８３Ｉに対する結合は、実施例のように直接行なう構造の他、他部材を介して間接的に行わせることもできる。

楔機構５９Ｉは、上下逆に配置することもできる。この配置では、第１の楔プレート３Ｆｃを伝達プレート８３Ｉに接合固定させ、第２のリニアガイド１７３のガイドレール１７３ａをベースプレート３Ｆに接合固定させる。楔機構５９Ｉをユニット化し、伝達プレート８３Ｉ及びベースプレート３Ｆ間に着脱自在に配置することもできる。従って、本実施例では、楔機構５９Ｈ、５９Ｉにより、小さな駆動力で押圧用の大きな荷重を発生させることができ、構造を簡素化し、装置をコンパクトにすることができる。

その他、実施例１と同様な作用効果を奏することができる。

１、１Ａ、１Ｅ、１Ｆ、１Ｇ 光ファイバーフェルールの端面研磨装置
３、３Ｅ、３Ｆ ベースプレート（ベース部）
５、５Ｆ 研磨盤
５ｃ 軸受孔（軸受部）
９ ポスト（保持部）
９Ｆ ポスト（保持部、押圧力伝達機構）
９Ｆａ 進退ガイド（保持部ガイド支持部、押圧力伝達機構）
１５ 押圧用駆動モーター（押圧用駆動源）
１５Ｇ エアシリンダー（押圧用駆動源）
２１、２１Ａ、２１Ｇ、２１Ｈ、２１Ｉ 押圧力伝達機構
２２、２２Ｇ 制御部
２３ 公転駆動軸
２９ ボールガイド（軸受部）
３０ 軸受部
３３、３３Ｅ、３３Ｆ、３３Ｇ スラストリング（研磨盤ガイド支持部、押圧力伝達機構、押圧上部材）
３３ｃ 下向きの結合面
３５ スプラインシャフト（進退ガイド、研磨盤ガイド支持部、押圧力伝達機構）
５７ 直動機構
５９、５９Ａ、５９Ｂ カム機構
５９Ｈ、５９Ｉ 楔機構
６１ 直動部材
６３ 直動ガイド
７７、７７Ａ ロードセル（センサー）
７９、７９Ａ、７９Ｂ、７９Ｃ、７９Ｄ カム部（カム機構）
７９ａ、７９ｂ、７９Ａａ、７９Ａｂ、７９Ｂａ、７９Ｂｂ、７９Ｃａ、７９Ｃｂ、７９Ｄａ、７９Ｄｂ 傾斜面（カム機構）
８１、８１Ａ、８１Ｂ カム駆動部（カム機構）
８１ａ、８１ｂ、８１Ａａ、８１Ａｂ、８１Ｂａ、８１Ｂｂ、 カムフォロワ（カム機構）
８３、８３Ａ、８３Ｂ、８３Ｃ、８３Ｄ、８３Ｆ カム構成体（カム機構、押圧下部材）
８１Ｈ、８１Ｉ 第２の楔プレート
８３Ｈ 第１の楔プレート（押圧下部材）
８３Ｉ 伝達プレート（押圧下部材）
８９、８９Ａ 上向きの結合面
１０７ 研磨冶具
１０９ ホルダープレート（押圧上部材）
１０９ａ 下向きの結合面
１６９ 加圧プレート（押圧下部材）

Claims (16)

1. 研磨用駆動軸により研磨駆動される研磨盤と保持部で保持した光ファイバーフェルールとの間に研磨圧力を付与して前記光ファイバーフェルールの端面を研磨する光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、
   前記研磨用駆動軸と前記研磨盤との間の軸周りの相対回転と軸方向の相対移動とを許容するための軸受部と、
   前記保持部に対し前記研磨盤の前記軸方向の進退動作を可能として前記研磨圧力を付与するために前記研磨盤をベース部に可動支持して前記進退動作の方向にのみ可動である研磨盤ガイド支持部と、
   前記研磨圧力を付与するために押圧用の駆動力を調節可能に出力する押圧用駆動源と、
   前記押圧用駆動源から出力される駆動力を前記研磨盤の進退動作の方向へ押圧力として前記研磨盤ガイド支持部を介して伝達する押圧力伝達機構と、
   を備えたことを特徴とする光ファイバーフェルールの端面研磨装置。
2. 研磨用駆動軸により研磨駆動される研磨盤と保持部で保持した光ファイバーフェルールとの間に研磨圧力を付与して前記光ファイバーフェルールの端面を研磨する光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、
   前記研磨用駆動軸と前記研磨盤との間の軸周りの相対回転と軸方向の相対移動とを許容するための軸受部と、
   前記保持部に対し前記研磨盤の前記軸方向の進退動作を可能として前記研磨圧力を付与するために前記研磨盤をベース部に可動支持する研磨盤ガイド支持部と、
   前記研磨圧力を付与するために押圧用の駆動力を調節可能に出力する押圧用駆動源と、
   前記押圧用駆動源から出力される駆動力を前記研磨盤の進退動作の方向へ押圧力として前記研磨盤ガイド支持部を介して伝達する押圧力伝達機構と、を備え、
   前記研磨用駆動軸を回転駆動する駆動源は、前記ベース部に固定して取り付けられた、
   ことを特徴とする光ファイバーフェルールの端面研磨装置。
3. 請求項１又は２記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、
   前記研磨用駆動軸は、前記研磨盤の中心部に嵌合して前記研磨盤の自転を許容しつつ公転駆動する公転駆動軸を含み、
   前記軸受部は、前記公転駆動軸と前記研磨盤との間の軸周りの相対回転と軸方向の相対移動とを許容する、
   ことを特徴とする光ファイバーフェルールの端面研磨装置。
4. 請求項１〜３の何れか１項に記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、
   前記研磨盤ガイド支持部は、スラストリング及び進退ガイドを備え、
   前記スラストリングは、前記研磨駆動を可能としつつ前記押圧力伝達機構の一部として前記押圧力を伝達するために前記研磨盤の下面外周部を平面で支持し、
   前記進退ガイドは、一端が前記スラストリングに接合され他端から前記押圧力伝達機構の一部として前記押圧力を伝達するために前記ベース部に可動支持された、
   ことを特徴とする光ファイバーフェルールの端面研磨装置。
5. 請求項４記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、
   前記押圧力伝達機構は、前記ベース部に支持された直動機構とカム機構とを含み、
   前記直動機構は、前記押圧力の伝達により前記進退動作の方向に交差して直進動作する直動部材と前記直進動作を可能とするために前記直動部材を前記ベース部に支持する直動ガイドとを含み、
   前記カム機構は、カム作用により前記直動部材の直進動作による力を前記進退動作の方向へ押圧力として変換伝達する、
   ことを特徴とする光ファイバーフェルールの端面研磨装置。
6. 請求項５記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、
   前記カム機構は、前記カム作用を行うカム部とカム駆動部とを含み、
   前記カム部は、カム構成体に備えた傾斜面を有し、
   前記カム構成体は、前記変換伝達を可能とするために前記進退ガイドの他端に接合され、
   前記カム駆動部は、前記直動部材の直進動作による力を前記傾斜面に伝達するために前記直動部材に支持されて前記傾斜面に当接する、
   ことを特徴とする光ファイバーフェルールの端面研磨装置。
7. 請求項１〜３の何れか１項に記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、
   前記研磨盤ガイド支持部は、スラストリング及びガイドリングを備え、
   前記スラストリングは、前記研磨駆動を可能としつつ前記押圧力伝達機構の一部として前記押圧力を伝達するために前記研磨盤の下面外周部を平面で支持し、
   前記ガイドリングは、前記進退動作の方向へ前記押圧力を伝達するために前記スラストリングを前記ベース部に可動支持し、
   前記押圧力伝達機構は、前記スラストリングの下部に対向配置され前記駆動力で前記進退動作の方向に沿った回転軸を中心に回転駆動される駆動リングを前記ベース部に備え、
   前記スラストリングと前記駆動リングとの間に、前記駆動リングの回転により前記スラストリングを前記進退動作の方向へ前記押圧力を伝達するために移動させる端面カムを備えた、
   ことを特徴とする光ファイバーフェルールの端面研磨装置。
8. 研磨用駆動軸により研磨駆動される研磨盤と保持部で保持した光ファイバーフェルールとの間に研磨圧力を付与して前記光ファイバーフェルールの端面を研磨する光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、
   前記研磨盤に対し前記保持部の進退動作を可能として前記研磨圧力を付与するために前記保持部をベース部に可動支持する保持部ガイド支持部と、
   前記研磨圧力を付与するために押圧用の駆動出力を調節可能な押圧用駆動源と、
   前記押圧用駆動源から出力される駆動力を前記保持部の進退動作の方向へ押圧力として伝達する押圧力伝達機構と、を備え、
   前記保持部ガイド支持部は、複数本の進退ガイドを備え、
   前記進退ガイドは、一端側が前記光ファイバーフェルールを固定する研磨治具を取り付けるポストに接合され他端から前記押圧力伝達機構の一部として前記押圧入力を伝達するために前記ベース部に可動支持された、
   ことを特徴とする光ファイバーフェルールの端面研磨装置。
9. 請求項８記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、
   前記押圧力伝達機構は、前記ベース部に支持された直動機構とカム機構とを含み、
   前記直動機構は、前記押圧力の伝達により前記進退動作の方向に交差して直進動作する直動部材と前記直進動作を可能とするために前記直動部材を前記ベース部に支持する直動ガイドとを含み、
   前記カム機構は、カム作用により前記直動部材の直進動作の方向の力を前記進退動作の方向へ押圧力として変換伝達する、
   ことを特徴とする光ファイバーフェルールの端面研磨装置。
10. 請求項９記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、
    前記カム機構は、前記カム作用を行うカム部とカム駆動部とを含み、
    前記カム部は、カム構成体に備えた傾斜面を有し、
    前記カム構成体は、前記変換伝達を可能とするために前記進退ガイドの他端に接合され、
    前記カム駆動部は、前記直動部材の直進動作の方向の力を前記傾斜面に伝達するために
    前記直動部材に支持されて前記傾斜面に当接する、
    ことを特徴とする光ファイバーフェルールの端面研磨装置。
11. 請求項４又８は記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、
    前記押圧力伝達機構は、楔作用により直進動作による力を前記進退動作の方向へ押圧力として伝達する楔機構を含む、
    ことを特徴とする光ファイバーフェルールの端面研磨装置。
12. 請求項４、８、１１の何れか１項記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、
    前記押圧力伝達機構は、前記進退動作の方向に前記押圧力を伝達するための押圧下部材を前記ベース部よりも下位側に備え、
    前記押圧下部材は、前記進退動作の方向に交差する直進動作の前後方向に沿った平坦な上向きの結合面を備え、
    前記複数本の進退ガイドは、前記上向きの結合面に直接又は間接的に固定された、
    ことを特徴とする光ファイバーフェルールの端面研磨装置。
13. 請求項１２記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、
    前記押圧力伝達機構は、前記進退動作の方向に前記押圧力を伝達するための押圧上部材を前記ベース部よりも上位側に備え、
    前記押圧上部材は、前記直進動作の前後方向に沿った平坦な下向きの結合面を備え、
    前記複数本の進退ガイドは、前記下向きの結合面に直接又は間接的に固定され、
    前記押圧下部材と前記進退ガイドと前記押圧上部材とが固定連鎖をなす、
    ことを特徴とする光ファイバーフェルールの端面研磨装置。
14. 請求項１〜１３の何れか１項記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、
    前記押圧用駆動源は、押圧用駆動モーター又はエアシリンダーである、
    ことを特徴とする光ファイバーフェルールの端面研磨装置。
15. 請求項１〜４、８の何れか１項記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、
    前記押圧用駆動源は、エアシリンダーであり、
    前記押圧力伝達機構は、前記エアシリンダーの出力の方向を前記進退動作の方向として前記押圧力を伝達する、
    ことを特徴とする光ファイバーフェルールの端面研磨装置。
16. 請求項１〜１５の何れか1項に記載の光ファイバーフェルールの端面研磨装置であって、
    前記押圧力伝達機構に備えられ前記研磨圧力を直接的に又は間接的に検出するセンサーと、
    前記検出された研磨圧力を設定した研磨圧力とするために前記押圧用駆動源を制御する制御部と、
    を備えたことを特徴とする光ファイバーフェルールの端面研磨装置。

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