JP2003103446A - 端面研磨装置及び端面研磨システム - Google Patents

端面研磨装置及び端面研磨システム

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JP2003103446A
JP2003103446A JP2002203739A JP2002203739A JP2003103446A JP 2003103446 A JP2003103446 A JP 2003103446A JP 2002203739 A JP2002203739 A JP 2002203739A JP 2002203739 A JP2002203739 A JP 2002203739A JP 2003103446 A JP2003103446 A JP 2003103446A
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polishing
pressure
ferrule
computer
rod
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Koji Minami
浩二 皆見
Junji Taira
淳司 平
Yoshitaka Enomoto
義隆 榎本
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Seiko Instruments Inc
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    • B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/06—Work supports, e.g. adjustable steadies
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B19/00—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group
    • B24B19/22—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground
    • B24B19/226—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground of the ends of optical fibres
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
  • Numerical Control (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数品種の棒状部材を生産管理できる研磨シ
ステムの提供。 【解決手段】 棒状部材の本数を表示する本数表示部２
００、種別を表示する種別表示部３００、形式を表示す
る形式表示部４００、複数の工程を表示する工程表示
部、設定圧力を入力表示する設定圧力６２３、圧力実測
時値などの加圧処理条件の入力と表示可能な制御装置を
有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、棒状部材の端面
研磨システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来フェルールの端面研磨に用いられる
端面研磨装置は、自公転する研磨定盤上にフェルールを
固定した研磨治具を配置し、研磨する装置が知られてい
た。そして、フェルールの研磨は、表面が粗い状態か
ら、最終の仕上げ状態まで作業条件の異なる、複数の段
階により行われていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の研磨装
置は装置単体で研磨と研磨条件の入力制御を行っていた
ため、複数のフェルールによりそれぞれ異なる研磨条件
や各研磨工程の条件変更や、フェルール本数の変更によ
る条件調整やデータの入力が、装置全体の大きさや表示
入力の構成から困難であった。
【０００４】したがって、研磨装置の操作は、熟練した
作業者が行わなければならず、多品種の生産を妨げる要
因となっていた。
【０００５】そして、従来は研磨条件の補正作業は、ユ
ーザーが装置を停止し都度操作するため手間と時間がか
かり、補正時のミスも発生し易く、生産の歩留まりも低
下する。生産個数やフェルールの種類、研磨機の稼動状
態を知るためにその場にいなければならない、補正の条
件等が記録されず、生産品に不具合が生じた場合、原因
の調査が容易ではない、という課題があった。
【０００６】そこで、本発明は複数本のフェルールを多
種、複数の処理条件で、研磨するシステムを構成し、研
磨工程の処理条件の入力時間を短縮し、処理条件を記憶
し、複数装置を遠隔操作可能とするＬＡＮシステムを構
築したフェルールの端面研磨システムを提供することを
目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明では、研磨定盤
と、前記研磨定盤上に配置された研磨シートに棒状部材
の端面を押圧する加圧部と、前記加圧部の圧力を制御す
る加圧制御部とからなる研磨装置と、前記研磨装置と通
信回線で接続され前記加圧制御部に加圧情報を送信する
コンピュータからなる研磨システムとした。
【０００８】
【発明の実施の形態】この発明では、第１の形態として
少なくとも１本の棒状部材を支持する治具と、自公転運
動を行う研磨定盤と、前記棒状部材の端面を研磨するた
めに前記研磨定盤上に配置された研磨シートと、前記棒
状部材の端面を前記研磨部材に押圧する加圧部と、前記
加圧部の圧力を制御する加圧制御部と、前記加圧制御部
に通信回線を介して加圧設定値を入力する加圧情報入力
部を有する端面研磨装置を構成した。
【０００９】さらに第２の形態として第１の形態に前記
押圧の圧力を検出する圧力検出部と、前記圧力検出部の
圧力情報を通信回線を介して出力する加圧情報出力部を
設けることができる。
【００１０】第３の形態として、第１または第２の形態
で前記加圧設定値が加圧の圧力と加圧時間である端面研
磨装置にある。
【００１１】第４の形態として、予めコンピュータ上に
記憶された複数のフェルール種別から、一つのフェルー
ルを選択するためのフェルール種別入力部と、予め前記
コンピュータ上に記憶された複数のフェルール端面形状
から、一つの端面形状を選択する端面形状入力部と、予
め前記コンピュータ上に記憶された複数のコネクタ種別
から、一つのコネクタを選択するためのコネクタ種別入
力部と、研磨治具に取り付けるフェルールの本数を予め
前記コンピュータ上に記憶された本数から選択するため
の研磨本数入力部と、前記フェルール種別入力部と前記
端面形状選択部と前記コネクタ種別入力部と前記研磨本
数入力部から入力される研磨情報から前記コンピュータ
上に記憶された研磨圧力情報を選択し、前記研磨圧力情
報をフェルール研磨装置に送信する送信部を有するフェ
ルール研磨制御装置にある。
【００１２】第５の形態として、予めコンピュータ上に
記憶された複数のフェルール種別から、一つのフェルー
ルを選択する工程と、予め前記コンピュータ上に記憶さ
れた複数のフェルール端面形状から、一つの端面形状を
選択する工程と、予め前記コンピュータ上に記憶された
複数のコネクタ種別から、一つのコネクタを選択する工
程と、研磨治具に取り付けるフェルールの本数を予め前
記コンピュータ上に記憶された本数から選択する工程
と、前記フェルール種別入力手段と前記端面形状選択手
段と前記コネクタ種別入力手段と前記研磨本数入力手段
から入力される研磨情報から前記コンピュータ上に記憶
された研磨圧力情報を選択し、フェルールの端面研磨を
行うフェルール研磨方法。
【００１３】第６の形態として、予めコンピュータ上に
記憶された複数のフェルール種別から、一つのフェルー
ルを選択する工程と、予め前記コンピュータ上に記憶さ
れた複数のフェルール端面形状から、一つの端面形状を
選択する工程と、予め前記コンピュータ上に記憶された
複数のコネクタ種別から、一つのコネクタを選択する工
程と、研磨治具に取り付けるフェルールの本数を予め前
記コンピュータ上に記憶された本数から選択する工程
と、前記フェルール種別入力手段と前記端面形状選択手
段と前記コネクタ種別入力手段と前記研磨本数入力手段
から入力される研磨情報から前記コンピュータ上に記憶
された研磨圧力情報を選択し、フェルールの端面研磨を
行うフェルール研磨プログラムにある。
【００１４】本発明の第７の形態として、少なくとも１
本の棒状部材を支持する治具と、自公転運動を行う研磨
定盤と、前記棒状部材の端面を研磨するために前記研磨
定盤上に配置された研磨シートと、前記棒状部材の端面
を前記研磨部材に押圧する加圧部と、前記研磨シートと
前記研磨定盤の間に弾性部材を有し、前記弾性部材の温
度制御手段を有する端面研磨装置にある。
【００１５】第８の形態として、第７の形態に前記温度
制御手段が加熱手段であることにある。
【００１６】第９の形態として、第７の形態に前記温度
制御手段が冷却手段であることにある。
【００１７】さらにこの発明は、研磨定盤と、前記研磨
定盤上に固定された棒状部材の端面を研磨シートに押圧
する加圧部と、前記加圧部の圧力を制御する加圧制御部
とからなる研磨装置と、前記研磨装置と通信回線で接続
されたコンピュータからなる研磨システムとした。
【００１８】さらに、前記コンピュータが前記加圧制御
部で制御する加圧圧力の設定値と実測値の表示を行う研
磨システムとした。
【００１９】また、前記コンピュータが前記加圧制御部
で制御する加圧圧力の設定値の制御を行う研磨システム
とした。
【００２０】また、前記コンピュータが前記棒状部材の
本数を入力する手段と入力された本数の表示手段を有す
る研磨システムとした。
【００２１】また、前記コンピュータが前記棒状部材を
配置するコネクタの種別を入力し表示する手段を有する
研磨システムとした。
【００２２】そして、前記コンピュータが前記棒状部材
の形状を示す種別と形状を入力する手段と表示する手段
を有する研磨システムとした。
【００２３】そして、前記コンピュータが前記棒状部材
の端面形状を入力する手段と表示する手段を有する研磨
システムとした。
【００２４】そして、前記コンピュータが複数の研磨工
程の処理条件を入力し、表示する手段を有する研磨シス
テムとした。
【００２５】そして、前記処理条件が研磨時間である、
研磨システムとした。
【００２６】そして、前記処理条件が前記複数の研磨工
程の実施しされている工程を示す表示である研磨システ
ムとした。
【００２７】さらに、前記処理条件が前記研磨工程の残
り時間である研磨システムとした。
【００２８】また、前記処理条件が加圧圧力である研磨
システムとした。
【００２９】そして、前記処理条件が加圧圧力の実測値
である研磨システムとした。
【００３０】さらに、前記処理条件が研磨定盤の回転数
である研磨システムとした。
【００３１】また、上面に研磨シートを有すう研磨定盤
と前記研磨シート研磨シートを加熱する加熱手段を有す
る端面研磨装置とした。
【００３２】上面に研磨シートを有する研磨定盤と前記
研磨シート研磨シートを加熱する加熱手段からなり、前
記加熱手段により前記研磨シートの硬さを制御する研磨
方法を用いた。
【００３３】研磨シートに棒状部材の端面を押圧する圧
力を周期的に変化させる手段と、前記加圧圧力と前記付
加圧力の差を検出する手段を有する研磨装置とした。
【００３４】前記差が大きさの差である研磨装置とし
た。前記差が位相差である研磨装置とした。
【００３５】研磨シートに棒状部材の端面を押圧する前
記研磨シートの厚み方向の凹み量を周期的に変化させる
手段と、前記凹み量と前記付加圧力の差を検出する研磨
装置とした。
【００３６】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。図１は、本発明の一実施の形態に係る端面
研磨装置の正面図、図２は、本発明の一実施の形態に係
る端面研磨装置の側面図、図３は、本発明の一実施の形
態に係る端面研磨装置の加圧制御部のブロック図、図４
は、本発明の一実施の形態に係る端面研磨装置の治具盤
にフェルールが固定された状態を示す平面図である。
【００３７】図１において、自転または公転または揺動
の１種または、組合わせにより運動する研磨定盤６０の
上面に、弾性変形する研磨シート７０を配置する。次
に、研磨シート７０の上部に両端にフェルールＷを着脱
可能に固定する治具盤５０を配置し、フェルールＷの端
面が研磨シート７０の表面に接するようにする。ここ
で、治具盤５０はレバー１０の一端に接続され、下方に
加圧され、フェルール５の端面が研磨シートに加圧され
る。
【００３８】次にレバー１０の治具盤５０に接続された
端部と反対の端部近傍に、レバー１０を下方から押し上
げる下部バネ２４を配置する。そして、レバー１０の下
部バネ２４と向かい合う位置の上部に治具盤５０を加圧
する圧力を検出するための圧力センサー２３を配置す
る。ここでは、圧力センサーとして、ロードセルを使用
する。
【００３９】そして、圧力センサー２３の上面に加圧ヘ
ッドの下端部が接するように配置し、加圧ヘッド２１の
上部に加圧ヘッド２１を押圧する上部バネ２２を配置す
る。本願発明においては、レバー１０の上面と下面をそ
れぞれ下部バネ２４と上部バネ２２で圧縮するようにし
たので、下部バネ２４によりレバー１０またはレバー１
０および治具盤５０を合わせた荷重をキャンセルして、
ゼロバランスを取ることができる。その結果、レバー１
０の上部から加圧する荷重のみを圧力センサ２３によ
り、検出することができる。従って、レバー１０や治具
盤５０の種類やフェルール５の種類や本数を変えても、
研磨荷重を正確に検出することができる。
【００４０】図中、レバー１０、上部バネ２２、加圧ヘ
ッド２１、圧力センサ２３、下部バネは、加圧部２０の
一部を構成している。
【００４１】ここで、研磨シート７０下部には、ゴムシ
ートからなる弾性部材７１が配置され、凸球面の形成に
使用する、そして、弾性部材の下部や研磨定盤６０近傍
にシリコンラバーヒータやフィルムヒータなどのヒータ
６１を配置することにより、ゴムシートの温度を一定に
することができ、ゴムシートの硬さを軟らかくまたは硬
く変化させることができ、研磨条件の変更や加圧条件の
変更、仕上げや粗研磨の条件の変更が可能である。また
経時的なゴムシートの弾性の変化を調整し寿命を延ばす
ことも可能である。ゴムシートの変形量を変化させるこ
とにより、棒状部材の端面形状を平坦や凸球面とするこ
とができ、フラット研磨、ＡＰＣ研磨、ＰＣ研磨が可能
になる。また、ヒータ６１の代わりに、水や冷媒を内部
に流通させた冷却パイプやビスマステルル系のペルチェ
素子からなる冷却装置６２を配置し、ゴムシートを冷却
し、硬度変化をさせることも可能である。この他に、治
具盤５０の上部から赤外線ヒータや、冷却パイプを配置
し温度制御することも可能である。さらに、冷却と加熱
の両方の機構を設け、より正確にかつ大きな温度範囲で
温度制御を行うことにより、端面形状を精密に仕上げる
ことができる。
【００４２】次に図２に加圧部２０を示す。加圧部２０
は、レバー１０を上下するための機構を有し、レバー１
０は、圧力を検出するための圧力センサ２３を介して、
加圧ヘッド２４に接続され、ネジ２６の回転により加圧
ヘッド２１とレバー１０が上下方向に移動する。そし
て、レバー１０を加圧する力を治具盤５０に伝える働き
をする。
【００４３】また、レバー１０は、正確に上下に移動す
るようにガイド２８を設ける。ガイド２８は、上部バネ
２２や下部バネ２４の軸と平行に配置したリニアガイド
を使用する。これにより、レバー１０の横方向のぶれに
よる圧力を検出することが無くなり、Ｓ／Ｎ比を向上す
ることができる。
【００４４】ネジ２６は、モータ２５の回転をシャフト
２５ａと、プーリ２７ａとベルト２９とプーリ２７ｂを
介して、伝達し、回転する。そして、レバー１０を上下
に移動する。モータ２５の回転により付加される荷重は
圧力センサ２３により検出され、加圧制御部４０により
モータ２５を駆動する電力の供給し、加圧制御回路を構
成する。
【００４５】図３は、加圧制御部４０を示した図で、圧
力センサ２３の出力をＡ／Ｄコンバーター３３により変
換し、制御プログラム記憶する第１の記憶装置３４や設
定圧力を記憶する第２の記憶装置３５や、これらの検出
値と予め設定された圧力値を比較演算しモータ２５を駆
動するための出力データーを求めるためのＣＰＵ３６
と、ＣＰＵ３６の出力をＤ／Ａコンバータ３６により変
換し、その出力をドライバ４４に入力し、モータ２５を
駆動する電力を出力する。ここでＣＰＵ３６はシリアル
インターフェース３７に接続され、ＲＳ−２３２Ｃ、Ｕ
ＳＢ、１００baseなどの接続で、ＴＣＰ／ＩＰなどのプ
ロトコールや無線ＬＡＮ、ブルーツースなどにより研磨
制御装置３８やサーバーとの接続を行う。これにより、
研磨装置に研磨条件のプログラムや研磨条件をダウンロ
ードし、ユーザーの条件に最適な研磨条件を配信するこ
とができる。
【００４６】本願発明によれは、フェルール端部に加わ
る圧力を所定の設定値になるように制御することがで
き、その結果研磨中のフェルール端部に加わる荷重を一
定にすることができる。
【００４７】さらに、フェルールの研磨初期状態におい
て、フェルール端部から光ファイバの端部が露出した状
態では、荷重を小さくし、光ファイバの端面とフェルー
ルの端面がほぼ同一平面となり、光ファイバ端部の割れ
や欠けが生じなくなった所で、研磨の荷重を増加し、高
速に研磨することができる。ここで、荷重の切替は、加
圧制御部４０の内部のタイマーで指定する方法や、リア
ルタイムクロックの値を演算する方法も可能である。さ
らに、モータ２５の電流や、研磨定盤６０を駆動するモ
ータの電流を検出し、モータの駆動負荷からフェルール
端部の研磨開始、すなわち光ファイバ端部の初期的な研
磨が終了しフェルールと同一面となった状態、を検出す
ることも可能である。
【００４８】また、別の研磨状態検出の方法として、モ
ータ２５の駆動と圧力センサ２３の出力の関係から、ネ
ジ２６の送り量と圧力変化の関係からフェルール端部の
研磨シート７０への接触状態を判断することができる。
この方法によって、前述の光ファイバの端面とフェルー
ル端面が一致した点の検出や、光ファイバの割れや欠け
の発生を検出し、指定の数値以上の圧力値が検出された
場合、異常と判断し研磨装置の運転を停止し、不良品の
研磨によるむだな時間を減少することができる。
【００４９】また、設定する研磨荷重に関する圧力の値
を、粗仕上げ時には大きく、中仕上げ、密仕上げと工程
が進むに従って、下げて研磨速度の向上と、研磨傷の発
生を防止することができる。
【００５０】この他に、研磨剤の種類、研磨剤の粒径、
フェルールの材質、フェルールの先端形状、フェルール
の径の違いにより、設定する圧力を変えることが可能で
あり、目的とする最適な研磨条件を選択することができ
る。
【００５１】さらに、加圧の圧力を微小に変動し、自由
減衰振動や強制振動によフェルールの垂直方向に変移を
与えるか、圧力変動を与え、縦方向に変調をかけること
により、変調の周波数と圧力変化の大きさや位相のずれ
による、弾性率や複素弾性率や動的弾性率の変化によ
り、研磨シートの劣化状態や、研磨状態の変化を監視す
ることができる。さらに、研磨シートの近傍の温度をヒ
ーターにより一定にすることにより、上述の変調の周波
数Ｆの対数ＬＯＧ（Ｆ）と温度の絶対値Ｔの逆数１／
（Ｔ）との関係から、弾性率の変化による研磨モニター
ができ、研磨状態のばらつきを減少することができ、遠
隔地から歩留の管理ができる。
【００５２】図４は、本願発明の治具盤５０を示した図
で、六角形の各辺にそれぞれ２本づつのフェルール５を
固定ブロック５１により挟み、固定している。
【００５３】図５は、本願発明の研磨システムの操作装
置の表示部を示す図で、タイトル１００の左下に、同時
に研磨するフェルールの本数を示す本数表示部２００に
６本から１６本またはそれ以外の本数を入力する入力ボ
タン２０１、２０２、２０３、２０４、２０５、２０
６，２０８と本数を示す本数表示２１０がある。ここ
で、入力ボタン２１０で６本と入力したので、２１０の
Piecesの入力ボタンが赤く表示される。
【００５４】本数表示部２００の下部には、コネクタの
種類を示す種別表示部３００があり、フェルールのみ、
FCコネクタ、SCコネクタ、STコネクタ、MUコネクタ、LC
コネクタとそれ以外を示す種別表示と、それぞれに対応
する入力ボタン３０１、３０２、３０３、３０４、３０
５、３０６、３０７が配置され、フェルールを選択し入
力ボタン３０１が赤く表示される。
【００５５】さらにフェルールの形状示す形式表示部４
００には、Ф１．２５、Ф２．０、Ф２．５のフラッ
ト、Ф２．５のプリドームとその他を示す形式表示４１
０、４１１、４１２、４１３、４１４があり、対応する
入力ボタン４０１、４０２、４０３、４０４０、４０５
で入力すると、選択したボタンが赤くなる。
【００５６】さらに研磨条件を示す条件表示部５００に
は、フラット研磨、アングルフラット研磨、ＡＰＣ研
磨、ＰＣ研磨、ＳＰＣ研磨、ＵＰＣ研磨、ＵＰＣの５５
ｄＢ研磨を示す条件表示と、各条件を選択し表示するた
めの入力ボタン５０１、５０２、５０３、５０４、５０
５、５０６、５０７、５０８がある。
【００５７】そして研磨工程を示す工程表示部６００に
は、工程表６０１が表示され、第１の研磨工程から第５
の研磨工程を示す工程数表示部６１０、６１１、６１
２、６１３、６１４と各工程の処理条件やパラメータを
示す項目表示である、各工程の処理時間を示す研磨時間
６２０、現在実行中の工程を示す実施工程６２１、各項
工程の残り時間を示す残り時間６２２、研磨圧力を設定
する設定圧力６２３、実際に付加される圧力の計測値を
示す加圧実測値６２４、研磨定盤の回転数を示す回転数
６２５の項目が配置されている。
【００５８】そして、条件入力表示部６５０には設定す
る研磨条件と実際の数値を示す値が表示され、入力画面
を兼ね備えている。
【００５９】この他に、異常事態を知らせるアラーム７
００、メッセージ７１０の表示部と、操作の状態を示す
操作状態７２０と、研磨中であることを示す処理中表示
７３０、研磨の終了を示す終了表示７４０と、動作モー
ドの切替を行う手動切替７５０と、オンライン状態を示
すオンライン制御７６０と選択を示す選択表示７７０が
ある。
【００６０】上記の設定を行った後、研磨装置の動作開
始し研磨工程をスタートする開始ボタン８００と停止の
動作を表示を行う停止ボタン８１０がある。
【００６１】研磨条件の入力方法は、はじめにフェルー
ルの形式、例えばφ１．２５ｍｍを選択し、次にフェル
ールの研磨条件をＡＰＣ研磨と選択する。ここで研磨工
程数と各工程の研磨時間が決定される。次に治具に固定
されるフェルールの本数を選択する。以上の操作により
研磨装置で印加する荷重が決定される。
【００６２】この他に、研磨定盤の自転公転の回転速度
を制御する回転制御部と、回転制御部に回転数を入力す
る回転数入力部を設け、研磨圧力、研磨時間のほかに、
研磨定盤の回転数を制御することによりさらに、精密な
端面研磨が可能である。
【００６３】以上、各ボタンでの入力とボタンの表示色
の変更、点灯により、表示する例を示したが、音声の発
生装置の付加や音声認識の処理により、音声入力や音声
によるアナウンス、注意の呼びかけも可能である。
【００６４】また、各表示部のウインドのサイズや配
列、画面の切り替えは事由に行うことが出来、時間ごと
に表示画面を順送りしたり、処理条件を実際の値をグラ
フ表示し、アンダーシュートやオーバーシュートが大き
く設定値からのずれが大きい場合、赤などの線を示し、
変動の状況を見やすくすることができる。また、特段の
異常事態が発生したときは、制御装置から、担当のオペ
レータが所有する携帯電話や、オペレータが所有する別
の端末にｅメイルの送信が可能となり、非常停止が確実
にできるようになる。
【００６５】このように、本実施の形態の端面研磨装置
によれば、フェルールＷの端面の研磨シート７０への押
し付け圧力の制御が可能となり、研磨開始時のフェルー
ルＷの端面への押し付け圧力を低く設定すれば、フェル
ールＷの端面の傷の発生を防止することができる。
【００６６】
【発明の効果】この発明によれば、生産個数等、研磨の
稼動状況が、ＬＡＮまたはインターネットを介して通信
系統に接続されているので、遠隔地から即時に判断制御
可能である。そして、複数の子機をそれぞれ有する工場
の工程管理や生産管理が可能となり、受注から生産まで
全体の時間管理が容易となる。また、受注、決算システ
ムへの接続により、工場全体の生産管理システムが完成
する。
【００６７】さらに、フェルールの材料ロットによる、
原材料の特性のバラツキや、研磨メディアや温度、湿
度、研磨装置のフリクションや治具等のモーメントによ
る変動を微調整し、歩留の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の研磨システムを示す図である。
【図２】本発明の研磨システムを示す図である。
【図３】本発明の加圧制御部のブロック図である。
【図４】本発明の治具盤の上面図である。
【図５】本発明の研磨システムの制御装置の表示部を示
す図である。
【符号の説明】
５ フェルール １０ レバー ２０ 加圧部 ２１ 加圧ヘッド ２２ 上部バネ ２３ 圧力センサ ２４ 下部バネ ２５ モータ ２５ａ シャフト ２６ ネジ ２７ａ、２７ｂ プーリ ２８ ガイド ２９ ベルト ３３ Ａ／Ｄコンバータ ３４、３５ 記憶装置 ３６ Ｄ／Ａコンバータ ３７ ＣＰＵ ３８ インターフェース ４０ 加圧制御部 ４１ 比較器 ４２ 記憶装置 ４３ 補正器 ４４ ドライバ ５０ 治具盤 ６０ 研磨定盤 ７０ 研磨シート １００ タイトル ２００ 本数表示部 ２０１、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６、２
０８ 入力ボタン ３００ 種別表示部 ３０１，３０２，３０３、３０４、３０５、３０６、３
０７ 入力ボタン ３１０、３１１、３１２、３１３、３１４、３１５ 種
別表示 ４００ 形式表示部 ４０１、４０２、４０３、４０４、４０５ 入力ボタン ４１０、４１１、４１２、４１３ 形式表示 ５００ 条件表示部 ５０１、５０２、５０３、５０４、５０５、５０６、５
０７、５０８ 入力ボタン ５１０、５１１、５１２、５１３、５１４、５１５ 条
件表示 ６００ 工程表示部 ６０１ 工程表 ６１０、６１１、６１２、６１３、６１４ 工程数表示
部 ６２０ 研磨時間 ６２１ 実施工程 ６２２ 残り時間 ６２３ 設定圧力 ６２４ 加圧実測値 ６２５ 回転数 ６５０ 条件入力表示部 ７００ アラーム ７１０ メッセージ ７２０ 操作状態 ７３０ 処理中表示 ７４０ 終了表示 ７５０ 手動切替 ７６０ オンライン制御 ７７０ 選択表示 ８００ 開始ボタン ８１０ 停止ボタン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 榎本 義隆 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 Ｆターム(参考） 3C043 BC00 CC04 3C049 AA04 AA12 AB03 AB08 BA02 BB06 BB08 BC01 BC03 CB01 CB03 5H269 AB07 BB07 KK05

Claims (28)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 少なくとも１本の棒状部材を支持する治
    具と、 自公転運動を行う研磨定盤と、 前記棒状部材の端面を研磨するために前記研磨定盤上に
    配置された研磨シートと、 前記棒状部材の端面を前記研磨部材に押圧する加圧部
    と、 前記加圧部の圧力を制御する加圧制御部と、 前記加圧制御部に通信回線を介して加圧設定値を入力す
    る加圧情報入力部を有する端面研磨装置。
  2. 【請求項２】 前記押圧の圧力を検出する圧力検出部
    と、 前記圧力検出部の圧力情報を通信回線を介して出力する
    加圧情報出力部を有する請求項１記載の端面研磨装置。
  3. 【請求項３】 前記加圧設定値が加圧の圧力と加圧時間
    である請求項１記載の端面研磨装置。
  4. 【請求項４】 予めコンピュータ上に記憶された複数の
    フェルール種別から、一つのフェルールを選択するため
    のフェルール種別入力部と、 予め前記コンピュータ上に記憶された複数のフェルール
    端面形状から、一つの端面形状を選択する端面形状入力
    部と、 予め前記コンピュータ上に記憶された複数のコネクタ種
    別から、一つのコネクタを選択するためのコネクタ種別
    入力部と、 研磨治具に取り付けるフェルールの本数を予め前記コン
    ピュータ上に記憶された本数から選択するための研磨本
    数入力部と、 前記フェルール種別入力部と前記端面形状選択部と前記
    コネクタ種別入力部と前記研磨本数入力部から入力され
    る研磨情報から前記コンピュータ上に記憶された研磨圧
    力情報を選択し、前記研磨圧力情報をフェルール研磨装
    置に送信する送信部を有するフェルール研磨制御装置。
  5. 【請求項５】 予めコンピュータ上に記憶された複数の
    フェルール種別から、一つのフェルールを選択する工程
    と、 予め前記コンピュータ上に記憶された複数のフェルール
    端面形状から、一つの端面形状を選択する工程と、 予め前記コンピュータ上に記憶された複数のコネクタ種
    別から、一つのコネクタを選択する工程と、 研磨治具に取り付けるフェルールの本数を予め前記コン
    ピュータ上に記憶された本数から選択する工程と、 前記フェルール種別入力手段と前記端面形状選択手段と
    前記コネクタ種別入力手段と前記研磨本数入力手段から
    入力される研磨情報から前記コンピュータ上に記憶され
    た研磨圧力情報を選択し、フェルールの端面研磨を行う
    フェルール研磨方法。
  6. 【請求項６】 予めコンピュータ上に記憶された複数の
    フェルール種別から、一つのフェルールを選択する工程
    と、 予め前記コンピュータ上に記憶された複数のフェルール
    端面形状から、一つの端面形状を選択する工程と、 予め前記コンピュータ上に記憶された複数のコネクタ種
    別から、一つのコネクタを選択する工程と、 研磨治具に取り付けるフェルールの本数を予め前記コン
    ピュータ上に記憶された本数から選択する工程と、 前記フェルール種別入力手段と前記端面形状選択手段と
    前記コネクタ種別入力手段と前記研磨本数入力手段から
    入力される研磨情報から前記コンピュータ上に記憶され
    た研磨圧力情報を選択し、フェルールの端面研磨を行う
    フェルール研磨プログラム。
  7. 【請求項７】 少なくとも１本の棒状部材を支持する治
    具と、 自公転運動を行う研磨定盤と、 前記棒状部材の端面を研磨するために前記研磨定盤上に
    配置された研磨シートと、 前記棒状部材の端面を前記研磨部材に押圧する加圧部
    と、前記研磨シートと前記研磨定盤の間に弾性部材を有
    し、前記弾性部材の温度制御手段を有する端面研磨装
    置。
  8. 【請求項８】 前記温度制御手段が加熱手段である請求
    項７記載の端面研磨装置。
  9. 【請求項９】 前記温度制御手段が冷却手段を有する請
    求項７記載の端面研磨装置。
  10. 【請求項１０】 研磨定盤上に弾性部材を介して研磨シ
    ートを配置し、 前記研磨シートの表面に棒状部材の端面を押圧し前記研
    磨シートと前記棒状部材を相対的に自公転運動し、 前記弾性部材の温度制御を行う棒状部材の研磨方法。
  11. 【請求項１１】 研磨定盤と、 前記研磨定盤上に配置された研磨シートに棒状部材の端
    面を押圧する加圧部と、前記加圧部の圧力を制御する加
    圧制御部とからなる研磨装置と、前記研磨装置と通信回
    線で接続され前記加圧制御部に加圧情報を送信するコン
    ピュータからなる研磨システム。
  12. 【請求項１２】 前記コンピュータが前記加圧制御部で
    制御する加圧圧力の設定値と実測値の表示を行う請求項
    １１記載の研磨システム。
  13. 【請求項１３】 前記コンピュータが前記加圧制御部で
    制御する加圧圧力の設定値の制御を行う請求項１１記載
    の研磨システム。
  14. 【請求項１４】 前記コンピュータが前記棒状部材の本
    数を入力する手段と入力された本数の表示手段を有する
    請求項１１記載の研磨システム。
  15. 【請求項１５】 前記コンピュータが前記棒状部材を配
    置するコネクタの種別を入力し表示する手段を有する請
    求項１１記載の研磨システム。
  16. 【請求項１６】 前記コンピュータが前記棒状部材の形
    状を示す種別と形状を入力する手段と表示する手段を有
    する請求項１１記載の研磨システム。
  17. 【請求項１７】 前記コンピュータが前記棒状部材の端
    面形状を入力する手段と表示する手段を有する請求項１
    １記載の研磨システム。
  18. 【請求項１８】 前記コンピュータが複数の研磨工程の
    処理条件を入力し、表示する手段を有する請求項１１記
    載の研磨システム。
  19. 【請求項１９】 前記処理条件が研磨時間である、請求
    項１８記載の研磨システム。
  20. 【請求項２０】 前記処理条件が前記複数の研磨工程の
    実施されている工程を示す表示である請求項１８記載の
    研磨システム。
  21. 【請求項２１】 前記処理条件が前記研磨工程の残り時
    間である請求項１８記載の研磨システム。
  22. 【請求項２２】 前記処理条件が加圧圧力である請求項
    １８記載の研磨システム。
  23. 【請求項２３】 前記処理条件が加圧圧力の実測値であ
    る請求項１８記載の研磨システム。
  24. 【請求項２４】 前記処理条件が研磨定盤の回転数であ
    る請求項１８記載の研磨システム。
  25. 【請求項２５】 研磨シートに棒状部材の端面を押圧す
    る圧力を周期的に変化させる手段と、前記加圧圧力と前
    記付加圧力の差を検出する手段を有する研磨装置。
  26. 【請求項２６】 前記差が圧力の大きさの差である請求
    項２５記載の研磨装置。
  27. 【請求項２７】 前記差が圧力の位相差である請求項２
    ５記載の研磨装置。
  28. 【請求項２８】 研磨シートに棒状部材の端面を押圧す
    る前記研磨シートの厚み方向の凹み量を周期的に変化さ
    せる手段と、前記凹み量と前記付加圧力の差を検出する
    研磨装置。
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