CN113635164A - 一种抛光机的高精度的加压装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种抛光机的高精度的加压装置，包括伺服电机、丝杆、传动装置、弹簧、传感器和施压单元，伺服电机底部输出端与丝杆进行传动连接，丝杆上安装有传动装置，传动装置的侧端上安装有弹簧，弹簧上安装有传感器，传动装置与施压单元进行传动连接。本发明可以实现0压力接触以及精准的压力控制，并且设置的传感器可以检测弹簧的形变而产生的压力变化，电机驱动丝杠压缩弹簧可以产生微量的形变，从而实现精准的压力控制。

Description

一种抛光机的高精度的加压装置
技术领域
本发明涉及抛光机相关领域，具体是一种抛光机的高精度的加压装置。
背景技术
现有技术采用伺服电机的传动方式进行，因为运动组件之间有摩擦力，气压需要先克服摩擦力，使得通过气压的变化改变压力的精度不高。
软脆或较薄的半导体晶片在研磨或抛光加工的时候，为了减少破片率，需要使用很小的压力，这样使得较小压力的加压装置精度不高，影响产品的成品率。
发明内容
因此，为了解决上述不足，本发明在此提供一种抛光机的高精度的加压装置。
本发明是这样实现的，构造一种抛光机的高精度的加压装置，该装置包括伺服电机、丝杆、传动装置、弹簧、传感器和施压单元，所述伺服电机底部输出端与丝杆进行传动连接，所述丝杆上安装有传动装置，所述传动装置的侧端上安装有弹簧，所述弹簧上安装有传感器，所述传动装置与施压单元进行传动连接。
优选的，所述弹簧共安装有两个。
优选的，两个所述弹簧上下平行对称设置，分别安装于传动装置上下两端。
优选的，所述传感器共设置有两个。
优选的，两个所述传感器上下对称设置，并与两个弹簧对应设置，分别对应安装于两个弹簧上。
优选的，所述传动装置与丝杆进行传动连接。
优选的，所述施压单元与传动装置同步运行。
本发明具有如下优点：本发明通过改进在此提供一种抛光机的高精度的加压装置，与同类型设备相比，具有如下改进：
优点：本发明所述一种抛光机的高精度的加压装置，可以实现0压力接触以及精准的压力控制，并且设置的传感器可以检测弹簧的形变而产生的压力变化，电机驱动丝杠压缩弹簧可以产生微量的形变，从而实现精准的压力控制。
附图说明
图1是本发明结构示意图；
图2是本发明图1中A处放大结构示意图。
其中：伺服电机-1、丝杆-2、传动装置-3、弹簧-4、传感器-5、施压单元-6。
具体实施方式
下面将结合附图1-2对本发明进行详细说明，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明通过改进在此提供一种抛光机的高精度的加压装置，包括伺服电机1、丝杆2、传动装置3、弹簧4、传感器5和施压单元6，所述伺服电机1底部输出端与丝杆2进行传动连接，所述丝杆2上安装有传动装置3，所述传动装置3的侧端上安装有弹簧4，所述弹簧4上安装有传感器5，所述传动装置3与施压单元6进行传动连接。
进一步的，所述弹簧4共安装有两个，两个弹簧4上下平行对称设置，分别安装于传动装置3上下两端，用于同时作用于传动装置3上下两端。
进一步的，所述传感器5共设置有两个，两个传感器5上下对称设置，并与两个弹簧4对应设置，分别对应安装于两个弹簧4上，设置的两个传感器5可同时检测两个弹簧4的形变。
进一步的，所述传动装置3与丝杆2进行传动连接，可由丝杆2带动传动装置3。
进一步的，所述施压单元6与传动装置3同步运行，而由传动装置3带动施压单元6。
本发明通过改进提供一种抛光机的高精度的加压装置，其工作原理如下；
第一，在伺服电机1底部输出端与丝杆2进行传动连接，通过伺服电机1连接外部气压设备后，由伺服电机控制丝杆2进行运动；
第二，在丝杆2上安装有传动装置3，该丝杆2运动后，则带动传动装置3进行运动；
第三，在传动装置3的上下两端均安装有一弹簧4，病区两个弹簧4上下平行对称设置，用于同时作用于传动装置3上下两端；
第四，在两个弹簧4上均安装有一传感器5，通过设置的两个传感器5可同时检测两个弹簧4的形变；
第五，该传动装置3与施压单元6进行传动连接，使施压单元6与传动装置3同步运行，使得施压单元6产生精确的压力或精确的0压力。
本发明通过改进提供一种抛光机的高精度的加压装置，可以实现0压力接触以及精准的压力控制，并且设置的传感器5可以检测弹簧4的形变而产生的压力变化，电机驱动丝杠2压缩弹簧4可以产生微量的形变，从而实现精准的压力控制。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点，并且本发明使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述。
对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (7)

1.一种抛光机的高精度的加压装置，其特征在于：包括伺服电机(1)、丝杆(2)、传动装置(3)、弹簧(4)、传感器(5)和施压单元(6)，所述伺服电机(1)底部输出端与丝杆(2)进行传动连接，所述丝杆(2)上安装有传动装置(3)，所述传动装置(3)的侧端上安装有弹簧(4)，所述弹簧(4)上安装有传感器(5)，所述传动装置(3)与施压单元(6)进行传动连接。
2.根据权利要求1所述一种抛光机的高精度的加压装置，其特征在于：所述弹簧(4)共安装有两个。
3.根据权利要求2所述一种抛光机的高精度的加压装置，其特征在于：两个所述弹簧(4)上下平行对称设置，分别安装于传动装置(3)上下两端。
4.根据权利要求1所述一种抛光机的高精度的加压装置，其特征在于：所述传感器(5)共设置有两个。
5.根据权利要求4所述一种抛光机的高精度的加压装置，其特征在于：两个所述传感器(5)上下对称设置，并与两个弹簧(4)对应设置，分别对应安装于两个弹簧(4)上。
6.根据权利要求1所述一种抛光机的高精度的加压装置，其特征在于：所述传动装置(3)与丝杆(2)进行传动连接。
7.根据权利要求1所述一种抛光机的高精度的加压装置，其特征在于：所述施压单元(6)与传动装置(3)同步运行。
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