JPH11273137A - 近視野光ヘッド - Google Patents
近視野光ヘッドInfo
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- JPH11273137A JPH11273137A JP10075417A JP7541798A JPH11273137A JP H11273137 A JPH11273137 A JP H11273137A JP 10075417 A JP10075417 A JP 10075417A JP 7541798 A JP7541798 A JP 7541798A JP H11273137 A JPH11273137 A JP H11273137A
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- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/22—Apparatus or processes for the manufacture of optical heads, e.g. assembly
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/122—Flying-type heads, e.g. analogous to Winchester type in magnetic recording
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/123—Integrated head arrangements, e.g. with source and detectors mounted on the same substrate
- G11B7/124—Integrated head arrangements, e.g. with source and detectors mounted on the same substrate the integrated head arrangements including waveguides
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- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Optical Head (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 機械的強度を向上させてヘッドの信頼性を向
上すること。 【解決手段】 ヘッド先端部２２のエッジ部２３は、ヘ
ッドの底面２４と側面２５とが交差する辺２６によって
構成されている。前記底面２４と側面２５とは略垂直に
交差している。このエッジ部２３を微視的（ｎｍレベ
ル）に観ると、エッジ部２３は曲面を持つ。この曲率半
径Ｒｔと再生可能なビットサイズとが対応しており、曲
率半径Ｒｔが小さいほど（シャープなほど）高密度記録
を行うことができる。このエッジ部２３は、Ｓｉの異方
性エッチングを用いて形成すれば結晶面で決まる角度で
作製することができる。
上すること。 【解決手段】 ヘッド先端部２２のエッジ部２３は、ヘ
ッドの底面２４と側面２５とが交差する辺２６によって
構成されている。前記底面２４と側面２５とは略垂直に
交差している。このエッジ部２３を微視的（ｎｍレベ
ル）に観ると、エッジ部２３は曲面を持つ。この曲率半
径Ｒｔと再生可能なビットサイズとが対応しており、曲
率半径Ｒｔが小さいほど（シャープなほど）高密度記録
を行うことができる。このエッジ部２３は、Ｓｉの異方
性エッチングを用いて形成すれば結晶面で決まる角度で
作製することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、近視野光ヘッド
に関し、更に詳しくは、ヘッド構造を工夫して分解能を
高く且つ機械的強度を強くできるようにし、製造容易で
あってエバネッセント場の散乱効率を高くできるように
した近視野光ヘッドに関する。
に関し、更に詳しくは、ヘッド構造を工夫して分解能を
高く且つ機械的強度を強くできるようにし、製造容易で
あってエバネッセント場の散乱効率を高くできるように
した近視野光ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】現在、ＣＤおよびＣＤ−ＲＯＭに代表さ
れる再生専用型の情報再生デバイスが広く普及してい
る。これらの情報再生デバイスでは、光を用いて光ディ
スクに記録された情報の再生を行っている。例えばＣＤ
においては、その表面に、再生の際に使用されるレーザ
光の波長程度のサイズ及びその波長の４分の１程度の深
さを有したピットが凹凸情報として記録されており、そ
の情報を再生するのに光の干渉現象が利用されている。
レーザ光のスポットがピットに照射されると、ピットの
深さが４分の１波長であるために、ピットの底面におい
て反射された反射光とピット外の面上において反射され
た反射光との光路差は、照射されたレーザ光の２分の１
波長となる。このため、ピット外の面上にレーザ光のス
ポットを照射した場合に比較して得られる反射光は弱く
なる。このように、反射光の強弱を検出することによっ
てピットの有無を判断し、光ディスクに記録された情報
の再生を達成している。
れる再生専用型の情報再生デバイスが広く普及してい
る。これらの情報再生デバイスでは、光を用いて光ディ
スクに記録された情報の再生を行っている。例えばＣＤ
においては、その表面に、再生の際に使用されるレーザ
光の波長程度のサイズ及びその波長の４分の１程度の深
さを有したピットが凹凸情報として記録されており、そ
の情報を再生するのに光の干渉現象が利用されている。
レーザ光のスポットがピットに照射されると、ピットの
深さが４分の１波長であるために、ピットの底面におい
て反射された反射光とピット外の面上において反射され
た反射光との光路差は、照射されたレーザ光の２分の１
波長となる。このため、ピット外の面上にレーザ光のス
ポットを照射した場合に比較して得られる反射光は弱く
なる。このように、反射光の強弱を検出することによっ
てピットの有無を判断し、光ディスクに記録された情報
の再生を達成している。
【０００３】上述したレーザ光の照射系や検出系には、
従来の光学顕微鏡において用いられているレンズ光学系
が使用されている。ところが、光の回折限界のためにレ
ーザ光のスポットサイズを２分の１波長以下にすること
はできない。一方、光ディスクの情報記録密度を増加さ
せるには、ピットのサイズを小さくし、トラックピッチ
を狭めなければならない。このため、情報記録単位をレ
ーザ光の波長よりも小さなサイズとすると、従来の情報
再生装置では対応することができなくなる。
従来の光学顕微鏡において用いられているレンズ光学系
が使用されている。ところが、光の回折限界のためにレ
ーザ光のスポットサイズを２分の１波長以下にすること
はできない。一方、光ディスクの情報記録密度を増加さ
せるには、ピットのサイズを小さくし、トラックピッチ
を狭めなければならない。このため、情報記録単位をレ
ーザ光の波長よりも小さなサイズとすると、従来の情報
再生装置では対応することができなくなる。
【０００４】このような問題点に鑑み、近年では近視野
光学顕微鏡の技術を利用した光メモリが提案されてい
る。近視野光学顕微鏡とは、例えば、照射されるレーザ
光の波長以下、例えばその波長の１／１０程度の径の微
小開口を有するプローブを使用し、近視野光（物質表面
から光波長以下の領域に存在する光のうちの非伝搬成
分：エバネッセント場）を利用して試料の微小な表面構
造や光学特性分布を観察するものである。係る近視野光
学顕微鏡では、試料裏面から伝搬光を照射することで試
料表面に近視野光を生じさせると共にプローブの微小開
口と試料表面とをプローブの微小開口の径程度まで近接
させ、近視野光を微小開口で散乱させることにより当該
微小開口から伝搬光として取り出す。試料表面に生じた
近視野光は、試料表面の微細構造や光学特性分布を反映
した強度や位相を伴っており、この取り出した伝搬光を
光検出器にて処理することで、従来の光学顕微鏡におい
て実現し得なかった分解能を持つ観察を可能としてい
る。
光学顕微鏡の技術を利用した光メモリが提案されてい
る。近視野光学顕微鏡とは、例えば、照射されるレーザ
光の波長以下、例えばその波長の１／１０程度の径の微
小開口を有するプローブを使用し、近視野光（物質表面
から光波長以下の領域に存在する光のうちの非伝搬成
分：エバネッセント場）を利用して試料の微小な表面構
造や光学特性分布を観察するものである。係る近視野光
学顕微鏡では、試料裏面から伝搬光を照射することで試
料表面に近視野光を生じさせると共にプローブの微小開
口と試料表面とをプローブの微小開口の径程度まで近接
させ、近視野光を微小開口で散乱させることにより当該
微小開口から伝搬光として取り出す。試料表面に生じた
近視野光は、試料表面の微細構造や光学特性分布を反映
した強度や位相を伴っており、この取り出した伝搬光を
光検出器にて処理することで、従来の光学顕微鏡におい
て実現し得なかった分解能を持つ観察を可能としてい
る。
【０００５】また、近視野光学顕微鏡の分野では、先端
に先鋭化処理を施したＡＦＭカンチレバーを用いる方式
も多く用いられている。文献「Hulst et al., Appl. Ph
ys.Lett. (1993) Vol. 62, p461」、文献「Hulst et a
l., SPIE (1992) Vol.1639,p36 」、特開平６−１６０
７１９号公報、および、ＰＣＴ国際出願公報ＷＯ９５／
０３５６１には、光透過性のチップをＡＦＭカンチレバ
ー先端に形成する技術が記載されている。また、文献
「Zenhausern et al., Appl.Phys.Lett.(1994) Vol.65,
p1623」、文献「Bachelot et al., Ultramicroscopy (1
995) Vol.61, p111」、および、近接場光学研究グルー
プ予稿（近接場光学研究グループ第４回研究討論会予稿
「金属プローブを用いた反射型ニアフィールド光学顕微
鏡と微細構造をもつ半導体試料の観察」１９９５，ｐ５
３）には、光を透過しないチップでＡＦＭカンチレバー
を形成する技術が記載されている。
に先鋭化処理を施したＡＦＭカンチレバーを用いる方式
も多く用いられている。文献「Hulst et al., Appl. Ph
ys.Lett. (1993) Vol. 62, p461」、文献「Hulst et a
l., SPIE (1992) Vol.1639,p36 」、特開平６−１６０
７１９号公報、および、ＰＣＴ国際出願公報ＷＯ９５／
０３５６１には、光透過性のチップをＡＦＭカンチレバ
ー先端に形成する技術が記載されている。また、文献
「Zenhausern et al., Appl.Phys.Lett.(1994) Vol.65,
p1623」、文献「Bachelot et al., Ultramicroscopy (1
995) Vol.61, p111」、および、近接場光学研究グルー
プ予稿（近接場光学研究グループ第４回研究討論会予稿
「金属プローブを用いた反射型ニアフィールド光学顕微
鏡と微細構造をもつ半導体試料の観察」１９９５，ｐ５
３）には、光を透過しないチップでＡＦＭカンチレバー
を形成する技術が記載されている。
【０００６】以上のような近視野光学技術を光メモリに
応用することにより、レーザ光の波長以下の情報記録単
位で構成した光ディスクから情報を検出することができ
る。
応用することにより、レーザ光の波長以下の情報記録単
位で構成した光ディスクから情報を検出することができ
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記微
小開口を形成する方法では、微小開口の形成が困難であ
り、開口を形成できる大きさに限界があるため、数十ｎ
ｍ以下まで分解能を向上させることが困難であるという
問題点があった。一方、上記ＡＦＭカンチレバーを用い
る方法では、先端を先鋭化処理しているため機械的強度
が弱く、ヘッドとして用いるには信頼性が低いという問
題点があった。例えば、メディア面のゴミやメディアの
振動により、チップが破損しやすくなる。また、チップ
を形成するには多くの先鋭化プロセスが必要であり、こ
のチップをフライングヘッドに形成する場合を想定する
と、当該フライングヘッドとチップ先端との高さを合わ
せることが困難になるという問題点があった。さらに、
チップの表面積が小さいため、エバネッセント場の散乱
効率が低くなるという問題点があった。
小開口を形成する方法では、微小開口の形成が困難であ
り、開口を形成できる大きさに限界があるため、数十ｎ
ｍ以下まで分解能を向上させることが困難であるという
問題点があった。一方、上記ＡＦＭカンチレバーを用い
る方法では、先端を先鋭化処理しているため機械的強度
が弱く、ヘッドとして用いるには信頼性が低いという問
題点があった。例えば、メディア面のゴミやメディアの
振動により、チップが破損しやすくなる。また、チップ
を形成するには多くの先鋭化プロセスが必要であり、こ
のチップをフライングヘッドに形成する場合を想定する
と、当該フライングヘッドとチップ先端との高さを合わ
せることが困難になるという問題点があった。さらに、
チップの表面積が小さいため、エバネッセント場の散乱
効率が低くなるという問題点があった。
【０００８】そこで、この発明は、上記に鑑みてなされ
たものであって、分解能を高く且つ機械的強度を強くで
きると共に、製造容易であってエバネッセント場の散乱
効率が高い近視野光ヘッドを提供することを目的とす
る。
たものであって、分解能を高く且つ機械的強度を強くで
きると共に、製造容易であってエバネッセント場の散乱
効率が高い近視野光ヘッドを提供することを目的とす
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、請求項１に係る近視野光ヘッドは、ヘッド先端部
をメディアに対し光波長以下の距離を隔てて近接させ、
当該メディアに光を照射したときに発生するエバネッセ
ント場の散乱光強度に基づき、前記メディアに記録した
情報を再生する近視野光ヘッドにおいて、前記ヘッド先
端部を、２平面の交差したエッジ形状としたものであ
る。
めに、請求項１に係る近視野光ヘッドは、ヘッド先端部
をメディアに対し光波長以下の距離を隔てて近接させ、
当該メディアに光を照射したときに発生するエバネッセ
ント場の散乱光強度に基づき、前記メディアに記録した
情報を再生する近視野光ヘッドにおいて、前記ヘッド先
端部を、２平面の交差したエッジ形状としたものであ
る。
【００１０】また、請求項２に係る近視野光ヘッドは、
ヘッド先端部をメディアに対し光波長以下の距離を隔て
て近接させ、当該メディアに光を照射したときに発生す
るエバネッセント場の散乱光強度に基づき、前記メディ
アに記録した情報を再生する近視野光ヘッドにおいて、
前記ヘッド先端部を、２平面が交差しておりその辺が微
視的に曲率半径を持つエッジ形状としたものである。
ヘッド先端部をメディアに対し光波長以下の距離を隔て
て近接させ、当該メディアに光を照射したときに発生す
るエバネッセント場の散乱光強度に基づき、前記メディ
アに記録した情報を再生する近視野光ヘッドにおいて、
前記ヘッド先端部を、２平面が交差しておりその辺が微
視的に曲率半径を持つエッジ形状としたものである。
【００１１】また、請求項３に係る近視野光ヘッドは、
ヘッド先端部をメディアに対し光波長以下の距離を隔て
て近接させ、当該メディアに光を照射したときに発生す
るエバネッセント場の散乱光強度に基づき、前記メディ
アに記録した情報を再生する近視野光ヘッドにおいて、
前記ヘッド先端部を、２平面が交差しておりその辺が微
視的に曲率半径を持ち、この曲率半径が２平面が交差し
ている辺を含む断面で無限大になるエッジ形状としたも
のである。
ヘッド先端部をメディアに対し光波長以下の距離を隔て
て近接させ、当該メディアに光を照射したときに発生す
るエバネッセント場の散乱光強度に基づき、前記メディ
アに記録した情報を再生する近視野光ヘッドにおいて、
前記ヘッド先端部を、２平面が交差しておりその辺が微
視的に曲率半径を持ち、この曲率半径が２平面が交差し
ている辺を含む断面で無限大になるエッジ形状としたも
のである。
【００１２】また、請求項４に係る近視野光ヘッドは、
ヘッド先端部をメディアに対し光波長以下の距離を隔て
て近接させ、当該メディアに光を照射したときに発生す
るエバネッセント場の散乱光強度に基づき、前記メディ
アに記録した情報を再生する近視野光ヘッドにおいて、
前記ヘッド先端部を、交差する２面のうち少なくとも１
面が曲面であり、２面の交差する辺がメディアの径方向
に曲率半径を持ったエッジ形状としたものである。
ヘッド先端部をメディアに対し光波長以下の距離を隔て
て近接させ、当該メディアに光を照射したときに発生す
るエバネッセント場の散乱光強度に基づき、前記メディ
アに記録した情報を再生する近視野光ヘッドにおいて、
前記ヘッド先端部を、交差する２面のうち少なくとも１
面が曲面であり、２面の交差する辺がメディアの径方向
に曲率半径を持ったエッジ形状としたものである。
【００１３】また、請求項５に係る近視野光ヘッドは、
上記近視野光ヘッドにおいて、前記曲率半径を、前記メ
ディアのビット幅の５倍以上としたものである。
上記近視野光ヘッドにおいて、前記曲率半径を、前記メ
ディアのビット幅の５倍以上としたものである。
【００１４】また、請求項６に係る近視野光ヘッドは、
上記近視野光ヘッドにおいて、前記２面のうち１面をス
ライダの底面としたものである。
上記近視野光ヘッドにおいて、前記２面のうち１面をス
ライダの底面としたものである。
【００１５】また、請求項７に係る近視野光ヘッドは、
上記近視野光ヘッドにおいて、さらに、前記ヘッドの上
方に受光素子を配置したものである。
上記近視野光ヘッドにおいて、さらに、前記ヘッドの上
方に受光素子を配置したものである。
【００１６】また、請求項８に係る近視野光ヘッドは、
上記近視野光ヘッドにおいて、前記ヘッドを有するスラ
イダのうち、前記ヘッドの近傍に受光素子を設けたもの
である。
上記近視野光ヘッドにおいて、前記ヘッドを有するスラ
イダのうち、前記ヘッドの近傍に受光素子を設けたもの
である。
【００１７】また、請求項９に係る近視野光ヘッドは、
上記近視野光ヘッドにおいて、前記ヘッドを有するスラ
イダのうち、前記ヘッドの近傍に導波路を設け、この導
波路に受光素子を設けたものである。
上記近視野光ヘッドにおいて、前記ヘッドを有するスラ
イダのうち、前記ヘッドの近傍に導波路を設け、この導
波路に受光素子を設けたものである。
【００１８】また、請求項１０に係る近視野光ヘッド
は、上記近視野光ヘッドにおいて、さらに、前記スライ
ダ底面の全部または一部に金属膜を設け、当該金属膜で
前記エッジ部を形成したものである。
は、上記近視野光ヘッドにおいて、さらに、前記スライ
ダ底面の全部または一部に金属膜を設け、当該金属膜で
前記エッジ部を形成したものである。
【００１９】また、請求項１１に係る近視野光ヘッド
は、上記近視野光ヘッドにおいて、前記ヘッドを有する
スライダを光透過性の材料で構成し、メディアに対しス
ライダ側に光源を配置したものである。
は、上記近視野光ヘッドにおいて、前記ヘッドを有する
スライダを光透過性の材料で構成し、メディアに対しス
ライダ側に光源を配置したものである。
【００２０】また、請求項１２に係る近視野光ヘッド
は、上記近視野光ヘッドにおいて、前記ヘッドを有する
スライダを光透過性の材料で構成し、このスライダに光
源を設けたものである。
は、上記近視野光ヘッドにおいて、前記ヘッドを有する
スライダを光透過性の材料で構成し、このスライダに光
源を設けたものである。
【００２１】また、請求項１３に係る近視野光ヘッド
は、上記近視野光ヘッドにおいて、前記ヘッドを有する
スライダに、光源と当該光源の光を伝送する導波路とを
設けたものである。
は、上記近視野光ヘッドにおいて、前記ヘッドを有する
スライダに、光源と当該光源の光を伝送する導波路とを
設けたものである。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、この発明につき図面を参照
しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこ
の発明が限定されるものではない。
しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこ
の発明が限定されるものではない。
【００２３】（実施の形態１）図１は、この発明の実施
の形態１に係る近視野光ヘッドを示す概略斜視図であ
る。図２は、図１に示したヘッド先端部を示す拡大側面
図である。この近視野光ヘッド１００は、ディスク１に
対向位置する凸形状のヘッド２と、ヘッド先端部の上方
に配置した受光素子３とを備えた構成である。このヘッ
ド２は梁部２１を持ち、その先端部２２はエッジ形状と
なっている。先端部２２のエッジ部２３は、ヘッド２の
底面２４と側面２５とが交差する辺２６によって構成さ
れている。前記底面２４と側面２５とは略垂直に交差し
ている。このエッジ部２３を微視的（ｎｍレベル）に観
ると、エッジ部２３は曲面を持つ。この曲率半径Ｒｔと
再生可能なビットサイズとが対応しており、曲率半径Ｒ
ｔが小さいほど（シャープなほど）高密度記録を行うこ
とができる。このエッジ部２３は、Ｓｉの異方性エッチ
ングを用いて形成すれば結晶面で決まる角度で作製する
ことができる。また、Ｓｉ以外の材料でも、エッチング
（ウェットエッチング、ドライエッチングは不問）条件
を正確に設定することにより、相当なシャープさを実現
することができる。
の形態１に係る近視野光ヘッドを示す概略斜視図であ
る。図２は、図１に示したヘッド先端部を示す拡大側面
図である。この近視野光ヘッド１００は、ディスク１に
対向位置する凸形状のヘッド２と、ヘッド先端部の上方
に配置した受光素子３とを備えた構成である。このヘッ
ド２は梁部２１を持ち、その先端部２２はエッジ形状と
なっている。先端部２２のエッジ部２３は、ヘッド２の
底面２４と側面２５とが交差する辺２６によって構成さ
れている。前記底面２４と側面２５とは略垂直に交差し
ている。このエッジ部２３を微視的（ｎｍレベル）に観
ると、エッジ部２３は曲面を持つ。この曲率半径Ｒｔと
再生可能なビットサイズとが対応しており、曲率半径Ｒ
ｔが小さいほど（シャープなほど）高密度記録を行うこ
とができる。このエッジ部２３は、Ｓｉの異方性エッチ
ングを用いて形成すれば結晶面で決まる角度で作製する
ことができる。また、Ｓｉ以外の材料でも、エッチング
（ウェットエッチング、ドライエッチングは不問）条件
を正確に設定することにより、相当なシャープさを実現
することができる。
【００２４】また、エッジ部２３は、２平面が交差する
ことにより形成され、交差角度は問わない。例えば２平
面を３０度または６０度の角度で交差させてエッジ部を
形成してもよい。２平面で作る辺が鉛直交差する面を断
面とすれば、エッジ部２３はどの断面であっても曲率半
径Ｒｔが同一になる。一方、前記２平面で作る辺を含む
面を断面とすれば、曲率は０になる。これに対し、上記
従来のチップでは、針状、円錐状、角錐状のいずれであ
っても、その頂点が微視的に観て半球状をしている。こ
のため、頂点と球体中心とを含む面を断面とすれば、ど
の断面でも曲率を持つことになる。
ことにより形成され、交差角度は問わない。例えば２平
面を３０度または６０度の角度で交差させてエッジ部を
形成してもよい。２平面で作る辺が鉛直交差する面を断
面とすれば、エッジ部２３はどの断面であっても曲率半
径Ｒｔが同一になる。一方、前記２平面で作る辺を含む
面を断面とすれば、曲率は０になる。これに対し、上記
従来のチップでは、針状、円錐状、角錐状のいずれであ
っても、その頂点が微視的に観て半球状をしている。こ
のため、頂点と球体中心とを含む面を断面とすれば、ど
の断面でも曲率を持つことになる。
【００２５】前記エッジ部２３の曲率半径Ｒｔは、ディ
スク１上に形成された最短のビット長程度かそれよりも
小さくなければならない。エッジ部２３の曲率半径Ｒｔ
がビット長よりも大きい場合には、ビット１１の有無を
Ｓ／Ｎ良く読み取ることができない。例えば、ビット長
が１００ｎｍであれば、エッジ部２３の曲率半径Ｒｔは
約１００ｎｍ以下でなければならない。
スク１上に形成された最短のビット長程度かそれよりも
小さくなければならない。エッジ部２３の曲率半径Ｒｔ
がビット長よりも大きい場合には、ビット１１の有無を
Ｓ／Ｎ良く読み取ることができない。例えば、ビット長
が１００ｎｍであれば、エッジ部２３の曲率半径Ｒｔは
約１００ｎｍ以下でなければならない。
【００２６】つぎに、エッジ部２３の幅Ｗ１は、ディス
ク１上のビット幅より大きくても良いが、隣のトラック
１２上にかからなければよい。また、凸形状の幅広部分
２７（幅Ｗ２）が隣のトラック１２にかかってもよい
が、その場合、梁部２１の長さＬを隣のトラック１２か
らのクロストークを防ぐ程度に確保すればよい。
ク１上のビット幅より大きくても良いが、隣のトラック
１２上にかからなければよい。また、凸形状の幅広部分
２７（幅Ｗ２）が隣のトラック１２にかかってもよい
が、その場合、梁部２１の長さＬを隣のトラック１２か
らのクロストークを防ぐ程度に確保すればよい。
【００２７】また、図３に示すように、エッジ部２３自
体が曲率（曲率半径Ｒｎ）を持つようにしてもよい。こ
の場合は、底面２４が曲面となり、この底面２４と側面
２５とが交差することでエッジ部２３が形成される。係
るエッジ部２３においても、微視的に観れば図２と同様
の曲率半径Ｒｔを持つ。近視野光ヘッド１００はビット
１１上を完全にトラッキングできないため、トラック直
交方向のズレをフィードバック制御により補正してい
る。ここで、トラック直交方向の曲率半径Ｒｎがビット
幅程度であれば、トラック直交方向のフィードバック制
御による信号（ビットの有無）が大きすぎてノイズにな
ってしまい、トラック方向のビットの有無を信号として
読み取ることができなくなる。従って、実用化するに
は、このノイズをフィードバック周波数からフィルタで
低減するようにしても、トラック方向のビットの有無の
信号より２桁程度小さくするのが好ましい。また、現在
の実用的技術レベル（ＤＶＤなど）に鑑みると、ノイズ
レベルは信号レベルよりも４桁以上小さくする必要があ
る。以上から、トラック直交方向の曲率半径Ｒｎは、無
限大とするのが適切であるが、上記ビット幅の約５倍以
上、好ましくは５０倍以上大きくすれば、実用上問題な
いと考えられる。
体が曲率（曲率半径Ｒｎ）を持つようにしてもよい。こ
の場合は、底面２４が曲面となり、この底面２４と側面
２５とが交差することでエッジ部２３が形成される。係
るエッジ部２３においても、微視的に観れば図２と同様
の曲率半径Ｒｔを持つ。近視野光ヘッド１００はビット
１１上を完全にトラッキングできないため、トラック直
交方向のズレをフィードバック制御により補正してい
る。ここで、トラック直交方向の曲率半径Ｒｎがビット
幅程度であれば、トラック直交方向のフィードバック制
御による信号（ビットの有無）が大きすぎてノイズにな
ってしまい、トラック方向のビットの有無を信号として
読み取ることができなくなる。従って、実用化するに
は、このノイズをフィードバック周波数からフィルタで
低減するようにしても、トラック方向のビットの有無の
信号より２桁程度小さくするのが好ましい。また、現在
の実用的技術レベル（ＤＶＤなど）に鑑みると、ノイズ
レベルは信号レベルよりも４桁以上小さくする必要があ
る。以上から、トラック直交方向の曲率半径Ｒｎは、無
限大とするのが適切であるが、上記ビット幅の約５倍以
上、好ましくは５０倍以上大きくすれば、実用上問題な
いと考えられる。
【００２８】図２に戻り、エッジ部２３とディスク１と
の間の距離ｄは、光波長以下に制御される。この距離ｄ
の制御は、いわゆるハードディスクドライブ（ＨＤＤ）
のフライングヘッドを用い、近視野光ヘッド１００を空
気膜潤滑により浮上させる。浮上ヘッド技術を用いる場
合には、近視野光ヘッド１００にテーパ面を設けて、く
さび膜形状の流路を形成する必要がある。ヘッド浮上技
術によれば、前記距離ｄを５０ｎｍ程度に制御すること
ができる。また、ＡＦＭカンチレバーの場合のように、
距離検出を行いピエゾ素子等によりフィードバック制御
するようにしてもよい。また、数ｎｍ程度の薄い潤滑膜
（オイルあるいは水など）を介在させたコンタクト状態
により実現しても良いし、完全なコンタクト状態として
も良い。
の間の距離ｄは、光波長以下に制御される。この距離ｄ
の制御は、いわゆるハードディスクドライブ（ＨＤＤ）
のフライングヘッドを用い、近視野光ヘッド１００を空
気膜潤滑により浮上させる。浮上ヘッド技術を用いる場
合には、近視野光ヘッド１００にテーパ面を設けて、く
さび膜形状の流路を形成する必要がある。ヘッド浮上技
術によれば、前記距離ｄを５０ｎｍ程度に制御すること
ができる。また、ＡＦＭカンチレバーの場合のように、
距離検出を行いピエゾ素子等によりフィードバック制御
するようにしてもよい。また、数ｎｍ程度の薄い潤滑膜
（オイルあるいは水など）を介在させたコンタクト状態
により実現しても良いし、完全なコンタクト状態として
も良い。
【００２９】光源（図示省略）からディスク１の裏面に
全反射条件を満たす入射角で光４を照射すると、ディス
ク表面にエバネッセント場４１が発生する。この中にエ
ッジ部２３を挿入することにより、散乱光４２が発生す
る。この散乱光４２の光強度は、ビット１１の有無によ
り変化する。前記発生した散乱光４２は受光素子３によ
り受光する。受光素子３では、散乱光４２の光強度に応
じた光電変換を行う。これにより、ディスク１上の情報
を再生することができる。
全反射条件を満たす入射角で光４を照射すると、ディス
ク表面にエバネッセント場４１が発生する。この中にエ
ッジ部２３を挿入することにより、散乱光４２が発生す
る。この散乱光４２の光強度は、ビット１１の有無によ
り変化する。前記発生した散乱光４２は受光素子３によ
り受光する。受光素子３では、散乱光４２の光強度に応
じた光電変換を行う。これにより、ディスク１上の情報
を再生することができる。
【００３０】また、ヘッドの先端部２２は、図１のよう
な短冊形状の他、図４に示すような剣形状でもよい。ま
た、図５に示すような円形状でもよい。また、ディスク
１への記録状態としては、透過率あるいは反射率の差で
ビットが記録されていても良いし、凹凸として記録され
ていても良い。なお、上記近視野光には、ファーフィー
ルド光を含むものとする。
な短冊形状の他、図４に示すような剣形状でもよい。ま
た、図５に示すような円形状でもよい。また、ディスク
１への記録状態としては、透過率あるいは反射率の差で
ビットが記録されていても良いし、凹凸として記録され
ていても良い。なお、上記近視野光には、ファーフィー
ルド光を含むものとする。
【００３１】以上、この近視野光ヘッド１００によれ
ば、従来の先鋭化処理を施したチップに比べて、エッジ
部２３の方が機械的強度に優れるため、ヘッドの信頼性
が高まる。つぎに、チップの形成には多くの先鋭化プロ
セスを必要とし、また、チップ先端とスライダとの高さ
合わせが製造上困難である。これに対し、エッジ部２３
はエッチング処理によってヘッドスライダの一部に比較
的容易に形成でき、ヘッドスライダ底面との高さ合わせ
が不要である。さらに、チップよりもエッジ部２３の方
がエバネッセント場４１を散乱させる面積が大きくなる
ので、得られる散乱光強度が強くなる。
ば、従来の先鋭化処理を施したチップに比べて、エッジ
部２３の方が機械的強度に優れるため、ヘッドの信頼性
が高まる。つぎに、チップの形成には多くの先鋭化プロ
セスを必要とし、また、チップ先端とスライダとの高さ
合わせが製造上困難である。これに対し、エッジ部２３
はエッチング処理によってヘッドスライダの一部に比較
的容易に形成でき、ヘッドスライダ底面との高さ合わせ
が不要である。さらに、チップよりもエッジ部２３の方
がエバネッセント場４１を散乱させる面積が大きくなる
ので、得られる散乱光強度が強くなる。
【００３２】（実施の形態２）図６は、この発明の実施
の形態２に係る近視野光ヘッドの構造を示す概略構成図
である。この近視野光ヘッド２００は、上記実施の形態
１の近視野光ヘッド１００をより具体的な構成としたも
のである。この近視野光ヘッド２００では、ヘッドスラ
イダ２０１の底面に上記エッジ部２０２（図２参照）を
形成している。エッジ部２０２の反対側には、テーパ面
２０３が設けられている。このテーパ面２０３とディス
ク２０４とによりくさび膜形状の流路が生じる。また、
エッジ部２０２の形成は、エッチング処理により行う。
近視野光ヘッド２００は、サスペンションアーム（図示
省略）により支持されており、ボイスコイルモータ（図
示省略）により駆動される。また、ヘッドスライダ２０
１の斜め上方には、散乱光を集光するレンズ２０５と、
受光素子２０６とが配置されている。
の形態２に係る近視野光ヘッドの構造を示す概略構成図
である。この近視野光ヘッド２００は、上記実施の形態
１の近視野光ヘッド１００をより具体的な構成としたも
のである。この近視野光ヘッド２００では、ヘッドスラ
イダ２０１の底面に上記エッジ部２０２（図２参照）を
形成している。エッジ部２０２の反対側には、テーパ面
２０３が設けられている。このテーパ面２０３とディス
ク２０４とによりくさび膜形状の流路が生じる。また、
エッジ部２０２の形成は、エッチング処理により行う。
近視野光ヘッド２００は、サスペンションアーム（図示
省略）により支持されており、ボイスコイルモータ（図
示省略）により駆動される。また、ヘッドスライダ２０
１の斜め上方には、散乱光を集光するレンズ２０５と、
受光素子２０６とが配置されている。
【００３３】光源（図示省略）からディスク２０４の裏
面に全反射条件を満たす入射角で光２０７を照射する
と、ディスク表面にエバネッセント場２０８が発生す
る。ヘッドスライダ２０１は、斜めに浮上するので、エ
ッジ部２０２がディスク面に近づいて光を散乱する。こ
の散乱光２０９の光強度は、ビット２１０の有無により
変化する。前記発生した散乱光２０９はレンズ２０５に
より集光される。集光先には受光素子２０６が配置され
ており、この受光素子２０６により散乱光２０９を受光
する。受光素子２０６では、散乱光２０９の光強度に応
じた光電変換を行う。これにより、ディスク２０４上の
情報を再生する。
面に全反射条件を満たす入射角で光２０７を照射する
と、ディスク表面にエバネッセント場２０８が発生す
る。ヘッドスライダ２０１は、斜めに浮上するので、エ
ッジ部２０２がディスク面に近づいて光を散乱する。こ
の散乱光２０９の光強度は、ビット２１０の有無により
変化する。前記発生した散乱光２０９はレンズ２０５に
より集光される。集光先には受光素子２０６が配置され
ており、この受光素子２０６により散乱光２０９を受光
する。受光素子２０６では、散乱光２０９の光強度に応
じた光電変換を行う。これにより、ディスク２０４上の
情報を再生する。
【００３４】この近視野光ヘッド２００によれば、ヘッ
ド浮上技術により行うことで、容易にエッジ部２０２と
ディスク２０４との間の距離制御を行うことができる。
また、ヘッドスライダ２０１にエッジ部２０２を形成す
るだけでよいので、一般の磁気ヘッドに比べてコンパク
トであり、コストも低くなる。
ド浮上技術により行うことで、容易にエッジ部２０２と
ディスク２０４との間の距離制御を行うことができる。
また、ヘッドスライダ２０１にエッジ部２０２を形成す
るだけでよいので、一般の磁気ヘッドに比べてコンパク
トであり、コストも低くなる。
【００３５】（実施の形態３）図７は、この発明の実施
の形態３に係る近視野光ヘッドの構造を示す概略構成図
である。この近視野光ヘッド３００は、上記実施の形態
１の近視野光ヘッド１００をより具体的な構成としたも
のである。この近視野光ヘッド３００では、ヘッドスラ
イダ３０１の底面に上記エッジ部３０２（図２参照）を
形成している。また、ヘッドスライダ３０１のうち前記
エッジ部３０２の近傍には段部３０３が形成してある。
この段部３０３には受光素子３０４が設けられている。
エッジ部３０２の反対側には、テーパ面３０５が設けら
れている。このテーパ面３０５とディスク３０６とによ
りくさび膜形状の流路が生じる。また、エッジ部３０２
の形成は、エッチング処理により行う。近視野光ヘッド
３００は、サスペンションアーム（図示省略）により支
持されており、ボイスコイルモータ（図示省略）により
駆動される。
の形態３に係る近視野光ヘッドの構造を示す概略構成図
である。この近視野光ヘッド３００は、上記実施の形態
１の近視野光ヘッド１００をより具体的な構成としたも
のである。この近視野光ヘッド３００では、ヘッドスラ
イダ３０１の底面に上記エッジ部３０２（図２参照）を
形成している。また、ヘッドスライダ３０１のうち前記
エッジ部３０２の近傍には段部３０３が形成してある。
この段部３０３には受光素子３０４が設けられている。
エッジ部３０２の反対側には、テーパ面３０５が設けら
れている。このテーパ面３０５とディスク３０６とによ
りくさび膜形状の流路が生じる。また、エッジ部３０２
の形成は、エッチング処理により行う。近視野光ヘッド
３００は、サスペンションアーム（図示省略）により支
持されており、ボイスコイルモータ（図示省略）により
駆動される。
【００３６】光源（図示省略）からディスク３０６の裏
面に全反射条件を満たす入射角で光３０７を照射する
と、ディスク表面にエバネッセント場３０８が発生す
る。ヘッドスライダ３０１は、斜めに浮上するので、エ
ッジ部３０２がディスク面に近づいて光を散乱する。こ
の散乱光３０９の光強度は、ビット３１０の有無により
変化する。前記発生した散乱光３０９は、ヘッドスライ
ダ３０１のうち前記エッジ部３０２近傍に設けた受光素
子３０４によって受光する。受光素子３０４では、散乱
光３０９の光強度に応じた光電変換を行う。これによ
り、ディスク３０６上の情報を再生する。
面に全反射条件を満たす入射角で光３０７を照射する
と、ディスク表面にエバネッセント場３０８が発生す
る。ヘッドスライダ３０１は、斜めに浮上するので、エ
ッジ部３０２がディスク面に近づいて光を散乱する。こ
の散乱光３０９の光強度は、ビット３１０の有無により
変化する。前記発生した散乱光３０９は、ヘッドスライ
ダ３０１のうち前記エッジ部３０２近傍に設けた受光素
子３０４によって受光する。受光素子３０４では、散乱
光３０９の光強度に応じた光電変換を行う。これによ
り、ディスク３０６上の情報を再生する。
【００３７】この近視野光ヘッド３００によれば、受光
素子３０４をヘッドスライダ３０１に直接設けたので、
ヘッドがコンパクトになる。また、エッジ部３０２の近
傍に受光素子３０４を設けることで、受光効率が向上す
る。
素子３０４をヘッドスライダ３０１に直接設けたので、
ヘッドがコンパクトになる。また、エッジ部３０２の近
傍に受光素子３０４を設けることで、受光効率が向上す
る。
【００３８】（実施の形態４）図８は、この発明の実施
の形態４に係る近視野光ヘッドの構造を示す概略構成図
である。この近視野光ヘッド４００は、上記実施の形態
１の近視野光ヘッド１００をより具体的な構成としたも
のである。この近視野光ヘッド４００では、ヘッドスラ
イダ４０１の底面には上記エッジ部４０２（図２参照）
が形成されている。また、ヘッドスライダ４０１のうち
前記エッジ部４０２の近傍には段部４０３が形成してあ
る。この段部４０３には受光素子４０４が設けられてい
る。また、ヘッドスライダ４０１の底面には、金属膜４
０５が形成されている。エッジ部４０２は、この金属膜
４０５により形成する。誘電体エッジよりも金属エッジ
の方が散乱効率が高いからである。また、ヘッドスライ
ダ４０１の底面全体でなく、エッジ部４０２のみに金属
膜を形成するようにしてもよい。エッジ部４０２の反対
側には、テーパ面４０６が設けられている。このテーパ
面４０６とディスク４０７とによりくさび膜形状の流路
が生じる。また、エッジ部４０２の形成は、エッチング
処理により行う。近視野光ヘッド４００は、サスペンシ
ョンアーム（図示省略）により支持されており、ボイス
コイルモータ（図示省略）により駆動される。
の形態４に係る近視野光ヘッドの構造を示す概略構成図
である。この近視野光ヘッド４００は、上記実施の形態
１の近視野光ヘッド１００をより具体的な構成としたも
のである。この近視野光ヘッド４００では、ヘッドスラ
イダ４０１の底面には上記エッジ部４０２（図２参照）
が形成されている。また、ヘッドスライダ４０１のうち
前記エッジ部４０２の近傍には段部４０３が形成してあ
る。この段部４０３には受光素子４０４が設けられてい
る。また、ヘッドスライダ４０１の底面には、金属膜４
０５が形成されている。エッジ部４０２は、この金属膜
４０５により形成する。誘電体エッジよりも金属エッジ
の方が散乱効率が高いからである。また、ヘッドスライ
ダ４０１の底面全体でなく、エッジ部４０２のみに金属
膜を形成するようにしてもよい。エッジ部４０２の反対
側には、テーパ面４０６が設けられている。このテーパ
面４０６とディスク４０７とによりくさび膜形状の流路
が生じる。また、エッジ部４０２の形成は、エッチング
処理により行う。近視野光ヘッド４００は、サスペンシ
ョンアーム（図示省略）により支持されており、ボイス
コイルモータ（図示省略）により駆動される。
【００３９】ヘッドスライダ４０１の存在しない部分で
は、光４０８が全反射条件でディスク４０７に入射して
いるため、全て反射する。ディスク４０７から波長以下
の距離を持ってヘッドスライダ４０１が存在する部分
（エッジ部以外）では、ヘッドスライダ４０１とディス
ク４０７との間の距離はないに等しいので、光４０８は
ディスク表面を透過する。透過した光（図示省略）は、
ヘッドスライダ４０１底面の金属膜４０６で反射する。
或は、一部に金属膜４０６を形成している場合は、金属
膜４０６のある部分において光が反射する。このよう
に、ヘッドスライダ４０１底面に金属膜４０５を形成し
て光を反射させることにより、受光素子４０４に入る迷
光が少なくなる。なお、反射膜ではなく、吸収膜を形成
するようにしてもよい。但し、エッジ部４０２を吸収膜
で形成するのは好ましくない。
は、光４０８が全反射条件でディスク４０７に入射して
いるため、全て反射する。ディスク４０７から波長以下
の距離を持ってヘッドスライダ４０１が存在する部分
（エッジ部以外）では、ヘッドスライダ４０１とディス
ク４０７との間の距離はないに等しいので、光４０８は
ディスク表面を透過する。透過した光（図示省略）は、
ヘッドスライダ４０１底面の金属膜４０６で反射する。
或は、一部に金属膜４０６を形成している場合は、金属
膜４０６のある部分において光が反射する。このよう
に、ヘッドスライダ４０１底面に金属膜４０５を形成し
て光を反射させることにより、受光素子４０４に入る迷
光が少なくなる。なお、反射膜ではなく、吸収膜を形成
するようにしてもよい。但し、エッジ部４０２を吸収膜
で形成するのは好ましくない。
【００４０】情報の再生原理は、実施の形態３と同様で
ある。すなわち、ディスク表面のエバネッセント場４０
９に、浮上したヘッドスライダ４０１のエッジ部４０２
を入れて光を散乱する。この散乱光４１０の光強度は、
ビット４１１の有無により変化する。前記発生した散乱
光４１０は、ヘッドスライダ４０１のうち前記エッジ部
４０２近傍に設けた受光素子４０４によって受光する。
受光素子４０４では、散乱光４１０の光強度に応じた光
電変換を行う。これにより、ディスク４０７上の情報を
再生する。
ある。すなわち、ディスク表面のエバネッセント場４０
９に、浮上したヘッドスライダ４０１のエッジ部４０２
を入れて光を散乱する。この散乱光４１０の光強度は、
ビット４１１の有無により変化する。前記発生した散乱
光４１０は、ヘッドスライダ４０１のうち前記エッジ部
４０２近傍に設けた受光素子４０４によって受光する。
受光素子４０４では、散乱光４１０の光強度に応じた光
電変換を行う。これにより、ディスク４０７上の情報を
再生する。
【００４１】（実施の形態５）図９は、この発明の実施
の形態５に係る近視野光ヘッドの構造を示す概略構成図
である。この近視野光ヘッド５００は、上記実施の形態
４の近視野光ヘッド４００と略同様の構成であるが、受
光素子に導波路を形成した点が異なる。この近視野光ヘ
ッド５００では、ヘッドスライダ５０１の底面に上記エ
ッジ部５０２（図２参照）を形成している。また、ヘッ
ドスライダ５０１のうち前記エッジ部５０２の近傍には
段部５０３が形成してある。この段部５０３には受光素
子５０４と導波路５０５とが設けられている。また、ヘ
ッドスライダ５０１の底面には、金属膜５０６が形成さ
れている。エッジ部５０２は、この金属膜５０６により
形成する。誘電体エッジよりも金属エッジの方が散乱効
率が高いからである。また、ヘッドスライダ５０１の底
面全体でなく、エッジ部５０２のみに金属膜５０６を形
成するようにしてもよい。エッジ部５０２の反対側に
は、テーパ面５０７が設けられている。このテーパ面５
０７とディスク５０８とによりくさび膜形状の流路が生
じる。また、エッジ部５０２の形成は、エッチング処理
により行う。近視野光ヘッド５００は、サスペンション
アーム（図示省略）により支持されており、ボイスコイ
ルモータ（図示省略）により駆動される。
の形態５に係る近視野光ヘッドの構造を示す概略構成図
である。この近視野光ヘッド５００は、上記実施の形態
４の近視野光ヘッド４００と略同様の構成であるが、受
光素子に導波路を形成した点が異なる。この近視野光ヘ
ッド５００では、ヘッドスライダ５０１の底面に上記エ
ッジ部５０２（図２参照）を形成している。また、ヘッ
ドスライダ５０１のうち前記エッジ部５０２の近傍には
段部５０３が形成してある。この段部５０３には受光素
子５０４と導波路５０５とが設けられている。また、ヘ
ッドスライダ５０１の底面には、金属膜５０６が形成さ
れている。エッジ部５０２は、この金属膜５０６により
形成する。誘電体エッジよりも金属エッジの方が散乱効
率が高いからである。また、ヘッドスライダ５０１の底
面全体でなく、エッジ部５０２のみに金属膜５０６を形
成するようにしてもよい。エッジ部５０２の反対側に
は、テーパ面５０７が設けられている。このテーパ面５
０７とディスク５０８とによりくさび膜形状の流路が生
じる。また、エッジ部５０２の形成は、エッチング処理
により行う。近視野光ヘッド５００は、サスペンション
アーム（図示省略）により支持されており、ボイスコイ
ルモータ（図示省略）により駆動される。
【００４２】光源（図示省略）からディスク５０８の裏
面に全反射条件を満たす入射角で光５０９を照射する
と、ディスク表面にエバネッセント場５１０が発生す
る。ヘッドスライダ５０１は、斜めに浮上するので、エ
ッジ部５０２がディスク面に近づいて光を散乱する。こ
の散乱光５１１の光強度は、ビット５１２の有無により
変化する。前記発生した散乱光５１１は、ヘッドスライ
ダ５０１のうち前記エッジ部５０２近傍に設けた導波路
５０５を通り受光素子５０４によって受光する。受光素
子５０４では、散乱光５１１の光強度に応じた光電変換
を行う。これにより、ディスク５０８上の情報を再生す
る。
面に全反射条件を満たす入射角で光５０９を照射する
と、ディスク表面にエバネッセント場５１０が発生す
る。ヘッドスライダ５０１は、斜めに浮上するので、エ
ッジ部５０２がディスク面に近づいて光を散乱する。こ
の散乱光５１１の光強度は、ビット５１２の有無により
変化する。前記発生した散乱光５１１は、ヘッドスライ
ダ５０１のうち前記エッジ部５０２近傍に設けた導波路
５０５を通り受光素子５０４によって受光する。受光素
子５０４では、散乱光５１１の光強度に応じた光電変換
を行う。これにより、ディスク５０８上の情報を再生す
る。
【００４３】この近視野光ヘッド５００によれば、受光
素子５０４上に導波路５０５を形成したので、エッジ部
５０２からの散乱光５１１を選択的に受光素子５０４に
導くことができる。このため、他からの散乱光が受光素
子５０４に入らないので、Ｓ／Ｎ比が向上する。なお、
導波路５０５の先端にレンズを設けてもよい。また、受
光素子５０４をヘッドスライダ５０１に直接設けたの
で、ヘッドがコンパクトになる。また、エッジ部５０２
の近傍に受光素子５０４を設けることで、受光効率が向
上する。さらに、ヘッドスライダ５０１の底面に形成し
た金属膜５０６により、ディスク表面を透過した光が反
射する。このため、導波路５０５に入る迷光が少なくな
る。この他、ディスク５０８上のビット以外の小さな傷
や凹凸などによる散乱光や、ヘッドスライダ５０１を透
過した光などが迷光となるが、導波路５０５を設けてい
るので、これらの迷光の影響は受けにくい。
素子５０４上に導波路５０５を形成したので、エッジ部
５０２からの散乱光５１１を選択的に受光素子５０４に
導くことができる。このため、他からの散乱光が受光素
子５０４に入らないので、Ｓ／Ｎ比が向上する。なお、
導波路５０５の先端にレンズを設けてもよい。また、受
光素子５０４をヘッドスライダ５０１に直接設けたの
で、ヘッドがコンパクトになる。また、エッジ部５０２
の近傍に受光素子５０４を設けることで、受光効率が向
上する。さらに、ヘッドスライダ５０１の底面に形成し
た金属膜５０６により、ディスク表面を透過した光が反
射する。このため、導波路５０５に入る迷光が少なくな
る。この他、ディスク５０８上のビット以外の小さな傷
や凹凸などによる散乱光や、ヘッドスライダ５０１を透
過した光などが迷光となるが、導波路５０５を設けてい
るので、これらの迷光の影響は受けにくい。
【００４４】（実施の形態６）図１０は、この発明の実
施の形態６に係る近視野光ヘッドの構造を示す概略構成
図である。この近視野光ヘッド６００は、ディスク表面
で光を全反射させる方式ではなく、ヘッドスライダ上方
から光を照射する方式である。この近視野光ヘッド６０
０では、光透過性の材料でヘッドスライダ６０１を構成
し、当該ヘッドスライダ６０１の底面に上記エッジ部６
０２（図２参照）を形成している。また、ヘッドスライ
ダ６０１のうち前記エッジ部６０２の近傍には段部６０
３が形成してある。この段部６０３には受光素子６０４
と導波路６０５とが設けられている。ヘッドスライダ６
０１の斜め上方には、光源６０６とレンズ６０７とが配
置されている。エッジ部６０２の反対側には、テーパ面
６０８が設けられている。このテーパ面６０８とディス
ク６０９とによりくさび膜形状の流路が生じる。また、
エッジ部６０２の形成は、エッチング処理により行う。
近視野光ヘッド６００は、サスペンションアーム（図示
省略）により支持されており、ボイスコイルモータ（図
示省略）により駆動される。
施の形態６に係る近視野光ヘッドの構造を示す概略構成
図である。この近視野光ヘッド６００は、ディスク表面
で光を全反射させる方式ではなく、ヘッドスライダ上方
から光を照射する方式である。この近視野光ヘッド６０
０では、光透過性の材料でヘッドスライダ６０１を構成
し、当該ヘッドスライダ６０１の底面に上記エッジ部６
０２（図２参照）を形成している。また、ヘッドスライ
ダ６０１のうち前記エッジ部６０２の近傍には段部６０
３が形成してある。この段部６０３には受光素子６０４
と導波路６０５とが設けられている。ヘッドスライダ６
０１の斜め上方には、光源６０６とレンズ６０７とが配
置されている。エッジ部６０２の反対側には、テーパ面
６０８が設けられている。このテーパ面６０８とディス
ク６０９とによりくさび膜形状の流路が生じる。また、
エッジ部６０２の形成は、エッチング処理により行う。
近視野光ヘッド６００は、サスペンションアーム（図示
省略）により支持されており、ボイスコイルモータ（図
示省略）により駆動される。
【００４５】光源６０６からの光６１０はレンズ６０７
により集光され、ヘッドスライダ６０１を透過してエッ
ジ部６０２を照明する。これにより、エッジ部６０２表
面にエバネッセント場６１１が発生する。ヘッドスライ
ダ６０１は、斜めに浮上するので、エッジ部６０２がデ
ィスク面に近づいて光を散乱する。この散乱光６１２の
光強度は、ビット６１３の有無により変化する。前記発
生した散乱光６１２は、ヘッドスライダ６０１のうち前
記エッジ部６０２近傍に設けた導波路６０５を通り受光
素子６０４によって受光する。受光素子６０４では、散
乱光６１２の光強度に応じた光電変換を行う。これによ
り、ディスク６０９上の情報を再生する。この近視野光
ヘッド６００によれば、ヘッドと同じ側に光源６０６を
配置するので、装置をコンパクトにできる。
により集光され、ヘッドスライダ６０１を透過してエッ
ジ部６０２を照明する。これにより、エッジ部６０２表
面にエバネッセント場６１１が発生する。ヘッドスライ
ダ６０１は、斜めに浮上するので、エッジ部６０２がデ
ィスク面に近づいて光を散乱する。この散乱光６１２の
光強度は、ビット６１３の有無により変化する。前記発
生した散乱光６１２は、ヘッドスライダ６０１のうち前
記エッジ部６０２近傍に設けた導波路６０５を通り受光
素子６０４によって受光する。受光素子６０４では、散
乱光６１２の光強度に応じた光電変換を行う。これによ
り、ディスク６０９上の情報を再生する。この近視野光
ヘッド６００によれば、ヘッドと同じ側に光源６０６を
配置するので、装置をコンパクトにできる。
【００４６】（実施の形態７）図１１は、この発明の実
施の形態７に係る近視野光ヘッドの構造を示す概略構成
図である。この近視野光ヘッド７００では、光透過性の
材料でヘッドスライダ７０１を構成し、当該ヘッドスラ
イダ７０１の底面に上記エッジ部７０２（図２参照）を
形成している。また、ヘッドスライダ７０１のうち前記
エッジ部７０２の近傍には受光素子７０３と導波路７０
４とが設けられている。さらに、ヘッドスライダ７０１
には、光源７０５とレンズ７０６とが組み込まれてい
る。エッジ部７０２の反対側には、テーパ面７０７が設
けられている。このテーパ面７０７とディスク７０８と
によりくさび膜形状の流路が生じる。また、エッジ部７
０２の形成は、エッチング処理により行う。近視野光ヘ
ッド７００は、サスペンションアーム（図示省略）によ
り支持されており、ボイスコイルモータ（図示省略）に
より駆動される。
施の形態７に係る近視野光ヘッドの構造を示す概略構成
図である。この近視野光ヘッド７００では、光透過性の
材料でヘッドスライダ７０１を構成し、当該ヘッドスラ
イダ７０１の底面に上記エッジ部７０２（図２参照）を
形成している。また、ヘッドスライダ７０１のうち前記
エッジ部７０２の近傍には受光素子７０３と導波路７０
４とが設けられている。さらに、ヘッドスライダ７０１
には、光源７０５とレンズ７０６とが組み込まれてい
る。エッジ部７０２の反対側には、テーパ面７０７が設
けられている。このテーパ面７０７とディスク７０８と
によりくさび膜形状の流路が生じる。また、エッジ部７
０２の形成は、エッチング処理により行う。近視野光ヘ
ッド７００は、サスペンションアーム（図示省略）によ
り支持されており、ボイスコイルモータ（図示省略）に
より駆動される。
【００４７】光源７０５からの光７０９はレンズ７０６
により集光され、ヘッドスライダ７０１を透過してエッ
ジ部７０２を照明する。これにより、エッジ部７０２表
面にエバネッセント場７１０が発生する。ヘッドスライ
ダ７０１は、斜めに浮上するので、エッジ部７０２がデ
ィスク面に近づいて光を散乱する。この散乱光７１１の
光強度は、ビット７１２の有無により変化する。前記発
生した散乱光７１１は、ヘッドスライダ７０１のうち前
記エッジ部７０２近傍に設けた導波路７０４を通り受光
素子７０３によって受光する。受光素子７０３では、散
乱光７１１の光強度に応じた光電変換を行う。これによ
り、ディスク７０８上の情報を再生する。この近視野光
ヘッド７００によれば、ヘッドスライダ７０１に光源７
０５とレンズ７０６とを組み込んでいるので、コンパク
トになる。また、量産に適する。
により集光され、ヘッドスライダ７０１を透過してエッ
ジ部７０２を照明する。これにより、エッジ部７０２表
面にエバネッセント場７１０が発生する。ヘッドスライ
ダ７０１は、斜めに浮上するので、エッジ部７０２がデ
ィスク面に近づいて光を散乱する。この散乱光７１１の
光強度は、ビット７１２の有無により変化する。前記発
生した散乱光７１１は、ヘッドスライダ７０１のうち前
記エッジ部７０２近傍に設けた導波路７０４を通り受光
素子７０３によって受光する。受光素子７０３では、散
乱光７１１の光強度に応じた光電変換を行う。これによ
り、ディスク７０８上の情報を再生する。この近視野光
ヘッド７００によれば、ヘッドスライダ７０１に光源７
０５とレンズ７０６とを組み込んでいるので、コンパク
トになる。また、量産に適する。
【００４８】（実施の形態８）図１２は、この発明の実
施の形態８に係る近視野光ヘッドの構造を示す概略構成
図である。この近視野光ヘッド８００では、ヘッドスラ
イダ８０１の底面に上記エッジ部８０２（図２参照）を
形成している。また、ヘッドスライダ８０１のうち前記
エッジ部８０２の近傍には受光素子８０３と導波路８０
４とが設けられている。さらに、ヘッドスライダ８０１
には、光源８０５と導波路８０６とが組み込まれてい
る。エッジ部８０２の反対側には、テーパ面８０７が設
けられている。このテーパ面８０７とディスク８０８と
によりくさび膜形状の流路が生じる。また、エッジ部８
０２の形成は、エッチング処理により行う。近視野光ヘ
ッド８００は、サスペンションアーム（図示省略）によ
り支持されており、ボイスコイルモータ（図示省略）に
より駆動される。
施の形態８に係る近視野光ヘッドの構造を示す概略構成
図である。この近視野光ヘッド８００では、ヘッドスラ
イダ８０１の底面に上記エッジ部８０２（図２参照）を
形成している。また、ヘッドスライダ８０１のうち前記
エッジ部８０２の近傍には受光素子８０３と導波路８０
４とが設けられている。さらに、ヘッドスライダ８０１
には、光源８０５と導波路８０６とが組み込まれてい
る。エッジ部８０２の反対側には、テーパ面８０７が設
けられている。このテーパ面８０７とディスク８０８と
によりくさび膜形状の流路が生じる。また、エッジ部８
０２の形成は、エッチング処理により行う。近視野光ヘ
ッド８００は、サスペンションアーム（図示省略）によ
り支持されており、ボイスコイルモータ（図示省略）に
より駆動される。
【００４９】光源８０５からの光８０９は導波路８０６
を通りエッジ部８０２を照明する。これにより、エッジ
部８０２表面にエバネッセント場８１０が発生する。ヘ
ッドスライダ８０１は、斜めに浮上するので、エッジ部
８０２がディスク面に近づいて光を散乱する。この散乱
光８１１の光強度は、ビット８１２の有無により変化す
る。前記発生した散乱光８１１は、ヘッドスライダ８０
１のうち前記エッジ部８０２近傍に設けた導波路８０４
を通り受光素子８０３によって受光する。受光素子８０
３では、散乱光８１１の光強度に応じた光電変換を行
う。これにより、ディスク８０８上の情報を再生する。
この近視野光ヘッド８００によれば、導波路８０６によ
りエッジ部８０２のみを照明できるから受光素子８０３
に入る迷光を減らすことができる。また、ヘッドスライ
ダ８０１に光源８０５を組み込んでいるので、コンパク
トになる。また、量産に適する。なお、導波路８０６の
先にレンズを配置してもよい。
を通りエッジ部８０２を照明する。これにより、エッジ
部８０２表面にエバネッセント場８１０が発生する。ヘ
ッドスライダ８０１は、斜めに浮上するので、エッジ部
８０２がディスク面に近づいて光を散乱する。この散乱
光８１１の光強度は、ビット８１２の有無により変化す
る。前記発生した散乱光８１１は、ヘッドスライダ８０
１のうち前記エッジ部８０２近傍に設けた導波路８０４
を通り受光素子８０３によって受光する。受光素子８０
３では、散乱光８１１の光強度に応じた光電変換を行
う。これにより、ディスク８０８上の情報を再生する。
この近視野光ヘッド８００によれば、導波路８０６によ
りエッジ部８０２のみを照明できるから受光素子８０３
に入る迷光を減らすことができる。また、ヘッドスライ
ダ８０１に光源８０５を組み込んでいるので、コンパク
トになる。また、量産に適する。なお、導波路８０６の
先にレンズを配置してもよい。
【００５０】なお、上記実施の形態においては種々の手
段、部材ないしは構造を限定的に説明したが、当業者の
設計可能な範囲にて適宜改変することも可能である。
段、部材ないしは構造を限定的に説明したが、当業者の
設計可能な範囲にて適宜改変することも可能である。
【００５１】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の近視野
光ヘッド（請求項１〜３）によれば、ヘッド先端部を、
２平面の交差したエッジ形状としたので、ヘッドの機械
的強度が向上し、ヘッドの信頼性が高まる。
光ヘッド（請求項１〜３）によれば、ヘッド先端部を、
２平面の交差したエッジ形状としたので、ヘッドの機械
的強度が向上し、ヘッドの信頼性が高まる。
【００５２】また、つぎの発明の近視野光ヘッド（請求
項４および５）では、ヘッド先端部を、交差する２面の
うち少なくとも１面が曲面であり、２面の交差する辺が
メディアの径方向に曲率を持ったエッジ形状とした。好
ましくは、この曲率半径を前記メディアのビット幅の５
倍以上とした。このため、トラック直交方向の信号がノ
イズにならず、実用に十分なＳ／Ｎ比が得られる。
項４および５）では、ヘッド先端部を、交差する２面の
うち少なくとも１面が曲面であり、２面の交差する辺が
メディアの径方向に曲率を持ったエッジ形状とした。好
ましくは、この曲率半径を前記メディアのビット幅の５
倍以上とした。このため、トラック直交方向の信号がノ
イズにならず、実用に十分なＳ／Ｎ比が得られる。
【００５３】また、つぎの発明の近視野光ヘッド（請求
項６）では、エッジを形成する２面のうち１面をスライ
ダの底面としたので、スライダにチップを形成する場合
のようなチップとスライダとの高さ合わせを必要としな
い。また、先鋭化プロセスが不要でエッチングによりエ
ッジ部を形成できるので、製造容易である。
項６）では、エッジを形成する２面のうち１面をスライ
ダの底面としたので、スライダにチップを形成する場合
のようなチップとスライダとの高さ合わせを必要としな
い。また、先鋭化プロセスが不要でエッチングによりエ
ッジ部を形成できるので、製造容易である。
【００５４】また、つぎの発明の近視野光ヘッド（請求
項７）では、前記ヘッドの上方に受光素子を配置したの
で、ヘッドがコンパクトになる。
項７）では、前記ヘッドの上方に受光素子を配置したの
で、ヘッドがコンパクトになる。
【００５５】また、つぎの発明の近視野光ヘッド（請求
項８）では、ヘッドを有するスライダのうち、前記ヘッ
ドの近傍に受光素子を設けたので、ヘッドがコンパクト
になり、散乱光の受光効率が向上する。
項８）では、ヘッドを有するスライダのうち、前記ヘッ
ドの近傍に受光素子を設けたので、ヘッドがコンパクト
になり、散乱光の受光効率が向上する。
【００５６】また、つぎの発明の近視野光ヘッド（請求
項９）では、ヘッドを有するスライダのうち、前記ヘッ
ドの近傍に導波路を設け、この導波路に受光素子を設け
たので、エッジからの散乱光のみを選択的に受光素子に
導くことができるので、Ｓ／Ｎ比が向上する。
項９）では、ヘッドを有するスライダのうち、前記ヘッ
ドの近傍に導波路を設け、この導波路に受光素子を設け
たので、エッジからの散乱光のみを選択的に受光素子に
導くことができるので、Ｓ／Ｎ比が向上する。
【００５７】また、つぎの発明の近視野光ヘッド（請求
項１０）では、前記スライダ底面の全部または一部に金
属膜を設け、当該金属膜で前記エッジ部を形成した。ス
ライダ底面で光を反射することができるので、迷光を少
なくできる。また、金属膜でエッジを形成するので、散
乱効率が向上する。
項１０）では、前記スライダ底面の全部または一部に金
属膜を設け、当該金属膜で前記エッジ部を形成した。ス
ライダ底面で光を反射することができるので、迷光を少
なくできる。また、金属膜でエッジを形成するので、散
乱効率が向上する。
【００５８】また、つぎの発明の近視野光ヘッド（請求
項１１）では、ヘッドを有するスライダを光透過性の材
料で構成し、メディアに対しスライダ側に光源を配置し
たので、装置全体がコンパクトになる。
項１１）では、ヘッドを有するスライダを光透過性の材
料で構成し、メディアに対しスライダ側に光源を配置し
たので、装置全体がコンパクトになる。
【００５９】また、つぎの発明の近視野光ヘッド（請求
項１２）では、ヘッドを有するスライダを光透過性の材
料で構成し、このスライダに光源を設けたので、コンパ
クトにできる。また、量産性に適する。
項１２）では、ヘッドを有するスライダを光透過性の材
料で構成し、このスライダに光源を設けたので、コンパ
クトにできる。また、量産性に適する。
【００６０】また、つぎの発明の近視野光ヘッド（請求
項１３）では、ヘッドを有するスライダに、光源と当該
光源の光を伝送する導波路とを設けたので、受光素子に
入る迷光を少なくできるので、Ｓ／Ｎ比が向上する。
項１３）では、ヘッドを有するスライダに、光源と当該
光源の光を伝送する導波路とを設けたので、受光素子に
入る迷光を少なくできるので、Ｓ／Ｎ比が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１に係る近視野光ヘッド
を示す概略斜視図である。
を示す概略斜視図である。
【図２】図１に示したヘッド先端部を示す拡大側面図で
ある。
ある。
【図３】図１に示したヘッド先端部を示す拡大正面図で
ある。
ある。
【図４】図１に示した近視野光ヘッドの変形例を示す概
略斜視図である。
略斜視図である。
【図５】図１に示した近視野光ヘッドの変形例を示す概
略斜視図である。
略斜視図である。
【図６】この発明の実施の形態２に係る近視野光ヘッド
の構造を示す概略構成図である。
の構造を示す概略構成図である。
【図７】この発明の実施の形態３に係る近視野光ヘッド
の構造を示す概略構成図である。
の構造を示す概略構成図である。
【図８】この発明の実施の形態４に係る近視野光ヘッド
の構造を示す概略構成図である。
の構造を示す概略構成図である。
【図９】この発明の実施の形態５に係る近視野光ヘッド
の構造を示す概略構成図である。
の構造を示す概略構成図である。
【図１０】この発明の実施の形態６に係る近視野光ヘッ
ドの構造を示す概略構成図である。
ドの構造を示す概略構成図である。
【図１１】この発明の実施の形態７に係る近視野光ヘッ
ドの構造を示す概略構成図である。
ドの構造を示す概略構成図である。
【図１２】この発明の実施の形態８に係る近視野光ヘッ
ドの構造を示す概略構成図である。
ドの構造を示す概略構成図である。
１００ 近視野光ヘッド １ ディスク １１ ビット １２ トラック ２ ヘッド ２１ 梁部 ２２ 先端部 ２３ エッジ部 ２４ 底面 ２５ 側面 ２６ 辺 ２７ 幅広部分 ３ 受光素子 ４ 光 ４１ エバネッセント場 ４２ 散乱光
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 新輪 隆 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 中島 邦雄 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内
Claims (13)
- 【請求項１】 ヘッド先端部をメディアに対し光波長以
下の距離を隔てて近接させ、当該メディアに光を照射し
たときに発生するエバネッセント場の散乱光強度に基づ
き、前記メディアに記録した情報を再生する近視野光ヘ
ッドにおいて、前記ヘッド先端部を、２平面の交差した
エッジ形状としたことを特徴とする近視野光ヘッド。 - 【請求項２】 ヘッド先端部をメディアに対し光波長以
下の距離を隔てて近接させ、当該メディアに光を照射し
たときに発生するエバネッセント場の散乱光強度に基づ
き、前記メディアに記録した情報を再生する近視野光ヘ
ッドにおいて、前記ヘッド先端部を、２平面が交差して
おりその辺が微視的に曲率半径を持つエッジ形状とした
ことを特徴とする近視野光ヘッド。 - 【請求項３】 ヘッド先端部をメディアに対し光波長以
下の距離を隔てて近接させ、当該メディアに光を照射し
たときに発生するエバネッセント場の散乱光強度に基づ
き、前記メディアに記録した情報を再生する近視野光ヘ
ッドにおいて、前記ヘッド先端部を、２平面が交差して
おりその辺が微視的に曲率半径を持ち、この曲率半径が
２平面が交差している辺を含む断面で無限大になるエッ
ジ形状としたことを特徴とする近視野光ヘッド。 - 【請求項４】 ヘッド先端部をメディアに対し光波長以
下の距離を隔てて近接させ、当該メディアに光を照射し
たときに発生するエバネッセント場の散乱光強度に基づ
き、前記メディアに記録した情報を再生する近視野光ヘ
ッドにおいて、前記ヘッド先端部が、交差する２面のう
ち少なくとも１面が曲面であり、２面の交差する辺がメ
ディアの径方向に曲率半径を持ったエッジ形状であるこ
とを特徴とする近視野光ヘッド。 - 【請求項５】 前記曲率半径を、前記メディアのビット
幅の５倍以上としたことを特徴とする請求項４に記載の
近視野光ヘッド。 - 【請求項６】 前記２面のうち１面をスライダの底面と
したことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記
載の近視野光ヘッド。 - 【請求項７】 さらに、前記ヘッドの上方に受光素子を
配置したことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つ
に記載の近視野光ヘッド。 - 【請求項８】 前記ヘッドを有するスライダのうち、前
記ヘッドの近傍に受光素子を設けたことを特徴とする請
求項１〜６のいずれか１つに記載の近視野光ヘッド。 - 【請求項９】 前記ヘッドを有するスライダのうち、前
記ヘッドの近傍に導波路を設け、この導波路に受光素子
を設けたことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つ
に記載の近視野光ヘッド。 - 【請求項１０】 さらに、前記スライダ底面の全部また
は一部に金属膜を設け、当該金属膜で前記エッジ部を形
成したことを特徴とする請求項６〜９のいずれか１つに
記載の近視野光ヘッド。 - 【請求項１１】 前記ヘッドを有するスライダを光透過
性の材料で構成し、メディアに対しスライダ側に光源を
配置したことを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１
つに記載の近視野光ヘッド。 - 【請求項１２】 前記ヘッドを有するスライダを光透過
性の材料で構成し、このスライダに光源を設けたことを
特徴とする請求項１〜１０のいずれか１つに記載の近視
野光ヘッド。 - 【請求項１３】 前記ヘッドを有するスライダに、光源
と当該光源の光を伝送する導波路とを設けたことを特徴
とする請求項１〜１０のいずれか１つに記載の近視野光
ヘッド。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07541798A JP4109744B2 (ja) | 1998-03-24 | 1998-03-24 | 近視野光ヘッド |
| US09/423,850 US6429419B1 (en) | 1998-03-24 | 1999-03-12 | Near-field optical head |
| DE69927899T DE69927899T2 (de) | 1998-03-24 | 1999-03-12 | Optischer nahfeldkopf |
| PCT/JP1999/001213 WO1999049462A1 (fr) | 1998-03-24 | 1999-03-12 | Tete optique a champ proche |
| EP99942601A EP0986058B1 (en) | 1998-03-24 | 1999-03-12 | Near-field optical head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07541798A JP4109744B2 (ja) | 1998-03-24 | 1998-03-24 | 近視野光ヘッド |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008071620A Division JP4498429B2 (ja) | 2008-03-19 | 2008-03-19 | 近視野光ヘッド |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11273137A true JPH11273137A (ja) | 1999-10-08 |
| JP4109744B2 JP4109744B2 (ja) | 2008-07-02 |
Family
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07541798A Expired - Fee Related JP4109744B2 (ja) | 1998-03-24 | 1998-03-24 | 近視野光ヘッド |
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| Country | Link |
|---|---|
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| EP (1) | EP0986058B1 (ja) |
| JP (1) | JP4109744B2 (ja) |
| DE (1) | DE69927899T2 (ja) |
| WO (1) | WO1999049462A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001016949A1 (fr) * | 1999-08-30 | 2001-03-08 | Seiko Instruments Inc. | Tete optique |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8092704B2 (en) | 2008-12-30 | 2012-01-10 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | System, method and apparatus for fabricating a c-aperture or E-antenna plasmonic near field source for thermal assisted recording applications |
| US8169881B2 (en) | 2008-12-31 | 2012-05-01 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Thermally assisted recording head having recessed waveguide with near field transducer and methods of making same |
| US7880996B2 (en) * | 2008-12-31 | 2011-02-01 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Ridge wave-guide for thermal assisted magnetic recording |
| US8472286B2 (en) | 2008-12-31 | 2013-06-25 | HGST Netherlands B.V. | Near field transducer having main body and wings extending therefrom and only electrically coupled thereby |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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