JP4308731B2 - 近視野光ヘッドおよび該近視野光ヘッドを用いた情報再生装置 - Google Patents
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Description
前記記録媒体と対面する一方の面に近視野光発生素子を有し、他方の面から前記近視野光発生素子に貫通する貫通面が形成された基板と、
前記貫通面の少なくとも一部を覆う金属膜と、前記金属膜の少なくとも一部を覆う誘電体膜と、を持つことを特徴とする。
図1に本発明の実施の形態1に係る近視野光ヘッドを用いた情報再生装置の概略を示す。本実施の形態に係る情報再生装置は、従来の磁気ディスク装置と基本構成は類似であり、近視野光を発生する微小開口(図示略)を有する近視野光ヘッド106を記録媒体107の表面に数十ナノメートルまで近接した状態で記録媒体107を高速に回転させ、近視野光ヘッド106が記録媒体107と常に一定の相対配置で浮上するために、フレクシャー105をサスペンションアーム104の先端部に形成している。サスペンションアーム104はボイスコイルモータ(図示略)によって記録媒体107の半径方向に移動可能である。ここで、近視野光ヘッド106は、記録媒体107に微小開口が対面するように配置されている。
図5は本発明の実施の形態2に係る近視野光ヘッド300の上面図を示す。実施の形態1で説明した近視野光ヘッド106と同一部分には同一符号を与え、説明を略す。実施の形態1との相違点は、金属膜305が、凹部202の側面のうち、微小開口207から見て光ファイバー301の方向に伸びた面306の全面にわたって形成されている点である。
図6は本発明の実施の形態3に係る近視野光ヘッド400の上面図を示す。実施の形態1で説明した近視野光ヘッド106と同一部分には同一符号を与え、説明を略す。実施の形態1との相違点は、光ファイバー406の先端面407が曲面形状を持っている点である。先端面407が曲面であるためレンズとして働き、光ファイバー406のコア302を伝搬した光311は、高い効率で金属膜205に照射される。これにより、より強いエネルギーを持つ表面プラズモンが金属膜205表面に励起され、結果として強い近視野光によるデータマークとの相互作用を起こす。これにより、高い光効率を持つ近視野光ヘッド400が実現された。
図7は本発明の実施の形態4に係る近視野光ヘッド500の断面図を示す。実施の形態1で説明した近視野光ヘッド106と同一部分には同一符号を与え、説明を略す。実施の形態1との相違点は、誘電体膜506が、金属膜205の上面だけでなく、近視野光ヘッド500全体の上面に形成されている点である。近視野光ヘッド上面のうち、微小開口207の真上部分が平坦になる。このような構造は、誘電体膜506を形成した後に、上面を研磨することによって容易に作製可能である。
図8は本発明の実施の形態5に係る近視野光ヘッド600の断面図を示す。近視野光ヘッド600は、ガラス基板601の上面にガイド溝602と、底面に三角錐ティップ603を持つ。三角錐ティップ603のガラス基板601の底面からの高さHは10μmである。三角錐ティップ603の側面の一部には金属膜604と、誘電体膜608が形成されている。ガイド溝602に光ファイバー605が固定される。光ファイバー605の端面606は斜めに研磨されている。
図9は本発明の実施の形態6に係る近視野光ヘッド700の断面図を示す。実施の形態1で説明した図2とほぼ同様の構造であるので、同様の部分については符号と説明を略す。特徴は貫通穴701が基板702を光学的にだけでなく、物理的に貫通している点である。結果として開口703は光学的にだけでなく、物理的な開口となっている。このような構造であっても上述した実施の形態と同様の効果が得られた。
102 レンズ
103 光ファイバー
104 サスペンションアーム
105 フレクシャー
106 近視野光ヘッド
107 記録媒体
108 回路系
201 Si基板
202 凹部
203 凹部202の1側面
204 凹部202の他の側面
205 金属膜
206 誘電体膜
207 微小開口
208 金属膜205端面
209 ガイド溝
210 空気浮上面
300 近視野光ヘッド
301 光ファイバー
302 コア
303 光ファイバー301の端面
305 金属膜
306 凹部202の一側面
311 入射光
312 近視野光
400 近視野光ヘッド
406 光ファイバー
407 光ファイバー406の先端面
500 近視野光ヘッド
506 誘電体膜
600 近視野光ヘッド
601 ガラス基板
602 ガイド溝
603 三角錐ティップ
604 金属膜
605 光ファイバー
606 光ファイバー605の端面
607 近視野光
608 誘電体膜
609 光ファイバー605のコア
610 光ファイバーを伝搬した光
611 三角錐ティップ603の先端部
700 近視野光ヘッド
701 貫通穴
702 基板
703 開口
H 三角錐ティップ603の高さ
S101〜S105 近視野光ヘッドの作製ステップ
T Si基板201の厚み
Claims (11)
- 光源からの入射光を変換して近視野光を発生させ、回転する記録媒体表面との相互作用を前記近視野光を介することで行い、情報の記録再生を行う近視野光ヘッドにおいて、
前記記録媒体と対面する一方の面に近視野光発生素子を有し、他方の面から前記近視野光発生素子に向う軸に対して傾斜する錐状の傾斜面が形成された基板と、
前記傾斜面の少なくとも一部を覆う金属膜と、前記金属膜の少なくとも一部を覆う誘電体膜とを備え、
前記金属膜及び前記誘電体膜は、互いに重ね合わされた状態で、前記傾斜面の前記記録媒体側の一端部分から前記傾斜面の前記記録媒体側とは反対側の他端部分に亘って、前記傾斜面を覆い、
前記近視野光発生素子は、前記金属膜の前記記録媒体側の金属膜一端部分と、前記誘電体膜の前記記録媒体側の誘電体膜一端部分とを備え、前記金属膜一端部分及び前記誘電体膜一端部分とは反対側の他端部分である積層他端部分に、前記入射光が照射されることにより、前記金属膜一端部分及び前記誘電体膜一端部分の境界部分を介して前記近視野光を発生し、
前記光源は、前記積層他端部分に前記入射光を照射する光導波路を備え、前記光導波路の先端部分は、前記基板の前記記録媒体側とは反対側の面に備えられ、前記基板に対して略平行に形成されていることを特徴とする近視野光ヘッド。 - 前記傾斜面が前記基板の倒立錐部の側面であり、前記倒立錐部の頂部が前記記録媒体表面の方向に向いていることを特徴とする、請求項1に記載の近視野光ヘッド。
- 前記倒立錐部が前記入射光を透過する材質から成ることを特徴とする請求項2に記載の近視野光ヘッド。
- 前記倒立錐部が物理的な貫通穴であることを特徴とする、請求項2に記載の近視野光ヘッド。
- 前記金属膜が可視光によって表面プラズモンを発生させる材質から成ることを特徴とする、請求項1から4のいずれかに記載の近視野光ヘッド。
- 前記基板がシリコンから成り、前記傾斜面が前記基板の結晶異方性エッチングによって形成されたものであることを特徴とする、請求項1から5のいずれかに記載の近視野光ヘッド。
- 前記近視野光発生素子が、光学的微小開口を備えることを特徴とする、請求項1から6のいずれかに記載の近視野光ヘッド。
- 前記金属膜一端部分及び前記誘電体膜一端部分は、前記基板の前記記録媒体側の面と面一となるように形成されていることを特徴とする、請求項1から6のいずれかに記載の近視野光ヘッド。
- 前記近視野光発生素子が、前記傾斜面に前記金属膜を持つ錐状ティップを備え、前記錐状ティップの先端において近視野光を発生させるものであることを特徴とする、請求項1から6のいずれかに記載の近視野光ヘッド。
- 前記光導波路の先端部分は、前記入射光を前記積層他端部分に集光させる曲面を備えることを特徴とする請求項1に記載の近視野光ヘッド。
- 請求項1〜10の何れかに記載の近視野光ヘッドと、光源とからなり、該光源からの入射光を変換して近視野光を発生させ、回転する記録媒体表面との相互作用を前記近視野光を介することで行い、情報の記録再生を行うことを特徴とする情報再生装置。
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