JPH0863824A - 光磁気記録用磁気ヘッド、及びその製造方法、及び光磁気記録装置 - Google Patents

光磁気記録用磁気ヘッド、及びその製造方法、及び光磁気記録装置

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JPH0863824A
JPH0863824A JP7127828A JP12782895A JPH0863824A JP H0863824 A JPH0863824 A JP H0863824A JP 7127828 A JP7127828 A JP 7127828A JP 12782895 A JP12782895 A JP 12782895A JP H0863824 A JPH0863824 A JP H0863824A
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Kazunori Ishii
和慶 石井
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    • G11B5/1278Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier

Abstract

(57)【要約】 【目的】 塵埃等の異物による傷や破壊から磁気ヘッド
を守り、かつ平偏なコイルを薄膜導体で形成する場合の
生産性を改善する。 【構成】 スライダー基台31と、該基台に搭載された
磁性材料より成るコア32と、該コアのメインポール3
2bの周囲に設けられたコイル33と、を備えた光磁気
記録用磁気ヘッドにおいて、該メインポール32bの上
端面32cを露出させて該メインポールの周囲を取り囲
むように耐摩耗性材料よりなる薄板状のカバー部材34
が設けられ、該カバー部材の表面にはエア・ベアリング
面、または摺動面が形成され、該カバー部材34の裏面
上には上記コイル33がスパイラル状の薄膜導体により
形成されていることを特徴とする光磁気記録用磁気ヘッ
ド。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光磁気記録媒体に情報
信号を記録するための光磁気記録用磁気ヘッド、及びそ
の製造方法、及び光磁気記録装置に関する。
【0002】
【従来の技術】光磁気ディスクなどの光磁気記録媒体に
高密度で情報信号を記録する光磁気記録装置には、磁界
変調方式によるものが知られている。この方式では記録
媒体に対してレーザ光を直径1μm程度の光スポットに
収束して照射し、他方、磁気ヘッドにより情報信号で変
調された磁界を上記のレーザ光の照射部位に印加するこ
とで、情報信号の記録を行なうのである。
【0003】一般的に知られている磁界変調方式の光磁
気記録装置の概略構成を図19に示す。
【0004】ここで、使用される光磁気記録媒体として
のディスク7は透明基板上に磁気記録層7aを形成した
構造となっている。ディスク7はスピンドルモータ6で
回転駆動される。また、ディスク7の上面側には磁気ヘ
ッド1が、また下面側には磁気ヘッド1と対向して光ヘ
ッド5が配置される。上記磁気ヘッド1はロードビーム
2の先端に保持され、また光ヘッド5とロードビーム2
の固定端とは連結部材3により連結され、リニアモータ
4の駆動により光ヘッド5と磁気ヘッド1は一体となっ
てディスク7の半径方向へ移送されるのである。
【0005】上記の光磁気記録装置により、ディスク7
に情報信号の記録を行なう場合にはスピンドルモータ6
でディスク7を高速回転させ、光ヘッドによりレーザ光
8をディスク7の磁気記録層7a上に照射し、直径1μ
m程度の光スポットとして収束させる。これにより磁気
記録層7aの光スポット部は加熱され、キュリー温度以
上の温度に上昇する。
【0006】同時に磁気ヘッド1のコイルに対し磁気ヘ
ッド駆動回路9により情報信号で変調された電流を供給
することによって、光スポット部に情報信号で変調され
た磁界が印加される。これにより光スポット部を通過
し、冷却された後の磁気記録層7a上には印加された磁
界の方向に対応した磁化により、情報信号が記録される
のである。
【0007】ここで、上記の磁気ヘッドは図18に示す
ように高透磁率の磁性材料たとえばフェライトからなり
角板状のベースコア18aの中央部に突出したメインポ
ール18bを一体的に形成したコア18とベースコア1
8a上、メインポール18bの周囲に、導体線の巻回に
より設けられたコイル13、磁気ヘッドをディスクの回
転に伴なって生じる空気流により浮上させるためのエア
・ベアリング構造が形成された耐摩耗性、非磁性の材
料、たとえば、セラミックからなるスライダー基台14
とを備えている。また、コイル13およびメインポール
18bを保護するために、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹
脂材料からなる保護部材19がコイル13およびメイン
ポール18bの周囲に充填され、その表面はスライダー
基台14のエア・ベアリング面A1と面一となりメイン
ポール18bの上端面18cがエア・ベアリング面A1
の表面に露出するように構成されている。
【0008】また、磁気ヘッドをディスク上に浮上させ
る上記の例とは異なり、磁気ヘッドをディスクに接触摺
動させる方式の装置も知られており、この場合、スライ
ダー基台にはエア・ベアリング面に代わり摺動面が形成
されることになるが、このような装置も、全体構成につ
いては上記の例と全く同様である。
【0009】このような磁気ヘッドは、図20に示すよ
うに、高透磁率の磁性材料たとえばフェライトから成
り、角板状のベースヨーク18aの中央部に突出したメ
インポール18bを一体的に形成したヨーク18の周囲
に配設されたコイル13とディスク表面に接触摺動する
ための曲面状の摺動面A4が形成された潤滑特性を有す
る樹脂材料から成る摺動部材17とを備えている。ま
た、コイル13およびメインポール18bを保護するた
めにエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂材料から保護部材1
9がコイル13およびメインポール18bの周囲に充填
され、その表面は摺動部材17の摺動面A4と面一とな
るように構成されている。
【0010】ここで、図18,図20に示した磁気ヘッ
ドにおいて、コイルをエア・ベアリング面、または摺動
面に平行で偏平な形状とし、さらに、エア・ベアリング
面または摺動面に近づけて設けることにより、コイルの
インダクタンスは小さくなり磁気ヘッドの磁界発生効率
が高くなるので、より高速で良好な信号記録ができると
いう効果が得られる。
【0011】また、USP 5,402,293には、
より一層上記の効果を高めるためにコイルを薄膜導体に
より構成することが提案されている。このような、磁気
ヘッドにおいては、コイルは従来、ベースコア上に、メ
ッキ等の方法で形成された導体の薄膜をスパイラル状に
パターニングすることにより形成されている。またこの
例ではコイル上には特に保護部材は設けられていない。
【0012】また、特開平6−301914号公報に
は、導体線を巻いて偏平なコイルを作成する方法が提案
されている。ここでは予め成形された偏平なコイルをベ
ースコア上に突出して設けられたメインポールの周囲に
とりつける方式と、ベースコア上に突出して設けられた
メインポールの周囲に直線導体線を巻き付けて偏平なコ
イルを作製する方法が示されている。
【0013】本願出願人の検討によると、上記の予め成
形された偏平なコイルを取り付ける方式は特に生産性に
すぐれている。
【0014】
【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、以
上説明した従来装置においては、次のような問題点があ
る。即ち、硬度、耐摩耗性が十分ではない熱硬化性樹脂
材料からなる保護部材がエア・ベアリング面に露出して
いるため、エア・ベアリング面とディスク表面との間に
塵埃等の異物が入り込んだり、高速のシーク動作や外部
振動により磁気ヘッドに限度を越える大きな加速度が加
えられた際に磁気ヘッドの浮上安定性が失なわれて一時
的にディスクと接触する場合に、硬度、耐摩耗性が不十
分であると保護部材表面に損傷を生じやすいのである。
【0015】特に損傷の程度が大きくなるとヘッドクラ
ッシュの原因となりディスクや磁気ヘッドを破壊する恐
れがあり、たいへんに危険である。
【0016】また、摺動部材を備え、磁気ヘッドとディ
スクを摺動させる方式の磁気ヘッドにおいてはディスク
との接触摺動部位に前記の熱硬化性樹脂材料からなる保
護部材のように非潤滑性の部材が露出している場合、磁
気ヘッドとディスクとの摺動時に作用する大きな摩擦力
により磁気ヘッドが破損しやすいという問題点がある。
【0017】またベースコア上にコイルを薄膜導体によ
り構成した磁気ヘッドにおいては、その製造工程におい
て、導体の薄膜を形成するよりも前にベースコアの表面
が十分に平滑となるように研磨加工することにより、薄
膜の付着強度を高めるとともに、精密なコイルのパター
ンニングが可能となる。しかしながら、前記、従来の磁
気ヘッドにおいては、ベースコア上に、メインポールの
ような凸部が存在するためにベースコア表面に対して研
磨加工を行うことが非常に困難であり、大量生産には適
さないという問題点がある。
【0018】また導体線を使用し予め成形された平偏な
コイルをベースコア上に突出したメインポールの周囲に
取りつける方式の磁気ヘッドにおいては、その製造工程
においてコイルの取り付けの後に、ガラスボンディング
によりセラミック等の耐摩耗性の材料からなる保護部材
をコイルの上に設ける場合、コイルの耐熱限界によりガ
ラスの軟化温度(約500℃以上)に耐えることができ
ない。したがって保護部材には、それほど高い温度を必
要としない熱硬化性樹脂材料が使用される。しかしなが
ら前記のようにこのような材料は、硬度、耐摩耗性が十
分ではない。
【0019】[発明の目的]本発明の目的は、磁気ヘッ
ドのエア・ベアリング面、又は摺動面に、硬度及び摩耗
性の十分なカバー部材を配置することにより、耐熱硬化
性樹脂材料等の保護部材の露出面をできる限り小さくす
るか、又はまったく露出しないようにし、これにより、
塵埃等の異物による傷や破壊から磁気ヘッドを守ること
にある。
【0020】さらには、平偏なコイルを薄膜導体で形成
する場合の生産性を改善することにある。さらには、平
偏なコイルを導体線で構成した場合に、耐摩耗性にすぐ
れた材料からなるカバー部材のガラスボンディングによ
る接合を可能とすることにある。
【0021】
【課題を解決するための手段及び作用】
[手段及び作用A]本発明による光磁気記録用磁気ヘッ
ドは、スライダー基台とスライダー基台に搭載された磁
性材料より成るコアと該コアのメインポールの周囲に設
けられたコイルとを備えた光磁気記録用磁気ヘッドにお
いて、メインポールの上端面を露出させてメインポール
の周囲を取り囲むように耐摩耗性材料よりなる薄板状の
カバー部材が設けられ、カバー部材の表面にはエア・ベ
アリング面または摺動面が形成され、またカバー部材の
裏面上にはスパイラル状の薄膜導体により前記コイルが
形成されていることを特徴とするものである。
【0022】または本発明による光磁気記録用磁気ヘッ
ドは、スライダー基台とスライダー基台に搭載された磁
性材料よりなるコアとコアのメインポールの周囲に設け
られたコイルとを備えた光磁気記録用磁気ヘッドにおい
て、メインポールの上端面を覆うように耐摩耗性材料よ
りなる薄板状のカバー部材が設けられ、カバー部材の表
面にはエア・ベアリング面、または摺動面が形成され、
また、カバー部材の裏面上には、スパイラル状の薄膜導
体により前記コイルが形成されていることを特徴とする
ものである。
【0023】このカバー部材により、熱硬化性樹脂材料
等の耐摩耗性の低い保護部材や接着剤の露出面を小さく
することができるため、エアベアリング面や摺動面の表
面に摩耗、損傷を発生することを防止することができ
る。また、ベースコアではなく、カバー部材の裏面上に
薄膜導体によりコイルを形成したことにより生産性が改
善できる。
【0024】また、スライダー基台、スペーサの構成材
料としての金属材料としては、銅やアルミなどの金属材
料を用いることができる。
【0025】また、スライダー基台と上記コアとを一体
的に構成する磁性材料としては、フェライト等が好まし
い。
【0026】また、カバー部材の構成材料としては、A
2 3 ,TiO2 ,ZrO2 ,BaO,CaO,Ni
O,MnO,MgO,SiO2 ,SiC,TiC,Si
N,TiN,BN等を成分として含むセラミック、例え
ば、BaO−TiO2 ,CaO−TiO2 ,Al2 3
−TiC,ZrO2 −SiO2 や非磁性フェライトガラ
ス状カーボン等の耐摩耗性材料が適している。
【0027】また、カバー部材の表面側と裏面側を別々
の材料で構成してもよい。例えば、エアベアリング面
や、摺動面が形成されるカバー部材の表面側をCaO−
TiO 2 ,Al23 −TiCなどの耐摩耗性の材料で
構成し、薄膜導体によりコイルが形成される裏面側はA
23 など、その裏面上に金属をメッキしてパターン
ニングするのに適した材料を使用するとよい。
【0028】[手段及び作用B]また、本発明による光
磁気記録用磁気ヘッドは、磁性材料からなるメインポー
ルと該メインポールの一端を突出させて該メインポール
に接合した磁性材料からなるベースヨークとを含む複数
の部材で構成されるコアと、メインポールの突出部の周
囲に配設されたコイルと、該突出部の周囲にコイルの表
面を覆うように設けられた耐摩耗性または潤滑特性を有
し非磁性のカバー部材と、を備えたことを特徴とするも
のである。
【0029】さらには、上記カバー部材はエア・ベアリ
ング構造を備えたスライダーまたは摺動部材と一体的に
構成されたものであることを特徴とするものである。
【0030】また上記の光磁気記録用磁気ヘッドは、カ
バー部材にメインポールを接合する第1の工程と、メイ
ンポールの突出部の周囲にコイルを配設する第2の工程
と、メインポールとベースヨークを接合する第3の工程
と、を含む製造方法によって、かつ上記の工程順序に従
って製造されることを特徴とするものである。
【0031】または、上記の光磁気記録用磁気ヘッド
は、スライダーまたは摺動部材と一体的に構成されたカ
バー部材とメインポールを接合する第1の工程と、メイ
ンポールの突出部の周囲にコイルを配設する第2の工程
と、メインポールとベースヨークを接合する第3の工程
と、を含む製造方法によって、かつ上記の工程順序に従
って製造されることを特徴とするものである。
【0032】また、本発明による光磁気記録装置は、上
記の光磁気記録用磁気ヘッドと、光磁気記録用磁気ヘッ
ドと光磁気記録媒体とを相対的に移動させる手段と、光
磁気記録用磁気ヘッドにより情報信号で変調された磁界
を発生させる手段と、磁界の発生部位にレーザ光を収束
して照射する光ヘッドと、を備えたことを特徴とするも
のである。
【0033】本発明によれば、コイルの表面を覆うよう
に耐摩耗性、または潤滑特性を有するカバーを備えたた
め、従来の磁気ヘッドのように耐摩耗性または潤滑特性
が不十分であるような部材が、エア・ベアリング面、ま
たは摺動面に露出することはない。したがって、磁気ヘ
ッドが破損することがない。
【0034】
【実施例】以下、図面により本発明の実施例について説
明する。
【0035】[実施例1]図1は、本発明の第1の実施
例である光磁気記録用磁気ヘッドの構成を示す図であ
る。ここで31は耐摩耗性のセラミックよりなるスライ
ダー基台であり、32はスライダー基台31に固着され
た磁性材料たとえばフェライトよりなるコアである。コ
ア32は角板状のベースコア32aとベースコア32a
の中央部に突出させて設けたメインポール32bから成
っている。
【0036】さらにメインポール32bの周囲をとり囲
むように耐摩耗性で非磁性のセラミックよりなり中央部
にメインポールの上端面32cを露出させるための孔3
4hが設けられた四角形で薄板状のカバー部材34が設
けられる。カバー部材34の裏面上には図2に示すよう
に孔34hの周囲をとり巻くようにスパイラル状の薄膜
導体によりコイル33が形成される。これは、メッキ、
スパッタ法等の薄膜形成技術とエッチング等のパターニ
ング技術とにより作製されるものである。
【0037】図においては、コイル33は1層の薄膜導
体で構成されているが、2層以上の薄膜導体の間に絶縁
層を挟んで構成してもよい。
【0038】コア32とカバー部材34の間の空隙に熱
硬化性樹脂等の接着剤35が充填されることにより、コ
ア32とカバー部材34が固着される。
【0039】スライダー基台31の底面側は、カバー部
材34の表面とともに、鏡面研磨が施され、エア・ベア
リング面A1を形成し、さらに溝A2、チャンファA3
が加工されることにより、エア・ベアリング構造をなす
のである。
【0040】本実施例においてはメインポールの周囲を
とり囲むように耐摩耗性のセラミックよりなるカバー部
材が設けられ、カバー部材の裏面にはスパイラル状の薄
膜導体によりコイルが形成され、また、表面にはエア・
ベアリング面が形成されるのである。ここで、カバー部
材とスライダー基台および、メインポールとの間のすき
間を十分に小さくすれば、接着剤である熱硬化性樹脂材
料のエア・ベアリング面への露出を最小限にとどめるこ
とができるのである。
【0041】また、カバー部材の裏面にスパイラル状の
薄膜導体によってコイルを形成したことにより、導体線
の巻回によるよりも小型のコイルを作製することが可能
となる。さらにメインポールの先端に十分に近接して小
型のコイルを設けることによりコイルの少ない電流供給
でより大きな磁界の発生が可能となり、磁気ヘッド駆動
回路の消費電力を低減することができる。また、コイル
の小型化によりコイルのインダクタンスは低下するの
で、より高い周波数で磁界の変調が可能となり、信号の
記録速度が向上するという効果もあるのである。
【0042】また、コイルはベースコア32の上ではな
く凸部のないカバー部材34の裏面上に形成されるか
ら、予めカバー部材34の裏面を研磨加工することも容
易であり生産性が良い。
【0043】[実施例2]次に図3に、本発明の第2の
実施例である光磁気記録用磁気ヘッドの構成を示す。こ
こで31はスライダー基台であり、本実施例においては
後述する理由によりスライダー基台31は必ずしも耐摩
耗性の材料により構成される必要はなく、例えば、セラ
ミックの他、金属材料や樹脂材料により構成されたもの
であってもよい。32はスライダー基台31に固着され
た磁性材料たとえば、フェライトよりなるコアである。
コア32は角板状のベースコア32aとベースコア32
aの中央部に突出させて設けたメインポール32bから
成っている。また、メインポール32bの周囲をとり囲
み、スライダー基台31の底面全体を覆うように耐摩耗
性で非磁性のセラミックよりなりメインポールの上端面
32cを露出させるための孔34hが設けられた四角形
で薄板状のカバー部材34が設けられる。カバー部材3
4の裏面上には、孔34hの周囲をとり巻くように、ス
パイラル状の薄膜導体によりコイル33が形成される。
コア32とカバー部材34の間の空隙には熱硬化性樹脂
等の接着剤35が充填されることにより、コア32とカ
バー部材34が固着される。
【0044】カバー部材34の表面は鏡面研磨が施さ
れ、エア・ベアリング面A1を形成し、さらに溝A2、
チャンファA3が加工されることにより、エア・ベアリ
ング構造をなすのである。
【0045】本実施例においてはメインポールの周囲を
とり囲みコイルの表面とスライダー基台の底面全体を覆
うように耐摩耗性のセラミックよりなるカバー部材が設
けられ、カバー部材の表面にはエア・ベアリング面が形
成されるのである。ここで、カバー部材とメインポール
との間のすき間を十分に小さくすれば、接着剤である熱
硬化性樹脂材料のエア・ベアリング面への露出を最小限
にとどめることができるのである。
【0046】また本実施例においてはスライダー基台の
底面はエア・ベアリング面に露出していないため摩耗、
損傷等の発生する恐れはない。このためスライダー基台
は耐摩耗性の材料により構成される必要はない。特にス
ライダー基台を加工性、成形性の良い金属材料や樹脂材
料を用いて構成した場合には、製造が容易になりコスト
が低減されるという効果が得られるのである。
【0047】さらに例えば、銅やアルミなどの熱伝導性
の良い金属材料で構成した場合には高い周波数の変調磁
界を発生する際にコア、およびコイルで発生する熱を効
果的に放熱することができこれによりコアの温度上昇に
よる磁気特性の低下を防ぐことができるという効果も得
られるのである。
【0048】[実施例3]次に、図4に本発明の第3の
実施例である光磁気記録用磁気ヘッドの構成を示す。こ
こで31はスライダー基台、32はコア、33はコイル
であり、これらは前記第2の実施例と全く同一の構成で
ある。
【0049】また、メインポールの上端面32cおよび
スライダー基台31の底面全体を覆うように、耐摩耗性
で非磁性のセラミックよりなる四角形で薄板状のカバー
部材34が設けられる。カバー部材の裏面側には凹部3
4pが形成され、メインポールの上端面32cは、カバ
ー部材34の表面との間の間隔が十分に小さくなるよう
にカバー部材の凹部34p内に配置される。また、カバ
ー部材34の裏面上には凹部34pの周囲をとり巻くよ
うにスパイラル状の薄膜導体によりコイル33が形成さ
れる。
【0050】次にコア32とカバー部材34の間の空隙
に熱硬化性樹脂等の接着剤35が充填されることによ
り、コア32とカバー部材34が固着されるのである。
【0051】カバー部材34の表面は鏡面研磨が施さ
れ、エア・ベアリング面A1を形成し、さらに、溝A
2、チャンファA3が加工されることによりエア・ベア
リング構造をなすのである。
【0052】本実施例においてはメインポールの上端面
およびスライダー基台の底面全体を覆うように、耐摩耗
性のセラミックよりなるカバー部材が設けられ、カバー
部材の表面にはエア・ベアリング面が形成されるのであ
る。したがってメインポールをはじめカバー部材以外の
構成部材は全くエア・ベアリング面には露出しないので
ある。
【0053】[実施例4]次に図5に本発明の第4の実
施例である光磁気記録用磁気ヘッドの構成を示す。ここ
で、32は磁性材料、たとえばフェライトよりなるコア
である。コア32は角板状のベースコア32aとベース
コア32aの一部に突出させて設けたメインポール32
bから成っている。さらに本実施例においては、ベース
コア32aを十分に大きく、他の部材がベースコア32
aにより支持されるように構成し実質的にベースコア3
2aは前述の実施例におけるスライダー基台を兼ねるの
である。このように、スライダー基台とコアは、磁性材
料により一体的に構成されている。またベースコア32
aとカバー部材34の間にはスペーサ36が設けられ
る。さらに、メインポール32bの周囲をとり囲み、ス
ペーサ36の表面を覆うように耐摩耗性で非磁性のセラ
ミックよりなり、メインポールの上端面32cを露出さ
せるための孔34hが設けられた四角形で、薄板状のカ
バー部材34が設けられる。カバー部材34の裏面上に
は孔34hの周囲をとり巻くようにスパイラル状の薄膜
導体によりコイル33が形成される。コア32、カバー
部材34、スペーサ36の間の空隙には、熱硬化性樹脂
等の接着剤35が充填されることによりコア32とカバ
ー部材34が固着される。スペーサ36は、金属材料又
は樹脂材料により構成されている。
【0054】カバー部材34の表面は鏡面研磨が施さ
れ、エア・ベアリング面A1を形成し、さらに、溝A
2、チャンファA3が加工されることによりエア・ベア
リング構造をなすのである。
【0055】本実施例においては、メインポールの周囲
をとり囲み、スペーサの表面を覆うように耐摩耗性で非
磁性のセラミックよりなるカバー部材が設けられ、カバ
ー部材の表面にはエア・ベアリング面が形成されるので
ある。ここで、カバー部材とメインポールとの間のすき
間を十分に小さくすれば、接着剤である熱硬化性樹脂材
料のエア・ベアリング面への露出を最小限にとどめるこ
とができるのである。また、本実施例においては、スペ
ーサー36の底面はエア・ベアリング面に露出していな
いため摩耗、損傷等の発生する恐れはない。このため、
スペーサは耐摩耗性の材料により構成される必要はな
い。特にスペーサを加工性、成形性の良い金属材料や樹
脂材料を用いて構成した場合には製造が容易になりコス
トが低減されるという効果が得られるのである。さらに
は、例えば銅やアルミなどの熱伝導性の良い金属材料で
構成した場合には高い周波数の変調磁界を発生する際
に、コア、およびコイルで発生する熱を効果的に放熱す
ることができ、これによりコアの温度上昇による磁気特
性の低下を防ぐことができるという効果も得られるので
ある。
【0056】[実施例5]次に図6に本発明の第5の実
施例である光磁気記録用磁気ヘッドの構成を示す。ここ
で、スライダー基台31,コア32、は前記第1の実施
例におけるものと同様である。
【0057】本実施例においてはカバー部材34の表面
側の部材34aは、CaO−TiO 2 やAl23 −T
iCなどの耐摩耗性のセラミック材料で構成され、ま
た、裏面側の部材34bはAl23 など、その上に金
属をメッキし、パターニングによりコイルを形成するの
に適した材料で構成される。
【0058】このようにカバー部材の表面側の部材と裏
面側の部材とを別々の材料で構成することにより、各々
の面に必要とされる性質を共に満足することができる。
したがって、コイルの生産性が良く、かつ、耐摩耗性に
もすぐれた磁気ヘッドが得られるのである。
【0059】また、上述した本発明の各実施例の光磁気
記録用磁気ヘッドを、従来例で説明した図19と同様な
構成の光磁気記録装置に組み込むことにより、即ち、本
発明の光磁気記録用磁気ヘッドと光磁気記録媒体とを相
対的に移動させる手段と、光磁気記録用磁気ヘッドによ
り情報信号で変調された磁界を発生させる手段と、該磁
界の発生部位にレーザ光を収束して照射する光ヘッド
と、を備えた光磁気記録装置とすることにより、磁気ヘ
ッドに傷や破壊が発生することを、より確実に防止した
光磁気記録装置を得ることができる。
【0060】なお、以上の実施例はすべてディスク上を
空気浮上させる方式の磁気ヘッドであったが、本発明は
これ以外にディスクに接触摺動させる方式の磁気ヘッ
ド、およびこれを用いる光磁気記録装置にも適用が可能
である。この場合磁気ヘッドはエア・ベアリング面に代
わり摺動面を備えるのである。
【0061】[実施例6B]図7は本発明による光磁気
記録用磁気ヘッドの他の実施例の構成を示す図であり、
(a)は概略断面図であり、(b)は下面図である。
【0062】図7において、12は高透磁率の磁性材料
からなる角板状のベースヨークであり、また11は同じ
く高透磁率の磁性材料からなる角柱状のメインポールで
あり、一端を突出させてベースヨーク12の中央部に接
合されている。スライダー基台に搭載されるコアは、ベ
ースヨーク12、メインポール11の2部材で構成され
る。メインポール11の突出部の周囲には導体線を巻き
つけたコイル13が配設される。また、14は耐摩耗性
であり非磁性のセラミックよりなるスライダーである。
スライダー14の底面側は磁気ヘッドを空気浮上させる
ためのエア・ベアリング構造として鏡面研磨加工された
エア・ベアリング面A1、溝A2、チャンファA3が形
成されている。このように、コアは、高透磁率の磁性材
料からなる複数の部材を接合して形成されている。
【0063】さらには、メインポール11の突出部の周
囲にはコイル13を覆うようにカバーCがスライダー1
4と一体的に形成されている。カバーCとメインポール
11とはガラス15によるボンディングにより接合され
ている。
【0064】次に上記のような構造の磁気ヘッドの製造
方法について説明する。前記のようにカバーとメインポ
ールとをガラスボンディングにより接合しているのであ
るが、この種のガラスの軟化温度は通常数百℃以上であ
る。ところが、コイルの耐熱温度は120℃〜180℃
であるからコイルをメインポールの周囲に配設する工程
はカバーとメインポールの接合の工程よりも後でなけれ
ばならない。さらには予め成形された空芯のコイルをメ
インポールの周囲に配設するためにはコアを少なくとも
ベースヨークとメインポールの2部材で構成しベースヨ
ークとメインポールとの接合の工程はコイルをメインポ
ールの周囲に配設する工程よりも後でなければならな
い。
【0065】図7に示した磁気ヘッドの製造工程の一例
を図8に示す。図8において、(a)はセラミックより
なる1次加工済みのスライダー14であり、凹部B1と
スリットB2とが形成されている。これらは機械加工に
よって形成するかまたはプレス成形により形成してもよ
い。なお、(a’)は、(a)の下面図である。
【0066】次に(b)は第1の工程であり、高透磁率
の磁性材料からなる角柱状のメインポール11をスライ
ダー14のスリットB2へ挿入しカバーCとガラス15
によりボンディング接合する。
【0067】次に(c)は第2の工程であり、スライダ
ー14の凹部B1内のメインポール11の周囲に予め成
形された空芯のコイル13を配設する。コイル13は接
着剤によりスライダー14、メインポール11と接着さ
れるものとする。
【0068】次に(d)は第3の工程であり、スライダ
ー14の凹部B1内に高透磁率の磁性材料からなる角板
状のベースヨーク12を挿入、接着固定しメインポール
11と接合する。
【0069】次に(e)はスライダー14の底面に、鏡
面研磨加工が施されたエア・ベアリング面A1および溝
A2、チャンファA3からなるエア・ベアリング構造を
形成する工程である。なお、(e’)は、(e)の下面
図である。
【0070】[実施例7B]また、図9には他の構成の
一例を示す。主要部分の構成は上記の実施例と同じであ
るが、本例においてはベースヨーク12はスライダー1
4と略同じ大きさとされ、スライダーの上側半分の構成
部材を兼ねる。
【0071】上記のように、本発明による光磁気記録用
磁気ヘッドはコイルを覆うように耐摩耗性のセラミック
よりなるスライダーと一体的に形成されたカバーを備
え、また、カバーとメインポールとは硬質のガラスによ
ってボンディング接合されており軟質の樹脂等からなる
部材がエア・ベアリング面に露出しない構造となってい
るのである。
【0072】図9に示した磁気ヘッドの製造工程の一例
を図10に示す。図10において、(a)はセラミック
よりなる1次加工済みのスライダー14であり、凹部B
1とスリットB2とが形成されている。これらは機械加
工によって形成するかまたはプレス成形によって形成し
てもよい。なお、(a’)は、(a)の下面図である。
【0073】次に(b)は第1の工程であり、高透磁率
の磁性材料からなる角柱状のメインポール11をスライ
ダー14のスリットB2へ挿入し、カバーCとガラス1
5によりボンディング接合する。
【0074】次に(c)は第2の工程であり、スライダ
ー14の凹部B1内のメインポール11の周囲に予め成
形された空芯のコイル13を配設する。コイル13は接
着剤によりスライダー14、メインポール11と接着さ
れるものとする。
【0075】次に(d)はスライダー14の底面に鏡面
研磨加工が施されたエア・ベアリング面A1、および、
溝A2、チャンファA3からなるエア・ベアリング構造
を形成する工程である。なお、(d’)は、(d)の下
面図である。
【0076】次に(e)は第3の工程であり、スライダ
ー14の上面側に高透磁率の磁性材料からなる角板状の
ベースヨーク12を接着しメインポール11と接合す
る。この際、ベースヨーク12とメインポール11との
密着性を高めるため予めスライダー14の上面をメイン
ポール11の上端面と面一となるように鏡面研磨加工す
るとともにベースヨーク12の下面を鏡面研磨加工して
もよい。
【0077】以上説明したように、本発明による光磁気
記録用磁気ヘッドはその製造工程において、カバーにメ
インポールを接合する工程、メインポールの周囲にコイ
ルを配設する工程、メインポールとベースヨークとを接
合する工程の3工程が上記の順序とされるのである。
【0078】次に本発明による光磁気記録用磁気ヘッド
のその他の構成例を図11および図13に示す。なおこ
こで、図7に示した構成例と同一の部分については詳細
な説明は省略する。
【0079】[実施例8B]まず、図11((a)は概
略断面図、(b)は下面図である。)に示す例において
はカバー部材16はセラミックよりなり角板状で中央部
に四角形の孔を有する。カバー部材16はスライダー1
4と一体的に構成されたものではなくスライダー14、
メインポール11とはガラス15によりボンディング接
合される。
【0080】このような磁気ヘッドの製造工程の一例を
図12に示す。図12において、(a)はセラミックよ
りなる1次加工済みのスライダー14であり、凹部B1
が形成されている。これは機械加工によって形成する
か、またはプレス成形によって形成してもよい。なお、
(a’)は、(a)の下面図である。
【0081】次に(b)は、第1の工程であり、高透磁
率の磁性材料からなる角柱状のメインポール11をセラ
ミックよりなる角板状のカバー部材16の中央に設けた
四角形の孔に挿入し、ガラス15によりボンディング接
合するとともにカバー部材16をスライダー14の凹部
B1に挿入し、ガラス15によりボンディング接合す
る。なお、(b’)は、(b)の下面図である。
【0082】次に(c)は第2の工程であり、スライダ
ー14の凹部B1内のメインポール11の周囲に予め成
形された空芯のコイル13を配設する。コイル13は接
着剤20によりスライダー14、カバー部材16、メイ
ンポール11と接着されるものとする。
【0083】次に(d)は第3の工程であり、スライダ
ー14の凹部B1内に高透磁率の磁性材料からなる角板
状のベースヨーク12を挿入接着固定しメインポール1
1と接合する。
【0084】次に(e)はスライダー14の底面に鏡面
研磨加工が施されたエア・ベアリング面A1および、溝
A2、チャンファA3からなるエア・ベアリング構造を
形成する工程である。なお、(e’)は、(e)の下面
図である。
【0085】[実施例9B]次に図13((a)は概略
断面図、(b)は下面図である。)に示す例において
は、図7に示した例と同様にカバーCはスライダー14
と一体的に形成されているのであるが、コイル13のみ
でなくメインポール11の先端をも覆うように形成され
ている。これによりエア・ベアリング面A1はすべてセ
ラミックにより形成され、その他の部材の露出はない。
なお、この例は製造工程については図9に示した例とほ
ぼ同様であり、詳細な説明は省略する。
【0086】以上説明した実施例はすべて磁気ヘッドを
空気浮上させるためのエア・ベアリング構造を有するス
ライダーを備えたものであった。次にこのようなスライ
ダーの代わりに摺動部材によってディスク上を摺動する
方式の磁気ヘッドの例について説明する。
【0087】[実施例10B]図14((a)は概略断
面図、(b)は下面図である。)に、このような磁気ヘ
ッドの構成の一例を示す。なお、ここで前述の例におけ
ると同一の構成部材であるメインポール11、ベースヨ
ーク12、コイル13についての詳細な説明は省略す
る。
【0088】図14において、17は潤滑特性を有する
樹脂材料たとえばPOM等によりなる摺動部材である。
摺動部材17の摺動面A4は適切な曲面形状とされる。
さらにはメインポール11の突出部の周囲にはコイル1
3を覆うようにカバーCが摺動部材17と一体的に形成
されている。摺動部材17とメインポール11とはイン
サートモールド成形によって直接接合されている。
【0089】このように本発明による光磁気記録用磁気
ヘッドはコイルを覆うように潤滑特性を有する樹脂材料
からなる摺動部材と一体的に形成されたカバーを備え、
また、摺動部材とメインポールとはインサートモールド
成形により直接接合されているため、非潤滑性の熱硬化
性樹脂等からなる部材が摺動面に露出しない構造となっ
ているのである。
【0090】次に上記のような構造の磁気ヘッドの製造
方法について説明する。前記したように摺動部材とメイ
ンポールとはインサートモールド成形により接合されて
いるのであるが、摺動部材を構成するPOM等の樹脂材
料の成形時の溶融状態の温度は300〜400℃であ
る。ところがコイルの耐熱温度は120℃〜180℃で
あるからコイルをメインポールの周囲に配設する工程は
摺動部材をメインポールと接合しインサートモールド成
形する工程よりも後でなければならない。さらには予め
成形された空芯のコイルをメインポールの周囲に配設す
る手法により作業効率を高めるためにはベースヨークと
メインポールの接合の工程は、コイルをメインポールの
周囲に配設する工程よりも後でなければならない。
【0091】例えば、図14に示した磁気ヘッドの製造
工程を図15に示す。図15において、(a)は第1の
工程であり、POM等の樹脂材料からなる摺動部材17
を高透磁率の磁性材料からなる角柱状のメインポール1
1と接合されるようにインサートモールド成形する。摺
動部材17には曲面形状の摺動面A4、および凹部B
1、カバーCが形成されておりメインポール11は凹部
B1内にカバーCと接合されるように設けられている。
なお、(a’)は、(a)の下面図である。
【0092】次に(b)は第2の工程であり、摺動部材
17の凹部B1内のメインポール11の周囲に予め成形
された空芯のコイル13を配設する。コイル13は接着
剤により摺動部材17、メインポール11と接着される
ものとする。
【0093】次に(c)は第3の工程であり、摺動部材
17の凹部B1内に高透磁率の磁性材料からなる角柱状
のベースヨーク12を挿入、接着、固定しメインポール
11と接合する。なお、(c’)は、(c)の下面図で
ある。
【0094】以上説明したように、この例における光磁
気記録用磁気ヘッドは、その製造工程において、カバー
にメインポールを接合する工程、メインポールの周囲に
コイルを配設する工程、メインポールとベースヨークを
接合する工程の3工程は上記の順序とされるのである。
【0095】[他の実施例B]次に、本発明における光
磁気記録用磁気ヘッドのメインポールとベースヨークの
構成について図16にいくつかの例をあげて説明する。
【0096】図16において、(a)は前記の例におい
て使用されるものと同様で、角柱状のメインポール11
と角板状のベースヨーク12との組み合わせによる例で
ある。なお、(a)は上面図であり、(a’)は側面図
である。
【0097】(b)はベースヨークを2つのL型の部材
12a,12bで構成し角柱状のメインポール11を挟
むように構成した例である。なお、(b)は上面図であ
り、(b’)は側面図である。
【0098】(c)はベースヨークを2つの角板状部材
12c,12dと“凹”字型部材12eとで構成し角柱
状のメインポール11を部材12eの凹部へ挿入するよ
う構成した例である。なお、(c)は上面図であり、
(c’)は側面図である。
【0099】(d)は角板状のベースヨーク12の中央
部に設けた角形の孔に角柱状のメインポール11を挿入
するように構成した例である。なお、(d)は上面図で
あり、(d’)は側面図である。
【0100】また、メインポール、ベースヨークの形状
について、図17にいくつかの例をあげて説明する。
【0101】図17において、(a)は、ベースヨーク
12を角板状、メインポール11を円柱状とした例であ
る。なお、(a)は上面図であり、(a’)は側面図で
ある。
【0102】(b)は角板状のベースヨーク12の外縁
部を高くした例である。なお、(b)は上面図であり、
(b’)は側面図である。
【0103】(c)は角板状のベースヨーク12の2つ
の縁部を高くした例である。なお、(c)は上面図であ
り、(c’)は側面図である。
【0104】なお、ここでベースヨーク、メインポール
の形状、構成において重要であるのは前記したようにメ
インポールをカバーと接合した後にメインポールの周囲
に予め成形された空芯コイルを配設し、その後にメイン
ポールとベースヨークとを接合するという工程順序に従
って製造されるようにするにはメインポールの形状は柱
状であることが望しいという点および磁気的な結合性を
保つためメインポールとベースヨークとは密着性よく接
合する必要があるという点でありこのためメインポール
とベースヨークの密着させる面を鏡面研磨加工しておく
のが望ましい。
【0105】また、上述した本発明の各実施例の光磁気
記録用磁気ヘッドを、従来例に説明したような図19と
同様な装置に用いて、光磁気記録用磁気ヘッドと光磁気
記録媒体とを相対的に移動させる手段と、該光磁気記録
用磁気ヘッドにより情報信号で変調された磁界を発生さ
せる手段と、該磁界の発生部位にレーザ光を集束して照
射する光ヘッドと、を備えることにより、ヘッドクラッ
シュ等のない光磁気記録装置を実現することができる。
【0106】
【発明の効果】
[効果A]以上説明したように、本発明による光磁気記
録用磁気ヘッドはメインポールの上端面を露出させてメ
インポールの周囲を取り囲みかつ、コイルの表面を覆う
ように非磁性材料よりなる薄板状のカバー部材が設けら
れ、カバー部材の表面にはエア・ベアリング面、または
摺動面が形成され、またカバー部材の裏面上にはコイル
がスパイラル状の薄膜導体により形成されている。
【0107】または、本発明による光磁気記録用磁気ヘ
ッドは、メインポールの上端面および、コイルの表面を
覆うように、非磁性材料よりなる薄板状のカバー部材が
設けられ、カバー部材の表面にはエア・ベアリング面、
または摺動面が形成され、またカバー部材の裏面上には
コイルがスパイラル状の薄膜導体により形成されてい
る。
【0108】したがって、カバー部材と他の部材との間
のすき間を十分に小さくすれば、接着材である熱硬化性
樹脂材料のエア・ベアリング面または摺動面への露出は
最小限にとどめるか、または、まったく露出させないよ
うにすることが可能である。
【0109】これにより、従来装置において、エア・ベ
アリング面、または摺動面に露出した熱硬化性樹脂材料
からなる保護部材の表面に摩耗、損傷を発生するという
問題点は良好に解決されるのである。
【0110】さらには本発明による光磁気記録用磁気ヘ
ッドは、カバー部材の表面にエア・ベアリング面、また
は摺動面を形成するとともに他の構成部材であるスライ
ダー基台またはスペーサを加工性、成形性の良い金属材
料、または樹脂材料により構成したことにより製造が容
易になりコストが低減されるという効果が得られるので
ある。
【0111】さらには本発明による光磁気記録用磁気ヘ
ッドは、カバー部材の表面にエア・ベアリング面、また
は摺動面を形成するとともに他の構成部材であるスライ
ダー基台、またはスペーサを熱伝導性のよい銅やアルミ
などの金属材料で構成したことにより、高い周波数の変
調磁界を発生する際にコア、およびコイルで発生する熱
を効果的に放熱することができ、これによりコアの温度
上昇による磁気特性の低下を防ぐことができるのであ
る。
【0112】さらには本発明による光磁気記録用磁気ヘ
ッドは、カバー部材の表面にエア・ベアリング面、また
は摺動面を形成するとともにカバー部材の裏面にはスパ
イラル状の薄膜導体によってコイルを形成したことによ
り、導体線の巻回によるよりも小型のコイルが作製可能
となり、これによりコイルへの少ない電流供給でより大
きな磁界の発生が可能となり磁気ヘッド駆動回路の消費
電力を低減することができる。またコイルのインダクタ
ンスが低下し磁界発生効率は高くなるのでより高い周波
数で磁界の変調が可能となり、信号の記録速度が向上す
るのである。
【0113】[効果B]以上説明したように、本発明に
よる光磁気記録用磁気ヘッドは、コイルの表面を覆うよ
うに耐摩耗性、または潤滑特性を有するカバーを備えた
ものであり、従来の磁気ヘッドのように耐摩耗性または
潤滑特性が不十分であるような部材が、エア・ベアリン
グ面、または摺動面に露出することはない。したがっ
て、ヘッドクラッシュや大きな摩擦力の作用によって磁
気ヘッドが破損することがなく信頼性の高い光磁気記録
装置を提供し得るのである。しかも、導体線を使用し予
め成形された平偏なコイルをメインポールの周囲に取り
付ける方式により製造が可能であるから生産性にすぐれ
ている。さらには平偏なコイルをエアベアリング面、ま
たは摺動面に近づけて設けることによりコイルのインダ
クタンスは低下し、磁界発生効率は高くなるので、より
高い周波数で磁界の変調が可能となり、信号の記録速度
が向上するのである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による光磁気記録用磁気ヘッドの第1の
実施例を示す図である。
【図2】第1の実施例におけるカバー部材の構成図であ
る。
【図3】本発明による光磁気記録用磁気ヘッドの第2の
実施例を示す図である。
【図4】本発明による光磁気記録用磁気ヘッドの第3の
実施例を示す図である。
【図5】本発明による光磁気記録用磁気ヘッドの第4の
実施例を示す図である。
【図6】本発明による光磁気記録用磁気ヘッドの第5の
実施例を示す図である。
【図7】本発明による光磁気記録用磁気ヘッドの構成を
示す図である。
【図8】図7に示す光磁気記録用磁気ヘッドの製造工程
を示す図である。
【図9】本発明による光磁気記録用磁気ヘッドの他の構
成を示す図である。
【図10】図9に示す光磁気記録用磁気ヘッドの製造工
程を示す図である。
【図11】本発明による光磁気記録用磁気ヘッドの他の
構成を示す図である。
【図12】図11に示す光磁気記録用磁気ヘッドの製造
工程を示す図である。
【図13】本発明による光磁気記録用磁気ヘッドの他の
構成を示す図である。
【図14】本発明による光磁気記録用磁気ヘッドの他の
構成を示す図である。
【図15】図14に示す光磁気記録用磁気ヘッドの製造
工程を示す図である。
【図16】本発明による光磁気記録用磁気ヘッドのメイ
ンポールとベースヨークの構成例を示す図である。
【図17】本発明による光磁気記録用磁気ヘッドのメイ
ンポールとベースヨークの形状の例を示す図である。
【図18】従来の光磁気記録用磁気ヘッドを示す図であ
る。
【図19】光磁気記録装置の概略構成図である。
【図20】従来の光磁気記録用磁気ヘッドの構成を示す
図である。
【符号の説明】 1 磁気ヘッド 11 メインポール 12 ベースヨーク 13,33 コイル 14 スライダー 15 ガラス 16,34 カバー部材 17 摺動部材 31 スライダー基台 32 コア 35 接着剤 36 スペーサ

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 スライダー基台と、該スライダー基台に
    搭載された磁性材料より成るコアと、該コアのメインポ
    ールの周囲に設けられたコイルと、を備えた光磁気記録
    用磁気ヘッドにおいて、 該メインポールの上端面を露出させて該メインポールの
    周囲を取り囲むように耐摩耗性材料よりなる薄板状のカ
    バー部材が設けられ、該カバー部材の表面にはエア・ベ
    アリング面、または摺動面が形成され、該カバー部材の
    裏面上には上記コイルがスパイラル状の薄膜導体により
    形成されていることを特徴とする光磁気記録用磁気ヘッ
    ド。
  2. 【請求項2】 スライダー基台と、該スライダー基台に
    搭載された磁性材料より成るコアと、該コアのメインポ
    ールの周囲に設けられたコイルと、を備えた光磁気記録
    用磁気ヘッドにおいて、 該メインポールの上端面を覆うように耐摩耗性材料より
    なる薄板状のカバー部材が設けられ、該カバー部材の表
    面には、エア・ベアリング面、または摺動面が形成さ
    れ、該カバー部材の裏面上には上記コイルがスパイラル
    状の薄膜導体により形成されていることを特徴とする光
    磁気記録用磁気ヘッド。
  3. 【請求項3】 上記スライダー基台は、金属材料または
    樹脂材料により構成された請求項1又は2に記載の光磁
    気記録用磁気ヘッド。
  4. 【請求項4】 上記スライダー基台と上記コアとが磁性
    材料により一体的に構成されたものである請求項1又は
    2に記載の光磁気記録用磁気ヘッド。
  5. 【請求項5】 上記コアと上記カバー部材との間にスペ
    ーサを設けた請求項1,2,4のいずれかに記載の光磁
    気記録用磁気ヘッド。
  6. 【請求項6】 上記スペーサは、金属材料または樹脂材
    料により構成される請求項5に記載の光磁気記録用磁気
    ヘッド。
  7. 【請求項7】 上記カバー部材を非磁性のセラミック材
    料により構成した請求項1〜6のいずれかに記載の光磁
    気記録用磁気ヘッド。
  8. 【請求項8】 上記カバー部材は少なくとも2部材で形
    成され、表面側の部材と裏面側の部材とは異なる材料に
    より構成されていることを特徴とする請求項1〜7のい
    ずれかに記載の光磁気記録用磁気ヘッド。
  9. 【請求項9】 請求項1〜8のいずれかに記載の光磁気
    記録用磁気ヘッドと、 該光磁気記録用磁気ヘッドと光磁気記録媒体とを相対的
    に移動させる手段と、該光磁気記録用磁気ヘッドにより
    情報信号で変調された磁界を発生させる手段と、該磁界
    の発生部位にレーザ光を収束して照射する光ヘッドと、
    を備えたことを特徴とする光磁気記録装置。
  10. 【請求項10】 磁性材料からなるメインポールと、該
    メインポールの一端を突出させて該メインポールに接合
    した磁性材料からなるベースヨークとを含む複数の部材
    で構成されるコアと、 該メインポールの突出部周囲に配設されたコイルと、 該突出部の周囲に該コイルの表面を覆うように設けられ
    た非磁性のカバー部材と、を備えたことを特徴とする光
    磁気記録用磁気ヘッド。
  11. 【請求項11】 上記カバー部材と一体的に構成され、
    エア・ベアリング構造が形成されたスライダーを備えた
    ことを特徴とする請求項10に記載の光磁気記録用磁気
    ヘッド。
  12. 【請求項12】 上記カバー部材と一体的に構成された
    摺動部材を備えたことを特徴とする請求項10記載の光
    磁気記録用磁気ヘッド。
  13. 【請求項13】 カバー部材にメインポールを接合する
    第1の工程と、 該メインポールの突出部の周囲にコイルを配設する第2
    の工程と、 該メインポールとベースヨークを接合する第3の工程
    と、を含む製造工程によって、かつ上記の工程順序に従
    って製造されることを特徴とする請求項10〜12のい
    ずれかに記載の光磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
  14. 【請求項14】 スライダーと一体的に構成されたカバ
    ー部材とメインポールを接合する第1の工程と、 該メインポールの突出部の周囲にコイルを配設する第2
    の工程と、 該メインポールとベースヨークを接合する第3の工程
    と、を含む製造工程によって、かつ上記の工程順序に従
    って製造されることを特徴とする請求項10,11のい
    ずれかに記載の光磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
  15. 【請求項15】 摺動部材と一体的に構成されたカバー
    部材とメインポールを接合する第1の工程と、 該メインポールの突出部の周囲にコイルを配設する第2
    の工程と、 該メインポールとベースヨークを接合する第3の工程
    と、を含む製造工程によって、かつ、上記の工程順序に
    従って製造されることを特徴とする請求項10,12の
    いずれかに記載の光磁気記録用磁気ヘッドの製造方法。
  16. 【請求項16】 請求項10〜12のいずれかに記載の
    光磁気記録用磁気ヘッドと、 該光磁気記録用磁気ヘッドと光磁気記録媒体とを相対的
    に移動させる手段と、 該光磁気記録用磁気ヘッドにより情報信号で変調された
    磁界を発生させる手段と、 該磁界の発生部位にレーザ光を集束して照射する光ヘッ
    ドと、を備えたことを特徴とする光磁気記録装置。
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