JPH1126544A - ワーク搬送用キャリアの位置決め装置および位置決め方法 - Google Patents
ワーク搬送用キャリアの位置決め装置および位置決め方法Info
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- JPH1126544A JPH1126544A JP18201897A JP18201897A JPH1126544A JP H1126544 A JPH1126544 A JP H1126544A JP 18201897 A JP18201897 A JP 18201897A JP 18201897 A JP18201897 A JP 18201897A JP H1126544 A JPH1126544 A JP H1126544A
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- Japan
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- carrier
- work
- vacuum
- suction pad
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 キャリアに搭載されたワークにチップを実装
した後、キャリアを確実に搬送面へ下降させることがで
きるワーク搬送用キャリアの位置決め装置を提供するこ
とを目的とする。 【解決手段】 ワークが搭載されたキャリアを下方から
押し上げるバックアップ部材２０に吸着パッド２２を設
ける。吸着パッド２２の上面はバックアップ部材２０の
上面から上方へ突出させる。バックアップ部材２０をシ
リンダ２３で上昇させると、吸着パッド２２はキャリア
の下面を真空吸着し、偏平に弾性変形してその上面はバ
ックアップ部材２０の上面と面一になる。ワークに対す
るチップの実装が終了したならば、バックアップ部材２
０を下降させる。するとキャリアも吸着パッド２２に真
空吸着されたまま強制的に下降する。
した後、キャリアを確実に搬送面へ下降させることがで
きるワーク搬送用キャリアの位置決め装置を提供するこ
とを目的とする。 【解決手段】 ワークが搭載されたキャリアを下方から
押し上げるバックアップ部材２０に吸着パッド２２を設
ける。吸着パッド２２の上面はバックアップ部材２０の
上面から上方へ突出させる。バックアップ部材２０をシ
リンダ２３で上昇させると、吸着パッド２２はキャリア
の下面を真空吸着し、偏平に弾性変形してその上面はバ
ックアップ部材２０の上面と面一になる。ワークに対す
るチップの実装が終了したならば、バックアップ部材２
０を下降させる。するとキャリアも吸着パッド２２に真
空吸着されたまま強制的に下降する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品実装工程
で用いられるワーク搬送用キャリアの位置決め装置およ
び位置決め方法に関するものである。
で用いられるワーク搬送用キャリアの位置決め装置およ
び位置決め方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば小形の基板などのワークにウエハ
から切り出されたチップを実装する場合、小形のワーク
は単体で実装ラインを搬送することは困難なことから、
大形のキャリアに小形のワークを複数個搭載し、キャリ
アを実装ラインを搬送することが行われる。
から切り出されたチップを実装する場合、小形のワーク
は単体で実装ラインを搬送することは困難なことから、
大形のキャリアに小形のワークを複数個搭載し、キャリ
アを実装ラインを搬送することが行われる。
【０００３】キャリアに搭載された基板などのワークに
チップを実装する場合、ワークの上面が傾いているとチ
ップを精度よく実装することはできない。ワークの上面
の傾きの主因は、プレート状のキャリアがそりやすいこ
とによる。したがってワークの上面を水平に保持するた
めに、キャリアの位置決め装置が用いられる。
チップを実装する場合、ワークの上面が傾いているとチ
ップを精度よく実装することはできない。ワークの上面
の傾きの主因は、プレート状のキャリアがそりやすいこ
とによる。したがってワークの上面を水平に保持するた
めに、キャリアの位置決め装置が用いられる。
【０００４】従来、キャリアの位置決め装置は、キャリ
アを左右からクランプして固定した状態で、キャリアの
下面にバックアップ部材を下方から押し付けることによ
り、キャリアを実装面まで上昇させるとともにキャリア
のそりを矯正し、これによりワークの上面を水平面にす
るようになっていた。またチップの実装が終了したなら
ば、バックアップ部材自体に開口された吸着孔でキャリ
アを真空吸着し、キャリアを強制的に搬送面まで下降さ
せるようになっていた。
アを左右からクランプして固定した状態で、キャリアの
下面にバックアップ部材を下方から押し付けることによ
り、キャリアを実装面まで上昇させるとともにキャリア
のそりを矯正し、これによりワークの上面を水平面にす
るようになっていた。またチップの実装が終了したなら
ば、バックアップ部材自体に開口された吸着孔でキャリ
アを真空吸着し、キャリアを強制的に搬送面まで下降さ
せるようになっていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の位置決め装置では、キャリアの下面は完全なフラット
面ではないため、バックアップ部材で確実に真空吸着し
てキャリアを下降させにくいものであった。そこで従
来、押打手段によりキャリアの上面を押打することによ
り、キャリアを強制的に下降させる手段も実施されてい
るが、このような押打手段では単に構造が複雑化するだ
けでなく、押打時の衝撃によりワークがキャリアから飛
び出しやすいなどの問題点があった。
の位置決め装置では、キャリアの下面は完全なフラット
面ではないため、バックアップ部材で確実に真空吸着し
てキャリアを下降させにくいものであった。そこで従
来、押打手段によりキャリアの上面を押打することによ
り、キャリアを強制的に下降させる手段も実施されてい
るが、このような押打手段では単に構造が複雑化するだ
けでなく、押打時の衝撃によりワークがキャリアから飛
び出しやすいなどの問題点があった。
【０００６】したがって本発明は、ワークにチップを実
装した後、キャリアを確実に搬送面へ下降させることが
できるワーク搬送用キャリアの位置決め装置および位置
決め方法を提供することを目的とする。
装した後、キャリアを確実に搬送面へ下降させることが
できるワーク搬送用キャリアの位置決め装置および位置
決め方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のワーク搬送用キ
ャリアの位置決め装置は、複数個のワークが搭載された
プレート状のキャリアを左右から弾性的にクランプする
クランプ部材と、キャリアの上方にあってワークに対応
する位置に開口部が開口され、かつワークを上方から弾
性的に押え付けるばね材を有するプレート状のマスク部
材と、キャリアの下方に上下動自在に配設されてキャリ
アを押し上げるバックアップ部材と、このバックアップ
部材にその上面をこのバックアップ部材の上面よりも上
方に突出させて装着されてキャリアの下面を真空吸着す
る弾性材から成る吸着パッドと、この吸着パッドを真空
吸引する真空吸引手段とを備えた。
ャリアの位置決め装置は、複数個のワークが搭載された
プレート状のキャリアを左右から弾性的にクランプする
クランプ部材と、キャリアの上方にあってワークに対応
する位置に開口部が開口され、かつワークを上方から弾
性的に押え付けるばね材を有するプレート状のマスク部
材と、キャリアの下方に上下動自在に配設されてキャリ
アを押し上げるバックアップ部材と、このバックアップ
部材にその上面をこのバックアップ部材の上面よりも上
方に突出させて装着されてキャリアの下面を真空吸着す
る弾性材から成る吸着パッドと、この吸着パッドを真空
吸引する真空吸引手段とを備えた。
【０００８】また本発明のワーク搬送用キャリアの位置
決め方法は、複数個のワークが搭載されたキャリアをガ
イドレールの間に搬入し、そこで上下動手段を駆動する
ことによりバックアップ部材を上昇させてバックアップ
部材の上面から上方へ突出する弾性材から成る吸着パッ
ドの上面をキャリアの下面に当接させ、キャリアを左右
から弾性的にクランプするクランプ部材のクランプ力に
抗してキャリアを更に実装面まで押し上げてキャリア上
のワークをマスク部材に設けられたばね材で上方から弾
性的に押えつけ、かつ吸着パッドでキャリアを真空吸着
することによりキャリアのそりを矯正し、この状態で各
ワーク上にチップを搭載した後、上下動手段を駆動して
バックアップ部材を下降させることにより吸着パッドに
真空吸着されたキャリアを強制的に搬送面まで下降させ
るようにした。
決め方法は、複数個のワークが搭載されたキャリアをガ
イドレールの間に搬入し、そこで上下動手段を駆動する
ことによりバックアップ部材を上昇させてバックアップ
部材の上面から上方へ突出する弾性材から成る吸着パッ
ドの上面をキャリアの下面に当接させ、キャリアを左右
から弾性的にクランプするクランプ部材のクランプ力に
抗してキャリアを更に実装面まで押し上げてキャリア上
のワークをマスク部材に設けられたばね材で上方から弾
性的に押えつけ、かつ吸着パッドでキャリアを真空吸着
することによりキャリアのそりを矯正し、この状態で各
ワーク上にチップを搭載した後、上下動手段を駆動して
バックアップ部材を下降させることにより吸着パッドに
真空吸着されたキャリアを強制的に搬送面まで下降させ
るようにした。
【０００９】
【発明の実施の形態】上記構成の本発明は、バックアッ
プ部材が上昇すると、バックアップ部材の上面から上方
に突出する吸着パッドによりキャリアの下面を確実に真
空吸着することができ、またその状態で吸着パッドが偏
平に弾性変形することにより、バックアップ部材の上面
はキャリアの下面に当接し、キャリアのそりを矯正でき
る。そしてワークへのチップの実装が終了してキャリア
を下降させるときには、吸着パッドはキャリアの下面を
真空吸着しているので、キャリアを搬送面まで確実に強
制的に下降させることができる。
プ部材が上昇すると、バックアップ部材の上面から上方
に突出する吸着パッドによりキャリアの下面を確実に真
空吸着することができ、またその状態で吸着パッドが偏
平に弾性変形することにより、バックアップ部材の上面
はキャリアの下面に当接し、キャリアのそりを矯正でき
る。そしてワークへのチップの実装が終了してキャリア
を下降させるときには、吸着パッドはキャリアの下面を
真空吸着しているので、キャリアを搬送面まで確実に強
制的に下降させることができる。
【００１０】以下、本発明の実施の形態を図面を参照し
て説明する。図１は、本発明の一実施の形態のワーク搬
送用キャリアの位置決め装置の斜視図、図２は同バック
アップ手段の断面図、図３は同バックアップ手段のバッ
クアップ動作時の部分断面図である。
て説明する。図１は、本発明の一実施の形態のワーク搬
送用キャリアの位置決め装置の斜視図、図２は同バック
アップ手段の断面図、図３は同バックアップ手段のバッ
クアップ動作時の部分断面図である。
【００１１】まず、図１を参照して位置決め装置の全体
構造を説明する。図１において、１はキャリアであり、
多数個のワーク２が搭載されている。キャリア１は、ス
テンレス鋼板などによりプレート状に形成されている。
構造を説明する。図１において、１はキャリアであり、
多数個のワーク２が搭載されている。キャリア１は、ス
テンレス鋼板などによりプレート状に形成されている。
【００１２】キャリア１は、左右一対の断面Ｌ字形のガ
イドレール３、４上を搬送される。一方のガイドレール
３の内側面５は、キャリア１の一方の側端面を当接させ
てキャリア１の横方向の位置決めをするための位置基準
面となっている。また他方のガイドレール４にはクラン
プ部材６が装着されている。クランプ部材６は小片状で
あって、ガイドレール４に沿うように複数個並設されて
おり、かつガイドレール４の内側面に介装されたばね材
７（図３（ａ）参照）により、内方（キャリア１側）へ
弾発されている。図１において、キャリア１は矢印Ａ方
向へ搬送されてガイドレール３，４の間に搬入され、ま
たチップの実装が終了したならば、矢印Ｂ方向へ搬出さ
れる。
イドレール３、４上を搬送される。一方のガイドレール
３の内側面５は、キャリア１の一方の側端面を当接させ
てキャリア１の横方向の位置決めをするための位置基準
面となっている。また他方のガイドレール４にはクラン
プ部材６が装着されている。クランプ部材６は小片状で
あって、ガイドレール４に沿うように複数個並設されて
おり、かつガイドレール４の内側面に介装されたばね材
７（図３（ａ）参照）により、内方（キャリア１側）へ
弾発されている。図１において、キャリア１は矢印Ａ方
向へ搬送されてガイドレール３，４の間に搬入され、ま
たチップの実装が終了したならば、矢印Ｂ方向へ搬出さ
れる。
【００１３】図１において、１０はマスク部材であっ
て、ステンレス鋼板によりプレート状に形成されてい
る。マスク部材１０のワーク２に対応する箇所には、ワ
ーク２を露呈させるための開口部１１が多数開口されて
いる。また開口部１１の縁部には、ワーク２の上面を上
方から弾性的に押え付けるための舌片状の板ばねから成
るばね材１２が装着されている。ばね材１２は２つの開
口部１１のみ記載し、他の開口部１１の記載は省略して
いる。マスク部材１０は、ビス１３によりガイドレール
３、４に突設されたフランジ１４、１５上に装着され
る。
て、ステンレス鋼板によりプレート状に形成されてい
る。マスク部材１０のワーク２に対応する箇所には、ワ
ーク２を露呈させるための開口部１１が多数開口されて
いる。また開口部１１の縁部には、ワーク２の上面を上
方から弾性的に押え付けるための舌片状の板ばねから成
るばね材１２が装着されている。ばね材１２は２つの開
口部１１のみ記載し、他の開口部１１の記載は省略して
いる。マスク部材１０は、ビス１３によりガイドレール
３、４に突設されたフランジ１４、１５上に装着され
る。
【００１４】ガイドレール３、４上のキャリア１の下方
にはバックアップ部材２０が設けられている。図２にお
いて、バックアップ部材２０には凹部２１が複数個形成
されており、各凹部２１には吸着パッド２２が収納され
ている。吸着パッド２２は軟質樹脂やゴムなどの弾性材
により上向きのラッパ状に形成されている。吸着パッド
２２の上面はバックアップ部材２０の上面よりも上方へ
若干（突出長Ｄ）突出している。
にはバックアップ部材２０が設けられている。図２にお
いて、バックアップ部材２０には凹部２１が複数個形成
されており、各凹部２１には吸着パッド２２が収納され
ている。吸着パッド２２は軟質樹脂やゴムなどの弾性材
により上向きのラッパ状に形成されている。吸着パッド
２２の上面はバックアップ部材２０の上面よりも上方へ
若干（突出長Ｄ）突出している。
【００１５】バックアップ部材２０はシリンダ２３のロ
ッド２４に上下動自在に結合されており、シリンダ２３
のロッド２４が突没すると、バックアップ部材２０は上
下動する。すなわちシリンダ２３はバックアップ部材２
０の上下動手段となっている。また各吸着パッド２２
は、チューブ２５を介して真空ポンプなどの真空吸引手
段２６に接続されている。バックアップ部材２０、シリ
ンダ２３などはキャリア１のバックアップ手段となって
いる。
ッド２４に上下動自在に結合されており、シリンダ２３
のロッド２４が突没すると、バックアップ部材２０は上
下動する。すなわちシリンダ２３はバックアップ部材２
０の上下動手段となっている。また各吸着パッド２２
は、チューブ２５を介して真空ポンプなどの真空吸引手
段２６に接続されている。バックアップ部材２０、シリ
ンダ２３などはキャリア１のバックアップ手段となって
いる。
【００１６】このワーク搬送用キャリアの位置決め装置
は上記のような構成より成り、次に図３を参照して動作
の説明を行う。図３（ａ）は、ワーク２が搭載されたキ
ャリア１がガイドレール３、４の間に搬送されてきた状
態を示している。この状態で、キャリア１の上面は下降
位置（搬送面）Ｌ１にあり、ばね材７のばね力により一
方の側端面にクランプ部材６を押し付け、他方の側端面
をガイドレール３の内側面（位置基準面）５に押し付け
られることにより、キャリア１は左右から弾性的にクラ
ンプされて横方向の位置決めがなされている。
は上記のような構成より成り、次に図３を参照して動作
の説明を行う。図３（ａ）は、ワーク２が搭載されたキ
ャリア１がガイドレール３、４の間に搬送されてきた状
態を示している。この状態で、キャリア１の上面は下降
位置（搬送面）Ｌ１にあり、ばね材７のばね力により一
方の側端面にクランプ部材６を押し付け、他方の側端面
をガイドレール３の内側面（位置基準面）５に押し付け
られることにより、キャリア１は左右から弾性的にクラ
ンプされて横方向の位置決めがなされている。
【００１７】次に図３（ｂ）に示すようにシリンダ２３
のロッド２４が突出すると、バックアップ部材２０は上
昇し、バックアップ部材２０の上面から突出する吸着パ
ッド２２の上面はキャリア１の下面に密着してキャリア
１を真空吸着する。この状態で吸着パッド２２は偏平に
弾性変形してその上面はバックアップ部材２０の上面と
面一若しくは略面一になる。そしてバックアップ部材２
０の上面はキャリア１の下面に当接してキャリア１を実
装面Ｌ２まで押し上げ、キャリア１上のワーク２はばね
材１２に押し付けられる。したがってキャリア１のそり
は矯正されてキャリア１はフラットとなり、またワーク
２はしっかり固定される。そこで実装機の移載ヘッド３
０のノズル３１に真空吸着されたチップ３２をワーク２
上に実装する。なおワーク２上には、チップ３２をボン
ディングするためのボンドが前工程で塗布される。
のロッド２４が突出すると、バックアップ部材２０は上
昇し、バックアップ部材２０の上面から突出する吸着パ
ッド２２の上面はキャリア１の下面に密着してキャリア
１を真空吸着する。この状態で吸着パッド２２は偏平に
弾性変形してその上面はバックアップ部材２０の上面と
面一若しくは略面一になる。そしてバックアップ部材２
０の上面はキャリア１の下面に当接してキャリア１を実
装面Ｌ２まで押し上げ、キャリア１上のワーク２はばね
材１２に押し付けられる。したがってキャリア１のそり
は矯正されてキャリア１はフラットとなり、またワーク
２はしっかり固定される。そこで実装機の移載ヘッド３
０のノズル３１に真空吸着されたチップ３２をワーク２
上に実装する。なおワーク２上には、チップ３２をボン
ディングするためのボンドが前工程で塗布される。
【００１８】すべてのワーク２にチップ３２を実装した
ならば、シリンダ２３のロッド２４を引き込ませ、バッ
クアップ部材２０を下降させる。すると、吸着パッド２
２はキャリア１を真空吸着しているので、バックアップ
部材２０の下降とともに、キャリア１はクランプ部材６
のクランプ力に抗して強制的に搬送面Ｌ１まで下降され
る（図３（ｃ））。そこで吸着パッド２２によるキャリ
ア１の真空吸着状態を解除し、バックアップ部材２０を
図３（ａ）に示す位置まで更に下降させた後（図３
（ｃ）の鎖線で示すバックアップ部材２０を参照）、キ
ャリア１はガイドレール３、４に沿って次の工程へ搬送
される。
ならば、シリンダ２３のロッド２４を引き込ませ、バッ
クアップ部材２０を下降させる。すると、吸着パッド２
２はキャリア１を真空吸着しているので、バックアップ
部材２０の下降とともに、キャリア１はクランプ部材６
のクランプ力に抗して強制的に搬送面Ｌ１まで下降され
る（図３（ｃ））。そこで吸着パッド２２によるキャリ
ア１の真空吸着状態を解除し、バックアップ部材２０を
図３（ａ）に示す位置まで更に下降させた後（図３
（ｃ）の鎖線で示すバックアップ部材２０を参照）、キ
ャリア１はガイドレール３、４に沿って次の工程へ搬送
される。
【００１９】
【発明の効果】本発明によれば、バックアップ部材によ
りキャリアを実装面まで押し上げてワークにマスク部材
のばね材を押し付け、キャリアのそりを矯正するととも
にワークをしっかり固定したうえで、ワークに対するチ
ップの実装を行うことができる。またワークに対するチ
ップの実装が終了したならば、吸着パッドでキャリアを
真空吸着してキャリアを確実に強制的に下降させ、次の
工程へ搬送することができる。
りキャリアを実装面まで押し上げてワークにマスク部材
のばね材を押し付け、キャリアのそりを矯正するととも
にワークをしっかり固定したうえで、ワークに対するチ
ップの実装を行うことができる。またワークに対するチ
ップの実装が終了したならば、吸着パッドでキャリアを
真空吸着してキャリアを確実に強制的に下降させ、次の
工程へ搬送することができる。
【図１】本発明の一実施の形態のワーク搬送用キャリア
の位置決め装置の斜視図
の位置決め装置の斜視図
【図２】本発明の一実施の形態のワーク搬送用キャリア
の位置決め装置のバックアップ手段の断面図
の位置決め装置のバックアップ手段の断面図
【図３】本発明の一実施の形態のワーク搬送用キャリア
の位置決め装置のバックアップ手段のバックアップ動作
時の部分断面図
の位置決め装置のバックアップ手段のバックアップ動作
時の部分断面図
１ キャリア ２ ワーク ３、４ ガイドレール ６ クランプ部材 ７ ばね材 １０ マスク部材 １１ 開口部 １２ ばね材 ２０ バックアップ部材 ２２ 吸着パッド ２３ シリンダ ２６ 真空吸引手段 Ｌ１ 搬送面 Ｌ２ 実装面
Claims (2)
- 【請求項１】複数個のワークが搭載されたプレート状の
キャリアを左右から弾性的にクランプするクランプ部材
と、キャリアの上方にあってワークに対応する位置に開
口部が開口され、かつワークを上方から弾性的に押え付
けるばね材を有するプレート状のマスク部材と、キャリ
アの下方に上下動自在に配設されてキャリアを押し上げ
るバックアップ部材と、このバックアップ部材にその上
面をこのバックアップ部材の上面よりも上方に突出させ
て装着されてキャリアの下面を真空吸着する弾性材から
成る吸着パッドと、この吸着パッドを真空吸引する真空
吸引手段とを備えたことを特徴とするワーク搬送用キャ
リアの位置決め装置。 - 【請求項２】複数個のワークが搭載されたキャリアをガ
イドレールの間に搬入し、そこで上下動手段を駆動する
ことによりバックアップ部材を上昇させてバックアップ
部材の上面から上方へ突出する弾性材から成る吸着パッ
ドの上面をキャリアの下面に当接させ、キャリアを左右
から弾性的にクランプするクランプ部材のクランプ力に
抗してキャリアを更に実装面まで押し上げてキャリア上
のワークをマスク部材に設けられたばね材で上方から弾
性的に押えつけ、かつ吸着パッドでキャリアを真空吸着
することによりキャリアのそりを矯正し、この状態で各
ワーク上にチップを搭載した後、上下動手段を駆動して
バックアップ部材を下降させることにより吸着パッドに
真空吸着されたキャリアを強制的に搬送面まで下降させ
るようにしたことを特徴とするワーク搬送用キャリアの
位置決め方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18201897A JPH1126544A (ja) | 1997-07-08 | 1997-07-08 | ワーク搬送用キャリアの位置決め装置および位置決め方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18201897A JPH1126544A (ja) | 1997-07-08 | 1997-07-08 | ワーク搬送用キャリアの位置決め装置および位置決め方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1126544A true JPH1126544A (ja) | 1999-01-29 |
Family
ID=16110908
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18201897A Pending JPH1126544A (ja) | 1997-07-08 | 1997-07-08 | ワーク搬送用キャリアの位置決め装置および位置決め方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1126544A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100607365B1 (ko) | 2004-12-30 | 2006-08-01 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 진공 흡착식 승강 핀을 구비하는 웨이퍼 지지 장치 |
| JP2010062590A (ja) * | 2009-12-15 | 2010-03-18 | Tdk Corp | 収容容器支持機構、蓋開閉システム及び収容容器の保持方法 |
| KR100981634B1 (ko) | 2008-05-23 | 2010-09-13 | (주) 예스티 | 반도체패키지의 이송장치 |
| CN101866870A (zh) * | 2010-05-25 | 2010-10-20 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 一种半导体专用设备用晶片吸附搬运机构 |
| CN101866869A (zh) * | 2010-05-25 | 2010-10-20 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 一种半导体专用设备用晶片传输装置 |
| WO2014203612A1 (ja) * | 2013-06-19 | 2014-12-24 | シャープ株式会社 | 撮像素子の位置調整機構 |
| CN113252686A (zh) * | 2021-05-13 | 2021-08-13 | 中科长光精拓智能装备(苏州)有限公司 | 一种电子元件邦定方法 |
| CN113539920A (zh) * | 2021-07-19 | 2021-10-22 | 深圳尚海轩科技有限公司 | 一种半导体芯片检测用定位装置 |
-
1997
- 1997-07-08 JP JP18201897A patent/JPH1126544A/ja active Pending
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