JP3300258B2 - リードフレーム搬送方法及びリードフレーム搬送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はリードフレーム搬送
方法及びリードフレーム搬送装置の改良に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】リードフレームにダイを実装するダイボ
ンディング工程は、１対の搬送レール上に位置決めされ
たリードフレームの所定箇所に、ボンドを塗布し、その
上にダイを載せることにより、行われる。そして、その
前工程として、マガジンに積載されたリードフレーム
が、前記１対の搬送レールへ移載され、この搬送レール
上に載置されたリードフレームがディスペンサ側へ搬送
される。

【０００３】また、ダイボンディングを終了したリード
フレームは同搬送レールに沿って次工程へ搬送される。

【０００４】搬送の際にリードフレームを保持するユニ
ット（機構）について図面を参照しながら説明する。

【０００５】図４はリードフレームの外観図、図５は従
来のリードフレーム搬送装置におけるリードフレーム保
持手段の構成を示した断面図である。

【０００６】図５において、ユニット１は、リードフレ
ーム２の側縁部２ａをクランプするものである。リード
フレーム２は、図４に示すように、左右の側縁部に各
々、複数個（同図では各５個）のピン孔１０１が列状に
設けられている。この複数個のピン孔１０１には、ダイ
ボンディング工程において、各々、図示しないピンが挿
入されて、リードフレーム２の左右位置が位置決めされ
る。

【０００７】３はユニットボックス４に支持されるソレ
ノイド、５はソレノイド３のプランジャであり、プラン
ジャ５の先端部は、揺動レバー６の左方上部に当接して
いる。この揺動レバー６は、軸支部７によりユニットボ
ックス４に時計方向（矢印θ１方向）又は反時計方向
（矢印θ２方向）に揺動自在に支持される。

【０００８】また、８は、上面が搬送レール９ｂの上面
９ｅと面一（同一高さ）となるように、ユニットボック
ス４に取り付けられる下受板、１０は下端部がこの下受
板８に取り付けられ、上端部が揺動レバー６の左方下部
に取り付けられて、同左方下部を上方に付勢するばねで
ある。また、揺動レバー６の右方下部は、かぎ形に下向
きに屈曲している。

【０００９】そして、プランジャ５を引く方向にソレノ
イド３を作動させると、前記ばね１０のばね力により、
揺動レバー６の先端部６ａを時計方向（θ１方向）に回
動させて、その先端部６ａによりリードフレーム２の側
縁部を下方に押圧し、これにより、前記揺動レバー６の
先端部６ａと前記下受板８との間に、リードフレーム２
の側縁部２ａをクランプするようにしている。

【００１０】一方、ソレノイド３の前記作動を解除する
と、プランジャ５がばね１０のばね力に抗してもとの長
さに伸びて、揺動レバー６が反時計方向（θ２方向）に
揺動することにより、リードフレーム２の側縁部２ａの
前記クランプ状態が解除される。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】ところで、最近、リー
ドフレームとして、図６（ａ）及び（ｂ）に示すよう
に、銅（Ｃｕ）製のリードフレームの周囲全面にニッケ
ル（Ｎｉ）及びパラジウム（Ｐｄ）、又はＮｉ、Ｐｄ及
び金（Ａｕ）を積層した形でメッキされるものがある。

【００１２】このようなリードフレームは従来の鉄（Ｆ
ｅ）製（いわゆる「４２アロイ」と呼ばれるもの）のリ
ードフレームに比してその表面が極めて滑らかであり、
その搬送時においてリードフレームを確実にクランプで
きず、ダイボンディング工程の歩留まりが悪化する事態
が生じる。

【００１３】また、最上層に金層がメッキされたリード
フレームの場合には、その金層は軟性であるが故に、リ
ードフレームを１対の搬送レールに沿って搬送する過程
で、そのリードフレーム裏面の金層が搬送レールとの接
触によって傷付けられ易く、完成製品に影響が生じる。
更に、リードフレーム裏面の金層が搬送レールとの接触
によって削られて微細な“かす”が生じ、このかすがピ
ン孔１０１を塞ぐことがある。ピン孔１０１が塞がる
と、ダイボンディング工程でのリードフレームの位置決
めに不具合が生じ、正常稼働を確保するために装置を停
止させる必要もあって、装置の稼働率の低下を招く欠点
が生じる。

【００１４】本発明の目的は、表面が滑らかに形成され
たリードフレームを確実にクランプして搬送する搬送方
法及び装置、並びにリードフレームに傷が付き難い搬送
方法及び装置を提供することにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明のリードフレーム搬送方法及び搬送装置は、
搬送レールに沿ってリードフレームを搬送する際、その
リードフレームの一方の側縁部を搬送レールからその上
方に浮かせた状態で搬送する。

【００１６】具体的に、請求項１記載の発明は、最上層
にパラジウム層又は金層がメッキされたリードフレーム
を１対の搬送レールに沿って搬送するリードフレーム搬
送方法であって、前記リードフレームが持つ左側及び右
側の両側縁部のうち一方の側縁部を前記１対の搬送レー
ルのうち一方の搬送レール上に載置し、一方、前記リー
ドフレームの他方の側縁部を、前記１対の搬送レールの
うち他方の搬送レールの上方に任意の高さ浮かせると共
に、前記リードフレームの前記他方の側縁部をクランプ
し、その後、前記クランプしたリードフレームを目的位
置に向って搬送することを特徴とする。

【００１７】更に、請求項２記載の発明は、最上層にパ
ラジウム層又は金層がメッキされたリードフレームを１
対の搬送レールに沿って搬送するリードフレーム搬送方
法であって、前記リードフレームが持つ左側及び右側の
両側縁部のうち一方の側縁部を前記１対の搬送レールの
うち一方の搬送レール上に載置し、一方、前記リードフ
レームの他方の側縁部を、前記１対の搬送レールのうち
他方の搬送レールの上方に任意の高さ浮かせると共に、
前記リードフレームの前記他方の側縁部を、該リードフ
レームの表面及び裏面の両側からこの両面に対してほぼ
垂直方向に押圧してクランプし、その後、前記クランプ
したリードフレームを目的位置に向って搬送することを
特徴とする。

【００１８】加えて、請求項３記載の発明は、表面が滑
らかに形成されたリードフレームを１対の搬送レールに
沿って搬送するリードフレーム搬送方法であって、前記
リードフレームが持つ左側及び右側の両側縁部のうち一
方の側縁部を前記１対の搬送レールのうち一方の搬送レ
ール上に載置し、一方、前記リードフレームの他方の側
縁部を、前記１対の搬送レールのうち他方の搬送レール
の上方に任意の高さ浮かせると共に、前記リードフレー
ムの前記他方の側縁部を、該リードフレームの表面及び
裏面の両側からこの両面に対してほぼ垂直方向に押圧し
てクランプし、その後、前記クランプしたリードフレー
ムを目的位置に向って搬送することを特徴とする。

【００１９】また、請求項４記載の発明のリードフレー
ム搬送装置は、最上層にパラジウム層又は金層がメッキ
されたリードフレームが載置可能に形成された１対の搬
送レールと、前記リードフレームが持つ左側及び右側の
両側縁部のうち一方の側縁部が前記１対の搬送レールの
うち一方の搬送レール上に載置された状態で、前記リー
ドフレームの他方の側縁部を、前記１対の搬送レールの
うち他方の搬送レールの上方に任意の高さ浮かせてクラ
ンプする押圧ユニットと、前記押圧ユニットを前記１対
の搬送レールに沿って目的位置に向って移動させる移動
手段とを備えたことを特徴とする。

【００２０】更に、請求項５記載の発明のリードフレー
ム搬送装置は、最上層にパラジウム層又は金層がメッキ
されたリードフレームが載置可能に形成された１対の搬
送レールと、前記リードフレームが持つ左側及び右側の
両側縁部のうち一方の側縁部が前記１対の搬送レールの
うち一方の搬送レール上に載置された状態で、前記リー
ドフレームの他方の側縁部を、前記１対の搬送レールの
うち他方の搬送レールの上方に任意の高さ浮かせて、こ
の他方の側縁部を、該リードフレームの表面及び裏面の
両側からこの両面に対してほぼ垂直方向に押圧してクラ
ンプする押圧ユニットと、前記押圧ユニットを前記１対
の搬送レールに沿って目的位置に向って移動させる移動
手段とを備えたことを特徴とする。

【００２１】加えて、請求項６記載の発明のリードフレ
ーム搬送装置は、表面が滑らかに形成されたリードフレ
ームが載置可能に形成された１対の搬送レールと、前記
リードフレームが持つ左側及び右側の両側縁部のうち一
方の側縁部が前記１対の搬送レールのうち一方の搬送レ
ール上に載置された状態で、前記リードフレームの他方
の側縁部を、前記１対の搬送レールのうち他方の搬送レ
ールの上方に任意の高さ浮かせて、この他方の側縁部
を、該リードフレームの表面及び裏面の両側からこの両
面に対してほぼ垂直方向に押圧してクランプする押圧ユ
ニットと、前記押圧ユニットを前記１対の搬送レールに
沿って目的位置に向って移動させる移動手段とを備えた
ことを特徴とする。

【００２２】更に加えて、請求項７記載の発明は、前記
請求項４、５又は６記載のリードフレーム搬送装置にお
いて、前記１対の搬送レールのうち、前記リードフレー
ムの前記押圧ユニットによりクランプされない側縁部が
載置される搬送レールには、このリードフレームの側縁
部の端面が当接する段差部が形成されることを特徴とす
る。

【００２３】以上の構成により、請求項１及び請求項４
記載の発明では、リードフレームの一方の側縁部は一対
の搬送レールのうち一方に載置されるものの、リードフ
レームの他方の側縁部が他方の搬送レールよりも所定高
さ浮いた状態で搬送されるので、この他方の側縁部はそ
の下方の搬送レールと接触せず、従って、搬送時にも、
この他方の側縁部の裏面は傷付くことがない。また、前
記他方の側縁部を浮かせる分、リードフレームの全体は
水平面に対して所定角度傾斜した状態で搬送されるの
で、そのリードフレームの一方の側縁部が前記一方の搬
送レールに載置されていても、この側縁部と搬送レール
との接触面積は従来に比して小さくなり、その結果、こ
の載置された側縁部の裏面は従来よりも傷付き難く、ま
た仮に接触により微細なかすが発生しても、そのかすの
量は小量であり、しかも、その微細なかすがその斜め上
方に位置するピン孔に入ることは希であり、ピン孔を塞
ぐことは滅多にない。

【００２４】更に、請求項２、３、５、６及び７記載の
発明では、前記発明の作用に加えて、リードフレームの
一方の側縁部が、その表裏両面から垂直に押圧されてク
ランプされるので、従来に比して確実にクランプされ
る。従って、リードフレームの表面がパラジウム層又は
金層にメッキされてその表面が滑らかであっても、この
リードフレームを目的位置に向って良好に搬送できる作
用を奏する。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しながら説明する。

【００２６】図１は本発明の基礎となるリードフレーム
搬送装置を示す平面図、図２は図１のＡ−Ａ線断面図で
ある。同各図において、従来の構成と同等のものは、同
一名称及び同一符号を用いる。

【００２７】図１及び図２において、２は、図６（ａ）
又は（ｂ）に示すように、最上層にパラジウム（Ｐｄ）
層、又は金（Ａｕ）層がメッキ形成されたリードフレー
ムであって、その厚さは例えば０．２〜０．３mmであ
る。前記リードフレーム２の右側及び左側の両側縁部２
ａ、２ｂには、その各側縁に沿って複数個のピン孔１０
１が列状に穿設されている。

【００２８】９ａ及び９ｂは一対の搬送レールであっ
て、一方の搬送レール９ａには、前記リードフレーム２
の図２右側の側縁部２ａが載置され、他方の搬送レール
９ｂには、リードフレーム２の図２左側の側縁部２ｂよ
りも内方の部位が載置される。前記一方の搬送レール９
ａには、段差部９ｃが設けられる。この段差部９ｃは、
図２に拡大詳示するように、その縦壁面９ｄにリードフ
レーム２の右側側縁部２ａの端面が当接して、リードフ
レーム２の左右位置を位置決める。

【００２９】また、１０２は、前記リードフレーム２を
前記一対の搬送レール９ａ、９ｂに沿って移動させる移
動ボックスであって、この移動ボックス１０２内には、
第１の押圧ユニット１０３及び第２の押圧ユニット１０
４が一体的に設けられる。前記第１の押圧ユニット１０
３は、前端部がリードフレーム２の左側側縁部２ｂの上
方に配置される上側押圧部材１０３ａと、この押圧部材
１０３ａの後端部を上下移動させる駆動源たる第１のエ
アーシリンダー１０３ｂとを有する。前記第２の押圧ユ
ニット１０４も、同様に、先端部がリードフレーム２の
左側側縁部２ｂの下方に配置される下側押圧部材１０４
ａと、この押圧部材１０４ａの後端部を上下移動させる
第２のエアーシリンダー１０４ｂとを有する。

【００３０】従って、前記第１及び第２のエアーシリン
ダー１０３ｂ、１０４ｂにより、上側押圧部材１０３ａ
を下方に移動させると共に、下側押圧部材１０４ａを上
方に移動させることにより、この両押圧部材でもって、
リードフレーム２の左側側縁部２ｂを、その表面及び裏
面の両側からこの両面に対してほぼ垂直方向に押圧して
クランプするように構成されている。

【００３１】更に、１０５は前記移動ボックス１０２の
下部に摺動自在に係合し、この移動ボックス１０２を搬
送レール９ａ，９ｂと平行（矢印Ｎ方向）に案内するガ
イドレール、１０６は前記ガイドレール１０５の背後に
前記Ｎ方向に設けられる送りねじ、１０７はこの送りね
じ１０６を駆動するモータ、１０８は前記送りねじ１０
６に螺合する送りナットであって、この送りナット１０
８は前記移動ボックス１０２に連結されている。

【００３２】従って、モータ１０７を駆動すると、移動
ボックス１０２をガイドレール１０５に摺接させつつ、
矢印Ｎ方向に移動させることができる。これにより、第
１及び第２の押圧ユニット１０３、１０４を用いてリー
ドフレーム２の側端部２ｂをクランプした状態で、移動
ボックス１０２を１対の搬送レール９ａ，９ｂに沿って
移動させることができる。

【００３３】前記移動ボックス１０２、送りねじ１０
６、送りナット１０８、モータ１０７、ガイドレール１
０５により、移動手段１０９が構成される。

【００３４】尚、前記移動ボックス１０２は、１対の搬
送レール９ａ、９ｂの延びる方向と直交する方向に若干
移動可能に配置されると共に、図示しない駆動装置によ
り駆動されて、前記直交方向に移動し、リードフレーム
２の右側側縁部２ａの端面を一方の搬送レール９ａの段
差部９ｂの縦壁面９ｃに当接させる。

【００３５】次に、前記リードフレーム搬送装置の動作
を説明する。

【００３６】先ず、第１及び第２のエアーシリンダー１
０３ｂ、１０４ｂの作動を解除しておき、上側及び下側
の押圧部材１０３ａ、１０４ａを解放した状態にしてお
く。

【００３７】そして、１対の搬送レール９ａ，９ｂ上に
リードフレーム２が載置（供給）されると、第１及び第
２のエアーシリンダー１０３ｂ、１０４ｂを作動させ
て、上側及び下側の押圧部材１０３ａ、１０４ａにより
リードフレーム２の左側側縁部２ｂをその表裏両面から
クランプする。その後、図示しない駆動装置により移動
ボックス１０２を搬送レール９ａ、９ｂと直交する方向
に移動させて、前記リードフレーム２の右側側縁部２ａ
の端面を搬送レール９ａの段差部９ｃの縦壁面９ｄに当
接させて、リードフレーム２を左右方向に位置決めす
る。そして、この状態のまま、モータ１０７を駆動す
る。その結果、移動ボックス１０２がガイドレール１０
５に案内されつつ矢印Ｎ方向へ移動して、リードフレー
ム２をクランプした第１及び第２の押圧ユニット１０
３，１０４を、移動ボックス１０２と一体的に目的位置
に向って移動させる。

【００３８】そして、目的位置において、ダイボンディ
ングを行い、前記と同様の要領で、リードフレーム２を
次工程へ搬送する。

【００３９】ここに、第１及び第２の押圧ユニット１０
３、１０４を用いて、リードフレーム２の側縁部２ｂを
その表面及び裏面の両側からほぼ垂直方向に押圧してク
ランプするので、その締付け力が増す。従って、前記リ
ードフレーム２のメッキされた表面が最上層のパラジウ
ム層又は金層により滑らかであっても，このリードフレ
ーム２の側縁部２ｂを従来に比して確実にクランプで
き、このリードフレーム２を目的位置まで良好に搬送で
きる。

【００４０】また、前記リードフレーム２のクランプ
は、リードフレーム２に開設されたピン孔１０１及びこ
れに係合するピン（図示せず）とは無関係に行うことが
できるので、リードフレーム２の品種の変更により、ピ
ン孔１０１の配置が変更された場合であっても、ピン孔
１０１に係合するピンの配置変更を行う必要がなく、柔
軟に対応することができる。

【００４１】更に、図示しないが、移動ボックス１０２
を搬送レール９ａ、９ｂの延びる方向（図１のＮ方向）
に拡張し、第１及び第２の押圧ユニット１０３，１０４
の組を１セットとして複数セット設け、これ等を所定間
隔毎に配置して、これ等セットを連動して同時に動作さ
せると、更にリードフレーム２の搬送を迅速に行い得
る。

【００４２】次に、本発明の実施の形態について説明す
る。

【００４３】図３は本発明の実施の形態におけるリード
フレーム搬送装置における搬送状態を示した図である。

【００４４】同図において、既述したリードフレーム搬
送装置と異なる点は、リードフレーム２の左側の側縁部
２ｂを左側の搬送レール９ｂの上面よりも浮かせてクラ
ンプさせる点である。

【００４５】搬送装置の構成の相違点は、リードフレー
ム２の搬送に際し、リードフレーム２をクランプする
時、上側及び下側の押圧部材１０３ａ、１０４ａによる
側端部２ｂのクランプ位置を、前記図２に示した基礎形
態と比較して、左側の搬送レール９ｂの上面よりも上方
に任意の高さ浮かせた位置に設定するよう、第１及び第
２のエアーシリンダー１０３ｂ、１０４ｂの動作量を予
め設定しておく点である。前記浮かせる任意の高さは、
例えばリードフレーム２の厚さとほぼ同一値の０．２〜
０．３mmに設定できる。図３では、“浮かせる”という
本発明の特徴点を明確にするために、浮かせる高さを誇
張して描いている。

【００４６】本実施の形態では、リードフレーム搬送装
置は、例えば次の動作を行う。

【００４７】すなわち、先ず、第１及び第２のエアーシ
リンダー１０３ｂ、１０４ｂの作動を解除して、上側及
び下側の押圧部材１０３ａ、１０４ａを解放した状態に
しておく。

【００４８】そして、１対の搬送レール９ａ，９ｂ上に
リードフレーム２を載置する。次いで、第２のエアーシ
リンダー１０４ｂを作動させて、下側の押圧部材１０４
ａを上方に移動させ、リードフレーム２の左側側縁部２
ｂを左側の搬送レール９ｂの上面よりも任意の高さ浮か
せる。そして、今度は、第１のエアーシリンダー１０３
ｂを作動させて、上側の押圧部材１０３ａを下方に移動
させて、前記下側の押圧部材１０３ｂと共働して、リー
ドフレーム２の左側側縁部２ｂをその表裏両面からほぼ
垂直方向に押圧してクランプする。

【００４９】その後、図示しない駆動装置により移動ボ
ックス１０２を搬送レール９ａ、９ｂと直交する方向に
移動させて、前記リードフレーム２の右側側縁部２ａの
端面を右側の搬送レール９ａの段差部９ｃの縦壁面９ｄ
に当接させて、リードフレーム２を左右方向に位置決め
する。

【００５０】そして、その状態のまま、モータ１０７を
駆動する。その結果、移動ボックス１０２がガイドレー
ル１０５に案内されつつ矢印Ｎ方向へ移動して、リード
フレーム２の側端部２ｂをクランプした第１及び第２の
押圧ユニット１０３，１０４を、移動ボックス１０２と
一体的に目的位置に向って移動させる。

【００５１】そして、目的位置において、ダイボンディ
ングを行い、前記と同様の要領で、リードフレーム２を
次工程へ搬送する。

【００５２】ここに、リードフレーム２の左側側縁部２
ｂは、左側の搬送レール９ｂの上面から任意の高さ浮い
た状態で搬送されるので、その搬送時には、この側縁部
２ｂの裏面が搬送レール９ｂによって傷を付けられるこ
とが無い。

【００５３】しかも、リードフレーム２の右側の側縁部
２ａでは、リードフレーム２が図３から判るように、水
平面に対して傾く分、右側の搬送レール９ａとの接触面
積が従来に比して小さくなるので、リードフレーム２の
右側側縁部２ａの裏面も傷が付き難いという効果も奏す
る。

【００５４】尚、本実施の形態では、先ずリードフレー
ム２の左側側縁部２ｂを浮かせ、その後に、その左側側
縁部２ｂをクランプしたが、先に左側側縁部２ｂを第１
及び第２の押圧ユニット１０３、１０４でクランプし、
その後、このクランプを保持したまま、前記両押圧ユニ
ット１０３、１０４を用いて、上側及び下側の押圧部材
１０３ａ、１０４ａを共に上方に移動させて、リードフ
レーム２の左側側縁部２ｂを浮かせても良いのは勿論で
ある。

【００５５】また、本実施の形態では、第１及び第２の
エアーシリンダー１０３ｂ、１０４ｂを用いて、リード
フレーム２の左側側縁部２ｂを右側の搬送レール９ｂの
上面位置よりも上方に浮かせたが、これ等のシリンダー
を用いず、前記側縁部２ｂを浮かせる専用のシリンダー
を別途設けてもよい。

【００５６】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１及び請求
項４記載の発明によれば、リードフレームの他方の側縁
部を搬送レールよりも所定高さ浮かせた状態で搬送する
ので、この他方の側縁部の裏面を傷付けることを確実に
防止できると共に、前記リードフレームの一方の側縁部
と搬送レールとの接触面積を小さくして、その裏面を傷
付き難くでき、また仮に接触により微細なかすが発生し
ても、そのかすの量を小量に制限して、も、その微細な
かすがピン孔を塞ぐことを抑制ないし防止できる。

【００５７】更に、請求項２、３、５、６及び７記載の
発明によれば、前記発明の作用に加えて、リードフレー
ムの一方の側縁部を、その表裏両面から垂直に押圧して
クランプし、この状態で搬送するので、リードフレーム
の表面がパラジウム層又は金層にメッキされてその表面
が滑らかであっても、このリードフレームを確実にクラ
ンプして、目的位置に向って良好に搬送することができ
る効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の基礎となるリードフレーム搬送装置の
平面図である。

【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。

【図３】本発明の実施の形態のリードフレーム搬送装置
によるリードフレームの搬送状態を示す図である。

【図４】リードフレームの外観を示す図である。

【図５】従来のリードフレーム搬送装置におけるリード
フレーム保持装置の構成を示す断面図である。

【図６】（ａ）は最上層にパラジウム層がメッキ形成さ
れたリードフレームの構造を模式的に示す断面図、
（ｂ）は最上層に金層がメッキ形成されたリードフレー
ムの構造を模式的に示す断面図である。

【符号の説明】

２ リードフレーム ２ａ 一方の側縁部 ２ｂ 他方の側縁部 ９ａ、９ｂ 搬送レール ９ｃ 段差部 ９ｄ 縦壁面 １０３、１０４ 押圧ユニット １０３ａ 上側押圧部材 １０４ａ 下側押圧部材 １０３ｂ、１０４ｂ エアーシリンダー １０５ ガイドレール １０６ 送りねじ １０７ モータ １０８ 送りナット １０９ 移動手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平井 和雄 大阪府高槻市幸町１番１号 松下電子工 業株式会社内 (72)発明者 大野 啓作 大阪府高槻市幸町１番１号 松下電子工 業株式会社内 (72)発明者 宮崎 章 大阪府高槻市幸町１番１号 松下電子工 業株式会社内 (56)参考文献 特開 平１−189930（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/50 H01L 21/52

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 最上層にパラジウム層又は金層がメッキ
   されたリードフレームを１対の搬送レールに沿って搬送
   するリードフレーム搬送方法であって、 前記リードフレームが持つ左側及び右側の両側縁部のう
   ち一方の側縁部を前記１対の搬送レールのうち一方の搬
   送レール上に載置し、一方、 前記リードフレームの他方の側縁部を、前記１対の搬送
   レールのうち他方の搬送レールの上方に任意の高さ浮か
   せると共に、 前記リードフレームの前記他方の側縁部をクランプし、 その後、前記クランプしたリードフレームを目的位置に
   向って搬送することを特徴とするリードフレーム搬送方
   法。
2. 【請求項２】 最上層にパラジウム層又は金層がメッキ
   されたリードフレームを１対の搬送レールに沿って搬送
   するリードフレーム搬送方法であって、 前記リードフレームが持つ左側及び右側の両側縁部のう
   ち一方の側縁部を前記１対の搬送レールのうち一方の搬
   送レール上に載置し、一方、 前記リードフレームの他方の側縁部を、前記１対の搬送
   レールのうち他方の搬送レールの上方に任意の高さ浮か
   せると共に、 前記リードフレームの前記他方の側縁部を、該リードフ
   レームの表面及び裏面の両側からこの両面に対してほぼ
   垂直方向に押圧してクランプし、 その後、前記クランプしたリードフレームを目的位置に
   向って搬送することを特徴とするリードフレーム搬送方
   法。
3. 【請求項３】 表面が滑らかに形成されたリードフレー
   ムを１対の搬送レールに沿って搬送するリードフレーム
   搬送方法であって、 前記リードフレームが持つ左側及び右側の両側縁部のう
   ち一方の側縁部を前記１対の搬送レールのうち一方の搬
   送レール上に載置し、一方、 前記リードフレームの他方の側縁部を、前記１対の搬送
   レールのうち他方の搬送レールの上方に任意の高さ浮か
   せると共に、 前記リードフレームの前記他方の側縁部を、該リードフ
   レームの表面及び裏面の両側からこの両面に対してほぼ
   垂直方向に押圧してクランプし、 その後、前記クランプしたリードフレームを目的位置に
   向って搬送することを特徴とするリードフレーム搬送方
   法。
4. 【請求項４】 最上層にパラジウム層又は金層がメッキ
   されたリードフレームが載置可能に形成された１対の搬
   送レールと、 前記リードフレームが持つ左側及び右側の両側縁部のう
   ち一方の側縁部が前記１対の搬送レールのうち一方の搬
   送レール上に載置された状態で、前記リードフレームの
   他方の側縁部を、前記１対の搬送レールのうち他方の搬
   送レールの上方に任意の高さ浮かせてクランプする押圧
   ユニットと、 前記押圧ユニットを前記１対の搬送レールに沿って目的
   位置に向って移動させる移動手段とを備えたことを特徴
   とするリードフレーム搬送装置。
5. 【請求項５】 最上層にパラジウム層又は金層がメッキ
   されたリードフレームが載置可能に形成された１対の搬
   送レールと、 前記リードフレームが持つ左側及び右側の両側縁部のう
   ち一方の側縁部が前記１対の搬送レールのうち一方の搬
   送レール上に載置された状態で、前記リードフレームの
   他方の側縁部を、前記１対の搬送レールのうち他方の搬
   送レールの上方に任意の高さ浮かせて、この他方の側縁
   部を、該リードフレームの表面及び裏面の両側からこの
   両面に対してほぼ垂直方向に押圧してクランプする押圧
   ユニットと、 前記押圧ユニットを前記１対の搬送レールに沿って目的
   位置に向って移動させる移動手段とを備えたことを特徴
   とするリードフレーム搬送装置。
6. 【請求項６】 表面が滑らかに形成されたリードフレー
   ムが載置可能に形成された１対の搬送レールと、 前記リードフレームが持つ左側及び右側の両側縁部のう
   ち一方の側縁部が前記１対の搬送レールのうち一方の搬
   送レール上に載置された状態で、前記リードフレームの
   他方の側縁部を、前記１対の搬送レールのうち他方の搬
   送レールの上方に任意の高さ浮かせて、この他方の側縁
   部を、該リードフレームの表面及び裏面の両側からこの
   両面に対してほぼ垂直方向に押圧してクランプする押圧
   ユニットと、 前記押圧ユニットを前記１対の搬送レールに沿って目的
   位置に向って移動させる移動手段とを備えたことを特徴
   とするリードフレーム搬送装置。
7. 【請求項７】 前記１対の搬送レールのうち、前記リー
   ドフレームの前記押圧ユニットによりクランプされない
   側縁部が載置される搬送レールには、 このリードフレームの側縁部の端面が当接する段差部が
   形成されることを特徴とする請求項４、５又は６記載の
   リードフレーム搬送装置。