JPS61221022A - 積層装置のグリツパ機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、層支持体上に積層されかつ切断機構によって
その都度所定の長さに切断されるフィルムを保持しかつ
搬送するための可動グリッパビームを備えた、積層装置
のグリッパ機構に関する。

従来の技術 両図に蒸着及び／又はクララｒされた金属層を有する層
支持体、例えば印刷回路板、多重層、金属板又はウェブ
にフォトレジストフィルムを積層する前に、フォトレジ
ストフィルムはしわのないように水平又は鉛直方向に配
向された唱着板上に吸引台によって張着され、かつその
都度の層支持体上にフォトレジストフィルムが合同形で
積層するため必要である所望の寸法に切断される。

ヨーロッパ特許出願公開第００４０８４２号同第００４
０８４３号及び同第００４１６４２号明細書から積層装
置が公知であυ、該装置の場合には基板又は層支持体に
両面で圧力の適用下に乾燥レジストが積層される。乾燥
レジストは層支持体例えば導体板、のその都度積層すべ
き面のために、供給ロールからくり出されかつ１対の積
層ロールに供給され、該ロールの間隙を２枚の乾燥レジ
ストフィルムと、その間に存在にする層支持体が貫通せ
しめられる。

西独国特許出願第ｐ３４２０４２９．．６号明細書に、
吸引台のの吸着板上にフォトレジストフィルムを固定し
かつ搬送するために、フレキシブルな真空導管を介して
真空ポンプと接続された運行自在のグリッパビームが開
示された。

グリッパビームは、駆動チェーンによって案内レールに
沿って可動である２つの案内機構と接続されている。フ
ォトレジストフィルムのストリップ状切片は上昇せしめ
られたグリッパビームによって把持されかつ下に向かっ
て搬送される。その際、フォトレジストフィルムは上方
の吸引台、積層ステーションの間隙及び下方の真空台を
おおい、この場合張着されたフォトレジストフィルムの
全長は積層すべき板面積の大きに一致する。両者の吸引
台で真空が構成される、従ってフォトレジストフィルム
はしわのない状態で吸引台の吸着板を介して搬出するこ
とができる。グリッパビームがその終端位置に達すると
、吸引台には吸気の作用を受けたままであシ、それによ
りフォトレジストフィルムはしわのない状態で吸引台の
吸着板上に張着される。この開示されたグリッパ機構で
は、グリッパビームがフォトレジストフィルムのフォト
レジスト層を把持する、それによシ該層にグリッパビー
ムにかけられた真空に起因してくぼみが生じることがあ
る。更に、フォトレジスト層に対するグリッ／’ｅビー
ムの機械的作用により、フォトレジスト層が長時間貯蔵
されることにより僅かに脆弱化されると、フォトレジス
ト層内に微細な剥離を惹起することがある。グリッパビ
ームによってフォトレジスト層内に生せしめられるくぼ
み並びに７オトレジスト材料の剥離は明らかにフォトレ
ジスト層の品質を劣化する、このことについて詳説する
必要はないと思われる。

発明が解決しようとする問題点 従って、本発明の課題は、菅頭に記載した形式のグリッ
パ機構を、フォトレジストフィルムを把持及び搬送する
際のフォトレジスト層の劣化を十分に阻止するよう・に
改良することであった。

問題点を解決するための手段 前記課題は、本発明により、グリッパ機構１が少なくと
も２つの真空グリッパ８，８を有し該真空グリッパがグ
リッパ機構のビーム１３に涜って水平方向に移動及び固
定自在であシ、グリッパ機構１が鉛直方向の案内棒５，
５に沿つて上下運動可能でありかクビー１３上で該横支
柱の全幅にわたって延びる排気管６を有し、該排気管の
開口から空気が真空グリッパ８，８の方向に流出し、か
つ排気管６の上側の、排気管６の端面の近くにストッパ
ねじ１４．１５が配置されておシ、該ストッパねじは、
グリッパ装置の上昇運行の際に、カッター条片７が固定
された鉛直方向で可動な固定部材１６．１７の下側に接
触しかつ該固定部材をグリッパ装置１の上昇運行の際に
フィルムのフォトレジスト不在の背面と同じ高さに連行
することを特徴とする、積層装置のグリッパ機構によっ
て解決される。

本発明の有利な１実施態様によれば、真空グリッパが、
真空作用可能な成形孔を吸着板の反対側の面に有し、か
つ真空グリッパの吸引板に面した側には成形孔を有せず
かつほとんど無間隔で吸着板に境を接している。

本発明のもう１つの実施態様によれば、カッター条片が
上向きにかつ吸着板に向かって傾斜せしめられ、かつフ
ィルムが上から吸着板及び傾斜せしめられたカッター条
片に接触し、該カッター条片がフィルムを吸着板から遠
ざける。

本発明のもう１つの実施態様によれば、カッター条片が
取付けられた固定部材が、線状案内部材内を摺動する棒
の下に固定されており、かつ線状案内部材が位置固定の
切断機構のビームと連結されている。

有利には、棒の上端部にストッパブロックが固定されて
おり、該ブロックが線状案内部材の上に存在しかつ線状
案内部材内での棒の下降運動を制限する。フィルムの申
し分ない切断を保証するために、カッター条片が切断面
内に切断溝を包含し、該切断溝内に又は該切断溝から切
断面内で往復移動可能な加熱されるカッター線材がカッ
ター条片上に載ったフィルムの切断後に短時間出入運動
する。

フィルムの全幅にわたって真空グリッパを調節するため
に、横棒が水平なスリットを有し、該スリットをつまみ
ねじが貫通し、該ねじが固定部材が係合し、該固定部材
に真空グリッパが固定されている。

実施例 次に図示の実施例につき本発明の詳細な説明する。

第１図は、グリッパ機構１の一部分の斜視図を示し、該
機構は少なくとも２個の真空グリッパ８，８を有し、該
真空グリッパはグリッパ機構のビーム１３に沿って水平
方向で可動でありかつつまみねじ１１及び１２によって
固定自在である。真空グリッパ８，８はビーム１３と一
緒に切断すべき材料、例えば第２図及び第３図に示され
ており、但し理解しやすくするために第１図には示され
ていないフォトレジストフィルム２４の固定保持及び搬
送のためにいわゆるグリッパ条片を構成する。

グリッパ機構１は、例えば詳細には西独国特許出願第ｐ
３４２０４２９，６号明細書に記載されているように、
鉛直な案内棒５，５に沿って上下運動自在である。

真空グリッパ８，８は、フォトレジストフィルム２４の
背面に面した側面に、成形孔２５゜２５が設けられてお
シ、該孔フォトレジストフィルム２４を固定保持するた
めに真空作用がかけられる。成形孔２５．２５は行又は
列状に配置されておりかつ群毎に相互に平行な溝と接続
されている。夫々の成形孔の最も深い点は、図示されて
いない孔を介して真空ポンプへの真空導管に接続されて
いる。個々の成形孔は前記溝系内の中心に配置されてお
りかつ正方形の面積区分によって包含され、該面積区分
はフォトレジストフィルム２４のための支持面積を形成
しかつフォトレジストフィルムが溝系内に入シ込むのを
阻止する。それにより、フォトレジストフィルムのだめ
の吸引面積が、溝系の外側溝によって包囲される真空グ
リッパ８の面積に等しいことが保証される。

ビーム１３は水平なスリット１０を有し、該スリットを
つまみ付ねじ１１及び１２が貫通し該ねじは固定部材９
，９（第２図及び第３図参照）と係合し、該固定部材に
真空グリッパ８゜８が固定されている。つまみ付ねじ１
１及び１２のナツトを弛めることによシ相互に接近する
方向に又は遠ざかる方向に移動させることができかつそ
れにより真空グリッパの位置を加工すべきフォトレジス
トフィルム２４のその都度の幅に合わせるために、つま
み付ねじ１１及び１２と連結された真空グリッパ８，８
の間隔を相互に自由に選択することができる。このこと
は詳細には示されていないが、２つより多くの、例えば
３又は４個の同種の真空グリッパ８，８が設けられてお
り、この場合その数は加工すべきフォトレジストフィル
ム２４０幅に相応して選択される。

ビーム１３の上を、該ビームの全幅にわたって排気管６
が延びており、該排気管の開口は真空グリッパ８，８に
向けられている。排気管６の外部、但し排気管の端面の
近くに、ストッパねじ１４及び１５が配置されており、
これらの機能に関しては後でなお詳細に説明する。

第２図は、グリッパ機構１及びカッター機構２の縦断面
を示し、この場合グリッパ機構はその下方位置を取る。

第２図の矢印は、グリッパ機構１が案内棒５，５に沿っ
て運行せしめられる方向を示す。ビーム１３の上に排気
導管６が存在し、該排気導管６の上にストッパねじ１４
及び１５の１つが認められる。つまみ付ねじ１１及び１
２の一方は、つまみ付ナツトと共に破線で示されておシ
、該ナツトは閉じたスリットを貫通案内されかつ所属の
固定部材９と係合する。固定部材９には、夫々真空グリ
ッパ８゜８の１つが取付けられ、該グリッパの成形孔２
５は吸着板２３の反対の面に設けられている。

グリッパ機構１の上かつそれに対して間隔を置いて、カ
ッター機構２がビームに固定位置に取付けられており、
該ビームは例えば角管から成る。これらの角管は図示さ
れていない形式で案内機構を相互に連結し、該案内機構
は案内棒５．５に沿って鉛直方向に可動でありかつ所定
の位置に固定自在である。ビーム３には、２つの鉛直支
柱３０．３０が取付けられている。この鉛直支柱の前面
にはその下端に、夫々１つの２重に作用する案内シリン
ダ４が固定されている。水平方向に配向された案内シリ
ンダ４，４のピストン棒４，４は鉛直支柱３０．３０を
貫通しかつ角管３１内に支承され、該角管に加熱される
切断線材１８が固定され、該切断線材は断面図において
観察面に対して垂直方向に延びる。案内シリンダ４，４
によって、切断線材１Ｂは案内シリンダのピストン棒が
走出する際に切断面１９内を往復運行せしめられる。

ビーム３と線状案内部材２１．２１が連結され、該案内
部材は棒２６．２７のための案内孔を有し、該孔内を棒
は鉛直方向で上下に摺動することができる。棒２６．２
７の下端には固定部材１６．１７が取付けられており、
該固定部材にカッター条片７が固定されており、該カッ
ター条片は切断面１９内に切断溝２０を有する。

案内シリンダ４，４によって水平方向で往復移動自在の
、カッター機構２の切断線材１８は、カッター条片７上
に載るフォトレジストフィルム２４の切断後に切断溝２
０内に入り込みかつその短時間後に該切断溝から再び外
に出る。棒２６．２７の上端にはストッパブロック２８
゜２９が固定され、該ストッパブロックは線状案内装置
２１．２１の上にありかつ線状案内装置内での棒２６，
２７の下降運動を制限する、それというのもこれらは線
状案内装置の上端面に衝突するからである。

カッター条片７は上向きにかつ吸着板２３に向かって傾
斜している、従って上方から吸着板２３に接触するフォ
トレジストフィルム２４はカッター条片７の斜面により
吸引面から持上げられる。固定部材１６及び１７は水平
方向でグリッパ機構１の鉛直な運動軌道内に延び、従っ
てグリッパ機構１が鉛直方向で上昇する際にストッパね
じ１４及び１５は固定部材１６及び１７の下面に対して
突当る。

第３図には、グリッパ機構１がその鉛直方向上方位置で
示されておυ、この位置ではグリッパ機構１はそのスト
ッパねじ１４及び１５で鉛直方向で可動な固定部材１６
及び１７の下面に接触しかつ該部材を上昇運動の際に連
行されている。この位置では、真空グリッパ８，８もそ
の上面でカッター条片７の下面に接触する。その際ビー
ム１３の上の排気管６は切断面内にある、従って排気管
６から流出する排気はフォトレジストフィルム２４のフ
ォトレジスト層に衝突しかつ該フォトレジストフィルム
２４をフォトレジスト不在の背面で真空グリッパ８，８
の成形孔２５．２５に対して圧着する。真空グリッパが
吸引空気の作用を受けると直ちに、フォトレジストフィ
ルム２４はしわのない状態で真空グリッパ８，８に圧着
し、該グリッパによって固定されかつ下向きに、第２図
に示された位置に引張られる。切断面１９内で、加熱さ
れる切断線材１８によって７オトレジストフイルム２４
の切断が行われる。切断されたフォトレジストフィルム
２４は、真空グリッパ８，８が更に下降運動する際にカ
ッター条片７の縁部上に跳ね上り、かつ真空下にありか
つフォトレジストフィルム２４をしわのない状態で張着
する吸着板２３に圧着する。

グリッパ機構１の下方終端位置で、真空グリッパ８，８
の吸気は遮断されかつグリッパ機構１は、フォトレジス
トフィルム２４の下縁部も吸着板２３に吸着することが
できるまで降下せしめられる。層支持体に切断されたフ
ォトレジストフィルム２４が積層されるや否や、グリッ
パ機構は再び上昇せしめられかつフォトレジストフィル
ム２４と共に新たな固定保持及び搬送過程を開始する。

第２図における構成部分と同じ構成部分については、く
り返しを避けるために再度説明しない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるグリッパ機構の部分的斜視図、第
２図はグリッパ機構のグリッパビームの上昇運動開始状
態にある、グリッパ機構及びカッター機構の鉛直断面図
及び第３図は、フィルムの背面をグリッパビームによっ
て固定保持しかつグリッパビームの下降運動を開始する
位置にある、高い位置に移動したグリッパビームを有す
る第２図に相応する鉛直断面図である。 １・・・グリッパ機構、２・・・カッター機構、３・・
・ビーム、５・・・案内棒、６・・・排気管、７・・・
切断条片、８・・・真空グリッパ、９・・・固定部材、
１０・・・スリット、１１．１２−・・つまみ付ねじ、
１３・・・ビーム、１４．１５・・・ストッパねじ、１
６゜１７・・・固定部材、１Ｂ・・・切断線材、１９・
・・切断面、２０・・・切断溝、２１・・・線状案内部
材、２３・・・吸着板、２４・・・フィルム、２５・・
・成形孔、２６．２７・・・棒、２８．２９・・・スト
ツパプロツク

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、層支持体上に積層されかつカッター機構によつてそ
   の都度所定の長さに切断されるフィルムを保持しかつ搬
   送するための可動グリッパビームを備えた、積層装置の
   グリッパ機構において、グリッパ機構（１）が少なくと
   も２つの真空グリッパ（８、８）を有し、該真空グリッ
   パがグリッパ機構のビーム（１３）に沿つて水平方向に
   移動及び固定自在であり、グリッパ機構（１）が鉛直方
   向の案内棒（５、５）に沿つて上下運動可能でありかつ
   ビーム（１３）上で該ビームの全幅にわたつて延びる排
   気管（６）を有し、該排気管の開口から空気が真空グリ
   ッパ（８、８）の方向に流出し、かつ排気管（６）の上
   側の、排気管（６）の端面の近くにストッパねじ（１４
   、１５）が配置されており、該ストッパねじは、グリッ
   パ装置の上昇運行の際に、カッター条片 （７）が固定された、鉛直方向で可動な固定部材（１６
   、１７）の下側に接触しかつ該固定部材をグリッパ機構
   （１）の上昇運動の際にフィルムのフォトレジスト不在
   の背面と同じ高さに連行することを特徴とする、積層装
   置のグリッパ機構。 ２、真空グリッパ（８、８）が、真空作用可能な成形孔
   （２５、２５）を吸引板（２３）から離れた側の面に有
   し、かつ真空グリッパ （８、８）の吸着板（２３）に面した側には成形孔を有
   せずかつほとんど無間隔で吸着板（２３）に境を接して
   いる特許請求の範囲第１項記載のグリッパ機構。 ６、カッター条片（７）が上向きにかつ吸着板（２３）
   に向かつて傾斜せしめられ、かつフィルム（２５）が上
   から吸着板（２３）及び傾斜せしめられたカッター条片
   （７）に接触し、該カッター条片がフィルムを吸着板（
   ２３）から遠ざける特許請求の範囲第１項記載のグリッ
   パ機構。 ４、カッター条片（７）が取付けられた固定部材（１６
   、１７）が、線状案内部材（２１、２１）内を摺動する
   棒（２６、２７）の下に固定されており、かつ線状案内
   部材（２１、２１）が位置固定のカッター機構（２）の
   ビーム（３）と連結されている特許請求の範囲第１項記
   載のグリッパ機構。 ５、棒（２６、２７）の上端部にストッパブロック（２
   ８、２９）が固定されており、該ストッパブロックが線
   状案内部材（２１、２１）の上に存在しかつ線状案内部
   材（２１、２１）内での棒（２６、２７）の下降運動を
   制限する特許請求の範囲第４項記載のグリッパ機構。 ６、カッター条片（７）が切断面（１９）内に切断溝（
   ２０）を包含し、該切断溝内に又は該切断溝から切断面
   （１９）内で往復移動可能な加熱される切断線材（１８
   ）がカッター条片（７）上に載つたフィルム（２４）の
   切断後に短時間出入運動する特許請求の範囲第３項記載
   のグリッパ機構。 ７、ビーム（１３）が水平なスリット（１０）を有し、
   該スリットをつまみ付ねじ（１１、１２）が貫通し、該
   ねじが固定部材（９、９）が係合し、該固定部材に真空
   グリッパ（８、８）が固定されている特許請求の範囲第
   １項記載のグリッパ機構。