JPH11260053A - 半導体記憶装置の昇圧回路 - Google Patents

半導体記憶装置の昇圧回路

Info

Publication number
JPH11260053A
JPH11260053A JP10061755A JP6175598A JPH11260053A JP H11260053 A JPH11260053 A JP H11260053A JP 10061755 A JP10061755 A JP 10061755A JP 6175598 A JP6175598 A JP 6175598A JP H11260053 A JPH11260053 A JP H11260053A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
circuit
boosted potential
vboot
boosted
output
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10061755A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazunori Maeda
和範 前田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP10061755A priority Critical patent/JPH11260053A/ja
Priority to US09/265,042 priority patent/US6226206B1/en
Priority to KR1019990008237A priority patent/KR19990077819A/ko
Publication of JPH11260053A publication Critical patent/JPH11260053A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C5/00Details of stores covered by group G11C11/00
    • G11C5/02Disposition of storage elements, e.g. in the form of a matrix array
    • G11C5/04Supports for storage elements, e.g. memory modules; Mounting or fixing of storage elements on such supports
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C5/00Details of stores covered by group G11C11/00
    • G11C5/14Power supply arrangements, e.g. power down, chip selection or deselection, layout of wirings or power grids, or multiple supply levels
    • G11C5/145Applications of charge pumps; Boosted voltage circuits; Clamp circuits therefor
    • G11C5/146Substrate bias generators
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C11/00Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
    • G11C11/21Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
    • G11C11/34Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
    • G11C11/40Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
    • G11C11/401Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming cells needing refreshing or charge regeneration, i.e. dynamic cells
    • G11C11/4063Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing
    • G11C11/407Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing for memory cells of the field-effect type
    • G11C11/4074Power supply or voltage generation circuits, e.g. bias voltage generators, substrate voltage generators, back-up power, power control circuits
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C5/00Details of stores covered by group G11C11/00
    • G11C5/14Power supply arrangements, e.g. power down, chip selection or deselection, layout of wirings or power grids, or multiple supply levels
    • G11C5/145Applications of charge pumps; Boosted voltage circuits; Clamp circuits therefor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Dram (AREA)
  • Dc-Dc Converters (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 メモリセルアレイ及び出力回路に使用する昇
圧電源を分離することにより、互いのノイズ干渉を防
ぎ、またその昇圧電位レベルをメモリセルアレイ及び出
力回路の各特性を満足するように独立に設定することが
できる半導体記憶装置の昇圧回路を提供する。 【解決手段】 半導体記憶装置、特に同期型DRAMに
おいて、その内部に昇圧電位を発生させる昇圧電位発生
回路3,4を少なくとも2台有する。その中の1台、即
ち昇圧電位発生回路3は、メモリセルアレイ5のワード
線駆動信号(VBOOT)を発生する。他の1台は、即
ち昇圧電位発生回路4は出力回路6のゲート入力電圧
(VBOOTQ)を発生する。この昇圧電位VBOOTと
VBOOTQは相互に分離されており、互いに異なる電
圧に設定することが可能であり、メモリセル及び出力回
路の各特性を満たす適切な電圧に設定されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体記憶装置の昇
圧回路に関し、特に同期型DRAM(シンクロナスDR
AM)の昇圧回路に関する。
【0002】
【従来の技術】近時、半導体記憶装置の低電圧化がすす
んできている。それに伴い、半導体記憶装置内部で電源
電圧以上の電圧を常時供給する必要性が生じてきてい
る。このため、図4に示すような昇圧回路を半導体記憶
装置内部に設けている。
【0003】図4の昇圧回路は、リングオシレータ2
4、昇圧電位発生回路25で構成されている。リングオ
シレータ24は所定の周期で電源電位(VCC)レベ
ル、接地電位(基準電位、GND)レベルを繰り返すパ
ルス信号Φを出力する。昇圧電位発生回路25は、パル
ス信号Φを駆動信号とし、昇圧電位VBOOTを発生す
る回路である。この昇圧電位VBOOTはメモリセルア
レイ26に入力されたり、出力回路27に供給される。
【0004】図5は従来のこの種の昇圧電位発生回路2
5の一例を示し、図6はその動作を示す波形図である。
また、図7は出力回路27の一例を示す。先ず、図5の
昇圧電位発生回路25の構成について説明する。第1の
N型のトランジスタN1は、そのソース及びドレインの
一方を昇圧電源(VBOOT)に接続され、他方がゲー
ト及び第1のキャパシタC1に接続されている。第2の
N型のトランジスタN2は、そのソース、ドレインの一
方を昇圧電源(VBOOT)に接続され、他方がゲート
及び第2のキャパシタC2に接続されている。第3のN
型のトランジスタN3は、そのソース、ドレインの一方
を電源電圧(VCC)に接続し、他方を第1のキャパシ
タC1に接続し、ゲートを第2のキャパシタC2に接続
している。第4のN型のトランジスタN4は、そのソー
ス、ドレインの一方を電源電圧(VCC)に接続し、他
方を第2のキャパシタC2に接続し、ゲートを第1のキ
ャパシタC1に接続している。第1のキャパシタC1の
一端はインバータINV1の出力に接続され、第2のキ
ャパシタC2の一端はインバータINV2の出力に接続
されている。第3のキャパシタC3は、一端を昇圧電源
(VBOOT)に接続され、他端が接地電位点(GN
D)に接続されている。
【0005】次に、この昇圧電位発生回路の動作につい
て説明する。この回路の入力信号はリングオシレータ2
4の出力であるパルス信号Φである。第1の制御信号Φ
1は、所定の周期でVCCレベル及びGNDレベルとな
る。第2の制御信号Φ2は、第1の制御信号Φ1がVC
Cレベルの期間内の所定の期間ではGNDレベルに、第
一の制御信号Φ1がGNDレベルの期間内の所定の期間
ではVCCレベルとなる。制御信号Φ1が電源電位レベ
ルでΦ2が接地電位レベル(0V)のとき、トランジス
タN4がオンとなり、キャパシタC2の他端のノードT
2は充電され、電源電位VCCとなる。また、キャパシ
タC1の他端のノードT1のレベルが(VBOOT+V
t)(Vtはトランジスタのしきい値電圧)以上ならば、
ノードT1からトランジスタN1を通して昇圧電位出力
端(VBOOT)に電流が流れ、昇圧電位VBOOTは
電源電位VCCより高いレベルに引き上げられる。
【0006】次に、制御信号Φ1が接地電位レベル、Φ
2が電源電位レベルになると、ノードT2は2VCCレ
ベル近くまで上がり、トランジスタN3をオンにし、ノ
ードT1を電源電位VCCまで充電する。また、トラン
ジスタN2を通して昇圧電位出力端(VBOOT)に電
荷を供給する。
【0007】このような動作が繰り返され、昇圧電位V
BOOTは電源電位VCCより高い電位に昇圧される。
キャパシタC3は大容量のキャパシタであり、これは昇
圧電位VBOOTの変動量を小さく抑える働きをする。
【0008】この昇圧電位VBOOTは、半導体記憶装
置のワード線の選択レベル駆動用に使用される。また、
図4に示すように、従来の半導体記憶装置の出力回路2
7において、昇圧電位(VBOOT)をレベル変換回路
7を通し、N型のトランジスタN10のゲート入力電圧
として使用される。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
昇圧回路においては、以下に示す問題点がある。先ず、
半導体記憶装置、特に同期型DRAM(シンクロナスD
RAM)において、昇圧電位(VBOOT)をメモリセル
アレイ26及び出力回路27の双方に使用した場合、特
に高周波数での動作時、データ出力によりVBOOT電
位レベルが変動し、その状態のときにメモリセルアレイ
部のワード線を駆動すると、センススピードの遅れが生
じることがある。また、逆に、ワード線駆動時に生じる
VBOOTの変動により、アクセスが遅れたり、またア
クセスのピン依存性が現れることがある。なお、シンク
ロナスDRAMでは、出力状態時に、ワード線を駆動す
ることが可能であり、またその逆の状態も可能である。
【0010】また、アクセスの高速化には、又は出力電
流を変える場合には、出力回路のゲート入力電圧となる
昇圧電位を上げることが有効な手段であるが、その昇圧
電位はメモリセルアレイ部のワード線の選択レベル駆動
用と共用しているため、設定できる電圧に制限が生じて
しまう。
【0011】以上のように、半導体記憶装置内部で作ら
れる昇圧電位をメモリセルアレイ部と出力回路に共通に
使用した場合、出力回路とメモリセルアレイ部間でのノ
イズ干渉の問題が生じ、また昇圧電位レベルの設定に自
由度を持たせることが困難となるという問題点がある。
【0012】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、センススピードの遅れが回避され、アクセ
スの遅れ及びアクセスのピン依存性を回避でき、出力回
路の設定電圧をメモリセルアレイから独立して設定でき
ると共に、出力回路とメモリセルアレイとの間のノイズ
干渉を防止することができる半導体記憶装置の昇圧回路
を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明に係る半導体記憶
装置の昇圧回路は、複数の昇圧電位発生回路を備え、各
昇圧電位発生回路が生成する昇圧電源のうち、少なくと
も1つが、他とは異なる電位レベルに設定されて分離さ
れていることを特徴とする。
【0014】前記複数の昇圧電位発生回路のうちの少な
くとも1つが、外部CLK信号と同期した信号により駆
動されることが好ましい。
【0015】また、前記昇圧電位発生回路は、メモリセ
ルアレイのワード線駆動用昇圧電源(VBOOT)の供給
用のものと、リード動作時の出力回路のゲート入力電圧
(VBOOTQ)の供給用のものとを含むことが好まし
い。
【0016】本発明においては、半導体記憶装置内部
に、昇圧電位発生回路を2台(もしくは複数台)設ける。
第1の昇圧電位発生回路は、メモリセルアレイのワード
駆動用昇圧電源(VBOOT)供給回路として使用する。
第2の昇圧電位発生回路は、リード動作時、出力回路の
ゲート入力電圧(VBOOTQ)として使用する。この
昇圧電位VBOOTとVBOOTQは互いに分離されて
おり、VBOOTの変動がVBOOTQに、また逆に、
VBOOTQの変動がVBOOTに影響を与えることは
なく、またその互いの電圧は異なる値に設定することが
可能である。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について、
添付の図面を参照して具体的に説明する。図1は本発明
の実施例に係る半導体記憶装置の昇圧回路を示す回路図
である。なお、本実施例の昇圧回路において、昇圧電位
発生回路3,4は従来回路の昇圧電位発生回路25の構
成と同一であり、図5により表される。また、昇圧電位
発生回路の動作は図6により表される。更に、出力回路
6の具体的構成は、図4の従来回路の出力回路27の構
成と同一であり、図7により表される。
【0018】本実施例の昇圧回路は、2個のリングオシ
レータ1,2と、2個の昇圧電位発生回路3、4とを有
し、昇圧電位発生回路3の出力VBOOTは、メモリセ
ルアレイ5に供給され、昇圧電位発生回路4の出力VB
OOTGは出力回路6に供給される。リングオシレータ
1、2の出力信号Φa、Φbは、所定の周期でVCCレ
ベル及びGNDレベルを繰り返すパルス信号である。制
御信号READUは、リード状態時、即ちデータ出力時
のみ活性化される信号であり、リングオシレータ2及び
昇圧電位発生回路4に入力される。昇圧電位発生回路
3、4は図5に示す回路であり、その構成は前述したと
おりである。
【0019】次に、上述の如く構成された本実施例の昇
圧回路の動作について、図6を参照して説明する。リン
グオシレータ1からの一定周期の出力パルスΦaによ
り、昇圧電位発生回路3が駆動され、設定された昇圧電
位(VBOOT)を発生する。これは通常メモリセルア
レイ5のワード線駆動用信号として用いられるものであ
る。一方、リングオシレータ2からの一定周期の出力パ
ルスΦbにより、昇圧電位発生回路4は駆動され、設定
された昇圧電位(VBOOTQ)を発生する。これは出
力回路6のゲート入力電圧として用いられる。制御信号
READUは、リード状態時、即ちデータ出力時のみ活
性化される信号である。昇圧電位VBOOTQが必要と
なるのは、リード動作時のみのため、制御信号READ
Uによりこの信号が非活性時には、リングオシレータ2
及び昇圧電位発生回路4は、VBOOTQの電位レベル
が下がらない程度に動作するモードとなる。これによ
り、消費電流を削減することができる。
【0020】上述の如く、昇圧電位発生回路3と、昇圧
電位発生回路4とから作られる昇圧電位VBOOT及び
VBOOTQは、互いに分離されている。このため、メ
モリセルアレイ部のワード線を駆動することにより、V
BOOTのレベルが変動した場合でも、その変化はVB
OOTQには影響を与えず、アクセスの遅れ等の問題は
発生しない。また、逆に、データ出力時、特に高周波数
で動作時のVBOOTQの変動によっても、VBOOT
とは分離しているため、センススピードの悪化をもたら
すということもない。
【0021】アクセスの高速化のために、又は出力電流
を変化させる必要が生じた場合、出力回路のゲート入力
電圧となっている昇圧電位VBOOTQの電位レベルを
変えることにより、極めて有効に出力電流を変化させる
ことができ、また容易にアクセスを高速化することがで
きる。従来のように、VBOOTとVBOOTQがつな
がっている場合、一方の特性を満足させるためにその電
圧を変化させると、他方の特性がその影響を受けるた
め、自由にその電位レベルを設定することができない。
しかし、本発明の実施例のように、VBOOTとVBO
OTQが分離されていると、特性向上のため、VBOO
TQの電圧レベルを、メモリセルアレイ部への影響を考
えることなく、自由に設定することができる。
【0022】以上のように、内部で発生する昇圧電位V
BOOTとVBOOTQを分離することにより、メモリ
セルアレイ部と出力回路部間でのノイズ干渉を防ぐこと
ができ、また特性を満足させるため、互いに独立に昇圧
電位レベルを設定することが可能となる。
【0023】次に、図2を参照して本発明の第2実施例
について説明する。内部CLK発生回路11は、制御信
号READUにより、外部から入力されたCLK信号の
ハイレベル及びロウレベルを、夫々電源電位(VCC)
レベル及び接地電位(GND)レベルに変換し、内部で
使用するCLK信号(ICLK)を発生する回路であ
る。
【0024】リングオシレータ8、12の出力信号Φ
a、Φbは、所定の周期でVCCレベル及びGNDレベ
ルを繰り返すパルス信号であり、リングオシレータ2及
び昇圧電位発生回路4に入力される。制御信号READ
Uは、リード状態時、即ちデータ出力時のみ活性化され
る信号であり、リングオシレータ12にはこの制御信号
READUのインバータINV4による反転信号が入力
される。昇圧電位発生回路9の出力VBOOTは、メモ
リセルアレイ10に供給され、昇圧電位発生回路13の
出力VBOOTGは出力回路14に供給される。
【0025】同期型DRAM(シンクロナスDRAM)
では、データは外部CLKに同期して出力される。出力
回路に供給する昇圧電位を発生させるために用いられて
いる昇圧電位発生回路13の駆動信号にリングオシレー
タ12の出力パルスΦbを使用した場合、その昇圧サイ
クルは常に一定であるため、データの出力サイクルと昇
圧サイクルは一般的に異なることになる。この場合、V
BOOTQの電位の変動が比較的大きい場合、出力ごと
の昇圧電位が異なるため、アクセスのばらつきが生じる
可能性がある。このため、データ出力時には、この昇圧
電位発生回路13を駆動する信号に、外部CLKを基に
内部CLK発生回路11により作られる内部CLK(I
CLK)を用いることにより、データ出力サイクルに同
期した効率的な昇圧を行うことが可能となる。このよう
に、内部CLK発生回路11を用いることにより、効率
的な昇圧を行うことができるが、リングオシレータ12
も必要となる。セルフリフレッシュ時等で、外部CLK
が一定の電位レベルの入力になった場合、内部CLK発
生回路11で作られるICLKも一定レベルとなり、昇
圧電位発生回路13を駆動することができない。このた
め、VBOOTQの電位レベルは低下する。この状態
で、セルフリフレッシュが終わり、リード状態に直ちに
入ると、VBOOTQの電位レベルが所定のレベルにな
っていないため、アクセスが遅れるという問題が生じ
る。このため、出力状態以外のときには、VBOOTQ
のレベルを維持するために、リングオシレータ12も必
要となる。
【0026】以上のように、出力回路に用いる昇圧電位
VBOOTQを発生する昇圧電位発生回路13の駆動信
号に外部CLKから作られるICLKを用いることによ
り、データ出力サイクルに同期した効率的な昇圧を行う
ことができる、内部CLK発生回路11に加え、リング
オシレータ12も必要となる。
【0027】図3は本発明の第3実施例を示すブロック
図である。本実施例は、複数台の昇圧電位発生回路1
8,19,20のうちの1台(昇圧電位発生回路20)
を初段回路23の電源電圧に使用した例である。リング
オシレータ15,16,17の出力Φa、Φb、Φc
は、夫々昇圧電位発生回路18,19,20に入力され
る。昇圧電位発生回路18により作られる昇圧電位VB
OOTは、メモリセルアレイ21のワード線駆動信号と
して用いられる。昇圧電位発生回路19により作られる
昇圧電位VBOOTQは、出力回路22のゲート入力電
圧に使用される。昇圧電位発生回路20により作られる
昇圧電位VBOOTSは、初段回路23の電源電圧とし
て使用される。
【0028】半導体記憶装置、特にシンクロナスDRA
Mにおいて、低電圧化により、内部の電圧がVCCより
も低い電圧で動作している場合、その低電圧であること
により、特性を満足することが困難になる回路がある。
このような回路に、内部に設けた複数台の昇圧電位発生
回路18〜20から作られる昇圧電位を使用することに
より、特性を満足させることが可能となる。
【0029】また、内部で発生する複数の昇圧電位は互
いに異なる電圧に設定することが可能であるが、図3の
点線で示したように、もしVBOOTQとVBOOTS
が同じ電位レベル設定である場合は、それを接続するこ
とも可能である。これは、接続することによるノイズ等
の問題がさほど重要な影響にはならない場合で、昇圧電
位発生回路19及び昇圧電位発生回路20の2つの駆動
により、VBOOTQ及びVBOOTSの電位レベルの
安定に寄与する場合に効果的となる。
【0030】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
半導体記憶装置の内部で作られる昇圧電位を使用するメ
モリセルアレイ部及び出力回路部間での相互のノイズ干
渉を防止することができ、また、メモリセルアレイ部及
び出力回路部の夫々に使用する昇圧電位が分離されてい
るので、その互いの昇圧電位レベルを自由に設定するこ
とができ、所望の特性を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示すブロック図である。
【図2】本発明の第2の実施例を示すブロック図であ
る。
【図3】本発明の第3の実施例を示すブロック図であ
る。
【図4】従来の昇圧回路を示すブロック図である。
【図5】図1の昇圧電位発生回路3、4及び図4の昇圧
電位発生回路25の具体的構成を示す回路図である。
【図6】図1の昇圧電位発生回路3、4及び図4の昇圧
電位発生回路25の動作を示す波形図である。
【図7】図1の出力回路6及び図4の出力回路27の具
体的構成を示す回路図である。
【符号の説明】
1、2、8、12、15、16、17、24:リングオ
シレータ 3、4、9、13、18、19、20、25:昇圧電位
発生回路 5、10、21、26:メモリセルアレイ 6、14、22、27:出力回路 7:レベル変換回路 11:内部CLK発生回路 23:初段回路 N1〜N4、N10、N11:N型トランジスタ C1〜C3:キャパシタ INV1〜INV4、INV10:インバータ

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の昇圧電位発生回路を備え、各昇圧
    電位発生回路が生成する昇圧電源のうち、少なくとも1
    つが、他とは異なる電位レベルに設定されて分離されて
    いることを特徴とする半導体記憶装置の昇圧回路。
  2. 【請求項2】 前記複数の昇圧電位発生回路のうちの少
    なくとも1つが、外部CLK信号と同期した信号により
    駆動されることを特徴とする請求項1に記載の半導体記
    憶装置の昇圧回路。
  3. 【請求項3】 前記昇圧電位発生回路は、メモリセルア
    レイのワード線駆動用昇圧電源(VBOOT)の供給用の
    ものと、リード動作時の出力回路のゲート入力電圧(V
    BOOTQ)の供給用のものとを含むことを特徴とする
    請求項1又は2に記載の半導体記憶装置の昇圧回路。
  4. 【請求項4】 所定の周期でVCCレベル及びGNDレ
    ベルを繰り返すパルス信号Φa、Φbを夫々出力する2
    個のリングオシレータと、パルス信号Φa、Φbにより
    夫々昇圧電位VBOOT及び昇圧電位VBOOTQを出
    力する2個の昇圧電位発生回路とを有し、前記VBOO
    Tはメモリセルアレイに供給され、前記VBOOTQは
    出力回路に供給されると共に、出力回路に接続されたリ
    ングオシレータ及び昇圧電位発生回路はデータ出力時の
    み活性化される制御信号READUにより駆動制御され
    ることを特徴とする半導体記憶装置の昇圧回路。
  5. 【請求項5】 所定の周期でVCCレベル及びGNDレ
    ベルを繰り返すパルス信号Φa、Φbを夫々出力する2
    個のリングオシレータと、外部クロックCLKを入力し
    て内部クロックICLKを出力する内部CLK発生回路
    と、パルス信号Φaにより昇圧電位VBOOTを出力す
    る第1の昇圧電位発生回路と、パルス信号Φb及び内部
    クロックICLKにより昇圧電位VBOOTQを出力す
    る第2の昇圧電位発生回路とを有し、前記VBOOTは
    メモリセルアレイに供給され、前記VBOOTQは出力
    回路に供給されると共に、前記内部CLK発生回路はデ
    ータ出力時のみ活性化される制御信号READUにより
    駆動制御され、パルス信号Φbを出力するリングオシレ
    ータは前記制御信号の反転信号により駆動制御されるこ
    とを特徴とする半導体記憶装置の昇圧回路。
  6. 【請求項6】 所定の周期でVCCレベル及びGNDレ
    ベルを繰り返すパルス信号Φa、Φb、Φcを夫々出力
    する3個のリングオシレータと、パルス信号Φa、Φ
    b、Φcにより夫々昇圧電位VBOOT、VBOOT
    Q、VBOOTSを出力する3個の昇圧電位発生回路と
    を有し、前記VBOOTはメモリセルアレイのワード線
    駆動信号として使用され、前記VBOOTQは出力回路
    のゲート入力電圧に使用され、VBOOTSは初段回路
    の電源電圧として使用されることを特徴とする半導体記
    憶装置の昇圧回路。
JP10061755A 1998-03-12 1998-03-12 半導体記憶装置の昇圧回路 Pending JPH11260053A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10061755A JPH11260053A (ja) 1998-03-12 1998-03-12 半導体記憶装置の昇圧回路
US09/265,042 US6226206B1 (en) 1998-03-12 1999-03-09 Semiconductor memory device including boost circuit
KR1019990008237A KR19990077819A (ko) 1998-03-12 1999-03-12 부스트 회로를 구비하는 반도체 메모리 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10061755A JPH11260053A (ja) 1998-03-12 1998-03-12 半導体記憶装置の昇圧回路

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11260053A true JPH11260053A (ja) 1999-09-24

Family

ID=13180302

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10061755A Pending JPH11260053A (ja) 1998-03-12 1998-03-12 半導体記憶装置の昇圧回路

Country Status (3)

Country Link
US (1) US6226206B1 (ja)
JP (1) JPH11260053A (ja)
KR (1) KR19990077819A (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7719343B2 (en) 2003-09-08 2010-05-18 Peregrine Semiconductor Corporation Low noise charge pump method and apparatus
US9030248B2 (en) * 2008-07-18 2015-05-12 Peregrine Semiconductor Corporation Level shifter with output spike reduction
US8816659B2 (en) 2010-08-06 2014-08-26 Peregrine Semiconductor Corporation Low-noise high efficiency bias generation circuits and method
US9660590B2 (en) 2008-07-18 2017-05-23 Peregrine Semiconductor Corporation Low-noise high efficiency bias generation circuits and method
US8994452B2 (en) 2008-07-18 2015-03-31 Peregrine Semiconductor Corporation Low-noise high efficiency bias generation circuits and method
US9264053B2 (en) 2011-01-18 2016-02-16 Peregrine Semiconductor Corporation Variable frequency charge pump
US8686787B2 (en) 2011-05-11 2014-04-01 Peregrine Semiconductor Corporation High voltage ring pump with inverter stages and voltage boosting stages
CN117437960A (zh) * 2022-07-13 2024-01-23 无锡华润上华科技有限公司 Mtp存储器供电系统及供电方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2533221B2 (ja) * 1990-05-11 1996-09-11 株式会社東芝 ダイナミック型ランダムアクセスメモリ
JP3373534B2 (ja) * 1991-07-02 2003-02-04 株式会社東芝 半導体記憶装置
JPH05144258A (ja) 1991-11-15 1993-06-11 Hitachi Ltd ダイナミツク型ramの特殊モード制御方法
JPH05198165A (ja) 1991-11-15 1993-08-06 Hitachi Ltd ダイナミック型ram
JPH06152334A (ja) * 1992-11-06 1994-05-31 Mitsubishi Electric Corp リングオシレータおよび定電圧発生回路
JPH06309868A (ja) 1993-04-26 1994-11-04 Hitachi Ltd 半導体記憶装置
JP3406077B2 (ja) * 1994-08-26 2003-05-12 三菱電機株式会社 不揮発性半導体記憶装置
JPH09245476A (ja) 1996-03-05 1997-09-19 Mitsubishi Electric Corp 半導体記憶装置
US5774405A (en) * 1996-03-28 1998-06-30 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Dynamic random access memory having an internal circuit using a boosted potential
JPH09320266A (ja) * 1996-03-28 1997-12-12 Mitsubishi Electric Corp ダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ
JPH1145574A (ja) 1997-07-25 1999-02-16 Nec Corp 半導体記憶装置

Also Published As

Publication number Publication date
US6226206B1 (en) 2001-05-01
KR19990077819A (ko) 1999-10-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
USRE35141E (en) Substrate bias generating circuit
US20060186947A1 (en) Multi-stage charge pump without threshold drop with frequency modulation between embedded mode operations
JP4158856B2 (ja) 昇圧電源回路
JPH08279289A (ja) ワード線電圧昇圧回路
JP3043201B2 (ja) 昇圧回路
JPH1079191A (ja) 半導体メモリ装置の内部昇圧電圧発生器
US7545199B2 (en) Power supply circuit for oscillator of semiconductor memory device and voltage pumping device using the same
JPH11260053A (ja) 半導体記憶装置の昇圧回路
US6831500B2 (en) Noise-reduced voltage boosting circuit
JP2000067578A (ja) 基板バイアス電圧発生回路
JPH1145574A (ja) 半導体記憶装置
KR19990050472A (ko) 승압전압 발생회로
JP2828942B2 (ja) 半導体メモリの昇圧回路
JP3350411B2 (ja) 半導体記憶装置の出力回路
JPH11214978A (ja) 半導体装置
US20030020534A1 (en) Voltage generating circuits and methods including shared capacitors
JPH0898511A (ja) 昇圧回路
US5638023A (en) Charge pump circuit
KR100316982B1 (ko) 2개의 n-채널 mos 트랜지스터로 구성된 푸시풀형 출력회로를 갖는 반도체 메모리 장치
JPH01134796A (ja) 不揮発性半導体記憶装置
KR100415101B1 (ko) 반도체 메모리의 승압전압 발생기
JPH07287980A (ja) 半導体記憶装置の電源電圧発生回路
JP2002184177A (ja) チャージポンプ装置
JP2797837B2 (ja) ブースト電位発生回路
JP2001266572A (ja) 半導体集積回路