JPH11240732A - 光ファイバ用多孔質母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ用多孔質母材の製造方法Info
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- JPH11240732A JPH11240732A JP10045346A JP4534698A JPH11240732A JP H11240732 A JPH11240732 A JP H11240732A JP 10045346 A JP10045346 A JP 10045346A JP 4534698 A JP4534698 A JP 4534698A JP H11240732 A JPH11240732 A JP H11240732A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】バーナを用いてガラス微粒子堆積体を製造する
光ファイバ用母材の製法において、正常に堆積しなかっ
たガラス微粒子の多孔質母材中への混入に起因する、加
熱透明化したガラス母材中の残留気泡を低減できる製法
を提供する。 【解決手段】気体のガラス原料及び燃焼用ガスを含む混
合ガスをガラス微粒子合成用バーナから噴出させて火炎
加水分解反応及び／又は酸化反応させることにより生成
するガラス微粒子を、回転する出発材又は心棒の周囲に
堆積させて光ファイバ用多孔質母材を製造する方法にお
いて、前記ガラス微粒子合成用バーナ内に不活性ガスを
風速２５ｍ／ｓ以上で流した後に前記ガラス微粒子の堆
積を開始する。特に好ましくは該ガラス微粒子合成用バ
ーナに配管で接続した加圧器により大気圧以上に加圧し
た不活性ガスを該バーナ内に一気に流す。
光ファイバ用母材の製法において、正常に堆積しなかっ
たガラス微粒子の多孔質母材中への混入に起因する、加
熱透明化したガラス母材中の残留気泡を低減できる製法
を提供する。 【解決手段】気体のガラス原料及び燃焼用ガスを含む混
合ガスをガラス微粒子合成用バーナから噴出させて火炎
加水分解反応及び／又は酸化反応させることにより生成
するガラス微粒子を、回転する出発材又は心棒の周囲に
堆積させて光ファイバ用多孔質母材を製造する方法にお
いて、前記ガラス微粒子合成用バーナ内に不活性ガスを
風速２５ｍ／ｓ以上で流した後に前記ガラス微粒子の堆
積を開始する。特に好ましくは該ガラス微粒子合成用バ
ーナに配管で接続した加圧器により大気圧以上に加圧し
た不活性ガスを該バーナ内に一気に流す。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は光ファイバ用多孔質
母材の製造方法に関するものであり、さらに詳しくはガ
ラス微粒子合成用バーナを用いて火炎加水分解反応によ
りガラス微粒子を生成させ、これを堆積して多孔質ガラ
ス母材を製造する方法の改良に関するものである。
母材の製造方法に関するものであり、さらに詳しくはガ
ラス微粒子合成用バーナを用いて火炎加水分解反応によ
りガラス微粒子を生成させ、これを堆積して多孔質ガラ
ス母材を製造する方法の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバ用母材の製法の一つとしてＶ
ＡＤ法（気相軸付法）がある。これは図２に示すように
ガラス微粒子合成用バーナ（以下、単に「バーナ」と略
記する場合もある）２（２′）から燃焼用ガス及びガラ
ス原料ガスを混合噴出し、形成される火炎３（３′）中
でガラス原料を火炎加水分解又は酸化反応させることに
よりガラス微粒子を生成させ、該ガラス微粒子を回転す
る出発材６の先端に堆積させつつ、該堆積体（多孔質
体）の成長に合わせ出発材６を前記バーナ２（２′）と
は相対的に移動することにより、多孔質ガラス母材１を
形成してゆく製法である。図２にはバーナを２本用いた
例を示したが、バーナの数は１本だけ或いは２本以上で
もよい。得られた多孔質ガラス母材（多孔質母材）を電
気炉中で加熱して透明ガラス化し、光ファイバ用ガラス
母材とし、これを線引きして光ファイバを得る。
ＡＤ法（気相軸付法）がある。これは図２に示すように
ガラス微粒子合成用バーナ（以下、単に「バーナ」と略
記する場合もある）２（２′）から燃焼用ガス及びガラ
ス原料ガスを混合噴出し、形成される火炎３（３′）中
でガラス原料を火炎加水分解又は酸化反応させることに
よりガラス微粒子を生成させ、該ガラス微粒子を回転す
る出発材６の先端に堆積させつつ、該堆積体（多孔質
体）の成長に合わせ出発材６を前記バーナ２（２′）と
は相対的に移動することにより、多孔質ガラス母材１を
形成してゆく製法である。図２にはバーナを２本用いた
例を示したが、バーナの数は１本だけ或いは２本以上で
もよい。得られた多孔質ガラス母材（多孔質母材）を電
気炉中で加熱して透明ガラス化し、光ファイバ用ガラス
母材とし、これを線引きして光ファイバを得る。
【０００３】従来ＶＡＤ法においては一般に、バーナ２
（２′）に投入されるガラス原料として例えばＳｉＣｌ
4 等が、また燃焼用ガスとしてはＨ2 ，炭化水素系ガス
等の燃料ガス及びＯ2 又は空気等の助燃性ガス等が用い
られる。ガラス微粒子（ＳｉＯ2 ）生成は下記(I) 式の
反応によって行われる。
（２′）に投入されるガラス原料として例えばＳｉＣｌ
4 等が、また燃焼用ガスとしてはＨ2 ，炭化水素系ガス
等の燃料ガス及びＯ2 又は空気等の助燃性ガス等が用い
られる。ガラス微粒子（ＳｉＯ2 ）生成は下記(I) 式の
反応によって行われる。
【化１】 ＳｉＣｌ4 ＋２Ｈ2 Ｏ → ＳｉＯ2 ＋ ４ＨＣｌ (I) 生成されたガラス微粒子はすべてが多孔質ガラス母材１
として堆積するわけではなく、その一部はマッフル４内
に浮遊し、これらの浮遊ガラス微粒子はマッフル４の内
壁に付着して付着層を形成する。付着層がある程度厚く
なるとここから付着ガラス微粒子が剥がれて落下し、飛
散した粒子が多孔質ガラス母材１の表面に付着すること
がある。この場合には、バーナ２（２′）の火炎３
（３′）中で合成されたガラス微粒子とは付着の仕方が
異なるため、透明ガラス化時に気泡を生じる原因となり
やすい。
として堆積するわけではなく、その一部はマッフル４内
に浮遊し、これらの浮遊ガラス微粒子はマッフル４の内
壁に付着して付着層を形成する。付着層がある程度厚く
なるとここから付着ガラス微粒子が剥がれて落下し、飛
散した粒子が多孔質ガラス母材１の表面に付着すること
がある。この場合には、バーナ２（２′）の火炎３
（３′）中で合成されたガラス微粒子とは付着の仕方が
異なるため、透明ガラス化時に気泡を生じる原因となり
やすい。
【０００４】この問題を解決する手段として、特開昭６
２−１６２６４２号公報及び特開昭６３−１２３８３１
号公報には、ガスの加熱器及びマッフルへの噴出口を付
加し、高温に加熱されたガスをバーナ及び多孔質ガラス
母材の外周にマッフル内壁に沿わせて流すことにより、
マッフル内壁近傍でのガスの滞留を防ぎ、マッフルへの
ガラス微粒子の付着を防ぐと同時に、マッフル内にガス
の流れを作り、ガラス微粒子の浮遊を抑制する方法が提
案されている。
２−１６２６４２号公報及び特開昭６３−１２３８３１
号公報には、ガスの加熱器及びマッフルへの噴出口を付
加し、高温に加熱されたガスをバーナ及び多孔質ガラス
母材の外周にマッフル内壁に沿わせて流すことにより、
マッフル内壁近傍でのガスの滞留を防ぎ、マッフルへの
ガラス微粒子の付着を防ぐと同時に、マッフル内にガス
の流れを作り、ガラス微粒子の浮遊を抑制する方法が提
案されている。
【０００５】ところで、ガラス微粒子を合成しているバ
ーナ自体についても、ガラス微粒子の付着と混入の問題
がある。すなわち、ガラス微粒子合成用バーナの先端か
ら燃焼ガスとガラス原料ガスを混合噴射するが、その混
合噴射したものの一部は該バーナの径方向に拡散し、該
バーナの出口付近の先端にガラス微粒子として付着す
る。また、該バーナの出口付近で外気の巻き込みにより
ガラス微粒子を内部に混入させてしまうことがある。さ
らに、上記各公報記載の方法でガラス微粒子浮遊を抑制
して合成していても、母材合成停止のタイミングによっ
てはガラス微粒子がガラス微粒子合成用バーナ内に混入
してしまうことがある。
ーナ自体についても、ガラス微粒子の付着と混入の問題
がある。すなわち、ガラス微粒子合成用バーナの先端か
ら燃焼ガスとガラス原料ガスを混合噴射するが、その混
合噴射したものの一部は該バーナの径方向に拡散し、該
バーナの出口付近の先端にガラス微粒子として付着す
る。また、該バーナの出口付近で外気の巻き込みにより
ガラス微粒子を内部に混入させてしまうことがある。さ
らに、上記各公報記載の方法でガラス微粒子浮遊を抑制
して合成していても、母材合成停止のタイミングによっ
てはガラス微粒子がガラス微粒子合成用バーナ内に混入
してしまうことがある。
【０００６】前記のようにガラス微粒子合成用バーナ内
に付着又は混入したガラス微粒子をそのままにしておく
と、次回の母材合成中に混入していたガラス微粒子が該
バーナ内から飛びだし多孔質ガラス母材表面に付着し、
この場合も火炎中で合成され直ちに堆積したガラス微粒
子とは付着の仕方が異なるため、透明ガラス化時にやは
り気泡生成の原因となる。さらに付着していたガラス微
粒子が燃焼用ガスの熱により該バーナ内で透明ガラス化
してしまい、該バーナ自体が使用不可となる場合すらあ
る。そこで、母材合成停止後にガラス微粒子合成用バー
ナ内に付着又は混入したガラス微粒子を掃除機等で吸引
して取り除くことにより清浄化している。
に付着又は混入したガラス微粒子をそのままにしておく
と、次回の母材合成中に混入していたガラス微粒子が該
バーナ内から飛びだし多孔質ガラス母材表面に付着し、
この場合も火炎中で合成され直ちに堆積したガラス微粒
子とは付着の仕方が異なるため、透明ガラス化時にやは
り気泡生成の原因となる。さらに付着していたガラス微
粒子が燃焼用ガスの熱により該バーナ内で透明ガラス化
してしまい、該バーナ自体が使用不可となる場合すらあ
る。そこで、母材合成停止後にガラス微粒子合成用バー
ナ内に付着又は混入したガラス微粒子を掃除機等で吸引
して取り除くことにより清浄化している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】前記各号公報に提案さ
れるマッフル内壁へのガラス微粒子の付着を防ぎ、ガス
流れによりガラス微粒子の浮遊を抑制する方法はそれな
りの効果を得られたが、ガラス微粒子の付着に起因する
と考えられる気泡存在（残留）の問題はまだ完全には解
決されてはいない。本発明者らは、この問題につきさら
に検討を続けた結果、マッフル内からのガラス微粒子の
みならず、前記のように清掃した後のガラス微粒子合成
用バーナ内に依然としてガラス微粒子が残存しており、
これが合成開始後に多孔質ガラス母材に付着し気泡残留
の原因となっているのではないかと考えついた。すなわ
ち、母材合成停止時にマッフル内壁や前記バーナ出口の
先端から付着ガラス微粒子が自然に剥がれ落ちて該バー
ナ内に落ち込んだり、非常に慎重に清掃しても作業中に
付着ガラス微粒子を吸引し損ない該バーナ内に落下した
りする可能性がある。このように落下したガラス微粒子
が例えば配管との接続部分近傍等のバーナ深部に混入し
てしまうと、吸引により除去することは非常に困難であ
る。また、該バーナ出口近傍に、その深部に存在するに
異物を吸引除去できるほどの圧力差を設けることは、該
バーナ出口近傍の厚さ約１ｍｍ程度のガラスを破損する
危険性が大きい。この問題を回避するには、毎回新しい
バーナを用いて例えばガラス母材を合成すればよいわけ
であるが、製造コストが非常に高くなってしまう。そこ
で、本発明はガラス微粒子合成用バーナ内へのガラス微
粒子の混入や付着をなくすことにより透明化後の母材内
の気泡存在を解消できる光ファイバ用多孔質母材の製造
方法を提供することを課題とするものである。
れるマッフル内壁へのガラス微粒子の付着を防ぎ、ガス
流れによりガラス微粒子の浮遊を抑制する方法はそれな
りの効果を得られたが、ガラス微粒子の付着に起因する
と考えられる気泡存在（残留）の問題はまだ完全には解
決されてはいない。本発明者らは、この問題につきさら
に検討を続けた結果、マッフル内からのガラス微粒子の
みならず、前記のように清掃した後のガラス微粒子合成
用バーナ内に依然としてガラス微粒子が残存しており、
これが合成開始後に多孔質ガラス母材に付着し気泡残留
の原因となっているのではないかと考えついた。すなわ
ち、母材合成停止時にマッフル内壁や前記バーナ出口の
先端から付着ガラス微粒子が自然に剥がれ落ちて該バー
ナ内に落ち込んだり、非常に慎重に清掃しても作業中に
付着ガラス微粒子を吸引し損ない該バーナ内に落下した
りする可能性がある。このように落下したガラス微粒子
が例えば配管との接続部分近傍等のバーナ深部に混入し
てしまうと、吸引により除去することは非常に困難であ
る。また、該バーナ出口近傍に、その深部に存在するに
異物を吸引除去できるほどの圧力差を設けることは、該
バーナ出口近傍の厚さ約１ｍｍ程度のガラスを破損する
危険性が大きい。この問題を回避するには、毎回新しい
バーナを用いて例えばガラス母材を合成すればよいわけ
であるが、製造コストが非常に高くなってしまう。そこ
で、本発明はガラス微粒子合成用バーナ内へのガラス微
粒子の混入や付着をなくすことにより透明化後の母材内
の気泡存在を解消できる光ファイバ用多孔質母材の製造
方法を提供することを課題とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する手段
として本発明は、(1)気体のガラス原料及び燃焼用ガス
を含む混合ガスをガラス微粒子合成用バーナから噴出さ
せて形成される火炎中で前記ガラス原料を火炎加水分解
反応及び／又は酸化反応させることにより生成するガラ
ス微粒子を、回転する出発材又は心棒の周囲に堆積させ
て光ファイバ用多孔質母材を製造する方法において、前
記ガラス微粒子合成用バーナ内に不活性ガスを風速２５
ｍ／ｓ以上で流した後に前記ガラス微粒子の堆積を開始
することを特徴とする光ファイバ用多孔質母材の製造方
法、(2)前記不活性ガスが大気圧以上に加圧されたもの
であることを特徴とする前記(1) 記載の光ファイバ用多
孔質母材の製造方法、及び(3)前記不活性ガスの加圧は
前記ガラス微粒子合成用バーナに接続された加圧器によ
ることを特徴とする前記(2) 記載の光ファイバ用多孔質
母材の製造方法、を提供する。また本発明の特に好まし
い実施の態様として、前記ガラス微粒子合成用バーナ内
での不活性ガスの風速を２５〜５０ｍ／ｓとすること、
前記不活性ガスを前記ガラス微粒子合成用バーナ内に流
す際に、該バーナが設置されているマッフルからの排気
管内を０．１ｋＰａ程度の減圧にしておくことが挙げら
れる。
として本発明は、(1)気体のガラス原料及び燃焼用ガス
を含む混合ガスをガラス微粒子合成用バーナから噴出さ
せて形成される火炎中で前記ガラス原料を火炎加水分解
反応及び／又は酸化反応させることにより生成するガラ
ス微粒子を、回転する出発材又は心棒の周囲に堆積させ
て光ファイバ用多孔質母材を製造する方法において、前
記ガラス微粒子合成用バーナ内に不活性ガスを風速２５
ｍ／ｓ以上で流した後に前記ガラス微粒子の堆積を開始
することを特徴とする光ファイバ用多孔質母材の製造方
法、(2)前記不活性ガスが大気圧以上に加圧されたもの
であることを特徴とする前記(1) 記載の光ファイバ用多
孔質母材の製造方法、及び(3)前記不活性ガスの加圧は
前記ガラス微粒子合成用バーナに接続された加圧器によ
ることを特徴とする前記(2) 記載の光ファイバ用多孔質
母材の製造方法、を提供する。また本発明の特に好まし
い実施の態様として、前記ガラス微粒子合成用バーナ内
での不活性ガスの風速を２５〜５０ｍ／ｓとすること、
前記不活性ガスを前記ガラス微粒子合成用バーナ内に流
す際に、該バーナが設置されているマッフルからの排気
管内を０．１ｋＰａ程度の減圧にしておくことが挙げら
れる。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明は、多孔質ガラス母材合成
の前（ガラス微粒子の堆積開始前）に、当該多孔質ガラ
ス母材の合成に用いるガラス微粒子合成用バーナ内に不
活性ガスを導入し、該バーナ内での風速が２５ｍ／ｓ以
上となるように流す。前記バーナ内に混入あるいは付着
していたガラス微粒子や異物等を伴って該バーナ先端か
ら噴出した不活性ガスはマッフルの排気管から排出さ
れ、従来は清浄化が困難であった深部に混入したガラス
微粒子や異物を簡単に取り除くものである。また、清掃
中や清掃後に前記バーナ内に混入したガラス微粒子や異
物であっても合成直前に本発明を適用することにより簡
単に清浄化できる。
の前（ガラス微粒子の堆積開始前）に、当該多孔質ガラ
ス母材の合成に用いるガラス微粒子合成用バーナ内に不
活性ガスを導入し、該バーナ内での風速が２５ｍ／ｓ以
上となるように流す。前記バーナ内に混入あるいは付着
していたガラス微粒子や異物等を伴って該バーナ先端か
ら噴出した不活性ガスはマッフルの排気管から排出さ
れ、従来は清浄化が困難であった深部に混入したガラス
微粒子や異物を簡単に取り除くものである。また、清掃
中や清掃後に前記バーナ内に混入したガラス微粒子や異
物であっても合成直前に本発明を適用することにより簡
単に清浄化できる。
【００１０】本発明において，ガラス微粒子合成用バー
ナ内での不活性ガスの風速は２５ｍ／ｓ以上とするが、
特に好ましくは２５〜５０ｍ／ｓｅｃとする。この理由
は、２５ｍ／ｓ未満では前記バーナ内に混入したガラス
微粒子を十分に除去することができず、一方、５０ｍ／
ｓを超えると図１に示す配管８とバーナ２の接続部やバ
ーナ２の本体に過剰な負担がかかり、破損等の恐れがあ
る。不活性ガスを風速２５ｍ／ｓ以上で流す具体的手段
としては、加圧した不活性ガスを流し、この加圧の程度
により風速を調整する方法が挙げられる。本発明に用い
る不活性ガスとしては、ガラス微粒子合成用バーナに影
響を与えないものであって、得られた多孔質母材を最終
的に光ファイバとしたときに伝送損失を増加させる要因
となる金属粉、ダスト等を含まないものであれば何れで
もよく、例えばＮ2 ，Ａｒ，Ｈe 等が挙げられる。
ナ内での不活性ガスの風速は２５ｍ／ｓ以上とするが、
特に好ましくは２５〜５０ｍ／ｓｅｃとする。この理由
は、２５ｍ／ｓ未満では前記バーナ内に混入したガラス
微粒子を十分に除去することができず、一方、５０ｍ／
ｓを超えると図１に示す配管８とバーナ２の接続部やバ
ーナ２の本体に過剰な負担がかかり、破損等の恐れがあ
る。不活性ガスを風速２５ｍ／ｓ以上で流す具体的手段
としては、加圧した不活性ガスを流し、この加圧の程度
により風速を調整する方法が挙げられる。本発明に用い
る不活性ガスとしては、ガラス微粒子合成用バーナに影
響を与えないものであって、得られた多孔質母材を最終
的に光ファイバとしたときに伝送損失を増加させる要因
となる金属粉、ダスト等を含まないものであれば何れで
もよく、例えばＮ2 ，Ａｒ，Ｈe 等が挙げられる。
【００１１】図１を参照して本発明を具体的に説明す
る。本発明において多孔質ガラス母材１そのものの合成
は従来と同様である。すなわち、マッフル４内にてガラ
ス微粒子合成用バーナ２（２′）にガラス原料ガス、必
要であればドーパントガス、燃料ガス、助燃性ガス及び
不活性ガス等の混合ガスを流す。該ガラス微粒子合成用
バーナ２（２）に形成される火炎３（３′）中で前記ガ
ラス原料ガス等が火炎加水分解反応及び／又は酸化反応
することによりガラス微粒子が合成され、出発材６に堆
積して多孔質ガラス母材１が形成される。一方、マッフ
ル４内のガスは排気管５により排気される。本発明にお
いてはこの多孔質ガラス母材１の合成開始前に、ガラス
微粒子合成用バーナ２内での風速２５ｍ／ｓ以上となる
ように加圧器７で加圧された不活性ガスをバルブ９及び
配管８を経由して該バーナ２内に一気に流し、該バーナ
２の内部を清浄化する。図示は省略したがガラス微粒子
合成用バーナ２′についても同様に行なう。
る。本発明において多孔質ガラス母材１そのものの合成
は従来と同様である。すなわち、マッフル４内にてガラ
ス微粒子合成用バーナ２（２′）にガラス原料ガス、必
要であればドーパントガス、燃料ガス、助燃性ガス及び
不活性ガス等の混合ガスを流す。該ガラス微粒子合成用
バーナ２（２）に形成される火炎３（３′）中で前記ガ
ラス原料ガス等が火炎加水分解反応及び／又は酸化反応
することによりガラス微粒子が合成され、出発材６に堆
積して多孔質ガラス母材１が形成される。一方、マッフ
ル４内のガスは排気管５により排気される。本発明にお
いてはこの多孔質ガラス母材１の合成開始前に、ガラス
微粒子合成用バーナ２内での風速２５ｍ／ｓ以上となる
ように加圧器７で加圧された不活性ガスをバルブ９及び
配管８を経由して該バーナ２内に一気に流し、該バーナ
２の内部を清浄化する。図示は省略したがガラス微粒子
合成用バーナ２′についても同様に行なう。
【００１２】なお、前記の「一気に流し」とは、加圧し
ている配管８のバルブ９を瞬時に開き、バルブ９の開放
状態を約５秒間維持して不活性ガスを流した後に該バル
ブ９を閉じるという方法である。更に好ましくは、一旦
バルブ９を開放した後に該バルブ９を閉じて配管８内を
加圧した後、再びバルブ９を瞬時に開放して約５秒間程
度不活性ガスを一気に流すという操作を何回か行なう。
操作回数はガラス微粒子合成用バーナ内部の汚れ程度に
応じて適宜に設定できる。
ている配管８のバルブ９を瞬時に開き、バルブ９の開放
状態を約５秒間維持して不活性ガスを流した後に該バル
ブ９を閉じるという方法である。更に好ましくは、一旦
バルブ９を開放した後に該バルブ９を閉じて配管８内を
加圧した後、再びバルブ９を瞬時に開放して約５秒間程
度不活性ガスを一気に流すという操作を何回か行なう。
操作回数はガラス微粒子合成用バーナ内部の汚れ程度に
応じて適宜に設定できる。
【００１３】また、このとき排気管５内は０．１ｋＰａ
程度の減圧とすることが好ましい。この理由はガラス微
粒子合成用バーナ２（２′）から噴き出したガラス微粒
子等がマッフル４内で浮遊することを防ぎ、またマッフ
ル４内近辺からの異物等がこの不活性ガス流れとともに
排気管５へ排出され、ガラス微粒子合成用バーナ２
（２′）及びマッフル４内の清浄化をより達成できるか
らである。
程度の減圧とすることが好ましい。この理由はガラス微
粒子合成用バーナ２（２′）から噴き出したガラス微粒
子等がマッフル４内で浮遊することを防ぎ、またマッフ
ル４内近辺からの異物等がこの不活性ガス流れとともに
排気管５へ排出され、ガラス微粒子合成用バーナ２
（２′）及びマッフル４内の清浄化をより達成できるか
らである。
【００１４】図１ではガラス微粒子合成用バーナ２及び
同バーナ２′の２本のバーナを用いて多孔質母材１を合
成する例を示しているが、ガラス微粒子合成に用いるバ
ーナの数は１本、あるいは２本以上でもよく、図１と同
様に行ない前記本発明の効果を得ることができる。な
お、以上の説明はＶＡＤ法を代表例にして行ったが、本
発明はＶＡＤ法に限定されるものではなく、例えばＯＶ
Ｄ法等、バーナを用いたガラス微粒子生成による多孔質
母材の製法であれば、いずれの方法においてもバーナの
清浄化に適用して上記したと同様の効果を得られると考
えられる。
同バーナ２′の２本のバーナを用いて多孔質母材１を合
成する例を示しているが、ガラス微粒子合成に用いるバ
ーナの数は１本、あるいは２本以上でもよく、図１と同
様に行ない前記本発明の効果を得ることができる。な
お、以上の説明はＶＡＤ法を代表例にして行ったが、本
発明はＶＡＤ法に限定されるものではなく、例えばＯＶ
Ｄ法等、バーナを用いたガラス微粒子生成による多孔質
母材の製法であれば、いずれの方法においてもバーナの
清浄化に適用して上記したと同様の効果を得られると考
えられる。
【００１５】
【実施例】以下に本発明の実施例を示す。 〔実施例１〕図１に示した構成に従い、本発明による光
ファイバ用多孔質ガラス母材を作成した。各ガラス微粒
子合成用バーナ２及び２′のサイズは、φ５０ｍｍ×５
００ｍｍである。合成開始に先立ち、不活性ガスとして
Ｎ2 を用い、これを加圧器７で６ｋｇ／ｃｍ2 （５８８
３９９Ｐａ）に加圧しておき、次にバルブ９を瞬時に開
き約５秒間開放した後閉じ、約２０秒間加圧し更に５秒
間で一気に流すという作業を３回繰り返した。このバル
ブ開放の時に、不活性ガスは配管８を経由し、ガラス微
粒子合成用バーナ２及び２′へと一気に流れる。このと
きの各ガラス微粒子合成用バーナ２及び２′内における
不活性ガス風速は２５ｍ／ｓであった。また、排気管側
は０．１ｋＰａの減圧とした。この後、ガラス微粒子合
成用バーナ２にはガラス原料としてＳｉＣｌ4 ０．２リ
ットル／分、ＧｅＣｌ4 ０．１リットル／分、Ｈ2 ２０
リットル／分、Ｏ2 ３０リットル／分及びＡｒ１０リッ
トル／分を、ガラス微粒子合成用バーナ２′にはＳｉＣ
ｌ4 ３リットル／分、Ｈ2 ７０リットル／分、Ｏ2 ７０
リットル／分及びＡｒ２０リットル／分をそれぞれ投入
した。この条件により多孔質ガラス母材１（サイズ：φ
１５０ｍｍ×８００ｍｍ）を１０本製造し、得られたガ
ラス母材をそれぞれ電気炉で加熱透明化したところ、母
材中の気泡発生は０．２個／本と少なく、良好な母材を
得ることができた。
ファイバ用多孔質ガラス母材を作成した。各ガラス微粒
子合成用バーナ２及び２′のサイズは、φ５０ｍｍ×５
００ｍｍである。合成開始に先立ち、不活性ガスとして
Ｎ2 を用い、これを加圧器７で６ｋｇ／ｃｍ2 （５８８
３９９Ｐａ）に加圧しておき、次にバルブ９を瞬時に開
き約５秒間開放した後閉じ、約２０秒間加圧し更に５秒
間で一気に流すという作業を３回繰り返した。このバル
ブ開放の時に、不活性ガスは配管８を経由し、ガラス微
粒子合成用バーナ２及び２′へと一気に流れる。このと
きの各ガラス微粒子合成用バーナ２及び２′内における
不活性ガス風速は２５ｍ／ｓであった。また、排気管側
は０．１ｋＰａの減圧とした。この後、ガラス微粒子合
成用バーナ２にはガラス原料としてＳｉＣｌ4 ０．２リ
ットル／分、ＧｅＣｌ4 ０．１リットル／分、Ｈ2 ２０
リットル／分、Ｏ2 ３０リットル／分及びＡｒ１０リッ
トル／分を、ガラス微粒子合成用バーナ２′にはＳｉＣ
ｌ4 ３リットル／分、Ｈ2 ７０リットル／分、Ｏ2 ７０
リットル／分及びＡｒ２０リットル／分をそれぞれ投入
した。この条件により多孔質ガラス母材１（サイズ：φ
１５０ｍｍ×８００ｍｍ）を１０本製造し、得られたガ
ラス母材をそれぞれ電気炉で加熱透明化したところ、母
材中の気泡発生は０．２個／本と少なく、良好な母材を
得ることができた。
【００１６】〔比較例１〕図２の構成で、合成開始前に
加圧された不活性ガスを各ガラス微粒子合成用バーナ２
及び２′内に流さなかった他は実施例１と同条件で、実
施例１と同サイズの多孔質ガラス母材を１０本製造し
た。得られた各多孔質ガラス母材を実施例１と同条件で
加熱透明化したところ、透明ガラス母材中の気泡の残存
は３．５個／本と多数の気泡残存が見られた。
加圧された不活性ガスを各ガラス微粒子合成用バーナ２
及び２′内に流さなかった他は実施例１と同条件で、実
施例１と同サイズの多孔質ガラス母材を１０本製造し
た。得られた各多孔質ガラス母材を実施例１と同条件で
加熱透明化したところ、透明ガラス母材中の気泡の残存
は３．５個／本と多数の気泡残存が見られた。
【００１７】上記実施例１及び比較例１の結果から、本
発明は従来法に比し、ガラス微粒子合成用バーナ内に混
入した浮遊ガラス微粒子をバーナ深部のものまで除去で
きて、その後の透明ガラス母材中の気泡残存を大幅に低
減できることがわかる。
発明は従来法に比し、ガラス微粒子合成用バーナ内に混
入した浮遊ガラス微粒子をバーナ深部のものまで除去で
きて、その後の透明ガラス母材中の気泡残存を大幅に低
減できることがわかる。
【００１８】
【発明の効果】以上説明のように、本発明はガラス微粒
子合成用バーナ内への付着，混入に由来するガラス微粒
子の多孔質ガラス母材への付着をなくし、その後に加熱
透明化してガラス母材としたものにおける気泡残留（存
在）を大幅に低減できる。また本発明は、装置，工程と
もに簡単であり、多孔質母材合成直前でも実施できるこ
と、このように清浄化してガラス微粒子合成用バーナを
用いることにより該バーナ自体の寿命も延長できて、同
じガラス微粒子合成用バーナを何度も多孔質母材の合成
に使用できることから、光ファイバ製造コスト低減に大
いに有効である。以上のように、本発明は気泡残存を大
幅に低減した優れた品質の光ファイバ用多孔質母材を経
済的に製造できるという、産業上有利なものである。
子合成用バーナ内への付着，混入に由来するガラス微粒
子の多孔質ガラス母材への付着をなくし、その後に加熱
透明化してガラス母材としたものにおける気泡残留（存
在）を大幅に低減できる。また本発明は、装置，工程と
もに簡単であり、多孔質母材合成直前でも実施できるこ
と、このように清浄化してガラス微粒子合成用バーナを
用いることにより該バーナ自体の寿命も延長できて、同
じガラス微粒子合成用バーナを何度も多孔質母材の合成
に使用できることから、光ファイバ製造コスト低減に大
いに有効である。以上のように、本発明は気泡残存を大
幅に低減した優れた品質の光ファイバ用多孔質母材を経
済的に製造できるという、産業上有利なものである。
【図１】 本発明の方法を説明するための概略断面図で
ある。
ある。
【図２】 従来法の概略説明図である。
１ 多孔質ガラス母材、 ２及び２′ ガラス微粒子
合成用バーナ、３及び３′ 火炎、 ４ マッフ
ル、 ５ 排気管、６ 出発材、
７ 加圧器、 ８ 配管、９ バル
ブ。
合成用バーナ、３及び３′ 火炎、 ４ マッフ
ル、 ５ 排気管、６ 出発材、
７ 加圧器、 ８ 配管、９ バル
ブ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 福島 直幸 神奈川県横浜市栄区田谷町１番地 住友電 気工業株式会社横浜製作所内 (72)発明者 蒲谷 高男 神奈川県横浜市栄区田谷町１番地 住友電 気工業株式会社横浜製作所内
Claims (3)
- 【請求項１】 気体のガラス原料及び燃焼用ガスを含む
混合ガスをガラス微粒子合成用バーナから噴出させて形
成される火炎中で前記ガラス原料を火炎加水分解反応及
び／又は酸化反応させることにより生成するガラス微粒
子を、回転する出発材又は心棒の周囲に堆積させて光フ
ァイバ用多孔質母材を製造する方法において、前記ガラ
ス微粒子合成用バーナ内に不活性ガスを風速２５ｍ／ｓ
以上で流した後に前記ガラス微粒子の堆積を開始するこ
とを特徴とする光ファイバ用多孔質母材の製造方法。 - 【請求項２】 前記不活性ガスが大気圧以上に加圧され
たものであることを特徴とする請求項１記載の光ファイ
バ用多孔質母材の製造方法。 - 【請求項３】 前記不活性ガスの加圧は前記ガラス微粒
子合成用バーナに接続された加圧器によることを特徴と
する請求項２記載の光ファイバ用多孔質母材の製造方
法。
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04534698A JP3551006B2 (ja) | 1998-02-26 | 1998-02-26 | 光ファイバ用多孔質母材の製造方法 |
| KR10-1999-7005851A KR100538668B1 (ko) | 1998-02-26 | 1998-12-10 | 광 섬유용 다공질 유리 모재의 제조방법 |
| PCT/JP1998/005600 WO1999043625A1 (fr) | 1998-02-26 | 1998-12-10 | Procede de production d'une matiere premiere de verre poreux destinee a des fibres optiques |
| CN98813356A CN1123544C (zh) | 1998-02-26 | 1998-12-10 | 制造用于光纤的多孔玻璃预制棒的方法 |
| US09/423,237 US6449986B2 (en) | 1998-02-26 | 1998-12-10 | Method of production of porous glass base material for optical fiber with cleaning of the burner with gas at 25 m/s or faster |
| GB9925100A GB2339777B (en) | 1998-02-26 | 1998-12-10 | Method of manufacturing a porous glass preform for an optical fiber |
| AU15058/99A AU739089B2 (en) | 1998-02-26 | 1998-12-10 | Method of manufacturing a porous glass preform for an optical fiber |
| TW088100912A TW512135B (en) | 1998-02-26 | 1999-01-21 | Method of manufacturing porous glass base material for use in optical fiber |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04534698A JP3551006B2 (ja) | 1998-02-26 | 1998-02-26 | 光ファイバ用多孔質母材の製造方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11240732A true JPH11240732A (ja) | 1999-09-07 |
| JP3551006B2 JP3551006B2 (ja) | 2004-08-04 |
Family
ID=12716732
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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|---|---|
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| JP (1) | JP3551006B2 (ja) |
| KR (1) | KR100538668B1 (ja) |
| CN (1) | CN1123544C (ja) |
| AU (1) | AU739089B2 (ja) |
| GB (1) | GB2339777B (ja) |
| TW (1) | TW512135B (ja) |
| WO (1) | WO1999043625A1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100651453B1 (ko) | 2005-10-21 | 2006-11-29 | 삼성전자주식회사 | 수트 모재의 제조 장치 |
| KR100921313B1 (ko) * | 2003-04-08 | 2009-10-13 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 광파이버 모재 제조 장치의 상부 밀봉 구조 및 상부 밀봉방법 |
| EP3696148A1 (en) | 2019-02-12 | 2020-08-19 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Fabrication method for porous glass base material for optical fiber |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7797966B2 (en) * | 2000-12-29 | 2010-09-21 | Single Crystal Technologies, Inc. | Hot substrate deposition of fused silica |
| JPWO2002102724A1 (ja) * | 2001-06-15 | 2004-09-30 | 住友電気工業株式会社 | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |
| JP2003226543A (ja) * | 2002-02-01 | 2003-08-12 | Fujikura Ltd | 光ファイバ母材の製造方法およびこれを用いた光ファイバ母材製造用バーナ装置 |
| JP5655418B2 (ja) * | 2010-08-03 | 2015-01-21 | 住友電気工業株式会社 | 多孔質ガラス母材の製造方法および製造装置 |
| JP6006185B2 (ja) * | 2012-09-24 | 2016-10-12 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバ用多孔質ガラス堆積体の製造方法 |
Family Cites Families (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4303386A (en) * | 1979-05-18 | 1981-12-01 | Coen Company, Inc. | Parallel flow burner |
| JPS62162642A (ja) | 1986-01-14 | 1987-07-18 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光フアイバ用多孔質母材の製造方法 |
| JPS62166624U (ja) * | 1986-04-14 | 1987-10-22 | ||
| JPS63123831A (ja) | 1986-11-10 | 1988-05-27 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光フアイバ用母材の製造方法 |
| JPS6381828U (ja) * | 1986-11-19 | 1988-05-30 | ||
| JP2873080B2 (ja) * | 1990-11-08 | 1999-03-24 | 株式会社フジクラ | 光ファイバ用ガラス母材の製造装置 |
| US5578130A (en) * | 1990-12-12 | 1996-11-26 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Apparatus and method for depositing a film |
| JP3154768B2 (ja) | 1991-10-29 | 2001-04-09 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバ用プリフォーム母材の製造方法 |
| JP3169409B2 (ja) | 1991-12-18 | 2001-05-28 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバ用母材の製造方法 |
| JP2803510B2 (ja) * | 1993-02-10 | 1998-09-24 | 住友電気工業株式会社 | 光ファイバ用ガラス母材の製造方法および装置 |
| US5291841A (en) * | 1993-03-08 | 1994-03-08 | Dykema Owen W | Coal combustion process for SOx and NOx control |
| US5567141A (en) * | 1994-12-30 | 1996-10-22 | Combustion Tec, Inc. | Oxy-liquid fuel combustion process and apparatus |
| DE69622277T2 (de) * | 1995-09-18 | 2003-03-27 | Hitachi, Ltd. | Halbleitermaterial, verfahren zur herstellung des halbleitermaterials und eine halbleitervorrichtung |
| JP3196629B2 (ja) * | 1996-01-08 | 2001-08-06 | 信越化学工業株式会社 | シリカガラスの製造方法及び製造装置 |
| US6164956A (en) * | 1997-02-11 | 2000-12-26 | Ge Energy & Environmental Research Corporation | System and method for removing ash deposits in a combustion device |
| US5979185A (en) * | 1997-07-16 | 1999-11-09 | Corning Incorporated | Method and apparatus for forming silica by combustion of liquid reactants using a heater |
| JP3344694B2 (ja) * | 1997-07-24 | 2002-11-11 | 株式会社日立製作所 | 微粉炭燃焼バーナ |
| US6094940A (en) * | 1997-10-09 | 2000-08-01 | Nikon Corporation | Manufacturing method of synthetic silica glass |
| US6176894B1 (en) * | 1998-06-17 | 2001-01-23 | Praxair Technology, Inc. | Supersonic coherent gas jet for providing gas into a liquid |
| US6367288B1 (en) * | 1999-12-29 | 2002-04-09 | Corning Incorporated | Method and apparatus for preventing burner-hole build-up in fused silica processes |
-
1998
- 1998-02-26 JP JP04534698A patent/JP3551006B2/ja not_active Expired - Fee Related
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- 1998-12-10 CN CN98813356A patent/CN1123544C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1998-12-10 WO PCT/JP1998/005600 patent/WO1999043625A1/ja active IP Right Grant
- 1998-12-10 AU AU15058/99A patent/AU739089B2/en not_active Ceased
- 1998-12-10 US US09/423,237 patent/US6449986B2/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-12-10 GB GB9925100A patent/GB2339777B/en not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-01-21 TW TW088100912A patent/TW512135B/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100921313B1 (ko) * | 2003-04-08 | 2009-10-13 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 광파이버 모재 제조 장치의 상부 밀봉 구조 및 상부 밀봉방법 |
| KR100651453B1 (ko) | 2005-10-21 | 2006-11-29 | 삼성전자주식회사 | 수트 모재의 제조 장치 |
| EP3696148A1 (en) | 2019-02-12 | 2020-08-19 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Fabrication method for porous glass base material for optical fiber |
| KR20200098403A (ko) | 2019-02-12 | 2020-08-20 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 광 파이버용 다공질 유리 모재의 제조 방법 |
| US11518704B2 (en) | 2019-02-12 | 2022-12-06 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Fabrication method for porous glass base material for optical fiber |
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