JPH11180769A - 圧電セラミックス材料およびその製造方法 - Google Patents
圧電セラミックス材料およびその製造方法Info
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- JPH11180769A JPH11180769A JP35154397A JP35154397A JPH11180769A JP H11180769 A JPH11180769 A JP H11180769A JP 35154397 A JP35154397 A JP 35154397A JP 35154397 A JP35154397 A JP 35154397A JP H11180769 A JPH11180769 A JP H11180769A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 製造工程で鉛化合物の排出がなく、製品に利
用された後に廃棄された場合にもダスト中に鉛化合物が
含まれず、従来のＰＺＴで見られていた誘電率を低くし
回路で設計が可能となる圧電セラミックス材料を提供す
る。 【解決手段】 Ｂｉ０．５Ｎａ０．５ＴｉＯ３をベース
にＢａＴｉＯ３を添加した後、Ｂｉ０．５Ｎａ０．５も
しくはＢａ元素を希土類化合物で置換し、７５０〜８５
０℃の温度にて４〜１２時間合成反応させ、粉砕して粒
子径を０．５〜０．８μｍにしたあと１１５０〜１２０
０℃の温度で２〜１２時間焼結することで、鉛を含有し
ない圧電特性にすぐれた圧電セラミックス材料を提供す
る。
用された後に廃棄された場合にもダスト中に鉛化合物が
含まれず、従来のＰＺＴで見られていた誘電率を低くし
回路で設計が可能となる圧電セラミックス材料を提供す
る。 【解決手段】 Ｂｉ０．５Ｎａ０．５ＴｉＯ３をベース
にＢａＴｉＯ３を添加した後、Ｂｉ０．５Ｎａ０．５も
しくはＢａ元素を希土類化合物で置換し、７５０〜８５
０℃の温度にて４〜１２時間合成反応させ、粉砕して粒
子径を０．５〜０．８μｍにしたあと１１５０〜１２０
０℃の温度で２〜１２時間焼結することで、鉛を含有し
ない圧電特性にすぐれた圧電セラミックス材料を提供す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、精密機械
・装置における位置決め用アクチュエータや、流体の制
御バルブなどの駆動源としてのアクチュエータ、あるい
は圧力センサなどに利用される圧電性を有するビスマス
系ペロブスカイト型化合物からなる圧電セラミックス材
料およびその製造方法に関するものである。
・装置における位置決め用アクチュエータや、流体の制
御バルブなどの駆動源としてのアクチュエータ、あるい
は圧力センサなどに利用される圧電性を有するビスマス
系ペロブスカイト型化合物からなる圧電セラミックス材
料およびその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】圧電性を有するセラミックス材料として
は、従来、チタン酸バリウム（ＢＴ：ＢａＴｉＯ３）、
チタン酸鉛（ＰＴ：ＰｂＴｉＯ３）、チタンジルコン酸
鉛（ＰＺＴ：ＰｂＺｒＯ３−ＰｂＴｉＯ３）などが報告
されており、なかでも、ＰＺＴは変位量がもっとも大き
いことからアクチュエータや圧力センサなどに利用され
ている。
は、従来、チタン酸バリウム（ＢＴ：ＢａＴｉＯ３）、
チタン酸鉛（ＰＴ：ＰｂＴｉＯ３）、チタンジルコン酸
鉛（ＰＺＴ：ＰｂＺｒＯ３−ＰｂＴｉＯ３）などが報告
されており、なかでも、ＰＺＴは変位量がもっとも大き
いことからアクチュエータや圧力センサなどに利用され
ている。
【０００３】ＢＴは１９４２年に強誘電体であることが
発見されて以来、多結晶体の磁器として利用できること
が分かり、コンデンサやアクチュエータなどの用途とし
て数多くの研究がなされている。また、１９５５年にＰ
ＺＴ磁器がＢＴの２倍以上の電気機械結合係数を有する
ことが発見され、以来、ＰＺＴが独占的に利用されるよ
うになった。
発見されて以来、多結晶体の磁器として利用できること
が分かり、コンデンサやアクチュエータなどの用途とし
て数多くの研究がなされている。また、１９５５年にＰ
ＺＴ磁器がＢＴの２倍以上の電気機械結合係数を有する
ことが発見され、以来、ＰＺＴが独占的に利用されるよ
うになった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ＰＺＴ系圧電体セラミックス材料では、焼成や焼結工程
で鉛化合物が分解して排気から大気中に放出されたり、
粉末製造成形工程で水中に放出されたりするため公害対
策を取る必要があり、製品のコスト高となるという欠点
があった。
ＰＺＴ系圧電体セラミックス材料では、焼成や焼結工程
で鉛化合物が分解して排気から大気中に放出されたり、
粉末製造成形工程で水中に放出されたりするため公害対
策を取る必要があり、製品のコスト高となるという欠点
があった。
【０００５】また、近年の廃棄物規制からシュレッダー
ダスト中に鉛が含まれるため環境を汚染することが懸念
されているという問題があった。
ダスト中に鉛が含まれるため環境を汚染することが懸念
されているという問題があった。
【０００６】さらに、性能面でもＰＺＴの誘電率が高く
回路への組み込みが困難となったり、利用中の発熱が大
きく連続的に利用するアクチュエータへの使用には制限
されることがあるという欠点があった。
回路への組み込みが困難となったり、利用中の発熱が大
きく連続的に利用するアクチュエータへの使用には制限
されることがあるという欠点があった。
【０００７】一方、近年では、有害物質に対する環境問
題が重視され、鉛を含まない圧電材料に関する開発のニ
ーズも高まっており、１９６１年に発見されたＢｉ
０．５Ｎａ０．５ＴｉＯ３（ＢＮＴ）系化合物（Ｓｍｏ
ｌｅｎｓｋｙ ｅｔ ａｌ．Ｓｏｖｉｅｔ Ｐｈｙｓｉ
ｃｓ Ｓｏｌｉｄ Ｓｔａｔｅ ［２］２６５１〜５４
［１９６１］）を利用した研究が進められている。そし
て、圧電体セラミックスおよびその製法を開示した特開
昭６２−２０２５７６号公報では、ＢＮＴ−ＭＴｉＯ３
（Ｍ：Ｂａ，Ｋ０．５Ｂｉ０．５）広がり方向の結合係
数Ｋｐと厚み方向の結合係数Ｋｔより大きく超音波探傷
器や厚み計に用いた場合に横向きの振動干渉を発生し広
がり振動が生じたりする欠点があった。同様に、竹中正
等による論文（Ｆｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃｓ［１０
６］３７５−３８０，（１９９０）にはＢＮＴ−ＭＴｉ
Ｏ３（Ｍ：Ｓｒ，Ｃａ，Ｐｂ）についての報告がある
が、いまだ十分なものではなかった。
題が重視され、鉛を含まない圧電材料に関する開発のニ
ーズも高まっており、１９６１年に発見されたＢｉ
０．５Ｎａ０．５ＴｉＯ３（ＢＮＴ）系化合物（Ｓｍｏ
ｌｅｎｓｋｙ ｅｔ ａｌ．Ｓｏｖｉｅｔ Ｐｈｙｓｉ
ｃｓ Ｓｏｌｉｄ Ｓｔａｔｅ ［２］２６５１〜５４
［１９６１］）を利用した研究が進められている。そし
て、圧電体セラミックスおよびその製法を開示した特開
昭６２−２０２５７６号公報では、ＢＮＴ−ＭＴｉＯ３
（Ｍ：Ｂａ，Ｋ０．５Ｂｉ０．５）広がり方向の結合係
数Ｋｐと厚み方向の結合係数Ｋｔより大きく超音波探傷
器や厚み計に用いた場合に横向きの振動干渉を発生し広
がり振動が生じたりする欠点があった。同様に、竹中正
等による論文（Ｆｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃｓ［１０
６］３７５−３８０，（１９９０）にはＢＮＴ−ＭＴｉ
Ｏ３（Ｍ：Ｓｒ，Ｃａ，Ｐｂ）についての報告がある
が、いまだ十分なものではなかった。
【０００８】
【発明の目的】本発明は、上述した従来の課題にかんが
みてなされたものであって、ＰＺＴのごとき鉛成分を含
有しないペロブスカイト型化合物を提供し、セラミック
ス材料の製造工程で鉛化合物の排出がなく、製品に利用
された後に廃棄された場合にもダスト中に鉛化合物が含
まれず、さらには、ＰＺＴで見られていた誘電率を低く
し回路で設計が可能となる圧電セラミックス材料を提供
することを目的としている。
みてなされたものであって、ＰＺＴのごとき鉛成分を含
有しないペロブスカイト型化合物を提供し、セラミック
ス材料の製造工程で鉛化合物の排出がなく、製品に利用
された後に廃棄された場合にもダスト中に鉛化合物が含
まれず、さらには、ＰＺＴで見られていた誘電率を低く
し回路で設計が可能となる圧電セラミックス材料を提供
することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明に係わる圧電セラ
ミックス材料は、請求項１に記載しているように、（１
−ｘ）Ｂｉ０．５Ｎａ０．５ＴｉＯ３−ｘ・ＢａＴｉＯ
３の成分系を有しｘ＝０．０６〜０．１２の基本組成よ
りなり、特性改善のための希土類元素の化合物の１種ま
たは２種以上を合計で０．５〜１．５重量％含有してい
るものとしたことを特徴としている。
ミックス材料は、請求項１に記載しているように、（１
−ｘ）Ｂｉ０．５Ｎａ０．５ＴｉＯ３−ｘ・ＢａＴｉＯ
３の成分系を有しｘ＝０．０６〜０．１２の基本組成よ
りなり、特性改善のための希土類元素の化合物の１種ま
たは２種以上を合計で０．５〜１．５重量％含有してい
るものとしたことを特徴としている。
【００１０】そして、本発明に係わる圧電セラミックス
材料の実施態様においては、請求項２に記載しているよ
うに、Ｌａ２Ｏ３，Ｙ２Ｏ３，Ｙｂ２Ｏ３，Ｓｍ
２Ｏ３，Ｎｄ２Ｏ３，ＣｅＯ２のうちから選ばれる希土
類元素の酸化物の１種または２種以上を合計で０．５〜
１．５重量％含有しているものとしたことを特徴として
いる。
材料の実施態様においては、請求項２に記載しているよ
うに、Ｌａ２Ｏ３，Ｙ２Ｏ３，Ｙｂ２Ｏ３，Ｓｍ
２Ｏ３，Ｎｄ２Ｏ３，ＣｅＯ２のうちから選ばれる希土
類元素の酸化物の１種または２種以上を合計で０．５〜
１．５重量％含有しているものとしたことを特徴として
いる。
【００１１】同じく、本発明に係わる圧電セラミックス
材料の実施態様においては、請求項３に記載しているよ
うに、焼結状態での結晶粒子の粒子径が５〜２０μｍで
あるものとしたことを特徴としている。
材料の実施態様においては、請求項３に記載しているよ
うに、焼結状態での結晶粒子の粒子径が５〜２０μｍで
あるものとしたことを特徴としている。
【００１２】本発明に係わる圧電セラミックス材料の製
造方法は、請求項４に記載しているように、請求項１な
いし３のいずれかに記載の圧電セラミックス材料を製造
するに際し、製造工程として、少なくとも、原料の混合
工程，合成工程，粉砕工程，成形工程，焼結工程を経る
ものとすることを特徴としている。
造方法は、請求項４に記載しているように、請求項１な
いし３のいずれかに記載の圧電セラミックス材料を製造
するに際し、製造工程として、少なくとも、原料の混合
工程，合成工程，粉砕工程，成形工程，焼結工程を経る
ものとすることを特徴としている。
【００１３】そして、本発明に係わる圧電セラミックス
材料の製造方法の実施態様においては、請求項５に記載
しているように、合成工程の合成条件は、大気中で、合
成温度を７５０〜８５０℃、合成時間を４〜１２時間と
することを特徴としている。
材料の製造方法の実施態様においては、請求項５に記載
しているように、合成工程の合成条件は、大気中で、合
成温度を７５０〜８５０℃、合成時間を４〜１２時間と
することを特徴としている。
【００１４】同じく、本発明に係わる圧電セラミックス
材料の製造方法の実施態様においては、請求項６に記載
しているように、粉砕工程の粉砕後の粉末粒子径を０．
５〜０．８μｍとすることを特徴としている。
材料の製造方法の実施態様においては、請求項６に記載
しているように、粉砕工程の粉砕後の粉末粒子径を０．
５〜０．８μｍとすることを特徴としている。
【００１５】同じく、本発明に係わる圧電セラミックス
材料の製造方法の実施態様においては、請求項７に記載
しているように、焼結工程の焼結条件は、大気中で、焼
結温度を１１５０〜１２００℃、焼結時間を２〜１２時
間とすることを特徴としている。
材料の製造方法の実施態様においては、請求項７に記載
しているように、焼結工程の焼結条件は、大気中で、焼
結温度を１１５０〜１２００℃、焼結時間を２〜１２時
間とすることを特徴としている。
【００１６】同じく、本発明に係わる圧電セラミックス
材料の製造方法の実施態様においては、請求項８に記載
しているように、焼結工程後の結晶粒子の粒子径が５〜
２０μｍであることを特徴としている。
材料の製造方法の実施態様においては、請求項８に記載
しているように、焼結工程後の結晶粒子の粒子径が５〜
２０μｍであることを特徴としている。
【００１７】
【発明の作用】本発明に係わる圧電セラミックス材料お
よびその製造方法は、上述した構成を有するものであ
り、例えば、原料の混合工程においてＢｉ０．５Ｎａ
０．５ＴｉＯ３をベースにＢａＴｉＯ３を添加したの
ち、合成工程においてＢｉ０．５Ｎａ０．５もしくはＢ
ａ元素を希土類元素の化合物で置換し望ましくは７５０
〜８５０℃の温度で４〜１２時間反応させ、次いで粉砕
工程において粉砕することによって粉砕後の粉末粒子径
を望ましくは０．５〜０．８μｍにしたあと、成形工程
において適宜形状に成形し、さらに、焼結工程において
望ましくは１１５０〜１２００℃の温度で２〜１２時間
焼結し、焼結後の結晶粒子が望ましくは５〜２０μｍで
あるものとすることによって、上述した目的を達成する
鉛を用いない圧電セラミックス材料が提供されることと
なる。
よびその製造方法は、上述した構成を有するものであ
り、例えば、原料の混合工程においてＢｉ０．５Ｎａ
０．５ＴｉＯ３をベースにＢａＴｉＯ３を添加したの
ち、合成工程においてＢｉ０．５Ｎａ０．５もしくはＢ
ａ元素を希土類元素の化合物で置換し望ましくは７５０
〜８５０℃の温度で４〜１２時間反応させ、次いで粉砕
工程において粉砕することによって粉砕後の粉末粒子径
を望ましくは０．５〜０．８μｍにしたあと、成形工程
において適宜形状に成形し、さらに、焼結工程において
望ましくは１１５０〜１２００℃の温度で２〜１２時間
焼結し、焼結後の結晶粒子が望ましくは５〜２０μｍで
あるものとすることによって、上述した目的を達成する
鉛を用いない圧電セラミックス材料が提供されることと
なる。
【００１８】本発明についてさらに詳細に説明すると、
まず、原料の混合工程において、例えば、市販の化学試
薬Ｂｉ２Ｏ３、Ｎａ２ＣＯ３，ＢａＣＯ３およびＴｉＯ
２をそれぞれ所定量ずつ秤量してベース組成とする。こ
の場合のベース組成はＢｉ０ ．５Ｎａ０．５ＴｉＯ３が
８８〜９４ｍｏｌ％であり、ＢａＴｉＯ３が６〜１２ｍ
ｏｌ％となっている。
まず、原料の混合工程において、例えば、市販の化学試
薬Ｂｉ２Ｏ３、Ｎａ２ＣＯ３，ＢａＣＯ３およびＴｉＯ
２をそれぞれ所定量ずつ秤量してベース組成とする。こ
の場合のベース組成はＢｉ０ ．５Ｎａ０．５ＴｉＯ３が
８８〜９４ｍｏｌ％であり、ＢａＴｉＯ３が６〜１２ｍ
ｏｌ％となっている。
【００１９】次いで、この組成物に特性改善用の希土類
化合物（例えば、Ｌａ２Ｏ３，Ｙ２Ｏ３，Ｙｂ２Ｏ３，
Ｓｍ２Ｏ３，Ｎｄ２Ｏ３，ＣｅＯ２のうちから選ばれる
１種または２種以上）をベース組成の０．５〜１．５重
量％となるように秤量して添加する。このとき、ベース
組成が上記範囲内にあるものとするのは、少ないと耐熱
温度が低く自己発熱温度で劣化し、多すぎると圧電定数
が不足するためである。また、特性改善化合物である希
土類化合物は０．５重量％よりも少ないと圧電定数の改
善効果がなく、１．５重量％よりも多いと他の化合物が
析出するため特性の向上が望めないためである。
化合物（例えば、Ｌａ２Ｏ３，Ｙ２Ｏ３，Ｙｂ２Ｏ３，
Ｓｍ２Ｏ３，Ｎｄ２Ｏ３，ＣｅＯ２のうちから選ばれる
１種または２種以上）をベース組成の０．５〜１．５重
量％となるように秤量して添加する。このとき、ベース
組成が上記範囲内にあるものとするのは、少ないと耐熱
温度が低く自己発熱温度で劣化し、多すぎると圧電定数
が不足するためである。また、特性改善化合物である希
土類化合物は０．５重量％よりも少ないと圧電定数の改
善効果がなく、１．５重量％よりも多いと他の化合物が
析出するため特性の向上が望めないためである。
【００２０】次に、合成工程において、例えば、混合粉
末をアルコール中でボールミルを用いて粉砕混合を２４
時間行う。そして、混合粉末はロータリーエバポレータ
を用いて乾燥した後大気中７５０〜８５０℃の温度で４
〜１２時間仮焼成して元素を反応させる。このとき、仮
焼温度が７５０℃未満ではＢａＣＯ３やＮａ２ＣＯ３が
十分反応しておらず焼結時に組成のばらつきを生じるた
め特性が向上しない傾向となり、仮焼温度が８５０℃超
過では部分的に異なる化合物を生成したり、焼結をおこ
してこの後の粉砕が困難になったり、焼結時の組成ばら
つきも生じる傾向となる。
末をアルコール中でボールミルを用いて粉砕混合を２４
時間行う。そして、混合粉末はロータリーエバポレータ
を用いて乾燥した後大気中７５０〜８５０℃の温度で４
〜１２時間仮焼成して元素を反応させる。このとき、仮
焼温度が７５０℃未満ではＢａＣＯ３やＮａ２ＣＯ３が
十分反応しておらず焼結時に組成のばらつきを生じるた
め特性が向上しない傾向となり、仮焼温度が８５０℃超
過では部分的に異なる化合物を生成したり、焼結をおこ
してこの後の粉砕が困難になったり、焼結時の組成ばら
つきも生じる傾向となる。
【００２１】次いで、粉砕工程においては、例えば、仮
焼成体を再度アルコール中でボールミルを用いて粉砕を
２４時間行った後、ロータリーエバポレータを用いて乾
燥する。このときの粉砕は、粉砕後の粉末粒子径が０．
５μｍ以上０．８μｍ以下となるように行うのが良く、
０．５μｍ未満ではこの後の成形工程でのハンドリング
が困難になる傾向となり、０．８μｍ超過では焼結が困
難になる傾向となる。
焼成体を再度アルコール中でボールミルを用いて粉砕を
２４時間行った後、ロータリーエバポレータを用いて乾
燥する。このときの粉砕は、粉砕後の粉末粒子径が０．
５μｍ以上０．８μｍ以下となるように行うのが良く、
０．５μｍ未満ではこの後の成形工程でのハンドリング
が困難になる傾向となり、０．８μｍ超過では焼結が困
難になる傾向となる。
【００２２】次に、成形工程では、粉砕後の粉末を適宜
の成形手法により成形したのち、焼結工程において、大
気中で１１５０〜１２００℃の温度で２〜１２時間保持
することによって焼結を行う。このとき、１２００℃超
過の温度もしくは１２時間超過の保持時間では軟化が起
こりはじめて成形体が変形する傾向となり、１１５０℃
未満あるいは２時間未満の保持時間では焼結が困難にな
る傾向となる。
の成形手法により成形したのち、焼結工程において、大
気中で１１５０〜１２００℃の温度で２〜１２時間保持
することによって焼結を行う。このとき、１２００℃超
過の温度もしくは１２時間超過の保持時間では軟化が起
こりはじめて成形体が変形する傾向となり、１１５０℃
未満あるいは２時間未満の保持時間では焼結が困難にな
る傾向となる。
【００２３】そして、焼結後の焼結状態での結晶粒子の
粒子径は５〜２０μｍであるものとすることが望まし
く、粒子径が５μｍ未満であると多結晶体の粒子界面が
多く圧電特性の向上が図れない傾向となり、２０μｍ超
過であると分極配向の向きに異方性を生じ多結晶体とし
ての圧電特性が低下する傾向となる。
粒子径は５〜２０μｍであるものとすることが望まし
く、粒子径が５μｍ未満であると多結晶体の粒子界面が
多く圧電特性の向上が図れない傾向となり、２０μｍ超
過であると分極配向の向きに異方性を生じ多結晶体とし
ての圧電特性が低下する傾向となる。
【００２４】次いで、焼結後の焼成体を例えば、直径６
ｍｍ，高さ１０ｍｍの円筒に加工し、密度を測定した
後、Ｘ線回折にて成分を確認する。その後、例えば、両
端に金を蒸着し、２Ｖ／ｍｍ×６０℃の条件で分極した
後、圧電定数ｄ３３、Ｋ３３と、キュリー温度と、誘電
率および伸びを測定する。
ｍｍ，高さ１０ｍｍの円筒に加工し、密度を測定した
後、Ｘ線回折にて成分を確認する。その後、例えば、両
端に金を蒸着し、２Ｖ／ｍｍ×６０℃の条件で分極した
後、圧電定数ｄ３３、Ｋ３３と、キュリー温度と、誘電
率および伸びを測定する。
【００２５】焼結体の微構造は、ＳＥＭ写真に関して、
平行な直線１０本（任意）が横切る粒子長の平均を画像
装置を用いて求めた結果を粒子径として測定することが
できる。
平行な直線１０本（任意）が横切る粒子長の平均を画像
装置を用いて求めた結果を粒子径として測定することが
できる。
【００２６】
【発明の効果】本発明による圧電セラミックス材料によ
れば、請求項１に記載しているように、（１−ｘ）Ｂｉ
０．５Ｎａ０．５ＴｉＯ３−ｘ・ＢａＴｉＯ３の成分系
を有しｘ＝０．０６〜０．１２の基本組成よりなり、希
土類元素の化合物の１種または２種以上を合計で０．５
〜１．５重量％含有しているものとしたから、ＰＺＴの
ごとき鉛成分を含有しないペロブスカイト型セラミック
ス材料を提供することができ、このセラミックス材料の
製造工程で鉛化合物の排出がなく、使用後等において廃
棄された場合にもダスト中等に鉛化合物が含まれないも
のとすることができ、希土類元素の化合物を添加するこ
とによってキュリー温度を大きく下げることが可能であ
ると共に伸びを大きなものとすることが可能であり、比
誘電率が大きくかつ圧電定数Ｋ３３，ｄ３３が大きい特
性の優れた圧電セラミックス材料を提供することが可能
であるという著大なる効果がもたらされる。
れば、請求項１に記載しているように、（１−ｘ）Ｂｉ
０．５Ｎａ０．５ＴｉＯ３−ｘ・ＢａＴｉＯ３の成分系
を有しｘ＝０．０６〜０．１２の基本組成よりなり、希
土類元素の化合物の１種または２種以上を合計で０．５
〜１．５重量％含有しているものとしたから、ＰＺＴの
ごとき鉛成分を含有しないペロブスカイト型セラミック
ス材料を提供することができ、このセラミックス材料の
製造工程で鉛化合物の排出がなく、使用後等において廃
棄された場合にもダスト中等に鉛化合物が含まれないも
のとすることができ、希土類元素の化合物を添加するこ
とによってキュリー温度を大きく下げることが可能であ
ると共に伸びを大きなものとすることが可能であり、比
誘電率が大きくかつ圧電定数Ｋ３３，ｄ３３が大きい特
性の優れた圧電セラミックス材料を提供することが可能
であるという著大なる効果がもたらされる。
【００２７】そして、請求項２に記載しているように、
Ｌａ２Ｏ３，Ｙ２Ｏ３，Ｙｂ２Ｏ３，Ｓｍ２Ｏ３，Ｎｄ
２Ｏ３，ＣｅＯ２のうちから選ばれる希土類元素の酸化
物の１種または２種以上を合計で０．５〜１．５重量％
含有しているものとすることによって、伸びを大きなも
のとすることが可能であると共に圧電係数Ｋ３３，ｄ
３３をより一層確実に改善することが可能であり、伸び
特性のより優れた圧電セラミックス材料を提供すること
が可能であるという著大なる効果がもたらされる。
Ｌａ２Ｏ３，Ｙ２Ｏ３，Ｙｂ２Ｏ３，Ｓｍ２Ｏ３，Ｎｄ
２Ｏ３，ＣｅＯ２のうちから選ばれる希土類元素の酸化
物の１種または２種以上を合計で０．５〜１．５重量％
含有しているものとすることによって、伸びを大きなも
のとすることが可能であると共に圧電係数Ｋ３３，ｄ
３３をより一層確実に改善することが可能であり、伸び
特性のより優れた圧電セラミックス材料を提供すること
が可能であるという著大なる効果がもたらされる。
【００２８】また、請求項３に記載しているように、焼
結状態での結晶粒子の粒子径が５〜２０μｍであるもの
することによって、密度が高く、圧電定数Ｋ３３，ｄ
３３が大きい圧電セラミックス材料を提供することが可
能であるという著大なる効果がもたらされる。
結状態での結晶粒子の粒子径が５〜２０μｍであるもの
することによって、密度が高く、圧電定数Ｋ３３，ｄ
３３が大きい圧電セラミックス材料を提供することが可
能であるという著大なる効果がもたらされる。
【００２９】本発明による圧電セラミックス材料の製造
方法では、請求項４に記載しているように、上記圧電セ
ラミックス材料を製造するに際し、製造工程として、少
なくとも、原料の混合工程，合成工程，粉砕工程，成形
工程，焼結工程を経るものとするようにしたから、ＰＺ
Ｔのごとき鉛成分を含有せず、鉛化合物の排出がなく、
キュリー温度を大きく下げることが可能であり、比誘電
率および圧電定数が大きい圧電セラミックス材料を製造
することが可能であるという著大なる効果がもたらされ
る。
方法では、請求項４に記載しているように、上記圧電セ
ラミックス材料を製造するに際し、製造工程として、少
なくとも、原料の混合工程，合成工程，粉砕工程，成形
工程，焼結工程を経るものとするようにしたから、ＰＺ
Ｔのごとき鉛成分を含有せず、鉛化合物の排出がなく、
キュリー温度を大きく下げることが可能であり、比誘電
率および圧電定数が大きい圧電セラミックス材料を製造
することが可能であるという著大なる効果がもたらされ
る。
【００３０】そして、請求項５に記載しているように、
合成工程の合成条件は、大気中で、合成温度を７５０〜
８５０℃、合成時間を４〜１２時間とすることによっ
て、ＢａＣＯ３やＮａ２ＣＯ３が十分に反応したものと
することが可能であり、焼結時にばらつきを生じない特
性がより一層向上した圧電セラミックス材料を製造する
ことが可能であるという著しく優れた効果がもたらされ
る。
合成工程の合成条件は、大気中で、合成温度を７５０〜
８５０℃、合成時間を４〜１２時間とすることによっ
て、ＢａＣＯ３やＮａ２ＣＯ３が十分に反応したものと
することが可能であり、焼結時にばらつきを生じない特
性がより一層向上した圧電セラミックス材料を製造する
ことが可能であるという著しく優れた効果がもたらされ
る。
【００３１】また、請求項６に記載しているように、粉
砕工程の粉砕後の粉末粒子径を０．５〜０．８μｍとす
ることによって、成形工程のハンドリングを良好なもの
にすることができると共に焼結工程での焼結を良好なも
のにすることが可能であるという著大なる効果がもたら
される。
砕工程の粉砕後の粉末粒子径を０．５〜０．８μｍとす
ることによって、成形工程のハンドリングを良好なもの
にすることができると共に焼結工程での焼結を良好なも
のにすることが可能であるという著大なる効果がもたら
される。
【００３２】さらにまた、請求項７に記載しているよう
に、焼結工程の焼結条件は、大気中で、焼結温度を１１
５０〜１２００℃、焼結時間を２〜１２時間とするよう
になすことによって、焼結工程において成形体の変形を
防止しながら良好な焼結状態を得ることによって特性の
優れた圧電セラミックス材料を製造することが可能であ
るという著大なる効果がもたらされる。
に、焼結工程の焼結条件は、大気中で、焼結温度を１１
５０〜１２００℃、焼結時間を２〜１２時間とするよう
になすことによって、焼結工程において成形体の変形を
防止しながら良好な焼結状態を得ることによって特性の
優れた圧電セラミックス材料を製造することが可能であ
るという著大なる効果がもたらされる。
【００３３】さらにまた、請求項８に記載しているよう
に、焼結工程後の結晶粒子の粒子径が５〜２０μｍであ
るようになすことによって、密度が高く、圧電定数Ｋ
３３，ｄ３３が大きい圧電セラミックス材料とすること
が可能であるという著大なる効果がもたらされる。
に、焼結工程後の結晶粒子の粒子径が５〜２０μｍであ
るようになすことによって、密度が高く、圧電定数Ｋ
３３，ｄ３３が大きい圧電セラミックス材料とすること
が可能であるという著大なる効果がもたらされる。
【００３４】
【実施例】以下、本発明の実施例を比較例と共に示す
が、本発明はこのような実施例のみに限定されないこと
はいうまでもない。
が、本発明はこのような実施例のみに限定されないこと
はいうまでもない。
【００３５】（実施例１〜６，比較例１〜８）この実施
例および比較例においては、それぞれ、表１，２の実施
例１〜６，比較例１〜８の欄に示すものとして実施し
た。
例および比較例においては、それぞれ、表１，２の実施
例１〜６，比較例１〜８の欄に示すものとして実施し
た。
【００３６】すなわち、市販の化学試薬Ｂｉ２Ｏ３、Ｎ
ａ２ＣＯ３，ＢａＣＯ３，ＴｉＯ２を所定量秤量したの
ち混合し、得られた混合粉末に実施例１〜６において
は、希土類の化合物として、Ｌａ２Ｏ３，Ｓｍ２Ｏ３，
Ｙ２Ｏ３，Ｎｄ２Ｏ３，Ｙｂ２Ｏ３，ＣｅＯ２を１種ず
つ添加し、アルコール中でボールミルを用いて粉砕混合
を２４時間行った。
ａ２ＣＯ３，ＢａＣＯ３，ＴｉＯ２を所定量秤量したの
ち混合し、得られた混合粉末に実施例１〜６において
は、希土類の化合物として、Ｌａ２Ｏ３，Ｓｍ２Ｏ３，
Ｙ２Ｏ３，Ｎｄ２Ｏ３，Ｙｂ２Ｏ３，ＣｅＯ２を１種ず
つ添加し、アルコール中でボールミルを用いて粉砕混合
を２４時間行った。
【００３７】次いで、混合粉末はロータリーエバポレー
タを用いて乾燥した後、大気中８００℃で６時間仮焼成
して元素を合成反応させ、再度アルコール中でボールミ
ルを用いて粉砕を２４時間行った後、ロータリーエバポ
レータを用いて乾燥し、その後、大気中１１５０℃で８
時間焼結した。
タを用いて乾燥した後、大気中８００℃で６時間仮焼成
して元素を合成反応させ、再度アルコール中でボールミ
ルを用いて粉砕を２４時間行った後、ロータリーエバポ
レータを用いて乾燥し、その後、大気中１１５０℃で８
時間焼結した。
【００３８】焼結後の焼成体を直径６ｍｍ，高さ１０ｍ
ｍの円筒に加工し、密度を測定した後、Ｘ線回折にて成
分を確認し、さらに、圧電定数ｄ３３、Ｋ３３とキュリ
ー温度と誘電率および伸びを測定した。
ｍの円筒に加工し、密度を測定した後、Ｘ線回折にて成
分を確認し、さらに、圧電定数ｄ３３、Ｋ３３とキュリ
ー温度と誘電率および伸びを測定した。
【００３９】この結果、表１，２に示すように、希土類
化合物を含まない比較例１ではキュリー温度がかなり高
く、ＢａＴｉＯ３が４ｍｏｌ％以下の比較例１，２およ
び１５ｍｏｌ％以上の比較例７，８のＢＮＴ−ＢＴ固溶
体の特性値では伸びが０．０１〜０．０２％と低く、Ｂ
ａＴｉＯ３が６ｍｏｌ％以上１２ｍｏｌ％以下の比較例
３〜６のＢＮＴ−ＢＴ固溶体の特性値では伸びが０．０
４％で有り、伸びは若干増加しているものの有限長さの
機械・装置で利用するには不足しているものであった。
化合物を含まない比較例１ではキュリー温度がかなり高
く、ＢａＴｉＯ３が４ｍｏｌ％以下の比較例１，２およ
び１５ｍｏｌ％以上の比較例７，８のＢＮＴ−ＢＴ固溶
体の特性値では伸びが０．０１〜０．０２％と低く、Ｂ
ａＴｉＯ３が６ｍｏｌ％以上１２ｍｏｌ％以下の比較例
３〜６のＢＮＴ−ＢＴ固溶体の特性値では伸びが０．０
４％で有り、伸びは若干増加しているものの有限長さの
機械・装置で利用するには不足しているものであった。
【００４０】これに対して、実施例１〜６に示すように
希土類化合物を添加することで伸びが０．０５〜０．０
６％となっていて改善されていることが確認された。そ
して、伸び特性をもたらす圧電定数ｄ３３値も２００ｐ
Ｃ／Ｎ以上となり、希土類化合物添加の効果が確認され
た。
希土類化合物を添加することで伸びが０．０５〜０．０
６％となっていて改善されていることが確認された。そ
して、伸び特性をもたらす圧電定数ｄ３３値も２００ｐ
Ｃ／Ｎ以上となり、希土類化合物添加の効果が確認され
た。
【００４１】（実施例７〜９，比較例９，１０）この実
施例および比較例においては、それぞれ、表３の実施例
７〜９，比較例９，１０の欄に示すものとして実施し
た。
施例および比較例においては、それぞれ、表３の実施例
７〜９，比較例９，１０の欄に示すものとして実施し
た。
【００４２】すなわち、市販の化学試薬Ｂｉ２Ｏ３、Ｎ
ａ２ＣＯ３，ＢａＣＯ３，ＴｉＯ２を所定量秤量したの
ち混合し、得られた混合粉末に希土類化合物としてＹ２
Ｏ３を添加し、アルコール中でボールミルを用いて粉砕
混合を２４時間行った。
ａ２ＣＯ３，ＢａＣＯ３，ＴｉＯ２を所定量秤量したの
ち混合し、得られた混合粉末に希土類化合物としてＹ２
Ｏ３を添加し、アルコール中でボールミルを用いて粉砕
混合を２４時間行った。
【００４３】次いで、混合粉末はロータリーエバポレー
タを用いて乾燥した後、大気中８００℃で６時間仮焼成
して元素を合成反応させ、再度アルコール中でボールミ
ルを用いて粉砕を１２時間から４８時間までの範囲で行
うことによって粉砕後の粉末粒子径を調整したあと、ロ
ータリーエバポレータを用いて乾燥し、その後、大気中
１１５０℃で８時間焼結した。
タを用いて乾燥した後、大気中８００℃で６時間仮焼成
して元素を合成反応させ、再度アルコール中でボールミ
ルを用いて粉砕を１２時間から４８時間までの範囲で行
うことによって粉砕後の粉末粒子径を調整したあと、ロ
ータリーエバポレータを用いて乾燥し、その後、大気中
１１５０℃で８時間焼結した。
【００４４】焼結後の焼成体を直径６ｍｍ，高さ１０ｍ
ｍの円筒に加工し、密度を測定した後、Ｘ線回折にて成
分を確認し、さらに、圧電定数ｄ３３、Ｋ３３とキュリ
ー温度と誘電率および伸びを測定した。
ｍの円筒に加工し、密度を測定した後、Ｘ線回折にて成
分を確認し、さらに、圧電定数ｄ３３、Ｋ３３とキュリ
ー温度と誘電率および伸びを測定した。
【００４５】この結果、表３に示すように、粉砕後の粉
末の粒度を変えた場合において、比較例９のごとく平均
粒径１．２μｍ以上では焼結後の結晶粒子の粒子径が大
きすぎ、ＢＮＴ−ＢＴ固溶体の特性値では伸びが０．０
３％であり、有限長さの機械・装置で利用するには不足
しているが、実施例７〜９のごとく粉砕後の粉末の粒子
径を０．５〜０．８μｍの範囲とすることで伸びが０．
０５％となり、改善されていることが確められた。しか
し、比較例１０のごとく粉砕後の粉末の粒子径が０．３
μｍ以下では、焼結後の結晶粒子の粒子径が小さく分極
後の特性発現（ｄ３３値）が小さく伸びが小さいものと
なっていた。
末の粒度を変えた場合において、比較例９のごとく平均
粒径１．２μｍ以上では焼結後の結晶粒子の粒子径が大
きすぎ、ＢＮＴ−ＢＴ固溶体の特性値では伸びが０．０
３％であり、有限長さの機械・装置で利用するには不足
しているが、実施例７〜９のごとく粉砕後の粉末の粒子
径を０．５〜０．８μｍの範囲とすることで伸びが０．
０５％となり、改善されていることが確められた。しか
し、比較例１０のごとく粉砕後の粉末の粒子径が０．３
μｍ以下では、焼結後の結晶粒子の粒子径が小さく分極
後の特性発現（ｄ３３値）が小さく伸びが小さいものと
なっていた。
【００４６】（実施例１０〜１２，比較例１１〜１３）
この実施例および比較例においては、それぞれ、表４の
実施例１０〜１２，比較例１１〜１３の欄に示すものと
して実施した。
この実施例および比較例においては、それぞれ、表４の
実施例１０〜１２，比較例１１〜１３の欄に示すものと
して実施した。
【００４７】すなわち、市販の化学試薬Ｂｉ２Ｏ３、Ｎ
ａ２ＣＯ３，ＢａＣＯ３，ＴｉＯ２を所定量秤量したの
ち混合し、得られた混合粉末に希土類化合物としてＹ２
Ｏ３を添加し、アルコール中でボールミルを用いて粉砕
混合を２４時間行った。
ａ２ＣＯ３，ＢａＣＯ３，ＴｉＯ２を所定量秤量したの
ち混合し、得られた混合粉末に希土類化合物としてＹ２
Ｏ３を添加し、アルコール中でボールミルを用いて粉砕
混合を２４時間行った。
【００４８】次いで、混合粉末はロータリーエバポレー
タを用いて乾燥した後、大気中７００〜９５０℃で６時
間仮焼成して元素を合成反応させ、再度アルコール中で
ボールミルを用いて粉砕を２４時間行った後、ロータリ
ーエバポレータを用いて乾燥し、その後、大気中１１５
０℃で８時間焼結した。
タを用いて乾燥した後、大気中７００〜９５０℃で６時
間仮焼成して元素を合成反応させ、再度アルコール中で
ボールミルを用いて粉砕を２４時間行った後、ロータリ
ーエバポレータを用いて乾燥し、その後、大気中１１５
０℃で８時間焼結した。
【００４９】焼結後の焼成体を直径６ｍｍ，高さ１０ｍ
ｍの円筒に加工し、密度を測定した後、Ｘ線回折にて成
分を確認し、さらに、圧電定数ｄ３３、Ｋ３３とキュリ
ー温度と誘電率および伸びを測定した。
ｍの円筒に加工し、密度を測定した後、Ｘ線回折にて成
分を確認し、さらに、圧電定数ｄ３３、Ｋ３３とキュリ
ー温度と誘電率および伸びを測定した。
【００５０】この結果、表４に示すように、仮焼温度
（合成温度）を変えた場合において、実施例１０〜１２
に示すように、７５０℃から８５０℃までの間でＹ２Ｏ
３添加ＢＮＴ−ＢＴ固溶体の特性値では伸びが０．０５
％であり、かなり改善されていることが確認された。し
かし、７５０℃未満である比較例１１では反応が不十分
であり、８５０℃を超える比較例１２，１３では焼結が
進行しすぎて成分の分離がおきることが確認された。
（合成温度）を変えた場合において、実施例１０〜１２
に示すように、７５０℃から８５０℃までの間でＹ２Ｏ
３添加ＢＮＴ−ＢＴ固溶体の特性値では伸びが０．０５
％であり、かなり改善されていることが確認された。し
かし、７５０℃未満である比較例１１では反応が不十分
であり、８５０℃を超える比較例１２，１３では焼結が
進行しすぎて成分の分離がおきることが確認された。
【００５１】（実施例１３〜１６，比較例１４〜１７）
この実施例および比較例においては、それぞれ、表５の
実施例１３〜１６，比較例１４〜１７の欄に示すものと
して実施した。
この実施例および比較例においては、それぞれ、表５の
実施例１３〜１６，比較例１４〜１７の欄に示すものと
して実施した。
【００５２】すなわち、市販の化学試薬Ｂｉ２Ｏ３、Ｎ
ａ２ＣＯ３，ＢａＣＯ３，ＴｉＯ２を所定量秤量したの
ち混合し、得られた混合粉末に希土類化合物としてＹ２
Ｏ３，Ｎｄ２ＣＯ３を添加し、アルコール中でボールミ
ルを用いて粉砕混合を２４時間行った。
ａ２ＣＯ３，ＢａＣＯ３，ＴｉＯ２を所定量秤量したの
ち混合し、得られた混合粉末に希土類化合物としてＹ２
Ｏ３，Ｎｄ２ＣＯ３を添加し、アルコール中でボールミ
ルを用いて粉砕混合を２４時間行った。
【００５３】次いで、混合粉末はロータリーエバポレー
タを用いて乾燥した後、大気中８００℃で６時間仮焼成
して元素を合成反応させ、再度アルコール中でボールミ
ルを用いて粉砕を２４時間行った後、ロータリーエバポ
レータを用いて乾燥し、その後、大気中１１００℃から
１２３０℃までの範囲で８時間焼結した。
タを用いて乾燥した後、大気中８００℃で６時間仮焼成
して元素を合成反応させ、再度アルコール中でボールミ
ルを用いて粉砕を２４時間行った後、ロータリーエバポ
レータを用いて乾燥し、その後、大気中１１００℃から
１２３０℃までの範囲で８時間焼結した。
【００５４】焼結後の焼成体を直径６ｍｍ，高さ１０ｍ
ｍの円筒に加工し、密度を測定した後、Ｘ線回折にて成
分を確認し、さらに、圧電定数ｄ３３、Ｋ３３とキュリ
ー温度と誘電率および伸びを測定した。
ｍの円筒に加工し、密度を測定した後、Ｘ線回折にて成
分を確認し、さらに、圧電定数ｄ３３、Ｋ３３とキュリ
ー温度と誘電率および伸びを測定した。
【００５５】この結果、表５に示すように、焼結温度を
変えた場合は、１１５０℃から１２００℃までの間でＹ
２Ｏ３，Ｎｄ２Ｏ３添加ＢＮＴ−ＢＴ固溶体の特性値で
は伸びが０．０５％であり、かなり改善されていること
が確認された。しかし、焼結温度が１１５０℃未満であ
る比較例１４，１５では焼結不足が顕著であり、１２０
０℃超過である比較例１６，１７では軟化が生じて特性
が発現しないことが確認された。
変えた場合は、１１５０℃から１２００℃までの間でＹ
２Ｏ３，Ｎｄ２Ｏ３添加ＢＮＴ−ＢＴ固溶体の特性値で
は伸びが０．０５％であり、かなり改善されていること
が確認された。しかし、焼結温度が１１５０℃未満であ
る比較例１４，１５では焼結不足が顕著であり、１２０
０℃超過である比較例１６，１７では軟化が生じて特性
が発現しないことが確認された。
【００５６】（実施例１７〜２２）この実施例において
は、表６の実施例１７〜２２の欄に示すものとして実施
した。
は、表６の実施例１７〜２２の欄に示すものとして実施
した。
【００５７】すなわち、市販の化学試薬Ｂｉ２Ｏ３、Ｎ
ａ２ＣＯ３，ＢａＣＯ３，ＴｉＯ２を所定量秤量したの
ち混合し、得られた混合粉末に希土類化合物としてＬａ
２Ｏ３，Ｙ２Ｏ３，Ｙｂ２Ｏ３，Ｓｍ２Ｏ３，Ｎｄ２Ｏ
３，ＣｅＯ２のうちから選択した２種ないしは４種の希
土類酸化物を１〜１．５重量％添加し、アルコール中で
ボールミルを用いて粉砕混合を２４時間行った。
ａ２ＣＯ３，ＢａＣＯ３，ＴｉＯ２を所定量秤量したの
ち混合し、得られた混合粉末に希土類化合物としてＬａ
２Ｏ３，Ｙ２Ｏ３，Ｙｂ２Ｏ３，Ｓｍ２Ｏ３，Ｎｄ２Ｏ
３，ＣｅＯ２のうちから選択した２種ないしは４種の希
土類酸化物を１〜１．５重量％添加し、アルコール中で
ボールミルを用いて粉砕混合を２４時間行った。
【００５８】次いで、混合粉末はロータリーエバポレー
タを用いて乾燥した後、大気中８００℃で６時間仮焼成
して元素を合成反応させ、再度アルコール中でボールミ
ルを用いて粉砕を２４時間行った後、ロータリーエバポ
レータを用いて乾燥し、その後、大気中１１５０℃で８
時間焼結した。
タを用いて乾燥した後、大気中８００℃で６時間仮焼成
して元素を合成反応させ、再度アルコール中でボールミ
ルを用いて粉砕を２４時間行った後、ロータリーエバポ
レータを用いて乾燥し、その後、大気中１１５０℃で８
時間焼結した。
【００５９】焼結後の焼成体を直径６ｍｍ，高さ１０ｍ
ｍの円筒に加工し、密度を測定した後、Ｘ線回折にて成
分を確認し、さらに、圧電定数ｄ３３、Ｋ３３とキュリ
ー温度と誘電率および伸びを測定した。
ｍの円筒に加工し、密度を測定した後、Ｘ線回折にて成
分を確認し、さらに、圧電定数ｄ３３、Ｋ３３とキュリ
ー温度と誘電率および伸びを測定した。
【００６０】この結果、表６に示すように、希土類化合
物を２種ないしは４種添加したＢＮＴ−ＢＴ固溶体の特
性値では伸びが０．０５％であり、かなり改善されてい
ることが確認された。
物を２種ないしは４種添加したＢＮＴ−ＢＴ固溶体の特
性値では伸びが０．０５％であり、かなり改善されてい
ることが確認された。
【００６１】
【表１】
【００６２】
【表２】
【００６３】
【表３】
【００６４】
【表４】
【００６５】
【表５】
【００６６】
【表６】
Claims (8)
- 【請求項１】 （１−ｘ）Ｂｉ０．５Ｎａ０．５ＴｉＯ
３−ｘ・ＢａＴｉＯ３の成分系を有しｘ＝０．０６〜
０．１２の基本組成よりなり、希土類元素の化合物の１
種または２種以上を合計で０．５〜１．５重量％含有し
ていることを特徴とする圧電セラミックス材料。 - 【請求項２】 Ｌａ２Ｏ３，Ｙ２Ｏ３，Ｙｂ２Ｏ３，Ｓ
ｍ２Ｏ３，Ｎｄ２Ｏ３，ＣｅＯ２のうちから選ばれる希
土類元素の酸化物の１種または２種以上を合計で０．５
〜１．５重量％含有していることを特徴とする請求項１
に記載の圧電セラミックス材料。 - 【請求項３】 焼結状態での結晶粒子の粒子径が５〜２
０μｍであることを特徴とする請求項１または２に記載
の圧電セラミックス材料。 - 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれかに記載の圧
電セラミックス材料を製造するに際し、製造工程とし
て、少なくとも、原料の混合工程，合成工程，粉砕工
程，成形工程，焼結工程を経るものとすることを特徴と
する圧電セラミックス材料の製造方法。 - 【請求項５】 合成工程の合成条件は、大気中で、合成
温度を７５０〜８５０℃、合成時間を４〜１２時間とす
ることを特徴とする請求項４に記載の圧電セラミックス
材料の製造方法。 - 【請求項６】 粉砕工程の粉砕後の粉末粒子径を０．５
〜０．８μｍとすることを特徴とする請求項４に記載の
圧電セラミックス材料の製造方法。 - 【請求項７】 焼結工程の焼結条件は、大気中で、焼結
温度を１１５０〜１２００℃、焼結時間を２〜１２時間
とすることを特徴とする請求項４に記載の圧電セラミッ
クス材料の製造方法。 - 【請求項８】 焼結工程後の結晶粒子の粒子径が５〜２
０μｍであることを特徴とする請求項４に記載の圧電セ
ラミックス材料の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35154397A JPH11180769A (ja) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | 圧電セラミックス材料およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35154397A JPH11180769A (ja) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | 圧電セラミックス材料およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11180769A true JPH11180769A (ja) | 1999-07-06 |
Family
ID=18418000
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35154397A Pending JPH11180769A (ja) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | 圧電セラミックス材料およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11180769A (ja) |
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US6426018B1 (en) | 2000-11-20 | 2002-07-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric ceramic compositions |
| EP1231192A1 (en) * | 2001-02-08 | 2002-08-14 | Ngk Spark Plug Co., Ltd | Lead-free piezoelectric ceramic materials |
| JP2002326869A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-12 | Tdk Corp | 圧電磁器 |
| JP2003095737A (ja) * | 2001-09-17 | 2003-04-03 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 圧電磁器組成物 |
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| JP2007084408A (ja) * | 2005-09-26 | 2007-04-05 | Hosokawa Funtai Gijutsu Kenkyusho:Kk | 圧電セラミックス |
| CN100357221C (zh) * | 2005-02-01 | 2007-12-26 | 四川大学 | 钛酸铋钠银钡系无铅压电陶瓷 |
| DE102008014728A1 (de) | 2007-03-27 | 2008-10-02 | Tdk Corp. | Piezoelektrische keramische Zusammensetzung |
| DE102008014394A1 (de) | 2007-03-26 | 2008-10-02 | Tdk Corp. | Piezoelektrische keramische Zusammensetzung |
| JP4455678B1 (ja) * | 2008-10-24 | 2010-04-21 | パナソニック株式会社 | 圧電体薄膜とその製造方法、角速度センサ、角速度センサによる角速度の測定方法、圧電発電素子ならびに圧電発電素子を用いた発電方法 |
| WO2010084711A1 (ja) * | 2009-01-20 | 2010-07-29 | パナソニック株式会社 | 圧電体薄膜とその製造方法、インクジェットヘッド、インクジェットヘッドを用いて画像を形成する方法、角速度センサ、角速度センサを用いて角速度を測定する方法、圧電発電素子ならびに圧電発電素子を用いた発電方法 |
| WO2011045897A1 (ja) * | 2009-10-13 | 2011-04-21 | パナソニック株式会社 | 圧電体薄膜、インクジェットヘッド、インクジェットヘッドを用いて画像を形成する方法、角速度センサ、角速度センサを用いて角速度を測定する方法、圧電発電素子ならびに圧電発電素子を用いた発電方法 |
| WO2011129072A1 (ja) * | 2010-04-15 | 2011-10-20 | パナソニック株式会社 | 圧電体薄膜、インクジェットヘッド、インクジェットヘッドを用いて画像を形成する方法、角速度センサ、角速度センサを用いて角速度を測定する方法、圧電発電素子ならびに圧電発電素子を用いた発電方法 |
| US8076256B2 (en) * | 2006-10-27 | 2011-12-13 | Hitatchi Metals, Ltd. | Semiconductor ceramic composition and method for producing the same |
| US20120043857A1 (en) * | 2010-08-23 | 2012-02-23 | Panasonic Corporation | Actuator and method for driving actuator |
| US8789927B2 (en) | 2010-03-08 | 2014-07-29 | Seiko Epson Corporation | Liquid-ejecting head and liquid-ejecting apparatus |
| JPWO2013051486A1 (ja) * | 2011-10-03 | 2015-03-30 | 日立金属株式会社 | 半導体磁器組成物、ｐｔｃ素子、および発熱モジュール |
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