JP2007084408A - 圧電セラミックス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 化学組成が[BixNa1−xTiO3]又は[BixK1−xTiO3](但し、0.4≦x≦0.6)で表され、且つ粒子径がナノメーターレベルの微細構造で均一な組成の非鉛系原料粉末を焼結して得られる圧電セラミックス。特に、[BixNa1−x+yTiO3]又は[BixK1−x+yTiO3](但し、X=0.5,0≦y≦0.02)が好ましい。
【選択図】 図1
Description
従って、BNT又はBKTの原料粉末を用いて、低温焼結が可能で、優れた圧電特性を有する非鉛系の圧電セラミックスが提供される。
すなわち、BNTの原料粉末では、[BixNa1−xTiO3]に対して、Naが0.02モルまでの過剰組成において特に良好な圧電特性が得られる。同様に、BKTの原料粉末では、[BixK1−xTiO3]に対して、Kが0.02モルまでのK過剰組成において特に良好な圧電特性が得られる。
従って、低温焼結が可能で、優れた圧電特性を有するBNT又はBKTの圧電セラミックスの好適な実施形態が得られる。
すなわち、粒子径は細かい方が性能面から好ましいが10nm以下になると凝集等のために取扱いが面倒になり、一方、粒子径が1000nmを超えると焼結性が悪化するので、当該粒子径の範囲であることが好ましい。取扱いの面および焼結性の面から考えて、粒子径は100nm〜500nmの範囲がより好ましい。
すなわち、本発明の圧電セラミックスは、常圧の大気雰囲気下で1050℃程度の低い焼結温度条件により作製しても、98%以上の高い相対密度を有し、優れた圧電特性と誘電特性を実現することができる。
本発明の圧電セラミックスは、化学組成が[BixNa1−xTiO3]又は[BixK1−xTiO3](但し、0.4≦x≦0.6)で表され、且つ粒子径がナノメーターレベルの微細構造で均一な組成の非鉛系原料粉末を焼結して得られる。具体的には、化学組成がx=0.5の定比組成[Bi0.5Na0.5TiO3]又は[Bi0.5K0.5TiO3]からNa又はKの過剰組成[Bi0.5Na0.5+yTiO3]又は[Bi0.5K0.5+yTiO3](但し、0<y≦0.02)の範囲が好ましい。また、当該非鉛系原料粉末の粒子径は10nm〜1000nmの範囲にあることが好ましく、特に100nm〜500nmの範囲にあることが好ましい。
〔原料粉末の作製〕
本発明に使用される出発原料粉末の製法を説明する。BNT原料粉末の場合は、原料として、テトラ(2-エチルヘキシル)チタネート、2-エチルヘキサン酸ナトリウム、2-エチルヘキサン酸ビスマスを所望の組成比になるように調合し、これをミネラルスピリットに混合して得られる原料液を用いた。次にこの原料液を反応気体(酸素ガス)とともに噴霧ノズルを使用して高温雰囲気の反応空間(例えば高温プラズマにより発生させる)に噴霧し、反応気体流で覆われた原料の液滴流を生成するとともに液滴の蒸発気化による粒子核形成と粒子成長を行わせた後、周囲の反応ガスで急速冷却して所定サイズの当該複合粒子を得、原料粉末とした。
上記作製した各原料粉末の特性は以下のように測定した。
・粒子の比表面積(BET値)
日機装製マックソープHM1201を用い、粒子表面に対する液体窒素の吸着量から比表面積を求めるBET1点法により粒子の比表面積を測定した。
・粒子の形状、微細構造
日立製作所製S−3500N型走査電子顕微鏡(SEM)を用い、加速電圧が5kV、倍率1万倍以上で粒子の形状及び微細構造を観察した。
・粒子の化学組成
粒子の化学組成は島津製作所社製ICP−8000を用い、誘導結合プラズマ発光分光分析法(ICP−AES法)により定量分析を行った。
・粒子の結晶構造
理学電機製RINT2000を用い、CuKα線を50kV、150mAで励起して測定した後、得られたパターンをリートベルト法により粒子の結晶構造を解析した。
次いて本発明に係る圧電セラミックスの作製について説明する。上記方法で作製した原料粉末を遊星ボールミルにて1時間粉砕後、50MPaの一軸プレスにより直径10mm、厚さ4mmの円柱状に成形し、また200MPaの圧力で冷間等方静水圧プレス(略称:CIP)処理を行い、この成形体を大気雰囲気中温度950〜1100℃で2時間又は4時間保持することにより焼成して圧電セラミックスを得た。得られた圧電セラミックスは切断し、厚さ0.1mm程度になるまで上下面を平面研磨した後、金電極をスパッタリングし、100℃のシリコンオイル中で5kV/mmの電界を15分間印加して分極処理を行なった。
上記作製した圧電セラミックスの特性は以下のように測定した。
・誘電率
アジレントテクノロジー社製4194A型のインピーダンスメータを用い、室温、周波数1Hzで誘電率(キュリー温度)を測定した。
・圧電歪み定数
ネオアーク社製MLD−221型光ヘテロダイン微小振動測定装置を用い、電界誘起歪みを測定し(1Hz)、電界と歪み量を直線近似することで有効圧電歪み定数d33 *を求めた。
・ヒステリシス特性
東陽テクニカ製FCE−1型強誘電体評価システムにてP−Eヒステリシスを室温、周波数1Hz条件下で測定し、残留分極(Pr)と抗電界(Ec)を得た。
〔原料粉末の作製〕
比較例として、一般的によく用いられる固相法での原料粉末の作製方法を示す。具体的には、市販の化学的に高純度であるBi2O3、TiO2、及びNa2CO3(BNT粉末の場合)又はK2CO3(BKT粉末の場合)粉末を所定量秤量し、エタノール中で遊星ボールミルを用いて混合を2時間行った後、恒温槽やロータリーエバポレータ、スプレードライなどの乾燥機を用いて100℃で乾燥し、大気雰囲気中温度800〜1000℃で2時間仮焼した。その後、エタノール中で遊星ボールミルを用いて粉砕を2時間行い、原料粉末を得た。
BNT圧電セラミックスの場合では、原料粉末を50MPaの圧力での一軸プレス成形及びCIP処理を行い、成形体を大気雰囲気中温度1000〜1100℃で4時間保持することにより焼成して圧電セラミックスを得た。また、BKT圧電セラミックスの場合では、ホットプレス機を用い、原料粉末を一軸加圧しながら大気雰囲気中温度1050〜1100℃で2時間焼成して圧電セラミックスを得た。
得られた圧電セラミックスは切断し、厚さ0.1mm程度になるまで上下面を平面研磨した後、金電極をスパッタリングし、100℃のシリコンオイル中で5kV/mmの電界を15分間印加して分極処理を行なった。
[BKT]
表1に本発明に係るBKT原料粉末のデータ例を示す。粒子径が200nm〜290nmの範囲のBKT粒子であることが確認できる。尚、粒子径は、真密度を5.64g/cm3として、下記式(1)に従い算出した。
表2に[Bi0.5K0.5TiO3]原料粉末(No.1)のICP測定結果を示す。Bi、K、Ti共にほぼ理論値に近い組成の原料粉末であることが判る。
図2に[Bi0.5K0.5TiO3]原料粉末(No.1)のXRDパターンを示す。結晶性がよく、Bi0.5K0.5TiO3型結晶のほぼ単一相であることが判る。
表4にBNT原料粉末のデータ例を示す。粒子径が171nmのBNT粒子であることが確認できる。粒子径は真密度を5.93g/cm3として前記(1)式に従い算出した。
Claims (4)
- 化学組成が[BixNa1−xTiO3]又は[BixK1−xTiO3](但し、0.4≦x≦0.6)で表され、且つ粒子径がナノメーターレベルの微細構造で均一な組成の非鉛系原料粉末を焼結して得られる圧電セラミックス。
- 前記非鉛系原料粉末の化学組成が、[BixNa1−x+yTiO3]又は[BixK1−x+yTiO3](但し、0<y≦0.02)で表される請求項1に記載の圧電セラミックス。
- 前記非鉛系原料粉末の粒子径が10nm〜1000nmの範囲にある請求項1又は請求項2に記載の圧電セラミックス。
- 少なくとも1050℃以上の温度範囲の大気雰囲気条件で焼結され、相対密度が98%以上である請求項1から請求項3の何れか一項に記載の圧電セラミックス。
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