JPS58207938A - セラミツクス微粒子の製造方法 - Google Patents
セラミツクス微粒子の製造方法Info
- Publication number
- JPS58207938A JPS58207938A JP57090670A JP9067082A JPS58207938A JP S58207938 A JPS58207938 A JP S58207938A JP 57090670 A JP57090670 A JP 57090670A JP 9067082 A JP9067082 A JP 9067082A JP S58207938 A JPS58207938 A JP S58207938A
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はセラミックス微粒子の製造方法に関するもので
あり、くわしくは液状の金属化合物あるいは金属化合物
の溶液の１種または２種以上の混合液をプラズマ炎中に
噴霧し、溶融、凝固させて製造される直径が特に１０）
Ｌ以下のセラミックス微粒子の製造方法に関するもので
ある。
あり、くわしくは液状の金属化合物あるいは金属化合物
の溶液の１種または２種以上の混合液をプラズマ炎中に
噴霧し、溶融、凝固させて製造される直径が特に１０）
Ｌ以下のセラミックス微粒子の製造方法に関するもので
ある。
最近のセラミックス原料として用いられる粉末は、その
用途から不純物を嫌い、槓・腐工捏を途中に含むことが
堅い。このｍ袈はＷａなものを除いて液相で行わｎるこ
とが多く、液相から粉末をｘｌしなければならない。液
相、特に溶液からの粉末の製造にはまず沈殿剤を作用さ
せ沈殿を生成させる方法が広く用いられる。この方法で
は、沈殿剤として加えられるアルカリ金属イオンか不純
物として含まれる可能性がある。
用途から不純物を嫌い、槓・腐工捏を途中に含むことが
堅い。このｍ袈はＷａなものを除いて液相で行わｎるこ
とが多く、液相から粉末をｘｌしなければならない。液
相、特に溶液からの粉末の製造にはまず沈殿剤を作用さ
せ沈殿を生成させる方法が広く用いられる。この方法で
は、沈殿剤として加えられるアルカリ金属イオンか不純
物として含まれる可能性がある。
沈殿剤を用いないで沈殿を生成する方法としてアルコオ
キシドの加水分解法や、電気分解法等があるが、これら
の方法を用いても、沈殿物の一過、乾燥、更に熱分解と
いった多数の工程を経ねばならない。しかも２種以上の
金属を含む複合沈殿の場合は沈毅が均質とならないこと
が多い。
キシドの加水分解法や、電気分解法等があるが、これら
の方法を用いても、沈殿物の一過、乾燥、更に熱分解と
いった多数の工程を経ねばならない。しかも２種以上の
金属を含む複合沈殿の場合は沈毅が均質とならないこと
が多い。
一方沈殿を経ない方法として、スプレードライヤーで代
表される噴協乾燥法がある。ｒ＠ｖ４ｉｙ煉法によれば
生成物のＩＰ、度と均質性の同上は期待できるが、大規
模の装置が必要であり、また乾煉物を熱分解するため再
び加熱する必要があリ、この際粒子の一部焼砧が進んで
、−終的′にセラミックス粉末を得るためには粉砕工程
を経る必要が生ずる欠点かある。この欠点の改良法とし
てＩ！ＪＩｉ乾燥と熱分解を兼ねた噴−悠睨法が考案さ
れている。この方法は溶媒にアルコール等を用い噴霧と
同時に喰ｇ俸に点火燃焼したり水浴液を高温ガス中や高
温に１熱２ｎだ炉中に噴射する方法である。しかしこの
ような方法で得られた粒子はほとんどが一定の形状をＭ
さず場合によっては爆裂により金形となっており、しか
もその粒子は気孔の多い緻署度の低いものである。
表される噴協乾燥法がある。ｒ＠ｖ４ｉｙ煉法によれば
生成物のＩＰ、度と均質性の同上は期待できるが、大規
模の装置が必要であり、また乾煉物を熱分解するため再
び加熱する必要があリ、この際粒子の一部焼砧が進んで
、−終的′にセラミックス粉末を得るためには粉砕工程
を経る必要が生ずる欠点かある。この欠点の改良法とし
てＩ！ＪＩｉ乾燥と熱分解を兼ねた噴−悠睨法が考案さ
れている。この方法は溶媒にアルコール等を用い噴霧と
同時に喰ｇ俸に点火燃焼したり水浴液を高温ガス中や高
温に１熱２ｎだ炉中に噴射する方法である。しかしこの
ような方法で得られた粒子はほとんどが一定の形状をＭ
さず場合によっては爆裂により金形となっており、しか
もその粒子は気孔の多い緻署度の低いものである。
緻密度の高いセラミックス粉末を得るには融液を液滴に
して冷却固化する方法もある。角波からの粉末調製は金
喝粉のａ４造には広く用いられているが、セラミックス
では金属材料に比べて一般に融点が高く、溶融炉、噴射
装置等が特殊となり高価であり、容器からの不＃切混入
の危険性も高い。
して冷却固化する方法もある。角波からの粉末調製は金
喝粉のａ４造には広く用いられているが、セラミックス
では金属材料に比べて一般に融点が高く、溶融炉、噴射
装置等が特殊となり高価であり、容器からの不＃切混入
の危険性も高い。
本発明者等は上記の点に−み、梢々研究を重ねた結果、
粒径が１０μ以下、′待に１）Ｌ以下の均質で非常に：
ｗｔ密な、真球に近い、埴住分布の狭いセラミックス減
収子を得ることに属功したものである。
粒径が１０μ以下、′待に１）Ｌ以下の均質で非常に：
ｗｔ密な、真球に近い、埴住分布の狭いセラミックス減
収子を得ることに属功したものである。
本発明によって得られた球状微粒子は表面及び内部に欠
陥がなく、緻密で、真球度も高いことから、電子材料用
等のセラミックス緻密焼結体、多孔質焼結体、高信頼性
セラミックス、複合材料用分散強化材、ショツトブラス
ト材、研摩材、減摩材等の用途に利用が可能であり、従
来の球状粒子に比べ優れた機能を発揮するものである。
陥がなく、緻密で、真球度も高いことから、電子材料用
等のセラミックス緻密焼結体、多孔質焼結体、高信頼性
セラミックス、複合材料用分散強化材、ショツトブラス
ト材、研摩材、減摩材等の用途に利用が可能であり、従
来の球状粒子に比べ優れた機能を発揮するものである。
本発明によるセラミックス微粒子の製造方法会
は液状金属イヒ虐あるいは金属化合物の溶液の、１植ま
たは２種以上の混合液をプラズマ炎中に噴霧し、溶融状
態を経た後冷却固化させる方法１中１１ である。この製造方法によれば、直径１０μ以下の球状
セラミックス微粒子製造、特に１／Ａ以下の超微粒子の
製造が可能である。
たは２種以上の混合液をプラズマ炎中に噴霧し、溶融状
態を経た後冷却固化させる方法１中１１ である。この製造方法によれば、直径１０μ以下の球状
セラミックス微粒子製造、特に１／Ａ以下の超微粒子の
製造が可能である。
以下本発明の製造方法について詳述する。
本発明に用いられる出発原料はＴｉ０１４、Ｆθ（Ｃｏ
） ５−ｎの常温で液状、あるいはｆｆＪ＋車な加温に
より液状となる金属化合物、または金属のハロゲン化物
、硫ｍ塩、硝最塩、有機−項等の水溶液やＮ［溶媒に溶
解した溶液、更にＭｇ （０＋１Ｈｓ） ｍ、Ａｌ（０
０３Ｈす３、Ｚｒ （ＯＯａｉｉｅ） ａ等（７） フ
ル：ｌ オ’ｔ シト’ｐ （０”Ｈ’） ’Ａｌ５Ｃ
ＯＨ３） ”Ｍｇ等の有機金属化合物の有機溶媒に溶静
した溶液のように常温付近で液相であるものが利用でき
る。従って原料金属化合物の精製の終了段階でｉ’ｌ！
Ｉのものがあれば、わざわざ金属塩等を溶解しなくても
、そのまま便用できる。場合によっては、コロイド溶液
やスラリーであっても構わない。具体的な金部化合物の
例としてはＡ１、Ｓｉ、Ｇａ、 Ｚｒｓ Ｔｉ、Ｏｒｓ
Ｍｇｓ Ｆ ８％ Ｏｏ、Ｎ ｉ、ＹＮ ＢＳＭｎｓ
ＭｏｑＷ等の化合物があげられるが、これに限られるも
のではない。単−成分のセラミックス微粒子を製造する
場合には上記液相の１棚を、フェライト類、スピネル唄
等の複合セラミックス微粒子を悼激する場合には必要な
化学組成となるように計算された２橿以上の液相をゾ合
して用いる。混合液の′４会は沈腋を生じなければどの
ような液を混合しても奪わないので、共沈法による場合
のように混合する各液の組成、ｓ１度ｐＨ等が限定され
ることがないのも本発明の特畝の１つである。溶液の場
合は、溶液が安定に存在する範囲内の濃度で、希望する
微粒子の種類と大きさによって、濃度を加減する。一般
に１度を小さくするけど得られるｍ粒子の粒使は小さく
なる。
） ５−ｎの常温で液状、あるいはｆｆＪ＋車な加温に
より液状となる金属化合物、または金属のハロゲン化物
、硫ｍ塩、硝最塩、有機−項等の水溶液やＮ［溶媒に溶
解した溶液、更にＭｇ （０＋１Ｈｓ） ｍ、Ａｌ（０
０３Ｈす３、Ｚｒ （ＯＯａｉｉｅ） ａ等（７） フ
ル：ｌ オ’ｔ シト’ｐ （０”Ｈ’） ’Ａｌ５Ｃ
ＯＨ３） ”Ｍｇ等の有機金属化合物の有機溶媒に溶静
した溶液のように常温付近で液相であるものが利用でき
る。従って原料金属化合物の精製の終了段階でｉ’ｌ！
Ｉのものがあれば、わざわざ金属塩等を溶解しなくても
、そのまま便用できる。場合によっては、コロイド溶液
やスラリーであっても構わない。具体的な金部化合物の
例としてはＡ１、Ｓｉ、Ｇａ、 Ｚｒｓ Ｔｉ、Ｏｒｓ
Ｍｇｓ Ｆ ８％ Ｏｏ、Ｎ ｉ、ＹＮ ＢＳＭｎｓ
ＭｏｑＷ等の化合物があげられるが、これに限られるも
のではない。単−成分のセラミックス微粒子を製造する
場合には上記液相の１棚を、フェライト類、スピネル唄
等の複合セラミックス微粒子を悼激する場合には必要な
化学組成となるように計算された２橿以上の液相をゾ合
して用いる。混合液の′４会は沈腋を生じなければどの
ような液を混合しても奪わないので、共沈法による場合
のように混合する各液の組成、ｓ１度ｐＨ等が限定され
ることがないのも本発明の特畝の１つである。溶液の場
合は、溶液が安定に存在する範囲内の濃度で、希望する
微粒子の種類と大きさによって、濃度を加減する。一般
に１度を小さくするけど得られるｍ粒子の粒使は小さく
なる。
本発明の製造方法における液滴の噴霧法は既知の方法を
用いることができ、遠ＩＣ−力により噴霧させる方法、
液体を加圧しオリアイスから噴出させる方法、王権空気
あるいは不活性ガス、蒸気等の噴流により噴霧させる方
法等、特に限定しない。液滴の大きさは溶液の濃度との
関係で選定される。最終１品の粒径をあまり大きくしよ
うとすると、場合によっては液滴が乾燥、分解、溶融す
る間に一裂を起すことがあるが、本発明の百円とする直
歯１０戸以下の粒子であれば電装を起すことはない。
用いることができ、遠ＩＣ−力により噴霧させる方法、
液体を加圧しオリアイスから噴出させる方法、王権空気
あるいは不活性ガス、蒸気等の噴流により噴霧させる方
法等、特に限定しない。液滴の大きさは溶液の濃度との
関係で選定される。最終１品の粒径をあまり大きくしよ
うとすると、場合によっては液滴が乾燥、分解、溶融す
る間に一裂を起すことがあるが、本発明の百円とする直
歯１０戸以下の粒子であれば電装を起すことはない。
本発明の製造方法による金属化合吻を苫む液滴を乾燥、
分解、浴融させるためのシーＩＡ源としては、代融点化
合力粒子の合成の場合にはプロパン−酸素のような燃焼
炎を用いることも可能である。しかし、ｒｌ！ｉ魚の高
いセラミックス粒子を合成する場合にはプラズマ炎が適
している。
分解、浴融させるためのシーＩＡ源としては、代融点化
合力粒子の合成の場合にはプロパン−酸素のような燃焼
炎を用いることも可能である。しかし、ｒｌ！ｉ魚の高
いセラミックス粒子を合成する場合にはプラズマ炎が適
している。
岐路４品が酸化物である場合はプラズマ炎はガスプラズ
マ炎、水プラズマ炎いずれも使用可能ではあるが、水プ
ラズマ炎が好ましい。水プラズマ炎はガスプラズマ炎に
比較してプラズマ炎の温度が高いので高融点のセラミッ
クス物質の溶融にはより適しており、更に水プラズマ炎
はエネルギー効率が高く、シかも作動源が水であってガ
スプラズマの場合のようにアルゴンやヘリウム等の高価
なガスを必要とせず経済的に優れている。しかし水プラ
ズマは酸化＃−気であり最終−品が酸化物の場合は良い
が、酸化雰囲気を嫌うような場合にはガスプラズマ炎を
用いプラズマ流に空気を巻込まないような工夫を要する
。このプラズマ炎は既存のプラズマ５剪装置をそのまま
便用することが可能である。
マ炎、水プラズマ炎いずれも使用可能ではあるが、水プ
ラズマ炎が好ましい。水プラズマ炎はガスプラズマ炎に
比較してプラズマ炎の温度が高いので高融点のセラミッ
クス物質の溶融にはより適しており、更に水プラズマ炎
はエネルギー効率が高く、シかも作動源が水であってガ
スプラズマの場合のようにアルゴンやヘリウム等の高価
なガスを必要とせず経済的に優れている。しかし水プラ
ズマは酸化＃−気であり最終−品が酸化物の場合は良い
が、酸化雰囲気を嫌うような場合にはガスプラズマ炎を
用いプラズマ流に空気を巻込まないような工夫を要する
。このプラズマ炎は既存のプラズマ５剪装置をそのまま
便用することが可能である。
本発明による製造方法ではプラズマ炎中に噴齢された液
滴は乾燥、分解を経て５慇し表面張力によって球状化し
てプラズマ浴射装嵐から５射されるので、これ′４Ｌ固
体表面に衝突させることなく冷却して捕集する。この捕
集は水カーテン、ベンチュリースクラバー、バッグフィ
ルター１サイクロン等により行うことができる。不カー
テンやベンチュリースクラバーによる捕集は装置が簡単
であり、微細な粒子まで高収草で回収することが可能で
あるが、脱水、乾燥等のであるが、回収でさる粒子に限
度がある。しかし後者の方法は粒子が急冷される度合が
小さいため粒子表面に亀裂等が入りにくい。
滴は乾燥、分解を経て５慇し表面張力によって球状化し
てプラズマ浴射装嵐から５射されるので、これ′４Ｌ固
体表面に衝突させることなく冷却して捕集する。この捕
集は水カーテン、ベンチュリースクラバー、バッグフィ
ルター１サイクロン等により行うことができる。不カー
テンやベンチュリースクラバーによる捕集は装置が簡単
であり、微細な粒子まで高収草で回収することが可能で
あるが、脱水、乾燥等のであるが、回収でさる粒子に限
度がある。しかし後者の方法は粒子が急冷される度合が
小さいため粒子表面に亀裂等が入りにくい。
捕集の際の材料の酸化を防ぐ必要がある場合には、溶融
液滴が固化し、もはやぼ化反応が進行しない充分低い温
度となるまで非ば化性ガス＃囲気中で保護するり）、あ
るいは液坏菫蕎中で捕集するのが好ましい。
液滴が固化し、もはやぼ化反応が進行しない充分低い温
度となるまで非ば化性ガス＃囲気中で保護するり）、あ
るいは液坏菫蕎中で捕集するのが好ましい。
本発明の方法において史に、プラズマ浴射装置から捕集
装置の間の溶融液滴の通路を別熱状態に保つことによっ
て結晶形の安定した、より緻密な粒子を得ることができ
る。特に粒子がＡｌ！０３、Ｔｉ（ｌ ではその効果が
顕著である。この場合の加ｆＩｐｌｆ４度は１０００℃
以上が好ましい。
装置の間の溶融液滴の通路を別熱状態に保つことによっ
て結晶形の安定した、より緻密な粒子を得ることができ
る。特に粒子がＡｌ！０３、Ｔｉ（ｌ ではその効果が
顕著である。この場合の加ｆＩｐｌｆ４度は１０００℃
以上が好ましい。
また上記の噴霧、溶融、捕集の操作で十分緻密で真球度
の高いセラミックス微粒子が得られない場合は、捕集し
た粒子を再度プラズマ炎中に供給して、再度溶融、球状
化、捕集を模り返し、欠陥を除去することも可能である
。
の高いセラミックス微粒子が得られない場合は、捕集し
た粒子を再度プラズマ炎中に供給して、再度溶融、球状
化、捕集を模り返し、欠陥を除去することも可能である
。
以下実施例により本発明の製造方法によるセラミックス
微粒子を説明する。
微粒子を説明する。
実施例１
硫酸アルミニウム結晶Ａｌｉ （ＳＯ２）ｓｅ１８Ｈｊ
ｏ ３００ｇを水１ｆ１．に溶解し、塗装用スプレーガ
ンを用いて水プラズマ装置のプラズマ炎出口に噴霧し、
水中捕集をし、最大粒径１／１１平均０・５〃のアルミ
ナ微粒子を得た。得らｎたアルミナ政呪子はほぼ球状で
表面に＋４裂等はみられな力）つた。比重は３・８であ
った。
ｏ ３００ｇを水１ｆ１．に溶解し、塗装用スプレーガ
ンを用いて水プラズマ装置のプラズマ炎出口に噴霧し、
水中捕集をし、最大粒径１／１１平均０・５〃のアルミ
ナ微粒子を得た。得らｎたアルミナ政呪子はほぼ球状で
表面に＋４裂等はみられな力）つた。比重は３・８であ
った。
実―例２
液状四項化チタンＴ・１Ｃ１４をそのまま実−例１と同
様の方法により噴祷、捕集し、最大′ｆｉ、径５μ、平
均２μのチタニア微粒子を得た。得られた粒子はほぼ球
状で、比重＋、ｉ 、ＸＪ回析によるとルチル型で１
０２にアナターゼ型が一品混在したものであった。
様の方法により噴祷、捕集し、最大′ｆｉ、径５μ、平
均２μのチタニア微粒子を得た。得られた粒子はほぼ球
状で、比重＋、ｉ 、ＸＪ回析によるとルチル型で１
０２にアナターゼ型が一品混在したものであった。
実施例ａ
硫ぼコバルト０ｏＳＯｔ＠７Ｈ２０５６ｇ及び硫酸第二
’ｉｌｌ Ｆｅｄ （ＳＯ４）ａ−６Ｈ１ＩＯ１０２ｇ
（ＯｏＯど１２０５のモル比で１：１）を水１１に溶解
し、実ｆ布例１と同様の方法によりｐｉ径０．１〜２／
ｌｔの球状フェライト岐子を得た。Ｘ線回折によるとほ
ぼ見金なコバルト７エライトの回折線でアッタ。
’ｉｌｌ Ｆｅｄ （ＳＯ４）ａ−６Ｈ１ＩＯ１０２ｇ
（ＯｏＯど１２０５のモル比で１：１）を水１１に溶解
し、実ｆ布例１と同様の方法によりｐｉ径０．１〜２／
ｌｔの球状フェライト岐子を得た。Ｘ線回折によるとほ
ぼ見金なコバルト７エライトの回折線でアッタ。
特許出祐人
九ＴＨＩＮ大煉瓦株式会社
Claims (1)
- （１）液状金属化合物あるいは金属化合物溶液の１種ま
たは２１ｍ以上の混合液をプラズマ炎中に噴霧し、溶融
状態を経た俊、冷却固化することを＃徴とするセラミッ
クス微粒子の製造方法（２） プラズマ炎が水プラズ
マ炎であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
のセラミックス微粒子の製造方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57090670A JPS58207938A (ja) | 1982-05-27 | 1982-05-27 | セラミツクス微粒子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57090670A JPS58207938A (ja) | 1982-05-27 | 1982-05-27 | セラミツクス微粒子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58207938A true JPS58207938A (ja) | 1983-12-03 |
| JPH0244766B2 JPH0244766B2 (ja) | 1990-10-05 |
Family
ID=14004965
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57090670A Granted JPS58207938A (ja) | 1982-05-27 | 1982-05-27 | セラミツクス微粒子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58207938A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1993020022A1 (en) * | 1992-04-06 | 1993-10-14 | Mitsui Toatsu Chemicals, Incorporated | Process for producing carbonaceous composition |
| US6395245B1 (en) | 1992-04-06 | 2002-05-28 | Mitsui Chemicals, Inc. | Method for preparing carbon-containing composition |
| WO2002057186A1 (fr) * | 2001-01-19 | 2002-07-25 | Huang Fuguo | Processus de cristallisation a la flamme permettant de fabriquer des micro-particules d'un compose metallique et des poudres a ultra-microparticules |
| JP2007084408A (ja) * | 2005-09-26 | 2007-04-05 | Hosokawa Funtai Gijutsu Kenkyusho:Kk | 圧電セラミックス |
| JP2008069051A (ja) * | 2006-09-15 | 2008-03-27 | Hosokawa Funtai Gijutsu Kenkyusho:Kk | 圧電セラミックス及びその製造方法 |
| JP2008127248A (ja) * | 2006-11-21 | 2008-06-05 | National Institute For Materials Science | 無機酸化物又は無機水酸化物の粉末化法 |
| JP2008162825A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Kao Corp | 球状セラミックス粒子 |
| JP2009509897A (ja) * | 2005-06-08 | 2009-03-12 | トヨタ モーター エンジニアリング アンド マニュファクチャリング ノース アメリカ，インコーポレイティド | 金属酸化物ナノ粒子及びその製造方法 |
| JP2013112537A (ja) * | 2011-11-25 | 2013-06-10 | Nagase Chemtex Corp | 光学材料用複合金属酸化物微粒子 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI314919B (en) | 2005-02-28 | 2009-09-21 | Showa Denko Kk | Fine particulate titanium dioxide, and production process and uses thereof |
-
1982
- 1982-05-27 JP JP57090670A patent/JPS58207938A/ja active Granted
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1993020022A1 (en) * | 1992-04-06 | 1993-10-14 | Mitsui Toatsu Chemicals, Incorporated | Process for producing carbonaceous composition |
| US6395245B1 (en) | 1992-04-06 | 2002-05-28 | Mitsui Chemicals, Inc. | Method for preparing carbon-containing composition |
| WO2002057186A1 (fr) * | 2001-01-19 | 2002-07-25 | Huang Fuguo | Processus de cristallisation a la flamme permettant de fabriquer des micro-particules d'un compose metallique et des poudres a ultra-microparticules |
| JP2009509897A (ja) * | 2005-06-08 | 2009-03-12 | トヨタ モーター エンジニアリング アンド マニュファクチャリング ノース アメリカ，インコーポレイティド | 金属酸化物ナノ粒子及びその製造方法 |
| JP2007084408A (ja) * | 2005-09-26 | 2007-04-05 | Hosokawa Funtai Gijutsu Kenkyusho:Kk | 圧電セラミックス |
| JP2008069051A (ja) * | 2006-09-15 | 2008-03-27 | Hosokawa Funtai Gijutsu Kenkyusho:Kk | 圧電セラミックス及びその製造方法 |
| JP2008127248A (ja) * | 2006-11-21 | 2008-06-05 | National Institute For Materials Science | 無機酸化物又は無機水酸化物の粉末化法 |
| JP2008162825A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Kao Corp | 球状セラミックス粒子 |
| JP2013112537A (ja) * | 2011-11-25 | 2013-06-10 | Nagase Chemtex Corp | 光学材料用複合金属酸化物微粒子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0244766B2 (ja) | 1990-10-05 |
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