JP2005170760A - 微粒子及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 生産性が高く、均一な粒径を有し、品質の高い微粒子及びその製造方法を実現する。
【解決手段】 微粒子及び微粒子の製造方法では、粉末原材料を溶媒中に入れて攪拌しスラリー３ａにする。そして、原材料供給装置３に入れられたスラリー３ａをプラズマトーチ２内に噴霧することにより液滴化させる。液滴化させたスラリーをプラズマトーチ２内に発生している熱プラズマ炎７中に導入してスラリーを蒸発させ気相状態の混合物にする。そして、このスラリーを蒸発させた気相状態の混合物をチャンバー４内で急冷することにより、微粒子を生成することを特徴とする。
【選択図】図１

Description

この発明は、微粒子の製造方法に関し、特には、熱プラズマ法を用いた微粒子の製造方法、及びその製造方法により製造される微粒子に関する。

酸化物微粒子、窒化物微粒子、炭化物微粒子等の微粒子は、半導体基板、コンデンサといった電子材料や機能性材料に用いられ、その接合強度や緻密性を向上させる点で有用である。このような微粒子を製造する方法の一つに、気相法がある。気相法には、各種のガス等を高温で化学反応させる化学的方法（化学気相法、化学蒸着法、ＣＶＤ法）と、電子やレーザーなどのビームを照射して物質を分解・蒸発させ、微粒子を生成する物理的方法（ＰＶＤ法）とがある。

そして、上記気相法（化学的及び物理的方法）の中の一つとして、熱プラズマ法がある。熱プラズマ法は、原材料を熱プラズマ中に導入し、蒸発させた後、急冷凝縮させて微粒子を製造する方法である。熱プラズマ法は、クリーンで生産性が高く、高融点材料にも対応可能であり、他の気相法に比べて複合化が比較的容易であるといった多くの利点を有する。このため、熱プラズマ法は、微粒子を製造する方法として積極的に利用されている。

従来の熱プラズマ法を用いた微粒子の製造方法では、原材料物質を粉末状にし、この粉末にされた原材料（粉末原材料、粉体）をキャリアガス等と共に、直接熱プラズマ中に導入することにより、微粒子を製造している。

粉末にされた原材料を熱プラズマ中に導入する従来技術に関し、下記の特許文献１には、金属微粒子と被覆層との両粉末原材料を複合化し、原料混合物を不活性又は還元性雰囲気の熱プラズマに供給して原材料を蒸発させ気相状態の混合物にした後、この原材料を蒸発させた気相状態の混合物を急冷して、酸化物金属被覆微粒子を製造する方法が開示されている（特許文献１参照）。
特開２０００−２１９９０１号公報（第１頁、第１図）

上述したように従来技術では、粉末にされた原材料を直接プラズマ炎中に導入している。しかしながら、この粉末にされた原材料には凝集体があるため、プラズマ炎中で完全に原材料を反応させることができず、生成される微粒子の均一性に悪影響を及ぼしたり、不純物が生じる等の品質の低下を招く。また、原材料が粉末状であると、プラズマ炎中へ常に精確に一定量を供給し続けることが難しく、脈動を伴なうため、生成される微粒子も不均一になりやすい。

本発明は、生産性が高く、均一な粒径を有し、品質の高い微粒子及びその製造方法を実現することを課題とするものである。

本発明は上記課題を解決するために、粉末原材料を溶媒中に入れてスラリーにし、前記スラリーを液滴化させ、前記液滴化させたスラリーを熱プラズマ炎中に導入して該スラリーを蒸発させ気相状態の混合物にし、前記スラリーを蒸発させた前記気相状態の混合物を急冷することにより、微粒子を生成することを特徴とする微粒子の製造方法を提供する。

前記スラリーに界面活性剤、高分子、カップリング剤よりなる群より選ばれる１種又は２種以上の混合物を添加することが好ましい。

また本発明は、粉末原材料を溶媒中に入れてスラリーにし、前記スラリーを液滴化させ、前記液滴化させたスラリーを熱プラズマ炎中に供給して該スラリーを蒸発させ気相状態の混合物にし、前記スラリーを蒸発させた前記気相状態の混合物を急冷することにより、微粒子を生成する微粒子の製造方法により製造されることを特徴とする微粒子を提供する。

前記微粒子の平均粒径は、１ｎｍから１００ｎｍであることが好ましい。

前記微粒子は、単体酸化物、複合酸化物、複酸化物、又は酸化物固溶体であることが好ましい。

前記微粒子を構成する成分は、原子番号３から５、１１から１４、１９から３１、３７から５０、５５から６０、６２から７７、及び８３の元素よりなる群から選ばれる少なくとも１種を含む、単体酸化物、複合酸化物、複酸化物、又は、酸化物固溶体であることが好ましい。

以上の構成から成る本発明に係る微粒子及びその製造方法によると、均一な粒径を有し、品質の高い微粒子を製造することができ、かつ、生産性が高い製造方法を提供することができる。

本発明に係る微粒子及びその製造方法を実施するための最良の形態を実施例に基づいて図面を参照して説明する。図１は、本発明の微粒子の製造方法を実施するための微粒子の製造装置１の全体構成を示す模式図である。微粒子の製造装置１は、熱プラズマ炎（熱プラズマ）を発生させるプラズマトーチ２と、原材料をプラズマトーチ２内へ供給する原材料供給装置３と、微粒子８を生成するチャンバー４と、生成された微粒子８を回収する回収部５と、を含んで構成される。また、図２には、プラズマトーチ２付近の部分拡大図が示されている。

プラズマトーチ２は、石英管２ａと、その外側を取り巻く高周波発振用コイル２ｂとで構成される。プラズマトーチ２の上部には、原材料とキャリアガスとをプラズマトーチ２内に導入するための導入管２ｄがその中央部に設けられおり、プラズマガス導入口２ｃがその周辺部（同一円周上）に形成されている。

プラズマガスは、プラズマガス供給源６からプラズマガス導入口２ｃへ送り込まれる。プラズマガスとしては、例えばアルゴン、窒素、水素、酸素等である。プラズマガス供給源６には、例えば２種類のプラズマガスが準備されている。プラズマガスは、プラズマガス供給源６からリング状のプラズマガス導入口２ｃを介して、矢印ｐで示されるようにプラズマトーチ２内に送り込まれる。そして、高周波発振用コイル２ｂに高周波電流が印加されて、プラズマ炎７が発生する。

なお、石英管２ａの外側は、同心円状に形成された管（図示せず）で囲まれており、この管と石英管２ａとの間に冷却水（図示せず）が循環して、石英管２ａを水冷し、プラズマトーチ２内で発生したプラズマ炎により石英管２ａが高温になりすぎるのを防いでいる。

原材料をプラズマトーチ２内へ供給する原材料供給装置３は、プラズマトーチ２の上部に設けられた導入管２ｄへ管９を介して繋げられている。本発明の特徴は、原材料供給装置３から供給される原材料として、スラリー（泥しょう）が用いられることである。スラリーは、細かい固体の粒子が液体の中に混ざっている、固体と液体との混合物のことである。粉末状にされた原材料（以下、粉末原材料という）を溶媒中に入れて攪拌することによりスラリーにしたものが、原材料供給装置３から供給される。

原材料供給装置３には、スラリー３ａを入れる容器３ｂと、容器３ｂ中のスラリー３ａを攪拌する攪拌機３ｃと、導入管２ｄを介してスラリー３ａに高圧をかけプラズマトーチ２内に供給するためのポンプ３ｄと、噴霧ガス供給源３ｅと、が備えられている。押し出し圧力がかけられた噴霧ガスが、噴霧ガス供給源３ｅからスラリー３ａと共に、矢印ｇで示されるように、導入管２ｄを介してプラズマトーチ２内へ供給される。これにより、スラリー３ａをプラズマトーチ２内に噴霧する。要するに、スラリー３ａを液滴化させることができる。噴霧ガスにはアルゴン、窒素、水素、酸素、空気等が用いられる。このように、スラリーに高圧をかけ、気体である噴霧ガスによりスラリーを噴霧する機構を二流体ノズル機構といい、スラリー３ａを液滴化させる一つの方法として用いられる。

一方、プラズマトーチ２の下方に隣接して設けられたチャンバー４では、微粒子８が生成される。つまり、原料供給装置３からプラズマトーチ２内に噴霧された（液滴化された）スラリーは、プラズマ炎７中で反応してスラリーを蒸発させた気相状態の混合物となり、チャンバー４内で急冷され、微粒子が生成される。

チャンバー４の側方下部には、生成された微粒子を回収する回収部５が設けられている。回収部５は回収室５ａと、回収室５ａ内に設けられたフィルター５ｂと、回収室５ａ上部に設けられた管５ｃを介して繋げられた真空ポンプ（図示せず）と、を備える。生成された微粒子は、真空ポンプ（図示せず）で吸引されることにより、回収室５ａ内に引き込まれ、フィルター５ｂ表面で留まった状態にされて回収される。

（作用）
次に、上述した微粒子の製造装置１の作用を述べつつ、微粒子の製造装置１を用いて、本発明の微粒子の製造方法、及び本発明の製造方法により生成される微粒子について説明する。

本発明の微粒子の製造方法では、まず、粉末原材料を溶媒中に入れてスラリーにする。スラリー中の粉末原材料と溶媒との重量比は、一例として１：１（５０％：５０％）にすることが考えられるが、粉末原材料と溶媒との重量比を適宜変更して、スラリーを作成することが可能である。より具体的には、粉末原材料と溶媒との重量比を例えば、１０％：９０％から６０％：４０％に適宜変更してもよい。

さらに、スラリーを作成する際に、界面活性剤、高分子、カップリング剤よりなる群より選ばれる１種又は２種以上の混合物を添加してもよい。界面活性剤としては、例えばノニオン性界面活性剤であるソルビタン脂肪酸エステル、高分子としては、例えばポリアクリル酸アンモニウム、カップリング剤としては、例えばシランカップリング剤等が用いられる。界面活性剤、高分子、カップリング剤よりなる群より選ばれる１種又は２種以上の混合物をスラリーに添加することにより、粉末原材料が溶媒中で凝集することをより効果的に防いで、スラリーを安定化させることができる。なお、スラリーの溶媒には、例えば、水、アルコール等の液体が用いられる。

上記のようにして作成されたスラリーは、図１に示されるように、原料供給装置３の容器３ｂ内に入れられ、攪拌機３ｃで攪拌される。これにより、溶媒中の粉末原材料が沈殿することを防止し、溶媒中で粉末原材料が分散された状態のスラリー３ａが維持される。

次に、スラリーを液滴化させる。スラリーを液滴化させる方法として、図１に示す微粒子の製造装置１では、噴霧ガス（図示せず）によりスラリー３ａを噴霧する二流体ノズル機構を用いて液滴化している。これのみに限られず、スラリーを液滴化させる他の方法として、噴霧ガスを用いず、スラリーのみを高圧によりプラズマトーチ２内に噴霧する一流体ノズル機構を用いてもよい。さらに他の方法として、例えば、回転している円板上にスラリーを一定速度で落下させて遠心力により液滴化する（液滴を形成する）方法、スラリー表面に高い電圧を印加して液滴化する（液滴を発生させる）方法等が考えられる。

次に、液滴化させたスラリーを熱プラズマ炎７中に導入してスラリーを蒸発させ、気相状態の混合物にする。つまり、液摘化されたスラリーは、プラズマトーチ２内に供給されることにより、プラズマトーチ２内に発生している熱プラズマ炎７中に導入され、蒸発した結果、気相状態の混合物となる。

なお、液滴化されたスラリーがプラズマ炎７中で気相状態になる必要があるため、プラズマ炎７の温度は、プラズマ炎７中に導入される液滴化されたスラリーに含まれる原材料の沸点よりも、高いことが必要である。一方、熱プラズマ炎７の温度が高いほど、容易に原材料が気相状態となるので好ましいが、特に温度は限定されず、原材料に応じて温度が適宜選択される。例えば、熱プラズマ炎７の温度を６０００℃とすることもできるし、理論上は、１００００℃程度に達するものと考えられる。

また、プラズマトーチ２内における熱プラズマ炎７の雰囲気は、大気圧以下であることが好ましい。大気圧以下の雰囲気においては特に限定されないが、例えば２００Ｔｏｒｒ〜６００Ｔｏｒｒであることが考えられる。

熱プラズマ炎７中で反応しスラリーを蒸発させた気相状態の混合物をチャンバー４内で急冷することにより、微粒子８が生成される。生成された微粒子は、真空ポンプ（図示せず）により吸引され、回収部５のフィルター５ｂで回収される。

上述した本発明の製造方法のように、粉末原材料がスラリーにされた状態では、粉末原材料中の凝集が解消され、溶媒中で原材料の粒子が分散した状態となっている。このようなスラリーは粉末原材料粒子が液状化していることにより、原材料の粒子が中に分散された液滴を、プラズマ炎７中に導入することができる。したがって、液滴化されたスラリー中の原材料を、プラズマ炎７中で完全に反応させることができる。その結果、生成される微粒子は組成制御され、不純物や粗大粒子が出来にくく、粒径分布が狭く粒径が均一で、品質の良い高純度の微粒子を製造することができる。

また、液滴化させたスラリーをプラズマトーチ２内に供給するので、粉末原材料を直接供給する従来の場合に比べて、供給量を常に一定に制御することが容易となる。このため、プラズマ炎７中に、常に一定量の液滴化したスラリーを導入して反応させることにより、生成される微粒子は組成制御され、不純物や粗大粒子が出来にくく、粒径分布が狭く粒径が均一で、品質の良い高純度の微粒子を製造することができる。

さらに、粉末原材料はスラリーにされるので、微粒子の原材料となる金属塩を溶媒に溶解させて溶解液とする場合のように、原材料の溶解度による制限がない。つまり、スラリーでは溶媒中に、その溶解度以上の量の粉末原材料を混入させることができる。このため、生成される微粒子の量産性を確保することができる。

さらに、溶媒中に粉末原材料を入れて攪拌するだけでスラリーにすることができるので、原材料を調整する（作成する）等の取り扱いが容易である。

上記のようにして液滴化されたスラリーが、キャリアガス（図１及び図２に図示せず）又は噴霧ガスと共に、プラズマトーチ２内で発生しているプラズマ炎７中に導入される。キャリアガス又は噴霧ガスをスラリーと共に導入することにより、スラリーの均一な液滴化（噴霧）をより一層促すことができる。

キャリアガス又は噴霧ガスとしては、空気、窒素、アルゴン、又は水素等の使用が考えられるが、生成される微粒子が酸化物微粒子の場合には、前記のキャリアガス又は噴霧ガスとして酸素を用いると良い。なお、キャリアガス又は噴霧ガスは必ずしも導入しなくてもよい。

本発明の微粒子の製造方法により製造される微粒子は、その粒度分布幅が狭い、即ち、均一な粒径を有し、粗大粒子の混入が少なく、平均粒径は、１ｎｍから１００ｎｍである。本発明の微粒子の製造方法では、例えば酸化物微粒子、より詳しくは、単体酸化物、複合酸化物、複酸化物、又は酸化物固溶体の微粒子等が製造され得る。ここで、単体酸化物は、酸素以外に１種類の元素からなる酸化物をいい、複合酸化物は、微粒子が複数種類の酸化物から構成されるものをいい、複酸化物は、２種類以上の酸化物から出来ている高次酸化物をいい、酸化物固溶体は、異なる酸化物が互いに均一に溶け合った固体をいう。

単体酸化物の微粒子の場合、微粒子を構成する成分は、原子番号３から５、１１から１４、１９から３１、３７から５０、５５から６０、６２から７７、及び８３の元素よりなる群から選ばれる１種を含む。即ち、単体酸化物の微粒子の場合、微粒子を構成する成分は、原子番号３から５であるＬｉ、Ｂｅ、Ｂ、原子番号１１から１４であるＮａ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｓｉ、原子番号１９から３１であるＫ、Ｃａ、Ｓｃ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｇａ、原子番号３７から５０であるＲｂ、Ｓｒ、Ｙ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｔｃ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ａｇ、Ｃｄ、Ｉｎ、Ｓｎ、原子番号５５から６０であるＣｓ、Ｂａ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、原子番号６２から７７であるＳｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｗ、Ｒｅ、Ｏｓ、Ｉｒ、及び、原子番号８３であるＢｉよりなる群から選ばれる１種の元素を含む。

複合酸化物の微粒子の場合も同様に、微粒子を構成する成分は、原子番号３から５、１１から１４、１９から３１、３７から５０、５５から６０、６２から７７、及び８３の元素よりなる群から選ばれる少なくとも２種類以上の元素を含む。

複酸化物の微粒子の場合も同様に、微粒子を構成する成分は、原子番号３から５、１１から１４、１９から３１、３７から５０、５５から６０、６２から７７、及び８３の元素よりなる群から選ばれる少なくとも２種類以上の元素を含む。より具体的には、複酸化物の微粒子として、例えばチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ_３）に代表されるＡＢＯ_３型ペロブスカイト型酸化物（ただし、Ａは、Ｂａ、Ｓｒ、Ｃａ、B、Ｌａ、及びＰｂからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素を示し、ＢはＴｉ、Ｓｎ、Ｈｆ、Ｃｏ、Ｍｎ、及びＺｒからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素を示す）、ＹＡＧと呼ばれるＹ_３Ａｌ_５Ｏ_１２、ＩＴＯと呼ばれる酸化インジウム（Ｉｎ_２Ｏ_３）と酸化スズ（ＳｎＯ_２）の２種類からなる高次酸化物が挙げられる。

酸化物固溶体の微粒子の場合も同様に、微粒子を構成する成分は、原子番号３から５、１１から１４、１９から３１、３７から５０、５５から６０、６２から７７、及び８３の元素よりなる群から選ばれる少なくとも２種類以上の元素を含む。より具体的には、酸化物固溶体の微粒子として、例えば、チタン酸バリウムに酸化ジルコニウムと酸化カルシウムが固溶した酸化物固溶体（例えば（Ｂａ_０．９Ｃａ_０．１）（Ｔｉ_０．８Ｚｒ_０．２）Ｏ_３）、チタン酸バリウムに酸化ジルコニウムが固溶した酸化物固溶体Ｂａ（Ｚｒ_ｘＴｉ_１−ｘ）Ｏ_３（ここで、ｘは０より大きく１より小さい数字である）、チタン酸バリウムに酸化カルシウムが固溶した酸化物固溶体（Ｃａ_ｘＢａ_１−ｘ）ＴｉＯ_３（ここで、ｘは０より大きく１より小さい数字である）、チタン酸バリウムに酸化二オブ、酸化コバルト、酸化ビスマス、酸化スズ、酸化亜鉛、酸化マンガン、酸化鉛、酸化ストロンチウム、酸化イットリウム、及び希土類酸化物よりなる群から選ばれる少なくとも１種類以上の酸化物が固溶したもの、ＹＡＧと呼ばれるＹ_３Ａｌ_５Ｏ_１２にＴｂがドープされたＹ_３Ａｌ_５Ｏ_１２：Ｔｂ、酸化セリウムに酸化ジルコニウムや酸化カルシウムが固溶したもの、酸化ジルコニウムに酸化チタンや酸化イットリウムが固溶したもの等が挙げられる。

本発明の微粒子の製造方法により、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ_３）の微粒子を製造した。チタン酸バリウムの原料となるスラリーは、溶媒である水に、酸化チタン（ＴｉＯ_２）粉末原材料を入れると共に、バリウム塩（本実施例では、酢酸バリウム）を溶かし込んで、攪拌し作成した。溶媒である水と、酸化チタン及びバリウム塩との重量比は、１：１（５０％：５０％）であった。

また、プラズマトーチ２の高周波発振用コイル２ｂには、約４ＭＨｚ、約８０ｋＶＡの高周波電圧を印加し、プラズマガスとして、アルゴン４０リットル／分、酸素５０リットル／分の混合ガスを用い、プラズマトーチ２内にアルゴン−酸素プラズマを発生させた。また、原料供給装置３の噴霧ガス供給源３ｅからは、１０リットル／分の噴霧ガスを供給した。

チタン酸バリウムのスラリーは、噴霧ガスであるアルゴンと共に、プラズマトーチ２内のプラズマ炎７中に導入された。

（実験結果）
こうして生成されたチタン酸バリウムの微粒子の比表面積（１グラムあたりの表面積）から換算した粒子径は、４０ｎｍであった。本実施例で得られたチタン酸バリウムの微粒子について、走査型電子顕微鏡（以下、ＳＥＭという）による観察写真（観察像）を図３に示す。また、捕集した微粒子の粒度分布、結晶性を、それぞれレーザー回折・散乱装置及び、Ｘ線回折装置（以下、ＸＲＤという）により評価した。

図４は、チタン酸バリウムの微粒子についてのレーザー回折散乱による粒度分布の測定結果を示すグラフである。横軸に粒子径（μｍ）を、縦軸に相対粒子量（％）を表す。図４に示されるように、チタン酸バリウム微粒子の粒度分布の幅は狭く、５０％粒子径（Ｄ_５０）は５０ｎｍであった。なお、５０％粒子径とは、ふるい上が５０％となる粒子径であり、中位径のことである。

図５は、チタン酸バリウムの微粒子についてのＸ線回折装置（以下、ＸＲＤという）による結晶性測定結果を示すグラフである。縦軸に強度を、横軸に回折角度を表す。図５に示される回折角度に現れたピークは、チタン酸バリウムのものであり、他の不純物元素が混入していないことが示されている。これにより、純度が高く品質がよい微粒子が生成されていることがわかる。

本発明の微粒子の製造方法により、酸化物固溶体、要するに異なる酸化物が互いに均一に溶け合った微粒子、具体的には、機能性ＢａＴｉＯ_３微粒子を製造した。本実施例では、チタン酸バリウムに酸化カルシウムと酸化ジルコニウムとが固溶した酸化物固溶体（Ｃａ_０．１Ｂａ_０．９）（Ｚｒ_０．２Ｔｉ_０．８）Ｏ_３（以下、単に固溶体という）の微粒子を製造した。

この微粒子を製造するための原材料となるスラリーは、溶媒である水に、酸化チタン（ＴｉＯ_２）粉末原材料を入れると共に、カルシウム塩及びジルコニウム塩（本実施例では、酢酸カルシウム及びジルコニウム（ＩＶ）アセテートヒドロキシド）を溶かし込んで、攪拌し作成した。溶媒である水と、酸化チタン、酢酸塩、カルシウム塩及びジルコニウム塩との重量比は、１：１（５０％：５０％）であった。

また、プラズマトーチ２の高周波発振用コイル２ｂには、約４ＭＨｚ、約８０ｋＶＡの高周波電圧を印加し、プラズマガスとして、アルゴン４０リットル／分、酸素５０リットル／分の混合ガスを用い、プラズマトーチ２内にアルゴン−酸素プラズマを発生させた。また、原料供給装置３からは、１０リットル／分の噴霧ガスを供給した。

本実施例のスラリーは噴霧ガスであるアルゴンと共に、プラズマトーチ２内のプラズマ炎７中に導入された。

こうして、チタン酸バリウムにカルシウムとジルコニアが固溶した酸化物固溶体（Ｃａ_０．１Ｂａ_０．９）（Ｚｒ_０．２Ｔｉ_０．８）Ｏ_３が生成された。

（実験結果）
実施例２で生成された微粒子の比表面積（１グラムあたりの表面積）から換算した粒子径は、３５ｎｍであった。実施例２で得られた酸化物固溶体の微粒子について、ＳＥＭによる観察写真を図６に示す。図６に示されるように、微粒子の粒径分布幅は狭く、均一な細かい微粒子が生成されていることがわかる。

また、実施例２で捕集した微粒子の結晶性を、ＸＲＤにより評価した。図７は、実施例２で生成された酸化物固溶体の微粒子についてのＸＲＤによる結晶性測定結果を示すグラフである。縦軸に強度を、横軸に回折角度を表す。図７に示される回折角度に現れたピークは、チタン酸バリウムにカルシウムとジルコニアとが固溶した酸化物固溶体（Ｃａ_０．１Ｂａ_０．９）（Ｚｒ_０．２Ｔｉ_０．８）Ｏ_３のものであり、他の不純物元素が混入していないことが示されている。つまり、実施例２により生成された酸化物固溶体（Ｃａ_０．１Ｂａ_０．９）（Ｚｒ_０．２Ｔｉ_０．８）Ｏ_３の回折角度に表れるピークは、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ_３）の場合の回折角度に表れるピークと比べてほぼ等しい。これにより、完全に反応された純度が高く品質がよい酸化物固溶体の微粒子が生成されていることがわかる。

なお、本発明の製造方法による微粒子が均一であることは、上記実施例１、２により製造された各微粒子のＳＥＭによる観察写真（図３、図６）を、図８に示す従来の製造方法による微粒子のＳＥＭ観察写真と対比すると、よりわかりやすい。図８は、粉末原材料を直接プラズマ炎中に導入して製造した従来の製造方法による微粒子のＳＥＭによる観察写真である。図８には、ＢａＴｉＯ_３の微粒子のＳＥＭによる観察写真が示されている。

図８では、微粒子に混じって粉末原材料の凝集体が原因で生じた粒径の大きな粒子（粗大粒子）が混入している様子が一見してわかる。これに対し、図３、図６に示す本発明の製造方法による微粒子は、非常に粒度分布幅が狭く均一で、粉末原材料の凝集体が原因で生じた粒径の大きな粒子（粗大粒子）が存在していないことがわかる。

同様に、本発明の製造方法による微粒子の粒子径が、従来の微粒子の粒径に比べて細かく均一であることは、図４に示した本発明の製造方法による微粒子についてのレーザー回折・散乱法による粒度分布の測定結果を示すグラフを、従来の製造方法による微粒子についてのものと比べるとよくわかる。図９は、従来の製造方法による微粒子（例えばＢａＴｉＯ_３）についてのレーザー回折・散乱法による粒度分布の測定結果を示すグラフである。図９の従来の製造方法による微粒子の粒子径は、約０．１μｍより大きく粒度分布幅も広くなっている。これに対し、図４の本発明の製造方法による微粒子の粒子径は、０．１μｍより大きなものが存在しておらず、粒度分布幅も狭くなっていることがわかる。

また同様に、本発明の製造方法による微粒子が、従来の微粒子に比べて純度が高いことは、図５及び図７に示した本発明の製造方法による各微粒子についてのＸＲＤによる結晶性測定結果を示すグラフを、従来の製造方法による微粒子のものと比べるとよくわかる。図１０は、従来の製造方法による微粒子（例えば、複酸化物ＢａＴｉＯ_３をチタン金属および炭酸バリウム粉末を用いて調製した場合）についてのＸＲＤによる結晶性測定結果を示すグラフである。図１０に示される回折角度に現れたピークにはＢａＴｉＯ_３だけでなく、ＴiＯ_２やＢaＣＯ_３のピークも確認され、完全に反応されておらず不純物が多いことがわかる。これに対し、図５及び図７では、回折角度に表れるピークがそれぞれＢａＴｉＯ_３及び（Ｃａ_０．１Ｂａ_０．９）（Ｚｒ_０．２Ｔｉ_０．８）Ｏ_３だけであり、不純物が含まれない純度高い微粒子が生成されていることがわかる。

以上、本発明に係る微粒子及びその製造方法の最良の形態を実施例に基づいて説明したが、本発明は特にこのような実施例に限定されることなく、特許請求の範囲記載の技術的事項の範囲内でいろいろな実施例があることはいうまでもない。

本発明の活用例として、例えばセラミックコンデンサ等の電子材料、機能性材料、蛍光体材料、半導体基板、プリント基板、各種電気絶縁部品等の電気絶縁材料、切削工具等の高硬度高精度の機械工作材料、精密焼結成形材料等の焼結体製造、エンジンのバルブ等のような高温耐摩耗性が要求される材料等に用いることができる。

本発明の微粒子の製造方法を実施するための微粒子の製造装置の全体構成を示す模式図である。 プラズマトーチ付近の部分拡大図である 実施例１で得られたチタン酸バリウムの微粒子について、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）による観察写真を示す図である。 実施例1で得られたチタン酸バリウムの微粒子についてのレーザー回折散乱による粒度分布の測定結果を示すグラフである。 実施例１で得られたチタン酸バリウムの微粒子についてのＸ線回折装置（ＸＲＤ）による結晶性測定結果を示すグラフである。 実施例２で得られた酸化物固溶体の微粒子についてのＳＥＭによる観察写真を示す図である。 実施例２で生成された酸化物固溶体の微粒子についてのＸＲＤによる結晶性測定結果を示すグラフである。 従来の微粒子の製造方法により製造された微粒子について、ＳＥＭによる観察写真を示す図である。 従来の微粒子の製造方法により製造された微粒子についてのレーザー回折散乱による粒度分布の測定結果を示すグラフである。 従来の微粒子の製造方法により製造された微粒子についてのＸＲＤによる結晶性測定結果を示すグラフである。

符号の説明

１ 微粒子の製造装置
２ プラズマトーチ
２ａ 石英管
２ｂ 高周波発振用コイル
２ｃ プラズマガス導入口
２ｄ 導入管
３ 原料供給装置
３ａ スラリー
３ｂ 容器
３ｃ 攪拌機
３ｄ ポンプ
３ｅ 噴霧ガス供給源
４ チャンバー
５ 回収部
５ａ 回収室
５ｂ フィルター
５ｃ 管
６ プラズマガス供給源
７ プラズマ炎
８ 微粒子
９ 管

Claims (6)

1. 粉末原材料を溶媒中に入れてスラリーにし、
   前記スラリーを液滴化させ、
   前記液滴化させたスラリーを熱プラズマ炎中に導入して該スラリーを蒸発させ気相状態の混合物にし、
   前記スラリーを蒸発させた前記気相状態の混合物を急冷することにより、微粒子を生成することを特徴とする微粒子の製造方法。
2. 前記スラリーに界面活性剤、高分子、カップリング剤よりなる群より選ばれる１種又は２種以上の混合物を添加することを特徴とする請求項１記載の微粒子の製造方法。
3. 粉末原材料を溶媒中に入れてスラリーにし、
   前記スラリーを液滴化させ、
   前記液滴化させたスラリーを熱プラズマ炎中に供給して該スラリーを蒸発させ気相状態の混合物にし、
   前記スラリーを蒸発させた前記気相状態の混合物を急冷することにより、微粒子を生成する微粒子の製造方法により製造されることを特徴とする微粒子。
4. 前記微粒子の平均粒径は、１ｎｍから１００ｎｍであることを特徴とする請求項３記載の微粒子。
5. 前記微粒子は、単体酸化物、複合酸化物、複酸化物、又は酸化物固溶体であることを特徴とする請求項３又は４に記載の微粒子。
6. 前記微粒子を構成する成分は、原子番号３から５、１１から１４、１９から３１、３７から５０、５５から６０、６２から７７、及び８３の元素よりなる群から選ばれる少なくとも１種を含む、単体酸化物、複合酸化物、複酸化物、又は、酸化物固溶体であることを特徴とする請求項３から５のいずれかに記載の微粒子。

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