JP2007211333A - タングステン超微粉及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 不活性ガスと水素ガスを含む還元性雰囲気中において、WO3のようなタングステン化合物を熱プラズマにより気化させ、得られたタングステン蒸気を凝縮させて微粉化させることにより、平均粒径が100nm以下であり、粒径の幾何標準偏差が1.35以下であるタングステン超微粉を製造する。得られたタングステン超微粉は、酸素を含む不活性ガス雰囲気中で徐酸化処理することにより、表面にタングステン酸化物の薄膜を形成することが好ましい。
【選択図】 図3
Description
図1に示した高周波プラズマ微粉製造装置を用いて、タングステン超微粉を製造した。即ち、プラズマガス供給口2からプラズマガスとしてアルゴンを30リットル/分で供給すると共に、シースガス供給口3からシースガスとしてアルゴンガスを85リットル/分及び水素ガスを5リットル/分の流量で混合して供給し、プラズマトーチ1に約40kWの入力で高周波プラズマを点火して、安定したプラズマ炎5を得た。
シースガス供給口3からシースガスとしてアルゴンガスを80リットル/分及び水素ガスを10リットル/分の流量で混合して供給した以外は、上記実施例1と同様にしてタングテン超微粉を製造した。
原料粉末として、金属タングステン粉末((株)高純度化学研究所製、WWE06PB、粒径3μm、純度99.9%)を用いた以外は、上記実施例1と同様にしてタングステン超微粉を製造した。
2 プラズマガス供給口
3 シースガス供給口
4 原料粉末供給口
5 プラズマ炎
6 プラズマ尾炎部
7 反応チャンバー
8 冷却チャンバー
9 回収装置
Claims (6)
- 不活性ガスと水素ガスを含む還元性雰囲気中において、タングステン化合物を熱プラズマにより気化させ、得られたタングステン蒸気を凝縮させて微粉化させることを特徴とするタングステン超微粉の製造方法。
- 熱プラズマが高周波プラズマであることを特徴とする、請求項1に記載のタングステン超微粉の製造方法。
- タングステン化合物が酸化物であることを特徴とする、請求項1又は2に記載のタングステン超微粉の製造方法。
- 得られたタングステン超微粉を、酸素を含む不活性ガス雰囲気中で徐酸化処理することを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載のタングステン超微粉の製造方法。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の製造方法で得られたタングステン超微粉であって、平均粒径が100nm以下であり、粒径の幾何標準偏差が1.35以下であることを特徴とするタングステン超微粉。
- 請求項4に記載の製造方法で得られたタングステン超微粉であって、平均粒径が100nm以下、粒径の幾何標準偏差が1.35以下であって、表面がタングステン酸化物の薄膜で覆われていることを特徴とするタングステン超微粉。
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