JPH11119801A - プロセス制御装置 - Google Patents
プロセス制御装置Info
- Publication number
- JPH11119801A JPH11119801A JP27865097A JP27865097A JPH11119801A JP H11119801 A JPH11119801 A JP H11119801A JP 27865097 A JP27865097 A JP 27865097A JP 27865097 A JP27865097 A JP 27865097A JP H11119801 A JPH11119801 A JP H11119801A
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- JP
- Japan
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- processing
- abort
- recipe
- event
- occurrence
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- Withdrawn
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- Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
- Safety Devices In Control Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 アボート発生時、実行中のイベントにより、
必要な後処理を行い、または、そのまま処理を継続す
る、安全で高効率のプロセス制御装置を提供する。 【解決手段】 レシピデータ格納部１４は、プロセス制
御装置１０が実行する各種のイベントのそれぞれに対応
して、そのイベント実行中のアボート発生に対する処理
内容ＮＯＰ，ＨＯＬＤ，ＳＴＥＰ ＪＵＭＰを記憶して
いる。レシピ実行動作制御部１５は、アボートが発生す
ると、実行中のイベントに対応するアボート発生時の処
理内容を前記レシピデータ格納部１４から検索し、検索
した前記処理内容に従って前記アボート発生後の処理を
実行する。前記処理内容としては、アボート発生時に、
実行中のイベントに最も好適な後処理が対応するように
設定される。この設定により、レシピ処理を単純に終了
させないので、稼働中であった装置を破壊させたり、不
必要な終了処理で時間効率を低下させたりするというこ
ともなくなる。
必要な後処理を行い、または、そのまま処理を継続す
る、安全で高効率のプロセス制御装置を提供する。 【解決手段】 レシピデータ格納部１４は、プロセス制
御装置１０が実行する各種のイベントのそれぞれに対応
して、そのイベント実行中のアボート発生に対する処理
内容ＮＯＰ，ＨＯＬＤ，ＳＴＥＰ ＪＵＭＰを記憶して
いる。レシピ実行動作制御部１５は、アボートが発生す
ると、実行中のイベントに対応するアボート発生時の処
理内容を前記レシピデータ格納部１４から検索し、検索
した前記処理内容に従って前記アボート発生後の処理を
実行する。前記処理内容としては、アボート発生時に、
実行中のイベントに最も好適な後処理が対応するように
設定される。この設定により、レシピ処理を単純に終了
させないので、稼働中であった装置を破壊させたり、不
必要な終了処理で時間効率を低下させたりするというこ
ともなくなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体製造装置
に使用されるプロセス制御装置に関し、特に、アボート
発生時において実行中のイベントをどのように処理する
かに特徴のあるプロセス制御装置に関する。
に使用されるプロセス制御装置に関し、特に、アボート
発生時において実行中のイベントをどのように処理する
かに特徴のあるプロセス制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の半導体製造装置に使用さ
れるプロセス制御装置は、アボートが発生した場合に、
実行していたレシピ処理のイベントによっては、安全等
のために必要な後処理を行ってから、実行中のレシピ処
理を終了すべきものもあるのに、アボートの発生に従っ
て、実行していたレシピ処理をそのまま終了している。
また、逆にアボートが発生しても、そのアボートは、プ
ロセス処理に直接関係がなく、実行中のレシピ処理を継
続できる場合でもそのレシピ処理を終了している。
れるプロセス制御装置は、アボートが発生した場合に、
実行していたレシピ処理のイベントによっては、安全等
のために必要な後処理を行ってから、実行中のレシピ処
理を終了すべきものもあるのに、アボートの発生に従っ
て、実行していたレシピ処理をそのまま終了している。
また、逆にアボートが発生しても、そのアボートは、プ
ロセス処理に直接関係がなく、実行中のレシピ処理を継
続できる場合でもそのレシピ処理を終了している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のプロセ
ス制御装置は、アボートが発生した場合に、実行してい
たレシピ処理のイベントによって、安全等のために必要
な後処理を行ってから、実行していたレシピ処理を終了
しないので、実行していたレシピ処理のイベントによっ
ては、稼働中であった装置を破壊する等の重大な事故を
発生させる危険が高いという問題がある。また、逆にア
ボートが発生しても、そのアボートは、プロセス処理に
直接関係が無く、実行中のレシピ処理を継続できる場合
でもそのレシピ処理を終了しているので、プロセス時間
を浪費するという問題もある。
ス制御装置は、アボートが発生した場合に、実行してい
たレシピ処理のイベントによって、安全等のために必要
な後処理を行ってから、実行していたレシピ処理を終了
しないので、実行していたレシピ処理のイベントによっ
ては、稼働中であった装置を破壊する等の重大な事故を
発生させる危険が高いという問題がある。また、逆にア
ボートが発生しても、そのアボートは、プロセス処理に
直接関係が無く、実行中のレシピ処理を継続できる場合
でもそのレシピ処理を終了しているので、プロセス時間
を浪費するという問題もある。
【０００４】この発明は、上記の問題に鑑み、アボート
発生時に従来のように単純に実行中のレシピ処理を終了
するのではなく、実行していたイベントにより、必要で
あれば事故を防ぐような後処理を適切に行った上で終了
を実行し、終了が不必要であればそのままレシピ処理を
継続するようにして、安全で時間効率の良いプロセス制
御装置を提供することを目的とする。
発生時に従来のように単純に実行中のレシピ処理を終了
するのではなく、実行していたイベントにより、必要で
あれば事故を防ぐような後処理を適切に行った上で終了
を実行し、終了が不必要であればそのままレシピ処理を
継続するようにして、安全で時間効率の良いプロセス制
御装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前述した課題を解決する
ために、この発明は、半導体製造装置に使用されるプロ
セス制御装置において、前記プロセス制御装置が実行す
る各種のイベントのそれぞれに対応して、そのイベント
実行中のアボート発生に対する処理内容を記憶している
記憶手段と、アボートが発生すると、実行中のイベント
に対応するアボート発生時の処理内容を前記記憶手段か
ら検索し、検索した前記処理内容に従って前記アボート
発生後の処理を実行する制御手段とを有する。
ために、この発明は、半導体製造装置に使用されるプロ
セス制御装置において、前記プロセス制御装置が実行す
る各種のイベントのそれぞれに対応して、そのイベント
実行中のアボート発生に対する処理内容を記憶している
記憶手段と、アボートが発生すると、実行中のイベント
に対応するアボート発生時の処理内容を前記記憶手段か
ら検索し、検索した前記処理内容に従って前記アボート
発生後の処理を実行する制御手段とを有する。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて添付図面に基づいて説明する。図１は、この発明に
係わるプロセス制御装置の構成を示すブロック図、図２
は、あるレシピのイベントが実行されている際にアボー
トが発生すると、実行されているイベントにおけるアボ
ート発生に対応して行われる後処理の項目が記憶されて
いるところを示す図である。なお、図１のプロセス制御
装置は、半導体製造装置に使用されるものとして説明を
進める。
いて添付図面に基づいて説明する。図１は、この発明に
係わるプロセス制御装置の構成を示すブロック図、図２
は、あるレシピのイベントが実行されている際にアボー
トが発生すると、実行されているイベントにおけるアボ
ート発生に対応して行われる後処理の項目が記憶されて
いるところを示す図である。なお、図１のプロセス制御
装置は、半導体製造装置に使用されるものとして説明を
進める。
【０００７】図１に示されるように、半導体製造装置に
用いられたプロセス制御装置１０は、操作パネルから指
令やデータ等を入力するためのキー操作部１１と、キー
操作部１１からの入力を後続の各部に伝達するキー操作
制御部１２と、レシピ作成を制御するレシピ作成部１３
と、レシピ作成部１３が作成したレシピのデータを格納
する記憶手段としてのレシピデータ格納部１４と、キー
操作制御部１２からの指示に基づいて、レシピデータ格
納部１４に格納されたレシピを実行する制御手段として
のレシピ実行動作制御部１５と、レシピ処理動作に関す
る各種データを表示する表示部１６とから構成されてい
る。
用いられたプロセス制御装置１０は、操作パネルから指
令やデータ等を入力するためのキー操作部１１と、キー
操作部１１からの入力を後続の各部に伝達するキー操作
制御部１２と、レシピ作成を制御するレシピ作成部１３
と、レシピ作成部１３が作成したレシピのデータを格納
する記憶手段としてのレシピデータ格納部１４と、キー
操作制御部１２からの指示に基づいて、レシピデータ格
納部１４に格納されたレシピを実行する制御手段として
のレシピ実行動作制御部１５と、レシピ処理動作に関す
る各種データを表示する表示部１６とから構成されてい
る。
【０００８】上述のレシピ実行動作制御部１５におい
て、レシピを処理する際に実行している各イベントＥ
１，Ｅ２，〜，Ｅｎ毎に、アボートが発生した場合の処
理について図２に示すように各イベントＥ１，Ｅ２，
〜，Ｅｎに対応して実行内容が設定項目として設定され
ている。また、この設定項目およびその処理内容の詳細
は、各イベントＥ１，Ｅ２，〜，Ｅｎに対応するように
レシピデータ格納部１４（あるいは、レシピ実行動作制
御部１５等）に格納されている。
て、レシピを処理する際に実行している各イベントＥ
１，Ｅ２，〜，Ｅｎ毎に、アボートが発生した場合の処
理について図２に示すように各イベントＥ１，Ｅ２，
〜，Ｅｎに対応して実行内容が設定項目として設定され
ている。また、この設定項目およびその処理内容の詳細
は、各イベントＥ１，Ｅ２，〜，Ｅｎに対応するように
レシピデータ格納部１４（あるいは、レシピ実行動作制
御部１５等）に格納されている。
【０００９】例えば、イベントに対応させるべき処理項
目ＮＯＰ，ＨＯＬＤ，ＳＴＥＰ ＪＵＭＰ，ＳＹＳＴＥ
Ｍ ＲＥＣＩＰＥ，ＥＮＤ，ＲＥＳＥＴについて、その
内容は、以下のように設定されている。すなわち、 ＮＯＰ・・・アボート機能を使用しない。 ＨＯＬＤ・・・アボートを受けたときのステップが終了
した時点（設定されたステップ時間が経過した時点）
で、ホールドモードになり、ホールド時間をカウントア
ップし、キー操作部１１からの指示により次の処理に移
行する（例えば、［ＪＵＭＰ］ボタンにタッチし、ジャ
ンプ先を指定するか、あるいは、［ＳＫＩＰ］ボタンと
［Ｎ／Ｌ Ｒ］ボタンとをタッチすることにより、ホー
ルドを解除してプロセス処理の実行を再開する。さら
に、
目ＮＯＰ，ＨＯＬＤ，ＳＴＥＰ ＪＵＭＰ，ＳＹＳＴＥ
Ｍ ＲＥＣＩＰＥ，ＥＮＤ，ＲＥＳＥＴについて、その
内容は、以下のように設定されている。すなわち、 ＮＯＰ・・・アボート機能を使用しない。 ＨＯＬＤ・・・アボートを受けたときのステップが終了
した時点（設定されたステップ時間が経過した時点）
で、ホールドモードになり、ホールド時間をカウントア
ップし、キー操作部１１からの指示により次の処理に移
行する（例えば、［ＪＵＭＰ］ボタンにタッチし、ジャ
ンプ先を指定するか、あるいは、［ＳＫＩＰ］ボタンと
［Ｎ／Ｌ Ｒ］ボタンとをタッチすることにより、ホー
ルドを解除してプロセス処理の実行を再開する。さら
に、
【００１０】ＳＴＥＰ ＪＵＭＰ・・・アボート発生時
に、指定されたステップ（例えば、指定範囲ＳＴＥＰ０
２１〜１２７のステップ）にジャンプする。 ＳＹＳＴＥＭ ＲＥＣＩＰＥ・・・アボート発生時に、
指定されたシステムレシピ（サブレシピ：例えば、指定
範囲ＳＴＥＰ００１〜０２０のステップ）にジャンプす
る。 ＥＮＤ・・・アボート発生時に、エンドモードになる。 ＲＥＳＥＴ・・・アボート発生時に、リセットモードに
なる。 のように設定されている。
に、指定されたステップ（例えば、指定範囲ＳＴＥＰ０
２１〜１２７のステップ）にジャンプする。 ＳＹＳＴＥＭ ＲＥＣＩＰＥ・・・アボート発生時に、
指定されたシステムレシピ（サブレシピ：例えば、指定
範囲ＳＴＥＰ００１〜０２０のステップ）にジャンプす
る。 ＥＮＤ・・・アボート発生時に、エンドモードになる。 ＲＥＳＥＴ・・・アボート発生時に、リセットモードに
なる。 のように設定されている。
【００１１】したがって、動作例を説明するために図２
を参照すると、次のことが明らかである。すなわち、イ
ベントＥ１のときにアボートが発生する（例えば、ＥＮ
Ｄキーが押される）と、レシピ実行動作制御部１５は、
イベントＥ１時のアボートにはＮＯＰが指示されている
ことを図２から検出できる。そこで、レシピ実行動作制
御部１５は、ＮＯＰに対応する処理内容、すなわち、上
述されたように“アボート機能を実行しない”との内容
を実行することにより、不必要なレシピ処理の終了を行
わずに現行の処理を継続する。したがって、プロセス処
理から無駄な時間を削除することができる。
を参照すると、次のことが明らかである。すなわち、イ
ベントＥ１のときにアボートが発生する（例えば、ＥＮ
Ｄキーが押される）と、レシピ実行動作制御部１５は、
イベントＥ１時のアボートにはＮＯＰが指示されている
ことを図２から検出できる。そこで、レシピ実行動作制
御部１５は、ＮＯＰに対応する処理内容、すなわち、上
述されたように“アボート機能を実行しない”との内容
を実行することにより、不必要なレシピ処理の終了を行
わずに現行の処理を継続する。したがって、プロセス処
理から無駄な時間を削除することができる。
【００１２】また、イベントＥ２のときにアボートが発
生する（例えば、ＥＮＤキーが押される）と、レシピ実
行動作制御部１５は、イベントＥ２時のアボートにはＨ
ＯＬＤが指示されていることを検出する。そこで、レシ
ピ実行動作制御部１５は、ＨＯＬＤに対応する処理内
容、すなわち、“アボートを受けたときのステップが終
了した時点（設定されたステップ時間が経過した時点）
で、ホールドモードになり、ホールド時間をカウントア
ップし、キー操作部１１からの指示により次の処理に移
行する（例えば、［ＪＵＭＰ］ボタンにタッチし、ジャ
ンプ先を指定するか、あるいは、［ＳＫＩＰ］ボタンと
［Ｎ／Ｌ Ｒ］ボタンとをタッチすることにより、ホー
ルドを解除してプロセス処理の実行を再開する。”を実
行することにより、アボートに対応してキータッチによ
り適切な処理を選択することができる）。
生する（例えば、ＥＮＤキーが押される）と、レシピ実
行動作制御部１５は、イベントＥ２時のアボートにはＨ
ＯＬＤが指示されていることを検出する。そこで、レシ
ピ実行動作制御部１５は、ＨＯＬＤに対応する処理内
容、すなわち、“アボートを受けたときのステップが終
了した時点（設定されたステップ時間が経過した時点）
で、ホールドモードになり、ホールド時間をカウントア
ップし、キー操作部１１からの指示により次の処理に移
行する（例えば、［ＪＵＭＰ］ボタンにタッチし、ジャ
ンプ先を指定するか、あるいは、［ＳＫＩＰ］ボタンと
［Ｎ／Ｌ Ｒ］ボタンとをタッチすることにより、ホー
ルドを解除してプロセス処理の実行を再開する。”を実
行することにより、アボートに対応してキータッチによ
り適切な処理を選択することができる）。
【００１３】上述のイベントＥ３のときにアボートが発
生すると、レシピ実行動作制御部１５は、イベントＥ３
の時のアボートにはＳＴＥＰ ＪＵＭＰが指示されてい
ることを検出する。そこで、レシピ実行動作制御部１５
は、ＳＴＥＰ ＪＵＭＰに対応する処理内容、すなわ
ち、“アボート発生時に、指定されたステップ（例え
ば、指定範囲ＳＴＥＰ０２１〜１２７のステップ）にジ
ャンプする。”そこで、指定されたステップの事故を回
避する処理内容等を実行することによって、イベントＥ
３で終了して、稼働中であった装置を破壊する等の重大
な事故の発生を防止できる。
生すると、レシピ実行動作制御部１５は、イベントＥ３
の時のアボートにはＳＴＥＰ ＪＵＭＰが指示されてい
ることを検出する。そこで、レシピ実行動作制御部１５
は、ＳＴＥＰ ＪＵＭＰに対応する処理内容、すなわ
ち、“アボート発生時に、指定されたステップ（例え
ば、指定範囲ＳＴＥＰ０２１〜１２７のステップ）にジ
ャンプする。”そこで、指定されたステップの事故を回
避する処理内容等を実行することによって、イベントＥ
３で終了して、稼働中であった装置を破壊する等の重大
な事故の発生を防止できる。
【００１４】
【発明の効果】以上に詳述したように、第１の発明に係
わるプロセス制御装置は、半導体製造装置に使用される
ものであって、前記プロセス制御装置が実行する各種の
イベントのそれぞれに対応して、そのイベント実行中の
アボート発生に対する処理内容を記憶している記憶手段
と、アボートが発生すると、実行中のイベントに対応す
るアボート発生時の処理内容を前記記憶手段から検索
し、検索した前記処理内容に従って前記アボート発生後
の処理を実行する制御手段とを有することによって、ア
ボート発生時に、実行中のイベントに最も好適な後処理
を対応させることができる。したがって、アボート発生
時に従来のように単純に実行中のレシピ処理を終了し
て、実行中のレシピによっては、稼働中であった装置を
破壊する等の重大な事故を発生させたり、不必要な終了
処理を行って時間効率を低下させたりする事が無く、安
全で効率的なプロセス制御装置を実現できるという効果
がある。
わるプロセス制御装置は、半導体製造装置に使用される
ものであって、前記プロセス制御装置が実行する各種の
イベントのそれぞれに対応して、そのイベント実行中の
アボート発生に対する処理内容を記憶している記憶手段
と、アボートが発生すると、実行中のイベントに対応す
るアボート発生時の処理内容を前記記憶手段から検索
し、検索した前記処理内容に従って前記アボート発生後
の処理を実行する制御手段とを有することによって、ア
ボート発生時に、実行中のイベントに最も好適な後処理
を対応させることができる。したがって、アボート発生
時に従来のように単純に実行中のレシピ処理を終了し
て、実行中のレシピによっては、稼働中であった装置を
破壊する等の重大な事故を発生させたり、不必要な終了
処理を行って時間効率を低下させたりする事が無く、安
全で効率的なプロセス制御装置を実現できるという効果
がある。
【図１】この発明に係わるプロセス制御装置の構成を示
すブロック図である。
すブロック図である。
【図２】あるレシピのイベントが実行されている際にア
ボートが発生すると、実行されているイベントにおける
アボート発生に対応して行われる後処理の項目が記憶さ
れているところを示す図である。
ボートが発生すると、実行されているイベントにおける
アボート発生に対応して行われる後処理の項目が記憶さ
れているところを示す図である。
１０ プロセス制御装置 １１ キー操作部 １２ キー操作制御部 １３ レシピ作成部 １４ レシピデータ格納部 １５ レシピ実行動作制御部 １６ 表示部
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体製造装置に使用されるプロセス制
御装置において、 前記プロセス制御装置が実行する各種のイベントのそれ
ぞれに対応して、そのイベント実行中のアボート発生に
対する処理内容を記憶している記憶手段と、 アボートが発生すると、実行中のイベントに対応するア
ボート発生時の処理内容を前記記憶手段から検索し、検
索した前記処理内容に従って前記アボート発生後の処理
を実行する制御手段とを有することを特徴とするプロセ
ス制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27865097A JPH11119801A (ja) | 1997-10-13 | 1997-10-13 | プロセス制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27865097A JPH11119801A (ja) | 1997-10-13 | 1997-10-13 | プロセス制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11119801A true JPH11119801A (ja) | 1999-04-30 |
Family
ID=17600244
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27865097A Withdrawn JPH11119801A (ja) | 1997-10-13 | 1997-10-13 | プロセス制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11119801A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2481739A (en) * | 2007-05-15 | 2012-01-04 | Fisher Rosemount Systems Inc | Method and system to resolve inconsistencies in a process control system |
-
1997
- 1997-10-13 JP JP27865097A patent/JPH11119801A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2481739A (en) * | 2007-05-15 | 2012-01-04 | Fisher Rosemount Systems Inc | Method and system to resolve inconsistencies in a process control system |
| GB2481739B (en) * | 2007-05-15 | 2012-07-04 | Fisher Rosemount Systems Inc | Methods and systems for batch processing and execution in a process system |
| US9804589B2 (en) | 2007-05-15 | 2017-10-31 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Methods and systems for batch processing and execution in a process system |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050104 |