JPH1072668A5 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH1072668A5
JPH1072668A5 JP1996231712A JP23171296A JPH1072668A5 JP H1072668 A5 JPH1072668 A5 JP H1072668A5 JP 1996231712 A JP1996231712 A JP 1996231712A JP 23171296 A JP23171296 A JP 23171296A JP H1072668 A5 JPH1072668 A5 JP H1072668A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
mounting frame
denotes
reference numeral
color filter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1996231712A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JPH1072668A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP23171296A priority Critical patent/JPH1072668A/ja
Priority claimed from JP23171296A external-priority patent/JPH1072668A/ja
Publication of JPH1072668A publication Critical patent/JPH1072668A/ja
Publication of JPH1072668A5 publication Critical patent/JPH1072668A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

JP23171296A 1996-09-02 1996-09-02 基板支持具ならびに該支持具を用いた薄膜の製造方法およびその製造装置 Pending JPH1072668A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23171296A JPH1072668A (ja) 1996-09-02 1996-09-02 基板支持具ならびに該支持具を用いた薄膜の製造方法およびその製造装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23171296A JPH1072668A (ja) 1996-09-02 1996-09-02 基板支持具ならびに該支持具を用いた薄膜の製造方法およびその製造装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH1072668A JPH1072668A (ja) 1998-03-17
JPH1072668A5 true JPH1072668A5 (https=) 2004-09-16

Family

ID=16927838

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP23171296A Pending JPH1072668A (ja) 1996-09-02 1996-09-02 基板支持具ならびに該支持具を用いた薄膜の製造方法およびその製造装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH1072668A (https=)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001326075A (ja) * 2000-05-18 2001-11-22 Tohoku Pioneer Corp 有機ｅｌ素子の製造方法
JP4707271B2 (ja) * 2001-06-29 2011-06-22 三洋電機株式会社 エレクトロルミネッセンス素子の製造方法
JP2003017254A (ja) * 2001-06-29 2003-01-17 Sanyo Electric Co Ltd エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法
JP4612516B2 (ja) * 2005-09-29 2011-01-12 大日本印刷株式会社 スパッタ装置およびスパッタ装置用キャリア
KR100722099B1 (ko) 2005-12-16 2007-05-25 삼성에스디아이 주식회사 기판 지지대 및 그 제조 방법
JP5055776B2 (ja) * 2006-02-03 2012-10-24 大日本印刷株式会社 成膜装置
JP5145640B2 (ja) * 2006-02-03 2013-02-20 大日本印刷株式会社 基板ホルダー部および成膜装置
JP4872784B2 (ja) * 2007-05-01 2012-02-08 株式会社Ｉｈｉ 基板搬送装置
CN105189811B (zh) * 2013-03-15 2017-06-09 应用材料公司 用于基板的运送器及运送基板的方法
CN107574426B (zh) * 2013-03-15 2020-06-09 应用材料公司 用于基板的载具
CN106637125B (zh) * 2017-01-09 2019-04-12 京东方科技集团股份有限公司 一种基板承载机构及其使用方法、蒸镀装置
JP7363373B2 (ja) * 2018-11-15 2023-10-18 日本電気硝子株式会社 成膜治具及び成膜方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH1072668A5 (https=)
US4037111A (en) Mask structures for X-ray lithography
SE451787B (sv) Forfarande for framstellning av en matris som er lempad for duplicering av informationsberare av plast, samt matris framstelld genom forfarandet
ATE467910T1 (de) Photoelektrische dünnschicht- umwandlungsvorrichtung und verfahren zur abscheidung durch zerstäubung
JPS59200761A (ja) スパツタリングタ−ゲツト支持装置
JPH09111451A (ja) プレート体構造を着脱可能に固定するための装置
JPH1072668A (ja) 基板支持具ならびに該支持具を用いた薄膜の製造方法およびその製造装置
CN106544638A (zh) 一种拼装型的掩模板装置
CA2215578A1 (en) Process for manufacturing a cover glass with a viewing field
US5375517A (en) Method and apparatus for screen printing
CN110172667B (zh) 一种应用于溅镀设备中的夹持装置和溅镀设备
JPH0596059U (ja) 基板保持装置
CN210438831U (zh) 一种超大尺寸厚片晶体镀膜夹具
JPS5928570A (ja) 真空装置用治具
CN221608176U (zh) 一种斜窗片外侧镀金用的溅射工装
JPS55123130A (en) Plasma treating device
JPS5831077A (ja) マスク構造体
JPS61147869A (ja) 部分金属蒸着層形成方法
JP2584269Y2 (ja) メッキ用ガラス原盤取付治具
CN212905544U (zh) 一种镜片镀膜板拆装卡扣装置
JPH04187769A (ja) ドライコーティングプロセスにおける基板ホルダ
JPH04125447A (ja) プラスチック表面ブリード物の分析方法
JP4319757B2 (ja) ペリクルの製造方法
JPH06102407A (ja) レプリカ回折格子
JPS56144676A (en) Supporting device for solid state image pickup element