JPH06102407A - レプリカ回折格子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】超高真空中でベーキングに耐え得るレプリカ回
折格子を作成すること。 【構成】白金レプリカ回折格子の基板となる硝子１１
と、多数の平行溝を形成した表面金属膜との間に接着剤
層１０がある。表面金属膜として金９，クロム８，白金
７の順になっていて、金９は白金７の下地膜としてクロ
ム８は金９と白金７のバインダーとして同一真空で蒸着
し、複数金属膜を一体化している。 【効果】白金レプリカ回折格子は、真空紫外域において
反射率が高く、２００℃まで耐熱性がある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は分光装置に使用されるレ
プリカ回折格子に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のレプリカ回折格子は、母型となる
回折格子の表面に真空蒸着法で離型膜を形成し、次にレ
プリカ回折格子の表面となる金属膜としてアルミニウム
や金などを真空蒸着する。真空蒸着を終了した母型回折
格子の表面に、レプリカ回折格子の基板となる硝子を接
着する。接着剤硬化後、先に述べた離型膜を境にして母
型回折格子から剥離することによりレプリカ回折格子が
作成される。

【０００３】表面金属膜を白金で作成する場合は、図１
に示すようにレプリカ回折格子のアルミニウム薄膜に白
金をオーバーコーティングする方法、またはレプリカ回
折格子の表面となる金属膜を蒸着する工程でアルミニウ
ム，クロム，白金を同一真空で蒸着する方法で作成して
いた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】一般の分光装置に使用
されているレプリカ回折格子は、表面金属膜と基板硝子
の間に接着剤層がある、表面金属膜としてはアルミニウ
ム，金、などを使用目的に合わせて通常使用している。
最近シンクロトロン放射光を光源とする分光研究が急速
に発展し、回折格子が超高真空中に設置されることが多
い。超高真空を得るためベーキングに耐え得るレプリカ
回折格子が必要となってきた。シンクロトロン放射光を
光源とする分光装置には、反射率の高い白金金属膜のレ
プリカ回折格子を使用している。

【０００５】白金の単一膜ではレプリカ回折格子を作成
することが難しいため、下地膜にアルミニウムを使用
し、複数構造の金属膜としている。

【０００６】白金レプリカ回折格子を１６０℃で１０時
間程度に加熱するとアルミニウム膜に結晶粒が発生し、
回折格子としての性能を著しく劣化させることが明らか
となった。上記従来技術は耐熱性の点について配慮がさ
れておらず表面金属膜に問題があった。本発明は真空紫
外領域で、高反射率の耐熱性あるレプリカ回折格子を提
供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、回折格子の表面金属膜をアルミニウム薄膜から耐熱
性ある金薄膜材質としたものである。

【０００８】

【作用】回折格子は表面金属膜を耐熱性材質にすること
により、超高真空でベーキングしても性能を著しく劣化
させることがなくなった。

【０００９】

【実施例】以下本発明の１実施例を図面によって説明す
る。図２にレプリカ回折格子製作方法の断面図を示す。
レプリカ回折格子は、母型となる回折格子１の表面に真
空蒸着法で離型膜２を形成し、次にレプリカ回折格子の
表面となる金属膜として３白金，４クロム，５金の順で
真空蒸着する。５金は３白金の下地膜として４クロムは
５金と３白金のバインダーとして同一真空で蒸着し、複
数金属膜を一体化する。真空蒸着を終了した母型回折格
子の表面に、６接着剤でレプリカ回折格子の基板となる
硝子７を接着する。接着剤硬化後、先に述べた２離型膜
を境にして１母型回折格子から剥離することにより白金
レプリカ回折格子が作成される。

【００１０】

【発明の効果】白金レプリカ回折格子は、２００℃まで
耐熱性があることが確認された。

【図面の簡単な説明】

【図１】白金オーバーコートのレプリカ回折格子断面図
である。

【図２】レプリカ回折格子の製作図である。

【符号の説明】

１…硝子基板、２…接着剤層、３…アルミニウム金属
膜、４…白金オーバーコート膜、５…母型回折格子、６
…離型膜、７…白金膜、８…クロム膜、９…金膜、１０
…接着剤、１１…硝子基板表面。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】硝子基板上に樹脂層及び金属膜よりなる回
   折格子において、金属膜を白金，クロム，金、と複数金
   属を一体化構造としたことを特徴とするレプリカ回折格
   子。