JP7363373B2 - 成膜治具及び成膜方法 - Google Patents
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図1(a)は、本発明の一実施形態に係る成膜治具を示す模式的斜視図である。図1(b)は、図1(a)のA-A線に沿う部分の模式的断面図である。また、図1(c)は、図1(a)のB-B線に沿う部分の模式的断面図である。
まず、治具本体2及び蓋部3を用意する。次に、用意した治具本体2における複数の凹部2cの底部2d上に、複数枚のガラス板4をそれぞれ個別に載置する。載置後、治具本体2の第1の主面2a上に、蓋部3を載置する。この際、治具本体2の位置決めピン6a,6bに、蓋部3の位置決め穴8a,8bを嵌合させるように、蓋部3を載置する。次に、蓋部3のネジ穴7a,7b及び治具本体2のネジ穴5a,5bを、図1(a)に示すネジ10a,10bで締めることにより、蓋部3を治具本体2の第1の主面2a上に固定する。それによって、成膜治具1に、複数枚のガラス板4を固定することができる。
図8(a)は、本発明の一実施形態に係る成膜治具の蓋部における第1の変形例を示す模式的平面図である。また、図8(b)は、図8(a)のF-F線に沿う部分の模式的断面図である。
1a…収容部
2,12…治具本体
2a,3a,13a…第1の主面
2b,3b,13b…第2の主面
2c…凹部
2d…底部
2e,3c,13c…開口部
3,13…蓋部
4…ガラス板
5a,5b,7a,7b,17a,17b,27a,27b…ネジ穴
6a,6b…位置決めピン
8a,8b,28a,28b…位置決め穴
9,19…抑え部(抑え手段)
10a,10b…ネジ
20…固定部材
Claims (9)
- 長辺及び短辺を有する略矩形板状のガラス板を複数枚同時に成膜するための成膜治具であって、
前記複数枚のガラス板をそれぞれ個別に載置するための治具本体と、
前記治具本体に載置された前記複数枚のガラス板をそれぞれ個別に抑えるための抑え手段と、
複数の蓋部と、
を備え、
前記複数の蓋部が、それぞれ、1枚の前記ガラス板ごとに個別に設けられており、
前記抑え手段が、前記複数の蓋部の主面からそれぞれ突出するように設けられている抑え部であり、
前記複数の蓋部を同時に固定するための枠状の固定部材をさらに備える、成膜治具。 - 前記抑え部が、前記ガラス板における両側の短辺側部分に当接されるように設けられている、請求項1に記載の成膜治具。
- 前記抑え部が、弾性部材により構成されている、請求項1又は2に記載の成膜治具。
- 前記弾性部材が、バネである、請求項3に記載の成膜治具。
- 前記治具本体が、前記複数枚のガラス板をそれぞれ個別に載置するための複数の凹部を有する、請求項1~4のいずれか1項に記載の成膜治具。
- 前記治具本体の前記凹部における底部の一部が開口することにより、前記ガラス板の成膜領域が構成されている、請求項5に記載の成膜治具。
- 前記治具本体の前記凹部における底部が、枠状の形状を有する、請求項5又は6に記載の成膜治具。
- 前記ガラス板が、ガラスマトリクス中に金属粒子が配向して分散されてなる偏光ガラス板である、請求項1~7のいずれか1項に記載の成膜治具。
- 請求項1~8のいずれか1項に記載の成膜治具を用いた成膜方法であって、
前記成膜治具に、前記複数枚のガラス板を固定する工程と、
前記複数枚のガラス板の主面上に、膜を成膜する工程と、
を備える、成膜方法。
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