JPS5928570A - 真空装置用治具 - Google Patents
真空装置用治具Info
- Publication number
- JPS5928570A JPS5928570A JP13766682A JP13766682A JPS5928570A JP S5928570 A JPS5928570 A JP S5928570A JP 13766682 A JP13766682 A JP 13766682A JP 13766682 A JP13766682 A JP 13766682A JP S5928570 A JPS5928570 A JP S5928570A
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- JP
- Japan
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- jig
- base material
- main body
- deposited
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- Prior art date
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- Granted
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/50—Substrate holders
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、真空蒸着法、イオンブレーティング法、活性
化反応蒸着法あるいはスパッター法等において用いられ
る、真空装置の基板保持用治具に関するものである。
化反応蒸着法あるいはスパッター法等において用いられ
る、真空装置の基板保持用治具に関するものである。
従来、例えば真空蒸着法で基材に蒸着するに際して、基
材を真空装置内に保持するために使用する治具は、基材
の底面の周囲を治具のフランジ部分に引っ掛けるように
する型式のものであった。
材を真空装置内に保持するために使用する治具は、基材
の底面の周囲を治具のフランジ部分に引っ掛けるように
する型式のものであった。
第１図はその従来の真空装置用治具を示すものである。
すなわち、被蒸着物質である例えばガラス基材／を治具
ｄの中に挿入し、治具の中のフランジ３で上記基材／を
支承し、この状態で基材／の被蒸着面／ｌＩにコーティ
ングを行う方法である。
ｄの中に挿入し、治具の中のフランジ３で上記基材／を
支承し、この状態で基材／の被蒸着面／ｌＩにコーティ
ングを行う方法である。
しかしながら、この方法では当然のことであるが、基材
／の治具−のフランジ３で覆われた部分はコーティング
されないため、基材／の有効領域が狭くなる欠点があり
、またフランジ３と基材／の接触した部分に傷が入った
り、支承部分からの微小なほこりの影響で、ピンホール
が生じたりする欠点があった。
／の治具−のフランジ３で覆われた部分はコーティング
されないため、基材／の有効領域が狭くなる欠点があり
、またフランジ３と基材／の接触した部分に傷が入った
り、支承部分からの微小なほこりの影響で、ピンホール
が生じたりする欠点があった。
本発明の目的は、従来例の上記欠点を除去し、基材の保
持部材への取り付けが容易で、１つ基材の底面全面にコ
ーティングを行うことが出来る治具を提供することにあ
る。
持部材への取り付けが容易で、１つ基材の底面全面にコ
ーティングを行うことが出来る治具を提供することにあ
る。
このような目的を達成するための本発明の特徴は、真空
装置に使用される保持具において被蒸着物質を耐熱性の
弾性体、例えばステンレスやバネ鋼等の金属からなるバ
ネにより、被蒸着物質を保持することを特徴とするもの
である。
装置に使用される保持具において被蒸着物質を耐熱性の
弾性体、例えばステンレスやバネ鋼等の金属からなるバ
ネにより、被蒸着物質を保持することを特徴とするもの
である。
以下、図面に基づいて本発明の真空装置用治具を実施例
により具体的に説明する。
により具体的に説明する。
第２図に示した冶具においては、冶具本体／／は被蒸着
物質である例えばガラス基材／を嵌込む挿入口／、２を
持った。アルミ板等からなるものである。この冶具本体
／／の被蒸着物質挿入口／、２には、耐熱性の弾性体す
なわちステンレス板あるいはＲ板等よりなるバネ／３に
」二部を挟持された、基材／が遊嵌されている。このバ
ネ／３に基材／を挟み、治具本体／／の被蒸着物質挿入
口／、２に被蒸着物質を挿入すると、バネ／３の下端が
冶具本体／／の被蒸着物質挿入口／、２外縁に支えられ
て基材／は落下せず、これを真空装置内にセットした後
、被蒸着面／ダに全面コーティングするものである。勿
論基材／の形状は円柱に限られず、四角柱その他のもの
でも固定できる。
物質である例えばガラス基材／を嵌込む挿入口／、２を
持った。アルミ板等からなるものである。この冶具本体
／／の被蒸着物質挿入口／、２には、耐熱性の弾性体す
なわちステンレス板あるいはＲ板等よりなるバネ／３に
」二部を挟持された、基材／が遊嵌されている。このバ
ネ／３に基材／を挟み、治具本体／／の被蒸着物質挿入
口／、２に被蒸着物質を挿入すると、バネ／３の下端が
冶具本体／／の被蒸着物質挿入口／、２外縁に支えられ
て基材／は落下せず、これを真空装置内にセットした後
、被蒸着面／ダに全面コーティングするものである。勿
論基材／の形状は円柱に限られず、四角柱その他のもの
でも固定できる。
第３図に示した治具において冶具本体／／は、基材／を
挿入する径を持った被蒸着物質挿入口／、２を有し、こ
の治具本体／／の被蒸着物質挿入口／、２の外縁にはバ
ネ／３の基部を、ネジ／ｊにより固定している。このよ
うにバネ／３を治具本体／／上にネジ７．５で固定して
おき、指先あるいはピンセット等でバネ／３を開きなが
ら、治具本体／ｌの被蒸着物質挿入口／／に基材／を挿
入し、前記バネ／３で基材／をチャックして被蒸着面／
ＩＩに全面コーティングするものである。この例では第
２図で示した方法よりバネ効果が強いので、基材／が治
具本体／／にしっかりと固定でき、基材／の形状が長い
場合や相当な重量がある場合に有用である。
挿入する径を持った被蒸着物質挿入口／、２を有し、こ
の治具本体／／の被蒸着物質挿入口／、２の外縁にはバ
ネ／３の基部を、ネジ／ｊにより固定している。このよ
うにバネ／３を治具本体／／上にネジ７．５で固定して
おき、指先あるいはピンセット等でバネ／３を開きなが
ら、治具本体／ｌの被蒸着物質挿入口／／に基材／を挿
入し、前記バネ／３で基材／をチャックして被蒸着面／
ＩＩに全面コーティングするものである。この例では第
２図で示した方法よりバネ効果が強いので、基材／が治
具本体／／にしっかりと固定でき、基材／の形状が長い
場合や相当な重量がある場合に有用である。
基材／の形状には種々のものがあるので、これに対応し
て治具にも種々の態様がある。第４図に示した冶具は、
基材／の形状が短かいものに好適に適用でき、長ネジ／
乙で中央立上がり部分、２３において治具本体／／上面
に固着された保持部材１３は、被蒸着物質挿入口／、２
に遊嵌された基材／の側面をその端部３３により抑圧固
定するものである。第５図に示した治具は、基材ｌの形
状が長いものに有用であり、バネ／ ４３は冶具本体／
／の被蒸着物質挿入口／、２の外縁両側に、ネジ／、５
でその基部を固定されている。これらは第６図に示した
ような曲面を持った基材／へのコーティングに対しても
有用である。治具への基材／のセラＩ・は指先あるいは
ピンセット等により、バネ／３を開きあるいは縮めて基
材／を挿入し、基材／をバネ／３で押しつけ固定する。
て治具にも種々の態様がある。第４図に示した冶具は、
基材／の形状が短かいものに好適に適用でき、長ネジ／
乙で中央立上がり部分、２３において治具本体／／上面
に固着された保持部材１３は、被蒸着物質挿入口／、２
に遊嵌された基材／の側面をその端部３３により抑圧固
定するものである。第５図に示した治具は、基材ｌの形
状が長いものに有用であり、バネ／ ４３は冶具本体／
／の被蒸着物質挿入口／、２の外縁両側に、ネジ／、５
でその基部を固定されている。これらは第６図に示した
ような曲面を持った基材／へのコーティングに対しても
有用である。治具への基材／のセラＩ・は指先あるいは
ピンセット等により、バネ／３を開きあるいは縮めて基
材／を挿入し、基材／をバネ／３で押しつけ固定する。
さらに同様な方法で、斜めカットされた形状の基材うに
対しても、第７図に示した治具のように片側からのみ押
え込み、被蒸着面／ダに全面コーチインクできるように
することができる。
対しても、第７図に示した治具のように片側からのみ押
え込み、被蒸着面／ダに全面コーチインクできるように
することができる。
このように耐熱性弾性体からなるバネの使用により、真
空装置用治具への基材／の取り付け、取り外しが容易と
なるばかりでなく、基材ｌ底部の被蒸着面／ダ全体をコ
ーティングすることが可能である。このような治具を使
用して、全面コーティングされた基材／は有効領域が広
くとれ、光学部品の小型化に有効である。
空装置用治具への基材／の取り付け、取り外しが容易と
なるばかりでなく、基材ｌ底部の被蒸着面／ダ全体をコ
ーティングすることが可能である。このような治具を使
用して、全面コーティングされた基材／は有効領域が広
くとれ、光学部品の小型化に有効である。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来のコーティング治具を示す断面図、第２図
乃至第３図は本発明の実施例を示す断面図、第４図乃至
第５図は、本発明の他の実施例を示す断面図、第６図は
基材の一例を示す斜視図、第７図は本発明の更に他の例
を示す断面図である。 ／３０．基材 ／／、、、治具本体／、２．
．．被蒸着物質挿入口 ／ Ｊ、、、バネ ／ダ０１．基材の被蒸着面
／ 、５．、、ネジ ／乙０１．長ネジ、、２
Ｊ、、、立上がり部 Ｊ、３．、、端部第２図 荊３ 図 −３６７− 月 第５図
乃至第３図は本発明の実施例を示す断面図、第４図乃至
第５図は、本発明の他の実施例を示す断面図、第６図は
基材の一例を示す斜視図、第７図は本発明の更に他の例
を示す断面図である。 ／３０．基材 ／／、、、治具本体／、２．
．．被蒸着物質挿入口 ／ Ｊ、、、バネ ／ダ０１．基材の被蒸着面
／ 、５．、、ネジ ／乙０１．長ネジ、、２
Ｊ、、、立上がり部 Ｊ、３．、、端部第２図 荊３ 図 −３６７− 月 第５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ■、被蒸着物質を保持するために真空装置に使用されて
いる治具において、被蒸着物質嵌入部を形成した耐熱性
の弾性体からなる保持部材を有 ：し、治具本体の被蒸
着物質挿入口に前記被蒸着物質を挿入し、前記耐熱性の
弾性体からなる保持部材で保持することを特徴とする真
空装置用治具。 ２、被蒸着物質が、保持部材に組付けられた状態で治具
本体の被蒸着物質挿入口に遊嵌され、治具本体の被蒸着
物質挿入口に吊り下げるようにしてなる特許請求の範囲
第１項記載の真空装置用治具。 ３、保持部材が、治具本体の被蒸着物質挿入口に近接し
て固着され、被蒸着物質をこの保持部材の被蒸着物質嵌
入部を経て治具本体の被蒸着物質挿入口に嵌合するよう
にしてなる特許請求の範囲第１項または第２項記載の真
空装置用治具。 ４、保持部材が、被蒸着物質をその片面側から押圧し、
被蒸着物質の他面を治具本体の被蒸着物質挿入口に圧着
保持するようにしてなる特許請求の範囲第１項乃至第３
項のいずれかに記載の真空装置用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13766682A JPS5928570A (ja) | 1982-08-06 | 1982-08-06 | 真空装置用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13766682A JPS5928570A (ja) | 1982-08-06 | 1982-08-06 | 真空装置用治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5928570A true JPS5928570A (ja) | 1984-02-15 |
| JPS6141986B2 JPS6141986B2 (ja) | 1986-09-18 |
Family
ID=15203971
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13766682A Granted JPS5928570A (ja) | 1982-08-06 | 1982-08-06 | 真空装置用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5928570A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022069171A1 (de) * | 2020-09-30 | 2022-04-07 | Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon | Federhalterung und werkstückträger |
-
1982
- 1982-08-06 JP JP13766682A patent/JPS5928570A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022069171A1 (de) * | 2020-09-30 | 2022-04-07 | Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon | Federhalterung und werkstückträger |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6141986B2 (ja) | 1986-09-18 |
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