JPS5928033Y2 - スパツタリング装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案はスパッタリング装置に関するものであり、簡単
な構成により均一な所定の薄膜を被付着体上に形成でき
るよう構成したものである。

従来のスパッタリング装置として、第１図に示すものが
考えられている。

すなわち、１と２は互に対向するよう配設されたターゲ
ット電極とアノード電極であり、３は前記両電極１，２
間において回動可能に設けられた中空の円錐台状の波付
着体保持用ホールダである。

４は前記ホールダ３の内面に固着された被付着体である
。

このホールダ３は、均一な厚さの薄膜層を被付着体４の
前面に形成するため、ターゲット電極１のまわりを回転
し、かつ等膜厚面に平行に被付着体４が保持されるよう
、ホールダの上方、即ちアノード電極２側が、下方より
も中心部に傾いた形状に加工が施されている。

このような形状のホールダの加工は困難で、高価なもの
であった。

また等膜厚面は厳密には平面ではなく、曲面であるため
、広い面積にわたって均一な厚さの薄膜層を形成するこ
とは非常に困難であった。

本考案は、この問題を解決せんとするもので、ターゲッ
ト電極と被付着体の間に所定形状の遮へい体を設けるこ
とにより、被付着体上に均一な薄膜を形成せんとするも
のである。

第２図に本考案によるガラス蒸着を実施するためのスパ
ッタリング装置の一実施例を示す。

このスパッタリング装置の主要部は、ターゲット電極１
、それと対向する位置に配置されたアノード電極２、ガ
ラス薄膜を被覆すべき被付着体４を保持する回転式円筒
ホールダ３、およびターゲット電極１と円筒ホールダ３
との間に設置された調整板５からなる。

調整板５は、ホールダ３の内面を、ターゲット電極１の
表面に対して垂直に保った為に生ずる上下方向の膜厚分
布を修正するためのもので、ターゲット電極１から飛来
する粒子の一部が被付着体の表面に付着するのを防ぐた
めのものである。

この調整板５の形状は、円筒ホールダ３の内面における
膜厚分布に応じて決定されるもので、第３図に示すよう
に前記膜厚分布に応じて円筒ホールダ３の回動方向の長
さが順次具なるよう木の葉形に構成されている。

すなわち、回転駆動される円筒ホームダ３上の被付着体
４の表面の各部における前記調整板５による粒子の阻止
時間が、前記膜厚分布に応じて順次変化し、均一な膜厚
が得られるよう構成したものである。

以上のように本考案によれば、ホールダとして円筒状体
のような加工容易な単純な形状のものが使用でき、また
木の葉形の形状の調整板を被付着体ホルダーの内壁面に
対向させて配置しているので、広範囲にわたって均一な
膜厚を得ることが出来るものであり、特に磁気ヘッドの
ギャップ用スペーサとしてガラス材料を付着する際に好
適なものである。

そして、調整板が木の葉形の形状をしているので、調整
板は小形でよく、そのため取り扱いやすく、また限られ
た狭い空間内に配置するのに適したものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のスパッタリング装置の一例を示す要部断
面図、第２図は本考案の一実施例を示す要部断面図、第
３図は本考案に使用される調整板の一例を示す正面図で
ある。 １・・−・・・ターゲット電極、２・・・・・・アノー
ド電極、３・・・・・・ホールダ、４・・・・・・被付
着体、５・・・・・・調整板。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 互いに対向するよう配設されたターゲット電極とアノー
   ド電極の間において回転駆動される円筒状のホルダーの
   内壁に被付着体を固定し、この被付着体と前記ターゲッ
   ト電極間に、前記ターゲット電極から飛来する粒子を前
   記被付着体の各部において異なる阻止時間で阻止し、前
   記被付着体の各部における前記粒子の飛来量を均一化す
   るための木の葉形の形状の調整板を設けてなるスパッタ
   リング装置。