JPH1034053A - 基板回転装置 - Google Patents
基板回転装置Info
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- JPH1034053A JPH1034053A JP8214290A JP21429096A JPH1034053A JP H1034053 A JPH1034053 A JP H1034053A JP 8214290 A JP8214290 A JP 8214290A JP 21429096 A JP21429096 A JP 21429096A JP H1034053 A JPH1034053 A JP H1034053A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 大型ガラス基板等の枚葉タイプの基板に対し
て液体を均一に塗布することができる基板回転装置を提
供する。 【解決手段】 チャック台は駆動部により回転可能と
し、このチャック台の上平面に複数の微小な吸引孔を設
けるとともに、チャック台の周縁部をテーパー形状とす
ることにより基板回転装置とする。
て液体を均一に塗布することができる基板回転装置を提
供する。 【解決手段】 チャック台は駆動部により回転可能と
し、このチャック台の上平面に複数の微小な吸引孔を設
けるとともに、チャック台の周縁部をテーパー形状とす
ることにより基板回転装置とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、大型ガラス基板等
の枚葉タイプの基板上に液体を均一に分散するための基
板回転装置に関する。
の枚葉タイプの基板上に液体を均一に分散するための基
板回転装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ＬＣＤ用カラーフィルタ等の大
型ガラス基板にレジスト液等の塗布液を塗布する方式と
して、スピン塗布方式、ナイフ塗布方式、ロール塗布方
式およびビード塗布方式等の種々の塗布方式が用いられ
ている。
型ガラス基板にレジスト液等の塗布液を塗布する方式と
して、スピン塗布方式、ナイフ塗布方式、ロール塗布方
式およびビード塗布方式等の種々の塗布方式が用いられ
ている。
【０００３】このうち、スピン塗布方式には大気開放型
および密閉カップ型があるが、何れの方式も、基板を載
置したチャック台を回転し、基板上に塗布液を滴下して
遠心力により基板上に塗布液を分散させて塗布するもの
である。
および密閉カップ型があるが、何れの方式も、基板を載
置したチャック台を回転し、基板上に塗布液を滴下して
遠心力により基板上に塗布液を分散させて塗布するもの
である。
【０００４】従来のスピン塗布装置に使用されるチャッ
ク台としては、回転可能な平板上の所定位置に、塗布対
象である基板の位置決め用の複数のピンが設けられたチ
ャック台がある。しかし、このようなチャック台では、
基板を載置して塗布した際に、分散した塗布液がピンと
基板との間に溜り、ゴミ発生の原因となって歩留りの低
下を来すとともに、チャック台への基板の載置および取
りはずしの作業性が悪いという問題があった。
ク台としては、回転可能な平板上の所定位置に、塗布対
象である基板の位置決め用の複数のピンが設けられたチ
ャック台がある。しかし、このようなチャック台では、
基板を載置して塗布した際に、分散した塗布液がピンと
基板との間に溜り、ゴミ発生の原因となって歩留りの低
下を来すとともに、チャック台への基板の載置および取
りはずしの作業性が悪いという問題があった。
【０００５】また、塗布対象となる基板の寸法に対応し
た形状を有する平板の周辺部に複数の吸引領域を設けた
チャック台が開発されている。このチャック台では、吸
引領域における真空吸着により基板を保持して塗布する
ことが可能となり、上記の問題が解消された。しかし、
このようなチャック台では、吸引領域における吸引によ
って基板に温度分布が生じ、この温度分布に起因した塗
布ムラがみられ、また、基板の寸法変更に対応すること
ができないという問題があった。
た形状を有する平板の周辺部に複数の吸引領域を設けた
チャック台が開発されている。このチャック台では、吸
引領域における真空吸着により基板を保持して塗布する
ことが可能となり、上記の問題が解消された。しかし、
このようなチャック台では、吸引領域における吸引によ
って基板に温度分布が生じ、この温度分布に起因した塗
布ムラがみられ、また、基板の寸法変更に対応すること
ができないという問題があった。
【０００６】そこで、図９に示されるように、円形の平
板１０２にＯリング装着用の溝部１０３（図示例では同
心円状に２か所）と吸引孔１０４、吸引溝１０５を形成
し、上記の溝部１０３にＯリング１０６を装着したチャ
ック台１０１が開発されている。
板１０２にＯリング装着用の溝部１０３（図示例では同
心円状に２か所）と吸引孔１０４、吸引溝１０５を形成
し、上記の溝部１０３にＯリング１０６を装着したチャ
ック台１０１が開発されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】このチャック台１０１
は、ゴミ発生による歩留りの低下がなく、チャック台へ
の基板の載置および取りはずしの作業性が良く、さら
に、基板の寸法変更に対応可能である。しかしながら、
外側のＯリング１０６の内側の領域に生じる吸引力によ
って基板がチャック台１０１に真空吸着されるため、こ
の吸引保持領域と、その外側とで基板に温度分布が生
じ、この温度分布に起因する塗布ムラの発生がみられる
という問題がある。さらに、平板１０２の周縁部１０２
ａの形状に対応する塗布ムラが発生するという問題もあ
った。
は、ゴミ発生による歩留りの低下がなく、チャック台へ
の基板の載置および取りはずしの作業性が良く、さら
に、基板の寸法変更に対応可能である。しかしながら、
外側のＯリング１０６の内側の領域に生じる吸引力によ
って基板がチャック台１０１に真空吸着されるため、こ
の吸引保持領域と、その外側とで基板に温度分布が生
じ、この温度分布に起因する塗布ムラの発生がみられる
という問題がある。さらに、平板１０２の周縁部１０２
ａの形状に対応する塗布ムラが発生するという問題もあ
った。
【０００８】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであり、大型ガラス基板等の枚葉タイプの基板に
対して液体を均一に塗布することができる基板回転装置
を提供することを目的とする。
たものであり、大型ガラス基板等の枚葉タイプの基板に
対して液体を均一に塗布することができる基板回転装置
を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は基板を上平面に保持した状態で回転可能な
チャック台と、該チャック台を回転させる駆動部とを備
え、前記チャック台は上平面に複数の微小な吸引孔を備
えるとともに、周縁部がテーパー形状であるような構成
とした。
に、本発明は基板を上平面に保持した状態で回転可能な
チャック台と、該チャック台を回転させる駆動部とを備
え、前記チャック台は上平面に複数の微小な吸引孔を備
えるとともに、周縁部がテーパー形状であるような構成
とした。
【００１０】また、本発明の基板回転装置は、前記吸引
孔の開口直径を０．２〜２．０ｍｍの範囲とするような
構成とした。
孔の開口直径を０．２〜２．０ｍｍの範囲とするような
構成とした。
【００１１】さらに、本発明の基板回転装置は、前記吸
引孔の形成間隔を２〜２０ｍｍの範囲とするような構成
とした。
引孔の形成間隔を２〜２０ｍｍの範囲とするような構成
とした。
【００１２】また、本発明の基板回転装置は、前記周縁
部のテーパー形状を、上平面に対する角度が１〜８５°
の範囲のテーパー形状であるような構成とした。
部のテーパー形状を、上平面に対する角度が１〜８５°
の範囲のテーパー形状であるような構成とした。
【００１３】上述のような本発明では、チャック台の上
平面に形成された複数の微小な吸引孔により基板に温度
分布が生じることなく基板を保持することができ、ま
た、チャック台の周縁部は、そのテーパー形状によっ
て、塗布ムラを発生させるような作用が基板に及ぶこと
を防止する。
平面に形成された複数の微小な吸引孔により基板に温度
分布が生じることなく基板を保持することができ、ま
た、チャック台の周縁部は、そのテーパー形状によっ
て、塗布ムラを発生させるような作用が基板に及ぶこと
を防止する。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明を行う。
て説明を行う。
【００１５】図１は本発明の基板回転装置の一実施形態
を示す側面図であり、図２は図１に示される基板回転装
置の平面図である。図１および図２において、基板回転
装置１は、基板Ｓを載置するためのチャック台２と、こ
のチャック台２を回転させるための駆動部８とを備えて
いる。
を示す側面図であり、図２は図１に示される基板回転装
置の平面図である。図１および図２において、基板回転
装置１は、基板Ｓを載置するためのチャック台２と、こ
のチャック台２を回転させるための駆動部８とを備えて
いる。
【００１６】チャック台２は平面形状が円形をなす本体
３と、この本体３の下部に一体的に装着されている裏面
板４とを有し、裏面板４はその中心部に設けられた軸部
４ａを介して駆動部８に接続されている。このチャック
台２は、その上平面２ａに複数の吸引孔５を有するとと
もに、本体３の周縁部６はテーパー形状をなしている。
本体３に設けられている複数の吸引孔５は、本体３と裏
面板４との間に形成されている吸引空間７と連通してお
り、この吸引空間７は図示しない外部の吸引装置により
吸引可能となっている。
３と、この本体３の下部に一体的に装着されている裏面
板４とを有し、裏面板４はその中心部に設けられた軸部
４ａを介して駆動部８に接続されている。このチャック
台２は、その上平面２ａに複数の吸引孔５を有するとと
もに、本体３の周縁部６はテーパー形状をなしている。
本体３に設けられている複数の吸引孔５は、本体３と裏
面板４との間に形成されている吸引空間７と連通してお
り、この吸引空間７は図示しない外部の吸引装置により
吸引可能となっている。
【００１７】図３は、上記のチャック台２を構成する本
体３の裏面側を示す図であり、図４は図３のIV−IV線に
おける縦断面図である。図３および図４のおいて、本体
３の裏面には、上記のテーパー形状の周縁部６よりもや
や内側に外周リブ部３ａがリング形状に連続して形成さ
れ、この外周リブ部３ａの内側には、外周リブ部３ａと
同一の高さでリブ部３ｂ、３ｃが同心のリング形状（一
部に切欠きが設けられている）に形成されている。外周
リブ部３ａやリブ部３ｂ，３ｃの高さ、幅はチャック台
２の寸法等を考慮して設定することができ、例えば、高
さ１〜１５ｍｍ、幅５〜１５ｍｍ程度とすることができ
る。また、リブ部３ｂ，３ｃの所定箇所には、裏面板４
との一体化に使用するネジ穴Ｈが穿設されている。
体３の裏面側を示す図であり、図４は図３のIV−IV線に
おける縦断面図である。図３および図４のおいて、本体
３の裏面には、上記のテーパー形状の周縁部６よりもや
や内側に外周リブ部３ａがリング形状に連続して形成さ
れ、この外周リブ部３ａの内側には、外周リブ部３ａと
同一の高さでリブ部３ｂ、３ｃが同心のリング形状（一
部に切欠きが設けられている）に形成されている。外周
リブ部３ａやリブ部３ｂ，３ｃの高さ、幅はチャック台
２の寸法等を考慮して設定することができ、例えば、高
さ１〜１５ｍｍ、幅５〜１５ｍｍ程度とすることができ
る。また、リブ部３ｂ，３ｃの所定箇所には、裏面板４
との一体化に使用するネジ穴Ｈが穿設されている。
【００１８】このような裏面構造を有する本体３の裏面
側に、図４に想像線で示されるように、外周リブ部３ａ
のリング形状に対応した形状の裏面板４を装着すること
により、本体３の外周リブ部３ａと裏面板４とによって
囲まれた空間が形成され、この空間は上記の吸引空間７
となる。
側に、図４に想像線で示されるように、外周リブ部３ａ
のリング形状に対応した形状の裏面板４を装着すること
により、本体３の外周リブ部３ａと裏面板４とによって
囲まれた空間が形成され、この空間は上記の吸引空間７
となる。
【００１９】また、図５は図３のＶ−Ｖ線における拡大
縦断面図であり、チャック台２の上平面２ａに形成され
た吸引孔５は、本体３を貫通してその裏面側に開口端５
ａを現している。この吸引孔５は、上平面２ａにおける
開口直径が０．２〜２．０ｍｍの範囲が好ましい。開口
直径が０．２ｍｍ未満であると基板が吸着され難く、ま
た、真空破壊に時間がかかり、一方、２．０ｍｍを超え
ると吸引孔のムラが基板に出やすく好ましくない。さら
に、各吸引孔５の形成間隔を２〜２０ｍｍの範囲で設定
することが好ましい。形成間隔が２ｍｍ未満であると製
作上難しく、また、強度も弱くなる。一方、２０ｍｍを
超えると吸着力が十分に得られ難くなり好ましくない。
縦断面図であり、チャック台２の上平面２ａに形成され
た吸引孔５は、本体３を貫通してその裏面側に開口端５
ａを現している。この吸引孔５は、上平面２ａにおける
開口直径が０．２〜２．０ｍｍの範囲が好ましい。開口
直径が０．２ｍｍ未満であると基板が吸着され難く、ま
た、真空破壊に時間がかかり、一方、２．０ｍｍを超え
ると吸引孔のムラが基板に出やすく好ましくない。さら
に、各吸引孔５の形成間隔を２〜２０ｍｍの範囲で設定
することが好ましい。形成間隔が２ｍｍ未満であると製
作上難しく、また、強度も弱くなる。一方、２０ｍｍを
超えると吸着力が十分に得られ難くなり好ましくない。
【００２０】チャック台２は、通常、金属や樹脂、それ
らの複合材料等により形成したものを使用することがで
きる。チャック台２の上平面２ａの面積は、載置対象と
して考えられる基板Ｓに対応して適宜設定することがで
き、チャック台２の上平面２ａに設けられる吸引孔５の
数は、上記の形成間隔の範囲を考慮して設定することで
きる。尚、上平面２ａにおいて吸引孔５が形成される領
域の最外部とチャック台２の周縁部６の内側（図５にお
ける６ａの位置）との距離Ｄは、１０〜３０ｍｍ程度の
範囲とすることが好ましい。
らの複合材料等により形成したものを使用することがで
きる。チャック台２の上平面２ａの面積は、載置対象と
して考えられる基板Ｓに対応して適宜設定することがで
き、チャック台２の上平面２ａに設けられる吸引孔５の
数は、上記の形成間隔の範囲を考慮して設定することで
きる。尚、上平面２ａにおいて吸引孔５が形成される領
域の最外部とチャック台２の周縁部６の内側（図５にお
ける６ａの位置）との距離Ｄは、１０〜３０ｍｍ程度の
範囲とすることが好ましい。
【００２１】周縁部６のテーパー形状は、上平面２ａに
対する傾斜角度θが８５°以下、好ましくは５〜４５°
の範囲となるような形状とすることができる。傾斜角度
θが８５°を超えると、チャック台２の周縁部６の内側
６ａの形状に対応する塗布ムラが発生するので好ましく
ない。
対する傾斜角度θが８５°以下、好ましくは５〜４５°
の範囲となるような形状とすることができる。傾斜角度
θが８５°を超えると、チャック台２の周縁部６の内側
６ａの形状に対応する塗布ムラが発生するので好ましく
ない。
【００２２】また、図４及び図５に示される周縁部６の
テーパー形状は、テーパー部が単一傾斜の斜面となって
いるが、本発明はこれに限定されるものではない。例え
ば、図６（Ａ）および図６（Ｂ）に示されるように、傾
斜角度が連続的に変化するようなテーパー形状でもよ
く、あるいは、図７（Ａ）および図７（Ｂ）に示される
ように、傾斜角度が段階的に変化するようなテーパー形
状としてもよい。上記の図６および図７で示されるよう
なテーパー形状では、チャック台２の周縁部６の内側
（図示の６ａの位置）においてテーパー部と上平面２ａ
とのなす角度θが上記の範囲（５〜４５°）となるよう
に設定することが好ましい。
テーパー形状は、テーパー部が単一傾斜の斜面となって
いるが、本発明はこれに限定されるものではない。例え
ば、図６（Ａ）および図６（Ｂ）に示されるように、傾
斜角度が連続的に変化するようなテーパー形状でもよ
く、あるいは、図７（Ａ）および図７（Ｂ）に示される
ように、傾斜角度が段階的に変化するようなテーパー形
状としてもよい。上記の図６および図７で示されるよう
なテーパー形状では、チャック台２の周縁部６の内側
（図示の６ａの位置）においてテーパー部と上平面２ａ
とのなす角度θが上記の範囲（５〜４５°）となるよう
に設定することが好ましい。
【００２３】図８は本発明の基板回転装置の他の実施形
態を示す平面図である。図８において、基板回転装置１
１は、基板Ｓを載置するためのチャック台１２と、この
チャック台１２を回転させるための駆動部（図示せず）
とを備えている。そして、チャック台１２の平面形状は
ほぼ矩形をなし、その上平面１２ａに複数の吸引孔１５
を有するとともに、周縁部１６はテーパー形状をなして
いる。
態を示す平面図である。図８において、基板回転装置１
１は、基板Ｓを載置するためのチャック台１２と、この
チャック台１２を回転させるための駆動部（図示せず）
とを備えている。そして、チャック台１２の平面形状は
ほぼ矩形をなし、その上平面１２ａに複数の吸引孔１５
を有するとともに、周縁部１６はテーパー形状をなして
いる。
【００２４】このようなチャック台１２は、その平面形
状がほぼ矩形をなし、チャック台１２の４か所のコーナ
ー部では、周縁部１６の内側（１６ａで図示される箇
所）は半径５〜３０ｍｍの曲率を有することが好まし
い。そして、このチャック台１２は、上述のチャック台
２と同様に、複数の吸引孔１５を備えた本体と、この本
体の裏面に一体的に装着される裏面板とで構成すること
ができる。複数の吸引孔１５は本体と裏面板との間に形
成されている吸引空間と連通しており、この吸引空間は
図示しない外部の吸引装置により吸引可能となってい
る。
状がほぼ矩形をなし、チャック台１２の４か所のコーナ
ー部では、周縁部１６の内側（１６ａで図示される箇
所）は半径５〜３０ｍｍの曲率を有することが好まし
い。そして、このチャック台１２は、上述のチャック台
２と同様に、複数の吸引孔１５を備えた本体と、この本
体の裏面に一体的に装着される裏面板とで構成すること
ができる。複数の吸引孔１５は本体と裏面板との間に形
成されている吸引空間と連通しており、この吸引空間は
図示しない外部の吸引装置により吸引可能となってい
る。
【００２５】また、チャック台１２における吸引孔１５
の開口直径、形成間隔、周縁部のテーパー形状は、上述
のチャック台２と同様に設定することができるので、こ
こでの説明は省略する。
の開口直径、形成間隔、周縁部のテーパー形状は、上述
のチャック台２と同様に設定することができるので、こ
こでの説明は省略する。
【００２６】
【実施例】次に、実施例を示して本発明を更に詳細に説
明する。
明する。
【００２７】まず、図１乃至図５に示されるような基板
回転装置を下記の仕様で作製した。
回転装置を下記の仕様で作製した。
【００２８】基板回転装置の仕様 ・チャック台 ：平面形状＝円形 上平面部の直径（周縁部内側までの直径）＝２０ｃｍ 周縁部外側までの直径＝２２ｃｍ ・吸引孔の開口直径：１ｍｍ ・吸引孔の形成間隔：１０ｍｍ ・テーパー傾斜角度θ：２０° 次に、厚み０．７ｍｍのガラス基板（３６０ｃｍ×４６
５ｃｍ）を基板回転装置のチャック台上に載置し、各吸
引孔により真空吸着でガラス基板を保持した。この状態
で、駆動装置によりチャック台を７００r.p.m.の速度で
回転させ、塗布液としてのポジレジストをガラス基板上
に３０ｃｃ滴下して塗布を行った。
５ｃｍ）を基板回転装置のチャック台上に載置し、各吸
引孔により真空吸着でガラス基板を保持した。この状態
で、駆動装置によりチャック台を７００r.p.m.の速度で
回転させ、塗布液としてのポジレジストをガラス基板上
に３０ｃｃ滴下して塗布を行った。
【００２９】塗布終了後、９０℃で３分間乾燥して塗布
膜を形成した。この塗布膜の厚みを測定した結果、０．
１μｍ以下の厚みムラであり、極めて高い精度の塗布が
可能であることが確認された。
膜を形成した。この塗布膜の厚みを測定した結果、０．
１μｍ以下の厚みムラであり、極めて高い精度の塗布が
可能であることが確認された。
【００３０】一方、比較として、図９に示されるような
基板回転装置を下記の仕様で作製した。
基板回転装置を下記の仕様で作製した。
【００３１】基板回転装置の仕様 ・チャック台 ： 平面形状＝円形 上平面部の直径＝１８ｃｍ ・Ｏリング装着用の溝部：溝部の（深さ）＝４ｍｍ 溝部のリング形状の直径＝１３０ｍｍ（外側） 溝部のリング形状の直径＝８０ｍｍ（内側） ・吸引溝の深さ：８ｍｍ ・吸引孔の位置：チャック台中央部（１か所） ・Ｏリングの径：６ｍｍ 次に、厚み０．７ｍｍのガラス基板（３６０ｃｍ×４６
５ｃｍ）を基板回転装置のチャック台上に載置し、外側
のＯリングの内側領域において真空吸着でガラス基板を
保持した。この状態で、駆動装置によりチャック台を７
００r.p.m.の速度で回転させ、塗布液としてのポジレジ
ストをガラス基板上に３０ｃｃ滴下して塗布を行った。
５ｃｍ）を基板回転装置のチャック台上に載置し、外側
のＯリングの内側領域において真空吸着でガラス基板を
保持した。この状態で、駆動装置によりチャック台を７
００r.p.m.の速度で回転させ、塗布液としてのポジレジ
ストをガラス基板上に３０ｃｃ滴下して塗布を行った。
【００３２】塗布終了後、９０℃で３分間乾燥して塗布
膜を形成した。この塗布膜の厚みを測定した結果、吸引
保持領域とそれ以外の領域に０．２〜０．５μｍの厚み
ムラがあり、また、チャック台の周縁部の形状に対応し
た塗布ムラ（０．３〜０．５μｍ）があり、上記の本発
明の基板回転装置に比べて塗布の均一性が低いことが確
認された。
膜を形成した。この塗布膜の厚みを測定した結果、吸引
保持領域とそれ以外の領域に０．２〜０．５μｍの厚み
ムラがあり、また、チャック台の周縁部の形状に対応し
た塗布ムラ（０．３〜０．５μｍ）があり、上記の本発
明の基板回転装置に比べて塗布の均一性が低いことが確
認された。
【００３３】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によればチ
ャック台は駆動部により回転可能とし、このチャック台
の上平面に複数の微小な吸引孔を設けるとともに、チャ
ック台の周縁部をテーパー形状とすることにより基板回
転装置とするので、チャック台に載置された基板は、チ
ャック台の上平面に形成された複数の微小な吸引孔によ
り保持され、ここの吸引孔による吸引面積が小さいこと
により、基板に温度分布を生じることが防止され、均一
な厚みの塗布が可能であるとともに、チャック台の周縁
部をテーパー形状とすることにより、塗布ムラを発生さ
せるような作用が基板に及ぶことが防止され、周縁部の
形状に対応する塗布ムラを発生することなく均一な厚み
の塗布が可能である。
ャック台は駆動部により回転可能とし、このチャック台
の上平面に複数の微小な吸引孔を設けるとともに、チャ
ック台の周縁部をテーパー形状とすることにより基板回
転装置とするので、チャック台に載置された基板は、チ
ャック台の上平面に形成された複数の微小な吸引孔によ
り保持され、ここの吸引孔による吸引面積が小さいこと
により、基板に温度分布を生じることが防止され、均一
な厚みの塗布が可能であるとともに、チャック台の周縁
部をテーパー形状とすることにより、塗布ムラを発生さ
せるような作用が基板に及ぶことが防止され、周縁部の
形状に対応する塗布ムラを発生することなく均一な厚み
の塗布が可能である。
【図１】本発明の基板回転装置の一実施形態を示す側面
図である。
図である。
【図２】図１に示される基板回転装置の平面図である。
【図３】チャック台を構成する本体の裏面側を示す図で
ある。
ある。
【図４】図３に示される本体のIV−IV線における縦断面
図である。
図である。
【図５】図３に示される本体のＶ−Ｖ線における拡大縦
断面図である。
断面図である。
【図６】本発明の基板回転装置のチャック台周縁部のテ
ーパー形状の例を示す側面図である。
ーパー形状の例を示す側面図である。
【図７】本発明の基板回転装置のチャック台周縁部のテ
ーパー形状の例を示す側面図である。
ーパー形状の例を示す側面図である。
【図８】本発明の基板回転装置の他の実施形態を示す側
面図である。
面図である。
【図９】従来の基板回転装置の一例を示す平面図であ
る。
る。
１，１１…基板回転装置 ２，１２…チャック台 ２ａ，１２ａ…上平面 ５，１５…吸引孔 ６，１６…周縁部 ８…駆動部 Ｓ…基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 竹本 潤 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】 基板を上平面に保持した状態で回転可能
なチャック台と、該チャック台を回転させる駆動部とを
備え、前記チャック台は上平面に複数の微小な吸引孔を
備えるとともに、周縁部がテーパー形状であることを特
徴とする基板回転装置。 - 【請求項２】 前記吸引孔の開口直径は０．２〜２．０
ｍｍの範囲であることを特徴とする請求項１に記載の基
板回転装置。 - 【請求項３】 前記吸引孔の形成間隔は２〜２０ｍｍの
範囲であることを特徴とする請求項１または請求項２に
記載の基板回転装置。 - 【請求項４】 前記周縁部のテーパー形状は、上平面に
対する角度が１〜８５°の範囲のテーパー形状であるこ
とを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載
の基板回転装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8214290A JPH1034053A (ja) | 1996-07-25 | 1996-07-25 | 基板回転装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8214290A JPH1034053A (ja) | 1996-07-25 | 1996-07-25 | 基板回転装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1034053A true JPH1034053A (ja) | 1998-02-10 |
Family
ID=16653286
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8214290A Pending JPH1034053A (ja) | 1996-07-25 | 1996-07-25 | 基板回転装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1034053A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000160107A (ja) * | 1998-11-30 | 2000-06-13 | Dainippon Printing Co Ltd | 薄板で被覆された基板の製造方法 |
| CN114038782A (zh) * | 2020-12-31 | 2022-02-11 | 广东聚华印刷显示技术有限公司 | 柔性显示器件剥离装置及其剥离方法 |
-
1996
- 1996-07-25 JP JP8214290A patent/JPH1034053A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000160107A (ja) * | 1998-11-30 | 2000-06-13 | Dainippon Printing Co Ltd | 薄板で被覆された基板の製造方法 |
| CN114038782A (zh) * | 2020-12-31 | 2022-02-11 | 广东聚华印刷显示技术有限公司 | 柔性显示器件剥离装置及其剥离方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050513 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050524 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050722 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20051018 |