JP3007963U - 真空蒸着装置のワーク取付具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ワークＷの傾斜角度を可変調整できるように
する。 【構成】 円板形のターンテーブル１０の裏面中心に回
転軸１２が固着されており、ターンテーブルの表面側に
３個のワークＷを円周方向に等間隔に取り付けるように
３セットのワークホルダ１３が配設されている。１つの
ワークホルダはターンテーブルの半径線に対して左右対
称な２つのワーク取付台１３ａ，１３ｂからなる。ワー
ク取付台は、ターンテーブルの中心寄りに固定された高
さの低い第１固定部１４と、この第１固定部に可撓部１
５を介して結合された傾斜プレート１６と、この傾斜プ
レートの自由端側を適宜な傾斜角度で固定するための第
２固定部１７とを備えている。そして、可撓部を中心に
回転させ所定傾斜角度にした傾斜プレートの自由端を固
定ネジ１８により第２固定部に固定し、角度を保持する
とともに、この傾斜プレート上にワークを固定爪を介し
て固定する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、例えば圧電セラミック基板や半導体ウェハのような板状の複数個の ワークを真空蒸着装置にセットするためのワーク取付具の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来の真空蒸着装置のワーク取付具としては、例えば図６，図７に示すような 構造のものがあった。すなわち、円板形ターンテーブル１の裏面中心に回転軸２ が取り付けられているとともに、このターンテーブル１の表面側に、この例では ４個のワークＷを回転軸２を中心とする同心円上に等間隔に配置して固定するよ うに、ワーク固定爪３が設けられている。

【０００３】 そして、図６のターンテーブル１のワーク装着面は平面であり、ワークＷは回 転軸２の直交平面と平行に取り付けられるようになっている。また図７のターン テーブル２はワーク装着面が凹状になったドーム曲面になっており、ワークＷは 回転軸２の直交平面に対して適宜に傾斜して取り付けられるようになる。

【０００４】 そして、上記構成のワーク取付治具を用いて蒸着処理をする場合には、ワーク 固定爪３を用いてワークＷをターンテーブル１に取り付け、次いで、回転軸２を 真空蒸着装置内の回転駆動装置に取り付ける。蒸着中にはターンテーブル１は回 転軸２を中心に適当な速度で回転され、各ワークＷ表面に均一に蒸着膜が形成さ れるように、蒸着源に対する位置、向きが連続的に繰り返し変化する。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

各ワークＷの表面に形成される蒸着膜の厚さを高精度に均一化するのには、さ まざまな条件が関与するが、ターンテーブル１の回転軸２の直交平面に対するワ ークＷの傾斜角度が重要な要件になる。この傾斜角度は何度が良いという具合に 決まっているわけではなく、ワークＷの大きさや、蒸着物質の種類その他の蒸着 条件との関係で、試行錯誤しながら適切な傾斜角度を決めることになる。例えば 図６のワーク取付具ではワークＷの傾斜角度はゼロであり、図７のワーク取付具 ではドーム曲面の曲率によってワークＷの傾斜角度がつく。

【０００６】 そこで、ドーム曲面の曲率の異なる多数のワーク取付具を用意しておいて、図 １の平面型のものも加えて、どのワーク取付具が良いか試行錯誤しながら決めて いる。そのため多種類のワーク取付具を用意しておかなければならず、設備コス トが増加するばかりでなく、その保管なども煩雑となる。

【０００７】 本考案は、上記した背景に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、 上記した問題点を解決し、単一のワーク取付治具によって、ワークの傾斜角度を 変更することができ、蒸着条件に応じた均一な蒸着膜を形成することができ、設 備コストも安価な真空蒸着装置のワーク取付具を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

上記した目的を達成するため、本考案に係る真空蒸着装置のワーク取付具では 、中心に回転軸が取り付けられたターンテーブルと、このターンテーブルの前記 回転軸を中心とする円周上に等間隔に複数個設けられたワークホルダとを備え、 各ワークホルダはこれに装着したワークの前記回転軸の直交面に対する傾斜角度 を適宜に可変調整する傾斜角度調整機構を設けた。

【０００９】 そして、好ましくは、１つのワークを保持するための前記ワークホルダが、複 数のワーク取付台からなり、各ワーク取付台がそれぞれ前記角度調整機構を備え ることである。

【００１０】 また、前記角度調整機構は、第１固定部と、その第１固定部に蝶番を介して連 結された傾斜プレートと、その傾斜プレートの自由端側を固定するための第２固 定部とを備えて構成してもよく、或いは、弾性を有する一枚の板材を折曲して形 成された第１固定部及び傾斜プレートと、その傾斜プレートの自由端側を固定す るための第２固定部とを備え、前記傾斜プレートは、折曲された可撓部を中心と して所定角度回転可能としてもよい。

【００１１】

【作用】

前記の傾斜角度調整機構によりワークを取り付けた状態でのワークの傾斜角度 を適宜に可変調整することができる。すなわち、ワークの傾斜角度は、蒸着条件 により異なるが、単一の取付具により、複数の傾斜角度を設定できるので、その 条件に応じた角度に設定することにより、ワークに成膜される膜厚分布が均一に なる。

【００１２】 より具体的には、傾斜プレートと第２固定部との結合を解除すると、蝶番，可 撓部を中心として傾斜プレートは回転する。よって、所定の傾斜角度になるよう に傾斜プレートの角度を調整後、傾斜プレートを第２固定部に固定する。すると 、傾斜プレートの他端は第１固定部に連結されているため、その傾斜プレートは 係る調整された角度に保持される。そして、この傾斜プレートの表面に直接また は間接的にワークを支持させる。これにより、ワークは所望の傾斜角度になり、 この状態で取付具の回転軸を蒸着装置内の回転駆動機構に連結し、以後所定の蒸 着処理を行なう。

【００１３】

【実施例】

以下、本考案に係る真空蒸着装置のワーク取付具の好適な実施例を添付図面を 参照にして詳述する。図１〜図４は本考案の一実施例による真空蒸着装置のワー ク取付具の概略構成を示している。同図に示すように、平板で円形状のターンテ ーブル１０の裏面中心に回転軸１２が固着されており、ターンテーブル１０の表 面側に複数個（本例では３個）のワークＷを円周方向に等間隔に取り付けるよう に３セットのワークホルダ１３が配設されている。

【００１４】 そして、１つのワークホルダ１３はターンテーブル１０の半径線Ｌに対して左 右対称な２つのワーク取付台１３ａ，１３ｂから構成されている。ここでワーク 取付台１３ａ，１３ｂについて詳述するが、このワーク取付台１３ａ、１３ｂは 左右対称な同じ構成なので、以下ではその一方について説明する。

【００１５】 図２に示すように、ワーク取付台１３ａは、ターンテーブル１０の中心寄りに 固定された高さの低い第１固定部１４と、この第１固定部１４に可撓部１５を介 して一体化された傾斜プレート１６と、この傾斜プレート１６の自由端側を固定 するための第２固定部１７とを備えている。すなわち、本例では、第１固定部１ ４と傾斜プレート１６とは一枚の帯状の板材の適宜位置で折曲し、可撓部１５で 所定角度（標準的なワークの傾斜角度）に折れ曲がるように調整することにより 形成する。さらに、この板材は、金属などの弾性を有する材質から構成すること により、上記所定角度を基準として一定の角度範囲内で可撓部１５を中心に傾斜 プレート１６が回転するようになる。

【００１６】 そして、第２固定部１７にはネジ穴１７ａがあり、傾斜プレート１６にはネジ 穴１７ａに対応する長穴１６ａがある。固定ネジ８を長穴に通してネジ穴７ａに 捩じ込んで、傾斜プレート１６の自由端側を第２固定部１７に固定する。この固 定ネジ１８をゆるめれば、傾斜プレート１６は可撓部１５を中心にその傾斜角度 を適宜に変化させることができ、適宜な傾斜角度に設定して固定ネジ１８を締め つける。これにより、任意の傾斜角度で固定することができる。

【００１７】 一方、このワーク取付台１３ａ，１３ｂの表面側にワークＷを着脱自在に装着 するのであるが、ワーク取付台１３ａ、１３ｂの傾斜プレート１６上に係るワー クＷを固定するためのワーク固定爪１９が設けられている。さらに本例では、図 ４に拡大して示すように、傾斜プレート１６の上面に、リング状のワーク受け部 材２０をネジ２１により固定し、このワーク受け部材２０上にワークＷを置くよ うになっている。これにより、ワークＷの周縁部が全周にわたってこのワーク受 け部材２０により支持されるため安定状態となる。さらに、このワーク受け部材 ２０は、断面がＬ字状になっており、外周縁が起立した係止部２０ａとなり、仮 にワークＷが横ずれしたとしてもこの係止部２０ａに突き当たって、離脱するの が防止される。

【００１８】 なお、ワーク固定爪１９は、図４に示すように傾斜プレート１６の上に配置さ れた筒状の高さ調整部材２２を介して設置され、ネジ２３で固定されるようにな っている。そして、前記のように傾斜プレート１６を角度調整した後、ワーク受 け部材２０の上にワークＷを置いた状態で、そのワーク固定爪１９を締結するこ とにより、ワーク固定爪１９とワーク受け部材２０との間でワークを挟持し、固 定するようになる。

【００１９】 図５は、本考案の他の実施例の要部であるワーク取付台１３ａ，１３ｂを示し ている。同図に示すように、この例では、第１固定部１４´と、傾斜プレート１ ６´が別部材で構成されている。すなわち、両者１４´，１６´をヒンジ（蝶番 ）１５´を介して連結している。これにより、傾斜プレート１６´の傾斜角度を 変えるために回転させた時にヒンジ１５´で反力を受けることがなく、小さな力 で簡単に角度調整を行うことができるとともに、長期にわたって繰り返し使用し ても当該部分が金属疲労などにより損傷することもない。なお、その他の構成並 びに作用効果は、上記した実施例と同様であるため、同一符合を付し、詳細な説 明を省略する。また、図示省略するが、この例でも、上記した実施例のように固 定爪なども備えている。

【００２０】 なお、上記した実施例では、２つのワーク取付台１３ａ，１３ｂは、半径Ｌを 基準として左右対称形にしたが、本考案は必ずしも係る構成にする必要はなく、 非対象としてもよい。そして、その非対象の例としては、第１固定部，可撓部（ ヒンジ），傾斜プレート，第２固定部等の各構成パーツの形状を異ならせる場合 のみならず、例えばワークＷを３点支持すべく、一方の取付台には固定爪１９を ２個設けるが、他方の取付台には固定爪１９を１個しか設けないなど、種々の態 様がある。

【００２１】 また、１つのワークＷを固定するのに必要なワーク取付台の個数も、上記した 実施例のように２個に限ることなく、１個または３個以上としてももちろんよい 。

【００２２】

【考案の効果】

以上詳細に説明したように、本考案の蒸着装置のワーク取付具は、ターンテー ブル上の各ワークホルダにはこれに装着したワークの前記回転軸の直交面に対す る傾斜角度を適宜に可変調整する傾斜角度調整機構を設けたので、１種類のワー ク取付具でワークの傾斜角度をさまざまに変えることができ、これにより蒸着源 に対するワークの方向性を自由に調整でき、蒸着条件に応じた均一な蒸着膜を形 成することができる。また、このように単一のワーク取り付け具を用意すればよ いので、設備コストも安価となる。

【００２３】 そして、複数のワーク取付台で１つのワークを支持するようにした場合には、 ワークとの接触面積を少なくし、ワークの損傷を抑制しつつ、確実に支持するこ とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例によるワーク取付具の概略構
成を示す平面図である。

【図２】図１におけるＡ矢示図である。

【図３】図２におけるＢ矢示図である。

【図４】ワーク固定爪周辺を示す部分拡大図である。

【図５】本考案の他の実施例の要部を示す斜視図であ
る。

【図６】従来のワーク取付具の概略構成図である。

【図７】従来の他のワーク取付具の概略構成図である。

【符号の説明】

１０ ターンテーブル １２ 回転軸 １３ａ、１３ｂ ワーク取付台 １４，１４´ 第１固定部 １５ 可撓部 １５´ ヒンジ １６，１６´ 傾斜プレート １６ａ 長穴 １７ 第２固定部 １７ａ ネジ穴 １８ 固定ネジ １９ 固定爪

Claims (6)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 中心に回転軸が取り付けられたターンテ
   ーブルと、 このターンテーブルの前記回転軸を中心とする円周上に
   等間隔に複数個設けられたワークホルダとを備え、 各ワークホルダはこれに装着したワークの前記回転軸の
   直交面に対する傾斜角度を適宜に可変調整する傾斜角度
   調整機構を有することを特徴とする真空蒸着装置のワー
   ク取付具。
2. 【請求項２】 １つのワークを保持するための前記ワー
   クホルダは、複数のワーク取付台からなり、 各ワーク取付台が、それぞれ前記角度調整機構を有する
   ことを特徴とする請求項１に記載の真空蒸着装置のワー
   ク取付具。
3. 【請求項３】 前記角度調整機構は、第１固定部と、そ
   の第１固定部に蝶番を介して連結された傾斜プレート
   と、その傾斜プレートの自由端側を固定するための第２
   固定部とを備えたことを特徴とする請求項１に記載の真
   空蒸着装置のワーク取付具。
4. 【請求項４】 前記角度調整機構は、第１固定部と、そ
   の第１固定部に蝶番を介して連結された傾斜プレート
   と、その傾斜プレートの自由端側を固定するための第２
   固定部とを備えたことを特徴とする請求項２に記載の真
   空蒸着装置のワーク取付具。
5. 【請求項５】 前記角度調整機構は、弾性を有する一枚
   の板材を折曲して形成された第１固定部及び傾斜プレー
   トと、その傾斜プレートの自由端側を固定するための第
   ２固定部とを備え、 前記傾斜プレートは、折曲された可撓部を中心として所
   定角度回転可能としたことを特徴とする請求項１に記載
   の真空蒸着装置のワーク取付具。
6. 【請求項６】 前記角度調整機構は、弾性を有する一枚
   の板材を折曲して形成された第１固定部及び傾斜プレー
   トと、その傾斜プレートの自由端側を固定するための第
   ２固定部とを備え、 前記傾斜プレートは、折曲された可撓部を中心として所
   定角度回転可能としたことを特徴とする請求項２に記載
   の真空蒸着装置のワーク取付具。