JP3075228B2 - 基板取付治具 - Google Patents
基板取付治具Info
- Publication number
- JP3075228B2 JP3075228B2 JP09264037A JP26403797A JP3075228B2 JP 3075228 B2 JP3075228 B2 JP 3075228B2 JP 09264037 A JP09264037 A JP 09264037A JP 26403797 A JP26403797 A JP 26403797A JP 3075228 B2 JP3075228 B2 JP 3075228B2
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- JP
- Japan
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- holder
- substrate
- back plate
- outer holder
- mounting jig
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板上に薄膜を製
造する装置の基板取付治具に関する。
造する装置の基板取付治具に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、スパッタ法を用いて薄膜を形成す
る手法が多方面にて盛んに実用化されている。
る手法が多方面にて盛んに実用化されている。
【０００３】スパッタ法を用いて薄膜を形成する装置は
大きく分けて２種類あり、一つは薄膜を形成する真空室
において装置に所定の基板を配置装着し、真空排気、ス
パッタ、ベント（窒素ガスを導入すること）、基板取り
外しを繰り返すバッチ方式、もう一つは薄膜形成用真空
室と基板脱着用真空室とが仕切られており各室独立して
真空排気できるロードロック方式がある。
大きく分けて２種類あり、一つは薄膜を形成する真空室
において装置に所定の基板を配置装着し、真空排気、ス
パッタ、ベント（窒素ガスを導入すること）、基板取り
外しを繰り返すバッチ方式、もう一つは薄膜形成用真空
室と基板脱着用真空室とが仕切られており各室独立して
真空排気できるロードロック方式がある。
【０００４】特に、ロードロック方式のスパッタ装置
（以下、装置という）は、薄膜形成用真空室を大気に曝
さずに基板の脱着ができるため、薄膜形成用真空室を高
真空でかつクリーンな状態に保ちつつ所定の基板に薄膜
を形成でき、さらにそのリードタイムも短くできるた
め、製造装置として幅広く用いられている。また、製造
効率を上げるために一度に複数枚の基板を装着できた
り、薄膜の膜厚均一性を向上させるために基板に自転や
公転をさせたりさらにはその両方の機構が搭載された装
置が開発されている。
（以下、装置という）は、薄膜形成用真空室を大気に曝
さずに基板の脱着ができるため、薄膜形成用真空室を高
真空でかつクリーンな状態に保ちつつ所定の基板に薄膜
を形成でき、さらにそのリードタイムも短くできるた
め、製造装置として幅広く用いられている。また、製造
効率を上げるために一度に複数枚の基板を装着できた
り、薄膜の膜厚均一性を向上させるために基板に自転や
公転をさせたりさらにはその両方の機構が搭載された装
置が開発されている。
【０００５】具体的な基板の脱着方法としては様々な方
法があるが、その一つとして、一枚あるいは複数枚の基
板を装着し基板装着用真空室から薄膜形成用真空室に搬
送される平板（ここではキャリアと呼ぶ）を人が装置か
ら取り外し、基板を止めているネジ等を外して脱着する
方法があり、他の方法として、基板を装着するための別
の治具（ここではホルダーと呼ぶ）を用意し、ネジを外
すことによりそのホルダーのみをキャリアから脱着し基
板を止めているネジ等を外して基板を交換する方法があ
る。後者は、基板を自転あるいは自公転させる機構を搭
載した装置によく用いられている。
法があるが、その一つとして、一枚あるいは複数枚の基
板を装着し基板装着用真空室から薄膜形成用真空室に搬
送される平板（ここではキャリアと呼ぶ）を人が装置か
ら取り外し、基板を止めているネジ等を外して脱着する
方法があり、他の方法として、基板を装着するための別
の治具（ここではホルダーと呼ぶ）を用意し、ネジを外
すことによりそのホルダーのみをキャリアから脱着し基
板を止めているネジ等を外して基板を交換する方法があ
る。後者は、基板を自転あるいは自公転させる機構を搭
載した装置によく用いられている。
【０００６】また、中心部に円形状の穴が開けられてい
る光ディスク等に用いられる基板を脱着する際の工夫と
して、特開平２−２８５０７３号公報に開示されている
ような方法がある。
る光ディスク等に用いられる基板を脱着する際の工夫と
して、特開平２−２８５０７３号公報に開示されている
ような方法がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
基板の脱着方法は困難で時間がかかった。たとえば、キ
ャリアはその材質にステンレスを用いているものが多
く、そのため重くキャリアの脱着の負担が大きく安全性
の点に関しても問題があった。また、ホルダーのみを脱
着する場合においても、ホルダーの脱着、基板の脱着等
に時間がかかる。すなわちホルダーを止めているネジ等
を外さなくてはならなかった。
基板の脱着方法は困難で時間がかかった。たとえば、キ
ャリアはその材質にステンレスを用いているものが多
く、そのため重くキャリアの脱着の負担が大きく安全性
の点に関しても問題があった。また、ホルダーのみを脱
着する場合においても、ホルダーの脱着、基板の脱着等
に時間がかかる。すなわちホルダーを止めているネジ等
を外さなくてはならなかった。
【０００８】本発明は上記従来の欠点を鑑みなされたも
のであり、キャリア全体を装置から取り外すことなく外
ホルダーのみを装置から取り外すことにより基板の脱着
ができ、その際ネジ等をゆるめるだけで装置から外ホル
ダーを取り外しができ操作性に優れた基板取付治具を提
供することを目的とする。
のであり、キャリア全体を装置から取り外すことなく外
ホルダーのみを装置から取り外すことにより基板の脱着
ができ、その際ネジ等をゆるめるだけで装置から外ホル
ダーを取り外しができ操作性に優れた基板取付治具を提
供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の基板取付治具
は、基板上に薄膜を形成するスパッタ装置の基板取付治
具であり、前記基板を取り付け、保持する外ホルダー
と、前記スパッタ装置側に接続され、前記外ホルダーを
取り付けるホルダー裏板とを備え、前記外ホルダーは、
前記基板の所定領域に薄膜を形成するための開口部と、
前記基板を前記外ホルダーに取り付けるために前記開口
部の周縁に設けられた逃げ溝と、裏側から前記基板を前
記外ホルダーに止めるための止め具と、前記外ホルダー
を前記ホルダー裏板に取り付けるための止め穴を有し、
前記ホルダー裏板は、前記止め具が前記ホルダー裏板に
当たらないように前記開口部の周縁付近に対向する位置
にある裏板逃げ溝と、前記外ホルダーを前記ホルダー裏
板に止めるための外ホルダー止めネジを有することを特
徴とする。
は、基板上に薄膜を形成するスパッタ装置の基板取付治
具であり、前記基板を取り付け、保持する外ホルダー
と、前記スパッタ装置側に接続され、前記外ホルダーを
取り付けるホルダー裏板とを備え、前記外ホルダーは、
前記基板の所定領域に薄膜を形成するための開口部と、
前記基板を前記外ホルダーに取り付けるために前記開口
部の周縁に設けられた逃げ溝と、裏側から前記基板を前
記外ホルダーに止めるための止め具と、前記外ホルダー
を前記ホルダー裏板に取り付けるための止め穴を有し、
前記ホルダー裏板は、前記止め具が前記ホルダー裏板に
当たらないように前記開口部の周縁付近に対向する位置
にある裏板逃げ溝と、前記外ホルダーを前記ホルダー裏
板に止めるための外ホルダー止めネジを有することを特
徴とする。
【００１０】本発明の基板取付治具は、前記外ホルダー
を前記ホルダー裏板に前記外ホルダー止めネジを用いて
固定したときに、前記逃げ溝が前記基板と前記ホルダー
裏板が密着する溝深さとなることを特徴とする。
を前記ホルダー裏板に前記外ホルダー止めネジを用いて
固定したときに、前記逃げ溝が前記基板と前記ホルダー
裏板が密着する溝深さとなることを特徴とする。
【００１１】本発明の基板取付治具は、前記外ホルダー
において、前記ホルダー裏板に取り付けるための止め穴
が横長形状でかつその一端の幅が広がっていることを特
徴とする。
において、前記ホルダー裏板に取り付けるための止め穴
が横長形状でかつその一端の幅が広がっていることを特
徴とする。
【００１２】本発明の基板取付治具は、前記ホルダー基
板が前記スパッタ装置側に固定されていることを特徴と
する。
板が前記スパッタ装置側に固定されていることを特徴と
する。
【００１３】本発明の基板取付治具は、ホルダー裏板は
装置側に固定されており、基板の脱着は基板を固定して
いる外ホルダーを脱着して、外ホルダーの裏側に取り付
けられている止め具を用いて脱着することができ、ま
た、外ホルダーはホルダー裏板に取り付けられた外ホル
ダー止めネジをゆるめた後外ホルダーを時計回りあるい
は反時計回りに少し回転することによってホルダー裏板
から取り外すことができるため操作性に優れる。
装置側に固定されており、基板の脱着は基板を固定して
いる外ホルダーを脱着して、外ホルダーの裏側に取り付
けられている止め具を用いて脱着することができ、ま
た、外ホルダーはホルダー裏板に取り付けられた外ホル
ダー止めネジをゆるめた後外ホルダーを時計回りあるい
は反時計回りに少し回転することによってホルダー裏板
から取り外すことができるため操作性に優れる。
【００１４】また、基板はホルダー裏板と密着させて固
定するため、ホルダー基板が放熱板として働き薄膜形成
の際の基板温度の上昇を抑制できる。
定するため、ホルダー基板が放熱板として働き薄膜形成
の際の基板温度の上昇を抑制できる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の基板取付治具の一
実施形態を図１および図２に基づいて説明する。
実施形態を図１および図２に基づいて説明する。
【００１６】この実施形態は、〔従来の技術〕において
述べたような基板脱着用真空室と薄膜形成用真空室とが
仕切られ各室独立して真空排気できるようなロードロッ
ク方式で、４枚の基板を装着できるタイプのキャリアを
装備したスパッタ装置についての基板取付治具である。
述べたような基板脱着用真空室と薄膜形成用真空室とが
仕切られ各室独立して真空排気できるようなロードロッ
ク方式で、４枚の基板を装着できるタイプのキャリアを
装備したスパッタ装置についての基板取付治具である。
【００１７】図１は、外ホルダーとホルダー裏板からな
る基板ホルダー全体を示す正面図およびそのＡ−Ａ′断
面図である。
る基板ホルダー全体を示す正面図およびそのＡ−Ａ′断
面図である。
【００１８】外ホルダー２は鍵穴状の外ホルダー止め穴
５が４ケ所設けられており、その穴の長方形状の部分に
ホルダー裏板６につけられた外ホルダー止めネジ７を通
してホルダー裏板６に固定されている。このとき、外ホ
ルダー止め穴５の円形状の部分は、外ホルダー止めネジ
７の頭が通り抜ける程度の大きさを有し、それから横に
延びる長方形状の部分の幅方向の大きさは外ホルダー止
めネジ７の頭が通り抜けない程度の大きさとしている。
さらに、外ホルダー２には予め基板１の厚さに相当する
基板取り付け用逃げ溝８１を設けてある。
５が４ケ所設けられており、その穴の長方形状の部分に
ホルダー裏板６につけられた外ホルダー止めネジ７を通
してホルダー裏板６に固定されている。このとき、外ホ
ルダー止め穴５の円形状の部分は、外ホルダー止めネジ
７の頭が通り抜ける程度の大きさを有し、それから横に
延びる長方形状の部分の幅方向の大きさは外ホルダー止
めネジ７の頭が通り抜けない程度の大きさとしている。
さらに、外ホルダー２には予め基板１の厚さに相当する
基板取り付け用逃げ溝８１を設けてある。
【００１９】ここで、外ホルダー止め穴５の数は４ケ所
に限定する必要性はなく、外ホルダー２がホルダー裏板
６に安定に固定できればよく、また形状についても鍵穴
状に限らず穴の一部分が外ホルダー止めネジ７の頭が通
り抜ける程度の大きさで、かつ長方形状の部分も外ホル
ダー止めネジ７の頭が通り抜けない程度の大きさを有す
る穴であればよい。
に限定する必要性はなく、外ホルダー２がホルダー裏板
６に安定に固定できればよく、また形状についても鍵穴
状に限らず穴の一部分が外ホルダー止めネジ７の頭が通
り抜ける程度の大きさで、かつ長方形状の部分も外ホル
ダー止めネジ７の頭が通り抜けない程度の大きさを有す
る穴であればよい。
【００２０】基板１は、ホルダー裏板６から外ホルダー
２を取り外し、外ホルダー２の裏側から薄膜を形成する
面を外ホルダー２の中央部に予め開けられている正方形
の窓の方に向けて取り付け、外ホルダー２に具備された
基板裏押さえ止め具３を用いてネジ４を締めることによ
り固定する。この基板裏押さえ止め具３には薄いステン
レスの板が使われる。
２を取り外し、外ホルダー２の裏側から薄膜を形成する
面を外ホルダー２の中央部に予め開けられている正方形
の窓の方に向けて取り付け、外ホルダー２に具備された
基板裏押さえ止め具３を用いてネジ４を締めることによ
り固定する。この基板裏押さえ止め具３には薄いステン
レスの板が使われる。
【００２１】ここで、外ホルダー２の中央部に開けられ
ている窓の大きさ形状についても、本実施形態に限ら
ず、基板の所望の領域に薄膜が形成されるような窓が開
いていればよいことは言うまでもない。
ている窓の大きさ形状についても、本実施形態に限ら
ず、基板の所望の領域に薄膜が形成されるような窓が開
いていればよいことは言うまでもない。
【００２２】基板１を外ホルダー２に取り付けた後、外
ホルダー止め穴５の円形状の部分に外ホルダー止めネジ
７の頭を通し時計回りに回して外ホルダー止め穴５の長
方形状の部分に外ホルダー止めネジ７の頭がくるように
し外れないようにする。次に外ホルダー止めネジ７を締
めて外ホルダー２をホルダー裏板６に対し固定する。
ホルダー止め穴５の円形状の部分に外ホルダー止めネジ
７の頭を通し時計回りに回して外ホルダー止め穴５の長
方形状の部分に外ホルダー止めネジ７の頭がくるように
し外れないようにする。次に外ホルダー止めネジ７を締
めて外ホルダー２をホルダー裏板６に対し固定する。
【００２３】図２は、４ケ所の基板取付治具に基板が取
り付けられたキャリア全体を示す簡略図である。
り付けられたキャリア全体を示す簡略図である。
【００２４】ホルダー裏板６は、キャリア１０に備え付
けられている円盤上の平板９（以下、パレットと呼ぶ）
に固定されており、上述したように基板１を取り付ける
際は外ホルダー２のみを上記所定の方法を用いて取り外
すことによって行う。
けられている円盤上の平板９（以下、パレットと呼ぶ）
に固定されており、上述したように基板１を取り付ける
際は外ホルダー２のみを上記所定の方法を用いて取り外
すことによって行う。
【００２５】ここで、基板は４枚装着できるようになっ
ているが、必ずしも４枚に限ったものではない。
ているが、必ずしも４枚に限ったものではない。
【００２６】さらに、図２には記載されていないが、パ
レット９およびキャリア１０にそれぞれ自転、公転ある
いは自公転等の回転機構を搭載したものを用いることも
できる。
レット９およびキャリア１０にそれぞれ自転、公転ある
いは自公転等の回転機構を搭載したものを用いることも
できる。
【００２７】これにより、スパッタの条件等が基板の位
置により多少異っていたとしても成膜すべき膜の均一性
を確保できる。また、自転と公転の向きは逆方向とする
と上記の均一性の点でより効果的である。
置により多少異っていたとしても成膜すべき膜の均一性
を確保できる。また、自転と公転の向きは逆方向とする
と上記の均一性の点でより効果的である。
【００２８】回転機構を搭載したパレットまたはキャリ
アを用いるときには、外ホルダー２を脱着する際にホル
ダー裏板６等が回転しないように回転を抑止する機構を
具備しておくとなおよい。
アを用いるときには、外ホルダー２を脱着する際にホル
ダー裏板６等が回転しないように回転を抑止する機構を
具備しておくとなおよい。
【００２９】以上、本発明において適する一実施形態に
ついて記述してきたが、上述の実施形態以外においても
本発明に該当する範囲内で様々な変更が可能であること
はいうまでもないことである。
ついて記述してきたが、上述の実施形態以外においても
本発明に該当する範囲内で様々な変更が可能であること
はいうまでもないことである。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、キ
ャリア全体を装置から取り外すことなくホルダーのみを
取り外すことにより基板の脱着ができ、その際ネジ等を
ゆるめるだけでホルダーを装置から取り外しができるた
め操作性に優れ、また、基板はホルダー裏板と密着させ
て固定するため、ホルダー裏板が放熱板として働き薄膜
形成の際の基板温度の上昇を抑制できる基板取付治具を
提供することができる。
ャリア全体を装置から取り外すことなくホルダーのみを
取り外すことにより基板の脱着ができ、その際ネジ等を
ゆるめるだけでホルダーを装置から取り外しができるた
め操作性に優れ、また、基板はホルダー裏板と密着させ
て固定するため、ホルダー裏板が放熱板として働き薄膜
形成の際の基板温度の上昇を抑制できる基板取付治具を
提供することができる。
【図１】本発明の基板取付治具の一実施形態を示す図。
【図２】本発明の基板取付治具を含むキャリア全体の構
造を示す簡略図。
造を示す簡略図。
１ 基板 ２ 外ホルダー ３ 基板裏押さえ止め具 ４ ネジ ５ 外ホルダー止め穴 ６ ホルダー裏板 ７ 外ホルダー止めネジ ８１ 基板取付用逃げ溝 ８２ ホルダー裏板逃げ溝 ９ パレット（平板） １０ キャリア
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C23C 14/00 - 14/58 C23C 16/00 - 16/56
Claims (4)
- 【請求項１】 基板上に薄膜を形成するスパッタ装置の
基板取付治具において、 前記基板を取り付け、保持する外ホルダーと、 前記スパッタ装置側に接続され、前記外ホルダーを取り
付けるホルダー裏板とを備え、 前記外ホルダーは、前記基板の所定領域に薄膜を形成す
るための開口部と、 前記基板を前記外ホルダーに取り付けるために前記開口
部の周縁に設けられた逃げ溝と、 裏側から前記基板を前記外ホルダーに止めるための止め
具と、 前記外ホルダーを前記ホルダー裏板に取り付けるための
止め穴を有し、 前記ホルダー裏板は、前記止め具が前記ホルダー裏板に
当たらないように前記開口部の周縁付近に対向する位置
にある裏板逃げ溝と、 前記外ホルダーを前記ホルダー裏板に止めるための外ホ
ルダー止めネジを有することを特徴とする基板取付治
具。 - 【請求項２】 前記外ホルダーを前記ホルダー裏板に前
記外ホルダー止めネジを用いて固定したときに、 前記逃げ溝が前記基板と前記ホルダー裏板が密着する溝
深さとなることを特徴とする請求項１記載の基板取付治
具。 - 【請求項３】 前記外ホルダーにおいて、前記ホルダー
裏板に取り付けるための止め穴が横長形状でかつその一
端の幅が広がっていることを特徴とする請求項１または
２記載の基板取付治具。 - 【請求項４】 前記ホルダー基板が前記スパッタ装置側
に固定されていることを特徴とする請求項１、２または
３記載の基板取付治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09264037A JP3075228B2 (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | 基板取付治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09264037A JP3075228B2 (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | 基板取付治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11100669A JPH11100669A (ja) | 1999-04-13 |
| JP3075228B2 true JP3075228B2 (ja) | 2000-08-14 |
Family
ID=17397680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09264037A Expired - Fee Related JP3075228B2 (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | 基板取付治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3075228B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100583522B1 (ko) * | 2005-01-05 | 2006-05-25 | 삼성에스디아이 주식회사 | 기판 고정 트레이, 이를 이용한 기판 정렬 시스템 및 그방법 |
| CN103295941A (zh) * | 2013-05-31 | 2013-09-11 | 国电光伏有限公司 | 一种异质结板式pecvd载板 |
| CN109712929B (zh) * | 2018-12-26 | 2021-05-28 | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） | 单晶圆卡盘及使用方法 |
-
1997
- 1997-09-29 JP JP09264037A patent/JP3075228B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11100669A (ja) | 1999-04-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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