JPH05237435A - スピナー装置の板状体装着固定装置 - Google Patents
スピナー装置の板状体装着固定装置Info
- Publication number
- JPH05237435A JPH05237435A JP4043693A JP4369392A JPH05237435A JP H05237435 A JPH05237435 A JP H05237435A JP 4043693 A JP4043693 A JP 4043693A JP 4369392 A JP4369392 A JP 4369392A JP H05237435 A JPH05237435 A JP H05237435A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- arm
- rotation
- movable holding
- parts
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】板状体の大きさや形状が異なった場合でも、保
持手段の調整や位置決め設定をすることなく、板状体が
回転中に移動しないように確実に板状体を回転盤に対し
て装着固定できるようにすることにある。 【構成】回転盤２にその回転運動円に沿ってほぼ等間隔
に配置され且つ回転中心部を挟んで対向する３対乃至そ
れ以上のアーム支持部３，４と、各対のアーム支持部に
回転中心部を通過するように水平方向に摺動移動可能に
装着した支持アーム５と、前記回転運動円に沿って等間
隔に配置され且つ各々支持アームの両端部にそれぞれ可
動保持部６，重り７と、回転盤上面に回転中心部を挟ん
で前記可動保持部と対向して取付けた固定保持部８と、
前記アーム支持部４と可動保持部６との間に装着した弾
性部材９とを設けたスピナー装置の板状体装着固定装
置。
持手段の調整や位置決め設定をすることなく、板状体が
回転中に移動しないように確実に板状体を回転盤に対し
て装着固定できるようにすることにある。 【構成】回転盤２にその回転運動円に沿ってほぼ等間隔
に配置され且つ回転中心部を挟んで対向する３対乃至そ
れ以上のアーム支持部３，４と、各対のアーム支持部に
回転中心部を通過するように水平方向に摺動移動可能に
装着した支持アーム５と、前記回転運動円に沿って等間
隔に配置され且つ各々支持アームの両端部にそれぞれ可
動保持部６，重り７と、回転盤上面に回転中心部を挟ん
で前記可動保持部と対向して取付けた固定保持部８と、
前記アーム支持部４と可動保持部６との間に装着した弾
性部材９とを設けたスピナー装置の板状体装着固定装
置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、フォトマスク、カラー
フィルター用ガラス基板、樹脂板あるいは金属板など板
状体を装着固定して高速回転させ、板状体表面にレジス
ト液、現像液などを塗布するためのスピナー装置の板状
体装着固定装置に関する。
フィルター用ガラス基板、樹脂板あるいは金属板など板
状体を装着固定して高速回転させ、板状体表面にレジス
ト液、現像液などを塗布するためのスピナー装置の板状
体装着固定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般にスピナー装置は、板状体を装着し
て高速回転する回転盤を備え、板状体は、回転盤表面に
装備された真空吸着手段によって吸着固定し、且つ該板
状体の端縁部外側より保持手段によって保持することに
よって、回転中に板状体が移動しないように装着固定し
ていた。
て高速回転する回転盤を備え、板状体は、回転盤表面に
装備された真空吸着手段によって吸着固定し、且つ該板
状体の端縁部外側より保持手段によって保持することに
よって、回転中に板状体が移動しないように装着固定し
ていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、スピナー装
置によって塗布加工、現像加工される板状体の大きさや
形状は種々あり、板状体が回転中に移動しないように、
その都度大きさや形状に合わせて保持手段の調整や位置
決め設定をする必要があった。本発明は、板状体の大き
さや形状が異なった場合でも、保持手段の調整や位置決
め設定をすることなく、板状体が回転中に移動しないよ
うに確実に板状体を回転盤に対して装着固定できるよう
にすることにある。
置によって塗布加工、現像加工される板状体の大きさや
形状は種々あり、板状体が回転中に移動しないように、
その都度大きさや形状に合わせて保持手段の調整や位置
決め設定をする必要があった。本発明は、板状体の大き
さや形状が異なった場合でも、保持手段の調整や位置決
め設定をすることなく、板状体が回転中に移動しないよ
うに確実に板状体を回転盤に対して装着固定できるよう
にすることにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、下側支軸１を
中心に回転する回転盤２上面にその回転運動円に沿って
ほぼ等間隔に配置され且つ回転中心部を挟んで対向して
取付けた３対乃至それ以上のアーム支持部３，４と、そ
れぞれ各対のアーム支持部３，４に回転中心部上側を通
過するように水平方向に摺動移動可能に装着した支持ア
ーム５と、前記回転運動円に沿ってほぼ等間隔に配置さ
れ且つ各々支持アーム５の両端部に取付けたそれぞれ可
動保持部６，重り７と、回転盤２上面に回転中心部を挟
んで前記可動保持部６と対向して取付けた固定保持部８
と、前記アーム支持部４と可動保持部６との間に装着し
た伸長方向に付勢する弾性部材９とを設けたことを特徴
とするスピナー装置の板状体装着固定装置である。
中心に回転する回転盤２上面にその回転運動円に沿って
ほぼ等間隔に配置され且つ回転中心部を挟んで対向して
取付けた３対乃至それ以上のアーム支持部３，４と、そ
れぞれ各対のアーム支持部３，４に回転中心部上側を通
過するように水平方向に摺動移動可能に装着した支持ア
ーム５と、前記回転運動円に沿ってほぼ等間隔に配置さ
れ且つ各々支持アーム５の両端部に取付けたそれぞれ可
動保持部６，重り７と、回転盤２上面に回転中心部を挟
んで前記可動保持部６と対向して取付けた固定保持部８
と、前記アーム支持部４と可動保持部６との間に装着し
た伸長方向に付勢する弾性部材９とを設けたことを特徴
とするスピナー装置の板状体装着固定装置である。
【０００５】
【実施例】本発明スピナー装置の板状体装着固定装置
を、図１、図２の一実施例に従って詳細に説明する。支
軸１は、パルスモーター、サーボモーターなど所定の電
動モーター（図示せず）にて駆動回転し、所定の軸受部
（図示せず）に垂直に軸支されている。
を、図１、図２の一実施例に従って詳細に説明する。支
軸１は、パルスモーター、サーボモーターなど所定の電
動モーター（図示せず）にて駆動回転し、所定の軸受部
（図示せず）に垂直に軸支されている。
【０００６】回転盤２は、円形状若しくは正方形状であ
り、その下側に取付けられた前記支軸１によって水平に
支持され、該支軸１の駆動回転によって、低速回転乃至
高速回転可能である。回転盤２上面には、その回転中心
部を挟んで対向する３対のアーム支持部３，４を、それ
ぞれが回転盤２の回転運動円に沿って等間隔に固定状態
に立設してある。
り、その下側に取付けられた前記支軸１によって水平に
支持され、該支軸１の駆動回転によって、低速回転乃至
高速回転可能である。回転盤２上面には、その回転中心
部を挟んで対向する３対のアーム支持部３，４を、それ
ぞれが回転盤２の回転運動円に沿って等間隔に固定状態
に立設してある。
【０００７】該アーム支持部３，４は、図１の一実施例
においては、回転盤２上面に、３対の対向するアーム支
持部３ａ，４ａ、アーム支持部３ｂ，４ｂ、アーム支持
部３ｃ，４ｃとして取付けられている。
においては、回転盤２上面に、３対の対向するアーム支
持部３ａ，４ａ、アーム支持部３ｂ，４ｂ、アーム支持
部３ｃ，４ｃとして取付けられている。
【０００８】支持アーム５は、図１に示すように、対向
する前記アーム支持部３ａ，４ａ、３ｂ，４ｂ、３ｃ，
４ｃの各々に水平方向に摺動移動可能に嵌装支持されて
いるものであり、例えば、支持アーム５ａは対向するア
ーム支持部３ａ，４ａに、支持アーム５ｂは対向するア
ーム支持部３ｂ，４ｂに、又、支持アーム５ｃは対向す
る支持アーム３ｃ，４ｃにそれぞれ嵌装支持される。
する前記アーム支持部３ａ，４ａ、３ｂ，４ｂ、３ｃ，
４ｃの各々に水平方向に摺動移動可能に嵌装支持されて
いるものであり、例えば、支持アーム５ａは対向するア
ーム支持部３ａ，４ａに、支持アーム５ｂは対向するア
ーム支持部３ｂ，４ｂに、又、支持アーム５ｃは対向す
る支持アーム３ｃ，４ｃにそれぞれ嵌装支持される。
【０００９】図２のＬ−Ｌ側断面図に示すように、前記
支持アーム５ａは上段に、支持アーム５ｂは支持アーム
５ａ下側の中段位置に、そして支持アーム５ｃは支持ア
ーム５ｂの下側の下段に、それぞれのアーム支持部３，
４によって支持されている。
支持アーム５ａは上段に、支持アーム５ｂは支持アーム
５ａ下側の中段位置に、そして支持アーム５ｃは支持ア
ーム５ｂの下側の下段に、それぞれのアーム支持部３，
４によって支持されている。
【００１０】図１、前記支持アーム５（支持アーム５
ａ、５ｂ、５ｃ）の一端部には、基板端縁保持用の可動
保持部６（各々可動保持部６ａ，６ｂ，６ｃ）が取付け
られ、他端部には重り７（各々重り７ａ，７ｂ，７ｃ）
が取り付けられている。
ａ、５ｂ、５ｃ）の一端部には、基板端縁保持用の可動
保持部６（各々可動保持部６ａ，６ｂ，６ｃ）が取付け
られ、他端部には重り７（各々重り７ａ，７ｂ，７ｃ）
が取り付けられている。
【００１１】回転盤２上面には、回転中心部を挟んで前
記可動保持部６（６ａ，６ｂ，６ｃ）と対向する位置
に、それぞれ固定保持部８（８ａ，８ｂ，８ｃ）を取り
付けてある。なお、該固定保持部８は、回転盤２上面に
対して回転中心部より放射状方向に適宜調整して位置決
め固定できるようにすることは可能である。
記可動保持部６（６ａ，６ｂ，６ｃ）と対向する位置
に、それぞれ固定保持部８（８ａ，８ｂ，８ｃ）を取り
付けてある。なお、該固定保持部８は、回転盤２上面に
対して回転中心部より放射状方向に適宜調整して位置決
め固定できるようにすることは可能である。
【００１２】前記可動保持部６は、摺動移動可能な支持
アーム５の一端部に取り付けられて移動可能であり、
又、固定保持部８は、回転盤２上面に、可動保持部６と
回転中心部を挟んで対向して、固定状態で取り付けられ
ており、可動保持部６と固定保持部８のそれぞれ上部に
は、互いに対向するように、塗布又は現像用のガラス基
板など板状体の端縁を嵌合して、回転中心の外側方向よ
り保持するそれぞれ切欠部１０，１１、若しくは突起部
を設ける。なお、図１において、１３は切欠部１０の段
差壁部であり、１４は切欠部１１の段差壁部である。
アーム５の一端部に取り付けられて移動可能であり、
又、固定保持部８は、回転盤２上面に、可動保持部６と
回転中心部を挟んで対向して、固定状態で取り付けられ
ており、可動保持部６と固定保持部８のそれぞれ上部に
は、互いに対向するように、塗布又は現像用のガラス基
板など板状体の端縁を嵌合して、回転中心の外側方向よ
り保持するそれぞれ切欠部１０，１１、若しくは突起部
を設ける。なお、図１において、１３は切欠部１０の段
差壁部であり、１４は切欠部１１の段差壁部である。
【００１３】各々前記固定保持部８については、図１に
示すように、その切欠部１１にあるそれぞれ段差壁部１
４は、例えば、回転盤２の回転円における所定の同一回
転円相当部に沿って位置決め固定されており、該同一回
転円の内側の切欠部１１上に、塗布、現像用の円形状ガ
ラス基板など板状体を載置するものである。なお、図１
における段差壁部１３，１４の平面形状ラインは、前記
所定の同一回転円に沿った形状であってもよいが、必ず
しも、これに限定されるものではなく、段差壁部１３，
１４は、装着固定すべき基板（板状体）の端縁に対して
面接触でも、点接触でもいずれでもよい。
示すように、その切欠部１１にあるそれぞれ段差壁部１
４は、例えば、回転盤２の回転円における所定の同一回
転円相当部に沿って位置決め固定されており、該同一回
転円の内側の切欠部１１上に、塗布、現像用の円形状ガ
ラス基板など板状体を載置するものである。なお、図１
における段差壁部１３，１４の平面形状ラインは、前記
所定の同一回転円に沿った形状であってもよいが、必ず
しも、これに限定されるものではなく、段差壁部１３，
１４は、装着固定すべき基板（板状体）の端縁に対して
面接触でも、点接触でもいずれでもよい。
【００１４】可動保持部６を取り付けた支持アーム５の
一端部側を嵌装支持するアーム支持部３と、可動保持部
６との間には、伸長方向に付勢する弾性部材９を備え、
図１に示すように、各アーム支持部３ａと可動保持部６
ａとの間、アーム支持部３ｂと可動保持部６ｂとの間、
及びアーム支持部３ｃと可動保持部６ｃとの間に、それ
ぞれ支持アーム５ａ，５ｂ，５ｃに巻回してコイルバネ
による弾性部材９を装着するものである。
一端部側を嵌装支持するアーム支持部３と、可動保持部
６との間には、伸長方向に付勢する弾性部材９を備え、
図１に示すように、各アーム支持部３ａと可動保持部６
ａとの間、アーム支持部３ｂと可動保持部６ｂとの間、
及びアーム支持部３ｃと可動保持部６ｃとの間に、それ
ぞれ支持アーム５ａ，５ｂ，５ｃに巻回してコイルバネ
による弾性部材９を装着するものである。
【００１５】又、必要に応じて、可動保持部６ａ，６
ｂ，６ｃとコイルバネの弾性部材９との間に、支持アー
ム５ａ，５ｂ，５ｃに沿って所定位置に移動可能及び位
置決め固定可能なバネ強度調整板１２を設けるものであ
る。該バネ強度調整板１２は、例えば、支持アーム５に
対して摺動移動可能な該バネ強度調整板１２を、止めネ
ジ１２ａのネジ締めによって位置決め固定し、弛めるこ
とによって移動可能にする方式、あるいは支持アーム５
に直接螺着するように設けたナット（又はダブルナッ
ト）でもよい。
ｂ，６ｃとコイルバネの弾性部材９との間に、支持アー
ム５ａ，５ｂ，５ｃに沿って所定位置に移動可能及び位
置決め固定可能なバネ強度調整板１２を設けるものであ
る。該バネ強度調整板１２は、例えば、支持アーム５に
対して摺動移動可能な該バネ強度調整板１２を、止めネ
ジ１２ａのネジ締めによって位置決め固定し、弛めるこ
とによって移動可能にする方式、あるいは支持アーム５
に直接螺着するように設けたナット（又はダブルナッ
ト）でもよい。
【００１６】本発明スピナー装置の板状体装着固定装置
においては、前記アーム支持部３，４を３対以上設置し
て、それぞれに支持アーム５を摺動自在に嵌装支持し、
その各々両端部に取付けられる可動保持部６と重り７、
可動保持部６と対向する固定保持部８、及び弾性部材９
により構成するようにすることは可能である。
においては、前記アーム支持部３，４を３対以上設置し
て、それぞれに支持アーム５を摺動自在に嵌装支持し、
その各々両端部に取付けられる可動保持部６と重り７、
可動保持部６と対向する固定保持部８、及び弾性部材９
により構成するようにすることは可能である。
【００１７】本発明スピナー装置の板状体装着固定装置
の使用例を図１、図２に従って説明すれば、図１、回転
盤２上面の固定保持板８ａ，８ｂ，８ｃの各々切欠部１
１上に、例えば、円形状の塗布用ガラス基板Ａ（板状
体）を載置した後に、回転盤２を駆動回転（例えば回転
数１５０ｒｐｍ〜１２０００ｒｐｍ）させると、各々重
り７ａ，７ｂ，７ｃの質量（例えば５０ｇ〜３００ｇ程
度）による回転遠心力によって、各々支持アーム５ａ，
５ｂ，５ｃ及びそれに取付けられている各々可動保持部
６ａ，６ｂ，６ｃは、重り７の取り付けられている方向
に摺動移動し、その各々可動保持部６の切欠部１０は、
ガラス基板Ａの端縁と嵌合して、図２、各々可動保持部
６の切欠部１０にある垂直面乃至回転中心部側に傾斜す
る傾斜面、又はコの字型面である段差壁部１３が基板Ａ
の端縁を、それと対向する各々固定保持部８側に押圧す
る。なお、図２において、本発明に係るのスピナー装置
の回転盤２上方には、基板Ａ（板状体）表面に塗布、供
給するためのコーティング樹脂液（フォトレジストな
ど）あるいは現像液などを流下させる供給ノズル（図示
せず）を備える。
の使用例を図１、図２に従って説明すれば、図１、回転
盤２上面の固定保持板８ａ，８ｂ，８ｃの各々切欠部１
１上に、例えば、円形状の塗布用ガラス基板Ａ（板状
体）を載置した後に、回転盤２を駆動回転（例えば回転
数１５０ｒｐｍ〜１２０００ｒｐｍ）させると、各々重
り７ａ，７ｂ，７ｃの質量（例えば５０ｇ〜３００ｇ程
度）による回転遠心力によって、各々支持アーム５ａ，
５ｂ，５ｃ及びそれに取付けられている各々可動保持部
６ａ，６ｂ，６ｃは、重り７の取り付けられている方向
に摺動移動し、その各々可動保持部６の切欠部１０は、
ガラス基板Ａの端縁と嵌合して、図２、各々可動保持部
６の切欠部１０にある垂直面乃至回転中心部側に傾斜す
る傾斜面、又はコの字型面である段差壁部１３が基板Ａ
の端縁を、それと対向する各々固定保持部８側に押圧す
る。なお、図２において、本発明に係るのスピナー装置
の回転盤２上方には、基板Ａ（板状体）表面に塗布、供
給するためのコーティング樹脂液（フォトレジストな
ど）あるいは現像液などを流下させる供給ノズル（図示
せず）を備える。
【００１８】固定保持部８側に押圧された基板Ａ端縁
は、固定保持部８の切欠部１１にある垂直面乃至回転中
心部側に傾斜する傾斜面、又はコの字型面である段差壁
部１４に、遠心力に相当する付勢力にて押圧されて、基
板Ａは、各々可動保持部６の段差壁部１３と固定保持部
８の段差壁部１４との間に挟持され、これによって基板
Ａ（板状体）は、回転盤２上に水平に装着固定されるも
のである。
は、固定保持部８の切欠部１１にある垂直面乃至回転中
心部側に傾斜する傾斜面、又はコの字型面である段差壁
部１４に、遠心力に相当する付勢力にて押圧されて、基
板Ａは、各々可動保持部６の段差壁部１３と固定保持部
８の段差壁部１４との間に挟持され、これによって基板
Ａ（板状体）は、回転盤２上に水平に装着固定されるも
のである。
【００１９】図３は、上記本発明スピナー装置の板状体
装着固定装置において、回転盤２上に装着固定すべき円
形状の板状体Ａ本体の端縁に切欠部ａがある場合の装着
固定の一例を示すものである。
装着固定装置において、回転盤２上に装着固定すべき円
形状の板状体Ａ本体の端縁に切欠部ａがある場合の装着
固定の一例を示すものである。
【００２０】図４は、本発明スピナー装置の板状体装着
固定装置において、回転盤２上に装着固定すべき板状体
Ａが矩形状の場合の装着固定の一例を示すものである。
固定装置において、回転盤２上に装着固定すべき板状体
Ａが矩形状の場合の装着固定の一例を示すものである。
【００２１】
【作用】本発明スピナー装置の板状体装着固定装置は、
下側支軸１を中心に回転する回転盤２上面に回転運動円
に沿ってほぼ等間隔に配置され且つ回転中心部を挟んで
対向する３対のアーム支持部３，４に、回転盤の回転中
心部上側を通過するように水平方向に摺動移動可能に装
着した支持アーム５を設け、各々支持アーム５の両端部
にそれぞれ可動保持部６，重り７と、回転盤２上面に回
転中心部を挟んで前記可動保持部６と対向する固定保持
部８と、前記アーム支持部４と基板端縁保持部６との間
に装着した伸長方向に付勢する弾性部材９とを設けたの
で、回転盤２が回転したとき、重り７には回転円外に向
かう遠心力が働き、重り７と支持アーム５を介して連結
された各々可動保持部６は回転中心方向に付勢され、板
状体Ａの端縁は、可動保持部６と固定保持部８とによっ
て挟持され、これによって板状体Ａを回転盤２上に装着
固定することができる。
下側支軸１を中心に回転する回転盤２上面に回転運動円
に沿ってほぼ等間隔に配置され且つ回転中心部を挟んで
対向する３対のアーム支持部３，４に、回転盤の回転中
心部上側を通過するように水平方向に摺動移動可能に装
着した支持アーム５を設け、各々支持アーム５の両端部
にそれぞれ可動保持部６，重り７と、回転盤２上面に回
転中心部を挟んで前記可動保持部６と対向する固定保持
部８と、前記アーム支持部４と基板端縁保持部６との間
に装着した伸長方向に付勢する弾性部材９とを設けたの
で、回転盤２が回転したとき、重り７には回転円外に向
かう遠心力が働き、重り７と支持アーム５を介して連結
された各々可動保持部６は回転中心方向に付勢され、板
状体Ａの端縁は、可動保持部６と固定保持部８とによっ
て挟持され、これによって板状体Ａを回転盤２上に装着
固定することができる。
【００２２】
【発明の効果】本発明スピナー装置の板状体装着固定装
置は、板状体の大きさや形状が異なった場合でも、保持
手段の調整や位置決め設定をすることなく、板状体が回
転中に移動しないように確実に板状体を回転盤に対して
装着固定できる効果がある。
置は、板状体の大きさや形状が異なった場合でも、保持
手段の調整や位置決め設定をすることなく、板状体が回
転中に移動しないように確実に板状体を回転盤に対して
装着固定できる効果がある。
【図１】本発明スピナー装置の板状体装着固定装置にお
ける一実施例を説明する平面図である。
ける一実施例を説明する平面図である。
【図２】本発明スピナー装置の板状体装着固定装置にお
ける一実施例を説明するＬ−Ｌ側断面図である。
ける一実施例を説明するＬ−Ｌ側断面図である。
【図３】本発明スピナー装置の板状体装着固定装置によ
り切欠部のある円形状の板状体を装着固定した場合の一
例を説明する平面図である。
り切欠部のある円形状の板状体を装着固定した場合の一
例を説明する平面図である。
【図４】本発明スピナー装置の板状体装着固定装置によ
り矩形状の板状体を装着固定した場合の一例を説明する
平面図である。
り矩形状の板状体を装着固定した場合の一例を説明する
平面図である。
１…支軸 ２…回転盤 ３…アーム支持部 ３ａ，３
ｂ，３ｃ…アーム支持部 ４…アーム支持部 ４ａ，４ｂ，４ｃ…アーム支持部
５…支持アーム ５ａ，５ｂ，５ｃ…支持アーム ６…
可動保持部 ６ａ，６ｂ，６ｃ…可動支持部 ７…重り
８…固定保持部 ８ａ，８ｂ，８ｃ…固定保持部 ９
…弾性部材 １０…切欠部 １１…切欠部 １２…バネ
強度調整板 １２ａ…止めネジ １３，１４…段差壁部
Ａ…板状体
ｂ，３ｃ…アーム支持部 ４…アーム支持部 ４ａ，４ｂ，４ｃ…アーム支持部
５…支持アーム ５ａ，５ｂ，５ｃ…支持アーム ６…
可動保持部 ６ａ，６ｂ，６ｃ…可動支持部 ７…重り
８…固定保持部 ８ａ，８ｂ，８ｃ…固定保持部 ９
…弾性部材 １０…切欠部 １１…切欠部 １２…バネ
強度調整板 １２ａ…止めネジ １３，１４…段差壁部
Ａ…板状体
Claims (1)
- 【請求項１】下側支軸１を中心に回転する回転盤２上面
にその回転運動円に沿ってほぼ等間隔に配置され且つ回
転中心部を挟んで対向して取付けた３対乃至それ以上の
アーム支持部３，４と、それぞれ各対のアーム支持部
３，４に回転中心部上側を通過するように水平方向に摺
動移動可能に装着した支持アーム５と、前記回転運動円
に沿ってほぼ等間隔に配置され且つ各々支持アーム５の
両端部に取付けたそれぞれ可動保持部６，重り７と、回
転盤２上面に回転中心部を挟んで前記可動保持部６と対
向して取付けた固定保持部８と、前記アーム支持部４と
可動保持部６との間に装着した伸長方向に付勢する弾性
部材９とを設けたことを特徴とするスピナー装置の板状
体装着固定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4043693A JPH05237435A (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | スピナー装置の板状体装着固定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4043693A JPH05237435A (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | スピナー装置の板状体装着固定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05237435A true JPH05237435A (ja) | 1993-09-17 |
Family
ID=12670917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4043693A Pending JPH05237435A (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | スピナー装置の板状体装着固定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05237435A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104001650A (zh) * | 2014-05-19 | 2014-08-27 | 河南科技大学 | 一种全自动涂焊锡膏机用来料夹持装置 |
| RU172780U1 (ru) * | 2017-02-27 | 2017-07-24 | ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "Брянский государственный технический университет" | Устройство для закрепления изделий на планшайбе центрифуги |
-
1992
- 1992-02-28 JP JP4043693A patent/JPH05237435A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104001650A (zh) * | 2014-05-19 | 2014-08-27 | 河南科技大学 | 一种全自动涂焊锡膏机用来料夹持装置 |
| RU172780U1 (ru) * | 2017-02-27 | 2017-07-24 | ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "Брянский государственный технический университет" | Устройство для закрепления изделий на планшайбе центрифуги |
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