JPH05237435A - スピナー装置の板状体装着固定装置 - Google Patents
スピナー装置の板状体装着固定装置Info
- Publication number
- JPH05237435A JPH05237435A JP4043693A JP4369392A JPH05237435A JP H05237435 A JPH05237435 A JP H05237435A JP 4043693 A JP4043693 A JP 4043693A JP 4369392 A JP4369392 A JP 4369392A JP H05237435 A JPH05237435 A JP H05237435A
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- Japan
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- plate
- arm
- rotation
- movable holding
- parts
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- Pending
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- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
持手段の調整や位置決め設定をすることなく、板状体が
回転中に移動しないように確実に板状体を回転盤に対し
て装着固定できるようにすることにある。 【構成】回転盤2にその回転運動円に沿ってほぼ等間隔
に配置され且つ回転中心部を挟んで対向する3対乃至そ
れ以上のアーム支持部3,4と、各対のアーム支持部に
回転中心部を通過するように水平方向に摺動移動可能に
装着した支持アーム5と、前記回転運動円に沿って等間
隔に配置され且つ各々支持アームの両端部にそれぞれ可
動保持部6,重り7と、回転盤上面に回転中心部を挟ん
で前記可動保持部と対向して取付けた固定保持部8と、
前記アーム支持部4と可動保持部6との間に装着した弾
性部材9とを設けたスピナー装置の板状体装着固定装
置。
Description
フィルター用ガラス基板、樹脂板あるいは金属板など板
状体を装着固定して高速回転させ、板状体表面にレジス
ト液、現像液などを塗布するためのスピナー装置の板状
体装着固定装置に関する。
て高速回転する回転盤を備え、板状体は、回転盤表面に
装備された真空吸着手段によって吸着固定し、且つ該板
状体の端縁部外側より保持手段によって保持することに
よって、回転中に板状体が移動しないように装着固定し
ていた。
置によって塗布加工、現像加工される板状体の大きさや
形状は種々あり、板状体が回転中に移動しないように、
その都度大きさや形状に合わせて保持手段の調整や位置
決め設定をする必要があった。本発明は、板状体の大き
さや形状が異なった場合でも、保持手段の調整や位置決
め設定をすることなく、板状体が回転中に移動しないよ
うに確実に板状体を回転盤に対して装着固定できるよう
にすることにある。
中心に回転する回転盤2上面にその回転運動円に沿って
ほぼ等間隔に配置され且つ回転中心部を挟んで対向して
取付けた3対乃至それ以上のアーム支持部3,4と、そ
れぞれ各対のアーム支持部3,4に回転中心部上側を通
過するように水平方向に摺動移動可能に装着した支持ア
ーム5と、前記回転運動円に沿ってほぼ等間隔に配置さ
れ且つ各々支持アーム5の両端部に取付けたそれぞれ可
動保持部6,重り7と、回転盤2上面に回転中心部を挟
んで前記可動保持部6と対向して取付けた固定保持部8
と、前記アーム支持部4と可動保持部6との間に装着し
た伸長方向に付勢する弾性部材9とを設けたことを特徴
とするスピナー装置の板状体装着固定装置である。
を、図1、図2の一実施例に従って詳細に説明する。支
軸1は、パルスモーター、サーボモーターなど所定の電
動モーター(図示せず)にて駆動回転し、所定の軸受部
(図示せず)に垂直に軸支されている。
り、その下側に取付けられた前記支軸1によって水平に
支持され、該支軸1の駆動回転によって、低速回転乃至
高速回転可能である。回転盤2上面には、その回転中心
部を挟んで対向する3対のアーム支持部3,4を、それ
ぞれが回転盤2の回転運動円に沿って等間隔に固定状態
に立設してある。
においては、回転盤2上面に、3対の対向するアーム支
持部3a,4a、アーム支持部3b,4b、アーム支持
部3c,4cとして取付けられている。
する前記アーム支持部3a,4a、3b,4b、3c,
4cの各々に水平方向に摺動移動可能に嵌装支持されて
いるものであり、例えば、支持アーム5aは対向するア
ーム支持部3a,4aに、支持アーム5bは対向するア
ーム支持部3b,4bに、又、支持アーム5cは対向す
る支持アーム3c,4cにそれぞれ嵌装支持される。
支持アーム5aは上段に、支持アーム5bは支持アーム
5a下側の中段位置に、そして支持アーム5cは支持ア
ーム5bの下側の下段に、それぞれのアーム支持部3,
4によって支持されている。
a、5b、5c)の一端部には、基板端縁保持用の可動
保持部6(各々可動保持部6a,6b,6c)が取付け
られ、他端部には重り7(各々重り7a,7b,7c)
が取り付けられている。
記可動保持部6(6a,6b,6c)と対向する位置
に、それぞれ固定保持部8(8a,8b,8c)を取り
付けてある。なお、該固定保持部8は、回転盤2上面に
対して回転中心部より放射状方向に適宜調整して位置決
め固定できるようにすることは可能である。
アーム5の一端部に取り付けられて移動可能であり、
又、固定保持部8は、回転盤2上面に、可動保持部6と
回転中心部を挟んで対向して、固定状態で取り付けられ
ており、可動保持部6と固定保持部8のそれぞれ上部に
は、互いに対向するように、塗布又は現像用のガラス基
板など板状体の端縁を嵌合して、回転中心の外側方向よ
り保持するそれぞれ切欠部10,11、若しくは突起部
を設ける。なお、図1において、13は切欠部10の段
差壁部であり、14は切欠部11の段差壁部である。
示すように、その切欠部11にあるそれぞれ段差壁部1
4は、例えば、回転盤2の回転円における所定の同一回
転円相当部に沿って位置決め固定されており、該同一回
転円の内側の切欠部11上に、塗布、現像用の円形状ガ
ラス基板など板状体を載置するものである。なお、図1
における段差壁部13,14の平面形状ラインは、前記
所定の同一回転円に沿った形状であってもよいが、必ず
しも、これに限定されるものではなく、段差壁部13,
14は、装着固定すべき基板(板状体)の端縁に対して
面接触でも、点接触でもいずれでもよい。
一端部側を嵌装支持するアーム支持部3と、可動保持部
6との間には、伸長方向に付勢する弾性部材9を備え、
図1に示すように、各アーム支持部3aと可動保持部6
aとの間、アーム支持部3bと可動保持部6bとの間、
及びアーム支持部3cと可動保持部6cとの間に、それ
ぞれ支持アーム5a,5b,5cに巻回してコイルバネ
による弾性部材9を装着するものである。
b,6cとコイルバネの弾性部材9との間に、支持アー
ム5a,5b,5cに沿って所定位置に移動可能及び位
置決め固定可能なバネ強度調整板12を設けるものであ
る。該バネ強度調整板12は、例えば、支持アーム5に
対して摺動移動可能な該バネ強度調整板12を、止めネ
ジ12aのネジ締めによって位置決め固定し、弛めるこ
とによって移動可能にする方式、あるいは支持アーム5
に直接螺着するように設けたナット(又はダブルナッ
ト)でもよい。
においては、前記アーム支持部3,4を3対以上設置し
て、それぞれに支持アーム5を摺動自在に嵌装支持し、
その各々両端部に取付けられる可動保持部6と重り7、
可動保持部6と対向する固定保持部8、及び弾性部材9
により構成するようにすることは可能である。
の使用例を図1、図2に従って説明すれば、図1、回転
盤2上面の固定保持板8a,8b,8cの各々切欠部1
1上に、例えば、円形状の塗布用ガラス基板A(板状
体)を載置した後に、回転盤2を駆動回転(例えば回転
数150rpm〜12000rpm)させると、各々重
り7a,7b,7cの質量(例えば50g〜300g程
度)による回転遠心力によって、各々支持アーム5a,
5b,5c及びそれに取付けられている各々可動保持部
6a,6b,6cは、重り7の取り付けられている方向
に摺動移動し、その各々可動保持部6の切欠部10は、
ガラス基板Aの端縁と嵌合して、図2、各々可動保持部
6の切欠部10にある垂直面乃至回転中心部側に傾斜す
る傾斜面、又はコの字型面である段差壁部13が基板A
の端縁を、それと対向する各々固定保持部8側に押圧す
る。なお、図2において、本発明に係るのスピナー装置
の回転盤2上方には、基板A(板状体)表面に塗布、供
給するためのコーティング樹脂液(フォトレジストな
ど)あるいは現像液などを流下させる供給ノズル(図示
せず)を備える。
は、固定保持部8の切欠部11にある垂直面乃至回転中
心部側に傾斜する傾斜面、又はコの字型面である段差壁
部14に、遠心力に相当する付勢力にて押圧されて、基
板Aは、各々可動保持部6の段差壁部13と固定保持部
8の段差壁部14との間に挟持され、これによって基板
A(板状体)は、回転盤2上に水平に装着固定されるも
のである。
装着固定装置において、回転盤2上に装着固定すべき円
形状の板状体A本体の端縁に切欠部aがある場合の装着
固定の一例を示すものである。
固定装置において、回転盤2上に装着固定すべき板状体
Aが矩形状の場合の装着固定の一例を示すものである。
下側支軸1を中心に回転する回転盤2上面に回転運動円
に沿ってほぼ等間隔に配置され且つ回転中心部を挟んで
対向する3対のアーム支持部3,4に、回転盤の回転中
心部上側を通過するように水平方向に摺動移動可能に装
着した支持アーム5を設け、各々支持アーム5の両端部
にそれぞれ可動保持部6,重り7と、回転盤2上面に回
転中心部を挟んで前記可動保持部6と対向する固定保持
部8と、前記アーム支持部4と基板端縁保持部6との間
に装着した伸長方向に付勢する弾性部材9とを設けたの
で、回転盤2が回転したとき、重り7には回転円外に向
かう遠心力が働き、重り7と支持アーム5を介して連結
された各々可動保持部6は回転中心方向に付勢され、板
状体Aの端縁は、可動保持部6と固定保持部8とによっ
て挟持され、これによって板状体Aを回転盤2上に装着
固定することができる。
置は、板状体の大きさや形状が異なった場合でも、保持
手段の調整や位置決め設定をすることなく、板状体が回
転中に移動しないように確実に板状体を回転盤に対して
装着固定できる効果がある。
ける一実施例を説明する平面図である。
ける一実施例を説明するL−L側断面図である。
り切欠部のある円形状の板状体を装着固定した場合の一
例を説明する平面図である。
り矩形状の板状体を装着固定した場合の一例を説明する
平面図である。
b,3c…アーム支持部 4…アーム支持部 4a,4b,4c…アーム支持部
5…支持アーム 5a,5b,5c…支持アーム 6…
可動保持部 6a,6b,6c…可動支持部 7…重り
8…固定保持部 8a,8b,8c…固定保持部 9
…弾性部材 10…切欠部 11…切欠部 12…バネ
強度調整板 12a…止めネジ 13,14…段差壁部
A…板状体
Claims (1)
- 【請求項1】下側支軸1を中心に回転する回転盤2上面
にその回転運動円に沿ってほぼ等間隔に配置され且つ回
転中心部を挟んで対向して取付けた3対乃至それ以上の
アーム支持部3,4と、それぞれ各対のアーム支持部
3,4に回転中心部上側を通過するように水平方向に摺
動移動可能に装着した支持アーム5と、前記回転運動円
に沿ってほぼ等間隔に配置され且つ各々支持アーム5の
両端部に取付けたそれぞれ可動保持部6,重り7と、回
転盤2上面に回転中心部を挟んで前記可動保持部6と対
向して取付けた固定保持部8と、前記アーム支持部4と
可動保持部6との間に装着した伸長方向に付勢する弾性
部材9とを設けたことを特徴とするスピナー装置の板状
体装着固定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4043693A JPH05237435A (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | スピナー装置の板状体装着固定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4043693A JPH05237435A (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | スピナー装置の板状体装着固定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05237435A true JPH05237435A (ja) | 1993-09-17 |
Family
ID=12670917
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4043693A Pending JPH05237435A (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | スピナー装置の板状体装着固定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05237435A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104001650A (zh) * | 2014-05-19 | 2014-08-27 | 河南科技大学 | 一种全自动涂焊锡膏机用来料夹持装置 |
RU172780U1 (ru) * | 2017-02-27 | 2017-07-24 | ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "Брянский государственный технический университет" | Устройство для закрепления изделий на планшайбе центрифуги |
-
1992
- 1992-02-28 JP JP4043693A patent/JPH05237435A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104001650A (zh) * | 2014-05-19 | 2014-08-27 | 河南科技大学 | 一种全自动涂焊锡膏机用来料夹持装置 |
RU172780U1 (ru) * | 2017-02-27 | 2017-07-24 | ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "Брянский государственный технический университет" | Устройство для закрепления изделий на планшайбе центрифуги |
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