JPH07130642A - 両面塗布装置 - Google Patents
両面塗布装置Info
- Publication number
- JPH07130642A JPH07130642A JP29397793A JP29397793A JPH07130642A JP H07130642 A JPH07130642 A JP H07130642A JP 29397793 A JP29397793 A JP 29397793A JP 29397793 A JP29397793 A JP 29397793A JP H07130642 A JPH07130642 A JP H07130642A
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- plate
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 薄い板状材の両面に液状材料を塗布する場合
に、その薄板の形状によらずに回転させて両面同時に塗
布できるようにする。 【構成】 薄板の周縁に３点で接してこれを保持する保
持駒１１を３個回転中心から半径方向へ移動可能に本体
１０を設け、薄板の保持を自動的にするため全保持駒１
１、１１、１１を中心方向へ付勢する可動機構２０を本
体１０に組み込み、該本体１０を回転させることにより
薄板を回転させ、その薄板の両面に液状材料を吹き付け
るノズル３１、３３を夫々の面に配置する。
に、その薄板の形状によらずに回転させて両面同時に塗
布できるようにする。 【構成】 薄板の周縁に３点で接してこれを保持する保
持駒１１を３個回転中心から半径方向へ移動可能に本体
１０を設け、薄板の保持を自動的にするため全保持駒１
１、１１、１１を中心方向へ付勢する可動機構２０を本
体１０に組み込み、該本体１０を回転させることにより
薄板を回転させ、その薄板の両面に液状材料を吹き付け
るノズル３１、３３を夫々の面に配置する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、薄板を板面と直交する
軸回りに回転させ、両面に液状材料を吹き付けることに
よりほぼ均一な塗膜厚に液状材料を塗布する装置に関
し、特に半導体製造のための試料にレジスト液を塗布す
る場合に適した両面塗布装置に関するものである。
軸回りに回転させ、両面に液状材料を吹き付けることに
よりほぼ均一な塗膜厚に液状材料を塗布する装置に関
し、特に半導体製造のための試料にレジスト液を塗布す
る場合に適した両面塗布装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体試料の表面にレジスト被膜を形成
するには、試料を水平回転させてその表面にレジスト液
を滴下し、遠心力によって展延する方法が行なわれてき
た。しかし、この従来の方法によると試料の両面にレジ
スト被膜を形成するために、片面ずつ作業を進めなけれ
ばならない。従って他の片面の作業の際に、既に形成済
の片面の被膜に対しても、加熱工程などについては同じ
作業が繰り返される結果、変質させるおそれがある。ま
た常に片側ずつ作業を進めるため両面の品質を厳密に一
定にするということは不可能に近い。従来片面ずつ作業
を進めて来た理由は、回転部材に試料を吸着保持する必
要から生じたのである。
するには、試料を水平回転させてその表面にレジスト液
を滴下し、遠心力によって展延する方法が行なわれてき
た。しかし、この従来の方法によると試料の両面にレジ
スト被膜を形成するために、片面ずつ作業を進めなけれ
ばならない。従って他の片面の作業の際に、既に形成済
の片面の被膜に対しても、加熱工程などについては同じ
作業が繰り返される結果、変質させるおそれがある。ま
た常に片側ずつ作業を進めるため両面の品質を厳密に一
定にするということは不可能に近い。従来片面ずつ作業
を進めて来た理由は、回転部材に試料を吸着保持する必
要から生じたのである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前記の点に鑑
みなされたもので、その課題とするところは半導体試料
の両面にレジスト液等を塗布する場合、或いはそれと同
様に薄い板状材の両面に液状材料を塗布するような場合
に、それら薄板の両面に同時に塗布材料を塗布すること
にある。
みなされたもので、その課題とするところは半導体試料
の両面にレジスト液等を塗布する場合、或いはそれと同
様に薄い板状材の両面に液状材料を塗布するような場合
に、それら薄板の両面に同時に塗布材料を塗布すること
にある。
【０００４】また本発明は、薄板の両面に同一の品質の
塗膜を形成すること及び、薄板の形状によらずにそれを
支持し回転させて両面塗布を行なえるようにすることを
目的とする。
塗膜を形成すること及び、薄板の形状によらずにそれを
支持し回転させて両面塗布を行なえるようにすることを
目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
本発明は、薄板の周縁に接してこれを３点で保持する保
持駒１１を３個回転中心から半径方向へ移動可能に本体
１０に設け、保持駒１１により薄板を自動的に保持する
ために全保持駒１１を中心方向へ付勢した可動機構２０
を本体１０に組み込み、薄板は該本体１０を回転させる
ことにより回転する構造とし、その薄板に液状材料を吹
き付けるための一方のノズル３１を本体１０の中心部に
設けるという手段を講じたものである。
本発明は、薄板の周縁に接してこれを３点で保持する保
持駒１１を３個回転中心から半径方向へ移動可能に本体
１０に設け、保持駒１１により薄板を自動的に保持する
ために全保持駒１１を中心方向へ付勢した可動機構２０
を本体１０に組み込み、薄板は該本体１０を回転させる
ことにより回転する構造とし、その薄板に液状材料を吹
き付けるための一方のノズル３１を本体１０の中心部に
設けるという手段を講じたものである。
【０００６】
【実施例】各図は薄板Ｄをその板面と直交する軸回りに
回転させ、その両面に液状の材料を吹き付け、均一な塗
膜厚で塗布する装置に関する装置の例示である。
回転させ、その両面に液状の材料を吹き付け、均一な塗
膜厚で塗布する装置に関する装置の例示である。
【０００７】外形、サイズが異なる薄板Ｄの周縁に接し
て３点で保持するため、３個の保持駒１１を回転中心か
ら半径方向へ移動可能に本体１０に設ける。その本体１
０は、それを回転軸３０に取り付ける筒状の軸部３２を
中心に有する円形の偏平な基板１０ａと、軸部３２の反
対側の基板面に重ねるように取り付ける、基板１０ａと
同様に円形の偏平な外板１０ｂとからなり、外板１０ｂ
の中心部外側に後述のノズル３１が設けられる。
て３点で保持するため、３個の保持駒１１を回転中心か
ら半径方向へ移動可能に本体１０に設ける。その本体１
０は、それを回転軸３０に取り付ける筒状の軸部３２を
中心に有する円形の偏平な基板１０ａと、軸部３２の反
対側の基板面に重ねるように取り付ける、基板１０ａと
同様に円形の偏平な外板１０ｂとからなり、外板１０ｂ
の中心部外側に後述のノズル３１が設けられる。
【０００８】軸部３２は回転軸３０を有するモータＭに
結合し、その回転軸３０の回転によって本体１０を回転
させるようにする。回転軸３０は管状の軸体からなり、
その内部を通して液状の材料を先端から軸方向へ噴出さ
せる構造である。つまり回転軸３０の先端がそのまま前
述のノズル３１になっている。しかし回転軸３０はモー
タＭの軸でなく従動軸でも良い。
結合し、その回転軸３０の回転によって本体１０を回転
させるようにする。回転軸３０は管状の軸体からなり、
その内部を通して液状の材料を先端から軸方向へ噴出さ
せる構造である。つまり回転軸３０の先端がそのまま前
述のノズル３１になっている。しかし回転軸３０はモー
タＭの軸でなく従動軸でも良い。
【０００９】３個の保持駒１１は、薄板Ｄを回転軸３０
と直交する回転面で回転させるように保持するため、夫
々薄板Ｄの周縁と結合可能な隅角状の凹部１２を有する
ほぼ鼓型の外形を持つ。その凹部１２を構成する軸方向
上下の部分は、上部１４を小形、下部１５を大形にする
とともに側面の傾斜を調整して、薄板Ｄをセットし易
く、また落ちにくいようになっている。各保持駒１１は
回転軸３０と平行に保たれる支軸１６の先端に固定して
あり、各支軸１６は本体１０に組み込まれている可動機
構２０の摺動子２１に取り付けてある。
と直交する回転面で回転させるように保持するため、夫
々薄板Ｄの周縁と結合可能な隅角状の凹部１２を有する
ほぼ鼓型の外形を持つ。その凹部１２を構成する軸方向
上下の部分は、上部１４を小形、下部１５を大形にする
とともに側面の傾斜を調整して、薄板Ｄをセットし易
く、また落ちにくいようになっている。各保持駒１１は
回転軸３０と平行に保たれる支軸１６の先端に固定して
あり、各支軸１６は本体１０に組み込まれている可動機
構２０の摺動子２１に取り付けてある。
【００１０】可動機構２０として、３個の保持駒１１を
半径方向へ同時に同寸法移動させる機構が採用されてお
り、かつ全保持駒１１、１１、１１を中心方向へ付勢
し、それによって薄板Ｄを各保持駒１１で内方へ押圧し
自動的に保持する。
半径方向へ同時に同寸法移動させる機構が採用されてお
り、かつ全保持駒１１、１１、１１を中心方向へ付勢
し、それによって薄板Ｄを各保持駒１１で内方へ押圧し
自動的に保持する。
【００１１】この可動機構２０は、薄板Ｄの大きさに合
わせて保持駒１１を可動させるため、本体１０の外板１
０ｂ部分に形成した放射状の３個の長溝２２と、各長溝
２２の内方端に一致する始端２３ａと同外方端に一致す
る終端２３ｂとを有し、各長溝２２と交叉するように彎
曲（傾斜のみでも良い。）したガイド溝２３を有する回
動板２４と、ガイド溝２３に係合するように前記摺動子
２１に取り付けた係合突起２５とを有する。回動板２４
はそれに取り付けたレバー２６を操作して回動させるこ
とができるが、レバー２６を設けるため本体１０の周側
には操作口１９が開口してあり、レバー操作範囲は、保
持駒１１の長溝２２の全可動範囲に対応する。
わせて保持駒１１を可動させるため、本体１０の外板１
０ｂ部分に形成した放射状の３個の長溝２２と、各長溝
２２の内方端に一致する始端２３ａと同外方端に一致す
る終端２３ｂとを有し、各長溝２２と交叉するように彎
曲（傾斜のみでも良い。）したガイド溝２３を有する回
動板２４と、ガイド溝２３に係合するように前記摺動子
２１に取り付けた係合突起２５とを有する。回動板２４
はそれに取り付けたレバー２６を操作して回動させるこ
とができるが、レバー２６を設けるため本体１０の周側
には操作口１９が開口してあり、レバー操作範囲は、保
持駒１１の長溝２２の全可動範囲に対応する。
【００１２】さらに可動機構２０には、全保持駒１１、
１１、１１を中心方向へ付勢する手段としてコイルばね
２７を取り付ける。例示のばね２７は、回動板２４とそ
れを収めるため本体基板１０ａに形成してある凹部の周
壁との間の環状空所２８に配置され、一端は後述するロ
ック手段１３に掛けられ、他の一端は前記レバー２６に
掛けられている。２９は隔板であり、長溝下空所２２ａ
を移動する摺動子２１の落下を防ぐために基板１０ａと
外板１０ｂとの間に介装され、係合突起２５を通すため
に長溝２２と同方向の長溝２９ａが穿孔してある。
１１、１１を中心方向へ付勢する手段としてコイルばね
２７を取り付ける。例示のばね２７は、回動板２４とそ
れを収めるため本体基板１０ａに形成してある凹部の周
壁との間の環状空所２８に配置され、一端は後述するロ
ック手段１３に掛けられ、他の一端は前記レバー２６に
掛けられている。２９は隔板であり、長溝下空所２２ａ
を移動する摺動子２１の落下を防ぐために基板１０ａと
外板１０ｂとの間に介装され、係合突起２５を通すため
に長溝２２と同方向の長溝２９ａが穿孔してある。
【００１３】前述のロック手段１３は回動板２４を止め
るものであり、例示の場合環状空所２８に突出するよう
に本体１０の基板１０ａの周縁にねじ込みにより取り付
けてあるロックねじ１３ａを有し、その先端１３ｂを回
動板２４の周面２４ａに圧接させている。ロックねじ１
３ａとばね掛けとは分離しても良い。而して薄板Ｄのも
う片方の面に液状材料を吹き付けるノズル３３は本体中
心部に向けて配置されるが、これは側方へ退避可能とし
て薄板Ｄの着脱を容易化すると良い。
るものであり、例示の場合環状空所２８に突出するよう
に本体１０の基板１０ａの周縁にねじ込みにより取り付
けてあるロックねじ１３ａを有し、その先端１３ｂを回
動板２４の周面２４ａに圧接させている。ロックねじ１
３ａとばね掛けとは分離しても良い。而して薄板Ｄのも
う片方の面に液状材料を吹き付けるノズル３３は本体中
心部に向けて配置されるが、これは側方へ退避可能とし
て薄板Ｄの着脱を容易化すると良い。
【００１４】上記の両面塗布装置Ａは半導体試料の両面
にレジスト被膜を形成する装置に適用することにより好
適な成果が得られるが、その装置の例は図５、６に示し
てある。同装置は装置本体４０の上面に円筒形の中筒４
１を有し、その中央部を試料台４２としてそこに保持駒
１１を上向きに本装置Ａを配置したもので、本体上面を
開閉可能に覆う、カバー４３の側面から内部へ入り込ま
せた揺動可能なスイングアーム４４を有し、その先端部
に前記の片方のノズル３３が設けてある。４５はアーム
４４を支持した回転軸を示す。中筒４１内は気流（噴霧
された液状材料を含む。）の乱れを防ぐとともに溶剤に
対する配慮から強制排気手段４６を有する。
にレジスト被膜を形成する装置に適用することにより好
適な成果が得られるが、その装置の例は図５、６に示し
てある。同装置は装置本体４０の上面に円筒形の中筒４
１を有し、その中央部を試料台４２としてそこに保持駒
１１を上向きに本装置Ａを配置したもので、本体上面を
開閉可能に覆う、カバー４３の側面から内部へ入り込ま
せた揺動可能なスイングアーム４４を有し、その先端部
に前記の片方のノズル３３が設けてある。４５はアーム
４４を支持した回転軸を示す。中筒４１内は気流（噴霧
された液状材料を含む。）の乱れを防ぐとともに溶剤に
対する配慮から強制排気手段４６を有する。
【００１５】この両面塗布装置により塗布作業を実施す
る場合、薄板Ｄは３個の保持駒１１、１１、１１を開い
て（図３参照）、３点で保持し、モータＭを作動させ、
本体１０とともに回転している状態で液状材料をノズル
３１、３３から供給して行なう。半導体試料では多くの
場合薄板Ｄは円形であり、一部にオリエンテーションフ
ラットと称する平坦辺を有する程度であるが、そこを避
けても避けなくても薄板Ｄを３点保持可能である。
る場合、薄板Ｄは３個の保持駒１１、１１、１１を開い
て（図３参照）、３点で保持し、モータＭを作動させ、
本体１０とともに回転している状態で液状材料をノズル
３１、３３から供給して行なう。半導体試料では多くの
場合薄板Ｄは円形であり、一部にオリエンテーションフ
ラットと称する平坦辺を有する程度であるが、そこを避
けても避けなくても薄板Ｄを３点保持可能である。
【００１６】しかし、そのような円形またはそれと同様
に回転中心を出し易い薄板Ｄのみならず、例えば割れた
不整形の試料、或いは異形の試料等回転中心を決めにく
い薄板を確実に保持できる点に本発明の特徴がある。図
４はその１例を示しており、半円形の薄板Ｄを保持して
いるが、このような形状の場合は直線部Ｓを２個の保持
駒１１、１１に係止させるとずれ易いため、直線部Ｓは
１個の保持駒１１に係止させた方が安定する。こうした
点にさえ注意すれば、３点保持が可能な薄板Ｄのあらゆ
る形状のものを安定に保持し、中心を固定して高速回転
させることができる。
に回転中心を出し易い薄板Ｄのみならず、例えば割れた
不整形の試料、或いは異形の試料等回転中心を決めにく
い薄板を確実に保持できる点に本発明の特徴がある。図
４はその１例を示しており、半円形の薄板Ｄを保持して
いるが、このような形状の場合は直線部Ｓを２個の保持
駒１１、１１に係止させるとずれ易いため、直線部Ｓは
１個の保持駒１１に係止させた方が安定する。こうした
点にさえ注意すれば、３点保持が可能な薄板Ｄのあらゆ
る形状のものを安定に保持し、中心を固定して高速回転
させることができる。
【００１７】高速回転中の薄板Ｄの両面にノズル３１、
３３から噴射された液状材料は回転中心から遠心力によ
って拡がり、レジスト膜に適した一定の塗膜厚となり、
その膜厚は回転数と対応する。故に膜厚を薄くしたい場
合は高速回転させることとなる。そのとき保持駒１１が
遠心力で外方へ移動するおそれがあるが、これについて
はロック手段１３により保持駒１１をロックしておく、
また形状の不定形な薄板Ｄでは振動を伴うおそれがある
が、そのようなときは保持駒１１による支点を変えてバ
ランスを調整する。
３３から噴射された液状材料は回転中心から遠心力によ
って拡がり、レジスト膜に適した一定の塗膜厚となり、
その膜厚は回転数と対応する。故に膜厚を薄くしたい場
合は高速回転させることとなる。そのとき保持駒１１が
遠心力で外方へ移動するおそれがあるが、これについて
はロック手段１３により保持駒１１をロックしておく、
また形状の不定形な薄板Ｄでは振動を伴うおそれがある
が、そのようなときは保持駒１１による支点を変えてバ
ランスを調整する。
【００１８】
【発明の効果】本発明は以上の如く構成され、かつ作用
するものであるから、薄板の両面に液状材料を同時に塗
付する作業が極めて容易に実施でき、特に薄板がどのよ
うな形状であってもそれを回転させることができるの
で、従来は使用不可能として廃棄された試料等を有効に
活用することができ、しかも構成が単純であって実施が
容易であるから、半導体試料の両面にレジスト被膜を同
時形成するような場合好適であるという効果を奏する。
するものであるから、薄板の両面に液状材料を同時に塗
付する作業が極めて容易に実施でき、特に薄板がどのよ
うな形状であってもそれを回転させることができるの
で、従来は使用不可能として廃棄された試料等を有効に
活用することができ、しかも構成が単純であって実施が
容易であるから、半導体試料の両面にレジスト被膜を同
時形成するような場合好適であるという効果を奏する。
【図１】本発明に係る両面塗布装置の１実施例を示す平
面図。
面図。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線の断面図。
【図３】同上装置の動作説明図。
【図４】（ａ）同じく作用説明図。 （ｂ）同じく作用説明図。
【図５】前記装置を組み込んだ平面図。
【図６】同じく正面図。
Claims (5)
- 【請求項１】 薄板を板面と直交する軸回りに回転さ
せ、両面に液状材料を吹き付けることによりほぼ均一な
塗膜厚に液状材料を塗布する装置において、薄板の周縁
に接してこれを３点で保持する保持駒１１を３個回転中
心から半径方向へ移動可能に本体１０に設け、保持駒１
１により薄板を自動的に保持するために全保持駒１１を
中心方向へ付勢した可動機構２０を本体１０に組み込
み、薄板は該本体１０を回転させることにより回転する
構造とし、その薄板に液状材料を吹き付けるための一方
のノズル３１を本体１０の中心部に設けたことを特徴と
する両面塗布装置。 - 【請求項２】 本体１０はそれを回転軸３０に取り付け
るための軸部３２を中心に有する基板１０ａと、ノズル
３１を設けた外板１０ｂとからなり、回転軸３０が管状
を為していてその先端をノズル３１とした請求項第１項
記載の両面塗布装置。 - 【請求項３】 保持駒１１は薄板の周縁と係合可能な凹
部１２を有するほぼ鼓型の外形を備えたものである請求
項第１項記載の両面塗布装置。 - 【請求項４】 回転時に遠心力によって保持駒１１が外
方へ移動するのを防止するために保持駒１１を本体１０
にロックするロック手段１３を設けた請求項第１項記載
の両面塗布装置。 - 【請求項５】 可動機構２０は、薄板の大きさに合わせ
て保持駒１１を移動させるため本体１０に形成した放射
状の３個の長溝２２と、各長溝２２の内方端に一致する
始端及び外方端に一致する終端を有しかつ長溝２２と交
叉するように曲がったガイド溝２３を有する回動板２４
と、各ガイド溝２３に係合可能に保持駒１１と一体に動
く部分に設けた係合突起２５とを有し、保持駒１１を半
径方向内方へ付勢するため回動板２４にばね２７を設け
た請求項第１項記載の両面塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29397793A JP3437995B2 (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | 両面塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29397793A JP3437995B2 (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | 両面塗布装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07130642A true JPH07130642A (ja) | 1995-05-19 |
| JP3437995B2 JP3437995B2 (ja) | 2003-08-18 |
Family
ID=17801651
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29397793A Expired - Fee Related JP3437995B2 (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | 両面塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3437995B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8387556B2 (en) | 2009-07-06 | 2013-03-05 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Substrate processing system |
| US8567342B2 (en) | 2009-05-22 | 2013-10-29 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Coating device and coating method |
| US8617655B2 (en) | 2009-05-22 | 2013-12-31 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Coating device and coating method |
| US8667924B2 (en) | 2009-07-06 | 2014-03-11 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Coating device and nozzle managing method |
| JP2014045028A (ja) * | 2012-08-24 | 2014-03-13 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
| US8919756B2 (en) | 2008-08-28 | 2014-12-30 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Substrate processing system, carrying device, and coating device |
| US9214372B2 (en) | 2008-08-28 | 2015-12-15 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Substrate processing system, carrying device and coating device |
| CN116590673A (zh) * | 2023-05-16 | 2023-08-15 | 无锡杰程光电有限公司 | 一种心率健康监测手环背面的背板的双面镀膜设备 |
-
1993
- 1993-10-29 JP JP29397793A patent/JP3437995B2/ja not_active Expired - Fee Related
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