CN217202936U - 用于溅射镀膜与蒸发镀膜的治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型提出一种用于溅射镀膜与蒸发镀膜的治具，包括承载件、固定件、溅射仿形件及蒸发仿形件，固定件可拆卸地设置于承载件上，固定件具有一安装孔，安装孔内设有多个沿第一方向间隔设置的连接件，且每个连接件均沿第二方向延伸，第一方向和第二方向垂直设置；溅射仿形件上开设有多组溅射孔，多组溅射孔沿第一方向间隔排布；蒸发仿形件上开设有多组蒸发孔，多组蒸发孔沿第一方向间隔排布；溅射仿形件或蒸发仿形件沿着连接件安装到固定件上。本实用新型仅采用一个治具即可实现物料的溅射镀膜和蒸发镀膜，且溅射仿形件和蒸发仿形件更换方便，流程简单，不会出现在装载过程中的碰刮伤风险。

Description

用于溅射镀膜与蒸发镀膜的治具

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种用于溅射镀膜与蒸发镀膜的治具。

背景技术

目前，对于一些工件，需要依次进行溅射镀膜和蒸发镀膜处理，通常先将物料安装在溅射镀膜治具上进行溅射镀膜，待溅射镀膜完毕后，人工进行溅射治具下料，并将物料转载装至蒸发镀膜治具上进行蒸发镀膜作业。然而，此种方式流程繁琐，在转载过程中易有碰刮伤风险。

实用新型内容

鉴于上述状况，有必要提供一种用于溅射镀膜与蒸发镀膜的治具，以解决溅射和蒸发镀膜流程繁琐以及转载过程易碰刮伤的技术问题。

本实用新型实施例提出了一种用于溅射镀膜与蒸发镀膜的治具，包括承载件、固定件、溅射仿形件及蒸发仿形件，所述固定件可拆卸地设置于所述承载件上，所述固定件具有一安装孔，所述安装孔内设有多个沿第一方向间隔设置的连接件，且每个所述连接件均沿第二方向延伸，所述第一方向和所述第二方向垂直设置；所述溅射仿形件上开设有多组溅射孔，所述多组溅射孔沿所述第一方向间隔排布；所述蒸发仿形件上开设有多组蒸发孔，所述多组蒸发孔沿所述第一方向间隔排布；所述溅射仿形件或所述蒸发仿形件沿着所述连接件安装到所述固定件上。

在一些实施例中，所述溅射仿形件上开设有多个沿所述第一方向间隔设置的第一安装槽，每个所述第一安装槽沿所述第二方向延伸，所述第一安装槽用于与所述连接件相配合，以使所述溅射仿形件卡接于所述固定件上。

在一些实施例中，每组的所述溅射孔设于相邻的两个所述第一安装槽之间，每组的所述溅射孔包括沿所述第一方向排布的第一行溅射孔、第二行溅射孔及第三行溅射孔，所述第二行溅射孔设于所述第一行溅射孔和所述第三行溅射孔之间，且第一行溅射孔与所述第二行溅射孔之间的距离小于所述第二行溅射孔和所述第三行溅射孔之间的距离。

在一些实施例中，所述溅射仿形件的背离所述连接件的一侧设有多组第一避空槽，多组第一避空槽沿第一方向间隔设置，且每组的所述第一避空槽与每组的所述溅射孔相对应设置，每组的所述第一避空槽为两个且沿所述第二方向延伸，其中一所述第一避空槽对应连通于所述第三行溅射孔，另一所述第一避空槽对应连通于所述第一行溅射孔和所述第二行溅射孔。

在一些实施例中，所述第一安装槽内设有第一固定孔，所述连接件上设有与所述第一固定孔相对应的第二固定孔，所述治具还包括第一安装件，所述第一安装件伸入所述第一固定孔和所述第二固定孔内，以实现所述溅射仿形件和所述固定件的连接。

在一些实施例中，所述固定件还包括：连接部，连接于所述多个连接件靠近所述溅射仿形件或所述蒸发仿形件的一侧，用于抵接所述溅射仿形件或所述蒸发仿形件的一端，所述连接部靠近所述连接件的一侧具有第一斜面，所述第一斜面上设有多个避位槽，所述连接件的部分设于所述避位槽内，所述溅射仿形件的靠近所述连接部的一端设有一凸出部，所述凸出部具有与所述第一斜面倾斜度相同的第二斜面。

在一些实施例中，所述蒸发仿形件上设有多个沿所述第一方向间隔设置的凸伸部，每个所述凸伸部沿所述第二方向延伸，每组的所述蒸发孔沿所述第二方向均匀设置于对应的所述凸伸部上。

在一些实施例中，所述蒸发仿形件的背离所述连接件的一侧设有多个第二避空槽，多个所述第二避空槽沿第一方向间隔设置，且多个所述第二避空槽与多个所述凸伸部相对应设置，所述第二避空槽对应连通于所述蒸发孔。

在一些实施例中，相邻的两个所述凸伸部之间形成第二安装槽，所述第二安装槽内设有与所述第二固定孔相对应的第三固定孔，所述治具还包括第二安装件，所述第二安装件用于伸入所述第二固定孔和所述第三固定孔内，以实现所述蒸发仿形件和所述固定件的连接。

在一些实施例中，所述承载件为扇形结构，所述承载件具有一外弧面及与所述外弧面相对的内弧面，所述内弧面上开设有限位孔，所述承载件上的所述外弧面和所述内弧面之间开设有至少一仿形开口。

上述的治具在镀膜时，先将物料固定在固定件上，然后将溅射仿件沿着连接件设置在固定件的安装孔内进行溅射镀膜，待完毕后拆掉溅射仿形件并将蒸发仿形件沿着连接件设置在固定件的安装孔内，接着将物料和固定件放置于承载件上进行蒸发镀膜。相对于现有技术，本案仅采用一个治具即可实现物料的溅射镀膜和蒸发镀膜，且溅射仿形件和蒸发仿形件更换方便，流程简单，不会出现在装载过程中的碰刮伤风险。

附图说明

图1是本实用新型的一实施例提供的治具的分解结构示意图。

图2是图1中提供的治具中承载件的结构示意图。

图3是图1中的固定件和溅射仿形件的结构示意图。

图4是图1中的固定件和溅射仿形件在另一角度的结构示意图。

图5是图1中的固定件和蒸发仿形件的结构示意图。

图6是图1中的固定件和蒸发仿形件在另一角度的结构示意图。

主要元件符号说明

治具 100

承载件 10

外弧面 11

内弧面 12

限位孔 13

仿形开口 14

测试开口 15

固定件 20

安装孔 21

连接件 22

第二固定孔 23

连接部 24

第一斜面 25

避位槽 26

溅射仿形件 30

溅射孔 31

第一行溅射孔 311

第二行溅射孔 312

第三行溅射孔 313

第一安装槽 32

第一固定孔 33

第一避空槽 34

凸出部 35

第二斜面 36

蒸发仿形件 40

蒸发孔 41

凸伸部 42

第二安装槽 43

第三固定孔 44

第二避空槽 45

第一安装件 50

第二安装件 60

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

本实用新型实施例提出了一种用于溅射镀膜与蒸发镀膜的治具，包括承载件、固定件、溅射仿形件及蒸发仿形件。

所述固定件可拆卸地设置于所述承载件上，所述固定件具有一安装孔，所述安装孔内设有多个沿第一方向间隔设置的连接件，且每个所述连接件均沿第二方向延伸，所述第一方向和所述第二方向垂直设置；

所述溅射仿形件上开设有多组溅射孔，所述多组溅射孔沿第一方向间隔排布；

所述蒸发仿形件上开设有多组蒸发孔，所述多组蒸发孔沿第一方向间隔排布；

所述溅射仿形件或所述蒸发仿形件沿着所述连接件安装到所述固定件上。

上述的治具在镀膜时，先将物料固定在固定件上，然后将溅射仿形件沿着连接件设置在固定件的安装孔内进行溅射镀膜，待完毕后拆掉溅射仿形件并将蒸发仿形件沿着连接件设置在固定件的安装孔内，接着将物料和固定件放置于承载件上进行蒸发镀膜。相对于现有镀膜辅助装置，本案仅采用一个治具即可实现物料的溅射镀膜和蒸发镀膜，且溅射仿形件和蒸发仿形件更换方便，流程简单，不会出现在装载过程中的碰刮伤风险。

下面结合说明书附图，对本实用新型的实施例作进一步地说明。在以下实施例中，如图1至图6所示，X轴方向被定义为第一方向，Y轴方向被定义为第二方向，合先叙明。

请参见图1，本实用新型实施例提出了一种用于溅射镀膜与蒸发镀膜的治具100，用于对工件依次进行溅射镀膜和蒸发镀膜，其中，溅射是用离子轰击靶材表面，把靶材的原子被击出的现象，溅射镀膜是溅射产生的原子沉积在基体表面成膜，通常是利用气体放电产生气体电离，其正离子在电场作用下高速轰击阴极靶体，击出阴极靶体原子或分子，飞向被镀基体表面沉积成薄膜；蒸发镀膜是在真空条件下，用蒸发器加热蒸发物质，使之升华，蒸发粒子流直接射向基体，并在基体上沉积形成固态薄膜，或加热蒸发镀膜材料的真空镀膜方法。

具体的，用于溅射镀膜与蒸发镀膜的治具100包括承载件10、固定件20、溅射仿形件30及蒸发仿形件40。

固定件20可拆卸地设置于承载件10上，固定件20具有一安装孔21，安装孔21内设有多个沿第一方向间隔设置的连接件22，且每个连接件22均沿第二方向延伸，第一方向和第二方向垂直设置。溅射仿形件30上开设有多组溅射孔31，多组溅射孔31沿第一方向间隔排布。蒸发仿形件40上开设有多组蒸发孔41，多组蒸发孔41沿第一方向间隔排布。溅射仿形件30或蒸发仿形件40沿着连接件22安装到固定件20上。

上述的用于溅射镀膜与蒸发镀膜的治具100的实施方式为：将溅射仿形件30沿着连接件22设置在固定件20的安装孔21内，并将安装有溅射仿形件30的固定件20放置于在承载件10上，将物料放置在固定件20上进行溅射镀膜；待溅射镀膜完毕后，将固定件20从承载件10上拆下来，并将固定件20上的溅射仿形件30拆掉，并将蒸发仿形件40沿着连接件22设置在固定件20的安装孔21内，接着将物料和固定件20放置于承载件10上进行蒸发镀膜，获得镀膜后的物料。

请参见图2，在一些实施例中，承载件10为扇形结构，且为板状，承载件10具有一外弧面11及与外弧面11相对的内弧面12，内弧面12上开设有限位孔13，在本实施例中，承载件10为多个，且可拼接形成一圆形结构，当多个承载件10放置于镀膜机上时，镀膜机上的限位块(图未示)可卡持于承载件10的限位孔13内，从而对承载件10的位置进行限定。

承载件10上的外弧面11和内弧面12之间开设有至少一仿形开口14，在镀膜时，可将装设蒸发仿形件40的固定件20放置于承载件10上，其中蒸发仿形件40正对仿形开口14设置。示例性的，在本实施例中，仿形开口14为两个，但不限于此。

在一些实施例中，承载件10上的外弧面11和内弧面12之间开设有至少一测试开口15，测试开口15用于安装测试片，测试片可为单面抛测试片，也可为双面抛测试片，测试片的数量可为多个，以满足品保和生产的使用。

请参见图3，在一些实施例中，溅射仿形件30大致为矩形板状，溅射仿形件30上开设有多个沿第一方向间隔设置的第一安装槽32，每个第一安装槽32沿第二方向延伸，第一安装槽32用于与连接件22相配合，以使溅射仿形件30卡接于固定件20上。在本实施例中，第一安装槽32为矩形槽，设于溅射仿形件30的一表面，且沿第二方向贯穿溅射仿形件30的相对两侧面，一连接件22可收容于一第一安装槽32内。

在一些实施例中，每组的溅射孔31设于相邻的两个第一安装槽32之间，每组的溅射孔31包括沿第一方向间隔排布的第一行溅射孔311、第二行溅射孔312及第三行溅射孔313，第一行溅射孔311、第二行溅射孔312及第三行溅射孔313的数目均为多个且多个第一行溅射孔311、多个第二行溅射孔312及多个第三行溅射孔313分别沿第二方向均匀排布，第二行溅射孔312设于第一行溅射孔311和第三行溅射孔313之间，且第一行溅射孔311与第二行溅射孔312之间的距离小于第二行溅射孔312和第三行溅射孔313之间的距离，如此，可溅射物料所需的膜层，且溅射效果较好。

在一些实施例中，固定件20还包括连接部24，连接部24连接于多个连接件22靠近溅射仿形件30或蒸发仿形件40的一侧，连接部24用于抵接溅射仿形件30或蒸发仿形件40的一端，以使溅射仿形件30或蒸发仿形件40稳定安装于固定件20上。

连接部24具有第一斜面25，第一斜面25上设有多个沿第二方向延伸的避位槽26，每个避位槽26和相对应的第一安装槽32沿同一方向延伸。当溅射仿形件30通过第一安装槽32卡接于固定件20上时，一连接件22的部分设于一避位槽26内，另一部分设于相对应的第一安装槽32内，溅射仿形件30的靠近连接部24的一端设有凸出部35，多个第一安装槽32均穿设凸出部35，凸出部35具有第二斜面36，第一斜面25和第二斜面36的倾斜度相同，如此，当溅射仿形件30的一端与连接部24相抵接时，第一斜面25的一端与第二斜面36的一端相抵接，可保证溅射仿形件30和固定件20的连接稳固性。

在一些实施例中，第一安装槽32内设有第一固定孔33，请参见图4，连接件22上设有与第一固定孔33相对应的第二固定孔23，治具100还包括第一安装件50，第一安装件50伸入第一固定孔33和第二固定孔23内，以实现溅射仿形件30和固定件20的连接。示例性的，在本实施例中，第一安装件50为螺丝。

在一些实施例中，溅射仿形件30的背离连接件22的一侧设有多组第一避空槽34，每组的第一避空槽34沿第二方向延伸，且每组的第一避空槽34与每组的溅射孔31相对应设置，每组的第一避空槽34在第一方向为两个且并排设置，其中一第一避空槽34对应连通于第三行溅射孔313，另一第一避空槽34对应连通于第一行溅射孔311和第二行溅射孔312，如此有利于在物料表面形成均匀的溅射膜层。

请参见图5，在一些实施例中，蒸发仿形件40上设有多个沿第一方向间隔设置的凸伸部42，凸伸部42大致为长条形，每个凸伸部42沿第二方向延伸，每组的蒸发孔41沿第二方向均匀设置于对应的凸伸部42上，每个凸伸部42可凸伸至相邻的两个连接件22之间。

在一些实施例中，相邻的两个凸伸部42之间形成第二安装槽43，第二安装槽43内设有第三固定孔44，请参见图6，第三固定孔44可与第二固定孔23对应设置，治具100还包括第二安装件60，第二安装件60伸入第二固定孔23和第三固定孔44内，以实现蒸发仿形件40和固定件20的连接。示例性的，在本实施例中，第二安装件60为螺丝。

在一些实施例中，蒸发仿形件40的背离连接件22的位置设有多组沿第一方向间隔设置第二避空槽45，每组的第二避空槽45沿第二方向延伸，且每组的第二避空槽45与每个凸伸部42相对应设置，其中每组第二避空槽45对应连通于相应组的蒸发孔41，如此有利于在物料表面形成均匀的蒸发膜层。

本实施例的实施过程为：先将将溅射仿形件30沿着连接件22设置在固定件20的安装孔21内，其中连接件22收容于第一安装槽32内，通过第一安装件50将固定件20和溅射仿形件30固定在一起，接着将物料和固定件20放置于承载件10上进行溅射镀膜，待溅射镀膜完毕后，拆掉溅射仿形件30并将蒸发仿形件40沿着连接件22设置在固定件20的安装孔21内，其中连接件22收容于第二安装槽43内，通过第二安装件60将固定件20和蒸发仿形件40固定在一起，接着将物料和固定件20放置于承载件10上进行蒸发镀膜，获得镀膜后的物料。

上述的治具100在镀膜时，先将物料固定在固定件20上，然后将溅射仿形件30沿着连接件22设置在固定件20的安装孔21内进行溅射镀膜，待完毕后拆掉溅射仿形件30并将蒸发仿形件40沿着连接件22设置在固定件20的安装孔21内时，将物料和固定件20放置于承载件10上进行蒸发镀膜。相对于现有技术，本案仅采用一个治具100即可实现物料的溅射镀膜和蒸发镀膜，且溅射仿形件30和蒸发仿形件40更换方便，流程简单，不会出现在装载过程中的碰刮伤风险。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化涵括在本实用新型内。

Claims (10)

1.一种用于溅射镀膜与蒸发镀膜的治具，其特征在于，包括承载件、固定件、溅射仿形件及蒸发仿形件，

所述固定件可拆卸地设置于所述承载件上，所述固定件具有一安装孔，所述安装孔内设有多个沿第一方向间隔设置的连接件，且每个所述连接件均沿第二方向延伸，所述第一方向和所述第二方向垂直设置；

所述溅射仿形件上开设有多组溅射孔，所述多组溅射孔沿所述第一方向间隔排布；

所述蒸发仿形件上开设有多组蒸发孔，所述多组蒸发孔沿所述第一方向间隔排布；

所述溅射仿形件或所述蒸发仿形件沿着所述连接件安装到所述固定件上。

2.如权利要求1所述的用于溅射镀膜与蒸发镀膜的治具，其特征在于，

所述溅射仿形件上开设有多个沿所述第一方向间隔设置的第一安装槽，每个所述第一安装槽沿所述第二方向延伸，所述第一安装槽用于与所述连接件相配合，以使所述溅射仿形件卡接于所述固定件上。

3.如权利要求2所述的用于溅射镀膜与蒸发镀膜的治具，其特征在于，

每组的所述溅射孔设于相邻的两个所述第一安装槽之间，

每组的所述溅射孔包括沿所述第一方向排布的第一行溅射孔、第二行溅射孔及第三行溅射孔，

所述第二行溅射孔设于所述第一行溅射孔和所述第三行溅射孔之间，且第一行溅射孔与所述第二行溅射孔之间的距离小于所述第二行溅射孔和所述第三行溅射孔之间的距离。

4.如权利要求3所述的用于溅射镀膜与蒸发镀膜的治具，其特征在于，

所述溅射仿形件的背离所述连接件的一侧设有多组第一避空槽，多组第一避空槽沿第一方向间隔设置，且每组的所述第一避空槽与每组的所述溅射孔相对应设置，每组的所述第一避空槽为两个且沿所述第二方向延伸，其中一所述第一避空槽对应连通于所述第三行溅射孔，另一所述第一避空槽对应连通于所述第一行溅射孔和所述第二行溅射孔。

5.如权利要求3所述的用于溅射镀膜与蒸发镀膜的治具，其特征在于，

所述第一安装槽内设有第一固定孔，

所述连接件上设有与所述第一固定孔相对应的第二固定孔，

所述治具还包括第一安装件，所述第一安装件用于伸入所述第一固定孔和所述第二固定孔内，以实现所述溅射仿形件和所述固定件的连接。

6.如权利要求3所述的用于溅射镀膜与蒸发镀膜的治具，其特征在于，所述固定件还包括：

连接部，连接于多个所述连接件靠近所述溅射仿形件或所述蒸发仿形件的一侧，用于抵接所述溅射仿形件或所述蒸发仿形件的一端，所述连接部靠近所述连接件的一侧具有第一斜面，所述第一斜面上设有多个避位槽，所述连接件的部分设于所述避位槽内，所述溅射仿形件的靠近所述连接部的一端设有一凸出部，所述凸出部具有与所述第一斜面倾斜度相同的第二斜面。

7.如权利要求5所述的用于溅射镀膜与蒸发镀膜的治具，其特征在于，

所述蒸发仿形件上设有多个沿所述第一方向间隔设置的凸伸部，每个所述凸伸部沿所述第二方向延伸，每组的所述蒸发孔沿所述第二方向均匀设置于对应的所述凸伸部上。

8.如权利要求7所述的用于溅射镀膜与蒸发镀膜的治具，其特征在于，

所述蒸发仿形件的背离所述连接件的一侧设有多个第二避空槽，多个所述第二避空槽沿第一方向间隔设置，且多个所述第二避空槽与多个所述凸伸部相对应设置，所述第二避空槽对应连通于所述蒸发孔。

9.如权利要求7所述的用于溅射镀膜与蒸发镀膜的治具，其特征在于，

相邻的两个所述凸伸部之间形成第二安装槽，所述第二安装槽内设有与所述第二固定孔相对应的第三固定孔，

所述治具还包括第二安装件，所述第二安装件用于伸入所述第二固定孔和所述第三固定孔内，以实现所述蒸发仿形件和所述固定件的连接。

10.如权利要求1所述的用于溅射镀膜与蒸发镀膜的治具，其特征在于，

所述承载件为扇形结构，所述承载件具有一外弧面及与所述外弧面相对的内弧面，所述内弧面上开设有限位孔，所述承载件上的所述外弧面和所述内弧面之间开设有至少一仿形开口。

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