CN213866405U - 一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具，属于镀膜机夹具领域，包括转动轴、底座及顶座，所述转动轴依次穿过顶座及底座上的连接孔并与顶座及底座相连，所述底座上表面及顶座下表面上均设有一对横向的第一凹槽，一对所述第一凹槽分别设于连接孔两侧，所述底座及顶座之间通过一对侧板相连，一对所述侧板分别设于转动轴两侧，所述侧板远离转动轴侧面上设有纵向的第三凹槽。该种溅射镀膜机的双面镀膜夹具可很好地固定住陶瓷基片，可使陶瓷基片两面均能很好地进行镀膜，可有效提高溅射镀膜机对陶瓷基片的镀膜效率及镀膜质量。

Description

一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具

技术领域

本实用新型属于镀膜机夹具领域，具体地，涉及一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具。

背景技术

溅射镀膜机利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。双面溅射镀膜技术可对基材两面进行镀膜，是现阶段被广泛使用的镀膜技术，普遍应用于微电子、陶瓷材料等领域，市场应用需求很大，由于溅射镀膜加工效率高，膜层均匀细腻，因此现在很多都用来对陶瓷基片进行镀膜。在镀膜过程中需要将基片采用夹具进行固定，然后夹具在镀膜机内旋转，进行双面镀膜操作。现有技术中的双面溅射镀膜工装装置装夹效率、稳定和可靠性低，可批量加工的数量少，在实际应用中，有部分基材表面镀不上膜，影响加工质量。

实用新型内容

为了解决以上问题，本实用新型提供一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具，该种溅射镀膜机的双面镀膜夹具可很好地固定住陶瓷基片，可使陶瓷基片两面均能很好地进行镀膜，可有效提高溅射镀膜机对陶瓷基片的镀膜效率及镀膜质量。

为了达到上述目的，本实用新型通过以下技术方案来实现：一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具，包括转动轴、底座及顶座，所述转动轴依次穿过顶座及底座上的连接孔并与顶座及底座相连，所述底座上表面及顶座下表面上均设有一对横向的第一凹槽，一对所述第一凹槽分别设于连接孔两侧，所述底座及顶座之间通过一对侧板相连，一对所述侧板分别设于转动轴两侧，所述侧板远离转动轴侧面上设有纵向的第三凹槽。转动轴由镀膜机内的旋转驱动机构驱动旋转，带动陶瓷基片进行转动，从而对陶瓷基片双面进行镀膜，陶瓷基片底部设在第一凹槽上，侧面由第三凹槽卡住固定，整体呈竖立状态。

进一步地，所述底座及顶座两端部外侧均通过固定板可拆卸相连。

进一步地，所述底座及顶座两端侧面均设有第二凹槽，所述固定板侧面靠近上端及下端处均设有第一连接块，所述第一连接块与第二凹槽形状尺寸相适应，且位置相对应。通过第一连接块与第二凹槽的结合，来实现固定板与底座及顶座的相连。

进一步地，所述固定板与侧板之间设有一组盖板，所述盖板可沿固定板及侧板移动。盖板可对陶瓷基片顶部进行固定，而且可同时对多个陶瓷基片进行镀膜，可有效提高对陶瓷基片的镀膜效率。

进一步地，所述固定板靠近侧板面上设有第四凹槽，所述第四凹槽与第三凹槽位置相对且形状尺寸相同，所述盖板两端均设有第二连接块，所述第二连接块宽度与第三凹槽或第四凹槽宽度相等，且可沿第三凹槽及第四凹槽移动。盖板两端可分别沿第四凹槽及第三凹槽移动，方便对陶瓷基片的固定，同时陶瓷基片侧面可卡在第四凹槽内，以增强对陶瓷基片的固定。

进一步地，所述盖板上、下表面均设有第五凹槽，所述第五凹槽设于第一凹槽正上方。陶瓷基片上端或下端均可卡在第五凹槽内，以增强对陶瓷基片的固定。

进一步地，所述连接孔处设有密封圈。可增强转动轴与底座及顶座之间的稳固性，使底座及顶座可以很好地带动产品随转动轴转动。

有益效果：与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：本实用新型提供的一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具，该种溅射镀膜机的双面镀膜夹具可很好地固定住陶瓷基片，可使陶瓷基片两面均能很好地进行镀膜，而且可同时对多个陶瓷基片进行镀膜，可有效提高溅射镀膜机对陶瓷基片的镀膜效率及镀膜质量。

附图说明

图1为本实用新型所述的一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具结构图；

图2为图1中A处结构局部放大图；

图3为本实用新型所述的底座结构图；

图4为本实用新型所述的固定板结构图；

图5为本实用新型所述的盖板结构图。

图中：1转动轴、2底座、21第一凹槽、22第二凹槽、23连接孔、231密封圈、3顶座、4侧板、41第三凹槽、5固定板、51第一连接块、52第四凹槽、6盖板、61第五凹槽、62第二连接块。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下面结合附图和具体实施例，进一步阐述本实用新型。

实施例1

如图1所示，一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具，包括转动轴1、底座2及顶座3，所述转动轴1依次穿过顶座3及底座2上的连接孔23并与顶座3及底座2相连，所述底座2上表面及顶座3下表面上均设有一对横向的第一凹槽21，一对所述第一凹槽21分别设于连接孔23两侧，所述底座2及顶座3之间通过一对侧板4相连，一对所述侧板4分别设于转动轴1两侧，所述侧板4远离转动轴1侧面上设有纵向的第三凹槽41。

实施例2

如图1-2所示，一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具，包括转动轴1、底座2及顶座3，所述转动轴1依次穿过顶座3及底座2上的连接孔23并与顶座3及底座2相连，所述连接孔23处设有密封圈231，所述底座2上表面及顶座3下表面上均设有一对横向的第一凹槽21，一对所述第一凹槽21分别设于连接孔23两侧，所述底座2及顶座3之间通过一对侧板4相连，一对所述侧板4分别设于转动轴1两侧，所述侧板4远离转动轴1侧面上设有纵向的第三凹槽41。

其中，所述底座2及顶座3两端部外侧均通过固定板5可拆卸相连。如图3所示，所述底座2及顶座3两端侧面均设有第二凹槽22，所述固定板5侧面靠近上端及下端处均设有第一连接块51，所述第一连接块51与第二凹槽22形状尺寸相适应，且位置相对应。

此外，所述固定板5与侧板4之间设有一组盖板6，所述盖板6可沿固定板5及侧板4移动。如图4所示，所述固定板5靠近侧板4面上设有第四凹槽52，所述第四凹槽52与第三凹槽41位置相对且形状尺寸相同，所述盖板6两端均设有第二连接块62，所述第二连接块62宽度与第三凹槽41或第四凹槽52宽度相等，且可沿第三凹槽41及第四凹槽52移动。如图5所示，所述盖板6上、下表面均设有第五凹槽61，所述第五凹槽61设于第一凹槽21正上方。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进，这些改进也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (7)

1.一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具，其特征在于：包括转动轴（1）、底座（2）及顶座（3），所述转动轴（1）依次穿过顶座（3）及底座（2）上的连接孔（23）并与顶座（3）及底座（2）相连，所述底座（2）上表面及顶座（3）下表面上均设有一对横向的第一凹槽（21），一对所述第一凹槽（21）分别设于连接孔（23）两侧，所述底座（2）及顶座（3）之间通过一对侧板（4）相连，一对所述侧板（4）分别设于转动轴（1）两侧，所述侧板（4）远离转动轴（1）侧面上设有纵向的第三凹槽（41）。

2.根据权利要求1所述的一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具，其特征在于：所述底座（2）及顶座（3）两端部外侧均通过固定板（5）可拆卸相连。

3.根据权利要求2所述的一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具，其特征在于：所述底座（2）及顶座（3）两端侧面均设有第二凹槽（22），所述固定板（5）侧面靠近上端及下端处均设有第一连接块（51），所述第一连接块（51）与第二凹槽（22）形状尺寸相适应，且位置相对应。

4.根据权利要求2或3所述的一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具，其特征在于：所述固定板（5）与侧板（4）之间设有一组盖板（6），所述盖板（6）可沿固定板（5）及侧板（4）移动。

5.根据权利要求4所述的一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具，其特征在于：所述固定板（5）靠近侧板（4）面上设有第四凹槽（52），所述第四凹槽（52）与第三凹槽（41）位置相对且形状尺寸相同，所述盖板（6）两端均设有第二连接块（62），所述第二连接块（62）宽度与第三凹槽（41）或第四凹槽（52）宽度相等，且可沿第三凹槽（41）及第四凹槽（52）移动。

6.根据权利要求5所述的一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具，其特征在于：所述盖板（6）上、下表面均设有第五凹槽（61），所述第五凹槽（61）设于第一凹槽（21）正上方。

7.根据权利要求1所述的一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具，其特征在于：所述连接孔（23）处设有密封圈（231）。

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