JP6813490B2 - 基板保持器受入れ装置 - Google Patents
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Description
基板保持器受入れ装置は、基板保持器を受け入れるように構成した基板保持器締付け手段を備え、基板保持器締付け手段は、基板保持器と少なくとも1つの基板保持器締付けアームとを機械的に位置合わせし、電気的に接触させる少なくとも1つの基板保持器接続手段を備え、基板保持器締付けアームの端部に配置した基板保持器接続手段は、基板保持器と基板保持器接続手段とを位置合わせ方向で位置合わせする個別の基板保持器位置合わせ手段と、基板保持器を電気的に接触させる個別の基板保持器接触手段とを備え、締付け工程において、基板保持器受入れ装置は、最初に基板保持器を位置合わせし、その後、基板保持器接触手段を基板保持器と接触させるように構成され、基板保持器受入れ装置が基板保持器を締め付けていない場合、基板保持器位置合わせ手段が、基板保持器接触手段よりも基板保持器の所定位置の方にさらに突出していることを特徴とする。
11 基板保持器
111 基板保持器の位置合わせ端部
112 基板保持器の接触端部
113 基板
2 基板保持器締付け手段
21 基板保持器接続手段
211 基板保持器位置合わせ手段
2111 位置合わせ手段ばね構造
2112 位置合わせ表面
2113 第1の位置合わせ表面区分
2114 第2の位置合わせ表面区分
212 基板保持器接触手段
2121 接触表面
213 接続釣合せ器
2131 第1の接続釣合せレバー
2132 第2の接続釣合せレバー
214 接続釣合せ軸
215 筐体
22 基板保持器締付けアーム
23 電流供給ケーブル
24 基板保持器締付け機構
241 案内機構
2411 案内支承部
2412 案内ロッド
242 アーム展開手段
2421 アーム展開作動バー
2422 アーム展開作動レバー
2423 案内ロッド・ブリッジ
2424 角度レバー
2425 角度レバー軸
2426 第1のレバー区分
2427 第2のレバー区分
25 フレームブリッジ
251 基板保持器支持器
26 締付け手段・フレーム
27 締結手段
271 締結穴
272 締結手段・ロッド支承部
3 基板保持器移動手段
31 x軸駆動器
311 x軸電気モータ
312 x軸親ねじ
313 x軸ナット
314 x軸親ねじ支承部
32 y軸駆動器
321 y軸電気モータ
322 y軸親ねじ
323 y軸ナット
324 y軸親ねじ支承部
325 y軸案内部
33 移動手段・フレーム
34 移動・フレーム
341 締結ねじ
35 中間フレーム
351 中間フレーム・案内部
352 中間フレーム・主要部品
4 機械フレーム
41 機械フレームねじ
42 アノード保持器
421 アノード
5 電気化学処理装置
51 電解槽
511 電解流体
512 液位
SHCD 基板保持器締付け方向
MD1 アーム展開作動バーの移動方向
MD2 第1の締付けアームの案内ロッドの移動方向
MD3 第2の締付けアームの案内ロッドの移動方向
T 回転方向
Claims (15)
- 基板保持器(11)の所定位置において基板保持器締付け方向(SHCD)で前記基板保持器(11)を締め付け、前記基板保持器(11)を解放する基板保持器受入れ装置(1)において、
前記基板保持器受入れ装置(1)は、前記基板保持器(11)を受け入れるように構成した基板保持器締付け手段(2)を備え、前記基板保持器締付け手段(2)は、前記基板保持器(11)と少なくとも1つの基板保持器締付けアーム(22)とを機械的に位置合わせし、電気的に接触させる少なくとも1つの基板保持器接続手段(21)を備え、前記基板保持器締付けアーム(22)の端部に配置した前記基板保持器接続手段(21)は、前記基板保持器(11)と前記基板保持器接続手段(21)とを所定の位置合わせ方向で位置合わせする個別の基板保持器位置合わせ手段(211)と、前記基板保持器(11)を電気的に接触させる個別の基板保持器接触手段(212)とを備え、締付け工程において、前記基板保持器受入れ装置(1)は、最初に前記基板保持器(11)を位置合わせし、その後、前記基板保持器接触手段(212)を前記基板保持器(11)と接触させるように構成され、前記基板保持器受入れ装置(1)が前記基板保持器(11)を締め付けていない時、前記基板保持器位置合わせ手段(211)が、前記基板保持器接触手段(212)よりも前記基板保持器(11)が締め付けられる前記所定位置の方にさらに突出していることを特徴とする、基板保持器受入れ装置(1)。 - 前記基板保持器受入れ装置(1)は、前記基板保持器受入れ装置(1)から温熱を除去する手段を備え、前記手段は、能動冷却手段、受動冷却手段、またはこれらの組合せからなる群から選択されることを特徴とする、請求項1に記載の基板保持器受入れ装置(1)。
- 前記能動冷却手段は、ガス流に基づくこと、および/または前記受動冷却手段は、冷却ファンを備えることを特徴とする、請求項2に記載の基板保持器受入れ装置(1)。
- 前記基板保持器受入れ装置(1)は、1つの基板保持器(11)を接続する2つの基板保持器接続手段(21)を備えることを特徴とする、請求項1から3のうちいずれか一項に記載の基板保持器受入れ装置(1)。
- 前記基板保持器位置合わせ手段(211)は、基板保持器締付け機構(24)の締付け動作によって前記基板保持器(11)の方に移動可能であり、位置合わせ手段ばね構造(2111)によって支持され、前記位置合わせ手段ばね構造(2111)は、前記基板保持器位置合わせ手段(211)が前記基板保持器(11)に接触し前記基板保持器締付け機構(24)が前記締付け動作を実施している際に、圧縮可能であることを特徴とする、請求項1から4のうちいずれか1項に記載の基板保持器受入れ装置(1)。
- 前記基板保持器接続手段(21)は、接続釣合せ器(213)を備え、前記接続釣合せ器(213)は、前記基板保持器締付け機構(24)によって前記基板保持器(11)の方に移動可能であり、前記基板保持器位置合わせ手段(211)を第1の接続釣合せレバー(2131)で支持し、前記基板保持器接触手段(212)を第2の接続釣合せレバー(2132)で支持し、前記第1の接続釣合せレバー(2131)と前記基板保持器位置合わせ手段(211)との間に、前記位置合わせ手段ばね構造(2111)が配置されていることを特徴とする、請求項5に記載の基板保持器受入れ装置(1)。
- 少なくとも1つの前記基板保持器位置合わせ手段(211)および/または少なくとも1つの前記基板保持器接触手段(212)は、少なくとも1つの前記基板保持器締付けアーム(22)によって移動可能であり、前記基板保持器締付けアーム(22)は、前記締付け工程全体を通じて弾性作用を有し、前記締付けアーム(22)は、前記基板保持器締付け方向(SHCD)に対して、所定の角度で配置されることを特徴とする、請求項1から6のうちいずれか1項に記載の基板保持器受入れ装置(1)。
- 前記基板保持器位置合わせ手段(211)は、少なくとも2つの位置合わせ表面区分(2113、2114)を備える少なくとも1つの位置合わせ表面(2112)を有し、前記少なくとも2つの位置合わせ表面区分(2113、2114)は、互いに対して所定の距離をおいて配置され、前記位置合わせ表面区分(2113、2114)はそれぞれ、前記基板保持器締付け方向(SHCD)に突出部を有する凸形状部もしくは前記基板保持器締付け方向(SHCD)に凹部を有する凹形状部を有し、前記突出部もしくは前記凹部の側面は、1°を超え、89°未満である角度で前記基板保持器締付け方向(SHCD)に配置され、第2の前記基板保持器位置合わせ手段(211)は、前記位置合わせ表面区分(2113、2114)のうち少なくとも1つを備える少なくとも1つの位置合わせ表面(2112)を備え、前記位置合わせ表面区分(2113、2114)は、前記基板保持器(11)への方向で突出部を有する凸形状部もしくは前記基板保持器(11)への方向で凹部を有する凹形状部を有し、前記突出部もしくは前記凹部の側面は、1°を超え、89°未満である角度で前記基板保持器締付け方向(SHCD)に配置されていることを特徴とする、請求項1から7のうちいずれか1項に記載の基板保持器受入れ装置(1)。
- 前記基板保持器接触手段(212)は、前記基板保持器締付け方向(SHCD)に直角に向けられた平面接触表面(2121)を有すること、および/または前記基板保持器位置合わせ手段(211)は、電流を前記基板保持器(11)に伝達するように構成されることを特徴とする、請求項1から8のうちいずれか1項に記載の基板保持器受入れ装置(1)。
- 前記基板保持器受入れ装置(1)は、前記基板保持器締付け機構(24)を有する前記基板保持器締付け手段(2)を備え、前記基板保持器締付け機構(24)は、案内ロッド(2412)と前記案内ロッド(2412)を案内する案内支承部(2411)とを有する案内機構(241)を備え、前記案内ロッド(2412)は、前記基板保持器(11)を締め付けるように移動可能であり、前記基板保持器締付け手段(2)を基板保持器移動手段(3)に締結するために設けられた締結手段(27)は、前記案内ロッド(2412)を案内するように配置した締結手段支承部(272)を備え、前記基板保持器締付け機構(24)と前記締結手段(27)との間の相対移動を可能にするようにすることを特徴とする、請求項1から9のうちいずれか1項に記載の基板保持器受入れ装置(1)。
- 前記基板保持器締付け手段(2)は、前記締結手段(27)を前記基板保持器移動手段(3)から解除することにより、前記基板保持器移動手段(3)からユニットとして分離可能であることを特徴とする、請求項10に記載の基板保持器受入れ装置(1)。
- 前記基板保持器受入れ装置(1)は、前記基板保持器接続手段(21)を有する前記基板保持器締付け手段(2)と、前記基板保持器締付け手段(2)を2つの異なる方向で移動させる前記基板保持器移動手段(3)とを備え、前記基板保持器移動手段(3)は、固定した移動手段・フレーム(33)と、x軸電気モータ(311)を有するx軸駆動器(31)と、y軸電気モータ(321)を有するy軸駆動器(32)とを備え、前記x軸電気モータ(311)および前記y軸電気モータ(321)は、前記移動手段・フレーム(33)に機械的に固定され、前記x軸電気モータ(311)および前記y軸電気モータ(321)が、前記基板保持器締付け手段(2)で実施する移動に対して固定された状態であるようにし、前記電気駆動器(31、32)の第1のものは、前記移動手段・フレーム(33)と前記基板保持器締付け手段(2)との間に配置され、前記電気駆動器(31、32)の第2のものは、前記移動手段・フレーム(33)と中間フレーム(35)との間に配置され、前記第1の電気駆動器の移動を補償するために、前記中間フレーム(35)は、中間フレーム案内部(351)を介して前記基板保持器締付け手段(2)に機械的に接続されていることを特徴とする、請求項1から11のうちいずれか1項に記載の基板保持器受入れ装置(1)。
- カソードとして作用する基板(111)を電解流体(511)中で処理する電気化学処理装置(5)であって、前記電気化学処理装置(5)は、アノード(421)と、請求項1から12のうちいずれか1項に記載の基板保持器受入れ装置(1)とを備え、前記アノード(421)の活性表面は、作動時、前記基板(111)に向けられている、電気化学処理装置(5)において、前記アノード(421)は、前記基板(111)に対して25mm未満の距離を有することを特徴とする、電気化学処理装置(5)。
- 前記電気化学処理装置(5)は、互いに面するように配置した2つのアノード(421)を備え、前記電気化学処理装置(5)は、作動時、基板(111)を前記アノード(421)の間に受け入れ可能であるように構成され、前記アノード(421)の間の距離は、50mm未満であることを特徴とする、請求項13に記載の電気化学処理装置(5)。
- 前記基板保持器接続手段(21)は、前記基板保持器受入れ装置(1)の作動時、前記電解流体(511)の液位(512)より上に配置されていることを特徴とする、請求項13または14に記載の電気化学処理装置(5)。
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