JPH10166653A - 光ビーム走査装置およびその制御方法 - Google Patents

光ビーム走査装置およびその制御方法

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JPH10166653A
JPH10166653A JP8340371A JP34037196A JPH10166653A JP H10166653 A JPH10166653 A JP H10166653A JP 8340371 A JP8340371 A JP 8340371A JP 34037196 A JP34037196 A JP 34037196A JP H10166653 A JPH10166653 A JP H10166653A
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light beams
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scanning
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 マルチ周波数音響光学素子を用いて光ビーム
を副走査方向に分割して走査する光ビーム走査装置で、
マルチ周波数AOMを用いる場合に、光ビーム数を大幅
に増大することにより画像記録の高速化を図る。 【解決手段】 複数の入射光ビームをそれぞれ異なるマ
ルチ周波数音響光学素子で副走査方向に分割し、分割し
た光ビームを副走査方向に重ならないように偏位させか
つ各音響光学素子で分割された光ビームの各組を主走査
方向にずらしつつ走査し、この主走査方向のずれを画像
信号のクロックタイミングで補正する。ここに各AOM
で分割された光ビームが副走査方向に交互に位置するよ
うにしたり、1つのAOMが分割した光ビームの組と他
のAOMが分割した光ビームの組とを副走査方向に隣接
させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、マルチ周波数音
響光学素子を用いて分割した複数の光ビームで走査を行
う光ビーム走査装置と、その制御方法とに関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】光ビームを用いて走査することにより画
像を記録する光ビーム走査装置において、画像記録速度
を高めるために複数の光ビームを用いるマルチビーム方
式が公知である。この方式の1つとして、1本の光ビー
ムをマルチ周波数音響光学素子(Acousto-Optic Modula
tor、以下AOMという)により複数の光ビームに分割
する方法がある。
【0003】このマルチ周波数AOMは、透明媒質に圧
電薄膜トランスジューサを貼り付けたもので、トランス
ジューサに加える駆動信号として、複数の周波数の電圧
を重畳させた信号を用いるものである。従ってこの駆動
信号でAOMを駆動した時には、入射光ビームはこの駆
動信号に含まれる複数の周波数に対応する回折角度に分
割されて複数の光ビームに分かれる。
【0004】このようなマルチ周波数AOMを用いて入
射光ビームを副走査方向に分割し、この分割した複数の
光ビームで走査して画像を記録するものである。なおこ
のAOMの駆動信号の各周波数は、2値画像信号により
オン・オフされる。すなわち異なる周波数により分割さ
れた光ビームは、それぞれが描く走査ラインの画像信号
のオン・オフに基づいてオン・オフされる。
【0005】
【従来技術の問題点】しかしここに用いているマルチ周
波数AOMには、次のような2つの問題があった。すな
わち1つの問題は、重畳する複数の周波数が近接してい
る場合に分割された光ビーム同志の間隔が過少になって
隣接する光ビーム間に干渉が生じることである。他の問
題は、使用可能な周波数帯域が制限されていることであ
る。このため分割する光ビームの数をあまり多くするこ
とができず、この方式により画像記録の高速化を図る際
の障害となっていた。
【0006】
【発明の目的】この発明はこのような事情に鑑みなされ
たものであり、マルチ周波数AOMを用いる場合に、光
ビーム数を大幅に増大することにより画像記録の高速化
を図ることができる光ビーム走査装置の制御方法を提供
することを第1の目的とする。またこの方法の実施に直
接使用する装置を提供することを第2の目的とする。
【0007】
【発明の構成】この発明によればこの目的は、マルチ周
波数音響光学素子を用いて光ビームを副走査方向に分割
して走査する光ビーム走査装置の制御方法において、複
数の入射光ビームをそれぞれ異なるマルチ周波数音響光
学素子で副走査方向に分割し、分割した光ビームを副走
査方向に重ならないように偏位させかつ各音響光学素子
で分割された光ビームの各組を主走査方向にずらしつつ
走査し、この主走査方向のずれを画像信号のクロックタ
イミングで補正することを特徴とする光ビーム走査装置
の制御方法、により達成される。
【0008】ここに各AOMで分割された光ビームが副
走査方向に交互に位置するようにすれば、1つのAOM
が分割する光ビームの間隔が大きくなり、分割された光
ビーム間の干渉を防止するのに適する。また1つのAO
Mが分割した光ビームの組と他のAOMが分割した光ビ
ームの組とを副走査方向に隣接させれば、1つのAOM
の周波数帯域幅が過大になることがない。
【0009】本発明の第2の目的は、マルチ周波数音響
光学素子を用いて光ビームを副走査方向に分割して走査
する光ビーム走査装置において、複数の光ビームを副走
査方向に分割する複数のマルチ周波数音響光学素子と、
各音響光学素子で分割された光ビームが副走査方向に重
ならないように各音響光学素子を制御する音響光学素子
制御部と、各音響光学素子で分割された光ビームの各組
を主走査方向にずらして走査する1組の走査光学系と、
光ビームの各組の主走査方向のずれを補正するように画
像信号のクロックタイミングを制御するクロック発生部
とを備えることを特徴とする光ビーム走査装置、により
達成される。
【0010】ここに光ビーム位置検出手段を設けてお
き、ここで検出した光ビーム位置に基づいて各AOMの
偏向角を補正するためのデータやクロックタイミングを
補正するためのデータを求め、これらのデータをメモリ
しておくのがよい。この場合は走査に先行して各AOM
ごとに別々に駆動する予備走査を行い、各AOMによる
光ビームの位置を検出し、この検出結果を用いてこれら
のデータを求めメモリに記憶しておくことができる。
【0011】
【実施態様】図1はこの発明の一実施態様を示す図、図
2はその光ビームの配列例を示す図である。図1におい
て符号10はヘリウム・ネオンやアルゴンなどのレーザ
ー光源である。このレーザー光源10から射出された一
本のレーザービームL0は、偏向ビームスプリッタ12
で、L1、L2の2つの光ビームに分割される。光ビーム
1はレンズ群を介してマルチ周波数AOM1に入射さ
れる。
【0012】ビームスプリッタ12で分割された光ビー
ムL2は、ミラー14およびレンズ群を介してマルチ周
波数AOM2に入射される。両光ビームL1、L2はそれ
ぞれレンズ群で拡大された後、ミラー18で合波され
る。
【0013】ここにAOM1およびAOM2は、その前
後のレンズ群と共にユニット化され、それぞれ同じユニ
ット20、22を用いることができる。またAOM1、
AOM2は共にマルチ周波数駆動されるものである。す
なわちこれらAOM1、AOM2は、複数の周波数の駆
動信号を印加することにより入射光ビームL1、L2を複
数の光ビームに分割することができる。AOM1、AO
M2は、光ビームL1、L2を後記する走査面上で副走査
方向に分割するように、光ビームL1、L2に対する回転
方向の位置が設定される。
【0014】ミラー18で合波された光ビームL3は、
レンズ24、ビームエキスパンダ26を形成するレンズ
26a、26b、走査光学系となるレゾナントスキャナ
28、走査(fθ)レンズ30を介してドラム32に保
持された記録フィルム34に導かれる。
【0015】レゾナントスキャナ28は光ビームL3
走査平面に対して垂直な軸回りで回動可能なミラーを持
ち、このミラーは板ばねの共振を利用して揺動する。走
査レンズ30は、光ビームL3を記録フィルム34上に
集光する。なお36は記録フィルム34をドラム32の
表面に密着させるためのニップローラである。
【0016】38は同期用光源であり、レーザビームか
らなる同期用光ビーム40を射出する。この光ビーム4
0は、レゾナントスキャナ28、走査レンズ30を介し
て、集光ロッド42に導かれる。この集光ロッド42は
ドラム32に接近しかつこのドラム32と平行に配設さ
れ、その前には光ビーム40を一定間隔ごとに透過させ
るグリッドを有する同期用基準板44が配設されてい
る。集光ロッド42の一端にはホトセンサ46が取付け
られている。
【0017】従って光ビーム40が基準板44を通り集
光ロッド42に入射すると、ホトセンサ46がこれを検
出し、光ビーム40の走査位置を検出することができ
る。この光ビーム40は記録用の光ビームL3と同じレ
ゾナントスキャナ28で走査されるから、この光ビーム
40の走査位置から記録用の光ビームL3の走査位置を
知ることができる。なお48はライン同期用のホトセン
サであり、光ビーム40の走査開始タイミングを検出す
る。
【0018】ホトセンサ46と48の信号は同期信号生
成部50に入力され、ここで同期信号ψが生成される。
すなわちレゾナントスキャナ28による光ビームL3
走査位置(主走査方向の位置)を示す同期信号ψが生成
される。
【0019】前記レンズ24とビームエキスパンダ26
との間には光ビーム位置検出手段52が設けられてい
る。この光ビーム位置検出手段52は、光ビームL3
レンズ24の後方で分割するビームサンプラー54と、
この分割された光ビームを4分割ビーム位置検出素子5
6に合焦させる結像レンズ58とを持つ。このビーム位
置検出素子56の出力は偏位検出部60に入力される。
【0020】この偏位検出部60は、AOM1、AOM
2で偏向された光ビームL1、L2の副走査方向の偏位量
aおよび主走査方向の偏位量bを求める。これらの偏位
量a、bを図2に基づいて説明する。
【0021】図2は走査面上すなわち記録シート34に
記録される光ビームL1、L2の位置を示す。なおこれら
の光ビームL1、L2は合波されて1本の合波光ビームL
3となって走査されるが、実際は2本の光ビームL1、L
2をAOM1、AOM2で分割した多数の光ビームL1a
〜L1eおよびL2a〜L2eで構成されている。図2の
(A)に示す実施態様では、AOM1で分割された一組
の光ビームL1a〜L1eは、副走査方向に間隔2dをも
ち、主走査方向に垂直に並んでいる。
【0022】またAOM2で分割された一組の光ビーム
2a〜L2eは、光ビームL1a〜L1bに対して副走査方向
に間隔aだけずれた状態で、主走査方向に垂直に並んで
いる。前記した光ビームL1、L2の副走査方向の偏位量
aはこの間隔aを意味する。また主走査方向の偏位量b
は、光ビームL1a〜L1eの組とL2a〜L2eの組の主走査
方向の位置のずれを意味する。この主走査方向の偏位は
光学系の設定によって設けることができる。
【0023】図2の(B)に示す実施態様では、光ビー
ムL1を分割した光ビームL1a〜L1eは副走査方向に間
隔dをもって互いに隣接し、光ビームL2を分割した光
ビームL2a〜L2eも副走査方向に同じ間隔dをもって互
いに隣接する。そして光ビームL1a〜L1eの組とL2a
2eの組とが副走査方向に間隔aをもち、また主走査方
向に間隔bをもっている。これらの間隔a、bが前記の
偏位量a、bに対応する。
【0024】偏位検出部60はこれらの偏位量a、bを
検出するために、まず一方のAOM1だけを駆動してこ
こで分割された光ビームL1a〜L1eのみのビーム位置を
ビーム位置検出手段52で求めメモリする。次にAOM
2だけを駆動して光ビームL2a〜L2eのビーム位置を検
出し、予めメモリした光ビームL1a〜L1eの位置と比較
する。このようにして偏位量a、bを求めることができ
る。なおAOM1、2の駆動周波数を1つにすれば分割
される光ビームのうちの1本の光ビームだけを用いて、
ビーム位置を検出することができる。
【0025】このようにして求めた偏位量aから、AO
M1、AOM2の偏向角を補正するためのデータをメモ
リ62に記憶する。このデータは偏位量aをビーム間隔
dに等しくするためのデータである。また偏位量bか
ら、光ビームL1およびL2が画像を描くためのクロック
タイミングのずれを補正するためのデータをメモリ62
に記憶する。このタイミングのずれを補正するためのデ
ータは、偏位量bの間隔に対応する時間差を示すもので
ある。
【0026】64はクロック発生部であり、メモリ62
に記憶したクロックタイミングを補正するためのデータ
に基づいて、かつ同期信号ψに同期して、各AOM1、
AOM2を駆動するためのクロックパルスCL1、CL2
を出力する。これらクロックパルスCL1、CL2は前記
偏位量bの時間差を補正する時間差を持つ。
【0027】66は音響光学素子制御部(AOM制御
部)である。このAOM制御部66は、メモリ62に記
憶したAOM1およびAOM2の偏向角を補正するため
のデータに基づいて駆動周波数の補正を行い、偏向量a
をビーム間隔dに等しくする。またこのAOM制御部6
6は、クロック発生部64から入力されたクロックパル
スCL1、CL2に同期し、2値画像信号に対応して、重
畳された各周波数を選択的にオン・オフする。
【0028】この結果画像信号に従って複数本の光ビー
ムを選択的にオン・オフさせながら走査し、画像を高速
で出力することができる。68は光源制御部であり、レ
ーザー光源10を駆動する。
【0029】分割された光ビームL1a〜L1e、L2a〜L
2eの配列を、図2の(A)に示すように副走査方向へ交
互に配置した場合には、各AOM1、AOM2で分割す
る光ビーム同志の間隔が広がるため、隣接する光ビーム
間の干渉を防ぐことができる。また図2の(B)に示す
ように各AOM1、AOM2が分割した光ビームの組を
副走査方向に分けた場合には、各AOM1、AOM2の
偏向範囲が小さくなり、駆動周波数帯域幅が狭くなるか
ら、使用可能なAOMの選択範囲が広がる。
【0030】
【他の実施態様】以上の実施態様では1個のレーザー光
源10の光ビームL0を2つに分割し、分割された各光
ビームL1、L2をAOM1、AOM2に導いているが、
1本の光ビームを2以上に分割して2以上のAOMに導
き、それぞれをAOMで分割した後合波してもよい。こ
のようにAOMの数と各AOMに入力する光ビームの数
とを増やせば、画像出力速度は一層増加する。
【0031】AOM1、2は、前記実施態様ではそれぞ
れ5本の光ビームL1a〜L1e、L2a〜L2eに分割してい
るが、分割数はこれに限られない。光源は複数のレーザ
ーダイオードであってもよく、この場合複数のAOMご
とにレーザーダイオードを別々に設け、各レーザーダイ
オードが出力するレーザを別々にAOMに入力する。
【0032】
【発明の効果】請求項1の発明は以上のように、複数の
マルチ周波数AOMでそれぞれ副走査方向に分割した光
ビームを副走査方向に重ならないように偏位させ、かつ
各AOMで分割された光ビームの各組を主走査方向にず
らしつつ走査するから、分割された光ビーム同志の干渉
を生じることなく、またAOMの駆動周波数帯域を過大
にすることなく走査光ビーム数を大幅に増やすことがで
きる。このため走査速度を大幅に増大させ画像記録の高
速化が可能になる。
【0033】この場合に各AOMで分割された光ビーム
の間に他のAOMで分割された光ビームが1本ずつ入る
ようにすれば、各AOMが分割する光ビーム同志の間隔
が拡大し、光ビーム同志の干渉を防ぐのに適する(請求
項2)。
【0034】また各AOMで分割された光ビームの組が
副走査方向に隣接するようにしてもよく、この場合には
各AOMの駆動周波数帯域幅が過大にならず、使用可能
なAOMの選択範囲が広がる利益がある(請求項3)。
【0035】請求項4の発明によれば、前記請求項1の
発明の実施に直接使用する光ビーム走査装置が得られ
る。この場合に光ビーム位置検出手段を設けて、各AO
Mで分割される光ビームの副走査方向の偏位量および主
走査方向の偏位量を求め、これらの偏位量からAOMの
偏向量の補正データおよびクロックタイミングの補正デ
ータを求めてメモリに記憶しておき、これらのデータを
用いて制御するように構成することができる(請求項
5)。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施態様を示す図
【図2】走査光ビームの配列例を示す図
【符号の説明】
10 光源 28 走査光学系としてのレゾナントスキャナ 30 fθレンズ 32 ドラム 34 記録フィルム 50 同期信号生成部 52 ビーム位置検出手段 60 偏位検出部 62 メモリ 64 クロック発生部 66 AOM制御部 AOM1、AOM2 マルチ周波数音響光学素子 L0、L1、L2 光ビーム

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 マルチ周波数音響光学素子を用いて光ビ
    ームを副走査方向に分割して走査する光ビーム走査装置
    の制御方法において、複数の入射光ビームをそれぞれ異
    なるマルチ周波数音響光学素子で副走査方向に分割し、
    分割した光ビームを副走査方向に重ならないように偏位
    させかつ各音響光学素子で分割された光ビームの各組を
    主走査方向にずらしつつ走査し、この主走査方向のずれ
    を画像信号のクロックタイミングで補正することを特徴
    とする光ビーム走査装置の制御方法。
  2. 【請求項2】 1つの音響光学素子で分割された複数の
    光ビームの副走査方向の間に、他の音響光学素子で分割
    された光ビームの1本が位置する請求項1の光ビーム走
    査装置の制御方法。
  3. 【請求項3】 1つの音響光学素子で分割された複数の
    光ビームの組と、他の音響光学素子で分割された複数の
    光ビームの組とが副走査方向に隣接する請求項1の光ビ
    ーム走査装置の制御方法。
  4. 【請求項4】 マルチ周波数音響光学素子を用いて光ビ
    ームを副走査方向に分割して走査する光ビーム走査装置
    において、複数の光ビームを副走査方向に分割する複数
    のマルチ周波数音響光学素子と、各音響光学素子で分割
    された光ビームが副走査方向に重ならないように各音響
    光学素子を制御する音響光学素子制御部と、各音響光学
    素子で分割された光ビームの各組を主走査方向にずらし
    て走査する1組の走査光学系と、光ビームの各組の主走
    査方向のずれを補正するように画像信号のクロックタイ
    ミングを制御するクロック発生部とを備えることを特徴
    とする光ビーム走査装置。
  5. 【請求項5】 請求項4の光ビーム走査装置において、
    さらに、各音響光学素子で分割された光ビームの位置を
    検出する光ビーム位置検出手段と、この光ビーム位置検
    出手段で検出した光ビームの位置から副走査方向の偏位
    量および主走査方向の偏位量を求める偏位検出部と、副
    走査方向の偏位量から求めた各音響光学素子の偏向角を
    補正するためのデータおよび主走査方向の偏位量から求
    めたクロックタイミングを補正するためのデータを記憶
    するメモリとを備え、音響光学素子制御部は前記メモリ
    に記憶した偏向角を補正するためのデータを用い、また
    クロック発生部は前記メモリに記憶したクロックタイミ
    ングを補正するためのデータを用いることを特徴とする
    光ビーム走査装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010048813A (ja) * 2002-03-22 2010-03-04 Applied Materials Israel Ltd 移動レンズマルチビームスキャナを備えたウェハ欠陥検出システム

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11227252A (ja) * 1998-02-19 1999-08-24 Fuji Xerox Co Ltd 画像形成装置
US6731320B1 (en) * 1999-03-19 2004-05-04 Applied Materials, Inc. Laser pattern generator
JP3564004B2 (ja) * 1999-07-09 2004-09-08 ペンタックス株式会社 多波長レーザー光学系
US6317146B1 (en) * 2000-03-24 2001-11-13 Toshiba Tec Kabushiki Kaisha Image forming apparatus
US6754000B2 (en) * 2000-10-04 2004-06-22 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Optical arrangement, and method for the deflection of light beams
US6490075B1 (en) * 2001-08-16 2002-12-03 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Acousto-optic tunable filter hyperspectral imaging system
JP4182515B2 (ja) * 2003-05-08 2008-11-19 株式会社オーク製作所 パターン描画装置
JP4917382B2 (ja) * 2006-08-09 2012-04-18 株式会社ディスコ レーザー光線照射装置およびレーザー加工機

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4000493A (en) * 1971-04-12 1976-12-28 Eastman Kodak Company Acoustooptic scanner apparatus and method
US3935566A (en) * 1973-10-26 1976-01-27 Zenith Radio Corporation Multiple-channel information translation system and method
US4053898A (en) * 1974-09-13 1977-10-11 Canon Kabushiki Kaisha Laser recording process
US4279472A (en) * 1977-12-05 1981-07-21 Street Graham S B Laser scanning apparatus with beam position correction
US4310757A (en) * 1978-07-07 1982-01-12 Pitney Bowes Inc. Apparatus for correcting scanning speed in a polygon used for laser scanning
US4295145A (en) * 1978-12-29 1981-10-13 International Business Machines Corporation Acousto-optically modulated laser scanning arrangement for correcting for interference appearing therein
US4600837A (en) * 1983-12-01 1986-07-15 International Business Machines Corporation Optical scanning apparatus with dynamic scan path control
US4864326A (en) * 1985-03-18 1989-09-05 Canon Kabushiki Kaisha Dual beam recorder
JPH01287622A (ja) * 1988-05-16 1989-11-20 Think Lab Kk 光ビーム分割器
US5305022A (en) * 1992-03-24 1994-04-19 Fuji Xerox Co., Ltd. Interlaced multi-beam scanning type recording apparatus
US5386221A (en) * 1992-11-02 1995-01-31 Etec Systems, Inc. Laser pattern generation apparatus
JP2912556B2 (ja) * 1994-10-25 1999-06-28 富士通株式会社 像形成装置における露光方法及び像形成装置
US5757411A (en) * 1994-11-02 1998-05-26 Texas Instruments Incorporated Method and apparatus for ameliorating the effects of misalignment between two or more arrays of imaging elements

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010048813A (ja) * 2002-03-22 2010-03-04 Applied Materials Israel Ltd 移動レンズマルチビームスキャナを備えたウェハ欠陥検出システム

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