JP3564004B2 - 多波長レーザー光学系 - Google Patents
多波長レーザー光学系 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3564004B2 JP3564004B2 JP19643999A JP19643999A JP3564004B2 JP 3564004 B2 JP3564004 B2 JP 3564004B2 JP 19643999 A JP19643999 A JP 19643999A JP 19643999 A JP19643999 A JP 19643999A JP 3564004 B2 JP3564004 B2 JP 3564004B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical system
- light
- wavelength
- diffraction
- beams
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/29—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
- G02F1/33—Acousto-optical deflection devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、レーザーフォトプロッター等に利用される光学系であって、複数の波長で発光する光源を用いた多波長レーザー光学系に関する。
【0002】
【従来の技術】
比較的大きな光量が要求されるレーザーフォトプロッター等の露光装置では、光源としてガスレーザーが用いられる。ガスレーザーは、一般に複数のピーク波長で発振する。例えば、アルゴンレーザーは、可視域、紫外域で複数のピーク波長を持つ。この種の露光装置では、エネルギーを有効に利用して描画速度を向上させるために、複数のピーク波長のレーザー光を同時に使用したいという要請がある。
【0003】
特に、プリント基板や半導体素子を製造するための露光装置では、複数の発光波長のビームを重ねて用いたいという要望が強い。これは、パターンの微細化に伴って光学系にも高い解像度が求められているためビームの波長は短いほど望ましいにもかかわらず、一般にガスレーザーの発振効率は紫外域では可視域より低くなる傾向にあるため、単波長では光量が不足しがちとなるからである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、光学系が色収差を持つ場合には、複数の波長の光束を入射させると、本来描画上で同一位置に形成されるべきスポットが波長によって異なる位置に形成され、描画性能を悪化させるという問題がある。特に、光学系に音響光学変調器(AOM)や回折分岐素子等の回折成分が含まれる場合には、回折成分により発生する色収差が屈折レンズのそれと比較して大きいため、描画性能の劣化が著しい。このため、回折成分を含む光学系では、光源から発する複数のピーク波長のうちの一つしか使用し得ず、エネルギーの利用効率を高めることができなかった。
【0005】
この発明は、上述した従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、回折分岐素子やAOMが持つ波長依存性による悪影響を防ぐことができ、ビームに複数の互いに異なる波長成分が含まれる場合にも、描画面上でのビームスポットの位置ズレを防ぐことができる多波長レーザー光学系の提供を目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
この発明にかかる多波長レーザー光学系は、上記の目的を達成させるため、光源から発する複数のピーク波長のレーザー光を波長分離光学系により波長毎に分割し、回折成分を含む複数の変調光学系によりそれぞれ変調し、変調された複数の光束を合成光学系により合成し、描画面上にビームスポットを形成するようにしたことを特徴とする。変調光学系は、波長分離手段により分離されたそれぞれの光束に対応して設けられ、入射光束を回折させることにより複数本に分岐してそれぞれ異なる角度で射出させる回折分岐素子と、回折分岐素子により分岐された光束をそれぞれ独立して変調するマルチチャンネル変調器とを備えている。また、各回折分岐素子の回折格子ピッチは、各変調光学系に入射するピーク波長に応じて互いに異なる値に設定され、あるいは格子ピッチは一定とされ、含まれるパワーを持つ光学系 ( レンズまたはミラー ) の焦点距離がピーク波長に応じて異なるよう設定される。
【0007】
上記の構成によれば、回折成分を含む変調光学系には単一のピーク波長の光束が入射するため、各変調光学系を入射するピーク波長専用に設計することにより、回折成分の色収差による影響を除去することができる。また、回折分岐素子により分岐された各波長の光束が描画面上で形成するスポット列のピッチを互いに等しくすることができる。合成光学系は、分離された異なる波長の光束が描画面上で重なるように合成してもよいし、それぞれが独立したビームスポットを形成するように合成してもよい。
【0008】
変調器としては、入力される超音波のON−OFFにより回折を利用して光の方向を切り替え、回折光を変調光として取り出す音響光学変調器を用いることができる。
【0009】
また、描画面上で1つの波長のスポット列のスポットと、他の波長のスポット列のスポットとが交互に配列するようにすることが望ましい。
【0010】
波長分離光学系は、光源からのレーザー光を2つの波長成分に分離することができる。この場合、変調光学系は、分離された光束に応じて一対設けられる。2つの波長成分を合成するには、偏光を用いることができる。すなわち、合成光学系に偏光ビームスプリッターを設け、一方の変調光学系からの光束をS偏光、他方の変調光学系からの光束をP偏光で入射させることにより、偏光を利用した光束の合成が可能となる。さらに、合成光学系により合成された複数の光束を偏向させる偏向器と、偏向器により偏向された光束を描画面上に結像させる結像光学系とを備えることができる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、この発明にかかる多波長レーザー光学系の実施形態を説明する。図1はこの発明の多波長レーザー光学系をマルチビームの走査光学系に適用した実施形態の概要を示す説明図、図2は図1をより具体化した光路図である。まず、図1に基づいて実施形態の概要を説明する。
【0012】
実施形態の走査光学系は、図1に示すように、複数のピーク波長で発光するレーザー光源10と、このレーザー光源10からの光束を波長に応じて複数の単色光、この例では2つの波長成分に分離する波長分離光学系20と、分離された光束に応じて設けられた第1,第2の変調光学系30,40と、各変調光学系30,40により変調された複数の光束を合成する合成光学系50と、合成された複数の光束を偏向させる偏向器60と、この偏向器60により偏向された光束を描画面S上に結像させる結像光学系70とから構成されている。
【0013】
第1の変調光学系30は、光束を複数に分割する回折分岐素子31と、分割された光束をそれぞれ独立して変調するマルチチャンネル音響光学変調器(AOM)32とを備えている。第2の変調光学系40は、同様に回折分岐素子41と、マルチチャンネルAOM42とを備えている。
【0014】
回折分岐素子31、41は、透明基板のいずれか一方の表面に、多数の微細な帯状の基準位相パターンを有する回折格子を形成して構成され、入射光束を回折させることにより複数本に分岐してそれぞれ異なる角度で射出させる。AOMは、入力される超音波のON−OFFにより回折を利用して光の方向を切り替え、回折光、若しくは非回折光の一方を変調光として取り出す素子である。マルチチャンネルAOM32,42は、回折分岐素子31,41により分岐された複数の光束を入射させる複数のチャンネルを有し、各チャンネルを独立して制御することにより、各光束を独立して変調する。
【0015】
レーザー光源10から発したレーザー光は、波長分離光学系20により2つの波長成分に分離され、それぞれ第1,第2の変調光学系30,40に入射する。各変調光学系は、それぞれ入射光束を複数に分割し、分割されたそれぞれの光束を変調する。変調された光束は、合成光学系50に入射して合成され、偏向器60、結像光学系70を介して描画面上に複数のビームスポットを形成する。
【0016】
図1の例では、各変調光学系に含まれる回折分岐素子が、回折を利用した光学素子であり、複数の波長が含まれると回折角度にズレが生じる。また、マルチチャンネルAOMも、回折を利用した素子であり、回折光を描画光として用いる場合には、複数の波長が含まれると回折角度にずれが生じる。そこで、使用される2つの波長毎に独立の変調光学系を設け、回折角度のズレが生じないようにしている。
【0017】
次に、図2に基づいて上記の走査光学系の具体的な構成を説明する。
レーザー光源10は、例えばアルゴンレーザーであり、その複数のピーク波長のうち、第1の波長363.8nmと第2の波長351.1nmの2波長を利用する。レーザー光源10から発してミラー11で反射されたレーザー光は、波長分離光学系20としての波長分離プリズム21の分散を利用して空間的に分離される。波長の長い第1の波長の光束は、楔型の波長分離プリズム21により所定の屈折角で屈折し、ミラー22により反射されて第1の変調光学系30に入射する。一方、波長の短い第2の波長の光束は、第1の波長の光束よりも小さい屈折角度で屈折し、ミラー23により反射されて第2の変調光学系40に入射する。
【0018】
変調光学系30,40からの光束は、合成光学系50としての偏光ビームスプリッター51により合成され、偏向器60を構成するポリゴンミラー61により反射・偏向され、結像光学系70としてのfθレンズ71により描画面S上を走査する複数のビームスポットを形成する。
【0019】
第1の変調光学系30は、光束が入射するミラー22側から順に、一対の正レンズから構成される第1のリレーレンズ系33、ポリゴンミラー61の面倒れ誤差を補正するためのピエゾミラー34、一対の正レンズから構成される第2のリレーレンズ系35、回折分岐素子31、集光レンズ36、マルチチャンネルAOM32、コリメートレンズ37を備えている。
【0020】
ミラー22により反射されたレーザー光は、第1,第2のリレーレンズ系33,35によりその光束径が調整され、平行光として回折分岐素子31に入射し、それぞれ異なる角度で射出する複数の光束に分割される。図2では、0次回折光(実線)と、1次回折光(破線)との2つの光束が示されるが、より多くの本数に分割することができる。分割された各光束は、集光レンズ36により収束光となり、集光レンズ36の後焦点位置に配置されたマルチチャンネルAOM32に入射して変調される。
【0021】
変調された発散光は、コリメートレンズ37により再び平行光とされ、偏光ビームスプリッター51に入射する。レーザー光源10から第1の変調光学系30までの光学素子は、第1の変調光学系30を透過した光束がP偏光として偏光ビームスプリッター51に入射するよう設定されている。このため、第1の変調光学系30からの光束は、偏光ビームスプリッター51を透過する。
【0022】
第2の変調光学系40は、第1の変調光学系30におけるのと同様に、光束が入射するミラー23側から順に、一対の正レンズから構成される第1のリレーレンズ系43、ピエゾミラー44、一対の正レンズから構成される第2のリレーレンズ系45、回折分岐素子41、集光レンズ46、マルチチャンネルAOM42、ミラー47、コリメートレンズ48、1/2波長板49を備えている。
【0023】
ミラー23により反射されたレーザー光は、第1,第2のリレーレンズ系43,45によりその光束径が調整され、平行光として回折分岐素子41に入射し、それぞれ異なる角度で射出する複数の光束に分割される。分割された各光束は、集光レンズ46により収束光となり、集光レンズ46の後焦点位置に配置されたマルチチャンネルAOM42に入射して変調される。
【0024】
変調された発散光は、コリメートレンズ48により再び平行光とされ、1/2波長板49を介して偏光ビームスプリッター51にS偏光として入射する。このため、第2の変調光学系40からの光束は、偏光ビームスプリッター51により反射される。
偏光ビームスプリッター51は、第1の変調光学系30からの光束を透過させると共に、第2の変調光学系40からの光束を反射させることにより両者を合成する機能を備え、合成された光束は、共にポリゴンミラー61により反射されてfθレンズ71を介して描画面Sに達する。
【0025】
なお、第1の変調光学系30を経て描画面Sに至る第1の波長の光束は、所定のピッチで配列する複数のビームスポットを形成し、第2の変調光学系を経て描画面Sに至る第2の波長の光束も、所定のピッチで配列する複数のビームスポットを形成する。マルチチャンネルAOMのチャンネル間距離を狭めることなく走査線のピッチを小さく、すなわち副走査方向の解像度を大きくするためには、各波長のビームスポットが交互に配列するようにすることが望ましく、かつ、これらを一直線上に配列するためには、各波長のビームスポットのピッチが、互いに等しいことが望ましい。そこで、各波長の光束により形成される描画面S上でのビームスポットのピッチを揃えるため、各変調光学系をそれぞれの使用波長に応じて設定する。
【0026】
次に、第1,第2の波長により形成されるビームスポットの描画面S上でのピッチを揃えるための設定の具体例について説明する。描画面S上でのピッチを揃えるためには、描画面Sと光学的に共役な位置関係にあるマルチチャンネルAOM32,42上での集光点のピッチを揃えればよい。そのためには、回折分岐素子31,41の格子ピッチを波長に比例させるか、格子ピッチを変えずに集光レンズ36,46の焦点距離を波長に反比例させればよい。前者の設計例を表1に、後者の設計例を表2に示す。表中、λは波長、dpは回折分岐素子上の回折格子の格子ピッチ、daは回折分岐素子による分岐光の回折角度のピッチ、fcは集光レンズの焦点距離、bpはマルチチャンネルAOM上での集光点のピッチである。
【0027】
【表1】
【0028】
【表2】
【0029】
上記のいずれかの設定により、マルチチャンネルAOM上での集光点のピッチを揃えることができ、これにより、描画面S上でのビームスポットのピッチを揃えることができる。また、マルチチャンネルAOMの超音波入力時の回折光を描画光として利用する場合には、各波長の光束により形成されるビームスポットの相対位置を一定に保つため、マルチチャンネルAOMの設定を波長に応じて変更することが望ましい。
【0030】
AOMの回折角θ(rad.)は、超音波の周波数をf(Hz)、超音波の伝搬速度をv(m/s)、入射する光の波長をλ(nm)とすると、
θ=λ・f/v
により決定される。このため、各変調光学系で同一仕様のAOMを利用すると、描画面Sに対する入射角度がそれぞれ異なることになる。AOMと描画面Sとは共役な位置関係にあるため、通常は入射角度が異なっても、両波長のビームスポットの位置ズレは生じない。しかしながら、fθレンズ71の像面湾曲や描画面のうねり等により共役関係が崩れた場合には、スポットの相対位置がずれる可能性がある。そこで、回折角θを一定に保つため、超音波の周波数fを波長に反比例するように定めればよい。
【0031】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、回折分岐素子やAOMが持つ波長依存性による悪影響を防ぐことができ、ビームに複数の互いに異なる波長成分が含まれる場合にも、描画面上でのビームスポットの位置ズレを防ぐことができ、その結果、レーザー光源から発する複数のピーク波長の光束を利用することができ、エネルギーの利用効率を高めることができる。また、各回折分岐素子の回折格子ピッチを、各変調光学系に入射するピーク波長に応じて互いに異なる値に設定し、あるいは格子ピッチを一定として、含まれるパワーを持つ光学系 ( レンズまたはミラー ) の焦点距離をピーク波長に応じて異なるよう設定することにより、回折分岐素子により分岐された各波長の光束が描画面上で形成するスポット列のピッチを互いに等しくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態の多波長レーザー変調光学系が適用された走査光学系の概念図。
【図2】図1の走査光学系の具体例を示す光路図。
【符号の説明】
10 レーザー光源
21 波長分離プリズム
30 第1の変調光学系
40 第2の変調光学系
31,41 回折分岐素子
32,42 マルチチャンネルAOM
51 偏光ビームスプリッター
61 ポリゴンミラー
71 fθレンズ
S 描画面
Claims (7)
- 複数のピーク波長で発光する光源と、
該光源からの光束を波長に応じて複数の単色光に分離する波長分離光学系と、
前記波長分離手段により分離されたそれぞれの光束に対応して設けられ、入射光束を回折させることにより複数本に分岐してそれぞれ異なる角度で射出させる回折分岐素子と、前記回折分岐素子により分岐された光束をそれぞれ独立して変調するマルチチャンネル変調器とを備える複数の変調光学系と、
前記各変調光学系により変調された複数の光束を合成する合成光学系とを備え、描画面上にビームスポットを形成する多波長レーザー光学系であって、
前記各回折分岐素子の回折格子ピッチは、分岐された各波長の光束が前記描画面上で形成するスポット列のピッチが互いに等しくなるように、前記各変調光学系に入射するピーク波長に応じて互いに異なる値に設定されていることを特徴とする多波長レーザー光学系。 - 複数のピーク波長で発光する光源と、
該光源からの光束を波長に応じて複数の単色光に分離する波長分離光学系と、
前記波長分離手段により分離されたそれぞれの光束に対応して設けられ、入射光束を回折させることにより複数本に分岐してそれぞれ異なる角度で射出させる回折分岐素子と、前記回折分岐素子により分岐された光束をそれぞれ独立して変調するマルチチャンネル変調器とを備える複数の変調光学系と、
前記各変調光学系により変調された複数の光束を合成する合成光学系とを備え、描画面上にビームスポットを形成する多波長レーザー光学系であって、
前記各変調光学系に含まれるパワーを持つ光学系の焦点距離が、分岐された各波長の光束が前記描画面上で形成するスポット列のピッチが互いに等しくなるように、前記各変調光学系に入射するピーク波長に応じて互いに異なる値に設定されていることを特徴とする多波長レーザー光学系。 - 前記合成光学系は、前記各変調光学系により変調された光束が描画面上でそれぞれ独立したビームスポットを形成するよう合成することを特徴とする請求項1または2に記載の多波長レーザー光学系。
- 前記変調器は、入力される超音波のON−OFFにより回折を利用して光の方向を切り替え、回折光を変調光として取り出す音響光学変調器であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の多波長レーザー光学系。
- 前記波長分離光学系は、前記光源からのレーザー光を2つの波長成分に分離し、前記変調光学系は、分離された光束に応じて一対設けられていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の多波長レーザー光学系。
- 前記合成光学系は、偏光ビームスプリッターを含み、前記変調光学系の一方からの光束を前記偏光ビームスプリッターに対してS偏光で入射させ、前記変調光学系の他方からの光束を前記偏光ビームスプリッターに対してP偏光で入射させることを特徴とする請求項5に記載の多波長レーザー光学系。
- 前記合成光学系により合成された複数の光束を偏向させる偏向器と、該偏向器により偏向された光束を前記描画面上に結像させる結像光学系とを有することを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の多波長レーザー光学系。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19643999A JP3564004B2 (ja) | 1999-07-09 | 1999-07-09 | 多波長レーザー光学系 |
US09/612,500 US6417953B1 (en) | 1999-07-09 | 2000-07-07 | Laser optical system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19643999A JP3564004B2 (ja) | 1999-07-09 | 1999-07-09 | 多波長レーザー光学系 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001021827A JP2001021827A (ja) | 2001-01-26 |
JP3564004B2 true JP3564004B2 (ja) | 2004-09-08 |
Family
ID=16357852
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19643999A Expired - Fee Related JP3564004B2 (ja) | 1999-07-09 | 1999-07-09 | 多波長レーザー光学系 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6417953B1 (ja) |
JP (1) | JP3564004B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002174786A (ja) * | 2000-12-08 | 2002-06-21 | Hitachi Koki Co Ltd | 光記録装置 |
JP5975438B2 (ja) * | 2012-07-17 | 2016-08-23 | 国立研究開発法人情報通信研究機構 | 電子ホログラフィ表示装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3703587B2 (ja) * | 1996-12-06 | 2005-10-05 | 富士写真フイルム株式会社 | 光ビーム走査装置およびその制御方法 |
JPH10289475A (ja) * | 1997-04-16 | 1998-10-27 | Sony Corp | 露光装置 |
US6172799B1 (en) * | 1999-06-30 | 2001-01-09 | Intel Corporation | Three channel acousto-optical devices |
-
1999
- 1999-07-09 JP JP19643999A patent/JP3564004B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-07-07 US US09/612,500 patent/US6417953B1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001021827A (ja) | 2001-01-26 |
US6417953B1 (en) | 2002-07-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9523873B2 (en) | System and method for direct imaging | |
US7355797B2 (en) | Color display device using separate diffracted light and illumination light | |
KR100632606B1 (ko) | 색선별 슬릿을 이용한 광변조기 다중광 스캐닝 장치 | |
JP3564004B2 (ja) | 多波長レーザー光学系 | |
JP3965504B2 (ja) | マルチビーム光学系 | |
JP3527664B2 (ja) | 多波長レーザー変調光学系 | |
JP3718397B2 (ja) | マルチビーム光学系 | |
US7377653B2 (en) | Color display apparatus having virtual single light origin | |
US6493130B2 (en) | Laser imaging device | |
JP4324644B2 (ja) | 多波長レーザー光学系 | |
JP4632751B2 (ja) | 光走査装置 | |
KR100688844B1 (ko) | 편광빔을 이용한 칼라 디스플레이 장치 | |
JPH02244022A (ja) | 光走査装置の光源装置 | |
JP3924711B2 (ja) | マルチビーム光学系 | |
US20070229935A1 (en) | Display device using single-panel diffractive light modulator | |
JP2001194602A (ja) | マルチビーム走査光学系 | |
JP4106394B2 (ja) | マルチビーム光学系 | |
JP2005519325A (ja) | 変調装置 | |
JP3991184B2 (ja) | 走査光学装置 | |
WO2017090442A1 (ja) | ホログラフィック光学素子の製造方法及び露光光学装置 | |
JP3992890B2 (ja) | マルチビーム光学系 | |
JPH1132176A (ja) | レーザー描画装置 | |
JPS6236628A (ja) | 複数ビ−ムの合成方法 | |
JPH08297251A (ja) | マルチビーム走査光学装置とそのビーム走査方法 | |
JPH1074975A (ja) | 光送受信装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040224 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040415 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040525 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040604 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080611 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090611 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090611 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090611 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090611 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |