JP3581503B2 - 内面走査型光ビーム走査装置およびその制御方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、２本の光ビームを合波して共通の走査光学系により円筒ドラム内面を走査する内面走査型光ビーム走査装置とその制御方法とに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
円筒ドラムの内面にレーザーなどの光ビームを導いて走査を行う内面走査型光ビーム走査装置が公知である。この装置で記録速度を上げるために光ビームを複数本にする方式、すなわちマルチビーム方式が提案されている。
【０００３】
内面走査型の装置では、円筒ドラムの中心軸に沿って導入される複数本の光ビームを、この中心軸に対して４５°の角度をもって高速回転する反射ミラー（スピナー）によって円筒ドラム内面に導く。しかしこの場合に複数の光ビームの位置を固定してスピナーに導くと、スピナーの回転角の変化に伴って光ビームの相対位置が周期的に変化する。このため記録ドラムに記録される複数の走査線が周期的に湾曲し、互いに交差することになり、正しい走査ができなくなる。
【０００４】
そこで複数の光ビームのうち１本の光ビームを基準ビームとして走査光学系の中心軸上（記録ドラムの中心軸上）に位置合せし、スピナーの回転に同期して他の光ビームをこの基準ビームを中心として旋回させることが考えられている。この場合スピナーと他の光ビームの位相を変えることにより走査線の湾曲を除去して直線にすることができる。また基準ビームと他の光ビームとの間隔を変えることにより走査線の間隔を変化させることができる。
【０００５】
例えば特開平５−２７１８８号、特開平５−２７６３３５号には、偏向量が固定された偏向素子（プリズムなど）を、スピナーの回転に同期して回転させる方式が示されている。また米国特許第５０９７３５１号、米国特許第５５０２７０９号には、基準ビーム以外の他の光ビームを二次元的に偏向する方式が提案されている。
【０００６】
【従来技術の問題点】
偏向量が固定された偏向素子を回転させる前者の方式は、偏向量が一定であるためビーム間隔を変えることができず、従って走査線間隔も変えられないという問題があった。なお走査線の間隔は記録密度によって変えるのが望ましいが、この従来技術では記録密度に対応して走査線密度を変えられないという不都合がある。また高速回転するスピナーに同期させて偏向素子を安定して回転させるためには高精度な機械的な回転伝動機構が必要になるが、このように機構は入手が困難であったり高価であった。
【０００７】
また光ビームを二次元的に偏向する後者の方式では、複数のピエゾミラーや音響光学素子（Ａｃｏｕｓｔｏ−ｏｐｔｉｃ Ｍｏｄｕｌａｔｏｒ、以下ＡＯＭという）を組合わせて二次元偏向を可能にすることが必要になる。このため制御が複雑であり、品質を安定させることが難しく、高価でもあった。
【０００８】
【発明の目的】
この発明はこのような事情に鑑みなされたものであり、２本の光ビームを用いる場合に二次元光ビーム偏向素子を用いることなく走査線間隔を変更でき、構成を簡単にすることが可能な内面走査型光ビーム走査装置の制御方法を提案することを第１の目的とする。
【０００９】
またこの方法の実施に直接使用する装置を提案することを他の目的とする。
【００１０】
【発明の構成】
この発明によれば第１の目的は、２本の光ビームを合波してスピナーにより円筒ドラム内面を走査する内面走査型光ビーム走査装置の制御方法において、走査光学系に入射する２本の光ビームの間隔を一定に保ちつつスピナーの周期に同期して互いに直交する方向にそれぞれ一次元偏向することを特徴とする、
内面走査型光ビーム走査装置の制御方法、により達成される。
【００１１】
この場合、光ビームの結像面上でｘ−ｙ直交座標系を考え、２本の光ビームの間隔（距離）ｒを一定とし、スピナーの角速度をωとし、オフセット角度をψとして、各光ビームの座標がｘ＝ｒ・ｃｏｓ（ωｔ＋ψ）、ｙ＝ｒ・ｓｉｎ（ωｔ＋ψ）となるように、それぞれをｘ軸上およびｙ軸上で一次元偏向を行えばよい。
【００１２】
この発明によれば他の目的は、２本の光ビームを合波してスピナーにより円筒ドラム内面そを走査する内面走査型光ビーム走査装置において、各光ビームをそれぞれ互いに直交する方向に偏向する２つの一次元光ビーム偏向素子と、スピナーの回転角度を検出する角度検出手段と、両光ビームの間隔を一定に保ちつつ両光ビームをスピナーに同期して互いに直交する方向に偏向させるために必要な前記一次元光ビーム偏向素子による偏向量を記憶する偏向量メモリと、このメモリの内容に基づいて両一次元光ビーム偏向素子を駆動する偏向素子制御手段と、を備えることを特徴とする内面走査型光ビーム走査装置、により達成される。
【００１３】
この場合に光ビームの位置を補正する機構を設けておくのが望ましい。この機構は例えば次のように構成できる。
【００１４】
光ビームの結像位置をスピナーに入射する前に検出するビーム位置検出手段を設け、検出したビーム位置を適正位置、すなわち偏向量メモリに記憶した適正な偏向量により得られる適正な位置と比較して、両位置の差を補正するための補正量を求めて補正量メモリに記憶しておき、この補正量データを用いて偏向量を補正しながら走査を行うように構成するものである。
【００１５】
このような補正機構を設けた場合には、画像データの記録に先行して光ビームごとに別々に予備的に走査を行い、各光ビームごとの補正データを求めてメモリする。従って光学系などの温度変化や経時的特性変化などによる影響を除去し正確で高精度な走査が可能になる。
【００１６】
補正データの書き換えは適時に行えばよく、例えば電源投入時、一定時間経過毎、一定ページ数の画像出力毎、オペレータが希望する時などにこの書き換えを指令することができる。
【００１７】
光ビームはレーザービームが適する。この場合には、一次元光ビーム偏向素子を音響光学素子（ＡＯＭ）とするのがよい。ビーム位置検出手段は、合波した光ビームをビームスプリッタで分波して得た結像面の付近に、４分割位置検出素子を置くことにより構成できる。
【００１８】
【原理】
ここでこの発明の原理を図４、５、６を用いて説明する。図４は光ビームＬ_１、Ｌ_２の偏向制御の説明図であり、記録ドラムの中心軸Ｃに沿ってスピナー３０に向かう２本の光ビームＬ_１、Ｌ_２を光源側から示す。図５はスピナー３０の回転位置と各光ビームＬ_１、Ｌ_２の位置との関係を説明する図、図６は同じくスピナーの斜視図である。なおこの説明では、オフセット角度ψ＝０とする。
【００１９】
光ビームＬ_１は図４に示すように、光ビームの結像面上の中心軸Ｃを原点とするｘ−ｙ直交座標系においてｘ軸上を往復動するものとする。また光ビームＬ_２はｙ軸上を往復動するものとする。今両光ビームＬ_１、Ｌ_２の結像位置Ａ、Ｂを結ぶ直線ＡＢがｘ軸となす角度をθ（＝ωｔ）とすれば、Ａ、Ｂの座標はそれぞれｘ＝ｒ・ｃｏｓθ、ｙ＝ｒ・ｓｉｎθとなる。ここでＡ、Ｂの距離ｄは、ｄ＝（ｘ^２＋ｙ^２）^１／２＝ｒとなるからｒを一定とすれば、ビームＬ_１はビームＬ_２の回りを半径ｒ、角速度ωで回転することになる。同様にビームＬ_２はビームＬ_１の回りを同じ条件で回転する。
【００２０】
この様子を図５、６を用いて説明する。図５では、位相θを９０°づつ変化させた時の図３に対応する結像面上でのビーム位置とスピナー３０の平面図とを左右に並べて示す。図６では、図４の位相θの変化に対応するスピナー３０の位置を示すものである。
【００２１】
図５の（Ａ）はωｔ＝（０±２ｎ）πラジアン（ｎは整数）の時であり、光ビームＬ_１はｘ＝ｒ、光ビームＬ_２はｙ＝０に位置する。同様に（Ｂ）はωｔ＝（１／２±２ｎ）π、（Ｃ）はωｔ＝（１±２ｎ）π、（Ｄ）はωｔ＝（３／２±２ｎ）πの状態を示す。（Ａ）の状態ではスピナー３０で反射された光ビームＬ_１、Ｌ_２はｘ軸方向へ導かれ、中心軸Ｃの方向（Ｚ軸方向）にＬ_１、Ｌ_２の順で円筒ドラム内面に入射する。
【００２２】
位相がπ／２ラジアン変化して（Ｂ）の状態になると、光ビームＬ_１はｘ＝０、光ビームＬ_２はｙ＝ｒになる。この時にはスピナー３０もπ／２ラジアン回転して図６（Ｂ）の状態になり、光ビームＬ_１、Ｌ_２は−ｙ軸方向に反射されてＺ軸方向にＬ_１、Ｌ_２の順で記録ドラム内面に入射する。以上のようにスピナー３０の回転に同期して光ビームＬ_１、Ｌ_２の位置が周期的に変化すると、これら光ビームＬ_１、Ｌ_２が円筒ドラム内面に描く走査線（主走査線）は平行な直線となる。また光ビームＬ_１、Ｌ_２の距離ｒを変えることにより走査線の間隔を変えることができる。
【００２３】
【実施態様】
図１は本発明の一実施態様を一部省いて示す概念図、図２はその制御系のブロック図、図３はビーム位置検出手段の説明図である。
【００２４】
図１、２において符号１０はヘリウム・ネオンやアルゴンなどのレーザー光源である。このレーザー光源１０から射出された一本のレーザービームＬｏは、偏向ビームスプリッタ１２でＰ偏光（電界の振動面が、入射光と反射光を含む入射面に対して平行な偏光）と、Ｓ偏光（電界の振動面が入射面に対して垂直な偏光）とに分割される。Ｐ偏光の光ビームは光ビームＬ_１であり、レンズ群を介して一次元光ビーム偏向素子としてのＡＯＭ１に入射される。
【００２５】
ＡＯＭ１は、後記するようにトランスデューサが発生する所定周波数の超音波により駆動され、超音波が生成する定在波で入射光ビームを回折するものである。この時の一次回折光が０次光カット板（図示せず）で選択される。このＡＯＭ１の駆動信号（Ｒａｄｉｏ Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ 信号、ＲＦ信号）の周波数を変えることにより、光ビームＬ_１の角度がｘ軸方向（図１、２参照）に微小変化する。またこの駆動信号（ＲＦ信号）は２値画像信号により変調される。
【００２６】
ビームスプリッタ１２で分割されたＳ偏光の光ビームＬ_２は、ミラー１４およびレンズ群を介してＡＯＭ２に入射される。その駆動信号（ＲＦ信号）は２値画像信号により変調されると共にその周波数を変化することにより角度をｙ軸方向（図１、２参照）に微小変化させることができる。
【００２７】
両光ビームＬ_１、Ｌ_２はそれぞれレンズ群（図２）で拡大された後、ミラー１６および偏光ビームスプリッタ１８で合波される。この合波された光ビームＬ_３はさらにビームエキスパンダ２０を構成するレンズ２２および２４においてビーム径の拡大・変更が行われる。このビームＬ_３はドラム（円筒）２６の中心軸Ｃに沿ってドラム２６内に導かれる。
【００２８】
ドラム２６の中心軸Ｃ上には、走査光学系を形成する集光レンズ２８およびスピナー３０が設けられている。このスピナー３０は中心軸（回転軸）に対してほぼ４５°の反射面を持ち、モータにより高速回転される。なおこのモータには角度検出手段としてのロータリーエンコーダ３２が取付けられ、スピナー３０の回転角（θ＝ωｔ）が検出される。すなわち所定回転角ごとに出力されるパルス信号ｐと、１回転の基準位置を示す基準位置信号ｐｏとが出力される。なおこのスピナー３０に導かれるビームは、回転軸上にあるビームエキスパンダ２０および集光レンズ２８を通って、ドラム２６の内周面あるいは記録シート３４に合焦する。
【００２９】
なおビームスプリッタ１８の後方には結像レンズ３６が設けられ、ビームスプリッタ１８を通過するビームＬ_１、Ｌ_２の一部をレンズ２２の焦点面Ｐ１と共役な他の焦点面Ｐ２に結像する。この焦点面Ｐ２上あるいはこれより僅かにずれた位置にはビーム位置検出素子としての４分割位置検出素子３８が設けられ、光ビームＬ_１、Ｌ_２のビーム位置が検出される。これら結像レンズ３６、４分割位置検出素子３８はビーム位置検出手段４０を形成する。
【００３０】
図２において符号４２は偏向素子制御手段としてのＡＯＭ制御手段であり、このスピナー３０の回転角θに同期してＡＯＭを制御する。４４は偏向量メモリであり、前記した光ビームＬ_１、Ｌ_２をそれぞれｘ軸方向とｙ軸方向に一次元偏向するための偏向データをメモリする。すなわちｘ_０＝ｃｏｓ（ωｔ＋ψ）、ｙ_０＝ｓｉｎ（ωｔ＋ψ）の関数を数値テーブルあるいは数式の形式でメモリする。
【００３１】
ＡＯＭ制御手段４２はスピナー３０の回転角θ＝ωｔに対応するデータｘ_０、ｙ_０をこのメモリ４４から読出し、これらに別途入力される距離ｒを積算して偏向量ｘ＝ｒ・ｃｏｓ（ωｔ＋ψ）、ｙ＝ｒ・ｓｉｎ（ωｔ＋ψ）を求める。そしてこれらの偏向量ｘ、ｙに対応するアナログ電圧をＶＣＯ（電圧制御発振器、図示せず）に入力してこれらの偏向量ｘ、ｙを発生させるために必要なＡＯＭ１、ＡＯＭ２の駆動周波数ｆｘ、ｆｙを求める。ＡＯＭ制御手段４２ではこれらの駆動周波数ｆｘ、ｆｙの駆動信号（ＲＦ信号）をそれぞれＡＯＭ１、ＡＯＭ２に供給し、これらを駆動する。
【００３２】
この結果ＡＯＭ１、ＡＯＭ２は光ビームＬ_１、Ｌ_２をそれぞれｘ＝ｒ・ｃｏｓ（ωｔ＋ψ）、ｙ＝ｒ・ｓｉｎ（ωｔ＋ψ）で偏向させることができる。なおこの時２値画像信号による変調を加えて、画像信号に従ってオン・オフ変化する画素を走査線上に書き込む。また一般に偏向角度によりＡＯＭ１、ＡＯＭ２の回折効率が変化するから、この変化を補正するために駆動信号の電圧も同時に制御して光ビームＬ_１、Ｌ_２の強度を均一にするのが望ましい。
【００３３】
この実施態様では、ビーム位置検出手段４０を設けてＡＯＭ１、ＡＯＭ２や光学系などが温度変化や経時的特性変化により偏向角度が変動するのを補正できるようにしている。すなわち画像の記録に先行して予備的に１本の光ビームＬ_１、Ｌ_２ごとに走査を行い、その時の光ビームＬ_１またはＬ_２の一部を偏光ビームスプリッタ１８で分割し、結像レンズ３６で４分割位置検出素子３８に導く。４分割位置検出素子３８は４つの光検出素子に対する入射光量に対応した電圧を出力する。これらの出力電圧の分布に基づいてビーム位置検出回路４６は光ビームＬ_１またはＬ_２のビーム位置、すなわち結像面Ｐ２上におけるビーム位置を求める。
【００３４】
このようにして求めたビーム位置はスピナー３０の回転角度θにより周期的に変化するが、この求めたビーム位置は正規のビーム位置と補正量演算手段４８で比較される。ここに正規のビーム位置を示すデータは、偏向量メモリ４４にメモリされたｘ＝ｒ・ｃｏｓ（ωｔ＋ψ）、ｙ＝ｒ・ｓｉｎ（ωｔ＋ψ）のデータである。このようにして求めた補正量△ｘ、△ｙを示すデータは補正量メモリ５０に記憶される。このようにして光ビームＬ_１とＬ_２に対する補正データがそれぞれ記憶される。
【００３５】
そして画像記録を行う際には、ＡＯＭ制御手段４２はスピナー３０の回転角度θ＝ωｔ＋ψに対応する偏向量ｘ、ｙを偏向量メモリ４４から読込むと共に、補正量メモリ５０から同じ回転角度θに対応する補正量△ｘ、△ｙを読出し、これらの和（ｘ＋△ｘ）、（ｙ＋△ｙ）をそれぞれ光ビームＬ_１、Ｌ_２に対する偏向量とする。ＡＯＭ制御手段４２ではこれらの補正した偏向量（ｘ＋△ｘ）、（ｙ＋△ｙ）に対応する周波数の駆動信号を生成し、この駆動信号を２値画像信号で変調してＡＯＭ１、ＡＯＭ２に供給する。
【００３６】
この結果光ビームＬ_１、Ｌ_２は正しい位置に偏向され、円筒ドラム２６の内面に等間隔の直線からなる２本の走査線を描くことができる。なおスピナー３０は、１回転する間に主走査線の２本分の間隔に相当する距離だけ中心軸Ｃ方向（Ｚ軸方向）に移動する。すなわち副走査方向に移動する。
【００３７】
以上の実施態様は１つのレーザー光源１０のレーザービームＬｏを、偏光ビームスプリッタ１２で２本の光ビームＬ_１、Ｌ_２に分割したものであるが、図７、８、９に示すような他の実施態様も可能である。
【００３８】
図７に示すものは、ヘリウム・ネオンやアルゴンなどのガスレーザー光源１０が射出する一本のレーザービームＬｏを、ビームスプリッタ６０で２本の光ビームＬ_１ａ、Ｌ_２ａに分割し、その一方の光ビームＬ_２ａにλ／２波長板６２でλ／２の位相差を付与した。このようにして互いに交渉しないようにした２本の光ビームＬ_１ａ、Ｌ_２ａを前記の実施態様と同じ光学系を用いて偏向し、合波したものである。なおこの図７では図２と同一部分に同一符号を付したから、その説明は繰り返えさない。
【００３９】
図８の実施態様は２つのレーザーダイオード６４、６６を用いるものである。すなわちレーザーダイオード６４、６６は直線偏光の光ビーム（レーザービーム）Ｌ_１ｂ、Ｌ_２ｂを射出するから、これらを偏光方向が互いに直交するように配置し、両光ビームＬ_１ｂ、Ｌ_２ｂをコリメーティングレンズ６８、７０で平行ビームとした後、ＡＯＭ１、ＡＯＭ２を介して偏光ビームスプリッタ７２に導き、ここで合波するものである。この合波した光ビームＬ_３ｂはビームエキスパンダ７４を介して走査光学系に導かれる。
【００４０】
なおこのようにレーザーダイオード６４、６６を光源とする場合には、２値画像信号による変調をこのレーザダイオード６４、６６で行うことができる。すなわち画像信号に基づいてレーザーダイオード６４、６６をオン・オフ制御する。従ってＡＯＭ１、ＡＯＭ２は光ビームＬ_１ｂ、Ｌ_２ｂの偏向のみを行えばよい。
【００４１】
図９の実施態様は、図８の実施態様におけるＡＯＭ１、ＡＯＭ２に代えて、可動ミラー７６、７８を用いたものである。ここにレーザーダイオード８０、８２が射出する光ビームＬ_１ｃ、Ｌ_２ｃの直線偏光方向は、それぞれＳ偏光とＰ偏光となるように設定され、可動ミラー７６、７８はそれぞれの偏光方向と平行な軸回りに回動して光ビームＬ_１ｃ、Ｌ_２ｃを偏向する。この図９では前記図８と同一部分に同一符号を付したので、その説明は繰り返えさない。
【００４２】
この図９の実施態様で用いる可動ミラー７６、７８は、ピエゾ素子を利用したピエゾミラー、ガルバノメータを利用したガルバノミラーなどが使用可能である。以上図１〜６を用いて説明した実施態様では、スピナー３０はドラム２６の中心軸Ｃに対して４５°の角度をもって回転するミラーを用いているが、ミラーに代えて回折格子を回転させて中心軸Ｃに沿って導かれる光ビーム（レーザービーム）をドラム内面に導くようにしてもよい。
【００４３】
【発明の効果】
請求項１の発明によれば、スピナーに導入する２本の光ビームを、その間隔を一定に保ちつつスピナーの周期に同期して互いに直交する方向にそれぞれ一次元偏向するので、二次元光ビーム偏向素子を用いることなく走査線間隔を変更でき、２本の光ビームで円筒ドラムの内面に高画質の画像を記録することができる。また二次元光ビーム偏向素子を用いる必要がないので構造が簡単で動作が安定し、安価でもある。
【００４４】
このように２本の光ビームを一次元偏向するためには、光ビームの結像面上におけるｘ−ｙ直交座標系で、ｘ＝ｒ・ｃｏｓ（ωｔ＋ψ）、ｙ＝ｒ・ｓｉｎ（ωｔ＋ψ）となるようにそれぞれ偏向すればよい（請求項２）。
【００４５】
請求項３の発明によれば、この方法の実施に直接使用する装置が得られる。この場合に、スピナーに入射する光ビームの位置をビーム位置検出手段で検出し、この検出したビーム位置を適正位置に移すために必要な補正量を補正量メモリに記憶しておき、画像記録時にはこの補正量メモリから補正量を読出して偏向量を補正することが望ましい（請求項４）。このような補正量を画像記録の前など適時に求めて補正量メモリの内容を書き換えるようにすれば、光学系などの温度変化や経時的特性変化などによる影響を除去し、画質を一層向上させることができる。
【００４６】
使用する光ビームとしてはレーザービームが適し（請求項５）、この場合は一次元光ビーム偏向素子として音響光学素子（ＡＯＭ）を用いることができる（請求項６）。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施態様の概念図
【図２】その制御ブロック図
【図３】ビーム位置検出手段の説明図
【図４】偏向制御の原理の説明図
【図５】スピナーの回転位置と光ビーム位置の関係を説明する図
【図６】スピナーの斜視図
【図７】他の実施態様を示す図
【図８】他の実施態様を示す図
【図９】他の実施態様を示す図
【符号の説明】
１０ レーザー光源
１２、１８、７２ 偏向ビームスプリッタ
２０、７４ ビームエキスパンダ
２６ 円筒ドラム
２８ 集光レンズ
３０ スピナー
３２ 角度検出手段としてのエンコーダ
３４ 記録シート
３６ 結像レンズ
３８ ４分割位置検出素子
４０ ビーム位置検出手段
４２ ＡＯＭ制御手段
４４ 偏向量メモリ
４６ ビーム位置検出回路
４８ 補正量演算手段
５０ 補正量メモリ
６０ ビームスプリッタ
６２ λ／２波長板
６４、６６、８０、８２ レーザダイオード（半導体レーザー）
７６、７８ 可動ミラー
Ｌ_１、Ｌ_２ 光ビーム
Ｌ_３ 合波光ビーム
ＡＯＭ１、ＡＯＭ２ 音響光学素子

Claims (6)

1. ２本の光ビームを合波してスピナーにより円筒ドラム内面を走査する内面走査型光ビーム走査装置の制御方法において、
   走査光学系に入射する２本の光ビームの間隔を一定に保ちつつスピナーの周期に同期して互いに直交する方向にそれぞれ一次元偏向することを特徴とする内面走査型光ビーム走査装置の制御方法。
2. 光ビームの結像面上におけるｘ−ｙ直交座標系で、２本の光ビームがそれぞれｘ＝ｒ・ｃｏｓ（ωｔ＋ψ）、ｙ＝ｒ・ｓｉｎ（ωｔ＋ψ）（但しｒは両光ビームの間隔、ωはスピナーの角速度、ψはオフセット角度）を満たすように、各光ビームをそれぞれ一次元偏向する請求項１の内面走査型光ビーム走査装置の制御方法。
3. ２本の光ビームを合波してスピナーにより円筒ドラム内面を走査する内面走査型光ビーム走査装置において、
   各光ビームをそれぞれ互いに直交する方向に偏向する２つの一次元光ビーム偏向素子と、
   スピナーの回転角度を検出する角度検出手段と、
   両光ビームの間隔を一定に保ちつつ両光ビームをスピナーに同期して互いに直交する方向に偏向させるために必要な前記一次元光ビーム偏向素子による偏向量を記憶する偏向量メモリと、
   このメモリの内容に基づいて両一次元光ビーム偏向素子を駆動する偏向素子制御手段と、
   を備えることを特徴とする内面走査型光ビーム走査装置。
4. スピナーに入射する光ビームの位置を検出するビーム位置検出手段と、
   検出したビーム位置を適正位置に移すために必要な補正量を求める補正量演算手段と、
   この求めた補正量を記憶する補正量メモリと、
   を備え、偏向素子制御手段は偏向量を前記補正量で補正して両一次元光ビーム偏向素子を制御する請求項３の内面走査型光ビーム走査装置。
5. 光ビームはレーザービームである請求項３または４の内面走査型光ビーム走査装置。
6. 一次元光ビーム偏向素子は音響光学偏向素子である請求項５の内面走査型光ビーム走査装置。

Images