JP2006189504A - インナードラム式マルチビーム露光方法及びインナードラム露光装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 光量ロスを生じないようにして高速露光処理を可能とするインナードラム式マルチビーム露光方法を提供する。
【解決手段】 光源３０Ａ、３０Ｂから画像信号に基づいて出射された複数の光ビームＬａ、Ｌｂの内、光ビームＬｂを光偏向手段１１６、１１８で偏向制御して他の光ビームＬａと部分的光学機能部材１０４上の異なる位置に設けた反射部と透過部とに各々集光レンズ１０２と集光レンズ１２０で集光させ、部分的光学機能部材１０４によって少なくとも一方の光ビームＬｂを反射部で反射させ、他方の光ビームＬａを透過部で通過させることにより、他方の光ビームＬａの光路と、偏向制御された光ビームＬｂの光路とがまとまる状態で走査手段１６に入射するよう設定し、走査手段１６が複数の光ビームＬａ、Ｌｂを相互に副走査方向に所定間隔を保ちながらインナードラムの支持体１２に載置した記録媒体１４上に走査露光する。
【選択図】 図１

Description

この発明は、光ビームの走査光学系により円筒ドラム内面に配置した感光面を走査して露光処理するためのインナードラム式マルチビーム露光方法と、インナードラム露光装置（内面走査型光ビーム走査露光装置）に関する。

一般に、円筒ドラムの内周面上に配置した記録媒体の感光面に、光偏向器でレーザ等の光ビームを導いて走査露光処理を行うインナードラム露光装置（内面走査型光ビーム走査露光装置）が広く用いられている。なお、画像が露光記録された記録媒体は、必要に応じて自動現像機にかけられて、記録媒体上に形成された潜像が顕像に変換される。このようなインナードラム露光装置は、高速露光処理を可能とするためマルチビーム化することが要望されている。

また、従来のインナードラム露光装置では、走査ビームを複数として出力の高速化を図ることが知られている。この場合、複数の光ビームによる走査線が互いに平行かつ等間隔な直線となることが必要である。また各光ビームが同時に書込む点は副走査方向に並んでいることが望ましい。そこで、音響光学偏向素子（いわゆるＡＯＤ）によって偏向させることが知られている（例えば、特許文献１参照。）。

このようなインナードラム露光装置では、その露光走査系において、高速露光を達成するために、マルチビーム化が必要である。このマルチビーム化を行う技術では、偏向素子（ＡＯＤ，ΕＯＤ等）を使用してマルチビーム化する手段が考えられる。このような偏向素子を使用してマルチビーム化する手段では、二本ビームまでは光の偏光を使用することで光量ロスなく合波することができる。しかし、三本ビーム以上になるとビームスプリンターやハーフミラーを使用して合波する必要があり、光量が半分以上無駄になってしまうという欠点がある。

このために、例えば、記録媒体である感光材料が最高の感度を有し、光源の出力が最大の条件で露光処理するときに光量が半分以上無駄になり光量の不足となると記録媒体への書き込み速度が低下するという問題が生じる。
特開平１０−１７０８４８号公報

本発明は、上述した問題に鑑み、円筒ドラムの内周面上に配置した記録媒体の感光面に、複数の光ビームを低光量ロスで導くことにより走査露光処理を行えるようにし、高速露光処理を可能とするインナードラム式マルチビーム露光方法及びマルチビーム方式のインナードラム露光装置を新たに提供することを目的とする。

本発明の請求項１に記載のインナードラム式マルチビーム露光方法は、光源側から画像信号に基づいて各々独立して変調されて出射された複数の光ビームの内、少なくとも一つの光ビームを光偏向手段で偏向制御し、偏向制御された光ビームと、他の光ビームとを部分的光学機能部材上の異なる位置に設けた反射部と透過部とに各々集光させ、部分的光学機能部材によって、少なくとも一方の光ビームを反射部で反射させ、他方の光ビームを透過部で通過させることにより、他の光ビームの光路と、偏向制御された光ビームの光路とが走査手段に入射するよう設定し、走査手段が、複数の光ビームを相互に副走査方向に所定間隔を保ちながら、インナードラムの支持体に載置した記録媒体上に走査露光することを特徴とする。

上述のインナードラム式マルチビーム露光方法にれば、光源側から画像信号に基づいて各々独立して変調されて出射された２本以上の光ビームを、部分的光学機能部材を利用することによりそれぞれ低光量ロスで走査手段へ導き走査露光処理を行えるようにしてマルチビームによる高速露光処理を可能とする。

本発明の請求項２に記載のインナードラム露光装置は、画像信号に基づいて変調された光ビームを出射するための光源側の複数の光学系と、光源側の複数の光学系における、少なくとも一つの光学系の光路上で、光ビームを偏向制御するように配置された光偏向手段と、光偏向手段で偏向制御された光ビームを集光する集光レンズと、偏向制御された光ビームを除く光源側の複数の光学系から出射された光ビームを集光する集光レンズと、光偏向手段で偏向制御された光ビームの集光位置と、偏向制御された光ビームを除く光源側の複数の光学系から出射された光ビームの集光位置とが、異なる位置に設定された反射部と透過部とに対応するように配置され、少なくとも一方の光ビームを反射部で反射させ、他方の光ビームを透過部で通過させることにより、偏向制御された光ビームを除く光源側の複数の光学系から出射された光ビームの光路と、偏向制御された光ビームの光路とが走査手段に入射するよう設定する部分的光学機能部材と、部分的光学機能部材で設定された光路を通って入射される複数の光ビームを、相互に副走査方向に所定間隔を保ちながら、インナードラムの支持体に載置した記録媒体上に結像させて走査露光を行う走査手段と、を有することを特徴とする。

上述のように構成することにより、光源側の複数の光学系から出射された２本以上の画像信号に基づいて変調された光ビームを、集光レンズと部分的光学機能部材を利用することにより光源側の複数の光学系から出射された複数の光ビームの光路をまとめて、それぞれの光量ロスを生じないようにして走査手段へ導く。そして走査手段が、部分的光学機能部材側から入射される複数の光ビームを、相互に副走査方向に所定間隔を保ちながら、インナードラムの支持体に載置した記録媒体上に結像させて走査露光を行うことによりマルチビームによる高速露光処理を可能とする。

請求項３に記載の発明は、請求項２に記載のインナードラム露光装置において、部分的光学機能部材で設定された光路を通った複数の光ビームを集光する集光レンズと、単一の光源側から画像信号に基づいて変調された光ビーム又は２つの光源側からそれぞれ画像信号に基づいて変調されると共に偏光同軸合波された光ビームを偏向制御する光偏向手段と、光偏向手段で偏向制御された光ビームを集光する集光レンズと、部分的光学機能部材で設定された光路を通った複数の光ビームの集光位置と、光偏向手段で偏向制御された光ビームの集光位置とが、異なる位置に設定された反射部と透過部とに対応するように配置され、少なくとも一方の光ビームを反射部で反射させ、他方の光ビームを透過部で通過させることにより、部分的光学機能部材で設定された光路を通った複数の光ビームの光路と、光偏向手段で偏向制御された光ビームの光路とを設定する部分的光学機能部材と、を有する光学部材の組み合わせを単数組み又は複数組み、走査手段より上流側の光路上に配置して多段のマルチビームを設定するように構成したことを特徴とする。

上述のように構成することにより、請求項２に記載の発明の作用、効果に加えて、光量をロスすることなく合波できる数を増加し、さらなるマルチビーム化を進め、より高速な露光処理を可能とする。

請求項４に記載の発明は、請求項２又は請求項３に記載のインナードラム露光装置において、部分的光学機能部材を、光ビームを集光した状態で通過させる平面視で楕円形の透過部の周囲に、光偏向手段で偏向制御された光ビームを集光した状態で反射させる反射部を形成して構成したことを特徴とする。

請求項５に記載の発明は、請求項２又は請求項３に記載のインナードラム露光装置において、部分的光学機能部材を、光ビームを集光した状態で反射させる平面視で楕円形の反射部の周囲に、光偏向手段で偏向制御された光ビームを集光した状態で通過させる透過部を形成して構成したことを特徴とする。

請求項６に記載の発明は、請求項２又は請求項３に記載のインナードラム露光装置において、部分的光学機能部材を、直線を境にして２分割し、その一方の部分を集光された光ビームを通過させる透過部に構成し、その他方の部分を、集光された光ビームを反射させる反射部に構成したことを特徴とする。

請求項７に記載の発明は、請求項２乃至請求項６の何れか１項に記載のインナードラム露光装置において、光源側の複数の光学系における少なくとも２つの光ビームが偏光ビームスプリッターで偏光合波された後、１／４波長板を通過させて円偏光にされてから、走査手段側に配置した１／４波長板及び一軸性結晶とによって、偏光合波されると共に互いに直交した直線偏光とされた光ビームを分離し相互に副走査方向に所定間隔を開けて記録媒体上に結像させるように構成したことを特徴とする。

上述のように構成することにより、請求項２乃至請求項６の何れかに１項に記載の発明の作用、効果に加えて、偏光を利用してマルチビーム化する手段を組み合わせることにより、光量をロスすることなく合波できる数を増加し、さらなるマルチビーム化を進め、より高速な露光処理を可能とする。

請求項８に記載の発明は、請求項７に記載のインナードラム露光装置において、一軸性結晶より光路下流側に、各光ビームの偏光方向を制御する偏光制御素子と、偏光制御素子を通った各光ビームを副走査方向に分割する分割素子とを配置して、各光ビームを副走査方向に略等光量で分割するように構成したことを特徴とする。

上述のように構成することにより、各々の光ビームを、それぞれ、偏光制御素子と分割素子とを用いて、副走査方向に略等光量で集光スポットが隣接して重ね合わされるように分割することによって、各々の光ビームを副走査方向に対してより矩形形状に近く、主走査方向に対しても絞られてシャープな状態のスポット形状とすることにより、記録画素の品質を高めることが可能となる。

本発明のインナードラム式マルチビーム露光方法及びマルチビーム方式のインナードラム露光装置によれば、円筒ドラムの内周面上に配置した記録媒体の感光面に、複数の光ビームを低光量ロスで導くことにより走査露光処理を行えるようにし、高速露光処理を可能とするという効果がある。

本発明のインナードラム露光装置に係わる第１実施の形態について図１乃至図７を参照しながら説明する。図１の概略構成図に示すように、インナードラム露光装置１０は、円弧内周面形状（円筒内周面の一部を構成する形状）の支持体１２を母体として構成されており、この支持体１２の内周面に沿って記録媒体１４（フォトポリマー版若しくは通常のＰＳ版又は銀塩タイプの感光材料等）を支持するようになっている。

なお、このインナードラム露光装置１０では、図示しない記録媒体１４の供給排出装置によって、未記録の記録媒体１４を供給し支持体１２の内周面に確実に密着させて沿わせた状態に係着してから露光処理を行い、また露光処理済みの記録媒体１４を支持体１２から外部へ排出する操作を行う。

このインナードラム露光装置１０には、支持体１２の円弧中心位置に、走査手段（光偏向器）としてのスピナーミラー装置１６を配設する。このスピナーミラー装置１６は、回転軸部材１８を、その中心軸を回転軸（支持体１２の円弧中心軸と一致する）として駆動源であるモータ２０によって回動可能に構成する。

この光偏向器であるスピナーミラー装置１６の回転軸部材１８の先端部には、回転軸線に対して４５°の角度をなす反射鏡面１８Ａを形成する。この走査手段としてのスピナーミラー装置１６は、図示しない副走査移動手段によって、支持体１２の円弧中心軸の軸線方向（図１の矢印Ｃ方向）に等速度で移動される。このスピナーミラー装置１６は、スピナードライバ２２によってモータ２０の回転制御がされる。

図１に示すように、このインナードラム露光装置１０では、マルチビーム方式によって記録媒体１４の記録面上を主走査するため、スピナーミラー装置１６側にマルチビーム（複数の光ビーム）を投射する光源側の光学系を設ける。

この光源側の光学系は、略直線偏光からなるレーザビームＬａ、Ｌｂを光量変調して出力する第１、第２の２つの半導体レーザ光源（ＬＤ）３０Ａ、３０Ｂ（光ビーム出力手段）と、第１、第２の半導体レーザ光源３０Ａ、３０Ｂからそれぞれ出射されたレーザビームＬａ、Ｌｂを記録媒体１４の露光面上にそれぞれ集光する集光光学系とを備える。これら第１、第２の２つの半導体レーザ光源３０Ａ、３０Ｂには、それぞれ中心光強度が高く、中心から離れるに従って光強度が徐々に低くなる強度分布からなる単一横モード半導体レーザを用いることができる。

この第１の半導体レーザ光源３０Ａ側の光学系は、第１の半導体レーザ光源３０Ａ側より、コリメティングレンズ（コリメーターレンズ）１００、ビーム形状を整形するためのビーム整形光学部材１０１、集光レンズ１０２、部分的光学機能部材１０４、コリメーティングレンズ（コリメーターレンズ）１０６及び集光レンズ１０８を順に配列して構成する。

この部分的光学機能部材１０４は、第１、第２の２つの半導体レーザ光源３０Ａ、３０ｂにおける、一方のレーザ光源から照射された光ビームを透過させることによりスピナーミラー装置１６へ導き、他方のレーザ光源から照射された光ビームを反射させることによりスピナーミラー装置１６へ導くように構成する。

すなわち、図１乃至図３に示す部分的光学機能部材１０４では、第１の半導体レーザ光源３０Ａから照射された光ビームを透過（通過）させることによりスピナーミラー装置１６へ導き、第２の半導体レーザ光源３０ｂから照射された光ビームを反射させることによりスピナーミラー装置１６へ導くように構成する。

このため、部分的光学機能部材１０４は、その中央部に第１の半導体レーザ光源３０Ａから照射されたレーザビームＬａを通過させる透過部１１０として、所定角度に傾斜状態での正面視で円形の透明部分を形成する。これと共に、この部分的光学機能部材１０４には、透過部１１０を除く全面（透過部１１０の周囲の所定範囲でも良い）を反射部（反射面）１１１に構成する。なお、この図１乃至図３に示す部分的光学機能部材１０４は、全体を透明なガラス板で形成し、その中央の透過部１１０を残した全面を鏡面に加工して構成する等の種々の構成をとることができる。また、透過部１１０を開口に形成しても良い。

さらに、この部分的光学機能部材１０４は、その透過部１１０が集光レンズ１０２の結像位置となり、その反射部１１１が集光レンズ１２０結像位置となるように配置する。

また、第２の半導体レーザ光源３０Ｂ側の光学系は、第２の半導体レーザ光源３０Ｂ側より、コリメティングレンズ（コリメーターレンズ）１１２、ビーム形状を整形するためのビーム整形光学部材１１１、反射鏡１１４、スピナーミラー装置に対してＸ軸方向に光ビームを偏向制御する光偏向手段（微小偏向器）である音響光学素子１１６と、第２のレーザビームＬｂをＹ軸方向に偏向制御する光偏向手段（微小偏向器）である音響光学素子１１８と、集光レンズ１２０と、共用する部分的光学機能部材１０４、コリメーティングレンズ１０６及び集光レンズ１０８を順に配列して構成する。

これら光偏向手段である音響光学素子１１６と、音響光学素子１１８とは、それぞれ図１５に示す回路で制御される。この制御手段としての回路は、スピナーミラー装置１６に設けられた図示しないエンコーダからの信号に基づき制御クロック信号を生成する制御回路１２２と、この制御クロック信号に従って余弦波電圧信号を生成する余弦波信号生成回路１２４と、この制御クロック信号に従って正弦波電圧信号を生成する正弦波信号生成回路１２６と、この余弦波電圧信号から周波数変調信号を生成する電圧制御発振器１２８と、この正弦波電圧信号から周波数変調信号を生成する電圧制御発振器１３０と、この電圧制御発振器１２８からの周波数変調信号を増幅して音響光学素子１１６に供給する増幅器１３２と、正弦波信号から周波数変調信号を生成する電圧制御発振器１３０からの周波数変調信号を増幅して音響光学素子１１８に供給する増幅器１３４とを備える。

このように構成された第２の半導体レーザ光源３０Ｂ側の光学系では、第２の半導体レーザ光源３０Ｂ側から出力されたレーザビームＬｂを、制御手段で制御された光偏向手段である音響光学素子１１６及び音響光学素子１１８とによって偏向し、レーザビームＬｂを集光レンズ１２０で部分的光学機能部材１０４の反射部１１１に結像させて反射させ、さらにコリメーティングレンズ１０６でレーザビームＬａに対する平行光とし集光レンズ１０８で集光してスピナーミラー装置１６の反射鏡面１８Ａに反射させ、記録媒体１４上に結像させるように構成する。

図１に示すように、このインナードラム露光装置１０では、スピナーミラー装置１６と第１、第２の半導体レーザ光源３０Ａ、３０Ｂとを、中央制御装置４０で制御しながら記録媒体１４に画像を記録する作業を行うよう構成する。このインナードラム露光装置１０では、図示しない入力装置から露光すべき画像情報を入力し露光処理開始の指令を中央制御装置４０に送信すると、中央制御装置４０は、露光すべき画像情報に基づいて各所定の画像信号を発生し、これら各所定の画像信号を第１半導体レーザ光源３０Ａ用のレーザドライバ４２Ａと第２半導体レーザ光源３０Ｂ用のレーザドライバ４２Ｂへとそれぞれ送信する。

すると、第１のレーザドライバ４２Ａと第２のレーザドライバ４２Ｂとは、それぞれ第１、第２の半導体レーザ光源３０Ａ、３０Ｂを駆動制御して各々の画像信号に基づいて光量変調されたレーザビームＬａ、Ｌｂを出射し、光源側の光学系によってスピナーミラー装置１６側へ照射する。

また、これと同時に、中央制御装置４０は、モータ２０を回転制御して反射鏡面１８Ａを回転し、光源側の光学系から反射鏡面１８Ａに入射したレーザビームＬａ、Ｌｂを反射して記録媒体１４に対して主走査方向への走査露光を行うと共に、スピナードライバ２２へ制御信号を送信する。この制御信号を受信したスピナードライバ２２は、図示しない副走査移動手段を制御し、スピナーミラー装置１６を支持体１２の円弧中心軸の軸線方向（図１に向かって左右方向となる矢印Ｃ方向）に等速度で移動走査する。これにより、スピナーミラー装置１６で主走査方向への走査露光を行いながら、スピナーミラー装置１６を副走査方向へ移動することによって、記録媒体１４の記録面全面に対して２次元の画像を記録する処理を行う。

この走査露光を行う際に、インナードラム露光装置１０では、制御手段としての回路が光偏向手段である音響光学素子１１６と音響光学素子１１８とを制御して偏向することにより、第２の半導体レーザ光源３０Ｂ側から照射されたレーザビームＬｂを、スピナーミラー装置１６の動作に連動させて主走査方向に適切に走査露光を行う。

このため、図１５に示すように、制御手段としての制御回路１２２は、スピナーミラー装置１６に設けられた図示しないエンコーダからの位置信号に基づき、制御クロック信号を余弦波信号生成回路１２４に供給する。余弦波信号生成回路１２４から出力された余弦波電圧信号は、電圧制御発振器１２８によって周波数変調信号に変換された後、増幅器１３２を介して音響光学素子１１６に供給される。この場合、音響光学素子１１６は、この余弦波電圧信号に基づいて第２のレーザビームＬｂをＸ軸方向（反射鏡面１８Ａの中心を通る傾斜方向）に偏向する。

また、制御手段としての制御回路１２２は、制御クロック信号を正弦波信号生成回路１２６に供給する。正弦波信号生成回路１２６から出力された正弦波電圧信号は、電圧制御発振器１３０によって周波数変調信号に変換された後、増幅器１３４を介して音響光学素子１１８に供給される。この場合、音響光学素子１１８は、この正弦波電圧信号に基づいて音響光学素子１１６によってＸ軸方向に変調された第２のレーザビームＬｂを正弦波電圧信号に基づいてＹ軸方向（反射鏡面１８Ａの中心を通る傾斜方向に直交する方向）に偏向する。

この結果、スピナーミラー装置１６の反射鏡面１８Ａに導かれた第２のレーザビームＬｂは、スピナーミラー装置１６の回転動作に同期して、図１４に示すように、スピナーミラー装置１６の回転軸１８に直交する面Ｓ′上で略円軌跡を描くことになる。

次に、上述のように構成された本第１実施の形態に係るインナードラム露光装置の作用及び動作について説明する。

このインナードラム露光装置１０では、中央制御装置４０及び第１のレーザドライバ４２Ａと第２のレーザドライバ４２Ｂとによりそれぞれ制御された第１、第２の半導体レーザ光源３０Ａ、３０Ｂより、それぞれ画像情報に応じて光量変調したレーザビームＬａ、Ｌｂを出射する。

第２半導体レーザ光源３０Ｂ（光ビーム出力手段）から出射されコリメティングレンズ（コリメーターレンズ）１１２で平行ビームとされ、反射鏡１１４で反射された第２のレーザビームＬｂは、光偏向手段である音響光学素子１１６によってＸ軸方向に偏向された後、光偏向手段である音響光学素子１１８によってＹ軸方向に偏向される。

さらに、偏向された第２のレーザビームＬｂは、集光レンズ１２０で集光されてから部分的光学機能部材１０４の反射部１１１で反射され、光源側の光学系におけるコリメーティングレンズ１０６と集光レンズ１０８とによってスピナーミラー装置１６に導入される。このスピナーミラー装置１６は、Ｚ軸（回転軸）を中心として回転する反射鏡面１８Ａにより第２のレーザビームＬｂを反射偏向し、記録媒体１４に導く。

一方、第１半導体レーザ光源３０Ａから出射された第１のレーザビームＬａは、スピナーミラー装置１６のＺ軸（回転軸）に沿って導入され、反射鏡面１８Ａにより反射偏向されて記録媒体１４に導かれる。さらに、第１半導体レーザ光源３０Ａから出射された第１のレーザビームＬａは、回転軸１８に直交する面Ｓ′上での位置（中心）を移動することなく記録媒体１４上に導かれる。

このようにして、記録媒体１４には、図１及び図２に示すように、間隔が一定に制御された第１のレーザビームＬａと、第２のレーザビームＬｂとが導かれ、画像の記録が行われる。この場合、これらの間隔Ｗは、増幅器１３２、増幅器１３４で設定される増幅率によって容易に調整することができる。すなわち、記録媒体１４上には、一定の間隔、一定の長さからなる平行な２本の走査線が形成される。

よって、このインナードラム露光装置１０では、記録媒体１４上を２本の走査線（マルチビーム）で同時に露光処理できるから、露光処理の速度を向上できる。さらに、このインナードラム露光装置１０では、光ビームの本数を増加できるので、走査手段の回転数を低く設定し、露光処理の速度をさほど低下させることなく走査による記録精度の信頼性を向上させるようにすることもできる。

また、上述した本第１実施の形態では、光偏向手段である音響光学素子１１６と音響光学素子１１８とを別体に構成しているが、これらを一体に構成し、１つの音響光学素子によりＸ軸、Ｙ軸方向に対する偏向を実現するように光偏向手段を構成することも可能である。また、音響光学素子を用いる代わりに、電気光学素子を用いてもよい。

次に、本第１実施の形態に係るインナードラム露光装置における、別構成の部分的光学機能部材１０４を使用した他の構成例について、図４及び図５により説明する。

この図４及び図５に示す他の構成例では、第１の半導体レーザ光源３０Ａより出射されたレーザビームＬａを集光レンズ１２０で集光して部分的光学機能部材１０４の反射部１１１に結像させた状態で、スピナーミラー装置１６の反射鏡面１８Ａに反射させ、記録媒体１４上へ結像させると共に、第２の半導体レーザ光源３０Ｂより出射されたレーザビームＬｂを集光レンズ１２０で集光し、部分的光学機能部材１０４の透過部１１０を透過させてスピナーミラー装置１６の反射鏡面１８Ａに反射させ、記録媒体１４上へ結像させるように構成する。

このため図５に示すように、この図４及び図５に示す他の構成例に用いる部分的光学機能部材１０４は、その中央部に第１の半導体レーザ光源３０Ａから照射されたレーザビームＬａを反射させる反射部１１１としての小楕円形反射面（平面上で小楕円形となり、所定角度に傾斜状態での正面視で円形となる形状）を形成する。これと共に、この部分的光学機能部材１０４には、小楕円形反射面として形成された反射部１１１を除く全面（反射部１１１の周囲の所定範囲でも良い）を、第２の半導体レーザ光源３０Ｂから照射されたレーザビームＬｂを透過させる透過部（開口に形成しても良い）１１０に構成する。なお、この図５に示す部分的光学機能部材１０４は、全体を透明なガラス板で形成し、その中央の小楕円形反射面である反射部１１１を鏡面に加工し、それ以外の部分を透明なガラスで構成することができる。

また、図４に示す構成では、第２の半導体レーザ光源３０Ｂから部分的光学機能部材１０４へ至る光路を直線的に構成したので、図２に示す反射鏡１１４を省略して構成してある。

なお、図４及び図５に示す他の構成例における上述した説明以外の構成、作用、及び効果は前述した第１実施の形態と同様であるので、その説明を省略する。

次に、本第１実施の形態に係るインナードラム露光装置における、さらに別構成の部分的光学機能部材１０４を使用した他の構成例について、図６により説明する。

この図６に示す他の構成例では、部分的光学機能部材１０４を、その中央を通る直線を境にして上側と下側とに２分割し、その上側部分を第１の半導体レーザ光源３０Ａから照射されたレーザビームＬａを透過させる透過部１１０に構成し、その下側部分を、第２の半導体レーザ光源３０Ｂから照射されたレーザビームＬｂを反射させる反射部１１１に構成する。

なお、この図６に示す部分的光学機能部材１０４は、全体を透明なガラス板で形成し、その中央から下側の反射部１１１を鏡面に加工し、それ以外の部分を透明なガラス又は開口で構成してもよい。さらには、部分的光学機能部材１０４を反射部１１１だけで構成し、この反射部１１１に隣接して第１の半導体レーザ光源３０Ａから照射されたレーザビームＬａを通過させる領域を設定するように構成しても良い。

さらに、図６に示す他の構成例では、第１の半導体レーザ光源３０Ａ側を図１及び図２に示す光学系と同様に構成する。

また、図６に示す他の構成例における第２の半導体レーザ光源３０Ｂ側の光学系は、図１及び図２に示す光学系における、スピナーミラー装置１６に対してＸ軸方向に偏向する光偏向手段である音響光学素子１１６を利用して、スピナーミラー装置１６の反射鏡面１８Ａの回転角度に対応して、光ビームの直線偏向を適切に補正する制御をして記録媒体１４上へ露光する。

すなわち、図６に示す他の構成例では、音響光学素子を１軸で偏向するので、第２の半導体レーザ光源３０Ｂ側の光学系において、一般に利用されている補正制御手段により、記録媒体１４に、一定の間隔、一定の長さからなる平行な２本の走査線となるように制御された第１のレーザビームＬａと、第２のレーザビームＬｂとを導くように構成する。

例えば、補正制御手段は、第２のレーザビームＬｂの書き出し先頭位置を第１のレーザビームＬａの書き出し先頭位置と合わせるように所定時間遅く書き出し始める。また、第２のレーザビームＬｂの書き出し終了位置を第１のレーザビームＬａの書き出し終了位置と合わせるように所定時間早く書き終えるように制御する。

次に、本第１実施の形態に係るインナードラム露光装置において、ビーム分割を行って記録媒体１４の記録面上を主走査して露光処理するための他の構成例について、図７により説明する。

この図７に示すインナードラム露光装置１０では、部分的光学機能部材１０４からスピナーミラー装置１６側の光学系上におけるコリメーティングレンズ１０６と集光レンズ１０８との間位置に偏光制御素子となる１／４波長板２６を配置し、スピナーミラー装置１６の回転軸部材１８に固着したホルダ２４に対して一体に回動するよう光ビームの分割素子としての一軸性結晶の光学素子２８を設置する。このホルダ２４は、例えば円筒形に形成し、反射鏡面１８Ａで反射された光ビームを記録媒体１４側へ通過させるための開口を形成する。

この１／４波長板２６は、各レーザビームＬａ、Ｌｂを円偏光に変換するよう構成する。
なお、一軸性結晶の光学素子２８は、例えば、これに円偏光した光ビームを入射させたとき、図１２に示すように、光ビームが常光線Ｐｏと異常光線Ｐｅとに等光量で光ビームを分離し、かつ常光線Ｐｏと異常光線Ｐｅとを互いに平行シフトさせる特性を利用し、各レーザビームＬａ、Ｌｂをそれぞれ副走査方向に等光量で分割するよう構成する。

このように構成した図７に示すインナードラム露光装置１０では、第１、第２の半導体レーザ光源３０Ａ、３０Ｂからそれぞれ出射され、前述したそれぞれの光学系を通り部分的光学機能部材１０４上において結像されたレーザビームＬａのまわりを、同じく結像されたレーザビームＬｂが周回する状態として出射した、各レーザビームＬａ、Ｌｂを１／４波長板２６によってそれぞれ円偏光にし、さらに光路下流側のスピナーミラー装置１６に配置された分割素子としての一軸性結晶の光学素子２８で各々円偏光にされた光ビーム（第１のレーザビームＬａ、第２のレーザビームＬｂ）を、それぞれ副走査方向に等光量で分割する。

さらに、この図７に示すインナードラム露光装置１０では、第１のレーザビームＬａの副走査方向に等光量で分割される前の光ビーム集光スポット径と、第２のレーザビームＬｂの光ビーム分割前の集光スポット径とを、それぞれ記録画素よりも小さくし、分割素子としての一軸性結晶の光学素子２８の分離幅を略半画素程度にしておくことにより、結像されるスポット形状を、副走査方向に対して矩形形状に近い状態とできると共に主走査方向に対しても絞られてシャープな状態とできる（ビームスポットのエッジ部が急峻な状態となる）。これにより、記録画素の品質を高めることが可能となる。

次に、本発明のインナードラム露光装置に係わる第２実施の形態について図８乃至図１１を参照しながら説明する。本第２実施の形態では、インナードラム露光装置１０を、ビーム分割を行って支持体の内周面上に配置した記録媒体１４の記録面上を主走査するよう構成する。

このため、スピナーミラー装置１６側には、回転軸部材１８に対して一体に回動するよう固着したホルダ２４に、光路の上流側から順に１／４波長板２２６と一軸性結晶の光学素子２２８とを固定して配置する。

なお、これら１／４波長板２２６と一軸性結晶の光学素子２２８とは、スピナーミラー装置１６における反射鏡面１８Ａの前方の光路中に配置し、図示しない別途設けた支持手段によって反射鏡面１８Ａと一体的に回動するよう装着して構成しても良い。

この１／４波長板２２６は、右円偏光と左円偏光とされた各光ビームを互いに直交した直線偏光の光ビームに変換可能に構成する。

一軸性結晶の光学素子２２８は、二つの互いに直交した直線偏光ビームの内、一方の偏光ビームを副走査方向に平行シフトさせる水晶板で構成する。この水晶板は、水晶の結晶光軸を、光の結晶入射面の法線に対して４５°傾けた構造となるように製作する。

この水晶板は、十分な精度を持つように加工することが容易であり、廉価に製造可能である。さらに、一軸性結晶の光学素子２２８の材料として利用する水晶は、材料的に安定で低コストであるという利点を持つ。また、一軸性結晶の光学素子２２８の材料として利用する水晶は、結晶光軸の傾斜角度に対する分割幅の特性が解っているので、この水晶の特性に則って所要の機能を持つ一軸性結晶の光学素子２２８を構成することができる。

なお、この一軸性結晶の光学素子２２８は、水晶以外の一軸性の結晶を材料として構成しても良い。水晶以外の一軸性の結晶で構成する場合には、結晶光軸を４５°にとり、傾斜角度の加工誤差を±１°程度にして分離幅のずれを抑えることが可能である。

この一軸性結晶の光学素子２２８は、例えば、方解石、リチウムナイオベイト等の一軸性の材料を用いて構成してもよい。ここで、方解石を用いた場合には厚みを薄くできるため、重量を抑えることができ、スピナーミラー装置１６の回転速度の制限を抑制できるという利点がある。この場合は、１／４波長板２２６と方解石製の一軸性結晶の光学素子２２８を接着して使用することが望ましい。

図８に示すように、このインナードラム露光装置１０は、ビーム分割を行って記録媒体１４の記録面上を主走査するため、スピナーミラー装置１６に入射させるための光ビームを投射する光源側の光学系を設ける。

このインナードラム露光装置１０では、第１、第２、第３、第４の４つの半導体レーザ光源２３０Ａ、２３０Ｂ、２３０Ｃ、２３０Ｄ（光ビーム出力手段）を用いるものである。さらに、第１、第２の２つの半導体レーザ光源２３０Ａ、２３０Ｂと、第３、第４の２つの半導体レーザ光源２３０Ｃ、２３０Ｄとを別々の組の光学系として構成する。

第１、第２の半導体レーザ光源２３０Ａ、２３０Ｂの組は、それぞれ直線偏光の光ビーム（レーザビーム）Ｌａ、Ｌｂを射出する。これらの組の光学系では、両光ビームＬａ、Ｌｂをそれぞれコリメーティングレンズ（コリメーターレンズ）２３２、２３４でそれぞれ平行ビームとする。

この第１半導体レーザ光源２３０Ａから出射された第１のレーザビームＬａは、偏光ビームスプリッター２３８の反射面に対してＰ偏光となるよう設定されており、平行平板２３６を透過後、偏光ビームスプリッター２３８を透過して光路上を進む。

また、第２のレーザビームＬｂは、１／２波長板２４４を透過することにより偏光方向が９０°回転されてＳ偏光となってから偏光ビームスプリッター２３８へ入射する。そして、第２のレーザビームＬｂは、Ｓ偏光となって偏光ビームスプリッター２３８の反射面で反射され、第１のレーザビームＬａと偏光同軸合波され、同一の光路上を進む。

このようにして偏光ビームスプリッター２３８から出射した、偏光同軸合波されている第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとは、集光レンズ１０２、部分的光学機能部材１０４、コリメーティングレンズ１０６、１／４波長板１０７及び集光レンズ１０８とを順に配列して構成した光路を通ってスピナーミラー装置１６へ入射する。

また、第３、第４の２つの半導体レーザ光源２３０Ｃ、２３０Ｄの組は、それぞれ直線偏光の光ビーム（レーザビーム）Ｌｃ、Ｌｄを射出する。これらの組の光学系では、両光ビームＬｃ、Ｌｄをそれぞれコリメーティングレンズ（コリメーターレンズ）２３２、２３４でそれぞれ平行ビームとする。

この第３半導体レーザ光源２３０Ｃから出射された第３のレーザビームＬｃは、偏光ビームスプリッター２３８の反射面に対してＰ偏光となるよう設定されており、平行平板２３６を透過後、偏光ビームスプリッター２３８を透過して光路上を進む。

また、第４のレーザビームＬｄは、１／２波長板２４４を透過することにより偏光方向が９０°回転されてＳ偏光となってから偏光ビームスプリッター２３８へ入射する。そして、第４のレーザビームＬｄは、Ｓ偏光となって偏光ビームスプリッター２３８の反射面で反射され、第３のレーザビームＬｃと偏光同軸合波され、偏光ビームスプリッター２３８から出射して同一の光路上を進む。

このようにして偏光ビームスプリッター２３８から出射した、偏光同軸合波されている第３のレーザビームＬｃと第４のレーザビームＬｄとは、反射鏡１１４、スピナーミラー装置に対してＸ軸方向に偏向する光偏向手段である音響光学素子１１６と、Ｙ軸方向に偏向する光偏向手段である音響光学素子１１８と、集光レンズ１２０と、共用する部分的光学機能部材１０４、コリメーティングレンズ１０６、１／４波長板１０７及び集光レンズ１０８とを順に配列して構成した光路を通ってスピナーミラー装置１６へ入射する。

なお、本第２実施の形態に係わるインナードラム露光装置１０で用いる、集光レンズ１０２、部分的光学機能部材１０４、反射鏡１１４、音響光学素子１１６、音響光学素子１１８、集光レンズ１２０、コリメーティングレンズ１０６及び集光レンズ１０８とは、それぞれ前述した本第１実施の形態に係わるインナードラム露光装置１０で説明したものと同等の構成、作用及び効果を具備するものである。さらに、本第２実施の形態の光学系では、少なくともスピナーミラー装置１６に最も接近したコリメーティングレンズ１０６に入射されるビームが円偏光された状態となっているようにするため、図示しないが、光源からコリメーティングレンズ１０６へ至る光路上の所要位置に１／４波長板を配置するものとする。

次に、上述のように構成した本第２実施の形態に係わるインナードラム露光装置１０の作用及び動作について説明する。

本第２実施の形態に係わるインナードラム露光装置１０では、中央制御装置及びレーザドライバにより制御された第１の半導体レーザ光源２３０Ａより画像情報に応じて光量変調され出力された第１のレーザビームＬａを、コリメーティングレンズ（コリメーターレンズ）２３２で平行ビームとし平行平板２３６を透過させた後、偏光ビームスプリッター２３８に入射させる。このとき、第１のレーザビームＬａは、偏光ビームスプリッター２３８の反射面に対してＰ偏光となっているから偏光ビームスプリッター２３８を透過して進む。

また、第２の半導体レーザ光源２３０Ｂより画像情報に応じて光量変調され出力された第２のレーザビームＬｂは、コリメーティングレンズ（コリメーターレンズ）２３４で平行ビームとされ、１／２波長板２４４を透過することにより偏光方向が９０°回転されてＳ偏光となってから偏光ビームスプリッター２３８へ入射する。

そして、第２のレーザビームＬｂは、Ｓ偏光となって偏光ビームスプリッター２３８の反射面で反射され、第１のレーザビームＬａと偏光同軸合波され、光路上を集光レンズ１０２、部分的光学機能部材１０４の透過部１１０、コリメーティングレンズ１０６を通って、１／４波長板１０７を通過する。この偏光同軸合波された第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとは、１／４波長板１０７を通過する際、それぞれ右円偏光、左円偏光に変換され走査面上に焦点を結ぶための集光レンズ１０８を通り、１／４波長板２２６と一軸性結晶の光学素子２２８とを具備する走査光学系のスピナーミラー装置１６に導かれる。

そして、右円偏光、左円偏光に変換され第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとは、走査光学系の１／４波長板２２６を通過する際に互いに直交した直線偏光の光ビームに変換されて一軸性結晶の光学素子２２８へ入射し、二つの互いに直交した直線偏光ビームの内、一方の偏光ビームを副走査方向に平行シフトさせるように分離された後に、スピナーミラー装置１６の回転軸線に沿って導入され、反射鏡面１８Ａにより反射偏向されて記録媒体１４に導かれる。

またこれと同時に、このインナードラム露光装置１０では、中央制御装置及びレーザドライバにより制御された第３の半導体レーザ光源２３０Ｃより画像情報に応じて変調され出力された第３のレーザビームＬｃを、コリメーティングレンズ（コリメーターレンズ）２３２で平行ビームとし平行平板２３６を透過させた後、偏光ビームスプリッター２３８に入射させる。このとき、第３のレーザビームＬｃは、偏光ビームスプリッター２３８の反射面に対してＰ偏光となっているから偏光ビームスプリッター２３８を透過して進む。

また、第４の半導体レーザ光源２３０Ｄより画像情報に応じて変調され出力された第４のレーザビームＬｄは、コリメーティングレンズ（コリメーターレンズ）２３４で平行ビームとされ、１／２波長板２４４を透過することにより偏光方向が９０°回転されてＳ偏光となってから偏光ビームスプリッター２３８へ入射する。

そして、第４のレーザビームＬｄは、Ｓ偏光となって偏光ビームスプリッター２３８の反射面で反射され、第３のレーザビームＬｃと偏光同軸合波されて光路上を進む。そして、偏光同軸合波された第３のレーザビームＬｃと第４のレーザビームＬｄとは、光路上の反射鏡１１４で反射されて、光偏向手段である音響光学素子１１６によってＸ軸方向に偏向された後、光偏向手段である音響光学素子１１８によってＹ軸方向に偏向される。

さらに、偏向され、同軸合波された第３のレーザビームＬｃと第４のレーザビームＬｄとは、集光レンズ１２０で集光されてから部分的光学機能部材１０４の反射部１１１で反射され、光源側の光学系におけるコリメーティングレンズ１０６を通って、１／４波長板１０７を通過する。この偏向され、同軸合波された第３のレーザビームＬｃと第４のレーザビームＬｄとは、１／４波長板１０７を通過する際、それぞれ右円偏光、左円偏光に変換され走査面上に焦点を結ぶための集光レンズ１０８を通り、１／４波長板２２６と一軸性結晶の光学素子２２８とを具備する走査光学系のスピナーミラー装置１６に導かれる。

そして、右円偏光、左円偏光に変換され第３のレーザビームＬｃと第４のレーザビームＬｄとは、走査光学系の１／４波長板２２６を通過する際に互いに直交した直線偏光の光ビームに変換されて一軸性結晶の光学素子２２８へ入射し、二つの互いに直交した直線偏光ビームの内、一方の偏光ビームを副走査方向に平行シフトさせるように分離された後に、スピナーミラー装置１６の回転軸線と所定間隔を開けた直線に沿って導入され、反射鏡面１８Ａにより反射偏向されて記録媒体１４に導かれる。

すなわち、このインナードラム露光装置１０によれば、第１、第２、第３、第４の４つの半導体レーザ光源２３０Ａ、２３０Ｂ、２３０Ｃ、２３０Ｄからそれぞれ変調して出射された第１、第２、第３、第４のレーザビームＬａ、Ｌｂ、ｃ、Ｌｄが記録媒体１４上に照射されて同時に露光するので、効率良く迅速に露光処理を行うことができる。

次に、本第２実施の形態に係わるインナードラム露光装置１０の他の構成例について、図９及び図１０により説明する。この図９及び図１０に示す他の構成例では、部分的光学機能部材１０４を多段に配置することにより、スピナーミラー装置１６へ複数の光ビームを同時に入射させるための複数の光路を、相互の間隔を短くして平行に設定可能とするものである。

このため、図９及び図１０に示す他の構成例では、３個の部分的光学機能部材１０４、１０４Ａ、１０４Ｂを一連の光路上に並べて配置する。そして，この他の構成例では、光路上の最も上流側の部分的光学機能部材１０４に対応した部分を、前述した図８に示す第１、第２、第３、第４の４つの半導体レーザ光源２３０Ａ、２３０Ｂ、２３０Ｃ、２３０Ｄから部分的光学機能部材１０４へ至る部分と同等に構成する。

また、この図９及び図１０に示す他の構成例では、部分的光学機能部材１０４からコリメーティングレンズ１０６と集光レンズ１０８とを通過した光ビームが集光され結像される位置に部分的光学機能部材１０４Ａを配置する。

この部分的光学機能部材１０４Ａは、図１０に示すように、透過部１１０Ａの大きさを４本のレーザビームＬａ、Ｌｂ、Ｌｃ、Ｌｄ（合波されて２本の光ビームとなっている）が集光レンズ１０８で集光された状態で通過するのに必要十分な大きさに形成する。

なお、この図９では、部分的光学機能部材１０４、１０４Ａ、１０４Ｂに形成する各透過部１１０、１１０Ａ、１１０Ｂを楕円形に記載している。これは、各部分的光学機能部材１０４、１０４Ａ、１０４Ｂを傾斜角度４５度に傾斜させたとき、これを正面から見たときに円形となるように形成するためである。よって、この透過部１１０、１１０Ａ、１１０Ｂは、それぞれ平面視で所定の楕円形に形成する。

図９に示すように、第５、第６の２つの半導体レーザ光源２３０Ｅ、２３０Ｆから部分的光学機能部材１０４Ａへ至る光路上の部分を、前述した図８に示す第３、第４の２つの半導体レーザ光源２３０Ｃ、２３０Ｄから部分的光学機能部材１０４へ至る部分と同等に構成する。

さらに、この他の構成例では、部分的光学機能部材１０４Ａからコリメーティングレンズ１０６と集光レンズ１０８とを通過した光ビームが集光される位置に部分的光学機能部材１０４Ｂを配置する。

この部分的光学機能部材１０４Ｂは、図１０に示すように、透過部１１０Ｂの大きさを６本のレーザビームＬａ、Ｌｂ、Ｌｃ、Ｌｄ、Ｌｅ、Ｌｆ（合波されて３本の光ビームとなっている）が集光レンズ１０８で集光された状態で通過するのに必要十分な大きさに形成する。

そして図９に示すように、第７、第８の２つの半導体レーザ光源２３０Ｇ、２３０Ｈから部分的光学機能部材１０４Ｂへ至る光路上の部分を、前述した図８に示す第３、第４の２つの半導体レーザ光源２３０Ｃ、２３０Ｄから部分的光学機能部材１０４へ至る部分と同等に構成する。

上述のように構成したこの図９及び図１０に示す他の構成例では、第１、第２の半導体レーザ光源２３０Ａ、２３０Ｂから出射され合波され、集光レンズ１２０で集光されたレーザビームＬａ、Ｌｂが部分的光学機能部材１０４の透過部１１０を通過し、この合波レーザビームＬａ、Ｌｂの周囲を第３、第４の半導体レーザ光源２３０Ｃ、２３０Ｄから出射され合波され、集光レンズ１０８で集光されたレーザビームＬｃ、Ｌｄが部分的光学機能部材１０４の反射部１１１上で結像し、これら結像が同芯円状に周回する状態で反射される。

また、部分的光学機能部材１０４Ａでは、その透過部１１０Ａを集光レンズ１０８で集光されたレーザビームＬａ、Ｌｂ、Ｌｃ、Ｌｄが通過し、その反射部１１１に集光レンズ１２０で集光されたレーザビームＬｅ、Ｌｆが反射されることにより、反射部１１１上で周回するレーザビームＬｃ、Ｌｄの結像のさらに外側を合波されたレーザビームＬｅ、Ｌｆの結像が同芯円状に周回する状態となる。

さらに、部分的光学機能部材１０４Ｂでは、その透過部１１０Ｂを集光レンズ１０８で集光されたレーザビームＬａ、Ｌｂ、Ｌｃ、Ｌｄ、Ｌｅ、Ｌｆが通過し、その反射部１１１で集光レンズ１２０で集光されたレーザビームＬｇ、Ｌｈが反射されることにより、反射部１１１上で結像が周回するレーザビームＬｅ、Ｌｆのさらに外側を、合波され集光レンズ１２０で集光されたレーザビームＬｇ、Ｌｈの結像が同芯円状に周回する状態となる。

このように結像された状態において、合波レーザビームＬａ、Ｌｂを中心として、その周囲に同芯円状に周回する合波レーザビームＬｃ、Ｌｄと、その外側に同芯円状に周回する合波レーザビームＬｅ、Ｌｆと、さらにその外側に同芯円状に周回する合波レーザビームＬｇ、Ｌｈとは、図示しないが、前述した図８のインナードラム露光装置１０と同様に構成した１／４波長板１０７、集光レンズ１０８、１／４波長板２２６、一軸性結晶の光学素子２２８を通過し、反射鏡面１８Ａで反射されて、記録媒体１４上へ導かれる。

この際、それぞれ合波されている合波レーザビーム（Ｌａ、Ｌｂ）、（Ｌｃ、Ｌｄ）、（Ｌｅ、Ｌｆ）、（Ｌｇ、Ｌｈ）は、それぞれ前述した図８のインナードラム露光装置１０と同様に分離されて記録媒体１４上へ導かれる。

よって、この図９及び図１０に示す他の構成例では、第１、第２、第３、第４、第５、第６、第７、第８の８つの半導体レーザ光源２３０Ａ、２３０Ｂ、２３０Ｃ、２３０Ｄ、２３０Ｅ、２３０Ｆ、２３０Ｇ、２３０Ｈからそれぞれ変調して出射された第１乃至第８のレーザビームＬａ乃至Ｌｈが記録媒体１４上に照射されて同時に露光するので、さらに効率良く迅速に露光処理を行うことができる。

次に、本第２実施の形態に係わるインナードラム露光装置１０において、ビーム分割を行って記録媒体１４の記録面上を主走査して露光処理するための他の構成例について、図１１により説明する。

この図１１に示すインナードラム露光装置１０では、スピナーミラー装置１６の回転軸部材１８に固着したホルダ２４に対して、１／４波長板２２６と一軸性結晶の光学素子２２８とに続けて、偏光制御素子である１／２波長板２４６と、光ビームの分割素子としての一軸性結晶の光学素子２４８とを設置する。なお図示しないが、これら１／４波長板２２６、一軸性結晶の光学素子２２８、１／２波長板２４６及び一軸性結晶の光学素子２４８は、反射鏡面１８Ａと一体的に回動するように構成する。

このように構成したインナードラム露光装置１０では、例えば、光源側の光学系から同軸合波されそれぞれ右円偏光、左円偏光に変換された第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとが、走査光学系の１／４波長板２２６を透過する際に互いに直交した直線偏光の光ビームに変換されて一軸性結晶の光学素子２２８を透過する際にそれぞれ副走査方向に第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとに分割される。

さらに、副走査方向に分割された第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとは、偏光制御素子としての１／２波長板２４６を透過する際に光ビームの偏光方向が４５°回転され、さらに分割素子としての第２の一軸性結晶の光学素子２４８を透過する際に、第１のレーザビームＬａが副走査方向に略等光量で分割されると共に、第２のレーザビームＬｂが副走査方向に略等光量で分割される。

なお、このインナードラム露光装置１０では、反射鏡面１８Ａの光路上流側に配置された、第１の１／４波長板２２６と第１の一軸性結晶の光学素子２２８とによって副走査方向に分割された第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとを、第１の一軸性結晶の光学素子２２８よりも光路下流側に配置された図示しない偏光制御素子である第２の１／４波長板によってそれぞれ円偏光にし、さらに光路下流側に配置された図示しない分割素子としての第２の一軸性結晶の光学素子で各々円偏光にされた光ビーム（第１のレーザビームＬａ、第２のレーザビームＬｂ）を、それぞれ副走査方向に等光量で分割するように構成しても良い。なお、合波レーザビーム（Ｌｃ、Ｌｄ）、（Ｌｅ、Ｌｆ）、（Ｌｇ、Ｌｈ）も、上述した合波レーザビーム（Ｌａ、Ｌｂ）と同様に副走査方向に等光量で分割されることは勿論である。

このように構成したインナードラム露光装置１０では、各レーザビームの副走査方向に等光量で分割される前の光ビームの集光スポット径を、それぞれ記録画素よりも小さくし、分割素子としての第２の一軸性結晶の光学素子２４８の分離幅を略半画素程度にしておくことにより、副走査方向に対してより矩形形状に近い状態とできると共に、主走査方向に対しても絞られてシャープな状態のスポット形状とできる（ビームスポットのエッジ部が急峻な状態となる）。これにより、記録画素の品質を高めることが可能となる。

なお、本第２実施の形態における以上説明した以外の構成、作用、及び効果は前述した第１実施の形態と同様であるので、その説明を省略する。

また、前述した第１、第２実施の形態では、光ビームの分割素子である一軸性結晶の光学素子として、入射した光ビームを常光線と異常光線とに等光量で、かつ互いに平行シフトするようビーム分割するものについて説明したが、本発明のインナードラム露光装置では、例えば、図１３に示すように、光ビームの分割素子２５０を、プリズム状の水晶板を一枚用い、一方の面内に位相速度の速い軸と遅い軸とを有し、他方の面が一方の面に対して、位相速度の速い軸と遅い軸に対し一方の方向に傾斜するように形成し、入射したレーザビームＬａ、Ｌｂをそれぞれ異なる角度の方向に向けて分割（いわゆる角度分割）するように構成しても良い。

本発明の第１実施の形態に係わるインナードラム露光装置を示す概略構成図である。 本発明の第１実施の形態に係わるインナードラム露光装置に用いる光源からスピナーミラー装置へ至る光路の構成の概略を示す説明図である。 本発明の第１実施の形態に係わるインナードラム露光装置に用いる光源からスピナーミラー装置へ至る光路上に配置する部分的光学機能部材を取り出して示す拡大斜視図である。 本発明の第１実施の形態に係わるインナードラム露光装置に用いる光源からスピナーミラー装置へ至る光路に関する他の構成例を示す説明図である。 本発明の第１実施の形態に係わるインナードラム露光装置に用いる光源からスピナーミラー装置へ至る光路に関する他の構成例で用いる部分的光学機能部材を取り出して示す拡大斜視図である。 本発明の第１実施の形態に係わるインナードラム露光装置に用いる光源からスピナーミラー装置へ至る光路に関するさらに他の構成例で用いる部分的光学機能部材を示す拡大斜視図である。 本発明の第１実施の形態に係わるインナードラム露光装置に用いる光源からスピナーミラー装置へ至る光路に関するさらに他の構成例を示す説明図である。 本発明の第２実施の形態に係わるインナードラム露光装置に用いる光源からスピナーミラー装置へ至る光路の構成の概略を示す説明図である。 本発明の第２実施の形態に係わるインナードラム露光装置に用いる光源からスピナーミラー装置へ至る光路に関する他の構成例を示す説明図である。 （Ａ）（Ｂ）（Ｃ）は、本発明の第２実施の形態に係わるインナードラム露光装置に用いる光源からスピナーミラー装置へ至る光路に関する他の構成例で用いる各部分的光学機能部材をそれぞれ示す拡大斜視図である。 本発明の第２実施の形態に係わるインナードラム露光装置に用いるスピナーミラー装置に装着する光ビームの分離素子と分割素子との構成を示す説明図である。 本発明の第１又は第２実施の形態に係わるインナードラム露光装置に用いる一軸性結晶の光学素子の特性を示す説明図である。 本発明の第１又は第２実施の形態に係わるインナードラム露光装置に用いることができる他の構成の一軸性結晶の光学素子の特性を示す説明図である。 本発明の第１又は第２実施の形態に係わるインナードラム露光装置に用いるＸ軸方向とＹ軸方向とに偏向する光偏向手段により偏向されたレーザビームの、スピナーミラー装置の回転軸に直交する面Ｓ′上での軌跡を示す説明図である。 本発明の第１又は第２実施の形態に係わるインナードラム露光装置に用いるＸ軸方向とＹ軸方向とに偏向する光偏向手段用の制御回路の構成を示す説明図である。

符号の説明

１０ インナードラム露光装置
１２ 支持体
１４ 記録媒体
１６ スピナーミラー装置
１８ 回転軸部材
１８Ａ 反射鏡面
２８ 一軸性結晶の光学素子
３０Ａ 半導体レーザ光源
３０Ｂ 半導体レーザ光源
１０４ 部分的光学機能部材
１１０ 透過部
１１１ 反射部
１１６ 音響光学素子
１１８ 音響光学素子
２２６ １／４波長板
２２８ 一軸性結晶の光学素子
２３０Ａ 半導体レーザ光源
２３０Ｂ 半導体レーザ光源
２３０Ｃ 半導体レーザ光源
２３０Ｄ 半導体レーザ光源
２３０Ｅ 半導体レーザ光源
２３０Ｆ 半導体レーザ光源
２３０Ｇ 半導体レーザ光源
２３０Ｈ 半導体レーザ光源
２３８ 偏光ビームスプリッター
２４６ １／２波長板
２４８ 一軸性結晶の光学素子

Claims (8)

1. 光源側から画像信号に基づいて各々独立して変調されて出射された複数の光ビームの内、少なくとも一つの前記光ビームを光偏向手段で偏向制御し、
   前記偏向制御された光ビームと、他の前記光ビームとを部分的光学機能部材上の異なる位置に設けた反射部と透過部とに各々集光させ、当該部分的光学機能部材によって、少なくとも一方の前記光ビームを前記反射部で反射させ、他方の前記光ビームを前記透過部で通過させることにより、他の前記光ビームの光路と、前記偏向制御された光ビームの光路とが走査手段に入射するよう設定し、
   前記走査手段が、前記複数の光ビームを相互に副走査方向に所定間隔を保ちながら、インナードラムの支持体に載置した記録媒体上に走査露光することを特徴とするインナードラム式マルチビーム露光方法。
2. 画像信号に基づいて変調された光ビームを出射するための光源側の複数の光学系と、
   前記光源側の複数の光学系における、少なくとも一つの前記光学系の光路上で、光ビームを偏向制御するように配置された光偏向手段と、
   前記光偏向手段で偏向制御された光ビームを集光する集光レンズと、
   前記偏向制御された光ビームを除く前記光源側の複数の光学系から出射された光ビームを集光する集光レンズと、
   前記光偏向手段で偏向制御された光ビームの集光位置と、前記偏向制御された光ビームを除く前記光源側の複数の光学系から出射された光ビームの集光位置とが、異なる位置に設定された反射部と透過部とに対応するように配置され、少なくとも一方の光ビームを前記反射部で反射させ、他方の光ビームを前記透過部で通過させることにより、前記偏向制御された光ビームを除く前記光源側の複数の光学系から出射された光ビームの光路と、前記偏向制御された光ビームの光路とが走査手段に入射するよう設定する部分的光学機能部材と、
   前記部分的光学機能部材で設定された光路を通って入射される前記複数の光ビームを、相互に副走査方向に所定間隔を保ちながら、インナードラムの支持体に載置した記録媒体上に結像させて走査露光を行う走査手段と、
   を有することを特徴とするインナードラム露光装置。
3. 前記部分的光学機能部材で設定された光路を通った前記複数の光ビームを集光する集光レンズと、
   単一の光源側から画像信号に基づいて変調された光ビーム又は２つの光源側からそれぞれ画像信号に基づいて変調されると共に偏光同軸合波された光ビームを偏向制御する光偏向手段と、
   前記光偏向手段で偏向制御された光ビームを集光する集光レンズと、
   前記部分的光学機能部材で設定された光路を通った前記複数の光ビームの集光位置と、
   前記光偏向手段で偏向制御された光ビームの集光位置とが、異なる位置に設定された反射部と透過部とに対応するように配置され、少なくとも一方の光ビームを前記反射部で反射させ、他方の光ビームを前記透過部で通過させることにより、前記部分的光学機能部材で設定された光路を通った前記複数の光ビームの光路と、前記光偏向手段で偏向制御された光ビームの光路とを設定する部分的光学機能部材と、
   を有する光学部材の組み合わせを単数組み又は複数組み、前記走査手段より上流側の光路上に配置して多段のマルチビームを設定するように構成したことを特徴とする請求項２に記載のインナードラム露光装置。
4. 前記部分的光学機能部材を、前記光ビームを集光した状態で通過させる平面視で楕円形の透過部の周囲に、前記光偏向手段で偏向制御された光ビームを集光した状態で反射させる反射部を形成して構成したことを特徴とする請求項２又は請求項３に記載のインナードラム露光装置。
5. 前記部分的光学機能部材を、前記光ビームを集光した状態で反射させる平面視で楕円形の反射部の周囲に、前記光偏向手段で偏向制御された光ビームを集光した状態で通過させる透過部を形成して構成したことを特徴とする請求項２又は請求項３に記載のインナードラム露光装置。
6. 前記部分的光学機能部材を、直線を境にして２分割し、その一方の部分を集光された前記光ビームを通過させる透過部に構成し、その他方の部分を、集光された前記光ビームを反射させる反射部に構成したことを特徴とする請求項２又は請求項３に記載のインナードラム露光装置。
7. 前記光源側の複数の光学系における少なくとも２つの前記光ビームが偏光ビームスプリッターで偏光合波された後、１／４波長板を通過させて円偏光にされてから、前記走査手段側に配置した１／４波長板及び一軸性結晶とによって、前記偏光合波されると共に互いに直交した直線偏光とされた光ビームを分離し相互に副走査方向に所定間隔を開けて前記記録媒体上に結像させるように構成したことを特徴とする請求項２乃至請求項６の何れか１項に記載のインナードラム露光装置。
8. 前記一軸性結晶より光路下流側に、各光ビームの偏光方向を制御する偏光制御素子と、当該偏光制御素子を通った各光ビームを副走査方向に分割する分割素子とを配置して、各光ビームを副走査方向に略等光量で分割するように構成したことを特徴とする請求項７に記載のインナードラム露光装置。

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