JP2007264064A - インナードラム露光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】主走査手段において光ビームを分割して、複数の光ビームで走査露光を行なうインナードラム型の露光装置において、適正な円偏光の光ビームを主走査手段に入射できる露光装置を提供する。
【解決手段】傾斜して配置されるλ/4波長板によって楕円偏光の光ビームを生成し、この楕円偏向の光ビームを、少なくとも1枚の反射ミラーによって所定の光路で主走査手段に光ビームを入射させる光ビーム光学系に入射させることにより、記課題を解決する。
【選択図】図4
【解決手段】傾斜して配置されるλ/4波長板によって楕円偏光の光ビームを生成し、この楕円偏向の光ビームを、少なくとも1枚の反射ミラーによって所定の光路で主走査手段に光ビームを入射させる光ビーム光学系に入射させることにより、記課題を解決する。
【選択図】図4
Description
本発明は、円弧の内周面に記録媒体等の被走査体を保持するインナードラム型の露光装置に関し、詳しくは、合波された光ビームもしくは1本の光ビームを分離して、複数の光ビームによって走査を行なうインナードラム露光装置において、いずれの光ビームも適正な状態で被走査体に入射できるインナードラム露光装置に関する。
円弧状の内周面に記録媒体を支持して、前記円弧の中心線を中心に反射面を回転するスピナー(光偏向器)によって円弧の周方向に主走査した光ビームで記録媒体を2次元的に走査露光する、インナードラム露光装置(円筒内面走査型露光装置)が知られてる。
また、このようなインナードラム露光装置において、例えば、互いに独立して変調した光ビームを合波してスピナーに入射し、偏向/走査する共に合波した光ビームを分離して、マルチビーム化して露光を行なう装置が提案されている。
また、このようなインナードラム露光装置において、例えば、互いに独立して変調した光ビームを合波してスピナーに入射し、偏向/走査する共に合波した光ビームを分離して、マルチビーム化して露光を行なう装置が提案されている。
一例として、特許文献1には、図6に模式的に示すインナードラム露光装置が開示されている。
このインナードラム露光装置200は、円弧状の内周面を有する円筒状の支持体202の内面に保持した記録媒体を、2本の光ビームL1およびL2によって二次元的に走査露光するものであって、前記支持体202と、光源部204と、主走査手段206と、光ビーム光学系208とを有して構成される。
このインナードラム露光装置200は、円弧状の内周面を有する円筒状の支持体202の内面に保持した記録媒体を、2本の光ビームL1およびL2によって二次元的に走査露光するものであって、前記支持体202と、光源部204と、主走査手段206と、光ビーム光学系208とを有して構成される。
インナードラム露光装置200(以下、露光装置200とする)において、光源部204は、例えば後述するミラー222に対してP偏光の直線偏向の光ビームを出射する光源210(例えば、半導体レーザやアルゴンレーザ等)から出射した光ビームを、ハーフプリズム212によって2本の光ビームL1およびL2に分割し、それぞれの光ビームをAOM(音響光学変調器)などの変調器214(L1)および変調器216(L2)によって、記録画像に応じて独立して変調する。
変調器216によって変調された光ビームL2は、ミラー218によって所定方向に反射されて、偏光ビームスプリッタ220に入射する。
他方、変調器214によって変調された光ビームL1は、ミラー222によって所定方向に反射されて、1/2波長板224によって、偏光方向(偏光面)を90°回転された後、偏光ビームスプリッタ220に入射する。この1/2波長板224による光ビームL1の偏光方向の回転により、2本の光ビーム(L1とL2)は、互いに直交する偏光方向(例えば、P偏光とS偏光)を有する直線偏光の光ビームとなる。
偏光ビームスプリッタ220は、互いに直交する偏光方向を有する2本の直線偏光の光ビームを合波して、光軸が一致する見かけ上1本の光ビーム(合成ビームLc)とする。
他方、変調器214によって変調された光ビームL1は、ミラー222によって所定方向に反射されて、1/2波長板224によって、偏光方向(偏光面)を90°回転された後、偏光ビームスプリッタ220に入射する。この1/2波長板224による光ビームL1の偏光方向の回転により、2本の光ビーム(L1とL2)は、互いに直交する偏光方向(例えば、P偏光とS偏光)を有する直線偏光の光ビームとなる。
偏光ビームスプリッタ220は、互いに直交する偏光方向を有する2本の直線偏光の光ビームを合波して、光軸が一致する見かけ上1本の光ビーム(合成ビームLc)とする。
合成ビームLcは、次いで、1/4波長板226に入射する。この1/4波長板226は、結晶光軸が、光ビームの偏光方向に対して45°傾いた状態で配置される。そのため、この1/4波長板226に入射/通過した合成ビームLcの各光ビームは、互いに異なる回転方向(進行方向に対して右回転と左回転)の円偏光の光ビームとなる。
このような光源部204(1/4波長板226)から出射された円偏光の合成ビームLcは、次いで、光ビーム光学系208において、ビームエクスパンダ230によって広径されて、ある程度の太さの光ビームとされ、次いで、光ビームを集光する集光レンズ232を経て、主走査手段206に入射する。
ここで、光ビーム光学系208は、前記支持体202の内周面の中心線(以下、単に中心線とする)を進行する所定の光路で、合成ビームLcを主走査手段206に入射する。
ここで、光ビーム光学系208は、前記支持体202の内周面の中心線(以下、単に中心線とする)を進行する所定の光路で、合成ビームLcを主走査手段206に入射する。
主走査手段206は、スピナミラー234と、1/4波長板236と、ウォラストンプリズム238とを有して構成される。
スピナミラー234は、スピナー(光偏向器)として作用するミラーで、反射面の中心を中心線上に位置して、中心線に対して45°の角度で配置され、光軸を進行してきた合成ビームLcを直角に偏向して、支持体202の内周面に向けて反射する。
スピナミラー234は、スピナー(光偏向器)として作用するミラーで、反射面の中心を中心線上に位置して、中心線に対して45°の角度で配置され、光軸を進行してきた合成ビームLcを直角に偏向して、支持体202の内周面に向けて反射する。
1/4波長板236およびウォラストンプリズム238は、スピナミラー234によって反射される合成ビームLcの光路上に配置される。
スピナミラー234によって反射された合成ビームLcは、まず、1/4波長板236によって直線偏光の光ビームに変換される。ここで、前述のように、合成ビームLcは、互いに回転方向の異なる光ビームL1とL2を合波(合成)してなる光ビームであるので、1/4波長板236で変換された光ビームL1とL2は、互いに直交する偏光方向を有する直線偏光の光ビームとなる。
次いで、合成ビームLcは、ウォラストンプリズム238によって個々の光ビームL1と光ビームL2とに分離され、支持体202の内周面(此処に保持された記録媒体)に入射する。
スピナミラー234によって反射された合成ビームLcは、まず、1/4波長板236によって直線偏光の光ビームに変換される。ここで、前述のように、合成ビームLcは、互いに回転方向の異なる光ビームL1とL2を合波(合成)してなる光ビームであるので、1/4波長板236で変換された光ビームL1とL2は、互いに直交する偏光方向を有する直線偏光の光ビームとなる。
次いで、合成ビームLcは、ウォラストンプリズム238によって個々の光ビームL1と光ビームL2とに分離され、支持体202の内周面(此処に保持された記録媒体)に入射する。
主走査手段206は、スピナミラー234、1/4波長板236、および、ウォラストンプリズム238を一体的にしたものであり、前述の様にスピナミラー234を中心線上に位置して、図示しない駆動源によって中心線を中心に回転する。これにより、中心線上の光路を進行してスピナミラー234によって反射され、ウォラストンプリズム238によって分離された光ビームL1およびL2は、支持体202内面の周方向(主走査方向)に偏向/主走査される。
また、露光装置200においては、図示は省略するが、集光レンズ232と主走査手段206とを一体的に中心線方向に移動(副走査)する副走査手段を有する。
従って、この主走査手段206による光ビームの主走査、および、副走査手段による主走査手段206(集光レンズ232)の副走査によって、支持体202の内周面に保持された記録媒体は、光ビームL1およびL2によって2次元的に全面を走査露光される。
また、露光装置200においては、図示は省略するが、集光レンズ232と主走査手段206とを一体的に中心線方向に移動(副走査)する副走査手段を有する。
従って、この主走査手段206による光ビームの主走査、および、副走査手段による主走査手段206(集光レンズ232)の副走査によって、支持体202の内周面に保持された記録媒体は、光ビームL1およびL2によって2次元的に全面を走査露光される。
前述のように、光ビームL1およびL2は、光源部204において、互いに独立して記録画像に応じて変調されている。
また、主走査手段206においては、ウォラストンプリズム238によって分離された光ビームL1およびL2が、主走査方向に同位置で、かつ、副走査方向に異なる位置に入射するように、それぞれの結晶光軸を設定して1/2波長板236およびウォラストンプリズム238が配置される。
これにより、露光装置200は、2本の光ビーム(マルチビーム)よる露光での画像記録を行なっている。
また、主走査手段206においては、ウォラストンプリズム238によって分離された光ビームL1およびL2が、主走査方向に同位置で、かつ、副走査方向に異なる位置に入射するように、それぞれの結晶光軸を設定して1/2波長板236およびウォラストンプリズム238が配置される。
これにより、露光装置200は、2本の光ビーム(マルチビーム)よる露光での画像記録を行なっている。
このような光の偏光を利用して光ビームを分離する露光装置において、走査位置によらず、所定位置に光ビームを入射するためには、ウォラストンプリズム238などの光ビームを分離する素子(分離素子とする)と、スピナミラー234などのスピナーとの位置関係を、常に一定にしておく必要がある。また、適正な光ビームの分離を行なうためには、分離素子に入射する光ビームの偏光方向を、常に、分離素子に対して常に一定にする必要がある。そのため、このような露光装置では、分離素子とスピナーとを一体的に構成した主走査手段を用い、この主走査手段に円偏光の光ビームを入射する。
さらに、光ビームを適正に分離するためには、楕円偏光ではなく、適正な円偏光の光ビームを主走査手段に入射する必要がある。
さらに、光ビームを適正に分離するためには、楕円偏光ではなく、適正な円偏光の光ビームを主走査手段に入射する必要がある。
ここで、図6は模式図であるので、光ビーム光学系208は、光源部204から一直線の光路で合成ビームLcを主走査手段206に入射している。
しかしながら、実際の露光装置では、このような単純な光ビーム光路を設定できることは、極めて稀である。すなわち、露光装置では、各種の部品との位置関係などの設計上の制約や、装置の小型化のため、光路偏向用の反射ミラーを、複数、設け、何回か光ビームの光路を折り曲げて、所定の光路で主走査手段に光ビームを入射するのが、通常である。
しかしながら、実際の露光装置では、このような単純な光ビーム光路を設定できることは、極めて稀である。すなわち、露光装置では、各種の部品との位置関係などの設計上の制約や、装置の小型化のため、光路偏向用の反射ミラーを、複数、設け、何回か光ビームの光路を折り曲げて、所定の光路で主走査手段に光ビームを入射するのが、通常である。
ところが、反射ミラーで円偏光の光ビームを反射すると、S偏光の成分とP偏光の成分とで位相シフト(リタデーション)が発生して、楕円偏光の光ビームになってしまう。例えば、図7に示すように、光ビームLの光路を90°偏向する2枚の反射ミラーで,光ビームLの光路を180°折り返すと、円偏光であった光ビームLは、S偏光方向およびP偏光方向に対して45°の方向に長軸を有する楕円偏光の光ビームLとなってしまう。
この位相シフトが5°生じると、円偏光の光ビームが、長軸と短軸の比が最大で1:0.8の楕円偏光の光ビームとなる。前述のように、通常の露光装置では、複数枚の反射ミラーが配置されるので、この比率は増大する。
この位相シフトが5°生じると、円偏光の光ビームが、長軸と短軸の比が最大で1:0.8の楕円偏光の光ビームとなる。前述のように、通常の露光装置では、複数枚の反射ミラーが配置されるので、この比率は増大する。
前述のような偏光を利用して光ビームを分離して走査露光を行なう露光装置において、楕円偏光の光ビームが主走査手段に入射されると、光ビームの分離を適正に行なうことができず、従って、目的とする露光を適正に行なうことができない。
例えば、前記図6に示す露光装置200であれば、楕円偏光の合成ビームLcが主走査手段206に入射されると、1/4波長板236で完全な直線偏向の光ビームに戻すことができず、ウォラストンプリズム238で分離した光ビームに迷光が生じてしまう。その結果、光ビームL1に光ビームL2の迷光が乗ってしまう等、一方の光ビームに、他方の光ビームの迷光が乗ってしまい、消光比が低下してしまう。
例えば、前記図6に示す露光装置200であれば、楕円偏光の合成ビームLcが主走査手段206に入射されると、1/4波長板236で完全な直線偏向の光ビームに戻すことができず、ウォラストンプリズム238で分離した光ビームに迷光が生じてしまう。その結果、光ビームL1に光ビームL2の迷光が乗ってしまう等、一方の光ビームに、他方の光ビームの迷光が乗ってしまい、消光比が低下してしまう。
このような問題点を解決するためには、S偏光成分とP偏光成分とで位相差を生じないようにコーティングを施した反射ミラーが必要になる。しかしながら、位相差を完全に無くすのは非常に困難であり、しかも、反射ミラーのコストも非常に高くなってしまう。
また、主走査手段の上流に1/4波長板を配置して、楕円偏光を円偏光にすることも考えられる。ここで、主走査手段に入射する時点では、光ビームもある程度の太さであるのが通常であり、また、図6の露光装置200にも配置されるように、主走査手段204に入射する光ビームは、ビームエクスパンダで広径されている場合も多い。そのため、広い領域で高い透過波面精度を有する高価な1/4波長板を用いる必要があり、その結果、露光装置のコストが非常に高くなってしまう。
また、主走査手段の上流に1/4波長板を配置して、楕円偏光を円偏光にすることも考えられる。ここで、主走査手段に入射する時点では、光ビームもある程度の太さであるのが通常であり、また、図6の露光装置200にも配置されるように、主走査手段204に入射する光ビームは、ビームエクスパンダで広径されている場合も多い。そのため、広い領域で高い透過波面精度を有する高価な1/4波長板を用いる必要があり、その結果、露光装置のコストが非常に高くなってしまう。
本発明の目的は、前記従来技術の問題点を解決することにあり、1本の光ビームを等光量に分離して一部が重なる合成スポットとすることにより高画質化を図る露光装置や、独立変調して合波した複数の光ビームを主走査手段に入射して、分離することでマルチビーム露光を行なう露光装置など、光の偏光を利用して光ビームを分離して走査露光を行なうインナードラム露光装置において、適正な円偏光の光ビームを主走査手段に入射することができ、これにより、適正に分離した複数の光ビームによって高画質な画像記録を行なうことができるインナードラム露光装置を提供することにある。
前記目的を達成するために、本発明のインナードラム露光装置は、光ビームを出射する光源部と、円弧状の内周面を有し、この内周面に記録媒体を保持する支持体と、前記光ビームを前記支持体の内周面に向けて反射する偏向面を有し、この偏向面を前記支持体の内周面の中心線を中心に回転することにより、前記光ビームを前記支持体の内周面の周方向と一致する主走査方向に走査する偏向素子、および、前記偏向素子と一体的に回転する、前記光ビームを複数に分離する分離素子を有する主走査手段と、前記主走査手段および支持体を、前記支持体の内周面の中心線方向と一致する副走査方向に相対的に移動する副走査手段と、前記光源部から出射された光ビームを少なくとも1つの反射ミラーで偏向して所定の光路で前記主走査手段に入射させる光ビーム光学系とを有し、かつ、前記光源部は、前記光ビーム光学系におけるP偏光方向に対して45°の角度の直線偏光の光ビームを出射する光ビーム出射部、および、結晶光軸方向を前記光ビーム光学系におけるS偏光方向もしくはP偏光方向と一致し、かつ、一方の結晶光軸方向あるいはこれと直交する方向を軸に、光ビームの光軸に対して傾斜して配置される、前記光ビーム出射部が出射した直線偏光の光ビームを楕円偏光の光ビームに変換する1/4波長板を有することを特徴とするインナードラム露光装置を提供する。
このような本発明のインナードラム露光装置において、前記光ビーム出射部は、直線偏光の光ビームを出射する光ビーム光源を、直線偏光の方向が前記光ビーム光学系におけるP偏光方向に対して45°となるように配置したものであるのが好ましく、もしくは、前記光ビーム出射部は、直線偏光の光ビームを出射する光ビーム光源、および、前記光ビーム光源を反射して、前記光ビーム光源が出射した光ビームを偏向して、この光ビーム直線偏光方向を前記光ビーム光学系におけるP偏光方向に対して45°とする、少なくとも1枚の反射ミラーが配置された反射光学系を有するのが好ましく、もしくは、前記光ビーム出射部は、直線偏光の光ビームを出射する光ビーム光源、および、前記光ビーム光源が出射した光ビームの直線偏光方向を回転して、前記前記光ビーム光学系におけるP偏光方向に対して45°とする1/2波長板を有するのが好ましい。
また、前記分離素子が、1軸性結晶を用い、前記光ビームを、等光量かつ平行で、さらにビームスポットの一部を重ねる、前記主走査方向に同位置で副走査方向に分離した常光線および異常光線とするものであるのが好ましく、もしくは、前記光源部が、互いに独立して変調され互いに回転方向が異なる円偏光の2本の光ビームを合波して出射するものであり、前記主走査手段が、さらに、偏向素子および分離素子と一体的に回転する、円偏光の光ビームを直線偏光の光ビームとする1/4波長板を有し、前記分離素子が、前記1/4波長板によって直線偏光とされた2本の光ビームを、互いに異なる角度で進行して、前記主走査方向に同位置で副走査方向に分離した2本の光ビームとするのが好ましい。
また、前記分離素子が、1軸性結晶を用い、前記光ビームを、等光量かつ平行で、さらにビームスポットの一部を重ねる、前記主走査方向に同位置で副走査方向に分離した常光線および異常光線とするものであるのが好ましく、もしくは、前記光源部が、互いに独立して変調され互いに回転方向が異なる円偏光の2本の光ビームを合波して出射するものであり、前記主走査手段が、さらに、偏向素子および分離素子と一体的に回転する、円偏光の光ビームを直線偏光の光ビームとする1/4波長板を有し、前記分離素子が、前記1/4波長板によって直線偏光とされた2本の光ビームを、互いに異なる角度で進行して、前記主走査方向に同位置で副走査方向に分離した2本の光ビームとするのが好ましい。
上記構成を有する本発明によれば、光の偏光を利用して光ビームを分離して走査露光を行なうインナードラム露光装置において、光ビームを所定の光路で主走査手段に入射する光ビーム光学系に対応して、この光ビーム光学系におけるP偏光方向(すなわちS偏光方向)に対して45°の偏光方向を有する直線偏光の光ビームを、一方の結晶軸方向、あるいは、この結晶軸方向と直交する方向を軸に、傾斜して配置される1/4波長板で楕円偏光に変換して、この楕円偏光の光ビームを光ビーム光学系に入射する。そのため、光ビーム光学系における反射ミラーでの光路偏向で生じる、光ビームのP偏光成分とS偏光成分とに位相差によって、楕円偏向の光ビームを円偏光に変換でき、適正な円偏光の光ビームを光の偏光を利用して光ビームを分離する主走査手段に入射できる。
従って、本発明のインナードラム露光装置によれば、位相差を無くすためのコーティングを施した反射ミラーや、楕円偏光を円偏光にするための1/4反射板などの高価な光学部品を用いることなく、適正な光ビームを主走査手段に入射することができ、適正に分離した複数の光ビームによって高画質な画像記録を行なうことができる。
従って、本発明のインナードラム露光装置によれば、位相差を無くすためのコーティングを施した反射ミラーや、楕円偏光を円偏光にするための1/4反射板などの高価な光学部品を用いることなく、適正な光ビームを主走査手段に入射することができ、適正に分離した複数の光ビームによって高画質な画像記録を行なうことができる。
以下、本発明のインナードラム露光装置について、添付の図面に示される好適実施例を基に、詳細に説明する。
図1に、本発明のインナードラム露光装置の一例の概念図を示す。
図1に示すインナードラム露光装置10(以下、露光装置10とする)は、感光材料Aを円弧状(円筒内面状)に保持して、この円弧の内側から周方向に走査した光ビームLによって感光材料Aを走査露光するものである。
このような露光装置10は、基本的に、図中に想像線(二点鎖線)で示す支持体12と、中央制御手段14と、レーザドライバ16と、スピナドライバ18と、レーザ光源20と、1/4波長板(λ/4板)22と、光路偏向手段26と、集光レンズ28と、主走査手段30とを有して構成される。
図1に示すインナードラム露光装置10(以下、露光装置10とする)は、感光材料Aを円弧状(円筒内面状)に保持して、この円弧の内側から周方向に走査した光ビームLによって感光材料Aを走査露光するものである。
このような露光装置10は、基本的に、図中に想像線(二点鎖線)で示す支持体12と、中央制御手段14と、レーザドライバ16と、スピナドライバ18と、レーザ光源20と、1/4波長板(λ/4板)22と、光路偏向手段26と、集光レンズ28と、主走査手段30とを有して構成される。
中央制御手段14は、CPU等を有して構成されるもので、露光装置10全体の駆動や動作を制御する。また、中央制御手段14は、レーザドライバ16に、記録する画像に応じたレーザ光源20の駆動信号を供給し、さらに、スピナドライバ18に、主走査手段30におけるスピナミラー36の回転および副走査の指示を出す。
レーザドライバ16は、レーザ光源20に応じた公知のレーザドライバであり、中央制御手段14から供給された駆動信号に応じて、レーザ光源20を駆動して、記録する画像に応じて変調した光ビームLを出射させる。
後述するが、露光装置10では、主走査手段30は、スピナミラー36を回転しつつ支持体12の円弧状の内周面の中心線方向に移動する(副走査方向に副走査する)。スピナドライバ18は、中央制御手段14からの指示に応じて、主走査手段30のモータ38を回転させ、また、副走査させる。
レーザドライバ16は、レーザ光源20に応じた公知のレーザドライバであり、中央制御手段14から供給された駆動信号に応じて、レーザ光源20を駆動して、記録する画像に応じて変調した光ビームLを出射させる。
後述するが、露光装置10では、主走査手段30は、スピナミラー36を回転しつつ支持体12の円弧状の内周面の中心線方向に移動する(副走査方向に副走査する)。スピナドライバ18は、中央制御手段14からの指示に応じて、主走査手段30のモータ38を回転させ、また、副走査させる。
支持体(ドラム)12は、円弧状の内周面(円筒内面状の内面)を有するもので、この内周面に、感光材料Aを密着させて保持する。
なお、支持体12における感光材料Aの保持(固定)は、吸引を利用する方法、静電気を利用する方法、磁石や嵌合等を利用する固定部材を用いる方法など、インナードラム型(円筒内面走査型)の露光装置で利用されている公知の方法によればよい。また、支持体12への感光材料Aの供給および排出は、手動で行なっても、インナードラム型の露光装置で利用されている公知の方法を用いて自動で行なってもよい。
なお、支持体12における感光材料Aの保持(固定)は、吸引を利用する方法、静電気を利用する方法、磁石や嵌合等を利用する固定部材を用いる方法など、インナードラム型(円筒内面走査型)の露光装置で利用されている公知の方法によればよい。また、支持体12への感光材料Aの供給および排出は、手動で行なっても、インナードラム型の露光装置で利用されている公知の方法を用いて自動で行なってもよい。
レーザ光源20は、直線偏光のレーザ光を出射するレーザ光源であって、レーザドライバ16によって変調駆動され、記録する画像に応じて変調した光ビームLを出射する。
レーザ光源20としては、直線偏光の光ビームLを出射できる各種のレーザ光源が利用可能である。一例として、中心光強度が高く、中心から離れるにしたがって光強度が漸減する光強度分布を有する、単一横モード半導体レーザが例示される。
レーザ光源20としては、直線偏光の光ビームLを出射できる各種のレーザ光源が利用可能である。一例として、中心光強度が高く、中心から離れるにしたがって光強度が漸減する光強度分布を有する、単一横モード半導体レーザが例示される。
ここで、図示例の露光装置10において、レーザ光源20が、光源部における光ビーム出射部を形成する。
本発明において、光ビーム出射部は、主走査手段に所定の光路で光ビームを入射する、光ビーム光学系におけるにP偏光方向(およびS偏光方向)に対して、45°の角度の偏光方向の直線偏向の光ビームを出射して、1/4波長板22に入射する。
本発明において、光ビーム出射部は、主走査手段に所定の光路で光ビームを入射する、光ビーム光学系におけるにP偏光方向(およびS偏光方向)に対して、45°の角度の偏光方向の直線偏向の光ビームを出射して、1/4波長板22に入射する。
図示例においては、レーザ光源20を自身が出射する光ビームLの光軸を回転軸として回転して、出射する光ビームLの直線偏光の方向の角度を調整して配置することにより、光路偏向手段26(反射ミラー26aおよび反射ミラー26b)のP偏光方向に対して45°の角度の偏光方向の直線偏光の光ビームLを出射する。
なお、本例においては、光ビーム出射部は、レーザ光源20(光ビーム光源)のみで構成されるのに限定はされず、必要に応じて、光路偏向用の反射ミラー、ビームエクスパンダ、光変調手段等の各種光学素子を有してもよい。この際には、光ビーム出射部(1/4波長板22よりも上流)全体を回転して、光路偏向手段26のP偏光方向に対して45°の直線偏光の光ビームLを出射すればよい。
なお、本例においては、光ビーム出射部は、レーザ光源20(光ビーム光源)のみで構成されるのに限定はされず、必要に応じて、光路偏向用の反射ミラー、ビームエクスパンダ、光変調手段等の各種光学素子を有してもよい。この際には、光ビーム出射部(1/4波長板22よりも上流)全体を回転して、光路偏向手段26のP偏光方向に対して45°の直線偏光の光ビームLを出射すればよい。
また、本発明において、光路偏光手段26(光ビーム光学系の反射ミラー)のP偏光方向に対して45°の偏光方向の直線偏光の光ビームLを出射する光ビーム出射部は、光軸を中心に光ビーム出射部を回転して、直線偏光方向の角度を調整する、図示例に限定はされず、各種の構成が利用可能である。
好適な一例として、少なくとも1枚の反射ミラーによる偏向によって偏光方向を変える反射光学系を用いて、レーザ光源20(光ビーム光源)が出射した直線偏光の光ビームの偏光方向を調整して、光路偏向手段26のP偏光方向に対して45°の偏光方向の直線偏光の光ビームLを出射する光ビーム出射部が例示される。
また、別の好適な例として、光ビーム出射部(1/4波長板22よりも上流)に1/2波長板(λ/2板)を配置して、光ビームLの直線偏光の方向を回転調整して、光路偏向手段26のP偏光方向に対して45°の偏光方向の直線偏光の光ビームLを出射する光ビーム出射部も利用可能である。
また、別の好適な例として、光ビーム出射部(1/4波長板22よりも上流)に1/2波長板(λ/2板)を配置して、光ビームLの直線偏光の方向を回転調整して、光路偏向手段26のP偏光方向に対して45°の偏光方向の直線偏光の光ビームLを出射する光ビーム出射部も利用可能である。
レーザ光源20が出射した光ビームLは、次いで、1/4波長板22に入射する。図示例においては、レーザ光源20と1/4波長板22とで、光源部が形成される。
1/4波長板22は、結晶光軸の方向(o(ordinary)およびeo(extra ordinary))を光ビーム光学系の光路偏向手段26(反射ミラー26aおよび反射ミラー26b)のP偏光方向およびS偏光方向と一致し、かつ、結晶光軸(図示例では、S偏光方向と一致する結晶光軸方向)を軸に傾斜して配置される。なお、本発明において、1/4波長板22が傾斜するとは、光ビームLの光軸(以下、ビーム光軸とする)と直交する面に対して傾斜する(言い換えれば、1/4波長板22の法線とビーム光軸とが角度を有する)ことを示すものである。また、1/4波長板22は、結晶光軸ではなく、結晶光軸と直交する方向を軸に傾斜してもよい。
前述のように、レーザ光源20(光ビーム出射部)Lは、光路偏向手段26のP偏光方向に対して45°の偏光方向を有する直線偏光の光ビームを出射する。すなわち、1/4波長板22の結晶光軸は、この偏光方向に対して45°の角度となる。従って、ビーム光軸に対して傾けて配置された1/4波長板22に入射した光ビームLは、ここで、楕円偏光の光ビームLに変換される。
前記レーザ光源20が出射する光ビームの直線偏光の方向、および、1/4波長板22に関しては、後に詳述する。
前述のように、レーザ光源20(光ビーム出射部)Lは、光路偏向手段26のP偏光方向に対して45°の偏光方向を有する直線偏光の光ビームを出射する。すなわち、1/4波長板22の結晶光軸は、この偏光方向に対して45°の角度となる。従って、ビーム光軸に対して傾けて配置された1/4波長板22に入射した光ビームLは、ここで、楕円偏光の光ビームLに変換される。
前記レーザ光源20が出射する光ビームの直線偏光の方向、および、1/4波長板22に関しては、後に詳述する。
1/4波長板22で変換された光ビームは、次いで、光路偏向手段26に入射する。
図示例の露光装置10においては、この光路偏向手段26と集光レンズ28とで、所定の光路で光ビームLを主走査手段30に入射する光ビーム光学系が形成される。
図示例の露光装置10においては、この光路偏向手段26と集光レンズ28とで、所定の光路で光ビームLを主走査手段30に入射する光ビーム光学系が形成される。
光路偏向手段26は、対を成す2枚の反射ミラー26aおよび反射ミラー26bから構成される。この光路偏向手段26において、反射ミラー26aおよび反射ミラー26bは、共に光ビームLの光軸に対して45°で、互いの反射面を対面して反射面の延長面が成す角度が90°となるように配置される。従って、光ビームLは、この光路偏向手段26の2枚の反射ミラー26aおよび反射ミラー26bにって、90°ずつ光路を偏向されることにより、光路を180°折り返され、入射前とは逆の方向に進行する。
この光路偏向手段26は、前述のように光ビームLの光路を180°折り返して、支持体12の円弧状の内周面の中心線(円筒の中心線)を進行する所定の光路として集光レンズ28を経て主走査手段30に入射させる。以下の説明では、この円弧状の内周面の中心線を、単に「中心線」とする。
この光路偏向手段26の反射ミラー26aおよび反射ミラー26bによる反射によって、楕円偏光の光ビームLは、円偏光の光ビームLに変換される。この点に関しては、後に詳述する。
この光路偏向手段26は、前述のように光ビームLの光路を180°折り返して、支持体12の円弧状の内周面の中心線(円筒の中心線)を進行する所定の光路として集光レンズ28を経て主走査手段30に入射させる。以下の説明では、この円弧状の内周面の中心線を、単に「中心線」とする。
この光路偏向手段26の反射ミラー26aおよび反射ミラー26bによる反射によって、楕円偏光の光ビームLは、円偏光の光ビームLに変換される。この点に関しては、後に詳述する。
集光レンズ28は、中心線に光軸を合わせて配置され、光路偏光手段26によって反射されて中心線上を進行する光ビームLを集光して、支持体12の内周面において所定サイズのビームスポットとする。
集光レンズ28によって集光された光ビームLは、前述のように中心線上を進行して、次いで、主走査手段30に入射する。
図2に、主走査手段30の概略図を示す。主走査手段30は、ビームディスプレイサ34と、スピナミラー36と、モータ38と、ホルダ40とから構成されるものである。
図2に、主走査手段30の概略図を示す。主走査手段30は、ビームディスプレイサ34と、スピナミラー36と、モータ38と、ホルダ40とから構成されるものである。
ビームディスプレイサ34は、一軸性結晶からなるプリズム等を用いて、光の偏光を利用して、図3に模式的に示すように、円偏光の光ビームLを、等光量でかつ平行な、常光線Poと異常光線Peとの2本の光ビームに分割する光学素子である。
また、図示例において、ビームディスプレイサ34は、常光線Poと異常光線Peの2本の光ビームスポット(感光材料上におけるスポット)を、一部、重ねるように、光ビームLを常光線Poと異常光線Peとに分割する。図示例の露光装置10においては、これにより、感光材料Aに入射する光ビームを、ビームスポットのエッジ部における光量の立ち上がりが急峻で、かつ、2本の光ビームによる矩形に近い形状を有する合成ビームスポットとして、より高画質な画像記録を可能にしている。
また、図示例において、ビームディスプレイサ34は、常光線Poと異常光線Peの2本の光ビームスポット(感光材料上におけるスポット)を、一部、重ねるように、光ビームLを常光線Poと異常光線Peとに分割する。図示例の露光装置10においては、これにより、感光材料Aに入射する光ビームを、ビームスポットのエッジ部における光量の立ち上がりが急峻で、かつ、2本の光ビームによる矩形に近い形状を有する合成ビームスポットとして、より高画質な画像記録を可能にしている。
一例として、光ビームの波長が405nmで、シフト量(常光線Poと異常光線Peとの分割幅)を5.5μmとする場合には、ビームディスプレイサ34の一軸性結晶として水晶を利用し、その厚みを約0.904mmとすればよい。水晶は、材料的に安定で低コストであり、円の直径が30mmの大きさにも対応可能であるという利点を有する。
例えば光ビームLとして半値幅が5μmのガウスビームを用い、上記条件で光ビームLを等光量かつ平行な常光線Poと異常光線Peの2本の光ビームに分割することにより、半値幅が5μmの光ビームを分割して一方を5.5μmシフトして、2つの光ビームの一部を重ねた状態とでき、これにより、矩形に近い合成ビームスポット形状を有し、かつ、エッジ部における光量の立ち上がりが急峻なビームスポットを得ることができる。
なお、本発明において、ビームディスプレイサ34は上記の物に限定はされず、露光装置において目的とする光ビームの分離に応じた各種の公知のものが利用可能である。
例えば光ビームLとして半値幅が5μmのガウスビームを用い、上記条件で光ビームLを等光量かつ平行な常光線Poと異常光線Peの2本の光ビームに分割することにより、半値幅が5μmの光ビームを分割して一方を5.5μmシフトして、2つの光ビームの一部を重ねた状態とでき、これにより、矩形に近い合成ビームスポット形状を有し、かつ、エッジ部における光量の立ち上がりが急峻なビームスポットを得ることができる。
なお、本発明において、ビームディスプレイサ34は上記の物に限定はされず、露光装置において目的とする光ビームの分離に応じた各種の公知のものが利用可能である。
また、図示例においては、主走査手段30は、図3に示すように、スピナミラー36に光ビームLが入射する面と、ビームディスプレイサ34の一軸性結晶における結晶光軸と、法線とを含む平面が、同一面となるように、ビームディスプレイサ34の一軸性結晶を配置する。言い換えれば、スピナミラー36に入射する光ビームLの光軸とスピナミラー36によって反射された光ビームLの光軸とが成す面内に、結晶光軸が存在するようにビームディスプレイサ34の一軸性結晶を配置する。
これにより、光ビームLを、中心線の方向(副走査方向)に常光線Poと異常光線Peとを分離した2つの光ビームとできる。これにより、ビームスポットを副走査方向に長尺な矩形(長方形)状の形状とでき、副走査方向に走査線が離間してしまうことによる画質劣化等を確実に防止して、より高画質な画像記録が可能になる。
これにより、光ビームLを、中心線の方向(副走査方向)に常光線Poと異常光線Peとを分離した2つの光ビームとできる。これにより、ビームスポットを副走査方向に長尺な矩形(長方形)状の形状とでき、副走査方向に走査線が離間してしまうことによる画質劣化等を確実に防止して、より高画質な画像記録が可能になる。
ビームディスプレイサ34で分割された2本の光ビームは、次いで、光偏向器であるスピナミラー36に入射して、偏向/走査される。
スピナミラー36は、反射面の一部(図示例では反射面の中心位置)を前記中心線に位置して、中心線に対して45°の角度でモータ38の回転軸38aの先端に固定される。モータ38は、中心線を中心に、回転軸38aを回転する。
従って、スピナミラー36に入射した光ビームは、スピナミラー36によって支持体の内周面に反射され、図中矢印bで示す、この内周面の周方向に走査される(主走査方向に主走査される)。
スピナミラー36は、反射面の一部(図示例では反射面の中心位置)を前記中心線に位置して、中心線に対して45°の角度でモータ38の回転軸38aの先端に固定される。モータ38は、中心線を中心に、回転軸38aを回転する。
従って、スピナミラー36に入射した光ビームは、スピナミラー36によって支持体の内周面に反射され、図中矢印bで示す、この内周面の周方向に走査される(主走査方向に主走査される)。
図中に想像線(二点鎖線)で示すホルダ40は、モータ38の回転軸38aに固定される筒状の物であり、上流側にビームディスプレイサ34を保持している。従って、ビームディスプレイサ34とスピナミラー36とは一体的に回転され、互いの位置関係が変わることはない。そのため、2本の光ビームは常に副走査方向に分離される。
なお、ホルダ40のスピナミラー36による光ビームLの反射方向(分離された2本の光ビームの光路)には、光ビームLが通過するための開口40aが形成される。
なお、ホルダ40のスピナミラー36による光ビームLの反射方向(分離された2本の光ビームの光路)には、光ビームLが通過するための開口40aが形成される。
また、図示は省略するが、露光装置10には、主走査手段30および集光レンズ28を一体的にして、図中矢印cで示す中心線の延在方向(副走査方向)に移動する副走査手段が配置される。なお、この副走査手段は、スピナドライバ18からの指示に応じて、主走査手段30および集光レンズ28の副走査を行なうのは、前述の通りである。
前述のように、光ビームは、スピナミラー36(主走査手段30)によって、支持体12の内周面の周方向に主走査されているので、この副走査手段による中心線方向への副走査により、支持体12の内周面に保持された感光材料Aの全面を二次元的に走査露光することができる。
なお、副走査手段には、特に限定はなく、ネジ伝動による方法等、公知の直線移動方法が各種利用可能である。
前述のように、光ビームは、スピナミラー36(主走査手段30)によって、支持体12の内周面の周方向に主走査されているので、この副走査手段による中心線方向への副走査により、支持体12の内周面に保持された感光材料Aの全面を二次元的に走査露光することができる。
なお、副走査手段には、特に限定はなく、ネジ伝動による方法等、公知の直線移動方法が各種利用可能である。
前述のように、図示例の露光装置10は、ビームディスプレイサ34によって光ビームLを副走査方向に分離して、一部を重ねた2本の光ビームとする。露光装置10は、この光ビームの分離により、エッジ部での光量の立ち上がりが急峻で、副走査方向に長尺な矩形に近い形状の合成ビームスポットによって、より高画質な画像記録を可能にしている。
前述のように、光の偏光を利用して光ビームを分離するインナードラム型の露光装置では、主走査方向の位置によらず常に適正な光ビームの分離を行なうためには、光ビームを分離する分離素子(その一軸性結晶)の結晶軸方向、光ビームの偏光方向、および光ビームを主走査する偏光素子の位置関係を常に一定とする必要が有る。そのため、このような露光装置では、分離素子と偏光素子とを一体的にした主走査手段30を用い、この主走査手段に円偏光の光ビームを入射する。
ところが、インナードラム型の露光装置では、例えば1/4波長板で円偏光とした光ビームを、直接、主走査手段に入射できることは稀である。すなわち、小型化や設計上の都合等により、通常は、光路偏向用の反射ミラーによって、光ビームの光路を何回か偏向し、その後、中心線を進む所定の光路で主走査手段に入射する。
図示例の露光装置10においても、1/4波長板22で変換した光ビームLを、2枚の反射ミラー26aおよび26bからなる光路偏向手段26によって光路を180°折り返して、中心線を進む所定の光路で光ビームLを主走査手段30(および集光レンズ28)に入射させる。
ところが、前述のように、円偏光の光ビームを反射ミラーで反射させると、S偏光の成分とP偏光の成分とで位相差(リタデーション)を生じるため、光ビームが楕円偏光に変換されてしまう。
図示例の露光装置10においても、1/4波長板22で変換した光ビームLを、2枚の反射ミラー26aおよび26bからなる光路偏向手段26によって光路を180°折り返して、中心線を進む所定の光路で光ビームLを主走査手段30(および集光レンズ28)に入射させる。
ところが、前述のように、円偏光の光ビームを反射ミラーで反射させると、S偏光の成分とP偏光の成分とで位相差(リタデーション)を生じるため、光ビームが楕円偏光に変換されてしまう。
図示例の露光装置10において、円偏光ではなくて楕円偏光の光ビームLが主走査手段30のビームディスプレイサ34に入射すると、ビームディスプレイサ34を構成する一軸性結晶の結晶光軸と、光ビームの偏光方向との関係が一定にならない。
その結果、主走査手段30による偏光方向(光ビームの主走査方向の位置)によって、ビームディスプレイサ34によって分割される2つの光ビーム(常光線Poと異常光線Pe)の光量が等光量にならず、一部を重ねる2本の光ビームによって形成される合成ビームスポットに不適正な光量分布が生じてしまい、画質劣化の原因となってしまう。
その結果、主走査手段30による偏光方向(光ビームの主走査方向の位置)によって、ビームディスプレイサ34によって分割される2つの光ビーム(常光線Poと異常光線Pe)の光量が等光量にならず、一部を重ねる2本の光ビームによって形成される合成ビームスポットに不適正な光量分布が生じてしまい、画質劣化の原因となってしまう。
また、前述の図6に示す、個々に変調された直線偏光の光ビームを合波/円偏光化して、ウォラストンプリズム等で個々の光ビームに分離してマルチビームの露光を行なう露光装置200では、ウォラストンプリズム等で分離した光ビームに、他方の光ビームの迷光が乗ってしまい、消光比が悪くなってしまうのは、前述のとおりである。
本発明のインナードラム露光装置は、このような不都合を解消するために、前述のように、光源部が、光ビーム光学系を構成する光路偏向手段26(反射ミラー26aおよび反射ミラー26b)におけるP偏光方向(およびS偏光方向)に対して、45°の偏光方向を有する直線偏光の光ビームLを出射するレーザ光源20(光ビーム出射部)と、結晶光軸が光路偏光手段26におけるP偏光方向およびS偏光方向と一致し、かつ結晶光軸(図示例では、S偏光方向と一致する結晶光軸)を軸に傾けて配置される、1/4波長板22とを有する。
前述のように、露光装置10において、光路偏光手段26は、光ビームLの光路を90°偏向する反射ミラー26aおよび反射ミラー26bによって、光ビームLの光路を180°折り返す、前記図7と同様の光学系である。
すなわち、反射ミラー26aおよび反射ミラー26bは、P偏光方向およびS偏光方向が一致しており、かつ、円偏光の光ビームLが入射されると、前述のように、位相シフトによって、P偏光方向(およびS偏光方向)に対して45°の角度で長軸(および短軸)を有する楕円偏光に変換される。
すなわち、反射ミラー26aおよび反射ミラー26bは、P偏光方向およびS偏光方向が一致しており、かつ、円偏光の光ビームLが入射されると、前述のように、位相シフトによって、P偏光方向(およびS偏光方向)に対して45°の角度で長軸(および短軸)を有する楕円偏光に変換される。
露光装置10においては、図4(A)に模式的に示すように、レーザ光源20(光ビーム出射部)は、矢印aで示すように、光路偏向手段26(反射ミラー26aのみを示す)のP偏光方向に対して45°の偏光方向を有する直線偏光の光ビームLを出射する。従って、光路偏向手段26のP偏向方向およびS偏向方向と一致する1/4波長板22の結晶光軸(oおよびeo)は、この偏光方向に対して45°の角度となる。
さらに、1/4波長板22は、S偏光方向を軸にして、P偏光方向と対応する結晶光軸とが平行にならない方向に角度θで傾けて配置されている。
さらに、1/4波長板22は、S偏光方向を軸にして、P偏光方向と対応する結晶光軸とが平行にならない方向に角度θで傾けて配置されている。
直線偏光の光ビームが、偏光方向とが45°の結晶光軸を有し、かつ、ビーム光軸と法線とを一致して配置される1/4波長板を通過すると、円偏光の光ビームに変換される。
しかしながら、露光装置10では、1/4波長板22が傾斜して配置されている。そのため、レーザ光源20から出射された、光路偏光手段26のP偏光方向(および1/4波長板22の結晶光軸)に対して45°の直線偏光の光ビームLは、この1/4波長板22を通過することで、P偏光成分およびS偏光成分に光路偏向手段26とは逆の位相差を生じ、図4(B)に示すように、光路偏向手段26で生じる楕円偏光化(前記図7参照)とは逆に傾斜する楕円偏光の光ビームLとなる。
さらに、この角度θを調整することにより、楕円偏向の傾斜角度(P偏向方向に対する傾斜角度)を調整することができる。
しかしながら、露光装置10では、1/4波長板22が傾斜して配置されている。そのため、レーザ光源20から出射された、光路偏光手段26のP偏光方向(および1/4波長板22の結晶光軸)に対して45°の直線偏光の光ビームLは、この1/4波長板22を通過することで、P偏光成分およびS偏光成分に光路偏向手段26とは逆の位相差を生じ、図4(B)に示すように、光路偏向手段26で生じる楕円偏光化(前記図7参照)とは逆に傾斜する楕円偏光の光ビームLとなる。
さらに、この角度θを調整することにより、楕円偏向の傾斜角度(P偏向方向に対する傾斜角度)を調整することができる。
従って、1/4波長板22によって楕円偏光に変換された光ビームLは、光路偏向手段26の反射ミラー26aおよび反射ミラー26bによって反射されて光路を偏向されることで、前述のようにP偏光方向およびS偏光方向に1/4波長板22とは逆の位相差を生じて、図4(B)に示すように、楕円偏向から円偏光に変換される。
そのため、本発明の露光装置10によれば、適正な円偏光の光ビームLを主走査手段30に入射することができ、適正に分割された2本の光ビームによって、高画質な画像を記録することができる。
前述のように、図示例の露光装置10では、光ビーム光学系を構成する光路偏光手段26の反射ミラー26aおよび26bは、P偏光方向とS偏光方向とが一致している。そのため、レーザ光源20は、このP偏光方向に対して45°の偏光方向の直線偏光の光ビームを出射し、かつ、1/4波長板22は、このP偏光方向およびS偏光方向に結晶光軸を合わせて配置すればよい。
しかしながら、露光装置の構成や設計上の制約等によっては、主走査手段30に光ビームを入射させる光ビーム光学系に配置される反射ミラーのP偏光方向およびS偏光方向が、各反射ミラーで異なる場合も有る。
このような場合には、位相シフトが複雑になるものの、結果的には、楕円偏光の長軸方向の傾斜角度と楕円率が変わるだけであるので、各反射ミラー26を通過した後の楕円偏光の長軸方向に対して45°傾斜する方向を、光ビーム光学系におけるP偏向方向と見なして、光ビームの偏光や1/4波長板22の結晶光軸の方向を設定すればよい。
しかしながら、露光装置の構成や設計上の制約等によっては、主走査手段30に光ビームを入射させる光ビーム光学系に配置される反射ミラーのP偏光方向およびS偏光方向が、各反射ミラーで異なる場合も有る。
このような場合には、位相シフトが複雑になるものの、結果的には、楕円偏光の長軸方向の傾斜角度と楕円率が変わるだけであるので、各反射ミラー26を通過した後の楕円偏光の長軸方向に対して45°傾斜する方向を、光ビーム光学系におけるP偏向方向と見なして、光ビームの偏光や1/4波長板22の結晶光軸の方向を設定すればよい。
本発明は、図1に示すような、1本の光ビームを分離した2本の光ビームで合成ビームスポットを構成して、高画質化を図る露光装置10に限定はされず、偏向によって光ビームを分離して露光を行なう、各種のインナードラム型の露光装置に利用可能である。
例えば、前述の特許文献1に開示される、個々に変調された直線偏光の光ビームを合波/円偏光化して、主走査手段のウォラストンプリズム等で個々の光ビームに分離してマルチビームの露光を行なう露光装置にも、好適に利用可能である。
例えば、前述の特許文献1に開示される、個々に変調された直線偏光の光ビームを合波/円偏光化して、主走査手段のウォラストンプリズム等で個々の光ビームに分離してマルチビームの露光を行なう露光装置にも、好適に利用可能である。
図5に、その一例を示す。なお、図6に示す例は、先と同様の光路偏向手段26を有する以外は、前記図6の露光装置200と同様であるので、同じ部材には、同じ符号を付し、説明は、異なる部分を主に行なう。
図5に示すインナードラム露光装置50において、前述のように、光源部204は、光源210から出射して、ハーフプリズム212で分割した直線偏光の光ビームL1およびL2を、変調器214および216で独立して変調した後に、1/2波長板224によって光ビームL1の偏光方向を変換して、互いに直交する偏光方向を有する直線偏光の2本の光ビームとする。次いで、この2本の光ビームを偏光ビームスプリッタ220で合波して光軸が一致する見かけ上1本の光ビーム(合成ビームLc)とする。
ここで、露光装置50においては、光路偏向手段26(反射ミラー26aおよび反射ミラー26b)のP偏光方向に対して、偏光方向が45°の直線偏光の合成ビームLcとなるように、合成ビームLcのビーム光軸に対して回転するように角度を調整して、光源210〜偏光ビームスプリッタ220までの光学系が配置される。すなわち、図5に示す露光装置50においては、光源210〜偏光ビームスプリッタ220までの光学系が、光ビーム出射部となる。
ここで、露光装置50においては、光路偏向手段26(反射ミラー26aおよび反射ミラー26b)のP偏光方向に対して、偏光方向が45°の直線偏光の合成ビームLcとなるように、合成ビームLcのビーム光軸に対して回転するように角度を調整して、光源210〜偏光ビームスプリッタ220までの光学系が配置される。すなわち、図5に示す露光装置50においては、光源210〜偏光ビームスプリッタ220までの光学系が、光ビーム出射部となる。
偏光ビームスプリッタ220で合波された合成ビームLcは、結晶光軸の方向を光路偏向手段26(反射ミラー26aおよび反射ミラー26b)のP偏光方向およびS偏光方向と一致し、かつ、S偏光方向と一致する結晶光軸方向を軸に傾斜して配置される1/4波長板226を通過して、互いに、傾斜方向および回転方向(進行方向に対して右回転と左回転)が異なる、楕円偏光の光ビームに変換される。
このような光源部204(1/4波長板226)から出射された楕円偏光の合成ビームLcは、次いで、光ビーム光学系52において、まず、ビームエクスパンダ230によって広径され、次いで、光路偏向手段26によって光路を偏向され、支持体202の中心線を進行する所定の光路とされる。
ここで、この楕円偏光の合成ビームLcは、この光路偏向手段26の反射ミラー26aおよび反射ミラー26bによって反射されて光路を偏向されることで、前述のようにP偏光方向およびS偏光方向に1/4波長板226とは逆の位相差を生じて、楕円偏向から円偏光に変換される。
ここで、この楕円偏光の合成ビームLcは、この光路偏向手段26の反射ミラー26aおよび反射ミラー26bによって反射されて光路を偏向されることで、前述のようにP偏光方向およびS偏光方向に1/4波長板226とは逆の位相差を生じて、楕円偏向から円偏光に変換される。
光路偏向手段26によって支持体202の中心線を進行する所定の光路とされた合成ビームLcは、集光レンズ232を経て、主走査手段206に入射する。主走査手段206に入射した合成ビームLcは、スピナミラー234によって支持体202の内面に向けて反射され、1/4波長板236によって円偏光から直線偏向の光ビームに変換されて、ウォラストンプリズム238によって合成ビームLcから個々の光ビームL1および光ビームL2に分離されて、支持体202に保持された感光材料Aに入射する。なお、図示例においては、ウォラストンプリズム238は、光ビームL1および光ビームL2を分離して互いに異なる角度で進行させるが、本発明は、これに限定はされず、分離素子は、合成ビームLcから分離した個々の光ビームL1および光ビームL2を平行に進行させるものであってもよい。
ここで、主走査手段206は、図示しない駆動源によって中心線を中心に回転するので、スピナミラー234で反射された光ビームは支持体202の内周面の周方向(主走査方向)に主走査され、かつ、走査手段206および集光レンズ232は、図示しない副走査手段によって中心線方向(副走査方向)に副走査されるので、感光材料Aは光ビームL1および光ビームL2によって、二次元的に全面を走査される。
また、この露光装置50においても、適正な円偏光の合成ビームLcを主走査手段206に入射できるので、1/4波長板236で合成ビームLcを適正な直線偏光に変換して、ウォラストンプリズム238で迷光を生じることなく適正に光ビームL1および光ビームL2に分離することができるので、良好な消光比でマルチビーム露光を行なって、高画質な画像を記録することができる。
以上、本発明のインナードラム露光装置について詳細に説明したが、本発明は上記実施例に限定はされず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変更を行なってもよいのは、もちろんである。
例えば、図5に示す露光装置は、光ビーム(合成ビーム)の分離素子としてウォラストンプリズムを用いているが、本発明は、これに限定はされず、ロションプリズムやセナルモンプリズム、光ビームを平行に分離するビームディスプレイサ等、光ビームを複数に分離する公知の各種の光ビームの分離素子が利用可能である。
例えば、図5に示す露光装置は、光ビーム(合成ビーム)の分離素子としてウォラストンプリズムを用いているが、本発明は、これに限定はされず、ロションプリズムやセナルモンプリズム、光ビームを平行に分離するビームディスプレイサ等、光ビームを複数に分離する公知の各種の光ビームの分離素子が利用可能である。
10,50,200 (インナードラム)露光装置
12,202 支持体
14 中央制御手段
16 レーザドライバ
18 スピナドライバ
20,210 光源
22,226,238 1/4波長板
26 光路偏向手段
26a,26b,218,222 反射ミラー
28,232 集光レンズ
30,206 主走査手段
34 ビームディスプレイサ
36,234 スピナミラー
38 モータ
40 ホルダ
52,208 光ビーム光学系
204 光源部
212 ハーフプリズム
214,216 変調器
220 偏光ビームスプリッタ
224 1/2波長板
230 ビームエクスパンダ
238 ウォラストンプリズム
12,202 支持体
14 中央制御手段
16 レーザドライバ
18 スピナドライバ
20,210 光源
22,226,238 1/4波長板
26 光路偏向手段
26a,26b,218,222 反射ミラー
28,232 集光レンズ
30,206 主走査手段
34 ビームディスプレイサ
36,234 スピナミラー
38 モータ
40 ホルダ
52,208 光ビーム光学系
204 光源部
212 ハーフプリズム
214,216 変調器
220 偏光ビームスプリッタ
224 1/2波長板
230 ビームエクスパンダ
238 ウォラストンプリズム
Claims (6)
- 光ビームを出射する光源部と、
円弧状の内周面を有し、この内周面に記録媒体を保持する支持体と、
前記光ビームを前記支持体の内周面に向けて反射する偏向面を有し、この偏向面を前記支持体の内周面の中心線を中心に回転することにより、前記光ビームを前記支持体の内周面の周方向と一致する主走査方向に走査する偏向素子、および、前記偏向素子と一体的に回転する、前記光ビームを複数に分離する分離素子を有する主走査手段と、
前記主走査手段および支持体を、前記支持体の内周面の中心線方向と一致する副走査方向に相対的に移動する副走査手段と、
前記光源部から出射された光ビームを少なくとも1つの反射ミラーで偏向して所定の光路で前記主走査手段に入射させる光ビーム光学系とを有し、
かつ、前記光源部は、前記光ビーム光学系におけるP偏光方向に対して45°の角度の直線偏光の光ビームを出射する光ビーム出射部、および、結晶光軸方向を前記光ビーム光学系におけるS偏光方向もしくはP偏光方向と一致し、かつ、一方の結晶光軸方向あるいはこれと直交する方向を軸に、光ビームの光軸に対して傾斜して配置される、前記光ビーム出射部が出射した直線偏光の光ビームを楕円偏光の光ビームに変換する1/4波長板を有することを特徴とするインナードラム露光装置。 - 前記光ビーム出射部は、直線偏光の光ビームを出射する光ビーム光源を、直線偏光の方向が前記光ビーム光学系におけるP偏光方向に対して45°となるように配置したものである請求項1に記載のインナードラム露光装置。
- 前記光ビーム出射部は、直線偏光の光ビームを出射する光ビーム光源、および、前記光ビーム光源を反射して、前記光ビーム光源が出射した光ビームを偏向して、この光ビーム直線偏光方向を前記光ビーム光学系におけるP偏光方向に対して45°とする、少なくとも1枚の反射ミラーが配置された反射光学系を有する請求項1に記載のインナードラム露光装置。
- 前記光ビーム出射部は、直線偏光の光ビームを出射する光ビーム光源、および、前記光ビーム光源が出射した光ビームの直線偏光方向を回転して、前記前記光ビーム光学系におけるP偏光方向に対して45°とする1/2波長板を有する請求項1に記載のインナードラム露光装置。
- 前記分離素子が、1軸性結晶を用い、前記光ビームを、等光量かつ平行で、さらにビームスポットの一部を重ねる、前記主走査方向に同位置で副走査方向に分離した常光線および異常光線とするものである請求項1〜4のいずれかに記載のインナードラム露光装置。
- 前記光源部が、互いに独立して変調され互いに回転方向が異なる円偏光の2本の光ビームを合波して出射するものであり、
前記主走査手段が、さらに、偏向素子および分離素子と一体的に回転する、円偏光の光ビームを直線偏光の光ビームとする1/4波長板を有し、前記分離素子が、前記1/4波長板によって直線偏光とされた2本の光ビームを、互いに異なる角度であるいは平行に進行して、前記主走査方向に同位置で副走査方向に分離した2本の光ビームとする請求項1〜4のいずれかに記載のインナードラム露光装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006085688A JP2007264064A (ja) | 2006-03-27 | 2006-03-27 | インナードラム露光装置 |
PCT/JP2007/056230 WO2007111307A1 (ja) | 2006-03-24 | 2007-03-26 | インナードラム露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006085688A JP2007264064A (ja) | 2006-03-27 | 2006-03-27 | インナードラム露光装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007264064A true JP2007264064A (ja) | 2007-10-11 |
Family
ID=38637150
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006085688A Withdrawn JP2007264064A (ja) | 2006-03-24 | 2006-03-27 | インナードラム露光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007264064A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018522292A (ja) * | 2015-07-31 | 2018-08-09 | エーエスエムエル ホールディング エヌ.ブイ. | アライメントシステムの光学システム |
-
2006
- 2006-03-27 JP JP2006085688A patent/JP2007264064A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018522292A (ja) * | 2015-07-31 | 2018-08-09 | エーエスエムエル ホールディング エヌ.ブイ. | アライメントシステムの光学システム |
US10732524B2 (en) | 2015-07-31 | 2020-08-04 | Asml Holding N.V. | Optical system of an alignment system |
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