JPH09288085A - 酸化物センサ - Google Patents

酸化物センサ

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JPH09288085A
JPH09288085A JP9025573A JP2557397A JPH09288085A JP H09288085 A JPH09288085 A JP H09288085A JP 9025573 A JP9025573 A JP 9025573A JP 2557397 A JP2557397 A JP 2557397A JP H09288085 A JPH09288085 A JP H09288085A
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electrode
gas
measured
chamber
oxide sensor
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Nobuhide Kato
伸秀 加藤
Kunihiko Nakagaki
邦彦 中垣
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NGK Insulators Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】被測定ガスに含まれる酸化物を極めて高精度に
測定することができ、しかも、小型で安価な酸化物セン
サを提供する。 【解決手段】第1室60における内側ポンプ電極64の
下流方向端部(第2の拡散律速部58側の端部)に対し
て、測定電極72を−3t≦d≦3tとなる距離d
(d:第1室60から第2室76に至る正方向に対する
下流方向端部からの測定電極72の距離、t:第1室6
0の高さ)に配設する。測定電極72を用いて第1室6
0内の酸素分圧を測定し、その測定値V1に基づいて主
ポンプセル68をフィードバック制御することで、第1
室60内の酸素分圧を制御した後、第2室62に被測定
ガスを導入し、検出電極82あるいは触媒により被測定
ガスに含まれる酸化物を分解し、それによって発生する
酸素分圧を測定して酸化物の濃度を求める。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、車両の排
出ガスや大気中に含まれるNO、NO2 、SO2、CO
2 、H2 O等の酸化物を測定する酸化物センサに関し、
好ましくは、NO、NO2 を測定する酸化物センサに関
する。
【0002】
【従来の技術】例えば、ガソリン車やディーゼルエンジ
ン車等の車両から排出される排出ガス中には、一酸化窒
素(NO)、二酸化窒素(NO2 )等の窒素酸化物(N
Ox)や、一酸化炭素(CO)、二酸化炭素(C
2 )、水(H2 O)、炭化水素(HC)、水素
(H2 )、酸素(O2 )等が含まれている。この場合、
NOはNOx全体の約80%を占め、また、NOとNO
2 とでNOx全体の約95%を占めている。
【0003】このような排出ガス中に含まれるHC、C
O、NOxを浄化する三元触媒は、理論空燃比(A/F
=14.6)近傍で最大の浄化効率を示し、A/Fを1
6以上に制御した場合には、NOxの発生量は減るが、
触媒の浄化効率が低下し、結果的に、NOxの排出量が
増える傾向がある。
【0004】ところで、昨今、化石燃料の有効利用、地
球温暖化防止のためのCO2 の排出量の抑制等の市場要
求が増大しており、これに対応するために燃費を向上さ
せる必要性が高まりつつある。このような要求に対し
て、例えば、リーン・バーン・エンジンの研究や、NO
x浄化触媒の研究等が行われつつあり、その中でもNO
xセンサのニーズが高まっている。
【0005】従来、このようなNOxを検出するものと
して、NOx分析計がある。このNOx分析計は、化学
発光分析法を用いてNOx固有の特性を測定するもので
あるが、装置自体がきわめて大がかりであり、高価とな
る不都合がある。また、NOxを検出するための光学系
部品を用いているため、頻繁なメンテナンスが必要であ
る。さらに、このNOx分析計は、NOxをサンプリン
グして測定するものであり、検出素子自体を流体内に直
接挿入することができず、従って、自動車の排出ガス等
のように、状況が頻繁に変動する過渡現象の解析には不
向きなものである。
【0006】そこで、これらの不具合を解消するものと
して、酸素イオン伝導性固体電解質からなる基体を用い
て排出ガス中の所望のガス成分を測定するようにしたセ
ンサが提案されている。
【0007】図11は、国際公開WO95/30146
号に開示されたガス分析装置の構成を示す。この装置
は、細孔2を介してNOを含む被測定ガスが導入される
第1室4と、細孔6を介して前記第1室4から被測定ガ
スが導入される第2室8とを備えている。前記第1室4
および前記第2室8を構成する壁面は、酸素イオンを透
過させることのできるジルコニア(ZrO2 )隔壁10
a、10bによって構成されている。第1室4および第
2室8の一方のZrO2 隔壁10aには、それぞれの室
内の酸素分圧を検出するための一対の測定電極12a、
12b、14a、14bが配設されている。また、他方
のZrO2 隔壁10bには、各室内のO2を室外に汲み
出すためのポンプ電極16a、16bおよび18a、1
8bが配設されている。
【0008】このように構成されたガス分析装置では、
細孔2を介して第1室4に導入された被測定ガスに含ま
れる酸素分圧が測定電極12a、12b間に生じる電位
差として電圧計20により検出され、前記電位差を所定
の値とすべく、ポンプ電極16a、16b間に電源22
により100〜200mVの電圧が印加され、これによ
って、第1室4内のO2 が当該装置外に汲み出される。
なお、この汲み出された酸素量は、電流計24によって
測定することができる。
【0009】一方、O2 の殆どが除去された被測定ガス
は、細孔6を介して第2室8に導入される。第2室8で
は、測定電極14a、14b間に生じる電位差を電圧計
26で検出することにより、当該室内の酸素分圧が測定
される。また、第2室8に導入された被測定ガス中に含
まれるNOは、ポンプ電極18a、18b間に電源28
によって印加された電圧により、 NO→(1/2)N2 +(1/2)O2 として分解され、そのとき発生するO2 が前記ポンプ電
極18a、18bによって室外に汲み出される。そのと
き発生する電流値を電流計30によって検出することに
より、被測定ガス中に含まれるNOの濃度が測定され
る。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記のよう
に構成されたガス分析装置では、被測定ガス中に含まれ
るO2 の濃度が高い場合、そのO2 を除去するために、
電圧計20により検出された電位差に基づきポンプ電極
16a、16b間に高い電圧が印加されることになり、
これによって第1室4内のO2 が必要以上に引かれてし
まう。この結果、第1室4内のNOと他のガスとの平衡
状態が崩れ、NOがポンプ電極16b上で分解されてし
まう事態が生じる。このような事態が生じると、第2室
8に導入された被測定ガスからNOの濃度を正確に測定
することができなくなってしまう。なお、O2 の濃度が
低い場合には、ポンプ電極16a、16b間の印加電圧
も低いため、NOの分解は起こり難いものと考えられ
る。
【0011】本発明は、前記の不都合を克服するために
なされたものであって、被測定ガスに含まれる酸化物を
極めて高精度に測定することができ、しかも、小型で安
価な酸化物センサを提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の本発明に
係る酸化物センサは、外部空間に接する固体電解質と該
固体電解質の内外に形成された内側ポンプ電極及び外側
ポンプ電極とを有し、かつ、前記外部空間から導入され
た被測定ガスに含まれる酸素を、前記電極間に印加され
る制御電圧に基づいてポンピング処理する主ポンプ手段
と、固体電解質と該固体電解質に形成された内側検出電
極と前記固体電解質の前記内側検出電極とは反対側に形
成された外側検出電極とを有し、かつ、前記主ポンプ手
段にてポンピング処理された後の被測定ガスに含まれる
酸素を、前記内側検出電極と前記外側検出電極間に印加
される測定用電圧に基づいてポンピング処理する測定用
ポンプ手段と、前記測定用ポンプ手段によりポンピング
処理される前記酸素の量に応じて生じるポンプ電流を検
出する電流検出手段と、固体電解質と前記主ポンプ手段
における前記内側ポンプ電極と対向するように前記固体
電解質に形成された内側測定電極と前記固体電解質の前
記内側測定電極とは反対側に形成された外側測定電極と
を有し、かつ、前記主ポンプ手段のポンピング処理によ
る酸素分圧と基準酸素分圧との差に応じて生じる酸素濃
淡電池起電力を測定する濃度測定手段と、前記濃度測定
手段にて検出される前記酸素濃淡電池起電力が所定の値
になるように前記制御電圧のレベルを調整する主ポンプ
制御手段とを具備し、前記主ポンプ手段におけるポンピ
ング処理空間の下流方向を正方向とし、該ポンピング処
理空間の高さをt、前記主ポンプ手段における前記内側
ポンプ電極の下流側端部と前記濃度測定手段における前
記内側測定電極の中心部との投影距離をdとしたとき、
−3t≦dを満足する位置に前記内側測定電極を配設
し、前記電流検出手段にて検出された前記ポンプ電流に
基づいて前記被測定ガス中の酸化物を測定するように構
成する。
【0013】これにより、まず、外部空間から導入され
た被測定ガスのうち、酸素が主ポンプ手段によってポン
ピング処理され、該酸素は所定濃度に調整される。前記
主ポンプ手段にて酸素の濃度が調整された被測定ガス
は、次の測定用ポンプ手段に導かれる。測定用ポンプ手
段は、内側検出電極と外側検出電極間に印加される測定
用電圧に基づいて、前記被測定ガスのうち、酸素をポン
ピング処理する。前記測定用ポンプ手段によりポンピン
グ処理される酸素の量に応じて該測定用ポンプ手段に生
じるポンプ電流が電流検出手段により検出されること
で、酸素量に応じた酸化物が測定される。
【0014】つまり、前記測定用ポンプ手段において、
前記内側検出電極及び外側検出電極間に前記酸化物を分
解するのに十分なポンプ電圧を印加するか、あるいは該
測定用ポンプ手段に前記酸化物を分解する酸化物分解触
媒を配設するようにすれば(請求項2記載の発明)、前
記制御電圧及び/又は前記酸化物分解触媒の作用により
分解された酸化物から生成された酸素がポンピング処理
され、それによって生じるポンプ電流が電流検出手段に
より検出されることで、酸素量に応じた酸化物が測定さ
れる。
【0015】このとき、前記濃度測定手段において、前
記主ポンプ手段でのポンピング処理時における前記被測
定ガスに含まれる酸素の量と前記外側測定電極側のガス
に含まれる酸素の量との差に応じた起電力が発生する。
そして、主ポンプ制御手段を通じ、前記起電力に基づい
て、前記主ポンプ手段における内側ポンプ電極と外側ポ
ンプ電極間に印加される制御電圧のレベルが調整され
る。
【0016】主ポンプ手段は、外部空間から導入された
被測定ガスのうち、酸素を制御電圧のレベルに応じた量
ほどポンピング処理する。前記レベル調整された制御電
圧の主ポンプ手段への供給によって、前記被測定ガスに
おける酸素の濃度は、所定レベルにフィードバック制御
されることとなる。
【0017】この場合、前記主ポンプ手段におけるポン
ピング処理空間の下流方向を正方向とし、該ポンピング
処理空間の高さをt、前記主ポンプ手段における前記内
側ポンプ電極の下流側端部と前記濃度測定手段における
前記内側測定電極の中心部との投影距離をdとしたと
き、−3t≦d、より好ましくは−3t≦d≦3t(請
求項5記載の発明)を満足する位置に前記内側測定電極
を配設することにより、主ポンプ手段にてポンピング処
理された後の酸素分圧を高精度に測定することができ、
主ポンプ制御手段による主ポンプ手段の制御電圧調整の
精度の向上、信頼性の向上を図ることができる。その結
果、前記主ポンプ手段における内側ポンプ電極上での酸
化物の分解が好適に抑制された状態で、酸素のポンピン
グ処理が行われることになる。
【0018】次に、請求項3記載の本発明に係る酸化物
センサは、外部空間に接する固体電解質と該固体電解質
の内外に形成された内側ポンプ電極及び外側ポンプ電極
とを有し、かつ、前記外部空間から導入された被測定ガ
スに含まれる酸素を、前記電極間に印加される制御電圧
に基づいてポンピング処理する主ポンプ手段と、固体電
解質と該固体電解質に形成された内側検出電極と前記固
体電解質の前記内側検出電極とは反対側に形成された外
側検出電極とを有し、かつ、前記主ポンプ手段にてポン
ピング処理された後の被測定ガスに含まれる酸素の量と
前記外側検出電極側のガスに含まれる酸素の量との差に
応じた起電力を発生する濃度検出手段と、前記濃度検出
手段により発生する前記起電力を検出する電圧検出手段
と、固体電解質と前記主ポンプ手段における前記内側ポ
ンプ電極と対向するように前記固体電解質に形成された
内側測定電極と前記固体電解質の前記内側測定電極とは
反対側に形成された外側測定電極とを有し、かつ、前記
主ポンプ手段のポンピング処理による酸素分圧と基準酸
素分圧との差に応じて生じる酸素濃淡電池起電力を測定
する濃度測定手段と、前記濃度測定手段にて検出される
前記酸素濃淡電池起電力が所定の値になるように前記制
御電圧のレベルを調整する主ポンプ制御手段とを具備
し、前記主ポンプ手段におけるポンピング処理空間の下
流方向を正方向とし、該ポンピング処理空間の高さを
t、前記主ポンプ手段における前記内側ポンプ電極の下
流側端部と前記濃度測定手段における前記内側測定電極
の中心部との投影距離をdとしたとき、−3t≦dを満
足する位置に前記内側測定電極を配設し、前記電圧検出
手段にて検出された前記起電力に基づいて被測定ガス中
の酸化物を測定するように構成する。
【0019】これにより、外部空間から導入された被測
定ガスのうち、酸素が主ポンプ手段によってポンピング
処理され、該酸素は所定濃度に調整される。前記主ポン
プ手段にて酸素の濃度が調整された被測定ガスは、次の
濃度検出手段に導かれ、該濃度検出手段において、前記
主ポンプ手段にてポンピング処理された後の被測定ガス
に含まれる酸素の量と外側検出電極側のガスに含まれる
酸素の量との差に応じた酸素濃淡電池起電力が発生し、
該起電力が電圧検出手段により検出されることで、酸素
量に応じた酸化物が測定される。
【0020】つまり、前記濃度検出手段において、該濃
度検出手段に前記酸化物を分解する酸化物分解触媒を配
設するようにすれば(請求項4記載の発明)、該酸化物
分解触媒の作用によって分解された酸化物から生成され
た酸素の量と外側検出電極側のガスに含まれる酸素の量
との差に応じた酸素濃淡電池起電力が内側検出電極及び
外側検出電極間に発生し、該起電力が電圧検出手段によ
り検出されることで、酸素量に応じた酸化物が測定され
る。
【0021】このとき、前記濃度測定手段において、前
記主ポンプ手段でのポンピング処理時における前記被測
定ガスに含まれる酸素の量と前記外側測定電極側のガス
に含まれる酸素の量との差に応じた起電力が発生する。
そして、主ポンプ制御手段を通じ、前記起電力に基づい
て、前記主ポンプ手段における内側ポンプ電極と外側ポ
ンプ電極間に印加される制御電圧のレベルが調整され
る。
【0022】主ポンプ手段は、外部空間から導入された
被測定ガスのうち、酸素を制御電圧のレベルに応じた量
ほどポンピング処理する。前記レベル調整された制御電
圧の主ポンプ手段への供給によって、前記被測定ガスに
おける酸素の濃度は、所定レベルにフィードバック制御
されることとなる。
【0023】この場合、前記主ポンプ手段におけるポン
ピング処理空間の下流方向を正方向とし、該ポンピング
処理空間の高さをt、前記主ポンプ手段における前記内
側ポンプ電極の下流側端部と前記濃度測定手段における
前記内側測定電極の中心部との投影距離をdとしたと
き、−3t≦d、より好ましくは−3t≦d≦3t(請
求項5記載の発明)を満足する位置に前記内側測定電極
を配設することにより、主ポンプ手段にてポンピング処
理された後の酸素分圧を高精度に測定することができ、
主ポンプ制御手段による主ポンプ手段の制御電圧調整の
精度の向上、信頼性の向上を図ることができる。その結
果、前記主ポンプ手段における内側ポンプ電極上での酸
化物の分解が好適に抑制された状態で、酸素のポンピン
グ処理が行われることになる。
【0024】そして、前記構成において、前記濃度測定
手段における前記内側測定電極の前記下流方向に沿った
幅wをw≦5tとすることにより(請求項6記載の発
明)、当該内側測定電極上での酸化物の分解を抑制する
ことができ、好適である。
【0025】また、前記構成において、前記主ポンプ手
段における前記内側ポンプ電極を酸化物に対する触媒活
性の低い不活性材料にて構成することが好ましい(請求
項7記載の発明)。この場合、前記内側ポンプ電極上で
の酸化物の分解作用が一層好適に抑制され、特に、NO
又はNO2 を含む窒素酸化物を高精度に測定することが
できる(請求項8記載の発明)。
【0026】また、前記構成において、前記内側検出電
極の近傍に形成された補助ポンプ電極を有し、かつ、前
記主ポンプ手段にてポンピング処理された後の被測定ガ
スに含まれる酸素を、前記補助ポンプ電極と前記外側検
出電極間に印加される電圧に基づいて前記ポンピング処
理する補助ポンプ手段を設けるようにしてもよい(請求
項9記載の発明)。
【0027】これにより、まず、主ポンプ手段にて所定
のガス成分が所定濃度に粗調整された被測定ガスは、更
に補助ポンプ手段によって所定のガス成分の濃度が微調
整される。
【0028】一般に、外部空間における被測定ガス中の
所定ガス成分の濃度が大きく(例えば0から20%)変
化すると、主ポンプ手段に導かれる被測定ガスの所定ガ
ス成分の濃度分布が大きく変化し、測定用ポンプ手段あ
るいは濃度検出手段に導かれる所定ガス成分量も変化す
る。
【0029】このとき、主ポンプ手段にてポンピング処
理された後の被測定ガスにおける酸素濃度は、補助ポン
プ手段でのポンピング処理にて微調整されることになる
が、主ポンプ手段でのポンピング処理によって、前記補
助ポンプ手段に導かれる被測定ガス中の酸素の濃度変化
は、外部空間からの被測定ガス(主ポンプ手段に導かれ
る被測定ガス)における酸素の濃度変化よりも大幅に縮
小されるため、測定用ポンプ手段における内側検出電極
近傍あるいは濃度検出手段における外側検出電極近傍で
の所定ガス成分の濃度を精度よく一定に制御することが
できる。
【0030】従って、測定用ポンプ手段あるいは濃度検
出手段に導かれる所定ガス成分の濃度は、前記被測定ガ
ス(主ポンプ手段に導かれる被測定ガス)における酸素
の濃度変化の影響を受け難くなり、その結果、電流検出
手段にて検出されるポンプ電流値あるいは電圧検出手段
にて検出される起電力は、前記被測定ガスにおける所定
ガス成分の濃度変化に影響されず、被測定ガス中に存在
する目的成分量に正確に対応した値となる。
【0031】そして、請求項1〜9のいずれか1項に記
載の発明において、外側測定電極を基準ガスが導入され
る空間に露呈する位置に配設することで(請求項10記
載の発明)、被測定ガスに含まれる酸素と基準ガスに含
まれる酸素との比較を行うことができ、より正確な酸化
物の検出を行うことができる。
【0032】特に、前記外側測定電極を、前記外側検出
電極と共通に構成することが好ましい(請求項11記載
の発明)。この場合、濃度測定手段における外側測定電
極と測定用ポンプ手段あるいは濃度検出手段における外
側検出電極との共通電極が基準ガスの導入空間に露呈す
ることになり、濃度測定手段、測定用ポンプ手段、濃度
検出手段の各検出処理における基準電極として定義する
ことができ、これに準じて、濃度測定手段における内側
測定電極並びに測定用ポンプ手段及び濃度検出手段にお
ける内側検出電極をそれぞれ測定電極並びに検出電極と
定義することができる。
【0033】なお、前記主ポンプ手段は、固体電解質か
らなる基体にて囲まれ、かつ、前記被測定ガスが導入さ
れる第1室の内外に形成された前記内側ポンプ電極及び
外側ポンプ電極と、これら両電極にて挟まれた前記基体
にて構成することができる(請求項12記載の発明)。
【0034】また、前記測定用ポンプ手段は、固体電解
質からなる基体にて囲まれ、かつ、前記主ポンプ手段に
てポンピング処理された後の被測定ガスが導入される第
2室内に形成された検出電極と、固体電解質からなる基
体にて囲まれ、かつ、基準ガスが導入される基準ガス導
入室に形成された基準電極と、前記検出電極と前記基準
電極にて挟まれた前記基体にて構成することができる
(請求項13記載の発明)。
【0035】また、前記濃度検出手段は、固体電解質か
らなる基体にて囲まれ、かつ、前記主ポンプ手段にてポ
ンピング処理された後の被測定ガスが導入される第2室
内に形成された検出電極と、固体電解質からなる基体に
て囲まれ、かつ、基準ガスが導入される基準ガス導入室
に形成された基準電極と、前記検出電極と前記基準電極
にて挟まれた前記基体にて構成することができる(請求
項14記載の発明)。
【0036】また、前記濃度測定手段は、固体電解質か
らなる基体にて囲まれ、かつ、前記外部空間からの被測
定ガスが導入される前記第1室内に形成された測定電極
と、固体電解質からなる基体にて囲まれ、かつ、基準ガ
スが導入される基準ガス導入室に形成された前記基準電
極と、前記測定電極と前記基準電極にて挟まれた前記基
体にて構成することができる(請求項15記載の発
明)。
【0037】更に、前記構成において、前記外部空間に
おける前記被測定ガスの前記第1室への導入経路に、前
記被測定ガスに対して所定の拡散抵抗を付与する第1の
拡散律速部を設け、前記主ポンプ手段にてポンピング処
理された後の前記被測定ガスの前記第2室への導入経路
に、前記被測定ガスに対して所定の拡散抵抗を付与する
第2の拡散律速部を設けるようにしてもよい(請求項1
6記載の発明)。この場合、前記第1拡散律速部又は前
記第2拡散律速部は、被測定ガスに対して所定の拡散抵
抗を付与することのできる通路により構成することがで
きる。
【0038】また、前記第2室における前記被測定ガス
の前記検出電極への進入経路に、前記被測定ガスに対し
て所定の拡散抵抗を付与する第3の拡散律速部を設ける
ようにしてもよい(請求項21記載の発明)。
【0039】なお、前記固体電解質としては、ZrO2
等のセラミックスを用いた酸素イオン伝導性固体電解質
が好適であり、また、第1拡散律速部又は第2拡散律速
部は、第1室及び第2室内の被測定ガスの状態を設定さ
れた所望の状態とすべく、前記被測定ガスに対して所定
の拡散抵抗を付与する多孔質材料を用いると好適であ
る。
【0040】第1室、第2室内に配設される電極あるい
は触媒を構成する酸化物分解触媒は、Rhサーメットを
用いると好適である(請求項22記載の発明)。
【0041】なお、前記第1室に配設される内側ポンプ
電極及び前記測定電極は、前記第1室内の対向する基体
上、あるいは、同一の前記基体平面上に配設することが
できる(請求項17記載の発明)。
【0042】また、前記第1室に連設される第2室は、
前記第1室に対して直列又は並列な状態で複数配設する
ことができる(請求項19又は20記載の発明)。そし
て、各第2室において、電極間に印加される電圧あるい
は電極間に発生する酸素濃淡電池起電力を測定対象とす
る酸化物に応じて個々に設定することにより、種類の異
なる複数の酸化物の測定を1つのセンサで行うことがで
きる。
【0043】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る酸化物センサ
を例えば車両の排気ガスや大気中に含まれるNO、NO
2 、SO2 、CO2 、H2 O等の酸化物を測定する酸化
物センサに適用したいくつかの実施の形態例を図1〜図
10を参照しながら説明する。
【0044】まず、第1の実施の形態に係る酸化物セン
サ50Aは、図1及び図2に示すように、全体として、
長尺な板状体形状に構成されており、ZrO2 等の酸素
イオン伝導性固体電解質を用いたセラミックスよりなる
例えば6枚の固体電解質層52a〜52fが積層されて
構成され、下から1層目及び2層目が第1及び第2の基
板層52a及び52bとされ、下から3層目及び5層目
が第1及び第2のスペーサ層52c及び52eとされ、
下から4層目及び6層目が第1及び第2の固体電解質層
52d及び52fとされている。
【0045】具体的には、第2の基板層52b上に第1
のスペーサ層52cが積層され、更に、この第1のスペ
ーサ層52c上に第1の固体電解質層52d、第2のス
ペーサ層52e及び第2の固体電解質層52fが順次積
層されている。
【0046】第2の基板層52bと第1の固体電解質層
52dとの間には、酸化物測定の基準となる基準ガス、
例えば大気が導入される空間(基準ガス導入空間54)
が、第1の固体電解質層52dの下面、第2の基板層5
2bの上面及び第1のスペーサ層52cの側面によって
区画、形成されている。
【0047】また、第1及び第2の固体電解質層52d
及び52f間に第2のスペーサ層52eが挟設されると
共に、第1及び第2の拡散律速部56及び58が挟設さ
れている。
【0048】そして、第2の固体電解質層52fの下
面、第1及び第2の拡散律速部56及び58の側面並び
に第1の固体電解質層52dの上面によって、被測定ガ
ス中の酸素分圧を調整するための第1室60が区画、形
成され、第2の固体電解質層52fの下面、第2の拡散
律速部58の側面、第2のスペーサ層52eの側面並び
に第1の固体電解質層52dの上面によって、被測定ガ
ス中の酸素分圧を微調整し、更に被測定ガス中の酸化
物、例えば窒素酸化物(NOx)を測定するための第2
室62が区画、形成される。
【0049】外部空間と前記第1室60は、第1の拡散
律速部56を介して連通され、第1室60と第2室62
は、前記第2の拡散律速部58を介して連通されてい
る。
【0050】ここで、前記第1及び第2の拡散律速部5
6及び58は、第1室60及び第2室62にそれぞれ導
入される被測定ガスに対して所定の拡散抵抗を付与する
ものであり、例えば、被測定ガスを導入することができ
る多孔質材料又は所定の断面積を有した小孔からなる通
路として形成することができる。
【0051】特に、第2の拡散律速部58内には、Zr
2 等からなる多孔質体が充填、配置されて、前記第2
の拡散律速部58の拡散抵抗が前記第1の拡散律速部5
6における拡散抵抗よりも大きくされている。
【0052】そして、前記第2の拡散律速部58を通じ
て、第1室60内の雰囲気が所定の拡散抵抗の下に第2
室62内に導入される。従って、この酸化物センサ50
Aにおいては、外部空間に存する被測定ガスが酸化物セ
ンサ50A内に導入される方向が、第1の拡散律速部5
6→第1室60→第2の拡散律速部58→第2室62の
方向であり、この方向は、被測定ガスの下流方向と定義
することができる。
【0053】また、前記第2の固体電解質層52fの下
面のうち、前記第1室60を形づくる下面全面に、平面
ほぼ矩形状の多孔質サーメット電極からなる内側ポンプ
電極64が形成され、前記第2の固体電解質層52fの
上面のうち、前記内側ポンプ電極64に対応する部分
に、外側ポンプ電極66が形成されており、これら内側
ポンプ電極64、外側ポンプ電極64並びにこれら両電
極64及び66間に挟まれた第2の固体電解質層52f
にて電気化学的なポンプセル、即ち、主ポンプセル68
が構成されている。
【0054】そして、前記主ポンプセル68における内
側ポンプ電極64と外側ポンプ電極66間に、外部の可
変電源70を通じて所望の制御電圧(ポンプ電圧)Vp
1を印加して、外側ポンプ電極66と内側ポンプ電極6
4間に正方向あるいは負方向にポンプ電流Ip1を流す
ことにより、前記第1室60内における雰囲気中の酸素
を外部空間に汲み出し、あるいは外部空間の酸素を第1
室60内に汲み入れることができるようになっている。
【0055】また、前記第1の固体電解質層52dの上
面のうち、前記第1室60を形づくる上面であって、か
つ第2の拡散律速部62に近接する部分に、平面ほぼ矩
形状の多孔質サーメット電極からなる測定電極72が形
成され、前記第1の固体電解質層52dの下面のうち、
基準ガス導入空間54に露呈する部分に基準電極74が
形成されており、これら測定電極72、基準電極74及
び第1の固体電解質層52dによって、電気化学的なセ
ンサセル、即ち、制御用酸素分圧検出セル76が構成さ
れている。
【0056】この制御用酸素分圧検出セル76は、第1
室60内の雰囲気と基準ガス導入空間54内の基準ガス
(大気)との間の酸素濃度差に基づいて、測定電極72
と基準電極74との間に発生する起電力を電圧計78に
て測定することにより、前記第1室60内の雰囲気の酸
素分圧が検出できるようになっている。
【0057】即ち、基準電極74及び測定電極72間に
生じる電圧V1は、基準ガス導入空間54に導入される
基準ガスの酸素分圧と、第1室60内の被測定ガスの酸
素分圧との差に基づいて生じる酸素濃淡電池起電力であ
り、ネルンストの式として知られる V1=RT/4F・ln(P1(O2 )/P0
(O2 )) R:気体定数 T:絶対温度 F:ファラデー数 P1(O2 ):第1室60内の酸素分圧 P0(O2 ):基準ガスの酸素分圧 の関係を有している。そこで、前記ネルンストの式に基
づく電圧V1を電圧計78によって測定することで、第
1室60内の酸素分圧を検出することができる。
【0058】前記検出された酸素分圧値は可変電源70
のポンプ電圧をフィードバック制御系80を通じて制御
するために使用され、具体的には、第1室60内の雰囲
気の酸素分圧が、次の第2室62において酸素分圧の制
御を行い得るのに十分な低い所定の値となるように、主
ポンプセル68のポンプ動作が制御される。特に、この
第1の実施の形態に係る酸化物センサ50Aにおいて
は、図3に示すように、前記測定電極72の下流方向に
沿った幅wが所定の長さに規定されている。具体的に
は、前記測定電極72の幅は、測定対象である酸化物の
第1室60内での分解を抑制する目的と、スクリーン印
刷技術を用いて当該酸化物センサ50Aを作成する場合
の印刷可能サイズを考慮した長さに規定され、図3に示
すように、前記第1室60の高さをtとしたとき、w≦
5tの範囲に制限されている。
【0059】更に、この第1の実施の形態に係る酸化物
センサ50Aにおいては、当該制御用酸素分圧検出セル
76にて測定される酸素分圧の精度を確保するため、前
記主ポンプセル68における内側ポンプ電極64に対す
る測定電極72の配置関係を以下のように規定してい
る。
【0060】即ち、前記測定電極72は、図3に示すよ
うに、前記内側ポンプ電極64の下流方向端部(第2の
拡散律速部58側の端部)から当該測定電極72の中心
までの投影距離dが少なくとも−3t≦d(t:第1室
60の高さ)となる位置に配設され、好適には−3t≦
d≦3tとなるように配設される。
【0061】なお、前記内側ポンプ電極64及び外側ポ
ンプ電極66は、第1室60内に導入された被測定ガス
中のNOx、例えば、NO2 に対する触媒活性が低い不
活性材料により構成される。具体的には、前記内側ポン
プ電極64及び外側ポンプ電極66は、多孔質サーメッ
ト電極にて構成することができ、この場合、Pt等の金
属とZrO2 等のセラミックスとから構成されることに
なるが、特に、被測定ガスに接触する第1室60内に配
置される内側ポンプ電極64及び測定電極72は、測定
ガス中のNOx成分に対する還元能力を弱めた、あるい
は還元能力のない材料を用いる必要があり、例えばLa
3 CuO4 等のペロブスカイト構造を有する化合物、あ
るいはAu等の触媒活性の低い金属とセラミックスのサ
ーメット、あるいはAu等の触媒活性の低い金属とPt
族金属とセラミックスのサーメットで構成されることが
好ましい。更に、電極材料にAuとPt族金属の合金を
用いる場合は、Au添加量を金属成分全体の0.03〜
35vol%にすることが好ましい。
【0062】また、この第1の実施の形態に係る酸化物
センサ50Aにおいては、図2に示すように、前記第1
の固体電解質層52dの上面のうち、前記第2室62を
形づくる上面であって、かつ第2の拡散律速部58から
離間した部分に、平面ほぼ矩形状の多孔質サーメット電
極からなる検出電極82が形成され、該検出電極82、
前記基準電極74及び第1の固体電解質層52dによっ
て、電気化学的なポンプセル、即ち、測定用ポンプセル
84が構成される。
【0063】前記検出電極82は、酸化物分解触媒、例
えばRhサーメット、あるいは触媒活性の低い材料、あ
るいは触媒活性の低い材料の近傍に酸化物分解触媒を配
置する等の構成を適宜選択できる。この第1の実施の形
態においては、検出電極82は、被測定ガス成分たるN
Oxを還元し得る金属であるRhとセラミックスとして
のジルコニアからなる多孔質サーメットにて構成され、
これによって、第2室62内の雰囲気中に存在するNO
xを還元するNOx還元触媒として機能するほか、前記
基準電極74との間に、直流電源86を通じて一定電圧
Vp2が印加されることによって、第2室62内の雰囲
気中の酸素を基準ガス導入空間54に汲み出せるように
なっている。この測定用ポンプセル84のポンプ動作に
よって流れるポンプ電流Ip2は、電流計88によって
検出されるようになっている。
【0064】この第1の実施の形態に係る酸化物センサ
50Aにおいては、第1及び第2の基板層52a及び5
2bにて上下から挟まれた形態において、外部からの給
電によって発熱するヒータ90が埋設されている。この
ヒータ90は、酸素イオンの伝導性を高めるために設け
られるもので、該ヒータ90の上下面には、第1及び第
2の基板層52a及び52bとの電気的絶縁を得るため
に、アルミナ等のセラミックス層92が形成されてい
る。
【0065】前記ヒータ90は、図2に示すように、第
1室60から第2室62の全体にわたって配設されてお
り、これによって、第1室60及び第2室62がそれぞ
れ所定の温度に加熱され、併せて主ポンプセル68、制
御用酸素分圧検出セル76及び測定用ポンプセル84も
所定の温度に加熱、保持されるようになっている。
【0066】第1の実施の形態に係る酸化物センサ50
Aは、基本的には以上のように構成されるものであり、
次にその作用効果について説明する。
【0067】酸化物の測定に先立ち、当該第1の実施の
形態に係る酸化物センサ50Aを第1室60内に被測定
ガスが導入できる状態に設定する。次いで、ヒータ90
に通電し、例えば酸化物センサ50Aにおける第1室6
0の第1及び第2の固体電解質層52d及び52fを4
00℃〜900℃に加熱すると共に、第2室62の第1
及び第2の固体電解質層52d及び52fを700℃〜
900℃に加熱する。酸化物センサ50Aをこのような
温度状態に加熱することにより、第1及び第2の固体電
解質層52d及び52fが所望の状態に活性化されるこ
とになる。
【0068】次に、前述のように設定した酸化物センサ
50Aに対して被測定ガスを導入することにより、前記
被測定ガス中に含まれるNOx等の酸化物の測定を開始
する。
【0069】第1の拡散律速部56を介して所定の拡散
抵抗のもとに第1室60内に導入された被測定ガスは、
可変電源70によって外側ポンプ電極84及び内側ポン
プ電極86間に印加された所定のポンプ電圧Vp1によ
って、その中に含まれる酸素分圧が所定値に制御され
る。即ち、第1室60内の酸素分圧は、電圧計78によ
って検出される基準電極74及び測定電極72間の電圧
V1に基づいて測定することができる。この電圧V1
は、前述したネルンストの式で規定される酸素濃淡電池
起電力であり、この電圧V1が180mV〜350mV
となるようにフィードバック制御系80を通じて可変電
源70のポンプ電圧Vp1を制御することで、第1室6
0内の酸素分圧が所定値に制御される。
【0070】第1室60において所定の酸素分圧に制御
された被測定ガスは、第1の拡散律速部56よりも拡散
抵抗が大きく設定された第2の拡散律速部58を介して
第2室62に導入される。
【0071】第2室62では、基準電極74と検出電極
80との間に当該第2室62内の酸素を充分に汲み出す
ことのできる所定のポンプ電圧Vp2が電源84によっ
て印加されており、このポンプ電圧Vp2によって、被
測定ガスに含まれるNO、NO2 等のNOxがRhサー
メットからなる酸化物分解触媒としての検出電極82に
よって分解されるか、あるいは、検出電極82とは別に
存在する触媒で分解され、それによって発生した酸素が
第1の固体電解質層52dを介して基準ガス導入空間5
4側に汲み出される。このとき、酸素イオンの移動によ
って生じた電流値Ip2は、電流計88によって測定さ
れ、この電流値Ip2から被測定ガス中に含まれる所定
の酸化物、例えば、NO、NO2 等のNOxの濃度が測
定されることになる。
【0072】特に、前記第1の実施の形態に係る酸化物
センサ50Aにおいては、第1室60における内側ポン
プ電極64と測定電極72との配置関係を図3に示す所
定の範囲(−3t≦d≦3t)に設定するようにしてい
るため、酸素分圧を高精度に制御しながら被測定ガスを
第2室62に供給することが可能となり、これにより、
測定用ポンプセル84を通じて酸化物を高精度に測定す
ることができる。
【0073】図3は、内側ポンプ電極64に対する測定
電極72の配置と、第2室62に導入される被測定ガス
の酸素分圧との関係を模式的に表したものである。
【0074】例えば、中央部分が内側ポンプ電極64の
下流方向端部(第2室62側の端部)に一致させて配置
される測定電極72a(d=0)を用いて酸素分圧を測
定し、この酸素分圧に基づいて内側ポンプ電極64及び
外側ポンプ電極66間に印加されるポンプ電圧Vp1を
制御すると、前記第1室60に導入される被測定ガスの
導入前の酸素分圧が高い場合には、特性a1に示すよう
に、内側ポンプ電極64の働きによって酸素分圧が速や
かに低下した後、所望の目標酸素分圧で第2室62に供
給される。また、前記と同様の条件(d=0)で被測定
ガスの導入前の酸素分圧を低くした場合には、特性a2
に示すように、内側ポンプ電極64の働きは弱く、酸素
分圧がゆっくりと低下した後、この場合も所望の目標酸
素分圧で第2室62に供給される。
【0075】次に、中央部分が内側ポンプ電極64の下
流方向端部から第1の拡散律速部56側にd=−1.0
mm(t=0.2mm)だけずらせて配置される測定電
極72bを用いて酸素分圧を測定し、この酸素分圧に基
づいて内側ポンプ電極64及び外側ポンプ電極66間に
印加されるポンプ電圧Vp1を制御すると、前記第1室
60に導入される被測定ガスの導入前の酸素分圧が高い
場合には、特性a3に示すように、内側ポンプ電極64
の働きによって酸素分圧が速やかに低下するが、前記酸
素分圧の測定点が内側ポンプ電極64の途中の部分にあ
るため、前記測定電極72bが配置された位置での酸素
分圧(点A3の酸素分圧)が目標酸素分圧となるように
制御されることになる。この場合、酸素分圧は、測定電
極72bが配置された部分から下流方向における内側ポ
ンプ電極64の残余の部分によってさらに低下するた
め、目標酸素分圧よりも低い酸素分圧の状態で第2室6
2に供給されることになる。
【0076】なお、前記と同様の条件(d=−1.0m
m)で被測定ガスの導入前の酸素分圧を低くした場合に
おいても、酸素分圧が点A3で目標酸素分圧となるよう
に制御されるため、前記特性a3ほど酸素分圧が低下し
ないものの、所望の酸素分圧より低い値となって第2室
62に供給されることになる。
【0077】一方、中央部分が内側ポンプ電極64の下
流方向端部から第2の拡散律速部58側に0.6mm
(t=0.2mm)よりも大きくずらせて配置される測
定電極72cを用いて酸素分圧を測定し、この酸素分圧
に基づいて内側ポンプ電極64及び外側ポンプ電極66
間に印加されるポンプ電圧Vp1を制御すると、内側ポ
ンプ電極64および測定電極72cを含むフィードバッ
クループにおける応答の遅れにより、発振やゲイン不足
が生じ、第2室62に供給される酸素分圧が結果的に目
標値からはずれるという現象が生じる。
【0078】図4は、第1室60の測定電極72におけ
る酸素濃淡電池起電力である電圧V1を300mVと
し、被測定ガスに含まれるO2 の濃度を変化させた場合
の第2室62での酸素濃淡電池起電力を、前記測定電極
72の位置をd=5t〜−5tの範囲に設定して測定し
た結果を示す。
【0079】この場合、測定電極72の配置位置が内側
ポンプ電極64の下流方向端部よりも第2室62の方向
に離れるにつれて、被測定ガスのO2 の濃度が高い場合
に、第2室62内の酸素濃度が増加している(第2室6
2の酸素濃淡電池起電力は低下する)。また、測定電極
72の配置位置が内側ポンプ電極64の下流方向端部よ
りも第1の拡散律速部56に向かって内側に入るにつれ
て、被測定ガスのO2の濃度が高い場合に、第2室62
内の酸素濃度が低下している(第2室62の酸素濃淡電
池起電力は増加する)。従って、測定電極72が内側ポ
ンプ電極64の下流方向端部から第1の拡散律速部56
側に多く変位、例えばd=−3tよりも多く変位してい
ると、第1室60内の酸素分圧が下がり過ぎるため、前
記内側ポンプ電極64上で測定対象である酸化物の分解
反応が生じてしまうことになる。
【0080】図5は、高濃度のO2 を含む被測定ガスに
対する第1室60でのフィードバック制御系80のゲイ
ンと、低濃度のO2 を含む被測定ガスに対する第1室6
0でのフィードバック制御系80の発振発生ゲインとを
測定した結果を示す。この場合、高濃度のO2 を含む被
測定ガスでは、特性b1よりも下の領域でゲイン不足が
生じ、応答の遅れが発生する。また、低濃度のO2 を含
む被測定ガスでは、特性b2よりも上の領域で発振が生
じ、安定に酸素分圧を設定することができない。従っ
て、これらのことを考慮すると、図5の斜線で示す範囲
にゲインを設定することにより、被測定ガスの酸素濃度
に依存せず一定のゲインでフィードバック制御を行うこ
とができる。このような制御を可能とする測定電極72
の位置は、内側ポンプ電極64の端部に対してd≦3t
となる距離であることが導かれる。
【0081】以上の結果から、内側ポンプ電極64の下
流方向端部(第2の拡散律速部58側の端部)に対する
測定電極72の距離dを−3t≦d≦3tとすることに
より、被測定ガスを最適な酸素分圧として、被測定ガス
中の目的成分を分解することなく第2室62に供給する
ことができる。
【0082】次に、図6〜図8を参照しながら第2の実
施の形態に係る酸化物センサ50Bについて説明する。
なお、図2と対応するものについては同符号を付してそ
の重複説明を省略する。
【0083】この第2の実施の形態に係る酸化物センサ
50Bは、図6に示すように、前記第1の実施の形態に
係る酸化物センサ50A(図2参照)とほぼ同じ構成を
有するが、測定用ポンプセル84に代えて、測定用酸素
分圧検出セル100が設けられている点で異なる。
【0084】この測定用酸素分圧検出セル100は、第
1の固体電解質層52dの上面のうち、前記第2室62
を形づくる上面に形成された検出電極102と、前記第
1の固体電解質層52dの下面に形成された前記基準電
極74と、前記第1の固体電解質層52dによって構成
されている。
【0085】この場合、測定用酸素分圧検出セル100
における検出電極102と基準電極74との間に、検出
電極102の周りの雰囲気と基準電極74の周りの雰囲
気との間の酸素濃度差に応じた起電力(酸素濃淡電池起
電力)V2が発生することとなる。
【0086】従って、前記検出電極102及び基準電極
74間に発生する起電力(電圧)V2を電圧計104に
て測定することにより、検出電極102の周りの雰囲気
の酸素分圧、換言すれば、被測定ガス成分(NOx)の
還元又は分解によって発生する酸素によって規定される
酸素分圧が電圧値V2として検出される。
【0087】そして、この起電力V2の変化の度合い
が、NO濃度を表すことになる。つまり、前記検出電極
102と基準電極74と第1の固体電解質層52dとか
ら構成される測定用酸素分圧検出セル100から出力さ
れる起電力V2が、被測定ガス中のNO濃度を表すこと
になる。
【0088】そして、この第2の実施の形態に係る酸化
物センサ50Bにおいても、前記第1の実施の形態に係
る酸化物センサ50Aと同様に、制御用酸素分圧検出セ
ル76における測定電極72の下流方向に沿った幅w
が、第1室60の高さをtとしたとき、w≦5tの範囲
に制限され、前記測定電極72は、前記内側ポンプ電極
64の下流方向端部(第2の拡散律速部58側の端部)
から当該測定電極72の中心までの投影距離dが少なく
とも−3t≦dとなる位置に配設され、好適には−3t
≦d≦3tとなるように配設されている。
【0089】そのため、前記第2の実施の形態に係る酸
化物センサ50Bにおいては、被測定ガスを最適な酸素
分圧として、被測定ガス中の目的成分を分解することな
く第2室62に供給することができ、測定用酸素分圧検
出セル100を通じて酸化物を高精度に測定することが
できる。
【0090】次に、図7を参照しながら第3の実施の形
態に係る酸化物センサ50Cについて説明する。なお、
図2と対応するものについては同符号を付してその重複
説明を省略する。
【0091】この第3の実施の形態に係る酸化物センサ
50Cは、図7に示すように、前記第1の実施の形態に
係る酸化物センサ50Aとほぼ同様の構成を有するが、
検出電極82を被覆するように、第3の拡散律速部11
0を構成する多孔質Al2 3 層あるいは多孔質ZrO
3 層が形成されている点と、補助ポンプセル112が設
けられている点で異なる。
【0092】この補助ポンプセル112は、前記第2の
固体電解質層52fの下面のうち、前記第2室62を形
づくる下面全面に形成された平面ほぼ矩形状の多孔質サ
ーメット電極からなる補助ポンプ電極114と、前記基
準電極74と、第2の固体電解質層52f、第2のスペ
ーサ層52e及び第1の固体電解質層52dにて構成さ
れている。
【0093】前記補助ポンプ電極114は、前記主ポン
プセル68における内側ポンプ電極64と同様に、被測
定ガス中のNOx成分に対する還元能力を弱めた、ある
いは還元能力のない材料を用いている。この場合、例え
ばLa3 CuO4 等のペロブスカイト構造を有する化合
物、あるいはAu等の触媒活性の低い金属とセラミック
スのサーメット、あるいはAu等の触媒活性の低い金属
とPt族金属とセラミックスのサーメットで構成される
ことが好ましい。更に、電極材料にAuとPt族金属の
合金を用いる場合は、Au添加量を金属成分全体の0.
03〜35vol%にすることが好ましい。
【0094】そして、前記補助ポンプセル112におけ
る補助ポンプ電極114と基準電極74間に、外部の電
源116を通じて所望の一定電圧Vp3を印加すること
により、第2室62内の雰囲気中の酸素を基準ガス導入
空間54に汲み出せるようになっている。
【0095】これによって、第2室62内の雰囲気の酸
素分圧が、実質的に被測定ガス成分(NOx)が還元又
は分解され得ない状況下で、かつ目的成分量の測定に実
質的に影響がない低い酸素分圧値とされる。この場合、
第1室60における主ポンプセル68の働きにより、こ
の第2室62内に導入される酸素の量の変化は、被測定
ガスの変化よりも大幅に縮小されるため、第2室62に
おける酸素分圧は精度良く一定に制御される。
【0096】また、この第3の実施の形態に係る酸化物
センサ50Cにおいては、前記定電圧(直流)電源86
は、第3の拡散律速部110により制限されたNOxの
流入下において、測定用ポンプセル84で分解時に生成
した酸素のポンピングに対して限界電流を与える大きさ
の電圧を印加できるようになっている。
【0097】従って、前記構成を有する第3の実施の形
態に係る酸化物センサ50Cにおいては、前記第2室6
2内において酸素分圧が制御された被測定ガスは、第3
の拡散律速部110を通じて所定の拡散抵抗の下に、検
出電極82に導かれることとなる。
【0098】ところで、前記主ポンプセル68を動作さ
せて第1室60内の雰囲気の酸素分圧をNOx測定に実
質的に影響がない低い酸素分圧値に制御しようとしたと
き、換言すれば、制御用酸素分圧検出セル76にて検出
される電圧V1が一定となるように、フィードバック制
御系80を通じて可変電源70のポンプ電圧Vp1を調
整したとき、被測定ガス中の酸素濃度が大きく、例えば
0〜20%に変化すると、通常、第2室62内の雰囲気
及び検出電極82付近の雰囲気の各酸素分圧は、僅かに
変化するようになる。これは、被測定ガス中の酸素濃度
が高くなると、測定電極72上の第1室60の幅方向及
び厚み方向に酸素濃度分布が生じ、この酸素濃度分布が
被測定ガス中の酸素濃度により変化するためであると考
えられる。
【0099】しかし、この第3の実施の形態に係る酸化
物センサ50Cにおいては、第2室62に対して、その
内部の雰囲気の酸素分圧を常に一定に低い酸素分圧値と
なるように、補助ポンプセル112を設けるようにして
いるため、第1室60から第2室62に導入される雰囲
気の酸素分圧が被測定ガスの酸素濃度に応じて変化して
も、前記補助ポンプセル112のポンプ動作によって、
第2室62内の雰囲気の酸素分圧を常に一定の低い値と
することができ、その結果、NOxの測定に実質的に影
響がない低い酸素分圧値に制御することができる。
【0100】そして、検出電極82に導入された被測定
ガスのNOxは、該検出電極82の周りにおいて還元又
は分解されて、例えばNO→1/2N2 +1/2O2
反応が引き起こされる。このとき、測定用ポンプセル8
4を構成する検出電極82と基準電極74との間には、
酸素が第2室62から基準ガス導入空間54側に汲み出
される方向に、所定の電圧Vp2、例えば430mV
(700℃)が印加される。
【0101】従って、測定用ポンプセル84に流れるポ
ンプ電流Ip2は、第2室62に導かれる雰囲気中の酸
素濃度、即ち、第2室62内の酸素濃度と検出電極82
にてNOxが還元又は分解されて発生した酸素濃度との
和に比例した値となる。
【0102】この場合、第2室62内の雰囲気中の酸素
濃度は、補助ポンプセル112にて一定に制御されてい
ることから、前記測定用ポンプセル84に流れるポンプ
電流Ip2は、NOxの濃度に比例することになる。ま
た、このNOxの濃度は、第3の拡散律速部110にて
制限されるNOxの拡散量に対応していることから、被
測定ガスの酸素濃度が大きく変化したとしても、測定用
ポンプセル84から電流計88を通じて正確にNOx濃
度を測定することが可能となる。
【0103】例えば、補助ポンプセル112にて制御さ
れた第2室62内の雰囲気の酸素分圧が0.02ppm
で、被測定ガス中のNOx成分たるNO濃度が100p
pmとすると、NOが還元又は分解されて発生する酸素
濃度50ppmと第2室62内の雰囲気中の酸素濃度
0.02ppmとの和(=50.02ppm)に相当す
るポンプ電流Ip2が流れることとなる。従って、測定
用ポンプセル84におけるポンプ電流値Ip2は、NO
がほとんど還元又は分解された量を表し、そのため、被
測定ガス中の酸素濃度に依存するようなこともない。
【0104】次に、図8を参照しながら第4の実施の形
態に係る酸化物センサ50Dについて説明する。なお、
図6及び図7と対応するものについては同符号を付して
その重複説明を省略する。
【0105】この第4の実施の形態に係る酸化物センサ
50Dは、図8に示すように、前記第2の実施の形態に
係る酸化物センサ50B(図6参照)とほぼ同様の構成
を有するが、第3の実施の形態に係る酸化物センサ50
C(図7参照)と同じように、測定用酸素分圧検出セル
100における検出電極102を被覆するように、第3
の拡散律速部110を構成する多孔質Al2 3 層ある
いは多孔質ZrO3 層が形成されている点と、補助ポン
プセル112が設けられている点で異なる。
【0106】この場合、前記第3の実施の形態に係る酸
化物センサ50Cと同様に、第2室62内の雰囲気の酸
素分圧が、実質的に被測定ガス成分(NOx)が還元又
は分解され得ない状況下で、かつ目的成分量の測定に実
質的に影響がない低い酸素分圧値とされ、第1室60に
おける主ポンプセル68の働きにより、この第2室62
内に導入される酸素の量の変化は、被測定ガスの変化よ
りも大幅に縮小されるため、第2室62における酸素分
圧は精度良く一定に制御される。
【0107】従って、被測定ガスの酸素濃度が大きく変
化したとしても、測定用酸素分圧検出セル100から電
圧計104を通じて正確にNOx濃度を測定することが
可能となる。
【0108】ここで、図9の特性図を参照しながら前記
第4の実施の形態に係る酸化物センサ50Dの検出原理
を説明する。
【0109】まず、外部空間のNO濃度が0ppmのと
き、第1室60内の雰囲気中の酸素分圧が1.3×10
-7atm、即ち、起電力V1=約300mVに保たれる
ように、主ポンプセル68におけるポンプ電圧Vp1を
制御する。
【0110】次に、補助ポンプセル112に印加される
設定電圧Vp3を460mVに設定する。補助ポンプセ
ル112の作用により、第2室62内の酸素分圧は、
6.1×10-11 atmに制御され、その結果、前記測
定用酸素分圧検出セル100における検出電極102と
基準電極74との間の起電力V2は約460mVとな
る。
【0111】この場合、第2室62内の酸素分圧が6.
1×10-11 atmであっても、第1室60内の酸素分
圧が1.3×10-7atmであるため、可燃ガス成分は
第1室60内で酸化され、NOx感度に影響しない。
【0112】そして、外部空間のNO濃度が徐々に増加
すると、前記検出電極102も上述した測定用ポンプセ
ル84(図2参照)における検出電極80と同様に、N
Ox還元触媒として機能することから、前記検出電極1
02では、NOの還元又は分解反応が引き起こされ、該
検出電極102の周りの雰囲気中の酸素濃度が上がり、
これによって、検出電極102と基準電極74間に発生
する起電力V2が徐々に低下することとなる。図9の特
性図では、NO濃度が例えば300ppm、500pp
m、1000ppmというように増加するにつれて、電
圧計104にて検出される起電力V2は、300mV、
250mV、220mVというように徐々に低下してい
る。
【0113】前記起電力V2の低下の度合いが、NO濃
度を表すことになる。つまり、前記検出電極102と基
準電極74と第1の固体電解質層52dとから構成され
る測定用酸素分圧検出セル100から出力される起電力
V2が、被測定ガス中のNO濃度を表すことになる。
【0114】そして、この第4の実施の形態に係る酸化
物センサ50Dにおいても、前記第1の実施の形態に係
る酸化物センサ50Aと同様に、制御用酸素分圧検出セ
ル76における測定電極72の下流方向に沿った幅w
が、第1室60の高さをtとしたとき、w≦5tの範囲
に制限され、前記測定電極72は、前記内側ポンプ電極
64の下流方向端部(第2の拡散律速部58側の端部)
から当該測定電極72の中心までの投影距離dが少なく
とも−3t≦dとなる位置に配設され、好適には−3t
≦d≦3tとなるように配設されている。
【0115】ここで、一つの実験例を示す。この実験例
は、実施例と比較例を用意し、これら実施例及び比較例
において、第1室60の測定電極72における酸素濃淡
電池起電力である電圧V1を300mVとし、被測定ガ
ス(NO濃度=300ppm)に含まれるO2 の濃度を
変化させた場合に、測定用酸素分圧検出セル100の検
出電極102及び基準電極74間に発生する酸素濃淡電
池起電力V2の変化をみたものである。実験結果を図1
0に示す。
【0116】ここで、実施例は、前記第4の実施の形態
に係る酸化物センサ50Dにおいて、測定電極72の配
置関係をd=tとしたものであり、比較例は、前記第4
の実施の形態に係る酸化物センサ50Dにおいて、測定
電極72の配置関係をd=−8tにしたものである。
【0117】比較例においては、d=−8tであって、
制御用酸素分圧検出セル76における酸素分圧の測定点
が、内側ポンプ電極64の途中の部分に位置することに
なるため、被測定ガスに含まれるO2 の濃度が増加する
と、前記測定電極72が配置された位置での酸素分圧が
目標酸素分圧となるように制御されることになる。この
場合、酸素分圧は、測定電極72が配置された部分から
下流方向における内側ポンプ電極64の残余の部分によ
ってさらに低下するため、目標酸素分圧よりも低い酸素
分圧の状態で第2室62に供給されることになる。
【0118】そのため、比較例においては、図10の一
点鎖線bに示すように、被測定ガスに含まれるO2 の濃
度が増加するに従って、制御用酸素分圧検出セル76の
検出電極102及び基準電極74間の酸素濃淡電池起電
力V2は指数関数的に増加することとなる。
【0119】一方、実施例においては、d=tであっ
て、制御用酸素分圧検出セル76における酸素分圧の測
定点が内側ポンプ電極64の下流方向端部付近に位置す
ることになるため、第1室60内の酸素分圧は、内側ポ
ンプ電極64の下流方向端部付近に対応する位置におい
て目標酸素分圧となるように制御されることになる。こ
の場合、図10の実線aに示すように、前記主ポンプセ
ル68にて目標酸素分圧に調整された被測定ガスは、ほ
ぼ目標酸素分圧を維持した状態で第2室62に供給され
ることになる。
【0120】このように、前記第4の実施の形態に係る
酸化物センサ50Dにおいても、被測定ガスを最適な酸
素分圧として、被測定ガス中の目的成分を分解すること
なく第2室62に供給することができ、測定用酸素分圧
検出セル100を通じて酸化物を高精度に測定すること
ができる。
【0121】上述した第1〜第4の実施の形態に係る酸
化物センサ50A〜50Dでは、第1室60に対して第
2室62が1つだけ連結された場合について説明した
が、前記第1室60に対して前記第2室62を複数連結
し、種類の異なる複数の酸化物を同時に測定するように
構成することもできる。
【0122】例えば、第2室62に対して、拡散律速部
を介して前記第2室62と同一構成からなる第3室を直
列に連結して設け、前記第2室62に例えば測定用ポン
プセルが設けられた場合に、その検出電極82に印加さ
れるポンプ電圧Vp2と異なるポンプ電圧を前記第3室
の検出電極に印加することにより、第2室62とは種類
の異なる酸化物の測定を行うことができる。これは、第
2室62に前記測定用ポンプセルに代えて測定用酸素分
圧検出セルを設けた場合も同様である。
【0123】また、前記第2室62や第3室にて測定さ
れる酸化物としては、例えば、NO、NO2 、CO2
2 O、SO2 等を掲げることができる。また、前記第
3室は、前記第2室62に対して並列に連結することも
できる。
【0124】なお、この発明に係る酸化物センサは、上
述の実施の形態に限らず、この発明の要旨を逸脱するこ
となく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。
【0125】
【発明の効果】本発明の酸化物センサによれば、第1室
での被測定ガス中に含まれる酸素分圧を、当該第1室で
測定対象である酸化物を分解させることのない所定の値
に高精度、かつ、安定した状態で制御しながら第2室に
供給することができるため、前記第2室において前記酸
化物を極めて高精度に測定することができる。しかも、
小型、かつ、安価な構成で前記酸化物の測定を行うこと
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施の形態に係る酸化物センサを示す平
面図である。
【図2】図1におけるA−A線上の断面図である。
【図3】第1の実施の形態に係る酸化物センサにおい
て、内側ポンプ電極に対する測定電極の配置と、第2室
に導入される被測定ガスの酸素分圧との関係を示す説明
図である。
【図4】第1の実施の形態に係る酸化物センサにおい
て、測定電極の配置位置を変位させた場合における第1
室に導入前の酸素濃度と、第2室で測定した酸素濃淡電
池起電力との関係を示す特性図である。
【図5】第1の実施の形態に係る酸化物センサにおい
て、測定電極の配置位置を変位させた場合における低酸
素分圧および高酸素分圧でのフィードバックゲインの関
係を示す特性図である。
【図6】第2の実施の形態に係る酸化物センサを示す断
面図である。
【図7】第3の実施の形態に係る酸化物センサを示す断
面図である。
【図8】第4の実施の形態に係る酸化物センサを示す断
面図である。
【図9】第4の実施の形態に係る酸化物センサにおい
て、NO濃度の変化に対する測定用酸素分圧検出手段に
て発生する起電力の変化を示す特性図である。
【図10】第4の実施の形態に係る酸化物センサにおい
て、被測定ガス(NO濃度=300ppm)に含まれる
2 の濃度を0〜18%に変化させたときの測定用酸素
分圧検出セルにて発生する起電力の変化を示す特性図で
あり、実線aは実施例の特性を示し、一点鎖線bは比較
例の特性を示す。
【図11】従来技術に係るガス分析装置の断面構成図で
ある。
【符号の説明】
50A〜50D…酸化物センサ 52a…第1の
基板層 52b…第2の基板層 52c…第1の
スペーサ層 52d…第1の固体電解質層 52e…第2の
スペーサ層 52f…第2の固体電解質層 54…基準ガス
導入空間 56…第1の拡散律速部 58…第2の拡
散律速部 60…第1室 62…第2室 64…内側ポンプ電極 66…外側ポン
プ電極 68…主ポンプセル 70…可変電源 72…測定電極 74…基準電極 76…制御用酸素分圧検出セル 80…検出電極 82…測定用ポンプセル 88…ヒータ 100…測定用酸素分圧検出セル 102…検出電
極 110…第3の拡散律速部 112…補助ポ
ンプセル 114…補助ポンプ電極

Claims (22)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】外部空間に接する固体電解質と該固体電解
    質の内外に形成された内側ポンプ電極及び外側ポンプ電
    極とを有し、かつ、前記外部空間から導入された被測定
    ガスに含まれる酸素を、前記電極間に印加される制御電
    圧に基づいてポンピング処理する主ポンプ手段と、 固体電解質と該固体電解質に形成された内側検出電極と
    前記固体電解質の前記内側検出電極とは反対側に形成さ
    れた外側検出電極とを有し、かつ、前記主ポンプ手段に
    てポンピング処理された後の被測定ガスに含まれる酸素
    を、前記内側検出電極と前記外側検出電極間に印加され
    る測定用電圧に基づいてポンピング処理する測定用ポン
    プ手段と、 前記測定用ポンプ手段によりポンピング処理される前記
    酸素の量に応じて生じるポンプ電流を検出する電流検出
    手段と、 固体電解質と前記主ポンプ手段における前記内側ポンプ
    電極と対向するように前記固体電解質に形成された内側
    測定電極と前記固体電解質の前記内側測定電極とは反対
    側に形成された外側測定電極とを有し、かつ、前記主ポ
    ンプ手段のポンピング処理による酸素分圧と基準酸素分
    圧との差に応じて生じる酸素濃淡電池起電力を測定する
    濃度測定手段と、 前記濃度測定手段にて検出される前記酸素濃淡電池起電
    力が所定の値になるように前記制御電圧のレベルを調整
    する主ポンプ制御手段とを具備し、 前記主ポンプ手段におけるポンピング処理空間の下流方
    向を正方向とし、該ポンピング処理空間の高さをt、前
    記主ポンプ手段における前記内側ポンプ電極の下流側端
    部と前記濃度測定手段における前記内側測定電極の中心
    部との投影距離をdとしたとき、−3t≦dを満足する
    位置に前記内側測定電極が配設され、 前記電流検出手段にて検出された前記ポンプ電流に基づ
    いて前記被測定ガス中の酸化物を測定することを特徴と
    する酸化物センサ。
  2. 【請求項2】請求項1記載の酸化物センサにおいて、 前記測定用ポンプ手段は、前記内側検出電極及び外側検
    出電極間に酸化物を分解するのに十分な電圧を印加し、
    あるいは該測定用ポンプ手段に配設された酸化物分解触
    媒のいずれか、あるいは両方の作用によって生成した酸
    素を、前記内側検出電極及び外側検出電極間に印加され
    る測定用制御電圧に基づいてポンピング処理することを
    特徴とする酸化物センサ。
  3. 【請求項3】外部空間に接する固体電解質と該固体電解
    質の内外に形成された内側ポンプ電極及び外側ポンプ電
    極とを有し、かつ、前記外部空間から導入された被測定
    ガスに含まれる酸素を、前記電極間に印加される制御電
    圧に基づいてポンピング処理する主ポンプ手段と、 固体電解質と該固体電解質に形成された内側検出電極と
    前記固体電解質の前記内側検出電極とは反対側に形成さ
    れた外側検出電極とを有し、かつ、前記主ポンプ手段に
    てポンピング処理された後の被測定ガスに含まれる酸素
    の量と前記外側検出電極側のガスに含まれる酸素の量と
    の差に応じた起電力を発生する濃度検出手段と、 前記濃度検出手段により発生する前記起電力を検出する
    電圧検出手段と、 固体電解質と前記主ポンプ手段における前記内側ポンプ
    電極と対向するように前記固体電解質に形成された内側
    測定電極と前記固体電解質の前記内側測定電極とは反対
    側に形成された外側測定電極とを有し、かつ、前記主ポ
    ンプ手段のポンピング処理による酸素分圧と基準酸素分
    圧との差に応じて生じる酸素濃淡電池起電力を測定する
    濃度測定手段と、 前記濃度測定手段にて検出される前記酸素濃淡電池起電
    力が所定の値になるように前記制御電圧のレベルを調整
    する主ポンプ制御手段とを具備し、 前記主ポンプ手段におけるポンピング処理空間の下流方
    向を正方向とし、該ポンピング処理空間の高さをt、前
    記主ポンプ手段における前記内側ポンプ電極の下流側端
    部と前記濃度測定手段における前記内側測定電極の中心
    部との投影距離をdとしたとき、−3t≦dを満足する
    位置に前記内側測定電極が配設され、 前記電圧検出手段にて検出された前記起電力に基づいて
    被測定ガス中の酸化物を測定することを特徴とする酸化
    物センサ。
  4. 【請求項4】請求項3記載の酸化物センサにおいて、 前記濃度検出手段は、該濃度検出手段に配設された酸化
    物分解触媒の作用によって生成された酸素と前記外側検
    出電極側のガスに含まれる酸素との分圧差に応じた酸素
    濃淡電池起電力を発生することを特徴とする酸化物セン
    サ。
  5. 【請求項5】請求項1〜4のいずれか1項に記載の酸化
    物センサにおいて、 前記濃度測定手段における前記内側測定電極は、−3t
    ≦d≦3tを満足する位置に配設されていることを特徴
    とする酸化物センサ。
  6. 【請求項6】請求項1〜5のいずれか1項に記載の酸化
    物センサにおいて、 前記濃度測定手段における前記内側測定電極は、前記下
    流方向に沿った幅wがw≦5tであることを特徴とする
    酸化物センサ。
  7. 【請求項7】請求項1〜6のいずれか1項に記載の酸化
    物センサにおいて、 前記主ポンプ手段における前記内側ポンプ電極は、酸化
    物に対する触媒活性の低い不活性材料からなることを特
    徴とする酸化物センサ。
  8. 【請求項8】請求項1〜7のいずれか1項に記載の酸化
    物センサにおいて、 前記酸化物は、窒素酸化物であることを特徴とする酸化
    物センサ。
  9. 【請求項9】請求項1〜8のいずれか1項に記載の酸化
    物センサにおいて、 前記内側検出電極の近傍に形成された補助ポンプ電極を
    有し、かつ、前記主ポンプ手段にてポンピング処理され
    た後の被測定ガスに含まれる酸素を、前記補助ポンプ電
    極と前記外側検出電極間に印加される電圧に基づいて前
    記ポンピング処理する補助ポンプ手段を有することを特
    徴とする酸化物センサ。
  10. 【請求項10】請求項1〜9のいずれか1項に記載の酸
    化物センサにおいて、 前記外側測定電極は、基準ガスが導入される空間に露呈
    する位置に配設されていることを特徴とする酸化物セン
    サ。
  11. 【請求項11】請求項1〜10のいずれか1項に記載の
    酸化物センサにおいて、 前記外側測定電極は、前記外側検出電極と共通に構成さ
    れていることを特徴とする酸化物センサ。
  12. 【請求項12】請求項1〜11のいずれか1項に記載の
    酸化物センサにおいて、 前記主ポンプ手段は、固体電解質からなる基体にて囲ま
    れ、かつ前記被測定ガスが導入される第1室の内外に形
    成された前記内側ポンプ電極及び前記外側ポンプ電極
    と、 これら両電極にて挟まれた前記基体を有することを特徴
    とする酸化物センサ。
  13. 【請求項13】請求項1、2、5〜12のいずれか1項
    に記載の酸化物センサにおいて、 前記測定用ポンプ手段は、固体電解質からなる基体にて
    囲まれ、かつ前記主ポンプ手段にてポンピング処理され
    た後の被測定ガスが導入される第2室内に形成された検
    出電極と、 固体電解質からなる基体にて囲まれ、かつ基準ガスが導
    入される基準ガス導入室に形成された基準電極と、 前記検出電極と前記基準電極にて挟まれた前記基体を有
    することを特徴とする酸化物センサ。
  14. 【請求項14】請求項3〜12のいずれか1項に記載の
    酸化物センサにおいて、 前記濃度検出手段は、固体電解質からなる基体にて囲ま
    れ、かつ前記主ポンプ手段にてポンピング処理された後
    の被測定ガスが導入される第2室内に形成された検出電
    極と、 固体電解質からなる基体にて囲まれ、かつ基準ガスが導
    入される基準ガス導入室に形成された前記基準電極と、 前記検出電極と前記基準電極にて挟まれた前記基体を有
    することを特徴とする酸化物センサ。
  15. 【請求項15】請求項1〜14のいずれか1項に記載の
    酸化物センサにおいて、 前記濃度測定手段は、固体電解質からなる基体にて囲ま
    れ、かつ前記外部空間からの被測定ガスが導入される前
    記第1室内に形成された測定電極と、 固体電解質からなる基体にて囲まれ、かつ基準ガスが導
    入される基準ガス導入室に形成された前記基準電極と、 前記測定電極と前記基準電極にて挟まれた前記基体を有
    することを特徴とする酸化物センサ。
  16. 【請求項16】請求項12〜15のいずれか1項に記載
    の酸化物センサにおいて、 前記外部空間における前記被測定ガスの前記第1室への
    導入経路に、前記被測定ガスに対して所定の拡散抵抗を
    付与する第1の拡散律速部が設けられ、 前記主ポンプ手段にてポンピング処理された後の前記被
    測定ガスの前記第2室への導入経路に、前記被測定ガス
    に対して所定の拡散抵抗を付与する第2の拡散律速部が
    設けられていることを特徴とする酸化物センサ。
  17. 【請求項17】請求項12〜16のいずれか1項に記載
    の酸化物センサにおいて、 前記内側ポンプ電極及び前記測定電極は、前記第1室内
    の同一の前記基体平面上に配設されていることを特徴と
    する酸化物センサ。
  18. 【請求項18】請求項12〜17のいずれか1項に記載
    の酸化物センサにおいて、 前記被測定ガスに所定の拡散抵抗を付与する拡散律速部
    を有し、 それぞれが異なる種類の酸化物を測定する複数の前記第
    2室を備えることを特徴とする酸化物センサ。
  19. 【請求項19】請求項18記載の酸化物センサにおい
    て、 前記複数の第2室は、前記第1室に対して直列に配設さ
    れることを特徴とする酸化物センサ。
  20. 【請求項20】請求項18記載の酸化物センサにおい
    て、 前記複数の第2室は、前記第1室に対して並列に配設さ
    れることを特徴とする酸化物センサ。
  21. 【請求項21】請求項12〜20のいずれか1項に記載
    の酸化物センサにおいて、 前記第2室における前記被測定ガスの前記検出電極への
    進入経路に、前記被測定ガスに対して所定の拡散抵抗を
    付与する第3の拡散律速部が設けられていることを特徴
    とする酸化物センサ。
  22. 【請求項22】請求項2又は4記載の酸化物センサにお
    いて、 前記酸化物分解触媒はRhサーメットであることを特徴
    とする酸化物センサ。
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