JPH09120039A - 偏向走査装置 - Google Patents

偏向走査装置

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JPH09120039A
JPH09120039A JP30075895A JP30075895A JPH09120039A JP H09120039 A JPH09120039 A JP H09120039A JP 30075895 A JP30075895 A JP 30075895A JP 30075895 A JP30075895 A JP 30075895A JP H09120039 A JPH09120039 A JP H09120039A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 折り返えしミラーの振動によるトラブルを回
避する。 【解決手段】 回転多面鏡3の走査光L1 は結像レンズ
4を経て折り返えしミラー5によって回転ドラム6の感
光体に向かって反射される。折り返えしミラー5は長尺
の棒状体であるために振動を発生しやすい。そこで、折
り返えしミラー5の中央部分に重り10を接着して、折
り返えしミラー5の共振周波数を回転多面鏡3の回転に
よる振動の周波数から遠ざけることで、折り返えしミラ
ー5の振動を防ぐ。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はレーザプリンタやレ
ーザファクシミリ等の情報記録装置に用いられる偏向走
査装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】レーザプリンタやレーザファクシミリ等
の情報記録装置に用いられる偏向走査装置は、図9およ
び図10に示すように、光源ユニット101から発生さ
れたレーザ光をシリンドリカルレンズ102によって線
状の光束に集光し、回転多面鏡103によってその回転
軸に沿った方向(以下、「Z軸方向」という。)に垂直
な所定の方向(以下、「Y軸方向」という。)に偏向走
査し、結像レンズ104、折り返えしミラー105を経
て回転ドラム106上の感光体に結像させる。感光体に
結像する光束は、回転多面鏡103の回転によるY軸方
向の主走査と、回転ドラム106の回転によるZ軸方向
の副走査によって静電潜像を形成する。
【0003】回転多面鏡103の走査光L0 は、その走
査面(XY平面)のY軸方向の一端においてBDミラー
107aによって前記走査面の下方へ分離されてBDセ
ンサ107bに導入され、走査開始信号に変換されて光
源ユニット101の半導体レーザに送信される。半導体
レーザは走査開始信号を受信したうえで書き込み変調を
開始する。
【0004】光源ユニット101、シリンドリカルレン
ズ102、回転多面鏡103およびその駆動モータ10
3a、結像レンズ104、BDミラー107aおよびB
Dセンサ107bは光学箱108の側壁や底壁に取り付
けられる。回転ドラム106は光学箱108の外側に配
設されており、光学箱108の底壁には、走査光L0
光学箱108から回転ドラム106に向かって取り出す
ための窓109が設けられている。また、光学箱108
の上部開口はふた部材110によって閉塞される。
【0005】なお、折り返えしミラー105は、Y軸方
向に長尺の棒状体であり、その両端をそれぞれ図示しな
い板バネ等によって光学箱108のミラー支持体108
aに押圧されている。このように折り返えしミラー10
5の両端のみを板バネ等によってミラー支持体108a
に固定するのは、板バネの押圧力等によって折り返えし
ミラー105の反射面の有効部分が変形するのを回避す
るためである。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の技術によれば、前述のように、回転多面鏡の走査光を
回転ドラムに向かって折り返えす折り返えしミラーが、
両端のみを板バネ等によって固定された長尺の棒状体で
あるために振動を発生しやすい。そこで、回転多面鏡の
駆動による振動の周波数が折り返えしミラーの共振周波
数から20Hz程度離れるように折り返えしミラーの形
状や材質を工夫する必要がある。ところが、回転多面鏡
の駆動モータの回転数を、例えば、25,200rpm
と20,160rpmと16,800rpmの3段階に
切り換えてドット数の変更を行なう機種においては、上
記回転数における振動の周波数420Hz、336H
z、280Hzがすべて折り返えしミラーの共振周波数
から20Hz以上離れるように設計するのは極めて困難
である。
【0007】すなわち、折り返えしミラーの形状や材質
を変えることでその共振周波数を変更する方法は、折り
返えしミラーの設置スペースや材料コストの制約のため
に大幅な共振周波数の変更が不可能であり、加えて、必
要とする共振周波数を正確に得るのが難しく、さらに
は、偏向走査装置の機種が異なるごとに折り返えしミラ
ーの形状や材質を変更することが要求されるため、部品
単品コストが高くなる等の不都合がある。
【0008】なお、一般的に、折り返えしミラーの共振
周波数と回転多面鏡の回転による振動の周波数の差が±
20Hz以内になると回転ドラムの感光体に形成される
静電潜像に振動による欠陥が現われて著しい画質の劣化
を招くため、偏向走査装置の設計においては折り返えし
ミラーの共振周波数が駆動モータの回転による振動の周
波数から20Hz以上離れるように考慮することが要求
される。
【0009】本発明は、上記従来の技術の有する問題点
に鑑みてなされたものであり、折り返えしミラーの振動
によるトラブルを回避して画質の向上等に大きく貢献で
きる偏向走査装置を提供することを目的とするものであ
る。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の偏向走査装置は、回転多面鏡と、これを回
転させる駆動手段と、前記回転多面鏡によって走査され
た走査光を感光体に向かって反射する折り返えしミラー
を有し、該折り返えしミラーにその共振周波数を変更す
るための重りが付加されていることを特徴とする。
【0011】重りが、折り返えしミラーの長さ方向の中
央部分に付加されているとよい。
【0012】また、回転多面鏡と、これを回転させる駆
動手段と、前記回転多面鏡によって走査された走査光を
感光体に向かって反射する折り返えしミラーと、該折り
返えしミラーと前記回転多面鏡を収容する収容手段と、
該収容手段に保持された弾性部材を有し、該弾性部材が
前記折り返えしミラーに押圧されていることを特徴とす
る偏向走査装置であってもよい。
【0013】弾性部材が、折り返えしミラーの長さ方向
の中央部分に押圧されているとよい。
【0014】収容手段が光学箱とその開口を閉塞するふ
た部材を有し、弾性部材がふた部材に保持されていると
よい。
【0015】
【作用】駆動手段によって回転多面鏡を回転させると、
駆動手段の回転数に応じた周波数の振動が発生する。折
り返えしミラーの共振周波数が前記振動の周波数に近い
と折り返えしミラーに大きな振動が発生して画質の低下
を招くおそれがあるため、折り返えしミラーに重りを付
加してその共振周波数を変化させる。重りの重量を適切
に設定することで折り返えしミラーの共振周波数を広い
範囲で自在に変化させることができるため、折り返えし
ミラーの振動を確実に防止してこれによるトラブルを回
避できる。
【0016】加えて、折り返えしミラーの形状や材質を
偏向走査装置の機種に合わせて変える必要がないため、
折り返えしミラーの汎用性を向上させて部品単品コスト
を低減できる。
【0017】また、回転多面鏡と、これを回転させる駆
動手段と、前記回転多面鏡によって走査された走査光を
感光体に向かって反射する折り返えしミラーと、該折り
返えしミラーと前記回転多面鏡を収容する収容手段と、
該収容手段に保持された弾性部材を有し、該弾性部材が
前記折り返えしミラーに押圧されていることを特徴とす
る偏向走査装置であれば、弾性部材を折り返えしミラー
に押圧することで重りを付加した場合と同様の軽荷重を
かけることができる。加えて、折り返えしミラーに振動
が発生しても弾性部材の弾性力によってただちに減衰さ
れるため、折り返えしミラーの振動によるトラブルをよ
り一層確実に回避できる。。
【0018】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。
【0019】図1は第1実施例による偏向走査装置E1
を示すもので、(a)はその模式断面図、(b)は折り
返えしミラーのみを示す斜視図である。偏向走査装置E
1 は、図1の(a)に示すように、図示しない光源から
発生されたレーザ光をシリンドリカルレンズによって線
状の光束に集光し、回転多面鏡3によって所定の走査方
向に偏向走査し、結像レンズ4と折り返えしミラー5を
経て回転ドラム6上の感光体に結像させる。感光体に結
像する走査光L1 は、回転多面鏡3の回転による主走査
と、回転ドラム6の回転による副走査によって静電潜像
を形成する。
【0020】回転多面鏡3の走査光L1 は、その走査面
の一端に達したものが図示しないBDミラーによって反
射されてBDセンサに導入され、走査開始信号に変換さ
れて前記光源に送信される。光源は走査開始信号を受信
したうえで書き込み変調を開始する。
【0021】光源や回転多面鏡3、結像レンズ4等は偏
向走査装置の本体フレームと一体である光学箱7の側壁
や底壁に取り付けられる。回転ドラム6は光学箱7の外
側に配設されており、光学箱7の底壁には走査光L1
光学箱7から回転ドラム6に向かって取り出すための窓
8が設けられている。また、光学箱7の上部開口は、光
学箱7とともに収容手段を構成するふた部材9によって
閉塞され、ふた部材9はその周縁部において光学箱7に
ビス止めされる。
【0022】図1の(b)に示すように、折り返えしミ
ラー5は主走査方向に長尺な棒状の本体5aを有し、そ
の両端を図示しない板バネによって光学箱7と一体であ
るミラー支持体に押圧される。このようにして光学箱7
に固定された折り返えしミラー5は、その反射面5bの
反対側の表面に重り10を付加されている。
【0023】重り10は、回転多面鏡3の駆動手段であ
る駆動モータ3aの回転による振動の周波数から折り返
えしミラー5の共振周波数が20Hz以上離れるように
折り返えしミラー5の重量を調節するために設けられた
もので、重り10の取り付け位置は、折り返えしミラー
5の長さ方向の中央部分であるのが望ましい。また、重
り10の取り付け方法は、接着剤や両面テープを用いて
接着するのが最も簡単である。
【0024】すなわち、回転多面鏡3の回転によって光
学箱7に発生する振動の周波数が折り返えしミラー5の
本体5aの共振周波数に近いときは、本体5aに適量の
重り10を貼着して、折り返えしミラー5の共振周波数
と駆動モータ3aによる振動の周波数の差が20Hz以
上になるように調節する。
【0025】特に、回転多面鏡3の回転数を数段階に切
り換えてドット数の変更を行なう機種の偏向走査装置に
おいは、駆動モータ3aの各回転数による振動の周波数
から折り返えしミラー5の本体5aの共振周波数が20
Hz以上離れるように設計するのは極めて困難で部品コ
ストの高騰を招くおそれがあるが、本実施例によれば、
折り返えしミラー5の本体5aは異なる機種の偏向走査
装置に共通のものを安価に製作し、適量の重り10を取
り付けるだけで、折り返えしミラー5の重さを自在に変
更してその共振周波数を任意に設定できる。これによっ
て、運転中に折り返えしミラーが振動するおそれのない
高性能でしかも安価な偏向走査装置を実現できる。
【0026】図2は、折り返えしミラーの本体として外
形寸法5mm×10mm×210mm、比重2.38g
/cm3 、重量25.0gのフロートガラスを用いて、
その両端を板バネによって固定し、中央に重量の異なる
重りA,B,C,Dを取り付けて折り返えしミラーの共
振周波数の変化を測定した結果を示すグラフである。こ
のグラフから解るように、折り返えしミラーの本体の共
振周波数が340Hzであるとき、3gf程度の重り
(サンプルD)を取り付ければ共振周波数が295Hz
まで変化する。すなわち、共振周波数をその13%に相
当する45Hz程度ずらすことができる。。
【0027】例えば、回転多面鏡の駆動モータ回転数を
25,200rpm(420Hz)、20,160rp
m(336Hz)、16,800rpm(280Hz)
の3段階に切り換える機種の偏向走査装置において、折
り返えしミラーの本体の共振周波数が340Hzであれ
ば駆動モータの回転数が20,160rpmになったと
きに折り返えしミラーの振動が発生する。そこで、サン
プルBの重りを取り付ければ、折り返えしミラーの共振
周波数を駆動モータの回転数20,160rpmと1
6,800rpmにおける振動の周波数336Hzと2
80Hzの双方から20Hz以上離すことができるた
め、いずれの回転数でも折り返えしミラーが振動を起こ
すことのない偏向走査装置を得ることができる。なお、
図2の2点鎖線で示す曲線は各サンプルの共振周波数か
ら±20Hzずれた周波数の安全圏を表わすものであ
る。
【0028】図3は一変形例を示すものでこれは、平板
状の重り10の替わりに、断面U字形の重り20を用い
る。この場合は、折り返えしミラー5の本体5aを背面
からかかえ込むように重り20を装着し、接着方法は接
着剤や両面テープを用いて行なう。平板状である場合の
ように重りが落下する等のトラブルを回避できる利点が
ある。
【0029】また、図4に示すように、樹脂等によって
断面U字形の重り30を製作し、その一部分を打ち抜い
てバネ部30aを形成するとともに、折り返えしミラー
5の反射面5bの端縁にスナップフィットする爪30b
を設けてもよい。この場合は、接着剤等を用いる必要が
ないため、重りの組み付けが簡単になるという利点があ
る。
【0030】図5は第2実施例による偏向走査装置を示
す模式断面図であって、これは、第1実施例の折り返え
しミラー5と同様の折り返えしミラー45に重りを取り
付ける替わりに、ふた部材49の内側にゴム等の弾性材
料で作られた弾性部材50を接着し、光学箱47にふた
部材49をビス止めによって組み付けたときに弾性部材
50が折り返えしミラー45の長さ方向の中央部分に押
圧されるように構成したものである。弾性部材50はそ
の弾性力によって、折り返えしミラー45に振動が発生
したときに直ちにこれを減衰させる働きをする。また、
弾性部材50の付勢力によって、折り返えしミラー45
に1〜5gf程度の重りを取り付けた場合と同様の軽荷
重がかかる結果となり、折り返えしミラー45の振動に
よるトラブルを大幅に低減できる。回転多面鏡3や結像
レンズ4等については第1実施例と同じであるので同一
符号で表わし、説明は省略する。
【0031】図5の(b)に示すように、ふた部材49
に対する弾性部材50の接着は両者の間に両面テープ5
0aを介在させてもよいし、図6に示すように、弾性部
材50の表面に接着剤50bを塗布してふた部材49の
内面に押しつけてもよい。
【0032】あるいは、図7の(a)に示すように、弾
性部材50にピン状の突起50cを設け、これをふた部
材49の穴に圧入するいわゆるスナップフィット(パッ
チン止め)によって弾性部材50をふた部材49に固定
してもよいし、また、ふた部材49が金属製であれば、
図7の(b)に示すように厚さ0.1mm以下の板バネ
からなる弾性部材50に穴50dを設け、ふた部材49
の一部分にカシメや溶接によって固定してもよい。
【0033】また、図8に示すように、弾性部材50の
替わりに、先端に重り61を一体的に設けた弾性部材6
0を用いてもよい。この場合は、図8の(a)に示すよ
うに折り返しミラー45の背面の一部分に弾性部材60
を接触させてもよいし、同図の(b)に示すように、重
り61を重くして弾性部材60を深く湾曲させ、折り返
えしミラー45の背面全体に弾性部材60が接触するよ
うに構成してもよい。
【0034】
【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で、次に記載するような効果を奏する。
【0035】回転多面鏡の走査光を感光体に向かって反
射する折り返えしミラーの振動によるトラブルを回避し
て、画質を大きく改善できる。加えて、折り返えしミラ
ーの汎用性を向上させることで部品単品コストを低減
し、偏向走査装置の低価格化に大きく貢献できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施例による偏向走査装置を示すもので、
(a)はその模式断面図、(b)は折り返えしミラーの
みを示す斜視図である。
【図2】重りの重さと折り返えしミラーの共振周波数の
関係を示すグラフである。
【図3】第1実施例の第1の変形例による折り返えしミ
ラーを示す斜視図である。
【図4】第1実施例の第2の変形例による折り返えしミ
ラーの主要部を示すもので、(a)はその平面図、
(b)は(a)の長さ方向の断面図、(c)は(a)の
幅方向の断面図である。
【図5】第2実施例による偏向走査装置を示すもので、
(a)はその模式断面図、(b)は(a)の一部分を拡
大して示す拡大部分断面図である。
【図6】第2実施例の一変形例の主要部を拡大して示す
拡大部分斜視図である。
【図7】第2実施例の別の2つの変形例の主要部をそれ
ぞれ拡大して示す図である。
【図8】第2実施例のさらに別の2つの変形例の主要部
をそれぞれ拡大して示す図である。
【図9】一従来例を示す平面図である。
【図10】図9の装置を示す模式断面図である。
【符号の説明】
3 回転多面鏡 4 結像レンズ 5,45 折り返えしミラー 5a 本体 5b 反射面 6 回転ドラム 7,47 光学箱 9,49 ふた部材 10,20,30,61 重り 50,60 弾性部材 50a 両面テープ 50b 接着剤 50c 突起 50d 穴

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回転多面鏡と、これを回転させる駆動手
    段と、前記回転多面鏡によって走査された走査光を感光
    体に向かって反射する折り返えしミラーを有し、該折り
    返えしミラーにその共振周波数を変更するための重りが
    付加されていることを特徴とする偏向走査装置。
  2. 【請求項2】 重りが、折り返えしミラーの長さ方向の
    中央部分に付加されていることを特徴とする請求項1記
    載の偏向走査装置。
  3. 【請求項3】 重りが、折り返えしミラーに接着されて
    いることを特徴とする請求項1または2記載の偏向走査
    装置。
  4. 【請求項4】 重りが、断面U字形の部材であって折り
    返えしミラーをその反射面の反対側からかかえ込むよう
    に取り付けられていることを特徴とする請求項1または
    2記載の偏向走査装置。
  5. 【請求項5】 重りが、折り返えしミラーの反射面と反
    対側の表面に押圧されるバネ部と、前記反射面側にスナ
    ップフィットする爪を有することを特徴とする請求項1
    または2記載の偏向走査装置。
  6. 【請求項6】 回転多面鏡と、これを回転させる駆動手
    段と、前記回転多面鏡によって走査された走査光を感光
    体に向かって反射する折り返えしミラーと、該折り返え
    しミラーと前記回転多面鏡を収容する収容手段と、該収
    容手段に保持された弾性部材を有し、該弾性部材が前記
    折り返えしミラーに押圧されていることを特徴とする偏
    向走査装置。
  7. 【請求項7】 弾性部材が、折り返えしミラーの長さ方
    向の中央部分に押圧されていることを特徴とする請求項
    6記載の偏向走査装置。
  8. 【請求項8】 収容手段が光学箱とその開口を閉塞する
    ふた部材を有し、弾性部材がふた部材に保持されている
    ことを特徴とする請求項6または7記載の偏向走査装
    置。
  9. 【請求項9】 弾性部材が、ふた部材に接着されている
    ことを特徴とする請求項6ないし8いずれか1項記載の
    偏向走査装置。
  10. 【請求項10】 弾性部材が、スナップフィットによっ
    てふた部材に固着されていることを特徴とする請求項6
    ないし8いずれか1項記載の偏向走査装置。
  11. 【請求項11】 弾性部材が、溶接またはカシメによっ
    てふた部材に固着された板バネによって構成されている
    ことを特徴とする請求項6ないし8いずれか1項記載の
    偏向走査装置。
  12. 【請求項12】 弾性部材が、重りを付加されているこ
    とを特徴とする請求項6ないし11いずれか1項記載の
    偏向走査装置。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011107388A (ja) * 2009-11-17 2011-06-02 Ricoh Co Ltd 光走査装置及び画像形成装置
JP2013029651A (ja) * 2011-07-28 2013-02-07 Kyocera Document Solutions Inc 光走査装置及びこれを備えた画像形成装置
US9223131B2 (en) 2014-05-16 2015-12-29 Kyocera Document Solutions Inc Optical scanning device and image forming apparatus including the same
JP2018001570A (ja) * 2016-06-30 2018-01-11 富士ゼロックス株式会社 露光装置 画像形成装置
JP2018017934A (ja) * 2016-07-28 2018-02-01 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 光走査装置及び該光走査装置を備えた画像形成装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011107388A (ja) * 2009-11-17 2011-06-02 Ricoh Co Ltd 光走査装置及び画像形成装置
JP2013029651A (ja) * 2011-07-28 2013-02-07 Kyocera Document Solutions Inc 光走査装置及びこれを備えた画像形成装置
US9223131B2 (en) 2014-05-16 2015-12-29 Kyocera Document Solutions Inc Optical scanning device and image forming apparatus including the same
JP2018001570A (ja) * 2016-06-30 2018-01-11 富士ゼロックス株式会社 露光装置 画像形成装置
JP2018017934A (ja) * 2016-07-28 2018-02-01 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 光走査装置及び該光走査装置を備えた画像形成装置

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