JPH0878502A - ２つの末端位置間において物を搬送する搬送装置 - Google Patents

２つの末端位置間において物を搬送する搬送装置

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JPH0878502A
JPH0878502A JP7121749A JP12174995A JPH0878502A JP H0878502 A JPH0878502 A JP H0878502A JP 7121749 A JP7121749 A JP 7121749A JP 12174995 A JP12174995 A JP 12174995A JP H0878502 A JPH0878502 A JP H0878502A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】非常に柔軟な搬送を保証する一方で、長い搬送
路の場合にも信頼性及びクリーン・ルーム条件に対する
悪影響を大きく低減する搬送装置の提供。 【構成】搬送に使用される駆動装置の可動部上のセンサ
及びアクチュエータの動作を制御すべく、これらのセン
サ及びアクチュエータ、並びに駆動装置7,41の固定部に
設けられた供給ユニット10の間の電気接続は、２つの末
端位置において排他的に実行される。本発明に基づく装
置は半導体加工装置に対する装填の実施など半導体の製
造に使用されるが、その使用用途は同分野に限定される
ものではない。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は２つの末端位置間におい
て物を搬送する搬送装置であって、固定部が駆動装置の
使用により前記２つの末端位置間における直線移動が可
能な可動部を支持し、更に同固定部がセンサ及びアクチ
ュエータに対して信号電流及びモータ電流を供給すべく
供給ユニットを備えている装置に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】集積回
路の製造の際、半導体ウェハは異なる加工工程の間に各
加工装置に対し搬送することを要する。更に高い集積度
を実現すべくより清浄に保持して従来のクリーン・ルー
ムの機能を一層高めるとともに、半導体加工装置内にお
けるエンクロージャの正確な使用またはスタンダード・
メカニカル・インターフェース技術（以下、ＳＭＩＦ技
術と称する）の使用により、妥当なコストで更に高い歩
留まりを実現し得る。このため、加工工程間における各
加工装置への半導体ウェハの搬送においてＳＭＩＦボッ
クスと称される標準化された搬送コンテナが多く使用さ
れている。
【０００３】半導体ウェハはＳＭＩＦボックスの底部に
適切な方法で取付けられたマガジン内の棚に格納され
る。半導体加工装置に対する装填を実施すべくマガジン
は最初に搬送コンテナから取出される。一般的に、これ
は各種の従来技術に基づく搬送方法に基づく。
【０００４】例えば、欧州特許第２０９６６０号におい
て、カセットは自動カセット・マニピュレータによりＳ
ＭＩＦエレベータから装置エレベータ上へ搬送される。
この場合、旋回運動はカセットを上下動させる垂直方向
に沿った移動の際に実施される。回転部材の使用は直線
移動部材より粒子形成量（Mass der Partikelerzeugun
g）を更に低減することを目的としている。
【０００５】これに類似した技術は欧州特許第２３８５
４１号に開示されており、マガジンは任意の移動曲線に
沿ってモータ駆動式レバー・アームによって搬送され
る。同レバー・アームは独立したエレベータによってＺ
方向に沿って移動される。
【０００６】クリーン・ルームを維持するために必要と
される空気の層流は、公知の機械構成を用いることによ
り攪乱または阻害される。特に、この攪乱または阻害は
レバー・アームとして形成された搬送装置の作動範囲が
マガジンの側方に沿って制御されるという事実及び密閉
構造に起因して生じる。搬送動作をＺ方向の動作と結び
付けることにより搬送時間が不必要に増加し、かつ粒子
形成量が増大する。
【０００７】更に、半導体加工装置を改装する際、ウェ
ハ・マガジンをＳＭＩＦ条件下において装置内に挿入す
るとともに、クリーン・ルーム条件下において中身を取
り出し、かつ装置内において搬送することを許容すべく
既存のクリーン・ルームに対してＳＭＩＦシステムを増
設することは従来の技術では困難である。
【０００８】ドイツ特許第４３２６３０９Ｃ１号に開示
されている技術的解決策の場合、剛性グリッパ・アーム
を駆動するリニア駆動装置はマガジンを装填位置から加
工位置へ搬送すべく支柱に対して取付けられている。こ
のリニア駆動装置はエレベータの移動方向に沿った垂直
方向における調整が可能である。グリッパ・アームの作
動範囲は装填位置に配置されたマガジンの上方に位置し
ており、エレベータの移動方向に対して垂直方向に沿っ
て延びている。空気が通過する開口は支柱及びエレベー
タ駆動装置の間に形成されている。全ての駆動部分は耐
塵エンクロージャによってクリーン・ルームから分離さ
れている。吸引装置または抜取り装置は開口の近くに配
置されており、同開口から搬送エレメントはクリーン・
ルーム内に延出している。
【０００９】これにより前記の問題点を解決し得るが、
装置の固定部に設けられた供給装置から可動部に対して
信号電流及びモータ電流を伝導すべく長い搬送距離に沿
って搬送されるケーブルは外乱を招来し、かつ信頼性に
対して悪影響を及ぼし得る。可動部上のケーブル接続部
分の機械的反応及び粒子形成の可能性は更なる問題点と
いえる。
【００１０】更に、半導体加工装置はその種類の多さに
起因してマガジンの異なる装填形態を必要とする。そし
て、空気圧によって動作するリニア駆動装置は、シリン
ダのいづれか一方の端部に位置する末端位置においてス
ロットル制御弁（Drosselrueckschlagventilen）を介し
た末端位置制動の形態をなす速度制御により非常に急激
に制動されるという問題点を有している。この場合、数
ミリメータの制動距離において最高速度からゼロまでの
制動が行われ、これにより避けることができない急激な
上下動が搬送物に生じる。
【００１１】この結果、本発明の目的は非常に柔軟な搬
送を保証する一方で、長い搬送路の場合にも信頼性及び
クリーン・ルーム条件に対する悪影響を大きく低減する
搬送装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明の目的
は、固定部に支持された可動部を駆動装置により２つの
末端位置間で直線移動させ、末端位置間において物を搬
送する搬送装置であって、更に固定部が可動部に設けら
れたセンサ及びアクチュエータに対して信号電流及びモ
ータ電流を供給すべく供給ユニットを備えている装置に
おいて、供給ユニットに対するセンサ及びアクチュエー
タの電気的接続はセンサ及びアクチュエータの作動を制
御すべく前記２つの末端位置においてのみ実施されるこ
とを特徴とする装置の提供によって達成される。
【００１３】更に、本発明に基づく搬送装置は電気的接
点を形成すべく弾性接点を備えた構成グループを有し、
可動部の２つの末端位置にそれぞれ位置する固定部には
構成グループのうちの１つがそれぞれ支持され、更に可
動部が別の少なくとも１つの構成グループを支持してお
り、供給ユニットに対して電気的に接続された固定部上
の前記弾性接点は、センサ及びアクチュエータに対する
電気的接続を有する可動部上の弾性接点に対向して配置
されている。
【００１４】弾性接点は、スリーブ内に弾性的に支持さ
れたゴールド・ピン（Goldstiften）の形態をなすゴー
ルド接点（Goldkontakte）として形成されている。従来
の螺旋ケーブルに代えてこれらの接点組立体を使用し、
かつ電気的接続を末端位置においてのみ実施することに
より、搬送装置の信頼性は大きく増大する。これはケー
ブルに沿って生じる高い機械的ひずみの結果として生じ
得るケーブルの破断を回避可能なことに起因する。更
に、本発明に基づく接点組立体の使用により粒子形成の
別の源を排除できるという利点がある。
【００１５】センサ及びアクチュエータを備え、かつエ
レベータの可動部によって支持されているプレートは、
上方取出し及び取替え位置から下方装填位置へ物を垂直
方向に沿って搬送するために使用されている。
【００１６】センサ及びアクチュエータは、物をほぼ水
平方向に沿って搬送するグリッパの構成部品でもある。
この場合、可動部の移動時間中の少なくとも一時期にお
いてグリッパの回動を直線移動と連携させることは効果
的である。
【００１７】この目的のために、グリッパと、同グリッ
パを回動可能に支持し、かつグリッパと駆動装置とを連
結するグリッパ・アームとは、グリッパの直線運動を回
動運動に移行させるべく互いに機械的に連結されてい
る。
【００１８】第１の構成において、グリッパ・アームに
おいてグリッパの締付け具は、直線移動面に沿って平行
に延び、かつ直線移動の方向に対して直交する方向に沿
って延びる回転軸を有している。
【００１９】グリッパ・アームに対して連結された第１
のレバーは前記の直線運動をグリッパの回動運動に機械
的に変換すべく形成されている。更に、第１のレバーは
直線移動の際に連接部材の高さの違いを感知する一方、
同第１のレバーは回動可能に連結された連接ロッドを介
して第２のレバーに対して連結されており、同第２のレ
バーは前記した高さの違いを回動運動に変換する。
【００２０】第１のレバーはグリッパの回動角度を調整
すべく自身の有効長さの調整が可能である。第２の構成
において、グリッパ・アームに対するグリッパの回動可
能な締付け具は直線移動面に直交する方向に沿って延び
る回転軸を有している。
【００２１】前記直線運動をグリッパの回動運動へと機
械的に変換すべく、グリッパ上の偏心して配置された玉
継手内に支持された連接ロッドの駆動体及び第１のスト
ッパはタイロッドに対して接続されており、前記タイロ
ッドはボール・サーキュレーティング・ガイド（Kugelu
mlauffuehrungen ）内において案内及び支持され、第１
のストッパが固定部に取付けられた第２のストッパに対
して当接することにより第１のストッパはグリッパ・ア
ームが前方へ直線移動する際にタイロッド及び駆動体を
制止する。
【００２２】玉継手はバネの付勢力によって動作する調
整可能なストッパ装置を有している。グリッパの直線移
動を実施すべく空気圧式リニア駆動装置を提供すること
は効果的といえる。
【００２３】独立した調整が可能な空気流量を提供する
少なくとも一対の平行に作用するスロットルは、直線移
動の各方向に沿った移動速度を制御すべく空気圧式リニ
ア駆動装置のシリンダに形成されており、直線移動の方
向に作用するスロットルの数量は可動部の位置及び直線
移動の方向に基づいてセンサ信号によって制御されてい
る。
【００２４】スロットルとしては、排気エアを調整可能
に絞ることを許容し、さらには移動方向に沿って空気の
通路を許容するスロットル制御弁が効果的である。
【００２５】
【実施例】本発明を以下に添付図面とともに詳述する。
図１及び図２に示すように、支柱１及び被覆されたエレ
ベータ駆動装置２はホルダ３の支持部材として使用され
ており、同ホルダ３上にはマガジン・コンテナ４が配置
されている。支柱１及びエレベータ駆動装置２の間には
開口が形成されている。エレベータ駆動装置２によりＺ
方向に沿った移動が可能なエレベータは、ドイツ特許第
４３２６３０９Ｃ１号に更に詳細に開示されており、同
エレベータはマガジン・コンテナ４内に位置するウェハ
状の物を格納するマガジン５の取出し及び取替えを実施
する保持アームを備えている。
【００２６】本実施例において、マガジン５は同マガジ
ン５のベース及びスタンドとともにマガジン・コンテナ
４から取出され、かつプレート６上に配置される。プレ
ート６はＳＭＩＦ技術に必要なアクチュエータ及びセン
サを備えており、かつホルダ３から離間して下降可能で
ある。従って、マガジン・コンテナ４が装填された状態
にあるか否か、または同マガジン・コンテナ４が開放さ
れているか否かなどといったマガジン・コンテナ４の状
態を断定する必要がある。
【００２７】エレベータは可動部を有しており、同可動
部は固定部内において上方取外し及び取替え位置並びに
下方装填位置の間で案内される。上方取外し及び取替え
位置並びに下方装填位置は、エレベータの可動部の第１
の末端位置及び第２の末端位置にそれぞれ対応してい
る。
【００２８】可動グリッパ８を駆動するリニア駆動装置
７は支柱１に対して固定されている。グリッパ８の作動
範囲は下方装填位置に配置されたマガジン５の上方にお
いて、エレベータ駆動装置２の移動方向に対して垂直方
向に沿って延びている。
【００２９】グリッパ８は把持部材９及び把持プロセス
を監視するセンサ（図示略）を備えている。供給ユニッ
ト１０は、リニア駆動装置７、グリッパ８、グリッパ８
の把持部材９及び空気圧式ショート・ストローク・シリ
ンダ１１に対して信号電流及びモータ電流を供給すべく
支柱１及びエレベータ駆動装置２の間の下方領域に配置
されている。空気圧式ショート・ストローク・シリンダ
１１はローリング・ガイド１２を備えており、かつＺ軸
に沿った調整に使用される。
【００３０】装置は全体としてベース・プレート１３に
より機械的インターフェースを介して半導体加工装置に
対して取付け得る。吸引装置または可変速フィルタ／換
気ユニットは、矢印によって示された方向に沿った空気
の流れを形成すべく支柱１及びエレベータ駆動装置２の
間に配置可能である。
【００３１】操作エレメント及び表示エレメントはホル
ダ３の領域内に設置されている。外部電子制御装置は大
きく異なる移動順序をともなう各種装置に対して各種の
組合わせにより適合させ得る個々のモジュールから構成
される装置に対するケーブル接続を有している。必要に
応じて、エレベータの垂直方向に沿った移動などに代表
される個々の移動順序のみを実施し得る。
【００３２】リニア駆動装置７において、支持用ベース
・プレート１４は、空気圧式リニア・シリンダ１５を内
部移動ピストン及びこれに平行に配置されたローリング
・ガイド１６とともに収容している。リニア・シリンダ
１５及びローリング・ガイド１６は可動部であるグリッ
パ・アーム１７を介して互いに接続されている。グリッ
パ８は直線移動面に沿って平行に延び、かつ直線移動の
方向に対して直交する方向に沿って延びるＸーＸ軸の周
囲の調整可能な角度範囲内において回動し得るようにグ
リッパ・アーム１７に対して接続されている。
【００３３】図３に示すように第１のレバー１８はＨ−
Ｈ軸の周囲を回動可能であり、かつＸ−Ｘ軸の周囲にお
いてグリッパ８を回動させるべく直線移動時に連接部材
１９が提供されたことを感知する。連接部材１９はその
高さに違いがあり、この違いは連接ロッド２０によって
第２のレバー２１に伝達され、同連接ロッド２０はＳ−
Ｓ軸の周囲を回動し得るように第１のレバー１８に対し
て固定されている。第２のレバー２１は連接ロッド２０
及びグリッパ８の間を連結している。
【００３４】第１のレバー１８は同第１のレバー１８の
有効長さ及びグリッパ８の回動角度を調整し得るように
形成されている。レバー１８の回転軸であるＨ−Ｈ軸及
び連接ロッド２０の接続点であるＳ−Ｓ軸の間の距離
は、調整ピン１８１によって調整され、かつ締付ネジ１
８２によって固定されている。引張りバネ（図示略）の
付勢力により第１のレバー１８は接続部材１９に対して
常に付勢され、かつ傾斜したグリッパ８の回動角度が維
持される。
【００３５】図１に示すように、マガジン・コンテナ４
から取出され、かつ下方装填位置に配置されたマガジン
５は、グリッパ８のモータ駆動式把持部材９を使用する
ことにより同グリッパ８によって把持される。更に、マ
ガジン５はショート・ストローク・シリンダ１１の空気
圧がもたらす上昇移動によって持ち上げられる。そし
て、マガジン５はリニア駆動装置７の可動部の第１の末
端位置から第２の末端位置（半導体加工装置のマガジン
位置）までリニア駆動装置７によって搬送される。第２
の末端位置に到達する直前に、グリッパ８及びマガジン
５はＸ−Ｘ軸の周囲において回動される。連接部材１９
の高さの違いＨは第２のレバー・アーム２１に伝達さ
れ、これによってマガジン５の正面からの取出しが可能
な半導体ウェハは上向きに配置され、かつ取出しが可能
となる。
【００３６】所定の直線距離を移動し、かつ末端位置に
到達した後に前記の回動は停止される。下方への移動は
ショート・ストローク・シリンダ１１によって実行さ
れ、マガジン５は所定の方法に基づいて装填される。
【００３７】グリッパ８はマガジン５から離間し、かつ
更に高い中立位置に復帰する。エレベータ駆動装置２
は、既にプレート６及びマガジン・コンテナ４のベース
とともにエレベータの可動部を上方の第１の末端位置へ
再び移動している。この結果、マガジン・コンテナ４は
閉鎖され、マガジンの交換が可能となる。
【００３８】マガジンが半導体加工装置内に挿入された
後、マガジンの移動空間に形成可能なエアロック・ドア
を閉鎖できる一方、更に別のマガジンを半導体加工装置
に装填可能である。マガジンは前記の手順とは逆の手順
で半導体加工装置から搬出される。
【００３９】構成グループ２２，２３，２４は供給ユニ
ット１０から信号電流及びモータ電流をグリッパ８のア
クチュエータ及びセンサに対して伝導するために使用さ
れる。構成グループ２２，２３は可動部のそれぞれの末
端に位置する固定部上にそれぞれ固定されている。構成
グループ２４はグリッパ・アーム１７上に固定されてい
る。構成グループ２２，２３は弾性接点２５，２６をそ
れぞれ備えており、同弾性接点２５，２６は構成グルー
プ２４上の弾性接点２７，２８に対向するようにそれぞ
れ配置されている。
【００４０】弾性接点２５，２６はスリーブ内に弾性を
ともなって支持されたゴールド・ピンの形態をなすゴー
ルド接点として形成されており、同弾性接点２５，２６
から供給ユニット１０へ延びる電気接続が形成されてい
る。更に、接点２７，２８からグリッパ８のセンサ及び
アクチュエータに延びる電気接続が形成されている。
【００４１】信号電流及びモータ電流を伝導すべく接点
２５及び接点２７はグリッパ８が図１に示す末端位置に
配置された際に互いに接続され、接点２６及び接点２８
はグリッパ８が図２に示す末端位置に配置された際に互
いに接続される。
【００４２】可動部上に設けられた接点２７，２８のゴ
ールド・ピンは、低い接触抵抗を実現すべく可能な限り
の最大圧力をともなって固定部上に設けられたそれぞれ
に対応する接点に対して接続される。この接続に必要と
される付勢力はバネによって形成される。弾性作用によ
って実現されるワーキング・ストロークはグリッパ８が
末端位置から離間する以前に一時的な電気的接触を提供
する。グリッパ８に対する電流の供給は直線移動または
グリッパ８の回動の最中は停止され、同グリッパ８に対
する電流の供給は末端位置においてのみ実施される。こ
の結果、マガジンの取出しまたは搬送が可能になる。
【００４３】図４に示す空気圧式リニア駆動装置７の速
度制御では、２つのセンサ３２，３３はピストンの移動
路に沿って設けられている。センサ３２，３３は直線移
動の方向に沿って平行に配置されており、さらには固定
ストッパとして形成された末端位置３０，３１に対する
調整が可能である。センサ３２，３３はピストンに対し
て接続されたトリガ部分によって作動される。
【００４４】電気接続はセンサ３２，３３から電子機器
３４まで延びており、同電子機器３４はセンサ３２，３
３から出力されたパルス信号を空気圧弁３５，３６を移
動方向に基づいてそれぞれ制御する信号に変換する。シ
リンダの排気エア管内に配置された逆止弁及び可変オリ
フィスを備えた一対のスロットル制御弁３７，３８及び
３９，４０は、各空気圧弁３５，３６に対してそれぞれ
接続されている。
【００４５】末端位置３０から末端位置３１への移動の
際、弁３５はセンサ３２によって最初に開放され、これ
によってスロットル制御弁３８はスロットル制御弁３７
に対して連通される。比較的高速であるピストンの最終
速度は、駆動装置の内部摩擦及びスロットル制御弁３
７，３８の設定に基づいて決定される。
【００４６】ピストンがセンサ３３に到達した際、同セ
ンサ３３からの信号に基づいてバルブ３５が閉鎖され、
スロットル制御弁３８がこれに応じて遮断される。この
結果、ピストンの速度は末端位置３１に到達するまでの
間にほぼ正弦曲線を描いてゼロまで減速される。これに
より末端位置３１への緩やかな到達が実現される。そし
て、マガジン内において搬送されるウェハの振動または
移動が阻止される。
【００４７】ピストンがセンサ３３を通過する際に生じ
る弁３６の作動は最初は全く影響がない。弁３６の作動
によって開放されるスロットル制御弁３９は、末端位置
３１から末端位置３０へ向かう逆方向の移動時にのみ有
効である。末端位置３１から末端位置３０へ向かう移動
の際の動作は前記の末端位置３０から末端位置３１への
移動の際の動作と同様に実施される。センサ３２の作動
によって送信された信号は弁３６を閉鎖する。スロット
ル制御弁３９が遮断されることにより、ピストンの速度
はスロットル制御弁４０の作動により末端位置３０に到
達するまでに減速され、さらにはゼロとなる。
【００４８】前記した末端位置３０から末端位置３１へ
の移動と同様に、センサ３２の作動による弁３５の開放
は最初は全く影響がない。逆方向への移動が行われた
際、スロットル制御弁３８が有効になる。
【００４９】実現可能な最終速度はセンサ３２，３３及
び末端位置３０，３１の間の距離を定め、かつ２つの付
随するスロットル制御弁３７，３８及び３９，４０をそ
れぞれ調整することにより決定される。
【００５０】本実施例において、末端位置及びセンサ間
に９０〜１２０ｍｍの距離を有する場合に、１００〜１
５０ｍｍ／秒のピストン速度が実現されている。ここで
使用された弁は、シールされたアウトプットを備えた２
／２方向制御弁または３／２方向制御弁であった。
【００５１】排気エアの絞りはスロットル制御弁３７，
３８，３９，４０を用いることにより調整可能であり、
エアは遮断されることなく移動方向に沿って流動可能で
ある。スロットル制御弁３７，４０はピストンが常に
“クリーピング速度”（非常に低速）と称される速度に
てそれぞれの末端位置に到達するよう調整されている。
【００５２】ピストンの到達速度を電子機器３４によっ
て制御することも可能である。最高速度はセンサ３２及
びセンサ３３をそれぞれ配置した位置の間においてのみ
達成される。加速及び制動は末端位置３０及びセンサ３
３の間の領域、並びにセンサ３２及び末端位置３１の間
の領域においてそれぞれ実行されるか、またはこの逆の
領域においてそれぞれ実行される。ピストンの速度はこ
の方法に基づいて簡単に制御可能である。
【００５３】図５及び図６は、マガジン８を直線移動面
に直交する方向に沿って延びる軸の周囲で回動させるた
めに図１〜図３に示す実施例を大きく変更した構造を備
えたリニア駆動装置４１を示している。搬送装置は前記
したように全体としてモジュール方式で形成されている
ため、変更されていない構成部材の符号については図１
〜図３において使用した符号と同一の符号を使用する。
【００５４】リニア駆動装置４１はリニア駆動装置７同
様にショート・ストローク・シリンダ１１の使用により
滑り軸受け内における垂直方向に沿った調整が可能であ
る。リニア駆動装置４１はグリッパ・アーム４５が取付
けられたキャリッジまたはスライド４４のためのガイド
４３をベース・プレート４２上に有している。その上方
位置において、グリッパ・アーム４５はタイロッド４７
を有している。タイロッド４７はボール・サーキュレー
ティング・ガイド４６、駆動体４８及び第１のストッパ
４９により案内され、かつ支持されている。第１のスト
ッパ４９はタイロッド４７に接続されており、さらには
グリッパ・アーム４５内を案内される。
【００５５】駆動体４８は連接ロッド５０を介してグリ
ッパ８に対して接続されている。偏心して配置された玉
継手５１はバネの付勢力によって作動される調整可能な
ストッパ装置を有する一方で、カップリング・ロッド５
０を支持している。グリッパ８はグリッパ・アーム４５
上においてグリッパ・ベアリング５２により回動可能に
支持されている。グリッパ８の回転軸であるＹ−Ｙ軸は
直線移動面に直交する方向に沿って延びている。第２の
ストッパ５３は、グリッパ・アーム４５が前方に位置す
る半導体加工装置の方向に向かって直線上を移動した際
に、第１のストッパ４９がその固定位置に基づいてタイ
ロッド４７に接触するようにベース・プレート４２上に
取付けられている。カップリング・ロッド５０の駆動体
４８及びタイロッド４７は直線移動が継続する際に制止
され、これによってグリッパ・アーム４５に対するグリ
ッパ８の回動可能な締付け具の回転軸であるＹ−Ｙ軸の
周囲に沿ったグリッパ８の回動をもたらす。
【００５６】第１のストッパ４９のタイロッド４７に対
する固定位置及びベース・プレート４２上における第２
のストッパの固定位置を変更することにより、グリッパ
８の回動が開始されされる位置、及び回動角度の変更が
可能となる。このような作用はカップリング・ロッド５
０の位置の変更によっても実現可能である。
【００５７】引張りバネ６２はボール・サーキュレーテ
ィング・ガイド４６のうちの一方を介してグリッパ・ア
ーム４５とともに駆動体４８に対して連結されている。
引張りバネ６２はグリッパ・アーム４５が後退する際に
タイロッド４７を初期位置にセットする。
【００５８】図１〜図３に示すものとその構造及び動作
が一致する弾性接点５８，５９，６０，６１を備えた構
成グループ５４，５５，５６，５７は、供給ユニット１
０からグリッパ８のアクチュエータ及びセンサに対して
信号電流及びモータ電流を伝導するために使用されてい
る。
【００５９】ここに示すものと同様に形成され、かつ同
一の動作を示す弾性接点を備えた構成グループ（図示
略）は、エレベータの固定部及び可動部の末端位置にの
み設けられている。この構成グループは可動部のアクチ
ュエータ及びセンサ、並びに供給ユニットの間における
電気接続を形成しており、同供給ユニットは固定部に設
けられているか、または固定部に対して固定されたユニ
ット上に設けられている。
【００６０】搬送装置を半導体加工装置または他の装置
に対して接続すべく機械的インターフェースが提供され
ており、同機械的インターフェースについての更なる詳
述は省略する。
【００６１】ドイツ特許第４３２６３０９Ｃ１号に開示
されているように、リニア駆動装置、エレベータ駆動装
置、及びグリッパの把持部材を駆動する駆動装置は、耐
塵エンクロージャによってクリーン・ルームから分離さ
れている。吸引装置は開口に隣接して配置されており、
同開口を介してグリッパ、グリッパの把持部材及び搬送
物を保持する保持用エレメント等のものがクリーン・ル
ーム内に挿入される。
【００６２】本発明に基づく搬送装置の場合、可動部に
設けられたセンサ及びアクチュエータ並びに固定部に設
けられた供給ユニットの間の電気的接続が末端位置にお
いてのみ実施され、長いケーブルの使用を回避すること
により外乱による影響を抑え、装置の信頼性を高めるこ
とが可能である。更に、本発明に基づく接点組立体の使
用により粒子形成の別の源を排除可能であり、これによ
りクリーン・ルーム条件に対する悪影響を抑えることが
可能となる。
【００６３】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
非常に柔軟な搬送を保証する一方で、長い搬送路の場合
にも信頼性及びクリーン・ルーム条件に対する悪影響を
大きく低減し得るという優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図１】可動部が一方の末端に位置している搬送装置の
斜視図。
【図２】可動部が他方の末端に位置している図１の搬送
装置の斜視図。
【図３】図１及び図２の装置の一部拡大斜視図。
【図４】駆動装置の速度制御を示すブロック図。
【図５】可動部が一方の末端に位置している別の搬送装
置の斜視図。
【図６】可動部が他方の末端に位置している図５の搬送
装置の斜視図。
【図７】図５及び図６の装置の一部拡大斜視図。
【符号の説明】
６…プレート、７，４１…リニア駆動装置、８…グリッ
パ、１０…供給ユニット、１５…シリンダ、１７，４５
…グリッパ・アーム、１８…第１のレバー、１９…連接
部材、２０…連接ロッド、２１…第２のレバー、２２，
２３，２４，５４，５５，５６，５７…構成グループ、
２５，２６，２７，５８，５９，６０，６１…弾性接
点、３７，３８，３９，４０…スロットル制御弁、４６
…ボール・サーキュレーティング・ガイド、４７…タイ
ロッド、４８…駆動体、４９…第１のストッパ、５０…
連接ロッド、５１…玉継手、Ｘ−Ｘ，Ｙ−Ｙ…グリッパ
の締付け具の回転軸。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ユルゲン グレフェ ドイツ連邦共和国 イェナ デー−07745 ベルハルト−ブレヒト−シュトラーセ 31 (72)発明者 アンドレアス マゲス ドイツ連邦共和国 イェナ デー−07745 イン デン ツィンゼッケルン 16 (72)発明者 アンドレアス ビルクナー ドイツ連邦共和国 イェナ デー−07743 リカルダ−フーフ−ヴェーク 30 (72)発明者 エーリッヒ アドラー ドイツ連邦共和国 イェナ デー−07747 シュタウフェンベルクシュトラーセ 47

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 固定部に支持された可動部を駆動装置に
    より２つの末端位置間で直線移動させ、末端位置間にお
    いて物を搬送する搬送装置であって、更に固定部が可動
    部に設けられたセンサ及びアクチュエータに対して信号
    電流及びモータ電流を供給すべく供給ユニットを備えて
    いる装置において、 供給ユニット（１０）に対するセンサ及びアクチュエー
    タの電気的接続はセンサ及びアクチュエータの作動を制
    御すべく前記２つの末端位置においてのみ実施されるこ
    とを特徴とする装置。
  2. 【請求項２】 電気的接点を形成すべく弾性接点（２
    ５，２６，２７，５８，５９，６０，６１）を備えた構
    成グループ（２２，２３，２４，５４，５５，５６，５
    ７）を有し、可動部の２つの末端位置にそれぞれ位置す
    る固定部には構成グループ（２２，２３，５４，５５）
    のうちの１つがそれぞれ支持され、更に可動部が別の少
    なくとも１つの構成グループ（２２，２３，５４，５
    ５）を支持しており、供給ユニット（１０）に対して電
    気的に接続された固定部上の前記弾性接点（２５，２
    ６，５８，５９）は、センサ及びアクチュエータに対す
    る電気的接続を有する可動部上の弾性接点（２７，６
    ０，６１）に対向して配置されていることを特徴とする
    請求項１に記載の搬送装置。
  3. 【請求項３】 前記弾性接点（２５，２６，２７，５
    ８，５９，６０，６１）は、スリーブ内に弾性的に支持
    されたゴールド・ピンの形態をなすゴールド接点として
    形成されていることを特徴とする請求項２に記載の装
    置。
  4. 【請求項４】 エレベータの可動部によって支持され、
    かつ上方取出し及び取替え位置から下方装填位置へ物を
    垂直方向に沿って搬送するために使用されるプレート
    （６）にセンサ及びアクチュエータが設けられているこ
    とを特徴とする請求項１乃至３のいづれか一項に記載の
    装置。
  5. 【請求項５】 センサ及びアクチュエータは、物をほぼ
    水平方向に沿って搬送するグリッパ（８）の構成部品で
    あることを特徴とする請求項１乃至３のいづれか一項に
    記載の装置。
  6. 【請求項６】 グリッパ（８）は、可動部の移動時間中
    の少なくとも一時期において可動部の直線移動と連携し
    て回動することを特徴とする請求項５に記載の装置。
  7. 【請求項７】 グリッパ（８）と、同グリッパ（８）を
    回動可能に支持し、かつグリッパ（８）と駆動装置
    （７，４１）とを連結するグリッパ・アーム（１７，４
    ５）とは、グリッパ（８）の直線運動を回動運動に移行
    させるべく互いに機械的に連結されていることを特徴と
    する請求項６に記載の装置。
  8. 【請求項８】 グリッパ・アーム（１７）においてグリ
    ッパ（８）の締付け具は、直線移動面に沿って平行に延
    び、かつ直線移動の方向に対して直交する方向に沿って
    延びる回転軸（Ｘ−Ｘ）を有していることを特徴とする
    請求項７に記載の装置。
  9. 【請求項９】 グリッパ・アーム（１７）に対して連結
    された第１のレバー（１８）は前記直線運動をグリッパ
    （８）の回動運動に機械的に変換し、かつ直線移動の際
    に連接部材（１９）の高さの違いを感知する一方、同第
    １のレバー（１８）は回動可能に連結された連接ロッド
    （２０）を介して第２のレバー（２１）に対して連結さ
    れており、同第２のレバー（２１）は前記高さの違いを
    回動運動に変換すべくグリッパ（８）に対して連結され
    ていることを特徴とする請求項８に記載の装置。
  10. 【請求項１０】 第１のレバー（１８）はグリッパ
    （８）の回動角度を調整すべく自身の有効長さの調整が
    可能なことを特徴とする請求項９に記載の装置。
  11. 【請求項１１】 グリッパ・アーム（４５）に対するグ
    リッパ（８）の回動可能な締付け具は直線移動面に直交
    する方向に沿って延びる回転軸（Ｙ−Ｙ）を有している
    ことを特徴とする請求項７に記載の装置。
  12. 【請求項１２】 前記直線運動をグリッパ（８）の回動
    運動へと機械的に変換すべく、グリッパ（８）上の偏心
    して配置された玉継手（５１）内に支持された連接ロッ
    ド（５０）の駆動体（４８）及び第１のストッパ（４
    ９）はタイロッド（４７）に対して接続されており、前
    記タイロッド（４７）はボール・サーキュレーティング
    ・ガイド（４６）内において案内及び支持され、第１の
    ストッパ（４９）が固定部に取付けられた第２のストッ
    パ（５３）に対して当接することにより前記第１のスト
    ッパ（４９）はグリッパ・アーム（４５）が前方へ直線
    移動する際にタイロッド（４７）及び駆動体（４８）を
    制止することを特徴とする請求項１１に記載の装置。
  13. 【請求項１３】 玉継手（５１）はバネの付勢力によっ
    て動作する調整可能なストッパ装置を有していることを
    特徴とする請求項１２に記載の装置。
  14. 【請求項１４】 グリッパ（８）の直線移動を実施すべ
    く空気圧式リニア駆動装置（７，４１）を備えているこ
    とを特徴とする請求項５乃至１３のいづれか一項に記載
    の装置。
  15. 【請求項１５】 独立した調整が可能な空気流量を提供
    する少なくとも一対の平行に作用するスロットルは、直
    線移動の各方向に沿った移動速度を制御すべく空気圧式
    リニア駆動装置（７，４１）のシリンダ（１５）に形成
    されており、直線移動の方向に作用するスロットルの数
    量は可動部の位置及び直線移動の方向に基づいてセンサ
    信号によって制御されていることを特徴とする請求項１
    ４に記載の装置。
  16. 【請求項１６】 前記スロットルは排気エアを調整可能
    に絞ることを許容し、さらには移動方向に沿って空気の
    通路を許容するスロットル制御弁（３７，３８，３９，
    ４０）であることを特徴とする請求項１５に記載の装
    置。
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