JP2703740B2 - 半導体加工装置用装填装置 - Google Patents
半導体加工装置用装填装置Info
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Classifications
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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- H01L21/67778—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers
- H01L21/67781—Batch transfer of wafers
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、固定部にて支持された
可動部を駆動装置により、２つの末端位置間で移動さ
せ、可動部に対して取付けたグリッパにて保持された搬
送物を搬送する半導体加工装置用装填装置に関する。
可動部を駆動装置により、２つの末端位置間で移動さ
せ、可動部に対して取付けたグリッパにて保持された搬
送物を搬送する半導体加工装置用装填装置に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】集積回
路の製造の際、半導体ウェハは異なる加工工程の間に各
加工装置に対し搬送することを要する。更に高い集積度
を実現すべくより清浄に保持して従来のクリーン・ルー
ムの機能を一層高めるとともに、半導体加工装置内にお
けるエンクロージャの正確な使用またはスタンダード・
メカニカル・インターフェース技術（以下、ＳＭＩＦ技
術と称する）の使用により、妥当なコストで更に高い歩
留まりを実現し得る。このため、加工工程間における各
加工装置への半導体ウェハの搬送においてＳＭＩＦボッ
クスと称される標準化された搬送コンテナが多く使用さ
れている。
路の製造の際、半導体ウェハは異なる加工工程の間に各
加工装置に対し搬送することを要する。更に高い集積度
を実現すべくより清浄に保持して従来のクリーン・ルー
ムの機能を一層高めるとともに、半導体加工装置内にお
けるエンクロージャの正確な使用またはスタンダード・
メカニカル・インターフェース技術（以下、ＳＭＩＦ技
術と称する）の使用により、妥当なコストで更に高い歩
留まりを実現し得る。このため、加工工程間における各
加工装置への半導体ウェハの搬送においてＳＭＩＦボッ
クスと称される標準化された搬送コンテナが多く使用さ
れている。
【０００３】半導体ウェハはＳＭＩＦボックスの底部に
適切な方法で取付けられたマガジン内の棚に格納され
る。半導体加工装置に対する装填を実施すべくマガジン
は最初に搬送コンテナから取出される。一般的に、これ
は各種の従来技術に基づく搬送方法に基づく。
適切な方法で取付けられたマガジン内の棚に格納され
る。半導体加工装置に対する装填を実施すべくマガジン
は最初に搬送コンテナから取出される。一般的に、これ
は各種の従来技術に基づく搬送方法に基づく。
【０００４】例えば、欧州特許第２０９６６０号におい
て、カセットは自動カセット・マニピュレータによりＳ
ＭＩＦエレベータから装置エレベータ上へ搬送される。
この場合、旋回運動はカセットを上下動させる垂直方向
に沿った移動の際に実施される。回転部材の使用は直線
移動部材より粒子形成量（Mass der Partikelerzeugun
g）を更に低減することを目的としている。
て、カセットは自動カセット・マニピュレータによりＳ
ＭＩＦエレベータから装置エレベータ上へ搬送される。
この場合、旋回運動はカセットを上下動させる垂直方向
に沿った移動の際に実施される。回転部材の使用は直線
移動部材より粒子形成量（Mass der Partikelerzeugun
g）を更に低減することを目的としている。
【０００５】これに類似した技術は欧州特許第２３８５
４１号に開示されており、マガジンは任意の移動曲線に
沿ってモータ駆動式レバー・アームによって搬送され
る。同レバー・アームは独立したエレベータによってＺ
方向に沿って移動される。
４１号に開示されており、マガジンは任意の移動曲線に
沿ってモータ駆動式レバー・アームによって搬送され
る。同レバー・アームは独立したエレベータによってＺ
方向に沿って移動される。
【０００６】クリーン・ルームを維持するために必要と
される空気の層流は、公知の機械構成を用いることによ
り攪乱または阻害される。特に、この攪乱または阻害は
レバー・アームとして形成された搬送装置の作動範囲が
マガジンの側方に沿って制御されるという事実及び密閉
構造に起因して生じる。搬送動作をＺ方向の動作と結び
付けることにより搬送時間が不必要に増加し、かつ粒子
形成量が増大する。
される空気の層流は、公知の機械構成を用いることによ
り攪乱または阻害される。特に、この攪乱または阻害は
レバー・アームとして形成された搬送装置の作動範囲が
マガジンの側方に沿って制御されるという事実及び密閉
構造に起因して生じる。搬送動作をＺ方向の動作と結び
付けることにより搬送時間が不必要に増加し、かつ粒子
形成量が増大する。
【０００７】更に、半導体加工装置を改装する際、ウェ
ハ・マガジンをＳＭＩＦ条件下において装置内に挿入す
るとともに、クリーン・ルーム条件下において中身を取
り出し、かつ装置内において搬送することを許容すべく
既存のクリーン・ルームに対してＳＭＩＦシステムを増
設することは従来の技術では困難である。
ハ・マガジンをＳＭＩＦ条件下において装置内に挿入す
るとともに、クリーン・ルーム条件下において中身を取
り出し、かつ装置内において搬送することを許容すべく
既存のクリーン・ルームに対してＳＭＩＦシステムを増
設することは従来の技術では困難である。
【０００８】ドイツ特許第４３２６３０９Ｃ１号に開示
されている技術的解決策の場合、剛性グリッパ・アーム
を駆動するリニア駆動装置はマガジンを装填位置から加
工位置へ搬送すべく支柱に対して取付けられている。こ
のリニア駆動装置はエレベータの移動方向に沿った垂直
方向における調整が可能である。グリッパ・アームの作
動範囲は装填位置に配置されたマガジンの上方に位置し
ており、エレベータの移動方向に対して垂直方向に沿っ
て延びている。空気が通過する開口は支柱及びエレベー
タ駆動装置の間に形成されている。全ての駆動部分は耐
塵エンクロージャによってクリーン・ルームから分離さ
れている。吸引装置または抜取り装置は開口の近くに配
置されており、同開口から搬送エレメントはクリーン・
ルーム内に延出している。
されている技術的解決策の場合、剛性グリッパ・アーム
を駆動するリニア駆動装置はマガジンを装填位置から加
工位置へ搬送すべく支柱に対して取付けられている。こ
のリニア駆動装置はエレベータの移動方向に沿った垂直
方向における調整が可能である。グリッパ・アームの作
動範囲は装填位置に配置されたマガジンの上方に位置し
ており、エレベータの移動方向に対して垂直方向に沿っ
て延びている。空気が通過する開口は支柱及びエレベー
タ駆動装置の間に形成されている。全ての駆動部分は耐
塵エンクロージャによってクリーン・ルームから分離さ
れている。吸引装置または抜取り装置は開口の近くに配
置されており、同開口から搬送エレメントはクリーン・
ルーム内に延出している。
【０００９】これにより前記の問題点を解決し得るが、
半導体加工装置はその種類の多さに起因してマガジンの
異なる装填形態を必要とする。更に、装置の固定部に設
けられた供給装置から特にグリッパ及び同グリッパの把
持部材などの可動部に対して信号電流及びモータ電流を
伝導すべく長い搬送距離に沿って搬送されるケーブルは
外乱を招来し、かつ信頼性に対して悪影響を及ぼし得
る。可動部上のケーブル接続部分の機械的反応及び粒子
形成の可能性は更なる問題点といえる。
半導体加工装置はその種類の多さに起因してマガジンの
異なる装填形態を必要とする。更に、装置の固定部に設
けられた供給装置から特にグリッパ及び同グリッパの把
持部材などの可動部に対して信号電流及びモータ電流を
伝導すべく長い搬送距離に沿って搬送されるケーブルは
外乱を招来し、かつ信頼性に対して悪影響を及ぼし得
る。可動部上のケーブル接続部分の機械的反応及び粒子
形成の可能性は更なる問題点といえる。
【００１０】そして、空気圧によって動作するリニア駆
動装置は、シリンダのいづれか一方の端部に位置する末
端位置においてスロットル制御弁（Drosselrueckschlag
ventilen）を介した末端位置制動の形態をなす速度制御
により非常に急激に制動されるという問題点を有してい
る。この場合、数ミリメータの制動距離において最高速
度からゼロまでの制動が行われ、これにより避けること
ができない急激な上下動が搬送物に生じる。
動装置は、シリンダのいづれか一方の端部に位置する末
端位置においてスロットル制御弁（Drosselrueckschlag
ventilen）を介した末端位置制動の形態をなす速度制御
により非常に急激に制動されるという問題点を有してい
る。この場合、数ミリメータの制動距離において最高速
度からゼロまでの制動が行われ、これにより避けること
ができない急激な上下動が搬送物に生じる。
【００１１】この結果、本発明の目的は信頼性及びクリ
ーン・ルーム条件に対する悪影響を大きく低減する一方
で、装填処理の柔軟性を高めた半導体加工装置用装填装
置を提供することにある。
ーン・ルーム条件に対する悪影響を大きく低減する一方
で、装填処理の柔軟性を高めた半導体加工装置用装填装
置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明の目的
は、固定部にて支持された可動部を駆動装置により、２
つの末端位置間で移動させ、可動部に対して取付けたグ
リッパにて保持された搬送物を搬送する半導体加工装置
用装填装置であって、グリッパは、可動部の移動時間中
の少なくとも一時期において可動部の直線移動と連携し
て回動することを特徴とする装填装置によって達成され
る。
は、固定部にて支持された可動部を駆動装置により、２
つの末端位置間で移動させ、可動部に対して取付けたグ
リッパにて保持された搬送物を搬送する半導体加工装置
用装填装置であって、グリッパは、可動部の移動時間中
の少なくとも一時期において可動部の直線移動と連携し
て回動することを特徴とする装填装置によって達成され
る。
【００１３】グリッパと、同グリッパを回動可能に支持
し、かつグリッパと駆動装置とを連結するグリッパ・ア
ームとは、グリッパの直線運動を回動運動にリンクすべ
く互いに機械的に連結されている。
し、かつグリッパと駆動装置とを連結するグリッパ・ア
ームとは、グリッパの直線運動を回動運動にリンクすべ
く互いに機械的に連結されている。
【００１４】第１の構成において、グリッパ・アームに
対して連結された第１のレバーは前記した直線運動をグ
リッパの回動運動に機械的に変換すべく形成されてい
る。第１のレバーは直線移動の際に連接部材の高さの違
いを感知する一方、同第１のレバーは回動可能に連結さ
れた連接ロッドを介して第２のレバーに対して連結され
ており、同第２のレバーを前記高さの違いを回動運動に
変換すべくグリッパに対して連結されている。
対して連結された第１のレバーは前記した直線運動をグ
リッパの回動運動に機械的に変換すべく形成されてい
る。第１のレバーは直線移動の際に連接部材の高さの違
いを感知する一方、同第１のレバーは回動可能に連結さ
れた連接ロッドを介して第２のレバーに対して連結され
ており、同第２のレバーを前記高さの違いを回動運動に
変換すべくグリッパに対して連結されている。
【００１５】グリッパ・アームにおいてグリッパの締付
け具は、直線移動面に沿って平行に延び、かつ直線移動
の方向に対して直交する方向に沿って延びる回転軸を有
している。 第１のレバーはグリッパの回動角度を調整す
べく自身の有効長さの調整が可能である。
け具は、直線移動面に沿って平行に延び、かつ直線移動
の方向に対して直交する方向に沿って延びる回転軸を有
している。 第１のレバーはグリッパの回動角度を調整す
べく自身の有効長さの調整が可能である。
【００１６】第２の構成において、グリッパ上の偏心し
て配置された玉継手内に支持された連接ロッドの駆動体
及び第１のストッパはタイロッドに対して接続されてお
り、タイロッドはボール・サーキュレーティング・ガイ
ド(Kugelumlauffuehrungen)内において案内及び支持さ
れ、第１のストッパが固定部に取付けられた第２のスト
ッパに対して当接することにより第１のストッパはグリ
ッパ・アームが前方へ直線移動する際にタイロッド及び
駆動体を制止する。
て配置された玉継手内に支持された連接ロッドの駆動体
及び第１のストッパはタイロッドに対して接続されてお
り、タイロッドはボール・サーキュレーティング・ガイ
ド(Kugelumlauffuehrungen)内において案内及び支持さ
れ、第１のストッパが固定部に取付けられた第２のスト
ッパに対して当接することにより第１のストッパはグリ
ッパ・アームが前方へ直線移動する際にタイロッド及び
駆動体を制止する。
【００１７】更に第２の構成では、グリッパ・アームに
対するグリッパの回動可能な締付け具は直線移動面に直
交する方向に沿って延びる回転軸を有している。更に、
玉継手はバネの付勢力によって動作する調整可能なスト
ッパ装置を有している。
対するグリッパの回動可能な締付け具は直線移動面に直
交する方向に沿って延びる回転軸を有している。更に、
玉継手はバネの付勢力によって動作する調整可能なスト
ッパ装置を有している。
【００１８】回転開始位置及び回転角度は、タイロッド
における第１のストッパの固定位置の変更及びベース・
プレートにおける第２のストッパの固定位置の変更によ
り調整可能である。
における第１のストッパの固定位置の変更及びベース・
プレートにおける第２のストッパの固定位置の変更によ
り調整可能である。
【００１９】グリッパの動作を制御するために、同グリ
ッパのセンサ及びアクチュエータと、固定部に位置する
信号電流及びモータ電流を供給する供給ユニットとの間
の電気的接続が可動部の移動路における前記の２つの末
端位置においてのみ実施される。
ッパのセンサ及びアクチュエータと、固定部に位置する
信号電流及びモータ電流を供給する供給ユニットとの間
の電気的接続が可動部の移動路における前記の２つの末
端位置においてのみ実施される。
【００２０】電気的接点を形成すべく弾性接点を備えた
構成グループを有し、可動部の２つの末端位置にそれぞ
れ位置する固定部には構成グループのうちの１つがそれ
ぞれ支持され、更に可動部が別の少なくとも１つの構成
グループを支持しており、供給ユニットに対して電気的
に接続された固定部上の前記弾性接点は、センサ及びア
クチュエータに対する電気的接続を有する可動部上の弾
性接点に対向して配置されている。
構成グループを有し、可動部の２つの末端位置にそれぞ
れ位置する固定部には構成グループのうちの１つがそれ
ぞれ支持され、更に可動部が別の少なくとも１つの構成
グループを支持しており、供給ユニットに対して電気的
に接続された固定部上の前記弾性接点は、センサ及びア
クチュエータに対する電気的接続を有する可動部上の弾
性接点に対向して配置されている。
【００２１】従来の螺旋ケーブルに代えてこれらの接点
組立体を使用し、かつ電気的接続を末端位置においての
み実施することにより、装置の信頼性は大きく増大す
る。これはケーブルに沿って生じる高い機械的ひずみの
結果として生じ得るケーブルの破断を回避可能なことに
起因する。更に、本発明に基づく接点組立体の使用によ
り粒子形成の別の源を排除できるという利点がある。
組立体を使用し、かつ電気的接続を末端位置においての
み実施することにより、装置の信頼性は大きく増大す
る。これはケーブルに沿って生じる高い機械的ひずみの
結果として生じ得るケーブルの破断を回避可能なことに
起因する。更に、本発明に基づく接点組立体の使用によ
り粒子形成の別の源を排除できるという利点がある。
【００２２】弾性接点は、スリーブ内に弾性的に支持さ
れたゴールド・ピン（Goldstiften）の形態をなすゴー
ルド接点（Goldkontakte）として形成されている。グリ
ッパの直線移動を実施すべく空気圧式リニア駆動装置が
提供されている。
れたゴールド・ピン（Goldstiften）の形態をなすゴー
ルド接点（Goldkontakte）として形成されている。グリ
ッパの直線移動を実施すべく空気圧式リニア駆動装置が
提供されている。
【００２３】搬送物上に加わる衝撃の防止を目的とし
て、独立した調整が可能な空気流量を提供する少なくと
も一対の平行に作用するスロットルが、直線移動の各方
向に沿った移動速度を制御すべく空気圧式リニア駆動装
置のシリンダに形成されている。直線移動の方向に作用
するスロットルの数量は可動部の位置及び直線移動の方
向に基づいてセンサ信号によって制御されている。
て、独立した調整が可能な空気流量を提供する少なくと
も一対の平行に作用するスロットルが、直線移動の各方
向に沿った移動速度を制御すべく空気圧式リニア駆動装
置のシリンダに形成されている。直線移動の方向に作用
するスロットルの数量は可動部の位置及び直線移動の方
向に基づいてセンサ信号によって制御されている。
【００２４】スロットルは排気エアを調整可能に絞るこ
とを許容し、さらには移動方向に沿って空気の通路を許
容するスロットル制御弁である。
とを許容し、さらには移動方向に沿って空気の通路を許
容するスロットル制御弁である。
【００２５】
【実施例】本発明を以下に添付図面とともに詳述する。
図１及び図２に示すように、支柱１及び被覆されたエレ
ベータ駆動装置２はホルダ３の支持部材として使用され
ており、同ホルダ３上にはマガジン・コンテナ４が配置
されている。支柱１及びエレベータ駆動装置２の間には
開口が形成されている。エレベータ駆動装置２によりＺ
方向に沿った移動が可能なエレベータは、ドイツ特許第
４３２６３０９Ｃ１号に更に詳細に開示されており、同
エレベータはマガジン・コンテナ４内に位置するウェハ
状の物を格納するマガジン５の取出し及び取替えを実施
する保持アームを備えている。
図１及び図２に示すように、支柱１及び被覆されたエレ
ベータ駆動装置２はホルダ３の支持部材として使用され
ており、同ホルダ３上にはマガジン・コンテナ４が配置
されている。支柱１及びエレベータ駆動装置２の間には
開口が形成されている。エレベータ駆動装置２によりＺ
方向に沿った移動が可能なエレベータは、ドイツ特許第
４３２６３０９Ｃ１号に更に詳細に開示されており、同
エレベータはマガジン・コンテナ４内に位置するウェハ
状の物を格納するマガジン５の取出し及び取替えを実施
する保持アームを備えている。
【００２６】本実施例において、マガジン５は同マガジ
ン５のベース及びスタンドとともにマガジン・コンテナ
４から取出され、かつプレート６上に配置される。プレ
ート６はＳＭＩＦ技術に必要なアクチュエータ及びセン
サを備えており、かつホルダ３から離間して下降可能で
ある。従って、マガジン・コンテナ４が装填された状態
にあるか否か、または同マガジン・コンテナ４が開放さ
れているか否かなどといったマガジン・コンテナ４の状
態を断定する必要がある。
ン５のベース及びスタンドとともにマガジン・コンテナ
４から取出され、かつプレート６上に配置される。プレ
ート６はＳＭＩＦ技術に必要なアクチュエータ及びセン
サを備えており、かつホルダ３から離間して下降可能で
ある。従って、マガジン・コンテナ４が装填された状態
にあるか否か、または同マガジン・コンテナ４が開放さ
れているか否かなどといったマガジン・コンテナ４の状
態を断定する必要がある。
【００２７】エレベータは可動部を有しており、同可動
部は固定部内において上方取外し及び取替え位置並びに
下方装填位置の間で案内される。上方取外し及び取替え
位置並びに下方装填位置は、エレベータの可動部の第１
の末端位置及び第２の末端位置にそれぞれ対応してい
る。
部は固定部内において上方取外し及び取替え位置並びに
下方装填位置の間で案内される。上方取外し及び取替え
位置並びに下方装填位置は、エレベータの可動部の第１
の末端位置及び第２の末端位置にそれぞれ対応してい
る。
【００２８】可動グリッパ８を駆動するリニア駆動装置
７は支柱１に対して固定されている。グリッパ８の作動
範囲は下方装填位置に配置されたマガジン５の上方にお
いて、エレベータ駆動装置２の移動方向に対して垂直方
向に沿って延びている。
７は支柱１に対して固定されている。グリッパ８の作動
範囲は下方装填位置に配置されたマガジン５の上方にお
いて、エレベータ駆動装置２の移動方向に対して垂直方
向に沿って延びている。
【００２９】グリッパ８は把持部材９及び把持プロセス
を監視するセンサ（図示略）を備えている。供給ユニッ
ト１０は、リニア駆動装置７、グリッパ８、グリッパ８
の把持部材９及び空気圧式ショート・ストローク・シリ
ンダ１１に対して信号電流及びモータ電流を供給すべく
支柱１及びエレベータ駆動装置２の間の下方領域に配置
されている。空気圧式ショート・ストローク・シリンダ
１１はローリング・ガイド１２を備えており、かつＺ軸
に沿った調整に使用される。
を監視するセンサ（図示略）を備えている。供給ユニッ
ト１０は、リニア駆動装置７、グリッパ８、グリッパ８
の把持部材９及び空気圧式ショート・ストローク・シリ
ンダ１１に対して信号電流及びモータ電流を供給すべく
支柱１及びエレベータ駆動装置２の間の下方領域に配置
されている。空気圧式ショート・ストローク・シリンダ
１１はローリング・ガイド１２を備えており、かつＺ軸
に沿った調整に使用される。
【００３０】装置は全体としてベース・プレート１３に
より機械的インターフェースを介して半導体加工装置に
対して取付け得る。吸引装置または可変速フィルタ／換
気ユニットは、矢印によって示された方向に沿った空気
の流れを形成すべく支柱１及びエレベータ駆動装置２の
間に配置可能である。
より機械的インターフェースを介して半導体加工装置に
対して取付け得る。吸引装置または可変速フィルタ／換
気ユニットは、矢印によって示された方向に沿った空気
の流れを形成すべく支柱１及びエレベータ駆動装置２の
間に配置可能である。
【００３１】操作エレメント及び表示エレメントはホル
ダ３の領域内に設置されている。外部電子制御装置は大
きく異なる移動順序をともなう各種装置に対して各種の
組合わせにより適合させ得る個々のモジュールから構成
される装置に対するケーブル接続を有している。必要に
応じて、エレベータの垂直方向に沿った移動などに代表
される個々の移動順序のみを実施し得る。
ダ３の領域内に設置されている。外部電子制御装置は大
きく異なる移動順序をともなう各種装置に対して各種の
組合わせにより適合させ得る個々のモジュールから構成
される装置に対するケーブル接続を有している。必要に
応じて、エレベータの垂直方向に沿った移動などに代表
される個々の移動順序のみを実施し得る。
【００３２】リニア駆動装置７において、支持用ベース
・プレート１４は、空気圧式リニア・シリンダ１５を内
部移動ピストン及びこれに平行に配置されたローリング
・ガイド１６とともに収容している。リニア・シリンダ
１５及びローリング・ガイド１６は可動部であるグリッ
パ・アーム１７を介して互いに接続されている。グリッ
パ８は直線移動面に沿って平行に延び、かつ直線移動の
方向に対して直交する方向に沿って延びるＸーＸ軸の周
囲の調整可能な角度範囲内において回動し得るようにグ
リッパ・アーム１７に対して接続されている。
・プレート１４は、空気圧式リニア・シリンダ１５を内
部移動ピストン及びこれに平行に配置されたローリング
・ガイド１６とともに収容している。リニア・シリンダ
１５及びローリング・ガイド１６は可動部であるグリッ
パ・アーム１７を介して互いに接続されている。グリッ
パ８は直線移動面に沿って平行に延び、かつ直線移動の
方向に対して直交する方向に沿って延びるＸーＸ軸の周
囲の調整可能な角度範囲内において回動し得るようにグ
リッパ・アーム１７に対して接続されている。
【００３３】図３に示すように第１のレバー１８はＨ−
Ｈ軸の周囲を回動可能であり、かつＸ−Ｘ軸の周囲にお
いてグリッパ８を回動させるべく直線移動時に連接部材
１９が提供されたことを感知する。連接部材１９はその
高さに違いがあり、この違いは連接ロッド２０によって
第２のレバー２１に伝達され、同連接ロッド２０はＳ−
Ｓ軸の周囲を回動し得るように第１のレバー１８に対し
て固定されている。第２のレバー２１は連接ロッド２０
及びグリッパ８の間を連結している。
Ｈ軸の周囲を回動可能であり、かつＸ−Ｘ軸の周囲にお
いてグリッパ８を回動させるべく直線移動時に連接部材
１９が提供されたことを感知する。連接部材１９はその
高さに違いがあり、この違いは連接ロッド２０によって
第２のレバー２１に伝達され、同連接ロッド２０はＳ−
Ｓ軸の周囲を回動し得るように第１のレバー１８に対し
て固定されている。第２のレバー２１は連接ロッド２０
及びグリッパ８の間を連結している。
【００３４】第１のレバー１８は同第１のレバー１８の
有効長さ及びグリッパ８の回動角度を調整し得るように
形成されている。レバー１８の回転軸であるＨ−Ｈ軸及
び連接ロッド２０の接続点であるＳ−Ｓ軸の間の距離
は、調整ピン１８１によって調整され、かつ締付ネジ１
８２によって固定されている。引張りバネ（図示略）の
付勢力により第１のレバー１８は接続部材１９に対して
常に付勢され、かつ傾斜したグリッパ８の回動角度が維
持される。
有効長さ及びグリッパ８の回動角度を調整し得るように
形成されている。レバー１８の回転軸であるＨ−Ｈ軸及
び連接ロッド２０の接続点であるＳ−Ｓ軸の間の距離
は、調整ピン１８１によって調整され、かつ締付ネジ１
８２によって固定されている。引張りバネ（図示略）の
付勢力により第１のレバー１８は接続部材１９に対して
常に付勢され、かつ傾斜したグリッパ８の回動角度が維
持される。
【００３５】図１に示すように、マガジン・コンテナ４
から取出され、かつ下方装填位置に配置されたマガジン
５は、グリッパ８のモータ駆動式把持部材９を使用する
ことにより同グリッパ８によって把持される。更に、マ
ガジン５はショート・ストローク・シリンダ１１の空気
圧がもたらす上昇移動によって持ち上げられる。そし
て、マガジン５はリニア駆動装置７の可動部の第１の末
端位置から第２の末端位置（半導体加工装置のマガジン
位置）までリニア駆動装置７によって搬送される。第２
の末端位置に到達する直前に、グリッパ８及びマガジン
５はＸ−Ｘ軸の周囲において回動される。連接部材１９
の高さの違いは第２のレバー・アーム２１に伝達され、
これによってマガジン５の正面からの取出しが可能な半
導体ウェハは上向きに配置され、かつ取出しが可能とな
る。
から取出され、かつ下方装填位置に配置されたマガジン
５は、グリッパ８のモータ駆動式把持部材９を使用する
ことにより同グリッパ８によって把持される。更に、マ
ガジン５はショート・ストローク・シリンダ１１の空気
圧がもたらす上昇移動によって持ち上げられる。そし
て、マガジン５はリニア駆動装置７の可動部の第１の末
端位置から第２の末端位置（半導体加工装置のマガジン
位置）までリニア駆動装置７によって搬送される。第２
の末端位置に到達する直前に、グリッパ８及びマガジン
５はＸ−Ｘ軸の周囲において回動される。連接部材１９
の高さの違いは第２のレバー・アーム２１に伝達され、
これによってマガジン５の正面からの取出しが可能な半
導体ウェハは上向きに配置され、かつ取出しが可能とな
る。
【００３６】所定の直線距離を移動し、かつ末端位置に
到達した後に前記の回動は停止される。下方への移動は
ショート・ストローク・シリンダ１１によって実行さ
れ、マガジン５は所定の方法に基づいて装填される。
到達した後に前記の回動は停止される。下方への移動は
ショート・ストローク・シリンダ１１によって実行さ
れ、マガジン５は所定の方法に基づいて装填される。
【００３７】グリッパ８はマガジン５から離間し、かつ
更に高い中立位置に復帰する。エレベータ駆動装置２
は、既にプレート６及びマガジン・コンテナ４のベース
とともにエレベータの可動部を上方の第１の末端位置へ
再び移動している。この結果、マガジン・コンテナ４は
閉鎖され、マガジンの交換が可能となる。
更に高い中立位置に復帰する。エレベータ駆動装置２
は、既にプレート６及びマガジン・コンテナ４のベース
とともにエレベータの可動部を上方の第１の末端位置へ
再び移動している。この結果、マガジン・コンテナ４は
閉鎖され、マガジンの交換が可能となる。
【００３８】マガジンが半導体加工装置内に挿入された
後、マガジンの移動空間に形成可能なエアロック・ドア
を閉鎖できる一方、更に別のマガジンを半導体加工装置
に装填可能である。マガジンは前記の手順とは逆の手順
で半導体加工装置から搬出される。
後、マガジンの移動空間に形成可能なエアロック・ドア
を閉鎖できる一方、更に別のマガジンを半導体加工装置
に装填可能である。マガジンは前記の手順とは逆の手順
で半導体加工装置から搬出される。
【００３９】構成グループ２２，２３，２４は供給ユニ
ット１０から信号電流及びモータ電流をグリッパ８のア
クチュエータ及びセンサに対して伝導するために使用さ
れる。構成グループ２２，２３は可動部のそれぞれの末
端に位置する固定部上にそれぞれ固定されている。構成
グループ２４はグリッパ・アーム１７上に固定されてい
る。構成グループ２２，２３は弾性接点２５，２６をそ
れぞれ備えており、同弾性接点２５，２６は構成グルー
プ２４上の弾性接点２７，２８に対向するようにそれぞ
れ配置されている。
ット１０から信号電流及びモータ電流をグリッパ８のア
クチュエータ及びセンサに対して伝導するために使用さ
れる。構成グループ２２，２３は可動部のそれぞれの末
端に位置する固定部上にそれぞれ固定されている。構成
グループ２４はグリッパ・アーム１７上に固定されてい
る。構成グループ２２，２３は弾性接点２５，２６をそ
れぞれ備えており、同弾性接点２５，２６は構成グルー
プ２４上の弾性接点２７，２８に対向するようにそれぞ
れ配置されている。
【００４０】弾性接点２５，２６はスリーブ内に弾性を
ともなって支持されたゴールド・ピンの形態をなすゴー
ルド接点として形成されており、同弾性接点２５，２６
から供給ユニット１０へ延びる電気接続が形成されてい
る。更に、接点２７，２８からグリッパ８のセンサ及び
アクチュエータに延びる電気接続が形成されている。
ともなって支持されたゴールド・ピンの形態をなすゴー
ルド接点として形成されており、同弾性接点２５，２６
から供給ユニット１０へ延びる電気接続が形成されてい
る。更に、接点２７，２８からグリッパ８のセンサ及び
アクチュエータに延びる電気接続が形成されている。
【００４１】信号電流及びモータ電流を伝導すべく接点
２５及び接点２７はグリッパ８が図１に示す末端位置に
配置された際に互いに接続され、接点２６及び接点２８
はグリッパ８が図２に示す末端位置に配置された際に互
いに接続される。
２５及び接点２７はグリッパ８が図１に示す末端位置に
配置された際に互いに接続され、接点２６及び接点２８
はグリッパ８が図２に示す末端位置に配置された際に互
いに接続される。
【００４２】可動部上に設けられた接点２７，２８のゴ
ールド・ピンは、低い接触抵抗を実現すべく可能な限り
の最大圧力をともなって固定部上に設けられたそれぞれ
に対応する接点に対して接続される。この接続に必要と
される付勢力はバネによって形成される。弾性作用によ
って実現されるワーキング・ストロークはグリッパ８が
末端位置から離間する以前に一時的な電気的接触を提供
する。グリッパ８に対する電流の供給は直線移動または
グリッパ８の回動の最中は停止され、同グリッパ８に対
する電流の供給は末端位置においてのみ実施される。こ
の結果、マガジンの取出しまたは搬送が可能になる。
ールド・ピンは、低い接触抵抗を実現すべく可能な限り
の最大圧力をともなって固定部上に設けられたそれぞれ
に対応する接点に対して接続される。この接続に必要と
される付勢力はバネによって形成される。弾性作用によ
って実現されるワーキング・ストロークはグリッパ８が
末端位置から離間する以前に一時的な電気的接触を提供
する。グリッパ８に対する電流の供給は直線移動または
グリッパ８の回動の最中は停止され、同グリッパ８に対
する電流の供給は末端位置においてのみ実施される。こ
の結果、マガジンの取出しまたは搬送が可能になる。
【００４３】図４に示す空気圧式リニア駆動装置７の速
度制御では、２つのセンサ３２，３３はピストンの移動
路に沿って設けられている。センサ３２，３３は直線移
動の方向に沿って平行に配置されており、さらには固定
ストッパとして形成された末端位置３０，３１に対する
調整が可能である。センサ３２，３３はピストンに対し
て接続されたトリガ部分によって作動される。
度制御では、２つのセンサ３２，３３はピストンの移動
路に沿って設けられている。センサ３２，３３は直線移
動の方向に沿って平行に配置されており、さらには固定
ストッパとして形成された末端位置３０，３１に対する
調整が可能である。センサ３２，３３はピストンに対し
て接続されたトリガ部分によって作動される。
【００４４】電気接続はセンサ３２，３３から電子機器
３４まで延びており、同電子機器３４はセンサ３２，３
３から出力されたパルス信号を空気圧弁３５，３６を移
動方向に基づいてそれぞれ制御する信号に変換する。シ
リンダの排気エア管内に配置された逆止弁及び可変オリ
フィスを備えた一対のスロットル制御弁３７，３８及び
３９，４０は、各空気圧弁３５，３６に対してそれぞれ
接続されている。
３４まで延びており、同電子機器３４はセンサ３２，３
３から出力されたパルス信号を空気圧弁３５，３６を移
動方向に基づいてそれぞれ制御する信号に変換する。シ
リンダの排気エア管内に配置された逆止弁及び可変オリ
フィスを備えた一対のスロットル制御弁３７，３８及び
３９，４０は、各空気圧弁３５，３６に対してそれぞれ
接続されている。
【００４５】末端位置３０から末端位置３１への移動の
際、弁３５はセンサ３２によって最初に開放され、これ
によってスロットル制御弁３８はスロットル制御弁３７
に対して連通される。比較的高速であるピストンの最終
速度は、駆動装置の内部摩擦及びスロットル制御弁３
７，３８の設定に基づいて決定される。
際、弁３５はセンサ３２によって最初に開放され、これ
によってスロットル制御弁３８はスロットル制御弁３７
に対して連通される。比較的高速であるピストンの最終
速度は、駆動装置の内部摩擦及びスロットル制御弁３
７，３８の設定に基づいて決定される。
【００４６】ピストンがセンサ３３に到達した際、同セ
ンサ３３からの信号に基づいてバルブ３５が閉鎖され、
スロットル制御弁３８がこれに応じて遮断される。この
結果、ピストンの速度は末端位置３１に到達するまでの
間にほぼ正弦曲線を描いてゼロまで減速される。これに
より末端位置３１への緩やかな到達が実現される。そし
て、マガジン内において搬送されるウェハの振動または
移動が阻止される。
ンサ３３からの信号に基づいてバルブ３５が閉鎖され、
スロットル制御弁３８がこれに応じて遮断される。この
結果、ピストンの速度は末端位置３１に到達するまでの
間にほぼ正弦曲線を描いてゼロまで減速される。これに
より末端位置３１への緩やかな到達が実現される。そし
て、マガジン内において搬送されるウェハの振動または
移動が阻止される。
【００４７】ピストンがセンサ３３を通過する際に生じ
る弁３６の作動は最初は全く影響がない。弁３６の作動
によって開放されるスロットル制御弁３９は、末端位置
３１から末端位置３０へ向かう逆方向の移動時にのみ有
効である。末端位置３１から末端位置３０へ向かう移動
の際の動作は前記の末端位置３０から末端位置３１への
移動の際の動作と同様に実施される。センサ３２の作動
によって送信された信号は弁３６を閉鎖する。スロット
ル制御弁３９が遮断されることにより、ピストンの速度
はスロットル制御弁４０の作動により末端位置３０に到
達するまでに減速され、さらにはゼロとなる。
る弁３６の作動は最初は全く影響がない。弁３６の作動
によって開放されるスロットル制御弁３９は、末端位置
３１から末端位置３０へ向かう逆方向の移動時にのみ有
効である。末端位置３１から末端位置３０へ向かう移動
の際の動作は前記の末端位置３０から末端位置３１への
移動の際の動作と同様に実施される。センサ３２の作動
によって送信された信号は弁３６を閉鎖する。スロット
ル制御弁３９が遮断されることにより、ピストンの速度
はスロットル制御弁４０の作動により末端位置３０に到
達するまでに減速され、さらにはゼロとなる。
【００４８】前記した末端位置３０から末端位置３１へ
の移動と同様に、センサ３２の作動による弁３５の開放
は最初は全く影響がない。逆方向への移動が行われた
際、スロットル制御弁３８が有効になる。
の移動と同様に、センサ３２の作動による弁３５の開放
は最初は全く影響がない。逆方向への移動が行われた
際、スロットル制御弁３８が有効になる。
【００４９】実現可能な最終速度はセンサ３２，３３及
び末端位置３０，３１の間の距離を定め、かつ２つの付
随するスロットル制御弁３７，３８及び３９，４０をそ
れぞれ調整することにより決定される。
び末端位置３０，３１の間の距離を定め、かつ２つの付
随するスロットル制御弁３７，３８及び３９，４０をそ
れぞれ調整することにより決定される。
【００５０】本実施例において、末端位置及びセンサ間
に９０〜１２０ｍｍの距離を有する場合に、１００〜１
５０ｍｍ／秒のピストン速度が実現されている。ここで
使用された弁は、シールされたアウトプットを備えた２
／２方向制御弁または３／２方向制御弁であった。
に９０〜１２０ｍｍの距離を有する場合に、１００〜１
５０ｍｍ／秒のピストン速度が実現されている。ここで
使用された弁は、シールされたアウトプットを備えた２
／２方向制御弁または３／２方向制御弁であった。
【００５１】排気エアの絞りはスロットル制御弁３７，
３８，３９，４０を用いることにより調整可能であり、
エアは遮断されることなく移動方向に沿って流動可能で
ある。スロットル制御弁３７，４０はピストンが常に
“クリーピング速度”（非常に低速）と称される速度に
てそれぞれの末端位置に到達するよう調整されている。
３８，３９，４０を用いることにより調整可能であり、
エアは遮断されることなく移動方向に沿って流動可能で
ある。スロットル制御弁３７，４０はピストンが常に
“クリーピング速度”（非常に低速）と称される速度に
てそれぞれの末端位置に到達するよう調整されている。
【００５２】ピストンの到達速度を電子機器３４によっ
て制御することも可能である。最高速度はセンサ３２及
びセンサ３３をそれぞれ配置した位置の間においてのみ
達成される。加速及び制動は末端位置３０及びセンサ３
３の間の領域、並びにセンサ３２及び末端位置３１の間
の領域においてそれぞれ実行されるか、またはこの逆の
領域においてそれぞれ実行される。ピストンの速度はこ
の方法に基づいて簡単に制御可能である。
て制御することも可能である。最高速度はセンサ３２及
びセンサ３３をそれぞれ配置した位置の間においてのみ
達成される。加速及び制動は末端位置３０及びセンサ３
３の間の領域、並びにセンサ３２及び末端位置３１の間
の領域においてそれぞれ実行されるか、またはこの逆の
領域においてそれぞれ実行される。ピストンの速度はこ
の方法に基づいて簡単に制御可能である。
【００５３】図５及び図６は、マガジン８を直線移動面
に直交する方向に沿って延びる軸の周囲で回動させるた
めに図１〜図３に示す実施例を大きく変更した構造を備
えたリニア駆動装置４１を示している。装填装置は前記
したように全体としてモジュール方式で形成されている
ため、変更されていない構成部材の符号については図１
〜図３において使用した符号と同一の符号を使用する。
に直交する方向に沿って延びる軸の周囲で回動させるた
めに図１〜図３に示す実施例を大きく変更した構造を備
えたリニア駆動装置４１を示している。装填装置は前記
したように全体としてモジュール方式で形成されている
ため、変更されていない構成部材の符号については図１
〜図３において使用した符号と同一の符号を使用する。
【００５４】リニア駆動装置４１はリニア駆動装置７同
様にショート・ストローク・シリンダ１１の使用により
滑り軸受け内における垂直方向に沿った調整が可能であ
る。リニア駆動装置４１はグリッパ・アーム４５が取付
けられたキャリッジまたはスライド４４のためのガイド
４３をベース・プレート４２上に有している。その上方
位置において、グリッパ・アーム４５はタイロッド４７
を有している。タイロッド４７はボール・サーキュレー
ティング・ガイド４６、駆動体４８及び第１のストッパ
４９により案内され、かつ支持されている。第１のスト
ッパ４９はタイロッド４７に接続されており、さらには
グリッパ・アーム４５内を案内される。
様にショート・ストローク・シリンダ１１の使用により
滑り軸受け内における垂直方向に沿った調整が可能であ
る。リニア駆動装置４１はグリッパ・アーム４５が取付
けられたキャリッジまたはスライド４４のためのガイド
４３をベース・プレート４２上に有している。その上方
位置において、グリッパ・アーム４５はタイロッド４７
を有している。タイロッド４７はボール・サーキュレー
ティング・ガイド４６、駆動体４８及び第１のストッパ
４９により案内され、かつ支持されている。第１のスト
ッパ４９はタイロッド４７に接続されており、さらには
グリッパ・アーム４５内を案内される。
【００５５】駆動体４８は連接ロッド５０を介してグリ
ッパ８に対して接続されている。偏心して配置された玉
継手５１はバネの付勢力によって作動される調整可能な
ストッパ装置を有する一方で、カップリング・ロッド５
０を支持している。グリッパ８はグリッパ・アーム４５
上においてグリッパ・ベアリング５２により回動可能に
支持されている。グリッパ８の回転軸であるＹ−Ｙ軸は
直線移動面に直交する方向に沿って延びている。第２の
ストッパ５３は、グリッパ・アーム４５が前方に位置す
る半導体加工装置の方向に向かって直線上を移動した際
に、第１のストッパ４９がその固定位置に基づいてタイ
ロッド４７に接触するようにベース・プレート４２上に
取付けられている。カップリング・ロッド５０の駆動体
４８及びタイロッド４７は直線移動が継続する際に制止
され、これによってグリッパ・アーム４５に対するグリ
ッパ８の回動可能な締付け具の回転軸であるＹ−Ｙ軸の
周囲に沿ったグリッパ８の回動をもたらす。
ッパ８に対して接続されている。偏心して配置された玉
継手５１はバネの付勢力によって作動される調整可能な
ストッパ装置を有する一方で、カップリング・ロッド５
０を支持している。グリッパ８はグリッパ・アーム４５
上においてグリッパ・ベアリング５２により回動可能に
支持されている。グリッパ８の回転軸であるＹ−Ｙ軸は
直線移動面に直交する方向に沿って延びている。第２の
ストッパ５３は、グリッパ・アーム４５が前方に位置す
る半導体加工装置の方向に向かって直線上を移動した際
に、第１のストッパ４９がその固定位置に基づいてタイ
ロッド４７に接触するようにベース・プレート４２上に
取付けられている。カップリング・ロッド５０の駆動体
４８及びタイロッド４７は直線移動が継続する際に制止
され、これによってグリッパ・アーム４５に対するグリ
ッパ８の回動可能な締付け具の回転軸であるＹ−Ｙ軸の
周囲に沿ったグリッパ８の回動をもたらす。
【００５６】第１のストッパ４９のタイロッド４７に対
する固定位置及びベース・プレート４２上における第２
のストッパの固定位置を変更することにより、グリッパ
８の回動が開始されされる位置、及び回動角度の変更が
可能となる。このような作用はカップリング・ロッド５
０の位置の変更によっても実現可能である。
する固定位置及びベース・プレート４２上における第２
のストッパの固定位置を変更することにより、グリッパ
８の回動が開始されされる位置、及び回動角度の変更が
可能となる。このような作用はカップリング・ロッド５
０の位置の変更によっても実現可能である。
【００５７】引張りバネ６２はボール・サーキュレーテ
ィング・ガイド４６のうちの一方を介してグリッパ・ア
ーム４５とともに駆動体４８に対して連結されている。
引張りバネ６２はグリッパ・アーム４５が後退する際に
タイロッド４７を初期位置にセットする。
ィング・ガイド４６のうちの一方を介してグリッパ・ア
ーム４５とともに駆動体４８に対して連結されている。
引張りバネ６２はグリッパ・アーム４５が後退する際に
タイロッド４７を初期位置にセットする。
【００５８】図１〜図３に示すものとその構造及び動作
が一致する弾性接点５８，５９，６０，６１を備えた構
成グループ５４，５５，５６，５７は、供給ユニット１
０からグリッパ８のアクチュエータ及びセンサに対して
信号電流及びモータ電流を伝導するために使用されてい
る。
が一致する弾性接点５８，５９，６０，６１を備えた構
成グループ５４，５５，５６，５７は、供給ユニット１
０からグリッパ８のアクチュエータ及びセンサに対して
信号電流及びモータ電流を伝導するために使用されてい
る。
【００５９】ここに示すものと同様に形成され、かつ同
一の動作を示す弾性接点を備えた構成グループ（図示
略）は、エレベータの固定部及び可動部の末端位置にの
み設けられている。この構成グループは可動部のアクチ
ュエータ及びセンサ、並びに供給ユニットの間における
電気接続を形成しており、同供給ユニットは固定部に設
けられているか、または固定部に対して固定されたユニ
ット上に設けられている。
一の動作を示す弾性接点を備えた構成グループ（図示
略）は、エレベータの固定部及び可動部の末端位置にの
み設けられている。この構成グループは可動部のアクチ
ュエータ及びセンサ、並びに供給ユニットの間における
電気接続を形成しており、同供給ユニットは固定部に設
けられているか、または固定部に対して固定されたユニ
ット上に設けられている。
【００６０】装填装置を半導体加工装置または他の装置
に対して接続すべく機械的インターフェースが提供され
ており、同機械的インターフェースについての更なる詳
述は省略する。
に対して接続すべく機械的インターフェースが提供され
ており、同機械的インターフェースについての更なる詳
述は省略する。
【００６１】ドイツ特許第４３２６３０９Ｃ１号に開示
されているように、リニア駆動装置、エレベータ駆動装
置、及びグリッパの把持部材を駆動する駆動装置は、耐
塵エンクロージャによってクリーン・ルームから分離さ
れている。吸引装置は開口に隣接して配置されており、
同開口を介してグリッパ、グリッパの把持部材及び搬送
物を保持する保持用エレメント等のものがクリーン・ル
ーム内に挿入される。
されているように、リニア駆動装置、エレベータ駆動装
置、及びグリッパの把持部材を駆動する駆動装置は、耐
塵エンクロージャによってクリーン・ルームから分離さ
れている。吸引装置は開口に隣接して配置されており、
同開口を介してグリッパ、グリッパの把持部材及び搬送
物を保持する保持用エレメント等のものがクリーン・ル
ーム内に挿入される。
【００６２】本発明に基づく装填装置の場合、可動部に
設けられたセンサ及びアクチュエータ並びに固定部に設
けられた供給ユニットの間の電気的接続が末端位置にお
いてのみ実施され、長いケーブルの使用が回避されるこ
とにより外乱による影響を抑え、装置の信頼性を高める
ことが可能である。更に、本発明に基づく接点組立体の
使用により粒子形成の別の源を排除可能であり、これに
よりクリーン・ルーム条件に対する悪影響を抑えること
が可能となる。
設けられたセンサ及びアクチュエータ並びに固定部に設
けられた供給ユニットの間の電気的接続が末端位置にお
いてのみ実施され、長いケーブルの使用が回避されるこ
とにより外乱による影響を抑え、装置の信頼性を高める
ことが可能である。更に、本発明に基づく接点組立体の
使用により粒子形成の別の源を排除可能であり、これに
よりクリーン・ルーム条件に対する悪影響を抑えること
が可能となる。
【００６３】
【発明の効果】以上詳述したように、信頼性及びクリー
ン・ルーム条件に対する悪影響を大きく低減する一方
で、装填処理の柔軟性が高められるという優れた効果を
発揮する。
ン・ルーム条件に対する悪影響を大きく低減する一方
で、装填処理の柔軟性が高められるという優れた効果を
発揮する。
【図１】可動部が一方の末端に位置している装填装置の
斜視図。
斜視図。
【図２】可動部が他方の末端に位置している図１の装填
装置の斜視図。
装置の斜視図。
【図３】図１及び図２の装置の一部拡大斜視図。
【図４】駆動装置の速度制御を示すブロック図。
【図５】可動部が一方の末端に位置している別の装填装
置の斜視図。
置の斜視図。
【図６】可動部が他方の末端に位置している図５の装填
装置の斜視図。
装置の斜視図。
【図７】図５及び図６の装置の一部拡大斜視図。
６…プレート、７，４１…リニア駆動装置、８…グリッ
パ、１０…供給ユニット、１５…シリンダ、１７，４５
…グリッパ・アーム、１８…第１のレバー、１９…連接
部材、２０…連接ロッド、２１…第２のレバー、２２，
２３，２４，５４，５５，５６，５７…構成グループ、
２５，２６，２７，５８，５９，６０，６１…弾性接
点、３７，３８，３９，４０…スロットル制御弁、４６
…ボール・サーキュレーティング・ガイド、４７…タイ
ロッド、４８…駆動体、４９…第１のストッパ、５０…
連接ロッド、５１…玉継手、Ｘ−Ｘ，Ｙ−Ｙ…グリッパ
の締付け具の回転軸。
パ、１０…供給ユニット、１５…シリンダ、１７，４５
…グリッパ・アーム、１８…第１のレバー、１９…連接
部材、２０…連接ロッド、２１…第２のレバー、２２，
２３，２４，５４，５５，５６，５７…構成グループ、
２５，２６，２７，５８，５９，６０，６１…弾性接
点、３７，３８，３９，４０…スロットル制御弁、４６
…ボール・サーキュレーティング・ガイド、４７…タイ
ロッド、４８…駆動体、４９…第１のストッパ、５０…
連接ロッド、５１…玉継手、Ｘ−Ｘ，Ｙ−Ｙ…グリッパ
の締付け具の回転軸。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 フォルカー シュレハーン ドイツ連邦共和国 デー−07747 イェ ナ リゼロッテ−ヘルマン−シュトラー セ 18 (72)発明者 ペーター ファービアン ドイツ連邦共和国 デー−07745 イェ ナ ブューゲホルドシュトラーセ 10 (72)発明者 ハンス−ヨアヒム ヴェスケ ドイツ連邦共和国 デー−07747 イェ ナ シュタウフェンベルクシュトラーセ 27 (56)参考文献 特開 平１−127571（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−259389（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−180789（ＪＰ，Ａ) 特公 昭57−43399（ＪＰ，Ｂ２)
Claims (13)
- 【請求項１】 固定部にて支持された可動部を駆動装置
により、２つの末端位置間で移動させ、可動部に対して
取付けたグリッパにて保持された搬送物を搬送する半導
体加工装置用装填装置であって、グリッパ・アーム（１７）により、前記グリッパ（８）
を回動可能に支持するとともに、グリッパ（８）と前記
駆動装置（７）とを連結し、 グリッパ・アーム（１７）に対して連結された第１のレ
バー（１８）は、可動部の直線運動をグリッパ（８）の
回動運動に機械的に変換し、かつ直線移動の際に連接部
材（１９）の高さの違いを感知する一方、同第１のレバ
ー（１８）を回動可能に連結された連接ロッド（２０）
を介して第２のレバー（２１）に対して連結し、同第２
のレバー（２１）を前記高さの違いを回動運動に変換す
べくグリッパ（８）に対して連結し、 前記グリッパ（８）は、可動部の移動時間中の少なくと
も一時期において可動部の直線移動と連携して回動する
ことを特徴とする装填装置。 - 【請求項２】 グリッパ・アーム（１７）においてグリ
ッパ（８）の締付け具は、直線移動面に沿って平行に延
び、かつ直線移動の方向に対して直交する方向に沿って
延びる回転軸（Ｘ−Ｘ）を有していることを特徴とする
請求項１に記載の装填装置。 - 【請求項３】 第１のレバー（１８）はグリッパ（８）
の回動角度を調整すべく自身の有効長さの調整が可能な
ことを特徴とする請求項１又は請求項２のうちいずれか
一項に記載の装填装置。 - 【請求項４】 固定部にて支持された可動部を駆動装置
により、２つの末端位置間で移動させ、可動部に対して
取付けたグリッパにて保持された搬送物を搬送する半導
体加工装置用装填装置であって、 グリッパ・アーム（４５）により、前記グリッパ（８）
を回動可能に支持するとともに、グリッパ（８）と前記
駆動装置（４１）とを連結し、 可動部の直線運動をグリッパ（８）の回動運動へと機械
的に変換すべく、グリッパ（８）上の偏心して配置され
た玉継手（５１）内に支持された連接ロッド（５０）の
駆動体（４８）及び第１のストッパ（４９）をタイロッ
ド（４７）に対 して接続し、前記タイロッド（４７）を
ボール・サーキュレーティング・ガイド（４６）内にお
いて案内及び支持し、第１のストッパ（４９）が固定部
に取付けられた第２のストッパ（５３）に対して当接す
ることにより前記第１のストッパ（４９）はグリッパ・
アーム（４５）が前方へ直線移動する際にタイロッド
（４７）及び駆動体（４８）を制止し、 前記グリッパ（８）は、可動部の移動時間中の少なくと
も一時期において可動部の直線移動と連携して回動する
ことを特徴とする装填装置。 - 【請求項５】 グリッパ・アーム（４５）に対するグリ
ッパ（８）の回動可能な締付け具は直線移動面に直交す
る方向に沿って延びる回転軸（Ｙ−Ｙ）を有しているこ
とを特徴とする請求項４に記載の装填装置。 - 【請求項６】 玉継手（５１）はバネの付勢力によって
動作する調整可能なストッパ装置を有していることを特
徴とする請求項４又は請求項５のうちいずれか一項に記
載の装填装置。 - 【請求項７】 回転開始位置及び回転角度は、タイロッ
ド（４７）における第１のストッパ（４９）の固定位置
の変更及びベース・プレート（４２）における第２のス
トッパ（５３）の固定位置の変更、または連接ロッド
（５０）の位置の変更により調整可能であることを特徴
とする請求項６に記載の装填装置。 - 【請求項８】 前記グリッパ（８）の動作を制御するた
めに、同グリッパ（８）のセンサ及びアクチュエータ
と、固定部に位置する信号電流及びモータ電流を供給す
る供給ユニット（１０）との間の電気的接続が可動部の
移動路における前記２つの末端位置においてのみ実施さ
れることを特徴とする請求項１乃至７のうちいずれか一
項に記載の装填装置。 - 【請求項９】 電気的接点を形成すべく弾性接点（２
５，２６，２７，５８，５９，６０，６１）を備えた構
成グループ（２２，２３，２４，５４，５５，５６，５
７）を有し、可動部の２つの末端位置にそれぞれ位置す
る固定部には構成グループ（２２，２３，５４，５５）
のうちの１つがそれぞれ支持され、更に可動部が別の少
なくとも１つの構成グループ（２２，２３，５４，５
５）を支持しており、供給ユニット（１０）に対して電
気的に接続された固定部上の前記弾性接点（２５，２
６，５８，５９）は、センサ及びアクチュエータに対す
る電気 的接続を有する可動部上の弾性接点（２７，６
０，６１）に対向して配置されていることを特徴とする
請求項８に記載の装填装置。 - 【請求項１０】 前記弾性接点（２５，２６，２７，５
８，５９，６０，６１）は、スリーブ内において弾性的
に支持されたゴールド・ピンの形態をなすゴールド接点
として形成されていることを特徴とする請求項９に記載
の装填装置。 - 【請求項１１】 グリッパ（８）の直線移動を実施すべ
く空気圧式リニア駆動装置（７，４１）を備えているこ
とを特徴とする請求項１乃至請求項１０のいずれか一項
に記載の装填装置。 - 【請求項１２】 独立した調整が可能な空気流量を提供
する少なくとも一対の平行に作用するスロットルは、直
線移動の各方向に沿った移動速度を制御すべく空気圧式
リニア駆動装置（７，４１）のシリンダ（１５）に形成
されており、直線移動の方向に作用するスロットルの数
量は可動部の位置及び直線移動の方向に基づいてセンサ
信号によって制御されていることを特徴とする請求項１
１に記載の装填装置。 - 【請求項１３】 前記スロットルは排気エアを調整可能
に絞ることを許容し、さらには移動方向に沿って空気の
通路を許容するスロットル制御弁（３７，３８，３９，
４０）であることを特徴とする請求項１２に記載の装填
装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4430844-2 | 1994-08-31 | ||
| DE4430844A DE4430844C1 (de) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | Beschickungseinrichtung für Halbleiterbearbeitungsanlagen |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08181188A JPH08181188A (ja) | 1996-07-12 |
| JP2703740B2 true JP2703740B2 (ja) | 1998-01-26 |
Family
ID=6526973
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7121750A Expired - Lifetime JP2703740B2 (ja) | 1994-08-31 | 1995-05-19 | 半導体加工装置用装填装置 |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
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| EP (1) | EP0700076B1 (ja) |
| JP (1) | JP2703740B2 (ja) |
| KR (1) | KR0173521B1 (ja) |
| AT (1) | ATE195609T1 (ja) |
| DE (2) | DE4430844C1 (ja) |
| SG (1) | SG42758A1 (ja) |
| TW (1) | TW301016B (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10107122A (ja) * | 1996-10-01 | 1998-04-24 | Tokyo Electron Ltd | 被処理基板カセットの搬入装置 |
| JPH10147432A (ja) * | 1996-11-20 | 1998-06-02 | Tokyo Electron Ltd | カセットチャンバ |
| DE19806852C1 (de) | 1998-02-19 | 1999-08-12 | Jenoptik Jena Gmbh | Sicherheitsvorrichtung für ein Transportsystem |
| FI110506B (fi) * | 2000-12-20 | 2003-02-14 | Outokumpu Oy | Laitteisto levymäisen tuotteen siirtämiseksi asemalta toiselle |
| US6866460B2 (en) * | 2001-07-16 | 2005-03-15 | Semitool, Inc. | Apparatus and method for loading of carriers containing semiconductor wafers and other media |
| US6726429B2 (en) | 2002-02-19 | 2004-04-27 | Vertical Solutions, Inc. | Local store for a wafer processing station |
| KR100974468B1 (ko) * | 2009-06-12 | 2010-08-10 | 한명진 | 양방향 풍력발전기 |
Family Cites Families (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2840219A (en) * | 1957-04-30 | 1958-06-24 | Newart Mfg Company | Automatic rack un-loader and loader for plating machines |
| US3913749A (en) * | 1974-08-12 | 1975-10-21 | Fluoroware Systems Corp | Wafer basket transfer apparatus |
| US4119211A (en) * | 1976-10-22 | 1978-10-10 | Western Electric Company, Inc. | Method and apparatus for transferring articles while re-establishing their orientation |
| JPS5743399A (en) * | 1980-08-27 | 1982-03-11 | Matsushita Electric Works Ltd | Device for firing discharge lamp |
| JPS60180789A (ja) * | 1984-02-25 | 1985-09-14 | ソニー株式会社 | クリ−ンル−ム内作業ロボツト装置 |
| JPS60259389A (ja) * | 1984-06-04 | 1985-12-21 | 日産自動車株式会社 | オ−トロ−ダ |
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| US4674936A (en) * | 1985-08-26 | 1987-06-23 | Asyst Technologies | Short arm manipulator for standard mechanical interface apparatus |
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| US4770590A (en) * | 1986-05-16 | 1988-09-13 | Silicon Valley Group, Inc. | Method and apparatus for transferring wafers between cassettes and a boat |
| US4808059A (en) * | 1986-07-15 | 1989-02-28 | Peak Systems, Inc. | Apparatus and method for transferring workpieces |
| DE3637880C2 (de) * | 1986-11-06 | 1994-09-01 | Meissner & Wurst | Transportierbares Behältnis zur Handhabung von Halbleiterelementen während ihrer Herstellung sowie Verfahren zur partikelfreien Übergabe von Produkten |
| BE1000990A3 (nl) * | 1987-10-09 | 1989-05-30 | Picanol Nv | Inrichting voor het op elkaar aansluiten van onderling verplaatsbare elementen, en transportinrichting die eerstgenoemde inrichting toepast. |
| US5064337A (en) * | 1988-07-19 | 1991-11-12 | Tokyo Electron Limited | Handling apparatus for transferring carriers and a method of transferring carriers |
| DE4023772A1 (de) * | 1989-08-31 | 1991-03-14 | Gold Star Electronics | Vorrichtung zum beschicken und entladen von huelsen fuer ein ic-pruefgeraet |
| US5013213A (en) * | 1990-04-20 | 1991-05-07 | Kar Enterprises, Inc. | Automatic denesting machine |
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-
1995
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- 1995-04-28 US US08/430,407 patent/US5715929A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-05-19 JP JP7121750A patent/JP2703740B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1995-06-20 SG SG1995000693A patent/SG42758A1/en unknown
- 1995-07-31 KR KR1019950023475A patent/KR0173521B1/ko not_active IP Right Cessation
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