JPH0875677A - 四軸型自動回折装置 - Google Patents
四軸型自動回折装置Info
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- JPH0875677A JPH0875677A JP6208503A JP20850394A JPH0875677A JP H0875677 A JPH0875677 A JP H0875677A JP 6208503 A JP6208503 A JP 6208503A JP 20850394 A JP20850394 A JP 20850394A JP H0875677 A JPH0875677 A JP H0875677A
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- rays
- ray
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 Ｘ線源から発散されたＸ線が空気中を通過し
て試料に到達するまでの距離をできるだけ短くし、Ｘ線
の強度の低下を少なくする。 【構成】 Ｘ線源５からのＸ線を試料６に照射し、この
試料６からの回折Ｘ線を計数装置４で計測する。この間
に、４軸ゴニオメータ３によって試料６を回転させなが
ら計数装置４で回折Ｘ線を計数する。即ち、計数装置４
をＸ線の光軸Ｃと直交する基台１１上の２Θ軸３５回り
に回転させ、κケース１２を基台１１上のΩ軸３２回り
に回転させる。κケース１２と計数装置４とは常に１：
２の速度比となるように回転させる。さらにκケース１
２に設けられたΚ軸３３の回りにφケース１３を回転さ
せると共に、φケース１３のФ軸３４の回りに試料６を
回転させることで試料の計測面に様々な角度でＸ線を照
射する。Κ軸３３は薄型ベアリング３６でκケース１２
に回転自在に支持されることで、κケース１２が薄型形
状とされ、その分Ｘ線源５を試料６に近づけることがで
きる。
て試料に到達するまでの距離をできるだけ短くし、Ｘ線
の強度の低下を少なくする。 【構成】 Ｘ線源５からのＸ線を試料６に照射し、この
試料６からの回折Ｘ線を計数装置４で計測する。この間
に、４軸ゴニオメータ３によって試料６を回転させなが
ら計数装置４で回折Ｘ線を計数する。即ち、計数装置４
をＸ線の光軸Ｃと直交する基台１１上の２Θ軸３５回り
に回転させ、κケース１２を基台１１上のΩ軸３２回り
に回転させる。κケース１２と計数装置４とは常に１：
２の速度比となるように回転させる。さらにκケース１
２に設けられたΚ軸３３の回りにφケース１３を回転さ
せると共に、φケース１３のФ軸３４の回りに試料６を
回転させることで試料の計測面に様々な角度でＸ線を照
射する。Κ軸３３は薄型ベアリング３６でκケース１２
に回転自在に支持されることで、κケース１２が薄型形
状とされ、その分Ｘ線源５を試料６に近づけることがで
きる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、Ｘ線源から発散され
たＸ線を試料に照射して回折Ｘ線を計測する際に、試料
を回転させたり向きを変えたりする４軸ゴニオメータを
備えた四軸型自動回折装置に関する。
たＸ線を試料に照射して回折Ｘ線を計測する際に、試料
を回転させたり向きを変えたりする４軸ゴニオメータを
備えた四軸型自動回折装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の四軸型自動回折装置とし
ては図３に示すものが知られている。この四軸型自動回
折装置１はＸ線を発生させるＸ線発生装置２と、このＸ
線発生装置２から発散されるＸ線が照射される試料を回
転させる４軸ゴニオメータ３と、この回転する試料の外
周を前記４軸ゴニオメータ３で回転させながら、試料か
らの回折Ｘ線を測定する計数装置４とを備えている。
ては図３に示すものが知られている。この四軸型自動回
折装置１はＸ線を発生させるＸ線発生装置２と、このＸ
線発生装置２から発散されるＸ線が照射される試料を回
転させる４軸ゴニオメータ３と、この回転する試料の外
周を前記４軸ゴニオメータ３で回転させながら、試料か
らの回折Ｘ線を測定する計数装置４とを備えている。
【０００３】Ｘ線発生装置２の先端にはＸ線源５から発
散されたＸ線を細い線束にして試料６に照射するコリメ
ータ７がホルダー７ａで支持されている。４軸ゴニオメ
ータ３は、基台１１の上部に設けられてΩ軸の回りに試
料を走査させるκケース１２と、このκケース１２の内
側傾斜面１２ａのΚ軸回りに回転するφケース１３と、
このφケース１３のФ軸回りに回転する回転台１４とを
備えており、試料６は回転台１４の上に取り付けられた
試料ホルダー１５の先端に設けられている。計数装置４
は、基台１１の２Θ軸の回りに回転する回転アーム２１
と、この回転アーム２１の外端部に支持されたソーラス
リット２２と、このソーラスリット２２の前面側に設け
られたビームトンネル２３と、ソーラスリット２２の背
面側に設けられた計数管２４とからなっている。そして
上記Κ軸は、κケース１２の傾斜面１２ａに沿って設け
られたベアリング２５によって回転自在に支持されてお
り、φケース１３はこのベアリング２５に支持されるこ
とでκケース１２に対して回転自在とされている。
散されたＸ線を細い線束にして試料６に照射するコリメ
ータ７がホルダー７ａで支持されている。４軸ゴニオメ
ータ３は、基台１１の上部に設けられてΩ軸の回りに試
料を走査させるκケース１２と、このκケース１２の内
側傾斜面１２ａのΚ軸回りに回転するφケース１３と、
このφケース１３のФ軸回りに回転する回転台１４とを
備えており、試料６は回転台１４の上に取り付けられた
試料ホルダー１５の先端に設けられている。計数装置４
は、基台１１の２Θ軸の回りに回転する回転アーム２１
と、この回転アーム２１の外端部に支持されたソーラス
リット２２と、このソーラスリット２２の前面側に設け
られたビームトンネル２３と、ソーラスリット２２の背
面側に設けられた計数管２４とからなっている。そして
上記Κ軸は、κケース１２の傾斜面１２ａに沿って設け
られたベアリング２５によって回転自在に支持されてお
り、φケース１３はこのベアリング２５に支持されるこ
とでκケース１２に対して回転自在とされている。
【０００４】そして上記Ｘ線源５、コリメータ７、試料
６、ビームトンネル２３、ソーラスリット２２及び計数
管２４は、Ｘ線の光軸Ｃ上に位置するように顕微鏡２６
を用いたりして位置調整がなされ、これによってＸ線源
５から発散されたＸ線が試料６の微小領域に照射された
後、回折Ｘ線として計数管２４で検出される。その間４
軸ゴニオメータ３では、κケース１２がΩ軸の回りに走
査すると共に計数装置４が２Θ軸の回りに走査し、さら
にΦケース１３がΚ軸の回りに所定の角度で回転すると
共にφケース１３の回転台１４がФ軸の回りに回転する
ことで、試料６の計測面に様々な角度からＸ線を照射す
るようにしている。
６、ビームトンネル２３、ソーラスリット２２及び計数
管２４は、Ｘ線の光軸Ｃ上に位置するように顕微鏡２６
を用いたりして位置調整がなされ、これによってＸ線源
５から発散されたＸ線が試料６の微小領域に照射された
後、回折Ｘ線として計数管２４で検出される。その間４
軸ゴニオメータ３では、κケース１２がΩ軸の回りに走
査すると共に計数装置４が２Θ軸の回りに走査し、さら
にΦケース１３がΚ軸の回りに所定の角度で回転すると
共にφケース１３の回転台１４がФ軸の回りに回転する
ことで、試料６の計測面に様々な角度からＸ線を照射す
るようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが上述した従来
の四軸型自動回折装置にあっては、試料６へのＸ線の照
射角度を変えるために４軸ゴニオメータ３を用いてお
り、この４軸ゴニオメータ３のκケース１２には、Κ軸
がベアリング２５で回転自在に支持されているが、この
ベアリング２５の回転精度を向上させるために、Κ軸の
先端部と基端部との２点を支持する厚肉型のベアリング
２５を用いている。そのため、κケース１２の形状を厚
肉型ベアリング２５の形状に合わせて大きくしなれけれ
ばならず、κケース１２の外側面１２ｂが基台１１の外
側面１１ｂより外側へ大きくはみ出してしまい、これに
よってＸ線源５が試料６から離れた位置に設けられるこ
ととなり、Ｘ線源５と試料６との間の距離が遠くなり、
Ｘ線源５から発散されたＸ線が空気中を通って試料６に
到達するまでに、空気中の分子によって拡散され、Ｘ線
の強度が低下してしまうという問題点があった。
の四軸型自動回折装置にあっては、試料６へのＸ線の照
射角度を変えるために４軸ゴニオメータ３を用いてお
り、この４軸ゴニオメータ３のκケース１２には、Κ軸
がベアリング２５で回転自在に支持されているが、この
ベアリング２５の回転精度を向上させるために、Κ軸の
先端部と基端部との２点を支持する厚肉型のベアリング
２５を用いている。そのため、κケース１２の形状を厚
肉型ベアリング２５の形状に合わせて大きくしなれけれ
ばならず、κケース１２の外側面１２ｂが基台１１の外
側面１１ｂより外側へ大きくはみ出してしまい、これに
よってＸ線源５が試料６から離れた位置に設けられるこ
ととなり、Ｘ線源５と試料６との間の距離が遠くなり、
Ｘ線源５から発散されたＸ線が空気中を通って試料６に
到達するまでに、空気中の分子によって拡散され、Ｘ線
の強度が低下してしまうという問題点があった。
【０００６】この発明は、上述した問題点を解決するた
めになされたものであり、Ｘ線源から発散されたＸ線が
空気中を通過して試料に到達するまでの距離をできるだ
け短くし、Ｘ線の強度の低下を少なくすることのできる
四軸型自動回折装置を提供することを目的としいる。
めになされたものであり、Ｘ線源から発散されたＸ線が
空気中を通過して試料に到達するまでの距離をできるだ
け短くし、Ｘ線の強度の低下を少なくすることのできる
四軸型自動回折装置を提供することを目的としいる。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１記載の発明は、Ｘ線源からのＸ線を試料に
照射するＸ線発生装置と、前記試料からの回折Ｘ線を検
出する計数装置と、この計数装置をＸ線の光軸と直交す
る基台上の２Θ軸回りに回転させると共に、前記基台上
に設けられたκケースを前記２Θ軸と同軸上のΩ軸回り
に回転させ、さらに前記κケースに薄型ベアリングで回
転自在に支持されたφケースを前記Ω軸とＸ線の光軸と
の交点に斜め下方から交わるΚ軸回りに回転させると共
に、前記φケースに設けられて、このφケースが最下点
に位置した状態で、前記Ω軸と一致するφ軸回りに前記
試料を回転させる４軸ゴニオメータとを具備したことを
特徴としている。
に、請求項１記載の発明は、Ｘ線源からのＸ線を試料に
照射するＸ線発生装置と、前記試料からの回折Ｘ線を検
出する計数装置と、この計数装置をＸ線の光軸と直交す
る基台上の２Θ軸回りに回転させると共に、前記基台上
に設けられたκケースを前記２Θ軸と同軸上のΩ軸回り
に回転させ、さらに前記κケースに薄型ベアリングで回
転自在に支持されたφケースを前記Ω軸とＸ線の光軸と
の交点に斜め下方から交わるΚ軸回りに回転させると共
に、前記φケースに設けられて、このφケースが最下点
に位置した状態で、前記Ω軸と一致するφ軸回りに前記
試料を回転させる４軸ゴニオメータとを具備したことを
特徴としている。
【０００８】
【作用】請求項１の四軸型自動回折装置では、Κ軸が薄
型ベアリングでκケースに回転自在に支持されているた
め、κケースの形状を薄型ベアリングに合わせて薄型形
状とすることができ、その分Ｘ線源を試料側に近づける
ことができ、Ｘ線源と試料との間の距離が小さくなる。
型ベアリングでκケースに回転自在に支持されているた
め、κケースの形状を薄型ベアリングに合わせて薄型形
状とすることができ、その分Ｘ線源を試料側に近づける
ことができ、Ｘ線源と試料との間の距離が小さくなる。
【０００９】
【実施例】次に図を用いてこの発明を詳細に説明する。
図１，図２はこの発明の一実施例の四軸型自動回折装置
を示すものである。なお図３に示した従来の四軸型自動
回折装置と同様の要素については、同符号を付してその
説明を省略する。この実施例の四軸型自動回折装置３１
は、分析する試料６にＸ線源５からのＸ線を照射するＸ
線発生装置２と、試料６からの回折Ｘ線を検出する計数
装置４と、Ｘ線の光軸Ｃ上に置かれた試料６をΩ軸３
２，Κ軸３３，Ф軸３４の３軸回りに回転させると同時
に、計数装置４を２Θ軸３５の回りに回転させる４軸ゴ
ニオメータ３と、この４軸ゴニオメータ３を支持する基
台１１とから主に構成されている。
図１，図２はこの発明の一実施例の四軸型自動回折装置
を示すものである。なお図３に示した従来の四軸型自動
回折装置と同様の要素については、同符号を付してその
説明を省略する。この実施例の四軸型自動回折装置３１
は、分析する試料６にＸ線源５からのＸ線を照射するＸ
線発生装置２と、試料６からの回折Ｘ線を検出する計数
装置４と、Ｘ線の光軸Ｃ上に置かれた試料６をΩ軸３
２，Κ軸３３，Ф軸３４の３軸回りに回転させると同時
に、計数装置４を２Θ軸３５の回りに回転させる４軸ゴ
ニオメータ３と、この４軸ゴニオメータ３を支持する基
台１１とから主に構成されている。
【００１０】Ｘ線発生装置２は、Ｘ線源５とこれを支持
する支持部５ａとからなっており、Ｘ線源５は加熱され
た陰極から出る熱電子を加速してターゲットに衝突させ
ることでＸ線を発生させるＸ線管（図示せず）と、陰極
を加熱するための高電圧発生部（図示せず）とから構成
されている。Ｘ線源５の支持部５ａは、基台１１の外側
面１１ａに隣接して設けられており、支持部５ａの上部
にはホルダー７ａが取り付けられ、このホルダー７ａの
先端にはコリメータ７が支持されている。コリメータ７
はＸ線の光軸Ｃ上に配置され、このコリメータ７をＸ線
が通過することでＸ線が細い線束となって試料６の微小
領域に照射されるようにしている。また計数装置４の前
面側にはビームトンネル２３がアーム２３ａの先端に支
持されており、このビームトンネル２３に試料６からの
回折Ｘ線を通過させることで、回折Ｘ線のデバイ環の中
心部のみを計数するようにしている。
する支持部５ａとからなっており、Ｘ線源５は加熱され
た陰極から出る熱電子を加速してターゲットに衝突させ
ることでＸ線を発生させるＸ線管（図示せず）と、陰極
を加熱するための高電圧発生部（図示せず）とから構成
されている。Ｘ線源５の支持部５ａは、基台１１の外側
面１１ａに隣接して設けられており、支持部５ａの上部
にはホルダー７ａが取り付けられ、このホルダー７ａの
先端にはコリメータ７が支持されている。コリメータ７
はＸ線の光軸Ｃ上に配置され、このコリメータ７をＸ線
が通過することでＸ線が細い線束となって試料６の微小
領域に照射されるようにしている。また計数装置４の前
面側にはビームトンネル２３がアーム２３ａの先端に支
持されており、このビームトンネル２３に試料６からの
回折Ｘ線を通過させることで、回折Ｘ線のデバイ環の中
心部のみを計数するようにしている。
【００１１】４軸ゴニオメータ３は、基台１１の上部に
設けられて、コリメータ７の先端付近でＸ線の光軸Ｃと
直交するΩ軸３２の回りに角速度θで回転するκケース
１２と、このκケース１２の傾斜面１２ａのΚ軸３３回
りに回転するφケース１３と、このφケース１３に設け
られてФ軸３４回りに回転する回転台１４とを備えてお
り、回転台１４の上部には試料ホルダー１５が設けら
れ、この試料ホルダー１５の先端には上記Ｘ線の光軸Ｃ
上に配置される試料６が取り付けられている。また、基
台１１の上部に設けられた計数装置４を２Θ軸３５の回
りに角速度２θで回転させるようにしている。
設けられて、コリメータ７の先端付近でＸ線の光軸Ｃと
直交するΩ軸３２の回りに角速度θで回転するκケース
１２と、このκケース１２の傾斜面１２ａのΚ軸３３回
りに回転するφケース１３と、このφケース１３に設け
られてФ軸３４回りに回転する回転台１４とを備えてお
り、回転台１４の上部には試料ホルダー１５が設けら
れ、この試料ホルダー１５の先端には上記Ｘ線の光軸Ｃ
上に配置される試料６が取り付けられている。また、基
台１１の上部に設けられた計数装置４を２Θ軸３５の回
りに角速度２θで回転させるようにしている。
【００１２】κケース１２は、Ω軸３２を含む垂直面に
直角に交わるに傾斜面１２ａに、Ω軸３２と光軸Ｃとの
交点に斜め下方から交わるΚ軸３３を設け、このΚ軸３
３を薄型ベアリング３６でκケース１２の傾斜面１２ａ
に沿って回転自在に取り付けることで、φケース１３を
κケース１２に対してΚ軸３３回りに回転自在としたも
のである。そして、κケース１２は水平な基板１２ｃに
よってΩ軸３２の回りに回転自在に支持され、基板１２
ｃの先端側には顕微鏡２６が取り付けられている。また
Ｘ線源５と試料６との間に位置するκケース１２の外側
面１２ｂが、基台１１の外側面１１ａとほぼ同じ位置と
なるように形成されることで、κケース１２がΩ軸３２
の回りに回転しても、κケース１２の外側面１２ｂがＸ
線源５の支持部５ａに接触することがない。
直角に交わるに傾斜面１２ａに、Ω軸３２と光軸Ｃとの
交点に斜め下方から交わるΚ軸３３を設け、このΚ軸３
３を薄型ベアリング３６でκケース１２の傾斜面１２ａ
に沿って回転自在に取り付けることで、φケース１３を
κケース１２に対してΚ軸３３回りに回転自在としたも
のである。そして、κケース１２は水平な基板１２ｃに
よってΩ軸３２の回りに回転自在に支持され、基板１２
ｃの先端側には顕微鏡２６が取り付けられている。また
Ｘ線源５と試料６との間に位置するκケース１２の外側
面１２ｂが、基台１１の外側面１１ａとほぼ同じ位置と
なるように形成されることで、κケース１２がΩ軸３２
の回りに回転しても、κケース１２の外側面１２ｂがＸ
線源５の支持部５ａに接触することがない。
【００１３】φケース１３は、Κ軸３３回りに回転する
基部１３ａの先端に、回転台１４の取付アーム部１３ｂ
を設けたものであり、この取付アーム部１３ｂは、最下
端に位置した時（図１の状態の時）に光軸ｃと平行状態
となり、かつ回転台１４のФ軸３４がΩ軸３２と一致す
る。そして、上記２Θ，Ω，Κ，Фの各軸３５，３２，
３３，３４は、インターフェースを通して計算機に接続
されており、各軸の駆動はステッピングモータによるデ
ジタル駆動で、機械系に取り付けられたデジタイザとの
比較によるクローズドループ制御を行っている。
基部１３ａの先端に、回転台１４の取付アーム部１３ｂ
を設けたものであり、この取付アーム部１３ｂは、最下
端に位置した時（図１の状態の時）に光軸ｃと平行状態
となり、かつ回転台１４のФ軸３４がΩ軸３２と一致す
る。そして、上記２Θ，Ω，Κ，Фの各軸３５，３２，
３３，３４は、インターフェースを通して計算機に接続
されており、各軸の駆動はステッピングモータによるデ
ジタル駆動で、機械系に取り付けられたデジタイザとの
比較によるクローズドループ制御を行っている。
【００１４】つぎに、図１，図２を用いてこの実施例の
四軸型自動回折装置３１の動作について説明する。ま
ず、Ｘ線源５、コリメータ７、試料６、ビームトンネル
２３、ソーラスリット２３及び計数管２４が、Ｘ線源５
から発散されるＸ線の光軸Ｃ上に位置するように顕微鏡
２６を用いたりして位置調整を行った後、Ｘ線源５から
Ｘ線を発散させて試料６の微小領域に照射させ、この試
料６からの回折Ｘ線を計数装置４で検出する。この際、
Ｘ線源５から発散されたＸ線は、空気中を通って試料６
に照射された後、試料６からの回折Ｘ線が空気中を通っ
て計数管２４に到達する。この間にΩ軸３２回りにκケ
ース１２が回転することで試料６が回転して、Ｘ線の試
料面に対する入射角及び反射角θが変化する。また２Θ
軸回りにビームトンネル２３を備えた計数装置４を上記
試料６の角速度θに対して常に１：２の速度比とする角
速度２θで回転させながら試料６からの回折Ｘ線を検出
する。さらにκケース１２のΚ軸３３回りにφケース１
３を回転させると共に、φケース１３のФ軸３４回りに
試料６を回転させることで試料６の計測面に様々な角度
からＸ線を照射させることができる。
四軸型自動回折装置３１の動作について説明する。ま
ず、Ｘ線源５、コリメータ７、試料６、ビームトンネル
２３、ソーラスリット２３及び計数管２４が、Ｘ線源５
から発散されるＸ線の光軸Ｃ上に位置するように顕微鏡
２６を用いたりして位置調整を行った後、Ｘ線源５から
Ｘ線を発散させて試料６の微小領域に照射させ、この試
料６からの回折Ｘ線を計数装置４で検出する。この際、
Ｘ線源５から発散されたＸ線は、空気中を通って試料６
に照射された後、試料６からの回折Ｘ線が空気中を通っ
て計数管２４に到達する。この間にΩ軸３２回りにκケ
ース１２が回転することで試料６が回転して、Ｘ線の試
料面に対する入射角及び反射角θが変化する。また２Θ
軸回りにビームトンネル２３を備えた計数装置４を上記
試料６の角速度θに対して常に１：２の速度比とする角
速度２θで回転させながら試料６からの回折Ｘ線を検出
する。さらにκケース１２のΚ軸３３回りにφケース１
３を回転させると共に、φケース１３のФ軸３４回りに
試料６を回転させることで試料６の計測面に様々な角度
からＸ線を照射させることができる。
【００１５】したがって、この四軸型自動回折装置３１
では、Κ軸３３を薄型ベアリング３６でκケース１２に
支持することで、κケース１２の形状を薄型にすること
ができ、その分Ｘ線源５を試料６に近づけることがで
き、これによってＸ線源５と試料６との間の距離Ａを小
さくすることができ、Ｘ線が空気中を通過する際に空気
中の分子によって拡散される確率が少なくなり、従来と
同じ強度のＸ線源５を用いても、試料に到達するＸ線の
強度を高めることができ、装置の計測精度を向上させる
ことができる。
では、Κ軸３３を薄型ベアリング３６でκケース１２に
支持することで、κケース１２の形状を薄型にすること
ができ、その分Ｘ線源５を試料６に近づけることがで
き、これによってＸ線源５と試料６との間の距離Ａを小
さくすることができ、Ｘ線が空気中を通過する際に空気
中の分子によって拡散される確率が少なくなり、従来と
同じ強度のＸ線源５を用いても、試料に到達するＸ線の
強度を高めることができ、装置の計測精度を向上させる
ことができる。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の四軸型
自動回折装置によれば、Κ軸を薄型ベアリングでκケー
スに回転自在に支持することで、κケースを薄型にで
き、Ｘ線源を試料に近づけて、試料までの距離を短くす
ることができ、これによってＸ線源から発散されたＸ線
が空気中で減衰するのを少なくして、試料に照射される
Ｘ線の強度を高めることができ、装置の計測精度を高め
ることができる。
自動回折装置によれば、Κ軸を薄型ベアリングでκケー
スに回転自在に支持することで、κケースを薄型にで
き、Ｘ線源を試料に近づけて、試料までの距離を短くす
ることができ、これによってＸ線源から発散されたＸ線
が空気中で減衰するのを少なくして、試料に照射される
Ｘ線の強度を高めることができ、装置の計測精度を高め
ることができる。
【図１】この発明の一実施例の四軸型自動回折装置の正
面断面図である。
面断面図である。
【図２】図１の４軸ゴニオメータの動作を説明する説明
図である。
図である。
【図３】従来の四軸型自動回折装置の正面図である。
４ 計数装置 ５ Ｘ線源 ６ 試料 １１ 基台 １２ κケース １３ φケース ３１ 四軸型自動回折装置 Ｃ Ｘ線の光軸 ３５ ２Θ軸 ３２ Ω軸 ３３ Κ軸 ３４ Ф軸 ３６ 薄型ベアリング
Claims (1)
- 【請求項１】 Ｘ線源からのＸ線を試料に照射するＸ線
発生装置と、前記試料からの回折Ｘ線を検出する計数装
置と、この計数装置をＸ線の光軸と直交する基台上の２
Θ軸回りに回転させると共に、前記基台上に設けられた
κケースを前記２Θ軸と同軸上のΩ軸回りに回転させ、
さらに前記κケースに薄型ベアリングで回転自在に支持
されたφケースを前記Ω軸とＸ線の光軸との交点に斜め
下方から交わるΚ軸回りに回転させると共に、前記φケ
ースに設けられて、このφケースが最下点に位置した状
態で、前記Ω軸と一致するφ軸回りに前記試料を回転さ
せる４軸ゴニオメータとを具備したことを特徴とする四
軸型自動回折装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6208503A JPH0875677A (ja) | 1994-09-01 | 1994-09-01 | 四軸型自動回折装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6208503A JPH0875677A (ja) | 1994-09-01 | 1994-09-01 | 四軸型自動回折装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0875677A true JPH0875677A (ja) | 1996-03-22 |
Family
ID=16557239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6208503A Pending JPH0875677A (ja) | 1994-09-01 | 1994-09-01 | 四軸型自動回折装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0875677A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002148219A (ja) * | 2000-11-08 | 2002-05-22 | Mac Science Co Ltd | Ｘ線回折装置 |
| KR20220155468A (ko) * | 2021-05-13 | 2022-11-23 | 포항공과대학교 산학협력단 | 범용 보석 커팅 감별 장치 및 방법 |
-
1994
- 1994-09-01 JP JP6208503A patent/JPH0875677A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002148219A (ja) * | 2000-11-08 | 2002-05-22 | Mac Science Co Ltd | Ｘ線回折装置 |
| KR20220155468A (ko) * | 2021-05-13 | 2022-11-23 | 포항공과대학교 산학협력단 | 범용 보석 커팅 감별 장치 및 방법 |
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