JP2535380B2 - Ｘ線回折装置 - Google Patents
Ｘ線回折装置Info
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- JP2535380B2 JP2535380B2 JP63124097A JP12409788A JP2535380B2 JP 2535380 B2 JP2535380 B2 JP 2535380B2 JP 63124097 A JP63124097 A JP 63124097A JP 12409788 A JP12409788 A JP 12409788A JP 2535380 B2 JP2535380 B2 JP 2535380B2
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- Japan
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- monochromator
- ray
- goniometer
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、単結晶試料及び多結晶試料のいずれの試料
も測定可能にしたＸ線回折装置に関する。
も測定可能にしたＸ線回折装置に関する。
［従来の技術］ 従来、単結晶試料のＸ線回折測定をする場合と、多結
晶試料のＸ線回折測定する場合とでは、各々別個の専用
の装置が用いられていた。
晶試料のＸ線回折測定する場合とでは、各々別個の専用
の装置が用いられていた。
これは、通常、単結晶試料のＸ線回折測定をする場合
には、試料に照射するＸ線を単色化する必要があるのに
対し、多結晶試料のＸ線回折測定の場合には、その必要
がないために、装置の構成が大巾に異なるためである。
には、試料に照射するＸ線を単色化する必要があるのに
対し、多結晶試料のＸ線回折測定の場合には、その必要
がないために、装置の構成が大巾に異なるためである。
［発明が解決しようとする課題］ それゆえ、従来は、単結晶試料と多結晶試料とのＸ線
回折測定を行うためには、２台の装置が必要であり、設
備費がかさむとともに、設置スペースを確保する必要が
ある等の問題があった。
回折測定を行うためには、２台の装置が必要であり、設
備費がかさむとともに、設置スペースを確保する必要が
ある等の問題があった。
本発明の目的は、上記問題点を除去できるＸ線回折装
置を提供することにある。
置を提供することにある。
［課題を解決するための手段］ 本発明は、Ｘ線源と、このＸ線源から射出されるＸ線
を単色化するモノクロメータを着脱自在に保持するモノ
クロメータ取り付け台と、被測定試料と該試料からの回
折Ｘ線を検出するＸ線検出器とを一定の速度関係（θ−
２θの速度関係）で回転して回折Ｘ線の回折角を測定す
るゴニオメータを備え、 かつ、前記ゴニオメータを前記モノクロメータ取り付
け台の基準点を中心にして回転可能にするという極めて
簡単な構成により、単結晶試料のＸ線回折測定と多結晶
試料のＸ線回折測定とのいずれにも適用できる装置を得
たものである。
を単色化するモノクロメータを着脱自在に保持するモノ
クロメータ取り付け台と、被測定試料と該試料からの回
折Ｘ線を検出するＸ線検出器とを一定の速度関係（θ−
２θの速度関係）で回転して回折Ｘ線の回折角を測定す
るゴニオメータを備え、 かつ、前記ゴニオメータを前記モノクロメータ取り付
け台の基準点を中心にして回転可能にするという極めて
簡単な構成により、単結晶試料のＸ線回折測定と多結晶
試料のＸ線回折測定とのいずれにも適用できる装置を得
たものである。
具体的には、Ｘ線源と、このＸ線源から射出されるＸ
線を単色化するためのモノクロメータを着脱自在に取り
付けするモノクロメータ取り付け台と、試料を回転自在
に保持して試料に対するＸ線の入射角を変化させる試料
回転台及びこの試料回転台の回転軸を中心に該試料回転
台の回転速度と一定の速度関係を有して回転可能に支持
され、かつ、前記試料からの回折Ｘ線をレシービングス
リットを介して検出するＸ線検出器を備えたゴニオメー
タと、を有するＸ線回折装置において、 前記ゴニオメータ全体を、前記モノクロメータ取り付
け台の基準点を通る軸線を中心にして回転移動可能に支
持するようにしたゴニオメータ位置の移動機構を設ける
ことによって、 前記モノクロメータ取り付け台にモノクロメータを取
り付けないで前記Ｘ線源から射出されるＸ線をモノクロ
メータを介さずに前記ゴニオメータに保持された試料に
照射してＸ線回折測定を行う場合と、前記モノクロメー
タ取り付け台にモノクロメータを取り付けて前記Ｘ線源
から射出されるＸ線をモノクロメータを介して単色化し
て前記ゴニオメータに保持された試料に照射してＸ線回
折測定を行う場合と、の２種類の測定方法の切り替え
を、前記ゴニオメータ位置の移動機構を用いて、前記ゴ
ニオメータ全体を前記モノクロメータ取り付け台の基準
点を通る軸線を中心にして回転移動するだけで行えるよ
うにしたことを特徴とする構成を有する。
線を単色化するためのモノクロメータを着脱自在に取り
付けするモノクロメータ取り付け台と、試料を回転自在
に保持して試料に対するＸ線の入射角を変化させる試料
回転台及びこの試料回転台の回転軸を中心に該試料回転
台の回転速度と一定の速度関係を有して回転可能に支持
され、かつ、前記試料からの回折Ｘ線をレシービングス
リットを介して検出するＸ線検出器を備えたゴニオメー
タと、を有するＸ線回折装置において、 前記ゴニオメータ全体を、前記モノクロメータ取り付
け台の基準点を通る軸線を中心にして回転移動可能に支
持するようにしたゴニオメータ位置の移動機構を設ける
ことによって、 前記モノクロメータ取り付け台にモノクロメータを取
り付けないで前記Ｘ線源から射出されるＸ線をモノクロ
メータを介さずに前記ゴニオメータに保持された試料に
照射してＸ線回折測定を行う場合と、前記モノクロメー
タ取り付け台にモノクロメータを取り付けて前記Ｘ線源
から射出されるＸ線をモノクロメータを介して単色化し
て前記ゴニオメータに保持された試料に照射してＸ線回
折測定を行う場合と、の２種類の測定方法の切り替え
を、前記ゴニオメータ位置の移動機構を用いて、前記ゴ
ニオメータ全体を前記モノクロメータ取り付け台の基準
点を通る軸線を中心にして回転移動するだけで行えるよ
うにしたことを特徴とする構成を有する。
［作用］ 前記構成において、単結晶試料を測定する際には、前
記モノクロメータ取り付け台にモノクロメータを保持
し、次に、前記Ｘ線源から射出されたＸ線がこのモノク
ロメータによって単色化されて進行する方向に前記被測
定試料が位置するように、前記ゴニオメータを回転して
セットする。これにより、単色化されたＸ線が試料に照
射されることになり、前記ゴニオメータを動作させて被
測定試料とＸ線検出器とをθ・２θの関係で回転してそ
の回折角を測定することにより、単結晶試料のＸ線回折
測定を行うことができる。
記モノクロメータ取り付け台にモノクロメータを保持
し、次に、前記Ｘ線源から射出されたＸ線がこのモノク
ロメータによって単色化されて進行する方向に前記被測
定試料が位置するように、前記ゴニオメータを回転して
セットする。これにより、単色化されたＸ線が試料に照
射されることになり、前記ゴニオメータを動作させて被
測定試料とＸ線検出器とをθ・２θの関係で回転してそ
の回折角を測定することにより、単結晶試料のＸ線回折
測定を行うことができる。
また、多結晶試料を測定する際には、前記モノクロメ
ータ取り付け台からモノクロメータを取り外し、前記ゴ
ニオメータを回転して該ゴニオメータに保持された被測
定試料に前記Ｘ線源から射出されるＸ線が直接照射され
るようにする。これにより、前記Ｘ線源と前記レシービ
ングスリットとが前記試料回転台の回転軸を中心とする
１つの円上に位置することになる。したがって、前記ゴ
ニオメータを動作させて被測定試料とＸ線検出器とをθ
・２θの関係で回転してその回折角を測定する場合を考
えると、まず、前記Ｘ線源、試料及びレシービングスリ
ットが常に共通の仮想円（ローランド円）上にあり、さ
らに、Ｘ線源と試料との距離及び試料と検出器との距離
が常に一定となって、いわゆる集中条件を満たすことに
なる。すなわち、これにより集中法による多結晶試料の
Ｘ線回折測定を行うことができる。
ータ取り付け台からモノクロメータを取り外し、前記ゴ
ニオメータを回転して該ゴニオメータに保持された被測
定試料に前記Ｘ線源から射出されるＸ線が直接照射され
るようにする。これにより、前記Ｘ線源と前記レシービ
ングスリットとが前記試料回転台の回転軸を中心とする
１つの円上に位置することになる。したがって、前記ゴ
ニオメータを動作させて被測定試料とＸ線検出器とをθ
・２θの関係で回転してその回折角を測定する場合を考
えると、まず、前記Ｘ線源、試料及びレシービングスリ
ットが常に共通の仮想円（ローランド円）上にあり、さ
らに、Ｘ線源と試料との距離及び試料と検出器との距離
が常に一定となって、いわゆる集中条件を満たすことに
なる。すなわち、これにより集中法による多結晶試料の
Ｘ線回折測定を行うことができる。
このようにして、１台の装置によって、単結晶試料及
び多結晶試料のＸ線回折測定を行うことができる。
び多結晶試料のＸ線回折測定を行うことができる。
［実施例］ 第１図は本発明の一実施例にかかるＸ線回折装置を示
す斜視図である。
す斜視図である。
第１図において、符号１はＸ線源、符号２がモノクロ
メータ取り付け台、符号３がゴニオメータである。
メータ取り付け台、符号３がゴニオメータである。
前記Ｘ線源１は図示しないＸ線発生装置の本体部のテ
ーブル部に立設されており、また、前記モノクロメータ
取り付け台２及びゴニオメータ３は、前記図示しないＸ
線発生装置のテーブル部に載置された基台４に取り付け
られている。
ーブル部に立設されており、また、前記モノクロメータ
取り付け台２及びゴニオメータ３は、前記図示しないＸ
線発生装置のテーブル部に載置された基台４に取り付け
られている。
前記モノクロメータ取り付け台２は、該モノクロメー
タ取り付け台２上にモノクロメータ21を着脱自在に取り
付けることができるようになっており、また、前記モノ
クロメータ21を取り付けた場合、該モノクロメータ21が
前記Ｘ線源１から射出されるＸ線11の進行方向を含む線
上に位置するようになっている。
タ取り付け台２上にモノクロメータ21を着脱自在に取り
付けることができるようになっており、また、前記モノ
クロメータ21を取り付けた場合、該モノクロメータ21が
前記Ｘ線源１から射出されるＸ線11の進行方向を含む線
上に位置するようになっている。
また、前記基台４には、前記モノクロメータ取り付け
台２の基準点Ｐ、すなわち、前記モノクロメータ21の反
射面の中心部に位置する基準点Ｐを通る鉛直線である軸
線O1と前記基台４との交点P1を中心とする円弧状の軌道
41が設けられている。
台２の基準点Ｐ、すなわち、前記モノクロメータ21の反
射面の中心部に位置する基準点Ｐを通る鉛直線である軸
線O1と前記基台４との交点P1を中心とする円弧状の軌道
41が設けられている。
前記ゴニオメータ３は、被測定試料31を載置して該試
料31の被測定面を含む鉛直線たる中心軸O2を中心に角速
度θで回転可能に支持された試料回転台32と、前記中心
軸O2を中心にして前記試料回転台32と連動して角速度２
θで回転可能に保持された腕部33と、この腕部33に固定
されたレシービングスリット34及びＸ線検出器35と、前
記モノクロメータ取り付け台２及び試料回転台32の中間
に配置されるスリット36を保持するスリット台37とを備
えている。
料31の被測定面を含む鉛直線たる中心軸O2を中心に角速
度θで回転可能に支持された試料回転台32と、前記中心
軸O2を中心にして前記試料回転台32と連動して角速度２
θで回転可能に保持された腕部33と、この腕部33に固定
されたレシービングスリット34及びＸ線検出器35と、前
記モノクロメータ取り付け台２及び試料回転台32の中間
に配置されるスリット36を保持するスリット台37とを備
えている。
さらに、このゴニオメータ３の底部には、前記円弧状
の軌道41に摺動自在に係合する係合部が形成されてお
り、該ゴニオメータ３が前記軌道41に沿って移動できる
ようになっている。
の軌道41に摺動自在に係合する係合部が形成されてお
り、該ゴニオメータ３が前記軌道41に沿って移動できる
ようになっている。
この場合、前記ゴニオメータ３を前記円弧軌道41上を
移動させて、前記Ｘ線源１から射出されるＸ線11の進行
方向を含む線上に前記ゴニオメータ３上に載置された試
料31が位置するようにしたとき、前記Ｘ線源１及びレシ
ービングスリット34がともに前記中心軸O2を中心とする
１つの円上に位置するように構成されている。これによ
り、前記Ｘ線源と前記レシービングスリットとが前記試
料回転台の回転軸を中心とする１つの円上に位置するこ
とになる。したがって、前記ゴニオメータを動作させて
被測定試料とＸ線検出器とをθ・２θの関係で回転して
その回折角を測定する場合を考えると、まず、前記Ｘ線
源、試料及びレシービングスリットが常に共通の仮想円
（ローランド円）上にあり、さらに、Ｘ線源と試料との
距離及び試料と検出器との距離が常に一定となって、い
わゆる集中条件を満たすことになる。すなわち、これに
より、集中法による測定ができるようになっている。
移動させて、前記Ｘ線源１から射出されるＸ線11の進行
方向を含む線上に前記ゴニオメータ３上に載置された試
料31が位置するようにしたとき、前記Ｘ線源１及びレシ
ービングスリット34がともに前記中心軸O2を中心とする
１つの円上に位置するように構成されている。これによ
り、前記Ｘ線源と前記レシービングスリットとが前記試
料回転台の回転軸を中心とする１つの円上に位置するこ
とになる。したがって、前記ゴニオメータを動作させて
被測定試料とＸ線検出器とをθ・２θの関係で回転して
その回折角を測定する場合を考えると、まず、前記Ｘ線
源、試料及びレシービングスリットが常に共通の仮想円
（ローランド円）上にあり、さらに、Ｘ線源と試料との
距離及び試料と検出器との距離が常に一定となって、い
わゆる集中条件を満たすことになる。すなわち、これに
より、集中法による測定ができるようになっている。
なお、前記ゴニオメータ３の本体部38内には図示しな
い外部制御装置からの指令によって前記試料回転台32と
腕部33とをθ・２θの角速度関係で回転する駆動装置が
収納されている。
い外部制御装置からの指令によって前記試料回転台32と
腕部33とをθ・２θの角速度関係で回転する駆動装置が
収納されている。
上述の装置によって単結晶試料のＸ線回折測定を行う
ときは、第２図に示されるように、前記モノクロメータ
取り付け台２にモノクロメータ21を取り付け、次に、前
記ゴニオメータ３を前記軌道41上で移動させて、前記モ
ノクロメータ21によって反射されて単色化されたＸ線12
が前記試料31に照射されるようにセットする。
ときは、第２図に示されるように、前記モノクロメータ
取り付け台２にモノクロメータ21を取り付け、次に、前
記ゴニオメータ３を前記軌道41上で移動させて、前記モ
ノクロメータ21によって反射されて単色化されたＸ線12
が前記試料31に照射されるようにセットする。
次いで、この状態で、前記試料31とＸ線検出器35（腕
部33）とをθ・２θの角速度関係で回転させる。これに
より、単結晶試料のＸ線回折測定を行うことができる。
部33）とをθ・２θの角速度関係で回転させる。これに
より、単結晶試料のＸ線回折測定を行うことができる。
また、上述の装置によって、多結晶試料のＸ線回折測
定を行う場合には、第３図に示されるように、前記モノ
クロメータ取り付け台２からモノクロメータ21を取り外
し、次に、前記ゴニオメータ３を前記軌道41上で移動さ
せて、前記Ｘ線源１から射出されるＸ線11が直接試料31
に照射されるようにセットする。
定を行う場合には、第３図に示されるように、前記モノ
クロメータ取り付け台２からモノクロメータ21を取り外
し、次に、前記ゴニオメータ３を前記軌道41上で移動さ
せて、前記Ｘ線源１から射出されるＸ線11が直接試料31
に照射されるようにセットする。
次いで、この状態で、前記試料31とＸ線検出器35（腕
部33）とをθ・２θの角速度関係で回転させる。これに
より、集中法による多結晶試料のＸ線回折測定を行うこ
とができる。
部33）とをθ・２θの角速度関係で回転させる。これに
より、集中法による多結晶試料のＸ線回折測定を行うこ
とができる。
上述の実施例の装置によれば、前記ゴニオメータ３を
移動させる等の簡単な操作だけで単結晶試料の測定ある
いは多結晶試料の測定のいずれでも任意に選択して行う
ことができる。したがって、従来のように、それぞれ高
価な専用の装置を別個に用意する必要がない。しかも、
例えば、単結晶試料の測定の後に、多結晶試料の測定を
行うときは、従来は、単結晶試料測定用の装置を取り外
してから多結晶試料測定用装置を設置して、繁雑な光軸
合わせ等のセッティングを最初から行う必要があったの
に対し、前記実施例では、前記ゴニオメータ３のセッテ
ィング位置をあらかじめ正確に求めておけば、次から
は、この位置に正確に合わせるだけですむから、セッテ
ィングを極めて容易にすることができる。したがって、
例えば、測定のスケジュール等を組む際に、従来のよう
にセッティング時間を考慮にいれる必要がなく、これに
拘束されずより効率的なスケジュールを組むことを可能
にする等の利点がある。
移動させる等の簡単な操作だけで単結晶試料の測定ある
いは多結晶試料の測定のいずれでも任意に選択して行う
ことができる。したがって、従来のように、それぞれ高
価な専用の装置を別個に用意する必要がない。しかも、
例えば、単結晶試料の測定の後に、多結晶試料の測定を
行うときは、従来は、単結晶試料測定用の装置を取り外
してから多結晶試料測定用装置を設置して、繁雑な光軸
合わせ等のセッティングを最初から行う必要があったの
に対し、前記実施例では、前記ゴニオメータ３のセッテ
ィング位置をあらかじめ正確に求めておけば、次から
は、この位置に正確に合わせるだけですむから、セッテ
ィングを極めて容易にすることができる。したがって、
例えば、測定のスケジュール等を組む際に、従来のよう
にセッティング時間を考慮にいれる必要がなく、これに
拘束されずより効率的なスケジュールを組むことを可能
にする等の利点がある。
［発明の効果］ 以上詳述したように、本発明は、Ｘ線源から射出され
るＸ線を単色化するモノクロメータを着脱自在に保持す
るモノクロメータ取り付け台と、被測定試料と該試料か
らの回折Ｘ線を検出するＸ線検出器とを一定の速度関係
（θ−２θの速度関係）で回転して回折Ｘ線の回折角を
測定するゴニオメータを備え、 かつ、前記ゴニオメータを前記モノクロメータ取り付
け台の基準点を中心にして回転可能にするという極めて
簡単な構成により、単結晶試料のＸ線回折測定と多結晶
試料のＸ線回折測定とのいずれにも適用できる装置を得
たものである。
るＸ線を単色化するモノクロメータを着脱自在に保持す
るモノクロメータ取り付け台と、被測定試料と該試料か
らの回折Ｘ線を検出するＸ線検出器とを一定の速度関係
（θ−２θの速度関係）で回転して回折Ｘ線の回折角を
測定するゴニオメータを備え、 かつ、前記ゴニオメータを前記モノクロメータ取り付
け台の基準点を中心にして回転可能にするという極めて
簡単な構成により、単結晶試料のＸ線回折測定と多結晶
試料のＸ線回折測定とのいずれにも適用できる装置を得
たものである。
第１図は本発明の一実施例にかかるＸ線回折装置を示す
斜視図、第２図は第１図に示される装置によって単結晶
試料のＸ線回折測定を行う場合の装置のセッテング状態
を示す図、第３図は第１図に示される装置によって多結
晶試料のＸ線回折測定を行う場合の装置のセッテング状
態を示す図である。 １……Ｘ線源、２……モノクロメータ取り付け台、21…
…モノクロメータ、３……ゴニオメータ、31……試料、
32……試料回転台、35……Ｘ線検出器、４……基台、41
……円弧状軌道。
斜視図、第２図は第１図に示される装置によって単結晶
試料のＸ線回折測定を行う場合の装置のセッテング状態
を示す図、第３図は第１図に示される装置によって多結
晶試料のＸ線回折測定を行う場合の装置のセッテング状
態を示す図である。 １……Ｘ線源、２……モノクロメータ取り付け台、21…
…モノクロメータ、３……ゴニオメータ、31……試料、
32……試料回転台、35……Ｘ線検出器、４……基台、41
……円弧状軌道。
Claims (1)
- 【請求項１】Ｘ線源と、このＸ線源から射出されるＸ線
を単色化するためのモノクロメータを着脱自在に取り付
けるモノクロメータ取り付け台と、試料を回転自在に保
持して試料に対するＸ線の入射角を変化させる試料回転
台及びこの試料回転台の回転軸を中心に該試料回転台の
回転速度と一定の速度関係を有して回転可能に支持さ
れ、かつ、前記試料からの回折Ｘ線をレシービングスリ
ットを介して検出するＸ線検出器を備えたゴニオメータ
と、を有するＸ線回折装置において、 前記ゴニオメータ全体を、前記モノクロメータ取り付け
台の基準点を通る軸線を中心にして回転移動可能に支持
するようにしたゴニオメータ位置の移動機構を設けるこ
とによって、 前記モノクロメータ取り付け台にモノクロメータを取り
付けないで前記Ｘ線源から射出されるＸ線をモノクロメ
ータを介さずに前記ゴニオメータに保持された試料に照
射してＸ線回折測定を行う場合と、前記モノクロメータ
取り付け台にモノクロメータを取り付けて前記Ｘ線源か
ら射出されるＸ線をモノクロメータを介して単色化して
前記ゴニオメータに保持された試料に照射してＸ線回折
測定を行う場合と、の２種類の測定方法の切り替えを、
前記ゴニオメータ位置の移動機構を用いて、前記ゴニオ
メータ全体を前記モノクロメータ取り付け台の基準点を
通る軸線を中心にして回転移動するだけで行えるように
したことを特徴とするＸ線回折装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63124097A JP2535380B2 (ja) | 1988-05-21 | 1988-05-21 | Ｘ線回折装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63124097A JP2535380B2 (ja) | 1988-05-21 | 1988-05-21 | Ｘ線回折装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01295146A JPH01295146A (ja) | 1989-11-28 |
| JP2535380B2 true JP2535380B2 (ja) | 1996-09-18 |
Family
ID=14876849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63124097A Expired - Lifetime JP2535380B2 (ja) | 1988-05-21 | 1988-05-21 | Ｘ線回折装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2535380B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2907160C2 (de) * | 1979-02-23 | 1986-09-25 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Röntgen-Pulverdiffraktometer |
-
1988
- 1988-05-21 JP JP63124097A patent/JP2535380B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01295146A (ja) | 1989-11-28 |
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