JP2620106B2 - 薄膜試料のｘ線回折極点図形観測装置 - Google Patents
薄膜試料のｘ線回折極点図形観測装置Info
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- JP2620106B2 JP2620106B2 JP63098156A JP9815688A JP2620106B2 JP 2620106 B2 JP2620106 B2 JP 2620106B2 JP 63098156 A JP63098156 A JP 63098156A JP 9815688 A JP9815688 A JP 9815688A JP 2620106 B2 JP2620106 B2 JP 2620106B2
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Description
【発明の詳細な説明】 本発明は薄膜状の試料におけるＸ線回折の極点図形を
観測するための装置に関する。
観測するための装置に関する。
薄膜試料は回折Ｘ線の強度が弱く、しかもシリコン単
結晶あるいはガラス、高分子材料等の基板で保持されて
いることが多いために透過法による観測も不可能で、こ
のため全体の極点図形を得ることができなかった。また
α回転角が90度の近傍における回折Ｘ線は試料自体によ
る吸収が極めて大きくなるために回折線の強度変化を観
測することができなかった。従って本発明はこのような
難点を伴うことなく、薄膜試料のＸ線回折極点図形を的
確に観測することのできる装置を提供するものである。
結晶あるいはガラス、高分子材料等の基板で保持されて
いることが多いために透過法による観測も不可能で、こ
のため全体の極点図形を得ることができなかった。また
α回転角が90度の近傍における回折Ｘ線は試料自体によ
る吸収が極めて大きくなるために回折線の強度変化を観
測することができなかった。従って本発明はこのような
難点を伴うことなく、薄膜試料のＸ線回折極点図形を的
確に観測することのできる装置を提供するものである。
本発明は、薄膜試料上の一点に細い平行Ｘ線を充分小
さい角度で入射させると共にその試料面に垂直な直線を
軸として上記試料を回転させ、かつ前記平行Ｘ線の回り
に上記軸を回動し、更に試料面におけるＸ線の入射点に
おいてそのＸ線に直角な１つの直線を軸として２θ回転
を行う検出器で試料面による回折Ｘ線を検出するように
したものである。すなわち平行Ｘ線を充分小さい角度γ
をもって試料面に入射させた状態で、入射Ｘ線の回りに
90度の角度範囲で試料を往復回動させることによりα回
転を行わせる。またその試料面におけるＸ線の入射点を
通って、この試料面に垂直な軸により、試料を360度回
転させるところのβ回転を行わせることにより、薄膜試
料から強い回折Ｘ線を発生させることができる。しかも
唯１回の試料設定で完全な極点図形を得ることができる
と共にモノクロメータあるいは更にソーラースリットを
設けることによって、薄膜試料の支持基板による波長の
異なったＸ線のラウエ斑点が除去されるからSN比の高い
極点図形が得られる。またＸ線検出器の回動面に対して
検出されるＸ線が多少傾斜するように上記検出器を取り
付けることにより、試料によるＸ線の吸収量を小さくす
ることができる等の効果がある。従って本発明により薄
膜試料のＸ線回折極点図形を高精度で観測することが可
能である。
さい角度で入射させると共にその試料面に垂直な直線を
軸として上記試料を回転させ、かつ前記平行Ｘ線の回り
に上記軸を回動し、更に試料面におけるＸ線の入射点に
おいてそのＸ線に直角な１つの直線を軸として２θ回転
を行う検出器で試料面による回折Ｘ線を検出するように
したものである。すなわち平行Ｘ線を充分小さい角度γ
をもって試料面に入射させた状態で、入射Ｘ線の回りに
90度の角度範囲で試料を往復回動させることによりα回
転を行わせる。またその試料面におけるＸ線の入射点を
通って、この試料面に垂直な軸により、試料を360度回
転させるところのβ回転を行わせることにより、薄膜試
料から強い回折Ｘ線を発生させることができる。しかも
唯１回の試料設定で完全な極点図形を得ることができる
と共にモノクロメータあるいは更にソーラースリットを
設けることによって、薄膜試料の支持基板による波長の
異なったＸ線のラウエ斑点が除去されるからSN比の高い
極点図形が得られる。またＸ線検出器の回動面に対して
検出されるＸ線が多少傾斜するように上記検出器を取り
付けることにより、試料によるＸ線の吸収量を小さくす
ることができる等の効果がある。従って本発明により薄
膜試料のＸ線回折極点図形を高精度で観測することが可
能である。
第１図、第２図はそれぞれ本発明実施例の平面図およ
び正面図で、第１図は第２図のＡ−Ａ断面を、また第２
図は第１図のＢ−Ｂ断面を示してある。このようにＸ線
源１からコリメータ２を通った細い平行Ｘ線を矢印のよ
うに薄膜試料３に入射させる。その試料３はシリコン単
結晶あるいはガラス、高分子材料等の基板４に添着され
ているが、この基板に直角に取り付けた軸５によって上
記薄膜試料を矢印βで示したように、その試料面内で回
転するようにしてある。また基板４は入射Ｘ線の軸線ｐ
の回りに鎖線４′または４″で示したように矢印αの方
向へ90度以内の範囲で往復回動すると共にこの軸線ｐに
対して例えば0.5〜５度程度の角度γだけ傾斜してい
る。更に軸線ｐの側部にはＸ線検出器６およびその前面
に配置した分光結晶７とソーラースリット８の取付台９
を設けて、これを第１図における試料３と軸線ｐとの交
点を通り紙面に直角な直線ｑを軸として矢印δのように
比較的緩速度で回動させるようにしてある。従って試料
３で回折したＸ線は上記ソーラースリット８および分光
結晶７を介して検出器６に入射するが、分光結晶７はこ
れをＸ線源１とコリメータ２との中間等に配置すること
もできる。また取付台９はコリメータ等の取付面が第２
図に示したように、回動面に対して例えば前記角度γの
２倍程度に相当する角度εだけ傾斜している。更に必要
に応じては試料３を、この試料を含む平面内で揺動させ
ることによって観測の精度を更に向上することができ
る。
び正面図で、第１図は第２図のＡ−Ａ断面を、また第２
図は第１図のＢ−Ｂ断面を示してある。このようにＸ線
源１からコリメータ２を通った細い平行Ｘ線を矢印のよ
うに薄膜試料３に入射させる。その試料３はシリコン単
結晶あるいはガラス、高分子材料等の基板４に添着され
ているが、この基板に直角に取り付けた軸５によって上
記薄膜試料を矢印βで示したように、その試料面内で回
転するようにしてある。また基板４は入射Ｘ線の軸線ｐ
の回りに鎖線４′または４″で示したように矢印αの方
向へ90度以内の範囲で往復回動すると共にこの軸線ｐに
対して例えば0.5〜５度程度の角度γだけ傾斜してい
る。更に軸線ｐの側部にはＸ線検出器６およびその前面
に配置した分光結晶７とソーラースリット８の取付台９
を設けて、これを第１図における試料３と軸線ｐとの交
点を通り紙面に直角な直線ｑを軸として矢印δのように
比較的緩速度で回動させるようにしてある。従って試料
３で回折したＸ線は上記ソーラースリット８および分光
結晶７を介して検出器６に入射するが、分光結晶７はこ
れをＸ線源１とコリメータ２との中間等に配置すること
もできる。また取付台９はコリメータ等の取付面が第２
図に示したように、回動面に対して例えば前記角度γの
２倍程度に相当する角度εだけ傾斜している。更に必要
に応じては試料３を、この試料を含む平面内で揺動させ
ることによって観測の精度を更に向上することができ
る。
上述のような装置によって試料３のα回転およびβ回
転と取付台９の回転とによって求めたＸ線の回折角２θ
と回折Ｘ線の強度との関係を観測することにより、試料
のＸ線回折極点図形を得ることができる。かつＸ線は試
料に極めて小さい角度γをもって入射するから回折線の
発生効率が高く、精密な観測を行い得ると共に試料面内
における揺動によって、試料の粒径の大きさによる回折
線の不均一を除去することができる。また取付台９の取
付面を傾斜させることにより、試料自体による回折線の
吸収を小さくして、これによる影響を除去し得ると共に
試料のαおよびβ回転によって１回の試料設定で全極点
図形を得ることができる。更にモノクロメータ７および
ソーラースリット８等を設けることにより基板４からの
ラウエ斑点も除去されてSN比の高い極点図形が得られ
る。
転と取付台９の回転とによって求めたＸ線の回折角２θ
と回折Ｘ線の強度との関係を観測することにより、試料
のＸ線回折極点図形を得ることができる。かつＸ線は試
料に極めて小さい角度γをもって入射するから回折線の
発生効率が高く、精密な観測を行い得ると共に試料面内
における揺動によって、試料の粒径の大きさによる回折
線の不均一を除去することができる。また取付台９の取
付面を傾斜させることにより、試料自体による回折線の
吸収を小さくして、これによる影響を除去し得ると共に
試料のαおよびβ回転によって１回の試料設定で全極点
図形を得ることができる。更にモノクロメータ７および
ソーラースリット８等を設けることにより基板４からの
ラウエ斑点も除去されてSN比の高い極点図形が得られ
る。
第１図は本発明実施例の平面図、第２図は第１図の装置
の正面図で、第１図は第２図のＡ−Ａ断面また第２図は
第１図のＢ−Ｂ断面である。 なお図において、１はＸ線源、２はコリメータ、３は薄
膜試料、４は試料取付基板、５は軸、６はＸ線検出器、
７はモノクロメータ、８はソーラースリット、９は取付
台である。
の正面図で、第１図は第２図のＡ−Ａ断面また第２図は
第１図のＢ−Ｂ断面である。 なお図において、１はＸ線源、２はコリメータ、３は薄
膜試料、４は試料取付基板、５は軸、６はＸ線検出器、
７はモノクロメータ、８はソーラースリット、９は取付
台である。
Claims (5)
- 【請求項１】所望の波長の細い平行Ｘ線を薄膜試料上の
一点に小さい角度で入射させるＸ線源と、上記試料上に
おけるＸ線の入射点を通りその試料面に垂直な直線を軸
としてこの試料を回転させる手段と、前記平行Ｘ線の回
りに上記軸を回動させる手段と、前記試料で回折したＸ
線の検出器と、上記試料に入射するＸ線の入射点を通っ
てこの入射Ｘ線に直角な１つの直線を軸として上記検出
器を回動させる手段とを備える薄膜試料のＸ線回折極点
図形観測装置。 - 【請求項２】Ｘ線の検出器に所望の一定波長を有するＸ
線のみが入射するようにＸ線源と上記検出器との間の任
意の位置に介挿したモノクロメータを具備する請求項１
記載のＸ線回折極点図形観測装置。 - 【請求項３】試料をこの試料面内で揺動させる手段を具
備する請求項１記載のＸ線回折極点図形観測装置。 - 【請求項４】Ｘ線の検出器に入射するＸ線の通路にソー
ラースリットを有する請求項１記載のＸ線回折極点図形
観測装置。 - 【請求項５】検出される回折Ｘ線がＸ線検出器の回動面
に対して試料面とこの試料面に入射するＸ線との間の角
度のほぼ２倍程度傾斜するように上記Ｘ線検出器を取り
付けた請求項１記載のＸ線回折極点図形観測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63098156A JP2620106B2 (ja) | 1988-04-22 | 1988-04-22 | 薄膜試料のｘ線回折極点図形観測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63098156A JP2620106B2 (ja) | 1988-04-22 | 1988-04-22 | 薄膜試料のｘ線回折極点図形観測装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01270650A JPH01270650A (ja) | 1989-10-27 |
| JP2620106B2 true JP2620106B2 (ja) | 1997-06-11 |
Family
ID=14212278
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63098156A Expired - Fee Related JP2620106B2 (ja) | 1988-04-22 | 1988-04-22 | 薄膜試料のｘ線回折極点図形観測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2620106B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB0031040D0 (en) | 2000-12-20 | 2001-01-31 | Koninkl Philips Electronics Nv | X-ray diffractometer |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5495286A (en) * | 1978-01-11 | 1979-07-27 | Cho Lsi Gijutsu Kenkyu Kumiai | Xxray diffractor |
| JPS563623A (en) * | 1979-06-19 | 1981-01-14 | Kawasaki Steel Corp | On-line measuring method of austenite contained in rolled steel sheet |
-
1988
- 1988-04-22 JP JP63098156A patent/JP2620106B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01270650A (ja) | 1989-10-27 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |