JPH0830791A - 画像構造の認識方法及びその方法に使用する回路構成 - Google Patents

画像構造の認識方法及びその方法に使用する回路構成

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JPH0830791A
JPH0830791A JP7014711A JP1471195A JPH0830791A JP H0830791 A JPH0830791 A JP H0830791A JP 7014711 A JP7014711 A JP 7014711A JP 1471195 A JP1471195 A JP 1471195A JP H0830791 A JPH0830791 A JP H0830791A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】リアルタイムにおける画像処理を実行すべく画
像構造の形状及び特徴にとらわれることなく等価の分析
に要する時間を短縮すること。 【構成】等価は、1つの線内に位置する画素グループに
対して連続する識別番号が付与されることによって発生
し、画素グループに既に割付けされた識別番号が、同画
素グループと線の延びる方向に沿って少なくとも1つの
画素を介して最初に接する画素グループに付与されてい
る際に生じる。等価は同等価が認識され、中間コードの
形態をなすリストに等価が入力された時点で既に分析さ
れている。割付けテーブルは複数の線内に画素グループ
を形成する処理の最終段階において、中間コードから直
接形成されている。本発明は製造時におけるマスク、L
CD、印刷回路板及び半導体ウェハーなどの構造物表面
の自動検査に使用される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は複数の線内に形成された
位相幾何学的に連続する画像構造のリアルタイム(Vide
oechtzeit )での認識方法及びその方法に使用する回路
構成に関し、この画像構造では1つの線内において同一
特性を有する少なくとも1つの画素から構成された画素
グループは連続する識別番号がそれぞれ割付けられてお
り、前記の線の次に位置する線内の画素グループには、
線の延びる方向に沿って少なくとも1つの画素を介して
最初に接する直前の線内の画素グループに既に割付けら
れた識別番号と同一の識別番号が割付けられている。
【0002】
【従来の技術】画像構造の認識技術は製造時におけるマ
スク、LCD、印刷回路基板及び半導体ウェハーなどの
構造物表面の自動検査に使用される。
【0003】画像評価の1つの目的は主にマトリックス
またはアレイの形態をなす画素の配列から所定の基準
(特性)に基づいて画素グループを形成し、続く評価ユ
ニットにおける圧縮形態での評価を実行すべく同画素グ
ループを処理することである。
【0004】データ圧縮を実行すべく各線内における画
素の分類を行い、次いで線の境界を削除する画像処理技
術が知られている。欧州特許公開第279157A2号
では、特性はランレングス画像データ(lauflaengenkod
ierten Bilddaten)から抽出されている。この結果、円
形領域、台形領域、収束領域及び発散領域に基づいて分
類されたランレングス画像データのリストが形成され
る。この際、水平方向に延びる中間スペース及び垂直方
向に延びる中間スペースがフィルターを介して抽出さ
れ、かつ記録データから消去される。
【0005】中間スペースをフィルターを介して抽出
し、かつ記録データから消去することにより欠陥画像が
歪曲され、半導体の欠陥クラス分類に誤りを生じるた
め、この処理は半導体ウェハー上の欠陥確認には不適切
である。
【0006】問題の更に適切な解決方法の例としては、
灰色濃度(Grauwerten)などに代表される特性に基づ
き、ランレングス画像データのうちの同一特性を有する
連続領域の全てを均一な方法で標識付けすることが挙げ
られる。
【0007】識別番号は各線内において連続する画素か
ら構成されるグループに対してそれぞれ付与されてい
る。この結果、例えば行方向に延びる第1線内において
始まるそれぞれの画素グループには連続する識別番号が
付与されている。第1線の真下に位置する第2線内の画
素グループが第1線内の同一特性を有する画素グループ
と少なくとも1つの画素を介して互いに接していない場
合には、第2線内の同画素グループには新たな連続する
識別番号がそれぞれ付与される。第2線内の画素グルー
プが同画素グループと接触する第1線内の画素グループ
と同一特性を有する場合、この第2線内の画素グループ
には前記第1線内の画素グループと同一の識別番号が付
与される。
【0008】多義性(Mehrdeutigkeiten)または等価
(Aequivalenzen )は1つの画素グループが同画素グル
ープと同一特性を有する一方で、異なる識別番号を備え
た画素グループと接している場合に生じる。従って、等
価は異なる識別番号の対を形成する。更に、等価は異な
る位置から始まる一方で、互いに一緒に流れる画素グル
ープ間のつながりを示している。
【0009】等価はコンピュータを使用した探索演算規
則を使用することによって分析され、この探索演算規則
の実行時間は画素グループから構成される画像構造の形
状に基づいて変化する。螺旋形状または数多くの交錯す
る形状を有する画像構造はリアルタイムにおける探索演
算規則の実行を不可能とする。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的はリアル
タイムにおける画像処理を実行すべく画像構造の形状及
び特徴にとらわれることなく等価の分析に要する時間を
短縮することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、複数の
線内に形成された位相幾何学的に連続する画像構造の認
識方法であって、1つの線内において同一特性を有する
少なくとも1つの画素から構成された画素グループに連
続する識別番号をそれぞれ割付けし、前記線の次に位置
する線内の画素グループには、線の延びる方向に沿って
少なくとも1つの画素を介して最初に接する直前の線内
の画素グループに既に割付けられた識別番号と同一の識
別番号を付与する認識方法において、各記憶位置に対す
る特徴付けされた初期状態を備え、かつ番地付けが施さ
れた第1記憶手段のアドレス値として、異なる識別番号
を有する互いに接触し合う画素グループの一対の識別番
号から任意に選択された一方を使用し、かつ前記一対の
識別番号から任意に選択された一方の識別番号を第1識
別番号としても使用し、前記第1識別番号によって番地
指定された記憶位置が特徴付けされた初期状態を有する
場合に、前記一対の識別番号のうちの他方の識別番号を
前記第1識別番号によって番地指定された記憶位置に対
するデータ値として使用する第1工程と、前記第1識別
番号によって番地指定された記憶位置が特徴付けされた
初期状態を有しない場合に、前記一対の識別番号のうち
の他方の識別番号及び前記番地指定された記憶位置に既
に格納されているデータ値を、特徴付けされた初期状態
をともなう記憶位置を決定するためのアドレス値として
使用する第2工程と、ここで前記アドレス値を第1工程
で使用する識別番号として扱い、更に特徴付けされた初
期状態を備えた記憶位置が検出されるまでの間、アドレ
ス値に対して決定された各データ値をアドレスとして再
度使用することと、更に第2工程において同一のアドレ
ス値の形成をもたらす一対の識別番号を無視すること
と、番地指定可能な第2記憶手段内において割付けテー
ブルを形成する第3工程と、ここで第1工程から得られ
たアドレス値に対応する記憶位置に対し、前記アドレス
値が特徴付けされた初期状態を有する場合には同アドレ
ス値をそのデータ値として付与し、前記アドレス値が特
徴付けされた初期状態を有しない場合には、特徴付けさ
れた初期状態を備えた記憶位置が検出されるまで、格納
されたデータ値をアドレス値として使用し、そのアドレ
ス値を前記特徴付けされた初期状態を有しないアドレス
値に対するデータ値として使用することとからなる認識
方法によって達成することができる。
【0012】更に本発明に基づき、複数の線内に形成さ
れた位相幾何学的に連続する画像構造を画素グループの
異なる一対の識別番号を処理する手段を用いることによ
って認識する回路構成であって、前記画素グループは少
なくとも1つの画素を有し、かつ互いに隣接する複数の
線内に形成された前記画像構造内において互いに隣接し
合っており、ここで1つの線内に位置する前記画素グル
ープの識別番号は連続的に割付けられており、前記線の
次に位置する線内の画素グループが線の延びる方向に沿
って少なくとも1つの画素を介して最初に接する直前の
線内の画素グループに既に割付けられた識別番号と同一
の識別番号を付与されており、前記回路構成における第
1マルチプレクサ及び第2マルチプレクサのそれぞれ1
つの入力端子はカウンタのカウント値出力端子に対して
接続され、前記第2マルチプレクサの1つの入力端子は
固定電圧源に対して接続され、比較器は識別番号信号の
それぞれに対応する入力端子を有し、前記比較器の入力
端子はそれぞれ第1レジスタ及び第2レジスタの出力端
子に対して接続され、前記第1レジスタ及び第2レジス
タのデータ入力端子は第3レジスタの出力端子に対して
接続され、更に前記第3レジスタの出力端子は第1記憶
手段及び第2記憶手段のそれぞれのアドレス入力端子に
対して接続され、第3レジスタの入力端子は第1マルチ
プレクサの出力端子に対して接続された回路構成が提供
される。
【0013】更に同回路構成の第1記憶手段のデータ入
出力端子は、第1マルチプレクサの別入力端子、第2マ
ルチプレクサのデータ出力端子、ヌル表示器(Nullindi
kators)の入力端子及び第2記憶手段の第1データ入力
端子に対して接続されている。更に、第2記憶手段は第
2アドレス入力端子及び第2データ出力端子を有してい
る。また、KN信号入力端子、リセット信号入力端子、
ENK信号出力端子及びレディ信号出力端子を有する演
算制御装置は、第1マルチプレクサの制御入力端子、第
2マルチプレクサの制御入力端子、第2マルチプレクサ
のイネーブル入力端子、第1記憶手段のイネーブル入力
端子、第1記憶手段の書込み入力端子、及び第2記憶手
段の書込み入力端子に対してそれぞれ接続された出力端
子を更に有している。演算制御装置の各クロック出力端
子は、第1レジスタ、第2レジスタ、第3レジスタ及び
カウンタ上に形成されたそれぞれに対応する入力端子に
対して接続されている。また、演算制御装置の別の各出
力端子はカウンタのロード入力端子、第1レジスタのイ
ネーブル入力端子、及び第2レジスタのイネーブル入力
端子に対してそれぞれ接続されている。更に、演算制御
装置の別の各入力端子はカウンタのエンド・メッセージ
出力端子、比較器の2つの線、及びヌル表示器の1つの
線に対してそれぞれ接続されている。
【0014】
【作用】アドレスが付された全等価の識別番号の割付け
を含む割付けテーブルが中間コードから直接形成されて
いるため、等価が認識された瞬間に同等価の評価を実行
できる。
【0015】
【実施例】本発明の実施例を図面とともに以下に詳述す
る。図1に示す回路構成では、第1マルチプレクサM1
及び第2マルチプレクサM2の入力端子のそれぞれ1つ
は、カウンタZのカウント値出力端子に対して接続され
ている。比較器Cは識別番号KN1及びKN2の各信号
の入力端子を備えている。また、比較器Cの識別番号K
N1及びKN2の各信号の入力端子は第1レジスタR1
の出力端子及び第2レジスタR2の出力端子に対してそ
れぞれ接続されている。
【0016】第3レジスタR3の出力端子は第1レジス
タR1及び第2レジスタR2のそれぞれのデータ入力端
子に対して接続されている。第3レジスタR3は第1記
憶手段RAM1及び第2記憶手段RAM2の各アドレス
入力端子に対して接続されている。第3レジスタR3の
入力端子は第1マルチプレクサM1の出力端子に対して
接続されている。
【0017】第1記憶手段RAM1はランダム・アクセ
ス・メモリにて構成され、そのデータ入出力端子Dは第
1マルチプレクサM1の別入力端子、第2マルチプレク
サM2のデータ出力端子、ヌル表示器Nの入力端子、及
び第2記憶手段RAM2のデータ入力端子Dに対して接
続されている。第2マルチプレクサM2の別の入力端子
には固定電圧が供給されている。
【0018】第2記憶手段RAM2はデュアルポートを
備えたランダム・アクセス・メモリとして形成されてお
り、かつ入力信号AL用の第2アドレス入力端子A1及
び出力信号DL用の第2出力端子D1を有している。
【0019】KN信号入力端子、リセット信号入力端
子、ENK信号出力端子及びレディ信号出力端子を有す
る演算制御装置STは複数の出力端子を有し、各出力端
子は第1マルチプレクサM1の制御入力端子、第2マル
チプレクサM2の制御入力端子、第2マルチプレクサM
2のイネーブル入力端子EN、第1記憶手段RAM1の
イネーブル入力端子EN、第1記憶手段RAM1の書込
み入力端子W及び第2記憶手段RAM2の書込み入力端
子Wに対してそれぞれ接続されている。
【0020】演算制御装置STのクロック出力端子であ
るCLK−R1出力端子、CLK−R2出力端子、CL
K−R3出力端子及びCLK−Z出力端子は、第1レジ
スタR1、第2レジスタR2、第3レジスタR3及びカ
ウンタZ上に位置するそれぞれに対応する入力端子に対
して接続されている。更に、演算制御装置STの別の各
出力端子は、カウンタZのロード入力端子L、第1レジ
スタR1のイネーブル入力端子EN、及び第2レジスタ
R2のイネーブル入力端子ENに対してそれぞれ接続さ
れている。また、演算制御装置STの別の各入力端子
は、カウンタZのエンド・メッセージ出力端子U、比較
器Cの2つの線、及びヌル表示器Nの1つの線に対して
それぞれ接続されている。
【0021】図2は画素によって構成され、かつ異なる
明度、即ち灰色濃度によって表された特性を有する画像
構造が示されている。図2には識別番号が示されてお
り、同識別番号は記録データの一部として従来の方法に
基づいて各画素グループに割付けられている。そして、
各画素グループは少なくとも1つの画素から構成されて
いる。
【0022】この結果、行方向に延びる線0上に位置す
るそれぞれ1つの画素から構成された2つの図形は、以
下のランレングス画像データ・レコードの手法によって
表すことができる。データ・レコード1 データ・レコード2 線番号:0 線番号:0 開始列番号:4 開始列番号:10 ランレングス:1 ランレングス:1 識別番号:1 識別番号:2 灰色濃度:10 灰色濃度:10 線0より下に位置する行方向に延びる線では、類似デー
タ・レコードは対応する画素グループと結合され、この
画素グループの例としては線2上に位置する以下の画素
グループが挙げられる。データ・レコード1 データ・レコード2 データ・レコード3 線番号:2 線番号:2 線番号:2 開始列番号:5 開始列番号:16 開始列番号:37 ランレングス:8 ランレングス:12 ランレングス:2 識別番号:1 識別番号:4 識別番号:4 灰色濃度:10 灰色濃度:30 灰色濃度:30 等価は1つの線上に位置する画素グループが、同画素グ
ループの特性と同一の特性を有する一方で、異なる識別
番号を備えたその真上に位置する線内の画素グループと
連なっている場合に生じる。図2における等価を示す例
としては、線2上に位置する識別番号1を備えた画素グ
ループ及び線1上に位置する識別番号3を備えた画素グ
ループの間の関係が挙げられる。また、等価を示す別の
例としては線2上に位置する同識別番号1を備えた画素
グループ及び線1上に位置する識別番号2を備えた画素
グループの間の関係が挙げられる。
【0023】図2から得られた全ての等価は、その識別
番号に基づいて表1にまとめられている。表1に示すデ
ータは更に別な処理を実行するための格納形態をなして
いる。表1のA欄及びB欄から本発明の効果を予期する
ことができる。
【0024】
【表1】
【0025】演算制御装置STへ入力されたリセット信
号はカウンタZから第1マルチプレクサM1に向けてヌ
ル・アドレスを出力させる。これと同時に、演算制御装
置STは制御線を介して第1マルチプレクサM1及び第
2マルチプレクサM2を制御する。この制御により、カ
ウンタZのカウント値が第1マルチプレクサM1の出力
端子から出力されて第3レジスタR3に入力される一
方、特徴付けされた初期状態を示すヌル識別子(Nullke
nnung )が第1記憶手段RAM1のデータ入力端子へ入
力される。この際、カウンタZのカウント値は演算制御
装置STから出力されるクロック信号CLK−Zに基づ
いてカウンタZからレジスタR3へ出力され、レジスタ
R3に入力された同カウント値はアドレスとして第1記
憶手段RAM1に入力される。
【0026】次いで、演算制御装置STは第1記憶手段
RAM1内の番地指定された記憶位置へヌル識別子を書
込ませ、これと同時にカウンタZのカウント値をインク
リメントする。この処理は第1記憶手段RAM1全体に
ヌル識別子が書込まれるまで第1記憶手段RAM1の全
ての記憶位置において繰り返し実行される。第1記憶手
段RAM1の全ての記憶位置にヌル識別子が書込まれた
後、等価の処理に必要な状態変化が実行される。
【0027】記憶手段(図示略)から本発明の回路に出
力されたKN信号は、等価が同記憶手段内に格納された
ことを示す。演算制御装置STからENK信号が出力さ
れることにより、等価を示す一対の識別番号KN1及び
KN2がそれぞれ対応する入力端子に入力される。比較
器Cは2つの識別番号KN1及びKN2を比較する。2
つの識別番号KN1及びKN2が同一の場合に等価は生
じない。2つの識別番号が同一でない場合、制御信号が
演算制御装置STに入力され、同演算制御装置STは同
制御信号の評価の後に、2つの識別番号のうちの大きい
方の識別番号を第1識別番号としてマルチプレクサM1
から出力させる。本発明に基づく処理は2つの識別番号
のうちの小さい方の識別番号を常に第1識別番号として
使用する場合にも実行可能である。次いで、第1識別番
号は演算制御装置STから発せられる次のクロック信号
によってレジスタR3内に格納される。この時のレジス
タR3の出力は常に許可または解放されているため、第
1識別番号は第1記憶手段RAM1及び第2記憶手段R
AM2のそれぞれのアドレス入力端子、並びにレジスタ
R1及びレジスタR2へ送信される。次いで、演算制御
装置STは制御線を介して第1記憶手段RAM1を読出
しモードに切換える。
【0028】大きい方の識別番号である第1識別番号に
よって番地指定された第1記憶手段RAM1内の記憶位
置に格納された記憶内容は、第1記憶手段RAM1のデ
ータ出力端子(D)から出力され、マルチプレクサM1
の入力端子、マルチプレクサM2の出力端子、第2記憶
手段RAM2のデータ入力端子、及びヌル表示器Nへ送
信される。ヌル表示器Nは演算制御装置STに対し第1
記憶手段RAM1から出力された記憶内容がヌル識別子
を有するか否かを示す信号を送信する。第1記憶手段R
AM1から出力された記憶内容にヌル識別子が含まれて
いる場合、演算制御装置STは第1記憶手段RAM1に
対し、第1記憶手段RAM1のデータ出力端子からヌル
識別子を含む記憶内容の出力を停止させ、第2識別番号
(本実施例中では小さい方の識別番号)を第2マルチプ
レクサM2の出力端子から出力させる。この結果、第1
記憶手段RAM1のデータ入力端子(D)には第2識別
番号が入力される。小さい方の識別番号の値が第1記憶
手段RAM1内の番地指定された記憶位置に格納され
る。この記憶位置は、演算制御装置STから出力された
書込みパルスがRAM1に入力されることにより、大き
い方の識別番号によって番地指定された第1記憶手段R
AM1内の記憶位置を指す。
【0029】第1記憶手段RAM1内の記憶位置にヌル
識別子が含まれない場合、探索処理が以下の工程に基づ
いて第1記憶手段RAM1内において開始される。演算
制御装置STはその制御線を介してマルチプレクサM1
を制御することにより第1記憶手段RAM1のデータ出
力端子から出力された値をレジスタR3に出力させ、更
に同演算制御装置STはクロック信号CLK−R3を送
信してレジスタR3へ同値を格納させる。演算制御装置
STはヌル表示器Nを用いる前記方法に基づいてヌル識
別子が番地指定された記憶位置に格納されたか否かの確
認を実行する。この処理は記憶位置へのヌル識別子の格
納を示す信号がヌル表示器Nから演算制御装置STに送
信されるまで繰り返し実行される。次いで、探索工程が
中断される。演算制御装置STはクロック信号CLK−
R1をレジスタR1に送信することによりレジスタR3
内に格納されたアドレスをレジスタR1内に格納させ
る。次いで、演算制御装置STは前記の方法に基づいて
小さい方の識別番号を第1記憶手段RAM1へ出力さ
せ、ヌル識別子の探索工程が前記方法に基づいて開始さ
れる。次いで、小さい方の識別番号のヌル識別子のアド
レスはレジスタR2内に格納される。識別番号信号の発
信源は制御信号ENKによって不活性化され、レジスタ
R1及びR2からの信号はそれぞれ識別番号KN1及び
KN2の入力端子に出力され、レジスタR1及びR2か
ら出力された数値は識別番号KN1及びKN2として取
り扱われる。
【0030】入力信号KNによって識別が可能な全ての
等価が第1記憶手段RAM1内へ入力されると、即座に
割付けテーブルを形成すべく回路内に状態変化が生じ
る。カウンタZが起動され、カウント値はヌル・アドレ
スとして第1記憶手段RAM1へ送信される。第1記憶
手段RAM1内の番地指定された記憶位置の内容はヌル
表示器によって読み取られる。第1記憶手段RAM1内
の前記の記憶位置にヌル識別子が記憶されている場合、
演算制御装置STはその制御線を介して第1記憶手段R
AM1の入力を不活性化し、かつそのイネーブル出力端
子から信号を出力してマルチプレクサM2から前記記憶
位置に対応するカウント値を出力させる。このカウント
値は書込みパルスWによって記憶手段RAM2内へ入力
される。次いで、カウンタZのカウント値がインクリメ
ントされ、前記の処理が第1記憶手段RAM1内のヌル
識別子を有する全ての記憶位置に対して繰り返し実行さ
れる。記憶手段RAM1内の記憶位置の1つにおいてヌ
ル識別子が含まれないことが確定された場合、演算制御
装置STは、第1記憶手段RAM1内に格納されたその
記憶内容をマルチプレクサM1の出力端子からレジスタ
R3の入力端子へ向けて出力させるべくマルチプレクサ
M1を制御する。
【0031】第1記憶手段RAM1内に以前に存在した
アドレスは、信号CLK−R1及びCLK−R3によっ
てレジスタR1内に記憶される。また、第1記憶手段R
AM1内に格納されていた前記の記憶内容は第1記憶手
段RAM1に対する新たなアドレスとしてレジスタR3
内に入力される。ヌル表示器Nによってヌル識別子の存
在について再び第1記憶手段RAM1を探索する。ヌル
識別子が含まれていない場合、第1記憶手段RAM1内
の番地指定された記憶位置の記憶内容はレジスタR3内
に次のアドレスとして再度入力される。この処理はヌル
識別子を有する記憶位置が発見されるまで繰返し実行さ
れる。
【0032】この第1記憶手段RAM1内のこの記憶位
置のアドレスは制御信号CLK−R2によってレジスタ
R2内に入力される。これと同時に、レジスタR1は演
算制御装置STによって解放され、その内容は識別番号
KN1の入力端子へ出力される。そして、識別番号KN
1の入力端子に入力されたレジスタR1の記憶内容はマ
ルチプレクサM1を制御することによりレジスタR3へ
出力される。レジスタR1の記憶内容は演算制御装置S
Tから出力される制御信号CLK−R3によりレジスタ
R3に格納される。
【0033】次いで、レジスタR2の出力が解放される
ことによりマルチプレクサM2の入力端子へレジスタR
2の記憶内容が入力される。そしてマルチプレクサM2
はレジスタR2の記憶内容をその出力端子から出力す
る。このマルチプレクサM2から出力された値は演算制
御装置STから第2記憶手段RAM2に送信された書込
みパルスによって第2記憶手段RAM2内へ格納され
る。
【0034】次いでカウント値がインクリメントされ、
前記方法に基づく第1記憶手段RAM1内の次の記憶位
置に対するヌル識別子の探索が再開され、この探索は割
付けテーブルの全ての記憶位置が第2記憶手段RAM2
内に入力されるまで継続される。演算制御装置STはカ
ウンタZのエンド・メッセージ出力端子Uから出力され
る信号によって、割付けテーブルの全ての記憶位置が第
2記憶手段RAM2内に入力されたことを検知する。演
算制御装置STは状態信号Uの検知の後に演算処理を終
了するとともに、次の処理を実行すべく準備完了を示す
レディ信号(READY-Signal)を制御線を介して外部へ送
信する。
【0035】以上、本発明に基づく画像構造の認識方法
では、アドレスが付された全等価の識別番号の割付けを
含む割付けテーブルが中間コードから直接形成されてい
るため、等価が認識された瞬間に同等価の評価を実行で
き、全ての等価が揃った時点で初めて探索演算規則を開
始する従来の演算処理より等価の処理時間が短縮され
る。本発明に基づく等価の分析工程数は等価の重複係数
(Verschachtelungstiefe )と同一である。これと同一
処理をコンピュータを使用する探索演算規則で実行した
場合の分析工程数は、全ての等価の最大重複係数と同一
となる。
【0036】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
画像構造の形状及び特徴にとらわれることなく等価の分
析に要する時間を短縮してリアルタイムにおける画像処
理を可能にするという優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に基づく回路構成。
【図2】画素グループに対する識別番号の割付けを有す
る画像構造。
【符号の説明】
M1…第1マルチプレクサ、M2…第2マルチプレク
サ、Z…カウンタ、C…比較器、KN1,KN2…識別
番号信号、R1…第1レジスタ、R2…第2レジスタ、
R3…第3レジスタ、RAM1…第1記憶手段、RAM
2…第2記憶手段、N…ヌル表示器、AL…入力信号、
A1…第2記憶手段のアドレス入力端子、DL…出力信
号、D1…第2記憶手段の出力端子、ST…演算制御装
置、EN…イネーブル入力端子、W…書込み入力端子、
U…カウンタのエンド・メッセージ出力端子。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 クラウス シンプケ ドイツ連邦共和国 イェナ デー−07747 フェリックス−アウアーバッハ−シュト ラーセ 12

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の線内に形成された位相幾何学的に
    連続する画像構造の認識方法であって、1つの線内にお
    いて同一特性を有する少なくとも1つの画素から構成さ
    れた画素グループに連続する識別番号をそれぞれ割付け
    し、前記線の次に位置する線内の画素グループには、線
    の延びる方向に沿って少なくとも1つの画素を介して最
    初に接する直前の線内の画素グループに既に割付けられ
    た識別番号と同一の識別番号を付与する認識方法におい
    て、 各記憶位置に対する特徴付けされた初期状態を備え、か
    つ番地付けが施された第1記憶手段のアドレス値とし
    て、異なる識別番号を有する互いに接触し合う画素グル
    ープの一対の識別番号から任意に選択された一方を使用
    し、かつ前記一対の識別番号から任意に選択された一方
    の識別番号を第1識別番号としても使用し、前記第1識
    別番号によって番地指定された記憶位置が特徴付けされ
    た初期状態を有する場合に、前記一対の識別番号のうち
    の他方の識別番号を前記第1識別番号によって番地指定
    された記憶位置に対するデータ値として使用する第1工
    程と、 前記第1識別番号によって番地指定された記憶位置が特
    徴付けされた初期状態を有しない場合に、前記一対の識
    別番号のうちの他方の識別番号及び前記番地指定された
    記憶位置に既に格納されているデータ値を、特徴付けさ
    れた初期状態を備えた記憶位置を決定するためのアドレ
    ス値として使用する第2工程と、ここで前記アドレス値
    を第1工程で使用する識別番号として扱い、更に特徴付
    けされた初期状態を備えた記憶位置が検出されるまでの
    間、アドレス値に対して決定された各データ値をアドレ
    スとして再度使用することと、更に第2工程において同
    一のアドレス値の形成をもたらす一対の識別番号を無視
    することと、 番地指定可能な第2記憶手段内において割付けテーブル
    を形成する第3工程と、ここで第1工程から得られたア
    ドレス値に対応する記憶位置に対し、前記アドレス値が
    特徴付けされた初期状態を有する場合には同アドレス値
    をそのデータ値として付与し、前記アドレス値が特徴付
    けされた初期状態を有しない場合には、特徴付けされた
    初期状態を備えた記憶位置が検出されるまで、格納され
    たデータ値をアドレス値として使用し、そのアドレス値
    を前記特徴付けされた初期状態を有しないアドレス値に
    対するデータ値として使用することとからなる認識方
    法。
  2. 【請求項2】 複数の線内に形成された位相幾何学的に
    連続する画像構造を画素グループの異なる一対の識別番
    号を処理する手段を用いることによって認識する回路構
    成であって、前記画素グループは少なくとも1つの画素
    を有し、かつ互いに隣接する複数の線内に形成された前
    記画像構造内において互いに隣接し合っており、ここで
    1つの線内に位置する前記画素グループの識別番号は連
    続的に割付けられており、前記線の次に位置する線内の
    画素グループが線の延びる方向に沿って少なくとも1つ
    の画素を介して最初に接する直前の線内の画素グループ
    に既に割付けられた識別番号と同一の識別番号を付与さ
    れており、 前記回路構成における第1マルチプレクサ(M1)及び
    第2マルチプレクサ(M2)のそれぞれ1つの入力端子
    はカウンタ(Z)のカウント値出力端子に対して接続さ
    れ、前記第2マルチプレクサ(M2)の1つの入力端子
    は固定電圧源に対して接続され、比較器(C)は識別番
    号信号(KN1,KN2)のそれぞれに対応する入力端
    子を有し、前記比較器の入力端子はそれぞれ第1レジス
    タ(R1)及び第2レジスタ(R2)の出力端子に対し
    て接続され、前記第1レジスタ(R1)及び第2レジス
    タ(R2)のデータ入力端子は第3レジスタ(R3)の
    出力端子に対して接続され、更に前記第3レジスタ(R
    3)の出力端子は第1記憶手段(RAM1)及び第2記
    憶手段(RAM2)のそれぞれのアドレス入力端子
    (A)に対して接続され、第3レジスタ(R3)の入力
    端子は第1マルチプレクサ(M1)の出力端子に対して
    接続され、 更に、第1記憶手段(RAM1)のデータ入出力端子
    (D)は第1マルチプレクサ(M1)の別入力端子と、
    第2マルチプレクサ(M2)のデータ出力端子と、ヌル
    表示器(N)の入力端子と、入力信号(AL)に対する
    アドレス入力端子(A1)及び出力信号(DL)の出力
    端子(D1)を備えた第2記憶手段(RAM2)のデー
    タ入力端子(D)とに対して接続され、 KN信号入力端子、リセット信号入力端子、ENK信号
    出力端子及びレディ信号出力端子を有する演算制御装置
    (ST)の更なる出力端子は第1マルチプレクサ(M
    1)の制御入力端子、第2マルチプレクサ(M2)の制
    御入力端子、第2マルチプレクサ(M2)のイネーブル
    入力端子(EN)、第1記憶手段(RAM1)のイネー
    ブル入力端子(EN)、第1記憶手段(RAM1)の書
    込み入力端子(W)、及び第2記憶手段(RAM2)の
    書込み入力端子(W)に対して接続され、更に前記演算
    制御装置(ST)のCLK−R1クロック信号出力端
    子、CLK−R2クロック信号出力端子、CLK−R3
    クロック信号出力端子、及びCLK−Zクロック信号出
    力端子はそれぞれ第1レジスタ(R1)、第2レジスタ
    (R2)、第3レジスタ(R3)、及びカウンタ(Z)
    のそれぞれに対応する入力端子に対して接続されてお
    り、更に演算制御装置(ST)の別の出力端子はカウン
    タ(Z)のロード入力端子(L)、第1レジスタ(R
    1)のイネーブル入力端子(EN)、及び第2レジスタ
    (R2)のイネーブル入力端子(EN)に対して接続さ
    れ、そのうえ演算制御装置(ST)の別の入力端子はカ
    ウンタ(Z)のエンド・メッセージ出力端子(U)、比
    較器(C)の2つの線、及びヌル表示器(N)の1つの
    線に対してそれぞれ接続されていることを特徴とする回
    路構成。
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