DE4415798C1 - Verfahren und Schaltungsanordnung zur Auflösung von Äquivalenzen zeilenförmig erfaßter topologisch zusammenhängender Bildstrukturen - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft die Auflösung von Äquivalenzen zeilenförmig erfaßter topologisch zusammenhängender Bildstrukturen in Videoechtzeit, wobei zur Segmentierung des Bildes aus mindestens einem Bildpunkt bestehende Bildpunktgruppen gleicher Eigenschaften innerhalb einer Zeile fortlaufende Kennummern erhalten, und Bildpunktgruppen einer Folgezeile bereits vergebene Kennummern von den Bildpunktgruppen übernehmen, zu denen mit mindestens einem Bildpunkt in Zeilenrichtung zuerst eine Nachbarschaft besteht.

Die Erfindung wird bei der automatischen Inspektion von strukturierten Oberflächen, insbesondere von Masken, LCD′s, Leiterplatten und Halbleiterscheiben bei deren Herstellungsprozeß eingesetzt.

Eine Aufgabe bei der Bildauswertung besteht darin, aus einer vorwiegend matrixförmigen Anordnung von Bildpunkten, Bildpunktgruppen nach vorgegebenen Kriterien (Eigenschaften) auszuwählen und für die weitere Auswertung in einer verdichteten Form für nachfolgende Auswerteeinheiten bereitzustellen.

Es ist bekannt, zur Datenkomprimierung zunächst Bildpunkte innerhalb einer Zeile zusammenzufassen und dann die Zeilengrenzen zu eleminieren.

In EP 279 157 A2 werden aus lauflängenkodierten Bilddaten charakteristische Merkmale extrahiert. Als Ergebnis liegt eine Liste von lauflängenkodierten Bilddaten vor, die nach kreisförmigen, trapezoiden, konvergierenden und divergierenden Bereichen geordnet sind.

Dabei werden horizontale und vertikale Zwischenräume gefiltert und verschwinden aus dem Datensatz.

Diese Verfahrensweise ist für den Nachweis von Defekten auf Halbleiterwafern ungeeignet, da die Filterung der Zwischenräume das Fehlerbild verfälscht mit der Folge einer fehlerhaften Einordnung in Fehlerklassen des Halbleiterwafers.

In der US-Patentschrift 4 718 101 A ist eine Schaltungsanordnung beschrieben, die ein Binärbild von in Zeilen und Spalten angeordneten Bildpunkten, deren Werte "0" oder "1" sind, auswertet. Die Schaltungsanordnung ordnet zunächst zusammenhängenden Bereichen eine Kennung zu. Die Koordinaten des Bildfeldes, für die das erste Mal eine neue Kennung vergeben wird, werden gespeichert. Gleichzeitig werden alle einer Kennung zugeordneten Bildpunkte gezählt und gespeichert.

Von Nachteil ist der unzureichende Umfang der mit dieser Schaltungsanordnung gewonnen komprimierten Daten.

Eine geeignetere Lösung markiert alle lauflängenkodierten Bilddaten, die einen zusammenhängenden Bereich mit gleichen Eigenschaften, z. B. gleichen Grauwerten beschreiben, als solche einheitlich.

Für zusammenhängende Bildpunktgruppen innerhalb einer Zeile werden Kenn- oder Zählnummern eingeführt, so daß alle in der ersten Zeile beginnenden Bildpunktgruppen eine fortlaufende Kennummer erhalten. In der Folgezeile wird nur dann eine neue Zählnummer vergeben, wenn die Bildpunktgruppe nicht an eine Bildpunktgruppe gleicher Eigenschaften der Vorzeile angrenzt. Besitzt die angrenzende Bildpunktgruppe der Folgezeile gleiche Eigenschaften wie die Bildpunktgruppe in der Vorzeile, so wird die gleiche Kennummer verwendet.

Mehrdeutigkeiten, sogenannte Äquivalenzen, ergeben sich, wenn zusammenhängende Bildpunktgruppen in der laufenden Zeile Verbindungen zu mehreren zusammenhängenden Bildpunktgruppen gleicher Eigenschaften aber verschiedener Kennummer besitzen. Diese Äquivalenzen liegen somit als Paare von zueinander verschiedenen Kennummern vor und beschreiben Zusammenhänge von Bildpunktgruppen, die getrennt beginnend zusammenfließen.

Zur Auflösung dieser Mehrdeutigkeiten kann ein rechnergestützter Suchalgorithmus benutzt werden, dessen Laufzeit abhängig ist von der Form in Bildpunktgruppen aufgeteilter Bildstrukturen.

Sich ergebende spiralförmige oder stark verschachtelte Bildstrukturen verursachen Laufzeiten für den Suchalgorithmus, die nicht mehr in Videoechtzeit abzuarbeiten sind.

Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, unabhängig von der Form und den Eigenschaften der Bildstrukturen die Bearbeitungszeit für die Auflösung der Äquivalenzen zu verkürzen, so daß eine Abarbeitung in Videoechtzeit gewährleistet ist.

Gemäß der Erfindung wird die Aufgabe durch ein Verfahren zur Auflösung von Äquivalenzen zeilenförmig erfaßter topologisch zusammenhängender Bildstrukturen gelöst, wobei zur Segmentierung des Bildes aus mindestens einem Bildpunkt bestehende Bildpunktgruppen gleicher Eigenschaften innerhalb einer Zeile fortlaufende Kennummern erhalten, und Bildpunktgruppen einer Folgezeile bereits vergebene Kennummern von den Bildpunktgruppen übernehmen, zu denen mit mindestens einem Bildpunkt in Zeilenrichtung zuerst eine Nachbarschaft besteht, indem in einem ersten Verfahrensschritt von Kennummernpaaren aneinandergrenzender Bildpunktgruppen mit voneinander verschiedenen Kennummern die eine Kennummer als Adressenwert für einen ersten adressierten Speicher mit einem von den Kennummern verschiedenen Anfangsdatenwert für jeden Speicherplatz dient und die andere Kennummer zum Datenwert des durch die erste Kennnummer adressierten Speicherplatzes wird, wenn der Speicherplatz den Anfangsdatenwert besitzt,
andernfalls werden in einem zweiten Verfahrensschritt sowohl die andere Kennummer als auch der Datenwert des adressierten Speicherplatzes als Adressenwerte zur Ermittlung von Speicherplätzen mit einem Anfangsdatenwert verwendet, deren Adressenwerte zu Kennummern werden, auf die der erste Verfahrensschritt Anwendung findet,
wobei ein jeweils für einen Adressenwert ermittelter Datenwert erneut als Adresse dient, sooft bis ein Speicherplatz mit dem Anfangsdatenwert gefunden ist, und Kennummernpaare, die im zweiten Verfahrensschritt zu gleichen Adressenwerten führen, unberücksichtigt bleiben,
und in einem dritten Verfahrensschritt zur Bildung einer Zuweisungstabelle in Form eines zweiten adressierbaren Speichers den Adressenwerten aus dem ersten Verfahrensschritt entsprechende Speicherplätze den Adressenwert selbst als Datenwert erhalten, wenn für den Adressenwert der Anfangsdatenwert vorliegt,
andernfalls wird bei einem Adressenwert, dessen Datenwert vom Anfangsdatenwert verschieden ist, ein enthaltener Datenwert als Adressenwert benutzt, sooft, bis ein Speicherplatz mit dem Anfangsdatenwert gefunden ist, wobei der Adressenwert des gefundenen Speicherplatzes zum Datenwert für den Adressenwert wird, dessen Datenwert vom Anfangsdatenwert verschieden ist.

Gegenstand der Erfindung ist weiterhin eine Schaltungsanordnung zur Auflösung von Äquivalenzen zeilenförmig erfaßter topologisch zusammenhängender Bildstrukturen, durch Verarbeitung eines Paares zueinander verschiedener Kennummern von innerhalb der Bildstrukturen in benachbarten Zeilen aneinandergrenzenden, aus mindestens einem Bildpunkt bestehenden Bildpunktgruppen, wobei zur Segmentierung des Bildes eine Vergabe der Kennummern für die Bildpunktgruppe in einer Zeile fortlaufend erfolgt und Bildpunktgruppen einer Folgezeile bereits vergebene Kennummern von den Bildpunktgruppen übernehmen, zu denen mit mindestens einem Bildpunkt in Zeilenrichtung zuerst eine Nachbarschaft besteht, bei der ein erster und ein zweiter Multiplexer, von denen je ein Eingang mit dem Zählwertausgang eines Zählers verbunden und ein Eingang des zweiten Multiplexers mit festem Potential beaufschlagt ist, sowie ein Komparator Eingänge für die Kennummern aufweisen, die außerdem an Ausgänge eines ersten und zweiten Registers geführt sind, deren Dateneingänge an einen Ausgang eines dritten Registers angeschlossen sind, das außerdem mit einem Adreßeingang eines ersten und einem ersten Adreßeingang eines zweiten Speichers gekoppelt ist und dessen Eingang mit dem Ausgang des ersten Multiplexers in Verbindung steht.

Ein Datenein- und -ausgang des ersten Speichers ist mit einem weiteren Eingang des ersten Multiplexers, dem Datenausgang des zweiten Multiplexers, dem Eingang eines Nullindikators und einem ersten Dateneingang des zweiten Speichers, der außerdem einen zweiten Adreßeingang und einen zweiten Ausgang besitzt, gekoppelt und von einer Ablaufsteuerung mit Eingängen KN und RESET und Ausgängen ENK und READY führen ausgangseitig Verbindungen zu Steuereingängen des ersten und des zweiten Multiplexers zu Freigabeeingängen des zweiten Multiplexers und des ersten Speichers und zu Schreibeingängen des ersten und des zweiten Speichers. Des weiteren bestehen ausgehend von der Ablaufsteuerung Verbindungen zwischen Taktausgängen und dem ersten, dem zweiten und dem dritten Register, dem Zähler, zu einem Ladeeingang des Zählers und zu Freigabeeingängen des ersten und des zweiten Registers. Eingangsseitig ist die Ablaufsteuerung außerdem mit einer Endemeldungsleitung des Zählers, mit zwei Leitungen des Komparators und mit einer Leitung des Nullindikators verbunden.

Da die Zuweisungstabelle, die für jede adressierte Äquivalenz die Zuordnung zu einer Kennummer enthält, unmittelbar aus einem generierten Zwischencode erstellt wird, können die Äquivalenzen bereits zum Zeitpunkt ihrer Erfassung ausgewertet werden.

Hieraus ergibt sich die kürzere Bearbeitungszeit im Vergleich zu einem rechnergestütztem Suchalgorithmus, der erst nach Vorliegen aller Äquivalenzen gestartet werden kann. Die Zahl der Schritte für die Auflösung einer Äquivalenz nach der Erfindung ist gleich der Verschachtelungstiefe der Äquivalenz, die Zahl der Schritte mit einem rechnergestützten Suchalgorithmus für die gleiche Aufgabe ist für alle Äquivalenzen gleich der maximalen Verschachtelungstiefe.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung soll nachstehend anhand der schematischen Zeichnung näher erläutert werden. Es zeigen:

Fig. 1 eine Schaltungsanordnung gemäß der Erfindung

Fig. 2 eine Kennummernvergabe an Gruppen von Bildpunkten.

In der Schaltungsanordnung gemäß Fig. 1 weisen ein erster und ein zweiter Multiplexer M1 und M2, von denen je ein Eingang mit dem Zählwertausgang eines Zählers Z verbunden ist, sowie ein Komparator C Eingänge für Kennummern KN1 und KN2 auf und sind außerdem sowohl an einen Ausgang eines ersten Registers R1 als auch einen Ausgang eines zweiten Registers R2 geführt.

Zu den Dateneingängen des ersten und des zweiten Registers R1 und R2 führen Verbindungen vom Ausgang eines dritten Registers R3, das außerdem mit dem jeweiligen Adreßeingang eines ersten und eines zweiten Speichers RAM1 und RAM2 gekoppelt ist. Der Eingang der dritten Registers R3 ist mit dem Ausgang des ersten Multiplexers M1 verbunden.

Ein Datenein- und -ausgang D des ersten Speichers RAM1 ist mit einem weiteren Eingang des ersten Multiplexers M1, dem Datenausgang des zweiten Multiplexers M2, dem Eingang eines Nullindikators N und einem Dateneingang D des zweiten Speichers RAM 2 gekoppelt. Ein weiterer Eingang des zweiten Multiplexers ist mit festem Potential beaufschlagt.

Der zweite Speicher RAM2 ist als Dualport-RAM ausgeführt und weist einen zweiten Adreßeingang A1 für ein Eingangssignal AL und einen zweiten Ausgang D1 für ein Ausgangssignal DL auf
Von einer Ablaufsteuerung ST mit Eingängen KN und RESET und Ausgängen ENK und READY führen ausgangseitig Verbindungen zu Steuereingängen des ersten und des zweiten Multiplexers M1 und M2, zu Freigabeeingängen EN des zweiten Multiplexers M2 und des ersten Speichers RAM1 und zu Schreibeingängen W des ersten und des zweiten Speichers RAM1 und RAM2. Verbindungen bestehen jeweils zwischen Taktausgängen der Ablaufsteuerung ST CLK-R1 und dem ersten Register R1, CLK-R2 und dem zweiten Register R2, CLK-R3 und dem dritten Register R3, CLK-Z und dem Zähler Z, einem Ladeeingang L des Zählers Z und zu Freigabeeingängen EN der Register R1 und R2. Außerdem ist die Ablaufsteuerung ST eingangsseitig mit einer Endemeldungsleitung Ü des Zählers Z, mit zwei Leitungen des Komparator C und einer Leitung des Nullindikator N verbunden.

In Fig. 2 sind in ihrem Bildpunktaufbau zusammengesetzte Strukturen einer Oberfläche mit unterschiedlichen Eigenschaften in Form von Grauwerten dargestellt. Eingetragene Zahlen sind an Bildpunktgruppen als Teil von Datensätzen in bekannter Weise vergebene Kennummern, wobei die Bildpunktgruppen aus mindestens einem Bildpunkt bestehen.

So lassen sich die beiden, jeweils aus einem Bildpunkt bestehenden Figuren der nullten Zeile durch folgende lauflängenkodierte Datensätze beschreiben:

Den Bildpunktgruppen in den folgenden Zeilen sind analoge Datensätze zugeordnet, so z. B. für die Bildpunktgruppen in der Zeile 2:

Sich als sogenannte Äquivalenzen ergebende Mehrdeutigkeiten, die entstehen, wenn Bildpunktgruppen einer Zeile Verbindungen zu mehreren Bildpunktgruppen gleicher Eigenschaften aber verschiedener Kennummern der vorhergehenden Zeile besitzen, bestehen z. B. zwischen den Bildpunktgruppen mit der Kennummer 1 und der Kennummer 3 oder der Kennummer 2.

Die vollständige Anzahl aller Äquivalenzen aus Fig. 2, die zur weiteren Verarbeitung in gespeicherter Form vorliegen, ist in Tabelle 1 durch Kennummernangabe aufgelistet. Tabelle 2 und Tabelle 3 enthalten bereits vorweggenommen die mit der Erfindung erzielten Ergebnisse.

Aufgrund eines RESET- Signales an die Ablaufsteuerung ST veranlaßt diese den Zähler Z die Adresse Null an den ersten Multiplexer M1 anzulegen. Gleichzeitig steuert die Ablaufsteuerung ST den ersten und den zweiten Multiplexer M1 und M2 über Steuerleitungen, so daß vom Ausgang des Multiplexers M1 der Zählerwert des Zählers Z an das dritte Register R3 gerichtet wird und am Dateneingang des ersten Speichers RAM1 eine Nullkennung anliegt. Mit einem Clocksignal CLK-Z von der Ablaufsteuerung ST wird der Zählerwert von Zähler Z in das Register R3 übernommen und liegt am ersten Speicher RAM1 als Adresse an.

Die Ablaufsteuerung ST schreibt anschließend die Nullkennung auf dem adressierten Speicherplatz im ersten Speicher RAM1 ein und inkrementiert den Zähler Z. Dieser Vorgang wird auf allen Speicherplätzen des ersten Speichers RAM1 wiederholt bis der gesamte erste Speicher RAM1 mit der Nullkennung beschrieben ist.

Nach der Eintragung der Nullkennung auf allen Speicherplätze des ersten Speichers RAM1 erfolgt ein Zustandswechsel, der für die Abarbeitung der Äquivalenzen erforderlich ist.

Ein am Eingang der Anordnung aktiviertes Signal KN von einem nichtdargestellten Speicher gibt die Speicherung von Äquivalenzen in dem Speicher an.

Infolge eines Signales ENK der Ablaufsteuerung ST wird ein Kennummernpaare KN1 und KN2, das eine Äquivalenz beschreibt, an die zugeordneten Eingänge angelegt.

Der Komparator C vergleicht die beiden Kennummern KN1 und KN2 miteinander. Sind die beiden Kennummern KN1 und KN2 gleich, erfolgt keine Auswertung. Andernfalls wird ein Steuersignal an die Ablaufsteuerung ST gegeben, die nach Auswertung dieses Signals die Kennummer mit dem größeren Wert als erste Kennummer über ihre Steuerleitungen zum Multiplexer M1 durchschaltet. Das erfindungsgemäße Verfahren ist natürlich auch realisierbar, wenn als erste Kennummer durchgängig die kleinere verwendet wird. Damit liegt diese Kennummer als Eingangswert am Register R3 an und wird mit einem folgenden Taktsignal von der Ablaufsteuerung ST im Register R3 gespeichert. Da der Ausgang des Registers R3 ständig freigegeben ist, liegt die Kennummer auch an den Adreßeingängen des ersten und des zweiten Speichers RAM1 und RAM2 sowie an den Registern R1 und R2 an. Anschließend steuert die Ablaufsteuerung ST über ihre Steuerleitungen den ersten Speicher RAM1 in den Lesemode.

Der Speicherinhalt des mit der ersten, im vorliegenden Beispiel der größeren Kennummer adressierten Speicherplatzes des ersten Speicher RAM1 liegt am Datenausgang des Speichers RAM1 an und führt dort an den Eingang des Multiplexers M1, den Ausgang des Multiplexer M2, den Dateneingang des zweiten Speichers RAM2 und den Nullindikator N. Der Nullindikator N meldet der Ablaufsteuerung ST, ob der Speicherinhalt eine Nullkennung ist oder nicht. Liegt eine Nullkennung vor, so veranlaßt die Ablaufsteuerung ST den ersten Speicher RAM1 diese an seinem Ausgang abzuschalten und gibt die zweite Kennummer, im vorliegenden Beispiel die mit dem kleineren Wert, an den Ausgang des Multiplexers M2 frei, so daß diese am Dateneingang des ersten Speichers RAM1 anliegt. Mit einem Schreibimpuls der Ablaufsteuerung ST wird auf dem mit der größeren Kennummer adressierten Speicher­ platz des ersten Speicher RAM1 für die Nullkennung der Wert der kleineren Kennummer gespeichert.

Liegt keine Nullkennung vor, so wird ein Suchvorgang im ersten Speicher RAM1 mit folgendem Ablauf ausgelöst:

Die Ablaufsteuerung ST schaltet den Multiplexer M1 mit ihren Steuerleitungen in eine Lage, in der der am Ausgang des ersten Speichers RAM1 anliegende Wert zum Register R3 freigegeben wird und trägt diesen mit einem Clocksignal CLK-R3 in das Register R3 ein. Der Nullindikator N prüft in der bereits beschriebenen Weise, ob auf dem adressierten Speicherplatz eine Nullkennung eingetragen ist. Dieser Ablauf wird solange wiederholt, bis eine Nullkennung vom Nullindikator N an die Ablaufsteuerung ST gemeldet wird. Der Suchvorgang wird darauf abgebrochen. Die Ablaufsteuerung ST speichert die im Register R3 stehende Adresse im Register R1 ab, indem sie ein Clocksignal CLOCK-R1 ausgibt.

Danach wird die kleinere Kennummer von der Ablaufsteuerung ST in gleicher Weise an den ersten Speicher RAM1 angelegt und ein Suchvorgang nach einer Nullkennung in der bereits beschriebene Weise ausgelöst. Die Adresse der Nullkennung der kleineren Kennummer wird im Register R2 gespeichert. Anschließend wird die Quelle der Kennummern mit Hilfe des Steuersignals ENK inaktiv geschaltet und die Ausgänge der Register R1 und R2 werden auf die Eingänge KN1 und KN2 gelegt, so daß nunmehr die Registerwerte wie die Kennummern KN1 und KN2 behandelt werden.

Sobald für alle Äquivalenzen, erkennbar am Eingangssignal KN, eine Eintragung im ersten Speicher RAM1 erfolgt ist, findet ein zur Generierung einer Zuweisungstabelle erforderlicher Zustandswechsel in der Schaltungsanordnung statt.

Es erfolgt ein Start des Zählers Z und die Ausgabe eines Wertes als Adresse Null an den ersten Speicher RAM1. Vom Nullindikator N wird der Speicherinhalt des adressierten Speicherplatzes gelesen. Ist auf dem Speicherplatz noch die Nullkennung eingetragen, schaltet die Ablaufsteuerung ST über ihre Steuerleitung den ersten Speicher RAM1 in den inaktiven Zustand und veranlaßt den Multiplexer M2 den Zählerwert an seinen Ausgang EN freizugeben. Mit einem Schreibimpuls W wird der Zählerwert in den Speicher RAM2 eingetragen. Der Zählerstand wird darauf inkrementiert und der Vorgang wiederholt sich für alle Speicherplätze, die im ersten Speicher RAM1 eine Nullkennung aufweisen.

Wird ein Speicherplatz ermittelt, der im Speicher RAM1 keine Nullkennung aufweist, steuert die Ablaufsteuerung ST den Multiplexer M1 in eine Lage, in der an dessen Ausgang und somit am Eingang des Registers R3 der Speicherinhalt des ersten Speichers RAM1 anliegt.

Mit einem Signal CLK-R1 und CLK-R3 wird die bisher am ersten Speicher RAM1 anliegende Adresse im Register R1 gespeichert und der Inhalt des ersten Speichers RAM1 als neue Adresse für den ersten Speicher RAM1 in das Register R3 eingetragen. Der erste Speicher RAM1 wird wiederum vom Nullindikator N geprüft, ob eine Nullkennung vorliegt. Ist dies nicht der Fall, so wird der Inhalt des adressierten Speicherplatzes des ersten Speichers RAM1 erneut als Folgeadresse in das Register R3 eingetragen. Dieser Ablauf wiederholt sich so lange, bis ein Speicherplatz mit einer Nullkennung gefunden wird.

Die Adresse dieses Speicherplatzes wird mit einem Steuersignal CLK-R2 in das Register R2 eingetragen. Gleichzeitig werden das Register R1 von der Ablaufsteuerung ST auf den Eingang KN1 und durch Steuerung des Multiplexer M1 der Eingang KN1 zum Register R3 freigegeben.

Mit einem Steuersignal CLK-R3 von der Ablaufsteuerung ST geht der Inhalt des Registers R1 in das Register R3 über.

Danach wird durch die Ablaufsteuerung ST der Ausgang des Registers R2 an den Eingang des Multiplexers M2 freigegeben und der Multiplexer M2 zur Freigabe des Inhalts des Registers R2 auf seinen Ausgang veranlaßt. Mit einem Schreibimpuls der Ablaufsteuerung ST wird dieser Wert in den zweiten Speicher RAM2 eingetragen.

Anschließend wird der Zählerwert inkrementiert und der Test auf eine Nullkennung des folgenden Speicherplatzes im ersten Speicher RAM1 beginnt erneut in der beschriebenen Weise, solange bis alle Speicherplätze der Zuweisungstabelle im zweiten Speicher RAM2 eingetragen sind. Die Ablaufsteuerung ST erkennt diesen Zustand durch ein Meldesignal Ü vom Zähler Z, beendet die Arbeit und meldet diesen Zustand mit einem READY-Signal über die READY-Leitung.

Claims (2)

1. Verfahren zur Auflösung von Äquivalenzen zeilenförmig erfaßter topologisch zusammenhängender Bildstrukturen, wobei zur Segmentierung des Bildes aus mindestens einem Bildpunkt bestehende Bildpunktgruppen gleicher Eigenschaften innerhalb einer Zeile fortlaufende Kennummern erhalten, und Bildpunktgruppen einer Folgezeile bereits vergebene Kennummern von den Bildpunktgruppen übernehmen, zu denen mit mindestens einem Bildpunkt in Zeilenrichtung zuerst eine Nachbarschaft besteht, dadurch gekennzeichnet, daß
in einem ersten Verfahrensschritt von Kennummernpaaren aneinandergrenzender Bildpunktgruppen mit voneinander verschiedenen Kennummern die eine Kennummer als Adressenwert für einen ersten adressierten Speicher mit einem von den Kennummern verschiedenen Anfangsdatenwert für jeden Speicherplatz dient und die andere Kennummer zum Datenwert des durch die erste Kennnummer adressierten Speicherplatzes wird, wenn der Speicherplatz den Anfangsdatenwert besitzt,
andernfalls werden in einem zweiten Verfahrensschritt sowohl die andere Kennummer als auch der Datenwert des adressierten Speicherplatzes als Adressenwerte zur Ermittlung von Speicherplätzen mit einem Anfangsdatenwert verwendet, deren Adressenwerte zu Kennummern werden, auf die der erste Verfahrensschritt Anwendung findet,
wobei ein jeweils für einen Adressenwert ermittelter Datenwert erneut als Adresse dient, sooft bis ein Speicherplatz mit dem Anfangsdatenwert gefunden ist, und Kennummernpaare, die im zweiten Verfahrensschritt zu gleichen Adressenwerten führen, unberücksichtigt bleiben,
und daß in einem dritten Verfahrensschritt zur Bildung einer Zuweisungstabelle in Form eines zweiten adressierbaren Speichers den Adressenwerten aus dem ersten Verfahrensschritt entsprechende Speicherplätze den Adressenwert selbst als Datenwert erhalten, wenn für den Adressenwert der Anfangsdatenwert vorliegt,
andernfalls wird bei einem Adressenwert, dessen Datenwert vom Anfangsdatenwert verschieden ist, ein enthaltener Datenwert als Adressenwert benutzt, sooft, bis ein Speicherplatz mit dem Anfangsdatenwert gefunden ist, wobei der Adressenwert des gefundenen Speicherplatzes zum Datenwert für den Adressenwert wird, dessen Datenwert vom Anfangsdatenwert verschieden ist.

2. Schaltungsanordnung zur Auflösung von Äquivalenzen zeilenförmig erfaßter topologisch zusammenhängender Bildstrukturen durch Verarbeitung eines Paares zueinander verschiedener Kennummern von innerhalb der Bildstrukturen in benachbarten Zeilen aneinandergrenzenden, aus mindestens einem Bildpunkt bestehenden Bildpunktgruppen, wobei zur Segmentierung des Bildes eine Vergabe der Kennummern für die Bildpunktgruppe in einer Zeile fortlaufend erfolgt und Bildpunktgruppen einer Folgezeile bereits vergebene Kennummern von den Bildpunktgruppen übernehmen, zu denen mit mindestens einem Bildpunkt in Zeilenrichtung zuerst eine Nachbarschaft besteht, dadurch gekennzeichnet, daß
ein erster und ein zweiter Multiplexer (M1) und (M2), von denen je ein Eingang mit dem Zählwertausgang eines Zählers (Z) verbunden und ein Eingang des zweiten Multiplexers (M2) mit festem Potential beaufschlagt ist, sowie ein Komparator (C) Eingänge für die Kennummern (KN1) und (KN2) aufweisen, die außerdem an Ausgänge eines ersten und zweiten Registers (R1, R2) geführt sind, deren Dateneingänge an einen Ausgang eines dritten Registers (R3) angeschlossen sind, das außerdem mit dem jeweiligen Adreßeingang eines ersten und eines zweiten Speichers (RAM1) und (RAM2) gekoppelt ist und dessen Eingang mit dem Ausgang des ersten Multiplexers (M1) in Verbindung steht,
daß ein Datenein- und -ausgang (D) des ersten Speichers (RAM1) mit einem weiteren Eingang des ersten Multiplexers (M1), dem Datenausgang des zweiten Multiplexers (M2), dem Eingang eines Nullindikators (N) und einem Dateneingang (D)des zweiten Speichers (RAM2), der außerdem einen Adreßeingang (A1) für ein Eingangssignal (AL) und einen Ausgang (D1) für ein Ausgangssignal (DL) besitzt, gekoppelt ist,
und daß von einer Ablaufsteuerung (ST) mit Eingängen (KN) und (RESET) und Ausgängen (ENK) und (READY) ausgangseitig sowohl Verbindungen zu Steuereingängen des ersten und des zweiten Multiplexers (M1, M2) zu Freigabeeingängen (EN) des zweiten Multiplexers (M2) und des ersten Speichers (RAM1) und zu Schreibeingängen (W) des ersten und des zweiten Speichers (RAM1, RAM2) führen als auch Verbindungen zwischen einem Taktausgang (CLK-R1) und dem ersten Register (R1), einem Taktausgang (CLK-R2) und dem zweiten Register (R2), einem Taktausgang (CLK-R3) und dem dritten Register (R3), einem Taktausgang (CLK-Z) und dem Zähler (Z), zu einem Ladeeingang (L) des Zählers (Z) und zu Freigabeeingängen (EN) des ersten und zweiten Registers (R1, R2) bestehen, und die Ablaufsteuerung (ST) eingangsseitig mit einer Endemeldungsleitung (Ü) des Zählers (Z), mit zwei Leitungen des Komparators (C) und mit einer Leitung des Nullindikators (N) verbunden ist.