DE10240877A1 - Fehlerklassifikations-/Inspektions-System - Google Patents

Abstract

Ein Bild eines Inspektionsobjekts wird durch eine Bildabtasteinheit (20) abgetastet und eine charaktaristische Menge eines Bilds eines fehlerhaften Teils, welches durch eine Fehlerextraktionseinheit (50) extrahiert wird, wird durch eine Charakteristikextraktionseinheit (60) extrahiert und digitalisiert. Eine Datenbank-Vorbereitungseinheit (70) gruppiert Fehler neu, die ähnliche Charakteristiken haben, durch eine Fehlerklassifikationseinheit (72), auf der Basis der charakteristischen Information, die durch die Charakteristikextraktionseinheit (60) digitalisiert wurde, in bezug auf Fehler, die zu einer Fehlergruppe gehören, welche durch eine Bedienungsperson über eine Anzeige-/Eingabeeinheit (74) ausgewählt und bestimmt wurde, und bereitet in einem Datenbankspeicher (77) eine Datenbank vor, in welcher die Fehler des Inspektionsobjekts hierarchisch klassifiziert sind. Eine Klassifikationsausführungseinheit (80) klassifiziert die Fehler des Inspektionsobjekts in bezug auf die Datenbank, welche durch die Datenbank-Vorbereitungseinheit (70) bereitgestellt wird, auf der Basis der digitalisierten Charakteristikinformation, welche durch die Charakteristikextraktionseinheit (60) extrahiert wurde, von dem Bild des fehlerhaften Teils des Inspektionsobjekts, welches durch die Fehlerextraktionseinheit (50) extrahiert wird. Somit wird ein Fehlerklassifikations-/Inspektions-System (100), welches eine hohe Klassifikationsgenauigkeit hat, bereitgestellt. DOLLAR A Anwendbar bei Klassifikation ...

Description

• Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Fehlerklassifikations-/Inspektions- System, um einen Fehler eines Halbleiterwafers oder dgl. zu klassifizieren und zu inspizieren.
• Eine Halbleitereinrichtung wird dadurch vorbereitet, daß ein feines Einrichtungsmuster auf einem Halbleiterwafer gebildet wird. Beim Bilden eines solchen Einrichtungsmusters ist es möglich, daß ein Staubpartikel an der Oberfläche des Halbleiterwafers klebt, oder daß der Halbleiterwafer verkratzt werden könnte, wodurch ein Fehler darauf verursacht wird. Die Halbleitereinrichtung, welche einen solchen Fehler hat, der darauf erzeugt wird, ist eine fehlerhafte Einrichtung, was die Ausbeute vermindert.
• Um die Ausbeute auf dem Fließband bei einem hohen Standard zu stabilisieren, ist es daher vorteilhaft, früh einen Fehler herauszufinden, der durch einen Staubpartikel oder einen Kratzer erzeugt wird, die Ursache des Fehlers anzugeben und effektive Maßnahmen für die Herstellungsausrüstung und den Herstellungsprozeß zu ergreifen.
• Wenn ein Fehler gefunden wird, wird ein Fehlerinspektionssystem verwendet, um den Fehler zu inspizieren und klassifizieren und um die Ausrüstung und den Prozeß, welcher den Fehler verursacht hat, anzugeben. Das Fehlerinspektionssystem identifiziert den Fehler, wobei er diesen wie ein optisches Mikroskop verstärkt.
• Gemäß einem breit verwendeten Verfahren zum automatischen Klassifizieren von Fehlern der Halbleiterwafer wird ein Fehler lokalisiert, wobei das Bild eines Fehlers mit einem Referenzbild verglichen wird, und danach wird die Charakteristik des lokalisierten Fehlers weiter mit einer Datenbank zur Klassifikation verglichen.
• Fig. 1 zeigt einen Prozeß zum Vorbereiten einer Fehlerklassifikations-Datenbank bei einem herkömmlichen Fehlerklassifikations-/Inspektions-System.
• Bei dem Prozeß zum Vorbereiten der Fehlerklassifikations-Datenbank wird ein fehlerhaftes Bild und ein Referenzbild, die durch eine Bildabtasteinheit 201 abgetastet werden, in einem Fehlerbildspeicher 202 bzw. einem Referenzbildspeicher 203 gespeichert. Von diesen Bildern werden lediglich die Bilder des fehlerhaften Teils durch eine Fehlerextraktionseinheit 204 extrahiert und die Charakteristikmenge der Größe, Farbe und dgl. des Fehlers wird als Fehlerinformation durch eine Charakteristikextraktionseinheit 205 digitalisiert. Die digitalisierte Fehlerinformation wird vorübergehend in einem Vorklassifikations-Datenspeicher 206 gespeichert und dann durch die Bedienungsperson klassifiziert. Die Bedienungsperson klassifiziert jeden Fehler aufgrund ihrer Erfahrung und liefert einen Klassifikationscode für jede Gruppe nach der Klassifikation. Die Charakteristikinformation der entsprechenden Gruppen, für die die Klassifikationscodes bereitgestellt wurden, werden in einem Klassifikationsergebnisspeicher 212 als Information der Klassen 1 bis N gespeichert. Die Charakteristikinformation, die in einer Datenauswahleinheit 213 durch Beseitigen der Redundanz von der Information der Klassen 1 bis N erhalten wird, die im Klassifikationsergebnisspeicher 212 gespeichert wurde, wird in einem Datenbankspeicher 218 als Datenbank gespeichert.
• Fig. 2 zeigt einen Prozeß zum Ausführen der Klassifikation beim herkömmlichen Fehlerklassifikations-/Inspektions-System.
• Bei dem Prozeß zum Ausführen der Klassifikation werden ähnlich wie bei dem Prozeß zum Vorbereiten der Datenbank ein Fehlerbild und ein Referenzbild, die durch die Bildabtasteinheit 201 abgetastet wurden, in einem Fehlerbildspeicher 202 bzw. dem Referenzbildspeicher 203 gespeichert. Von diesen Bildern werden lediglich die Bilder des fehlerhaften Teils durch die Fehlerextraktionseinheit 204 extrahiert, und die charakteristische Menge der Größe, der Farbe und dgl. des Fehlers wird als Fehlerinformation durch die Charakteristikextraktionseinheit 205 digitalisiert. Danach wird in einer Vergleichs- /Klassifikationscode-Bereitstellungseinheit 219 die Fehlerinformation mit der Charakteristikinformation der Klassen 1 bis N verglichen, die in der Datenbank enthalten sind, die im Datenbankspeicher 218 gespeichert ist, und mit dem Code der Klasse versehen, welche die Übereinstimmungscharakteristik hat. Damit wird das Klassifikationsergebnis von einer Klassifikationsergebnis-Ausgabeeinheit 220 ausgegeben.
• Um die Herstellungsausrüstung und die Herstellungsprozesse auf der Basis der gefundenen Fehler zu verbessern, ist es wünschenswert, Fehler auf vielen Halbleiterwafern zu inspizieren und die genauen Ursachen der Fehler zu identifizieren. Mit den Ausbildungsregeln für Halbleiterwafer, die immer geringer wachsen, werden verschiedene Arten von Fehlern erzeugt, für die vielmehr Zeit und Arbeit erforderlich ist, um eine genaue Klassifikation auszuführen.
• Wenn die Differenz in der Fehlercharakteristik zwischen den Fehlergruppen, die in der Datenbank enthalten sind, klein ist, steigt der Fehlerklassifikationswechsel an. Bei dem herkömmlichen Datenbank-Vorbereitungsprozeß bestimmt und klassifiziert die Bedienungsperson Fehler aus ihrer Erfahrung, wie in Fig. 1 gezeigt ist. Daher erfordert die Klassifikation Geschicklichkeiten, und es ist schwierig, die Ähnlichkeit bei Fehlercharakteristiken zwischen den Klassifikationsgruppen, die in der Datenbank enthalten sind, zu beseitigen.
• Beim Klassifikations-Ausführungsprozeß wird, da alle Fehler auf einer einzigen Ebene klassifiziert sind, die Fehlergenauigkeit abgesenkt, und es treten Klassifikationsfehler leicht auf.
• Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Fehlerklassifikations-/Inspektions-System mit hoher Klassifikationsgenauigkeit bereitzustellen.
• Gemäß der vorliegenden Erfindung kann durch Vermindern der Beteiligung der Bedienungsperson bei der Datenbank-Vorbereitung eine Datenbank, die Fehlergruppen enthält, bei der die Ähnlichkeit bei Fehlercharakteristiken reduziert sind, leicht aufgebaut werden, und beim Klassifikationsausführungsprozeß werden die Fehler auf mehreren hierarchischen Ebenen klassifiziert.
• Ein Fehlerklassifikations-/Inspektions-System gemäß der vorliegenden Erfindung weist auf:
  eine Fehlerextraktionseinheit, um ein Bild eines Inspektionsobjekts abzutasten und um das Bild mit einem Referenzbild zu vergleichen, welches keinen Fehler aufweist, wodurch ein Bild eines fehlerhaften Teils extrahiert wird;
  eine Charakteristikextraktionseinheit, um die Menge der Charakteristiken des Bildes des fehlerhaften Teils, welches durch die Fehlerextraktionseinheit extrahiert wurde, zu extrahieren und zu digitalisieren;
  eine Datenbank-Vorbereitungseinheit, die eine Fehlerklassifikationseinrichtung enthält, um Fehler, die ähnliche Charakteristiken haben, auf der Basis der charakteristischen Information, die durch die Charakteristikextraktionseinheit digitalisiert wurde, zu gruppieren,
  eine Klassifikationscode-Bereitstellungseinrichtung, um einen Klassifikationscode für die Fehler, die durch die Fehlerklassifikationseinrichtung gruppiert sind, bereitzustellen, eine Speichereinrichtung, um die charakteristische Information der Fehler, die durch die Fehlerklassifikationseinrichtung gruppiert sind, zusammen mit dem Klassifikationscode, der durch die Klassifikationscode-Bereitstellungseinrichtung bereitgestellt wird, als eine Datenbank zu speichern, und eine Auswahl-Bestimmungseinrichtung, um eine Fehlergruppe, für welche eine Datenbank einer nächsten hierarchischen Ebene vorzubereiten ist, von den entsprechenden Fehlergruppen, die gruppierte Fehler haben und für die der Klassifikationscode bereitgestellt wurde, auszuwählen und zu bestimmen, wobei die Datenbank-Vorbereitungseinheit Fehler, die ähnliche Charakteristiken haben, durch die Fehlerklassifikationseinrichtung auf der Basis der charakteristischen Information, die durch die Charakteristikextraktionseinrichtung digitalisiert wurde, in bezug auf die Fehler, die zur Fehlergruppe gehören, welche durch die Auswahl-/Bestimmungseinrichtung ausgewählt und bestimmt wurde, neu gruppiert, und wobei eine Datenbank vorbereitet wird, bei welcher die Fehler des Inspektionsobjekts hierarchisch klassifiziert sind; und
  eine Klassifikationsausführungseinheit, um die Fehler des Inspektionsobjekts in bezug auf die Datenbank, die durch die Datenbank-Vorbereitungseinheit bereitgestellt wird, auf der Basis der digitalisierten charakteristischen Information, die durch die Charakteristikextraktionseinheit extrahiert wurde, von dem Bild des fehlerhaften Teils des Inspektionsobjekts, welches durch die Fehlerextraktionseinheit extrahiert wurde, hierarchisch zu klassifizieren.
• Bei dem Fehlerklassifikations-Inspektionssystem gemäß der vorliegenden Erfindung werden Fehler, die ähnliche Charakteristiken haben, durch die Fehlerklassifikationseinrichtung auf der Basis der Charakteristikinformation, die durch die Charakteristikextraktionseinrichtung digitalisiert ist, in bezug auf die Fehler, die zur Fehlergruppe gehören, welche durch die Auswahl-Bestimmungseinrichtung ausgewählt und bestimmt wurde, neu gruppiert, und eine Datenbank kann bereitgestellt werden, in welcher die Fehler des Inspektionsobjekts hierarchisch klassifiziert sind. Bei dem Fehlerklassifikations-Inspektionssystem gemäß der vorliegenden Erfindung kann, da die Fehler, die ähnliche Charakteristiken haben, durch die Fehlerklassifikationseinrichtung auf der Basis der Charakteristikinformation gruppiert sind, die durch die Charakteristikextraktionseinheit digitalisiert ist, die Bedienungsperson in einfacher Weise eine Datenbank bereitstellen, wobei in einfacher Weise bestimmt wird, ob die Fehlergruppe lediglich aus einzelnen Fehlern besteht, und ein Identifikationscode dafür bereitgestellt wird. Durch Bilden der Datenbank, die somit in mehreren hierarchischen Ebenen organisiert ist, ist es möglich, die Ähnlichkeit zwischen den Klassifikationsgruppen zu beseitigen.
• Da die Klassifikationsausführungseinheit die Fehler des Inspektionsobjekts in bezug auf die hierarchische Datenbank, die durch die Datenbank-Vorbereitungseinheit vorgesehen ist, auf der Basis der digitalisierten Charakteristikinformation, welche durch die Charakteristikextraktionseinheit extrahiert wird, von dem Bild des Fehlerteils des Inspektionsobjekts, welches durch die Fehlerextraktionseinheit extrahiert wurde, hierarchisch klassifiziert, ist es möglich, die Fehler mit höherer Genauigkeit als in dem Fall zu klassifizieren, wo die vollständige Klassifikation auf einer einzelnen Ebene entschieden wird.
• Fig. 1 zeigt einen Prozeß, um eine Fehlerklassifikationsdatenbank bei einem herkömmlichen Fehlerklassifikations-/Inspektions-System bereitzustellen;
• Fig. 2 zeigt einen Prozeß, um die Klassifikation bei dem herkömmlichen Fehlerklassifikations-/Inspektions-System auszuführen;
• Fig. 3 ist ein Blockdiagramm, welches den Aufbau eines Fehlerklassifikations- Inspektions-Systems gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt;
• Fig. 4 zeigt ein Beispiel der Ausübung der Datenbank-Bereitstellungsverarbeitung bei dem Fehlerklassifikations-/Inspektions-System; und
• Fig. 5 zeigt ein Beispiel der Ausführung einer automatischen Klassifikation auf der Basis einer hierarchischen Datenbank, welche durch die Datenbereitstellungsverarbeitung bereitgestellt wird, bei dem Fehlerklassifikations-/Inspektionssystem.
• Eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nun ausführlich mit Hilfe der Zeichnungen beschrieben.
• Die vorliegende Erfindung wird beispielsweise bei einem Fehlerklassifikations- Inspektions-System 100, welches in Fig. 3 gezeigt ist, angewandt.
• Das Fehlerklassifikations-/Inspektions-System 100 ist ausgebildet, um einen Fehler auf einem Halbleiterwafer 90, der auf einer Trägerplattform 10 angeordnet ist, als Inspektionsobjekt zu klassifizieren und zu inspizieren. Das Fehlerklassifikations-/Inspektions-System 100 besteht aus der Trägerplattform 10, welche durch eine Plattformsteuereinheit 1 gesteuert wird, einer Bildabtasteinheit 20, welche durch eine Bildabtast-Steuereinheit 2 gesteuert wird, und einem Fehlerbildspeicher 30, einem Referenzbildspeicher 40, einer Fehlerextraktionseinheit 50, einer Charakteristikextraktionseinheit 60, einer Datenbank-Bereitstellungseinheit 70 und einer Klassifikationsausübungseinheit 80, die durch eine Datenverarbeitungs-Steuereinheit 3 gesteuert werden.
• Bei diesem Fehlerklassifikations-/Inspektions-System 100 wird die Trägerplattform 10 durch die Plattformsteuereinheit 1 gesteuert, und die Positionen der Halbleiterwafers 90werden darauf in einer Koordinatenposition festgelegt, die durch die Plattformsteuereinheit 1 bestimmt wird.
• Die Bildabtasteinheit 20 ist dazu ausgebildet, ein Bild des Inspektionsobjekts abzutasten. Die Bildabtasteinheit 20 wird durch die Bildabtast-Steuereinheit 2 gesteuert, deren Fokussierung, Helligkeit und dgl. eingestellt ist, und sie tastet ein Bild der Fläche des Inspektionsobjekts auf der Trägerplattform 10 ab, d. h., den Halbleiterwafer 90. Ein Bildabtastausgangssignal dieser Bildabtasteinheit 20 wird als Bilddatei zum Fehlerbildspeicher 30 oder zum Referenzbildspeicher 40 geliefert.
• Der Fehlerbildspeicher 30 ist dazu ausgebildet, ein Fehlerbild zu speichern, welches ein Bild eines fehlerhaften Teils enthält, welches als Bildabtastausgangssignal der Bildabtasteinheit 20 erhalten wird. Das Schreiben bzw. das Lesen von Bilddaten in den Fehlerbildspeicher 30 oder daraus wird durch die Datenverarbeitungs-Steuereinheit 3 gesteuert. Die Fehlerbilddaten, die als Bildabtastausgangssignal der Bildabtasteinheit 20 erhalten werden, werden in den Fehlerbildspeicher 30 geschrieben, und die Fehlerbilddaten werden daraus gelesen.
• Der Referenzbildspeicher 40 ist dazu ausgebildet, ein Referenzbild, welches keinen Fehler hat, welches mit dem Fehlerbild verglichen wird, zu speichern. Das Schreiben bzw. das Lesen der Bilddaten in bzw. aus dem Referenzbildspeicher 40 wird durch die Datenverarbeitungs-Steuereinheit 3 gesteuert. Die Referenzbilddaten eines ähnlichen fehlerfreien Musters, die als Bildabtastausgangssignal der Bildabtasteinheit 20 erhalten werden, werden in den Referenzbildspeicher 40 geschrieben, und die Referenzbilddaten werden daraus gelesen.
• Wenn eine Datenbank vorbereitet und die Fehlerklassifikation ausgeführt wird, werden Fehlerbilddaten, welche ein Bild des fehlerhaften Teils enthalten, welches durch das Abtasten eines Bilds der Fläche des Halbleiterwafers 90 durch die Bildabtasteinheit 20 erhalten wird, in dem Zustand, wo die Trägerplattform 10 durch die Plattformsteuereinheit 1 auf der Basis von Koordinatenpositionsdaten eines Fehlers gesteuert wird, der bei der Fehlerinspektion auf dem Fließband des Halbleiterwafers 90 ermittelt wird und der Halbleiterwafer 90 auf der Trägerplattform 10 an der Koordinatenposition des Fehlers positioniert ist, in den Fehlerbildspeicher 30 geschrieben, und ein Bild, welches durch das Abtasten eines Bilds der Fläche des Halbleiterwafers 90 durch die Bildabtasteinheit 20 erhalten wird, wird in dem Zustand, wo der Halbleiterwafer 90 in der gleichen Position auf einem ähnlichen fehlerfreien Muster, positioniert ist, als Referenzbilddaten in den Referenzbildspeicher 40 geschrieben.
• Die Fehlerextraktionseinheit 50 ist ausgebildet, ein Inspektionsobjektbild, welches durch Abtasten eines Bilds des Inspektionsobjekts erhalten wird, mit einem Referenzbild, welches keinen Fehler hat, zu vergleichen, um dadurch ein Bild eines fehlerhaften Teils zu extrahieren. Die Fehlerextraktionseinheit 50 vergleicht die Fehlerbilddaten, die im Fehlerbildspeicher 30 gespeichert sind, mit den Referenzbilddaten, die im Referenzbildspeicher 40 gespeichert sind, wodurch der Unterschied zwischen dem fehlerhaften Bild als Bild des fehlerhaften Teils und dem Referenzbild des Halbleiterwafers 90, welches durch die Bildabtasteinheit 20 abgetastet wird, extrahiert wird. Das Bild des fehlerhaften Teils, welches durch die Fehlerextraktionseinheit 50 extrahiert wird, wird zur Charakteristikextraktionseinheit 60 geliefert.
• Die Charakteristikextraktionseinheit 60 extrahiert Information, beispielsweise die Größe, die Farbe, den Kontrast und die Form des Bilds des fehlerhaften Teils, welches durch die Fehlerextraktionseinheit 50 extrahiert wurde, und digitalisiert die Information als Charakteristikmenge.
• Die Charakteristikinformation, beispielsweise die Größe, die Farbe, der Kontrast und die Form, die durch die Charakteristikextraktionseinheit 60 extrahiert wurden, wird zur Datenbank-Vorbereitungseinheit 70 geliefert, wenn eine Datenbank vorbereitet wird, und sie wird zur Klassifikationsausführungseinheit 80 geliefert, wenn eine Fehlerklassifikation ausgeführt wird.
• Die Datenbank-Vorbereitungseinheit 70 besteht aus folgenden Einheiten: einem Vorklassifikations-Datenspeicher 70, um die Charakteristikinformation, die von der Charakteristikextraktionseinheit 60 geliefert wird, zu speichern; einer Fehlerklassifikationseinheit 72, um Fehler, welche ähnliche Charakteristiken aufweisen, auf der Basis der digitalisierten Charakteristikinformation, welche im Vorklassifikations-Datenspeicher 71 gespeichert wurde, automatisch zu gruppieren; einem Klassifikationsergebnisspeicher 73, um entsprechende Fehlergruppen, welche als Ergebnis der Klassifikation durch die Fehlerklassifikationseinheit 72 erhalten wurden, zu speichern; einer Anzeige- und Eingabeeinheit 74, um die entsprechenden Fehlergruppen, die im Klassifikationsergebnisspeicher 73 gespeichert sind, anzuzeigen, um ein Eingangssignal eines Klassifikationscodes von der Bedienungsperson zu akzeptieren und um ein Eingangssignal der Auswahl und der Bestimmung einer Fehlergruppe zu akzeptieren; einer Klassifikationscode-Bestimmungseinheit 75, um einen Klassifikationscode für die fehlerhafte Gruppe zu bestimmen, die durch die Bedienungsperson über die Anzeige-/Eingabeeinheit 74 von den jeweiligen Fehlergruppen, die im Klassifikationsergebnisspeicher 73 gespeichert sind, ausgewählt und bezeichnet sind, und um die Fehlerklassifikationseinheit 72 zu veranlassen, Fehler, die ähnliche Charakteristiken aufweisen, auf der Basis der digitalisierten Charakteristikinformation in bezug auf die Fehler, welche zur Fehlergruppe gehören, die somit ausgewählt und bezeichnet ist, neu zu gruppieren; einer Datenauswahleinheit 76, um die Charakteristikinformation der jeweiligen Fehlergruppen, die im Klassiflkationsergebnisspeicher 73 gespeichert sind, und die Klassifikationscodes, die dafür bereitgestellt sind, auszuwählen; und einen Datenbankspeicher 77, um als Datenbank die Charakteristikinformation der entsprechenden Fehlergruppen und die Klassifikationscodes, die dafür bereitgestellt sind, zu speichern, welche durch die Datenauswahleinheit 76 ausgewählt wurden. In dieser Datenbank- Vorbereitungseinheit 70 wird veranlaßt, in bezug auf die Fehler, die zur Fehlergruppe gehören, die durch die Bedienungsperson über die Anzeige-/Eingabeeinheit 74 ausgewählt und bezeichnet wurden, daß die Fehlerklassifikationseinheit 72 Fehler, die ähnliche Charakteristiken haben, auf der Basis der Charakteristikinformation neu gruppiert, die durch die Charakteristikextraktionseinheit 60 digitalisiert wurden, und eine Datenbank, in welcher die Fehler des Inspektionsobjekts hierarchisch klassifiziert sind, ist im Datenbankspeicher 77 vorbereitet.
• Die Klassifikationsausführungseinheit 80 besteht aus folgenden Einheiten: einer Vergleichs-/Klassifikationscode-Bereitstellungseinheit 81, um die Charakteristikinformation, die durch die Charakteristikextraktionseinheit 60 extrahiert und digitalisiert wurde, mit der Datenbank zu vergleichen, die durch die Datenbank-Bereitstellungseinheit 70 bereitgestellt wird, und um einen Klassifikationscode gemäß der Datenbank bereitzustellen; einer Klassifikationscode-Bestimmungseinheit 82, um zu bestimmen, ob die Verarbeitung auf der nächsten hierarchischen Ebene für den Klassifikationscode benötigt wird oder nicht, der durch die Vergleichs-/Klassifikationscode-Bereitstellungseinheit 81 bereitgestellt wird; und einer Klassifikationsergebnis-Ausgabeeinheit 83, um den Klassifikationscode, der durch die Vergleichs- /Klassifikationscode-Bereitstellungseinheit 81 bereitgestellt wird, auszugeben. Die Klassifikationsausführungseinheit 80 klassifiziert die Fehler des Halbleiterwafers 90 in bezug auf die Datenbank, die durch die Datenbank-Bereitstellungseinheit 70 vorgesehen ist, auf der Basis der Charakteristikinformation, die durch die Charakteristikextraktionseinheit 60 vom Bild des fehlerhaften Teils des Inspektionsobjekts extrahiert und digitalisiert wurde, d. h., dem Halbleiterwafer 90, der durch die Fehlerextraktionseinheit 50 extrahiert wurde.
• Bei dem Fehlerklassifikations-/Inspektions-System 100 mit oben beschriebenen Aufbau ist die Datenbank in der folgenden Weise vorbereitet, um die Fehlerklassifikation auszuführen.
• Insbesondere werden beim Datenbank-Vorbereitungsprozeß Fehlerbilddaten, welche ein Bild eines fehlerhaften Teils enthalten, das durch das Abtasten eines Bilds der Fläche des Halbleiterwafers 90 durch die Bildabtasteinheit 20 erhalten wird, in dem Zustand, wo die Trägerplattform 10 durch die Plattformsteuereinheit 1 auf der Basis von Koordinatenpositionsdaten eines Fehlers gesteuert wird, der bei der Fehlerinspektion auf dem Fließband des Halbleiterwafers 90 ermittelt wurde und der Halbleiterwafer 90 auf der Trägerplattform 10 in der Koordinatenposition des Fehlers positioniert ist, in den Fehlerbildspeicher 30 geschrieben, und ein Bild, welches durch Abtasten eines Bilds der Fläche des Halbleiterwafers 90 durch die Bildabtasteinheit 20 erhalten wird, wird in dem Zustand, wo der Halbleiterwafer 90 in der gleichen Position auf einem ähnlichen Muster, welches keinen Fehler aufweist, positioniert ist, als Referenzbilddaten in den Referenzbildspeicher 40 geschrieben.
• Anschließend vergleicht die Fehlerextraktionseinheit 50 die Fehlerbilddaten, die Fehlerbildspeicher 30 gespeichert sind, mit den Referenzbilddaten, die im Referenzbildspeicher 40 gespeichert sind, wodurch der Unterschied zwischen dem fehlerhaften Bild als Bild des fehlerhaften Teils und dem Referenzbild des Halbleiterwafers 90, welches durch die Bildabtasteinheit 20 abgetastet wurde, extrahiert wird. Die Charakteristikextraktionseinheit 60 extrahiert die Information, beispielsweise die Größe, die Farbe, den Kontrast und die Form des Bilds des fehlerhaften Teils, welches durch die Fehlerextraktionseinheit 50 extrahiert wurde, und digitalisiert die Information als charakteristische Menge. Beispielsweise wird der Bereich selbst als Größe gespeichert, und die Helligkeit von Primärfarben als die Farbe gespeichert. Das Verhältnis des Maximalwerts zu einem Minimalwerts der Luminanz innerhalb des fehlerhaften Bilds wird als Kontrast gespeichert. Als Form werden die Art des ähnlichsten Formmodells und dessen Komponentenverhältnis, beispielsweise ein Durchmesserverhältnis im Fall einer Ellipse oder das Verhältnis von zwei Seiten im Fall eines Rechteckes gespeichert.
• Die Datenbank-Vorbereitungseinheit 70 speichert die digitalisierte Charakteristikinformation, die von der Charakteristikextraktionseinheit 60 erhalten wird, im Vorklassifikations-Datenspeicher 71, bewirkt dann, daß die Fehlerklassifikationseinheit 72 automatisch Fehler, die ähnliche Eigenschaften haben, auf der Basis der digitalisierten Charakteristikinformation gruppiert, und die entsprechenden Fehlergruppen, die als Ergebnis der Klassifikation durch die Fehlerklassifikationseinheit 72 erhalten werden, im Klassifikationsergebnisspeicher 73 speichert.
• Die automatische Klassifkation in der Fehlerklassifikationseinheit 72 wird beispielsweise gemäß der folgenden Prozedur ausgeführt.
• Die Anzahl von Gruppen, in welche die Charakteristiken zu klassifizieren sind, wird vorher als Parameter festgelegt. Nachdem alle Fehler beispielsweise in drei Gruppen durch die Größe klassifiziert sind, wird jede Gruppe weiter auf der Basis des Formmodells und dessen Komponentenverhältnisses unterteilt. Durch aufeinanderfolgendes Anwenden der entsprechenden Charakteristiken wie oben beschrieben wird die Gruppe gemäß dem Unterschied im numerischen Wert hilfsunterteilt.
• Die Bedienungsperson bestätigt das Ergebnis der Klassifikation durch die Fehlerklassifikationseinheit 72 über die Anzeige-/Eingabeeinheit 74. Die Bedienungsperson bestimmt, ob die Gruppe lediglich aus einzigen Fehlern besteht oder ob mehrere Fehler in der Gruppe gemischt sind, und sie bestimmt außerdem die Art des Fehlers. Die Bedienungsperson versieht dann die entsprechenden Fehlergruppen, welche die Identifikation der jeweiligen Fehlergruppen ermöglichen, über die Anzeige-/Eingabeeinheit mit Klassifikationscodes 74. Die Redundanz der Fehlerinformation der jeweiligen Fehlergruppen, die mit den Klassifikationscodes versehen sind, wird durch die Datenauswahleinheit 76 beseitigt, und die resultierende Fehlerinformation wird dann im Datenbankspeicher 77 zusammen mit den Klassifikationscodes gespeichert.
• Von den Fehlergruppen, die im Klassiflkationsergebnisspeicher 73 gespeichert sind, wird eine Gruppe, in welcher mehrere Fehler gemischt sind, durch die Bedienungsperson über die Anzeige-/Eingabeeinheit 74 ausgewählt und bestimmt. Wenn dann die Klassifikationscodes der jeweiligen Fehlergruppen durch die Klassifikationscode-Bestimmungseinheit 75 bestimmt sind, wird die charakteristische Information von Fehlern, die zur Fehlergruppe gehören, in welcher mehrere Fehler gemischt sind, identifiziert. In bezug auf die Fehler, die zur Fehlergruppe gehören, in welcher mehrere Fehler gemischt sind, werden Fehler, die ähnliche Charakteristiken haben, durch die Fehlerklassifikationseinheit 72 auf der Basis der Charakteristikinformation, die durch die Charakteristikextraktionseinheit 60 digitalisiert ist, neu gruppiert, und Klassifikationscodes werden für die resultierenden Gruppen bereitgestellt. Die Bedienungsperson bestätigt wieder das Vorhandensein der gemischten Gruppe und wiederholt die Klassifikationsverarbeitung, bis keine gemischte Gruppe mehr existiert. Jedesmal, wenn die Bedienungsperson die Klassifikationsverarbeitung ausführt, bereitet die Bedienungsperson eine Datenbank für diese hierarchische Ebene vor.
• Beim Klassifikationsausführungsprozeß werden zunächst Fehlerbilddaten, welche ein Bild eines fehlerhaften Teils enthalten, das durch Abtasten eines Bilds der Fläche des Halbleiterwafers 90 durch die Bildabtasteinheit 20 erhalten wird, in dem Zustand, wo die Trägerplattform 10 durch die Plattformsteuereinheit 1 gesteuert wird, auf der Basis der Koordinatenpositionsdaten eines Fehlers, der bei der Fehlerinspektion auf dem Fließband des Halbleiterwafers 90 ermittelt wird und der Halbleiterwafer 90 auf der Trägerplattform 10 an der Koordinatenposition des Fehlers positioniert ist, in den Fehlerbildspeicher 30 geschrieben, und ein Bild, welches durch Abtasten eines Bilds der Fläche des Halbleiterwafers 90 durch die Bildabtasteinheit 20 erhalten wird, wird in dem Zustand, wo der Halbleiterwafer 90 an der gleichen Position auf einem ähnlichen Muster positioniert ist, welches keinen Fehler aufweist, als Referenzbilddaten in den Referenzbildspeicher 40 geschrieben.
• Danach vergleicht die Fehlerextraktionseinheit 50 die Fehlerbilddaten, die im Fehlerbildspeicher 30 gespeichert sind, mit den Referenzbilddaten, die im Referenzbildspeicher 40 gespeichert sind, wodurch der Unterschied zwischen dem fehlerhaften Bild als Bild des fehlerhaften Teils und dem Referenzbild des Halbleiterwafers 90 extrahiert wird, welches durch die Bildabtasteinheit 20 abgetastet wurde. Die Charakteristikextraktionseinheit 60 extrahiert die Information, beispielsweise die Größe, die Farbe, den Kontrast und die Form des Bildes des fehlerhaften Teils, welches durch die Fehlerextraktionseinheit 50 extrahiert wurde, und digitalisiert die Form als charakteristische Menge.
• In der Klassifikationsausführungseinheit 80 vergleicht die Vergleichs- /Klassifikationscode-Bereitstellungseinheit 81 die digitalisierte charakteristische Information, die von der Charakteristikextraktionseinheit 60 erhalten wird, mit der. Datenbank, welche durch die Datenbank-Bereitstellungseinheit 70 vorgesehen ist, und stellt einen Klassifikationscode gemäß der Datenbank bereit. Die Klassifikationscode-Bestimmungseinheit 82 bestimmt, ob der Klassifikationscode, der durch die Vergleichs-/Klassifikationscode-Bereitstellungseinheit 81 bereitgestellt wird, einen weiteren Vergleich auf der nächsten hierarchischen Ebene erfordert oder nicht. Wenn der Klassifikationscode einen weiteren Vergleich auf der nächsten hierarchischen Ebene erfordert, führt die Vergleichs-/Klassifikationscode-Bereitstellungseinheit 81 einen Vergleich auf der nächsten hierarchischen Ebene durch und stellt einen Klassifikationscode bereit. In der Vergleichs-/Klassifikationscode-Bereitstellungseinheit 81 wird der Fehler, der mit dem Klassifikationscode bereitstellt wird, der einen weiteren Vergleich erfordert, wieder mit einer Datenbank auf der nächsten hierarchischen Ebene verglichen, die durch die Datenbank-Bereitstellungseinheit 70 bereitgestellt wird und wird mit einem Klassifikationscode bereitgestellt. Die Klassifikationsverarbeitung wird wiederholt, bis ein Klassifikationscode, der keinen weiteren Vergleich erfordert, durch die Vergleichs- /Klassifikationscode-Bereitstellungseinheit 81 bereitgestellt wird. Der Fehler, der mit dem Klassifikationscode bereitgestellt wird, der keinen weiteren Klassifikationscode erfordert und dessen Klasse entschieden wurde, wird jedesmal zur Klassifikationsergebnis-Ausgabeeinheit 83 geliefert.
• Fig. 4 zeigt ein Beispiel einer Ausübung der Datenbank-Vorbereitungsverarbeitung im Fehlerklassifikations-/Inspektions-System 100 mit dem oben beschriebenen Aufbau. In dem Ausführungsbeispiel, das in Fig. 4 gezeigt ist, wird die folgende Prozedur bestimmt und durch die Datenverarbeitungs-Steuereinheit 3 ausgeführt.
• Bilddateien eines Fehlerbildes und eines Referenzbildes, welches durch die Bildabtasteinheit 20 abgetastet wurde, werden in den Fehlerbildspeicher 30 bzw. den Referenzbildspeicher 40 hereingenommen. Ein Differenzbild zwischen dem Fehlerbild und dem Referenzbild wird durch die Fehlerextraktionseinheit 50 als Fehlerinformation extrahiert. Von der extrahierten Fehlerinformation wird die Information, beispielsweise die Größe, die Farbe, der Kontrast und die Form durch die Charakteristikextraktionseinheit 60 als charakteristische Information des fehlerhaften Bilds digitalisiert.
• Die Datenbank-Vorbereitungseinheit 70 führt zunächst eine Datenbank-Vorbereitungsverarbeitung 70A in bezug auf die erste hierarchische Ebene aus.
• Im Datenbank-Vorbereitungsprozeß 70A in bezug auf die erste hierarchische Ebene wird die charakteristische Information des Fehlerbilds vorübergehend im Vorklassifikations- Datenspeicher 71 gespeichert und dann automatisch in mehrere Gruppen, die ähnliche Charakteristiken haben, durch die Fehlerklassifikationseinheit 72 klassifiziert. Diese Gruppen werden als "Klasse 1" bis "Klasse 4" im Klassifikationsergebnisspeicher 73 gespeichert. Dann wird durch die Bedienungsperson eine Klasse a als eine Gruppe zugeteilt, die lediglich aus einzigen Fehlern besteht, und Klassen b, c, d werden Gruppen zugeteilt, in welchen Fehler gemischt sind. In diesem Zeitpunkt können, da die automatische Klassifikation schon durchgeführt wurde und es nicht erforderlich ist, daß die Bedienungsperson die Klassifikation auf der Basis der Selbstbestimmung durchführt, die Bestimmung und die Bereitstellung des Klassifikationscodes relativ einfach ausgeführt werden. Die Redundanz der Fehlerinformation der Klassen a bis d, die mit dem Klassifikationscode bereitgestellt werden, wird beseitigt, und die charakteristische Information der entsprechenden Klassen a bis d zusammen mit den Klassifikationscodes wird im Datenbankspeicher 77 als Datenbank D1 der ersten hierarchischen Ebene gespeichert.
• In bezug auf die Klassen b und c der Gruppen, die gemischte Fehler haben, wird eine erste Datenbank-Vorbereitungsverarbeitung 70B1 in bezug auf die zweite hierarchische Ebene ausgeführt. Weiter wird in bezug auf die Klasse d eine zweiten Datenbank-Vorbereitungsverarbeitung 70B2 in bezug auf die zweite hierarchische Ebene ausgeführt.
• Bei der ersten Datenbank-Vorbereitungsverarbeitung 70B1 in bezug auf die zweite hierarchische Ebene wird ähnlich der Datenbank-Vorbereitungsverarbeitung 70A in bezug auf die erste hierarchische Ebene die Fehlerinformation automatisch durch die Fehlerklassifikationseinheit 72 klassifiziert und das Ergebnis der Klassifikation im Klassifikationsergebnisspeicher 73 gespeichert. Nachdem eine Klasse e einer Einzelfehler-Gruppe zugeteilt ist und die Klassen f und g den gemischten Fehlergruppen durch die Bedienungsperson zugeteilt sind, wird die charakteristische Information der Klassen e bis g zusammen mit den Klassifikationscodes im Datenbankspeicher 77 als erste Datenbank D21 der zweiten hierarchischen Ebene gespeichert.
• Außerdem wird in bezug auf die Klassen f und g der gemischten Fehlergruppen eine Datenbank-Vorbereitungsverarbeitung 70C in bezug auf die dritte hierarchische Ebene ausgeführt.
• Bei der zweiten Datenbank-Vorbereitungsverarbeitung 70B2 in bezug auf die zweite hierarchische Ebene wird ähnlich der Datenbank-Vorbereitungsverarbeitung 70A in bezug auf die erste hierarchische Ebene die Fehlerinformation automatisch durch die Fehlerklassifikationseinheit 72 klassifiziert und das Ergebnis der Klassifikation im Klassifikationsergebnisspeicher 73 gespeichert. Die Bedienungsperson teilt Klassen h bis i den Einzelfehlergruppen zu und erkennt aus den bereitgestellten Klassifikationscodes, daß diese Gruppen nicht zur nächsten hierarchischen Ebene geliefert werden müssen. Die charakteristische Information der Klassen h und i zusammen mit den Klassifikationscodes wird als Datenbank D22 der zweiten hierarchischen Ebene gespeichert und die Verarbeitung wird beendet.
• Wie für den Verarbeitungsfluß der Fehlerinformation bei der Datenbank-Vorbereitungsverarbeitung 70C in bezug auf die dritte hierarchische Ebene teilt ähnlich wie bei der zweiten Datenbank-Vorbereitungsverarbeitung 70B2 in bezug auf die zweite hierarchische Ebene nach der automatischen Klassifikation und der Bereitstellung der Klassifikationscodes die Bedienungsperson die Klassen j und k zu und erkennt aus den bereitgestellten Klassifikationscodes, daß diese Gruppen nicht zur nächsten hierarchischen Ebene geliefert werden müssen. Die Klassen j und k werden im Datenbankspeicher 77 als Datenbank D3 der dritten hierarchischen Ebene gespeichert und die Verarbeitung endet.
• Gemäß der oben beschriebenen Datenbank-Vorbereitungsverarbeitung ist die Klassifikation durch hierarchisches Vorbereiten der Datenbank leichter gemacht. Das heißt, da lediglich die Klassen, die offenstehende Charakteristiken haben, sequentiell entschieden werden können, ist es einfacher, die Ähnlichkeiten zwischen Klassifikationsgruppen zu beseitigen, als in dem Fall, wo die gesamte Klassifikation auf der Basis einer Datenbank in bezug auf eine einzige Ebene ausgeführt wird.
• Fig. 5 zeigt ein Ausführungsbeispiel der automatischen Klassifikation auf der Basis der vorbereiteten hierarchischen Datenbank. Bei dem Ausführungsbeispiel, welches in Fig. 5 gezeigt ist, wird die folgende Prozedur entschieden und durch die Datenverarbeitungs-Steuereinheit 3 ausgeführt.
• Bilddateien eines Fehlerbilds bzw. eines Referenzbilds, welche durch die Bildabtasteinheit 20 abgetastet wurden, werden in den Fehlerbildspeicher 30 bzw. in den Referenzbildspeicher 40 hereingenommen. Ein Differenzbild zwischen dem Fehlerbild und dem Referenzbild wird durch die Fehlerextraktionseinheit 50 als Fehlerinformation extrahiert. Von der extrahierten Fehlerinformation wird die Information, beispielsweise die Größe, die Farbe, der Kontrast und die Form durch die Charakteristikextraktionseinheit 60 als charakteristische Information des Fehlerbilds digitalisiert.
• Die Klassifikationsausführungseinheit 80 führt eine Klassifikationsausführungsverarbeitung 80A in bezug auf die erste hierarchische Ebene aus.
• Bei der Klassifikationsausführungsverarbeitung 80A in bezug auf die erste hierarchische Ebene wird die charakteristische Information des Fehlerbilds, welche durch die Charakteristikextraktionseinheit 60 digitalisiert wurde, mit der Charakteristikinformation der Klassen a bis d verglichen, die in einer Datenbank D 1 der ersten hierarchischen Ebene enthalten ist, und der Code der Klasse, welche übereinstimmende Charakteristiken hat, wird dafür durch die Vergleichs-/Klassiflkationscode-Bereitstellungseinheit 81 bereitgestellt. Bei diesem Beispiel wird, wenn der Klassifikationscode, der im Klassifikationsausführungsprozeß 80A in bezug auf die erste hierarchische Ebene bereitgestellt wird, die Klasse a ist, der Klassifikationscode als solcher bestimmt und zur Klassifikationsergebnis-Ausgabeeinheit 83 geliefert, wodurch die Klassifikationsverarbeitung beendet wird.
• Wenn der Klassifikationscode, der im Klassifikationsausführungsprozeß 80A in bezug auf die erste hierarchische Ebene bereitgestellt wird, die Klasse b oder c ist oder eine Klasse x, die eine unbestimmte Klasse zeigt, wird eine erste Klassifikationsausführungsverarbeitung 80B1 in bezug auf die zweite hierarchische Ebene in bezug auf den Fehler ausgeführt.
• Bei der ersten Klassifikationsausführungsverarbeitung 80B1 in bezug auf die zweite hierarchische Ebene wird in bezug auf den Fehler, der mit dem Klassifikationscode bereitgestellt wird, der die Klasse b oder c oder die Klasse x ist, die eine unbestimmte Klasse zeigt, als Ergebnis der Klassifikationsausführungsverarbeitung 80A in bezug auf die erste hierarchische Ebene die charakteristische Information des Fehlerbilds mit der charakteristischen Information der Klassen e, f und g verglichen, die in einer ersten Datenbank D21 der zweiten hierarchischen Ebene enthalten ist, und der Code der Klasse, welche die übereinstimmende Charakteristik hat, wird dafür durch die Vergleichs-/Klassifikationscode-Bereitstellungseinheit 81 bereitgestellt. Bei diesem Beispiel wird, wenn der Klassifikationscode, der in der ersten Klassifikationsausführungsverarbeitung 80B1 in bezug auf die zweite hierarchische Ebene die Klasse e ist, der Klassifikationscode somit bestimmt und zur Klassifikationsergebnis- Ausgabeeinheit 83 geliefert, wodurch die Klassifikationsverarbeitung beendet ist.
• Wenn der Klassifikationscode, der bei der ersten Klassifikationsausführungsverarbeitung 80B1 in bezug auf die zweite hierarchische Ebene bereitgestellt wird, die Klasse f oder g oder eine Klasse x ist, welche eine unbestimmte Klasse zeigt, wird eine Klassifikationsausführungsverarbeitung 80C in bezug auf die dritte hierarchische Ebene in bezug auf den Fehler ausgeführt.
• Bei der Klassifikationsausführungsverarbeitung 80C in bezug auf die dritte hierarchische Ebene wird in bezug auf den Fehler, der mit dem Klassifikationscode bereitgestellt wird, der Klasse f oder g oder die Klasse x ist, die eine unbestimmte Klasse zeigt, als Ergebnis der ersten Klassifikationsausführungsverarbeitung 80B1 in bezug auf die zweite hierarchische Ebene die charakteristische Information des Fehlerbilds mit der charakteristischen Information der Klassen j und k verglichen, welche in einer Datenbank D3 der dritten hierarchischen Ebene enthalten sind, und der Code der Klasse, die die übereinstimmende Charakteristik hat, wird durch die Vergleichs-/Klassifikationscode-Bereitstellungseinheit 81 dazu bereitgestellt. Bei diesem Beispiel wird der Klassifikationscode, der die Klasse j, k oder die unbestimmte Klasse x ist, der bei der Klassifikationsausführungsverarbeitung 80C in bezug auf die dritte hierarchische Ebene bereitgestellt wird, somit bestimmt und zur Klassifikationsergebnis-Ausgabeeinheit geliefert, wodurch die Klassifikationsverarbeitung beendet ist.
• Wenn der Klassifikationscode, der in der Klassifikationsausführungsverarbeitung 80A in bezug auf die erste hierarchische Ebene bereitgestellt wird, die Klasse d ist, wird eine zweite Klassifikationsausführungsverarbeitung 80B2 in bezug auf die zweite hierarchische Ebene in bezug auf den Fehler ausgeführt.
• Bei der zweiten Klassifikationsausführungsverarbeitung 80B2 in bezug auf die zweite hierarchische Ebene wird in bezug auf den Fehler, der mit dem Klassifikationscode der Klasse d bei der Klassifikationsausführungsverarbeitung 80A in bezug auf die erste hierarchische Ebene bereitgestellt wird, die charakteristische Information des Fehlerbilds mit der charakteristischen Information der Klassen h und i verglichen, die in einer zweiten Datenbank D22 der zweiten hierarchischen Ebene enthalten sind, und der Code der Klasse, die übereinstimmende Charakteristiken hat, wird durch die Vergleichs-/Klassifikationscode-Bereitstellungseinheit 81 dafür bereitgestellt. In diesem Beispiel wird der Klassifikationscode, der die Klasse h, i oder die unbestimmte Klasse x ist, die in der Klassifikationsausführungsverarbeitung 80C in bezug auf die dritte hierarchische Ebene bereitgestellt werden, somit bestimmt und zur Klassifikationsergebnis-Ausgabeeinheit 83 geliefert, wodurch die Klassifikationsverarbeitung beendet ist.
• Gemäß der oben beschriebenen automatischen Klassifikationsverarbeitung werden die Charakteristiken mit einer unterschiedlichen Datenbank einer jeden hierarchischen Ebene verglichen, und die Klassifikationscodes werden sequentiell aus der Klasse bestimmt, die offenstehende Charakteristiken haben, wodurch eine hochgenaue Klassifikation ermöglicht wird.
• Bei dem oben beschriebenen Fehlerklassifikations-/Inspektions-System vergleicht die Fehlerextraktionseinheit 50 die Fehlerbilddaten, welche im Fehlerbildspeicher 30 gespeichert sind, mit Referenzbilddaten, die im Referenzbildspeicher 40 gespeichert sind, wodurch der Unterschied zwischen einem Fehlerbild als Bild eines fehlerhaften Teils und einem Referenzbild des Halbleiterwafers 90, welche durch die Bildabtasteinheit 20 abgetastet wurden, extrahiert wird. Der Speicherbereich im Bildspeicher kann jedoch unterteilt sein, um die Referenzbilddaten und die Fehlerbilddaten zu speichern. Im Fall eines Inspektionsobjekts, auf welchen ein Wiederholungsmuster gebildet ist, kann ein Teil eines Bilds des Wiederholungsmusters, welches durch die Bildabtasteinheit eines Bilds des Inspektionsobjekts erhalten wird, als Referenzbild verwendet werden, und ein Bild eines fehlerhaften Teils kann auf der Basis einer Änderung des Bilds des Wiederholungsmusters extrahiert werden.

Claims (3)

1. Fehlerklassifikations-/Inspektions-System (100), welches aufweist:
eine Fehlerextraktionseinheit (50), um ein Bild eines Inspektionsobjekts abzutasten und um das Bild mit einem Referenzbild zu vergleichen, welches keinen Fehler aufweist, wodurch ein Bild eines fehlerhaften Teils extrahiert wird;
eine Charakteristikextraktionseinheit (60), um die Menge der Charakteristiken des Bildes des fehlerhaften Teils, welches durch die Fehlerextraktionseinheit (SO) extrahiert wurde, zu extrahieren und zu digitalisieren;
eine Datenbank-Vorbereitungseinheit (70), die eine Fehlerklassifikationseinrichtung enthält, um Fehler, die ähnliche Charakteristiken haben, auf der Basis der charakteristischen Information, die durch die Charakteristikextraktionseinheit (60) digitalisiert wurde, zu gruppieren, eine Klassifikationscode-Bereitstellungseinrichtung (81), um einen Klassifikationscode für die Fehler, die durch die Fehlerklassifikationseinrichtung gruppiert sind, bereitzustellen, eine Speichereinrichtung, um die charakteristische Information der Fehler, die durch die Fehlerklassifikationseinrichtung gruppiert sind, zusammen mit dem Klassifikationscode, der durch die Klassifikationscode-Bereitstellungseinrichtung (81) bereitgestellt wird, als eine Datenbank zu speichern, und eine Auswahl-Bestimmungseinrichtung, um eine Fehlergruppe, für welche eine Datenbank einer nächsten hierarchischen Ebene vorzubereiten ist, von den entsprechenden Fehlergruppen, die gruppierte Fehler haben und für die der Klassifikationscode bereitgestellt wurde, auszuwählen und zu bestimmen, wobei die Datenbank-Vorbereitungseinheit (70) Fehler, die ähnliche Charakteristiken haben, durch die Fehlerklassifikationseinrichtung auf der Basis der charakteristischen Information, die durch die Charakteristikextraktionseinrichtung digitalisiert wurde, m bezug auf die Fehler, die zur Fehlergruppe gehören, welche durch die Auswahl-Bestimmungseinrichtung ausgewählt und bestimmt wurde, neu gruppiert, und wobei eine Datenbank vorbereitet wird, bei welcher die Fehler des Inspektionsobjekts hierarchisch klassifiziert sind; und
eine Klassifkationsausführungseinheit (80), um die Fehler des Inspektionsobjekts in bezug auf die Datenbank, die durch die Datenbank-Vorbereitungseinheit (70) bereitgestellt wird, auf der Basis der digitalisierten charakteristischen Information, die durch die Charakteristikextraktionseinheit (60) extrahiert wurde, von dem Bild des fehlerhaften Teils des Inspektionsobjekts, welches durch die Fehlerextraktionseinheit (50) extrahiert wurde, hierarchisch zu klassifizieren.

2. Fehlerklassifikations-/Inspektions-System nach Anspruch 1, wobei die Fehlerextraktionseinheit (50) das Bild des fehlerhaften Teils auf der Basis einer Änderung eines Wiederholungsmusters des Bilds extrahiert, welches durch Abtasten des Bilds des Inspektionsobjekts erhalten wird.

3. Fehlerklassifikations-/Inspektions-System nach Anspruch 1, wobei die Klassifikationsausführungseinheit (80) die digitalisierte charakteristische Information, die durch die Charakteristikextraktionseinheit (60) extrahiert wurde, mit der Datenbank vergleicht, die durch die Datenbank-Vorbereitungseinheit (70) vorgesehen ist, und einen Klassifikationscode bereitstellt, um dadurch den Fehler des Inspektionsobjekts hierarchisch zu klassifizieren.