JP5448598B2 - パーティクル発生要因判定システム、課金方法、及び記憶媒体 - Google Patents
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Description
・テーパパッド対応領域内割合 = テーパパッド対応領域25内におけるパーティクル分布密度/パーティクルマップにおける半径200mm〜300mmの間(外側)におけるパーティクル分布密度
・テーパパッド周辺領域内割合 = テーパパッド周辺領域26内におけるパーティクル分布密度/パーティクルマップにおける半径200mm〜300mmの間(外側)におけるパーティクル分布密度
・テーパパッド対応領域内集中度 = テーパパッド対応領域25内のパーティクル数/(テーパパッド対応領域25内のパーティクル数+テーパパッド周辺領域26内のパーティクル数)×100
さらに、確度を下記式から算出し(ステップS53)、ステップS55に進む。
確度 = テーパパッド対応領域内割合+テーパパッド周辺領域内割合×テーパパッド対応領域内集中度
続くステップS55では、算出された確度が0より大きいか否かを判別し、算出された確度が0である場合、本処理を終了し、算出された確度が0より大きい場合、該確度にパーティクルの形状及びサイズから算出された確度を加算し(ステップS56)、本処理を終了する。
確度 = 安定度×100
ここで、安定度は下記式から算出される。
安定度 = ベクトル平均/スカラー平均
但し、ベクトル平均は、パーティクルマップの中心を原点とした場合のパーティクルマップにおける半径250mm以上の領域に存在する全てのパーティクルの位置ベクトルのx成分及びy成分をそれぞれの平均した平均x成分及び平均y成分に対応するポイントの座標の原点からの距離であり、スカラー平均は、パーティクルマップにおける半径250mm以上の領域に存在する全てのパーティクルのパーティクルマップの中心からの距離の平均値である。
確度 = テーパパッド対応領域を除外した場合の安定度×100
テーパパッド対応領域を除外した場合の安定度は、パーティクルマップにおける半径250mm以上の領域であって、テーパパッド対応領域が除外された領域に存在する全てのパーティクルに関する安定度である。この安定度も上記式から算出される。
課金額 = ROK(初期値、フィードバック値の両方を含む)×ROK係数×提供される発生要因関連情報27に関連するパーティクル発生要因の確度×当該発生要因関連情報27の今までの選択頻度 … (1)
「ROK係数」は、課金額を適切な額に調整するためにハイエンドユーザやシステム管理者が設定する係数であり、「発生要因関連情報27の今までの選択頻度」は、今までパーティクル発生要因の判定が行われた回数に対する、当該発生要因関連情報27が画像キーワードやテキストキーワードに基づいて今まで選択された回数の割合である。
11 ユーザインターフェイス装置
12 データベース装置
13 サーバ装置
16,18 確認用画像
22 入力用画像
27 発生要因関連情報
28 解析結果表示画像
31 関連情報リスト
Claims (10)
- 表示部を有し、ユーザが基板に付着したパーティクルに関する第1の情報を入力するユーザインターフェイス装置と、複数のパーティクル発生要因の各々についての可能性を検討するサーバ装置とを少なくとも備えるパーティクル発生要因判定システムにおける課金方法であって、
前記サーバ装置が、前記入力された第1の情報を受け取り、該受け取った第1の情報に基づいて、前記複数のパーティクル発生要因の各々についての可能性を点数として算出する点数算出ステップと、
前記ユーザインターフェイス装置が、前記算出された各点数とともに該点数に対応する前記各パーティクル発生要因に関する第2の情報の一部を前記表示部に表示する情報表示ステップと、
前記サーバ装置が、ユーザによってなされる前記表示された第2の情報の一部の選択に応じて前記第2の情報を前記ユーザインターフェイス装置に提供するとともに、前記第2の情報の提供に課金する課金ステップとを有し、
前記課金ステップでは、少なくとも前記提供される第2の情報に対応する前記パーティクル発生要因の点数に基づいて課金額が決定され、
前記提供される第2の情報は、前記第2の情報の全体又は前記第2の情報におけるより詳細な情報であることを特徴とする課金方法。 - 前記課金ステップでは、さらに、前記第2の情報の収益への寄与実績、前記第2の情報を以前に利用した他のユーザによる評価値、今までの前記第2の情報の提供回数、前記第2の情報が最後に提供されてからの経過時間の少なくとも1つに基づいて、前記課金額が決定されることを特徴とする請求項1記載の課金方法。
- 前記課金ステップでは、前記第2の情報の提供形態に応じて前記課金額が決定されることを特徴とする請求項1又は2記載の課金方法。
- 前記課金ステップでは、前記第2の情報のカテゴリに応じて前記課金額が決定されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の課金方法。
- 前記第1の情報はパーティクルに関する画像データからなり、
前記点数算出ステップでは、前記サーバ装置が、前記画像データの画像解析結果に基づいて前記点数を算出することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の課金方法。 - 前記サーバ装置が、前記複数のパーティクル発生要因の各々に関連する第1のキーワードを取得し、該取得された第1のキーワードに基づいて前記第2の情報を選択して取得することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の課金方法。
- 前記第1の情報はパーティクルに関するドキュメントデータからなり、
前記ユーザインターフェイス装置が前記ドキュメントデータからテキストマイニングによって第2のキーワードを抽出し、
前記サーバ装置が、前記抽出された第2のキーワードに基づいて前記第2の情報を選択して取得することを特徴とする請求項6記載の課金方法。 - 前記パーティクル発生要因判定システムはさらにデータベース装置を備え、
前記第2の情報はドキュメントデータからなり、前記データベース装置に格納され、
前記データベース装置は、前記第2の情報の選択に先立ち、前記各第2の情報からテキストマイニングによって第3のキーワードを抽出することを特徴とする請求項6又は7記載の課金方法。 - 表示部を有し、ユーザが基板に付着したパーティクルに関する第1の情報を入力するユーザインターフェイス装置と、複数のパーティクル発生要因の各々についての可能性を検討するサーバ装置とを少なくとも備えるパーティクル発生要因判定システムにおいて、
前記サーバ装置が、前記入力された第1の情報を受け取り、該受け取った第1の情報に基づいて、前記複数のパーティクル発生要因の各々についての可能性を点数として算出し、
前記ユーザインターフェイス装置が、前記算出された各点数とともに該点数に対応する前記各パーティクル発生要因に関する第2の情報の一部を前記表示部に表示し、
前記サーバ装置が、ユーザによってなされる前記表示された第2の情報の一部の選択に応じて前記第2の情報を前記ユーザインターフェイス装置に提供するとともに、前記第2の情報の提供に課金し、
前記第2の情報の提供に対する課金額は、少なくとも前記提供される第2の情報に対応する前記パーティクル発生要因の点数に基づいて決定され、
前記提供される第2の情報は、前記第2の情報の全体又は前記第2の情報におけるより詳細な情報であることを特徴とするパーティクル発生要因判定システム。 - 表示部を有し、ユーザが基板に付着したパーティクルに関する第1の情報を入力するユーザインターフェイス装置と、複数のパーティクル発生要因の各々についての可能性を検討するサーバ装置とを少なくとも備えるパーティクル発生要因判定システムにおける課金方法をコンピュータに実行させるプログラムを格納するコンピュータで読み取り可能な記憶媒体であって、前記課金方法は、
前記サーバ装置が、前記入力された第1の情報を受け取り、該受け取った第1の情報に基づいて、前記複数のパーティクル発生要因の各々についての可能性を点数として算出する点数算出ステップと、
前記ユーザインターフェイス装置が、前記算出された各点数とともに該点数に対応する前記各パーティクル発生要因に関する第2の情報の一部を前記表示部に表示する情報表示ステップと、
前記サーバ装置が、ユーザによってなされる前記表示された第2の情報の一部の選択に応じて前記第2の情報を前記ユーザインターフェイス装置に提供するとともに、前記第2の情報の提供に課金する課金ステップとを有し、
前記課金ステップでは、少なくとも前記提供される第2の情報に対応する前記パーティクル発生要因の点数に基づいて課金額が決定され、
前記提供される第2の情報は、前記第2の情報の全体又は前記第2の情報におけるより詳細な情報であることを特徴とする記憶媒体。
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