KR101131120B1 - 파티클 발생 요인 판정 시스템, 과금 방법 및 기억 매체 - Google Patents

파티클 발생 요인 판정 시스템, 과금 방법 및 기억 매체 Download PDF

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Abstract

유저의 파티클 발생 요인 판정 시스템의 이용에 관한 인센티브를 줄 수 있는 과금 방법을 제공한다. 유저가 파티클 맵을 입력하는 유저 인터페이스 장치(11)와 서버 장치(13)를 구비한 파티클 발생 요인 판정 시스템(10)에서, 서버 장치(13)가 파티클 맵에 기초하여 복수의 파티클 발생 요인의 각각에 대한 정확도를 산출하고, 유저 인터페이스 장치(11)가 산출된 각 정확도 또는 이 정확도에 대응하는 각 파티클 발생 요인에 관한 발생 요인 관련 정보(27)의 표제 등을 표시하고, 서버 장치(13)가 발생 요인 관련 정보(27)를 유저 인터페이스 장치(11)로 제공하고, 적어도 제공되는 발생 요인 관련 정보(27)에 대응하는 파티클 발생 요인의 정확도에 기초하여 결정된 과금액을 발생 요인 관련 정보(27)의 제공에 대하여 과금한다.

Description

파티클 발생 요인 판정 시스템, 과금 방법 및 기억 매체{PARTICLE GENERATION FACTOR DETERMINING SYSTEM, CHARGING METHOD AND STORAGE MEDIUM}
본 발명은 파티클 발생 요인 판정 시스템, 과금 방법 및 기억 매체에 관한것으로, 특히 파티클 발생 요인 판정 시스템에서 파티클의 발생 요인에 관한 정보의 제공에 대해 과금하는 과금 방법에 관한 것이다.
통상적으로 반도체 웨이퍼(이하, 간단히 ‘웨이퍼’라고 함)로부터 반도체 디바이스를 제조하는 기판 처리 시스템에서는, 웨이퍼에 플라즈마 처리를 실시할 때나 웨이퍼를 반송할 때에 파티클이 부착되는 경우가 있고, 부착된 파티클은 반도체 디바이스의 결함을 초래한다.
파티클은 웨이퍼와 기판 처리 시스템의 구성 부품과의 기계적인 접촉, 또는 처리 가스와 다른 물질과의 화학적인 반응 등의 여러 가지 요인으로 발생하는데, 기판 처리 시스템에서는 다수의 웨이퍼에 플라즈마 처리를 실시하여 대량의 반도체 디바이스를 양산하기 때문에, 파티클의 발생 요인이 해소되지 않으면 반도체 디바이스의 수율이 극도로 저하된다. 따라서, 기판 처리 시스템에서 파티클의 발생 요인을 판별하고, 이 발생 요인을 근절하는 것이 매우 중요하다.
그래서, 본 발명자는 파티클의 발생 요인에 관한 상세한 지식이 거의 없는 기판 처리 시스템의 유저여도 파티클의 발생 요인을 정확하게 판별할 수 있는 파티클 발생 요인 판정 시스템을 개발했다(예를 들면 특허 문헌 1 참조).
이 파티클 발생 요인 판정 시스템은 파티클이 부착된 웨이퍼의 화상 데이터를 화상 해석함으로써, 각 파티클 발생 요인이 진짜 발생 요인일 가능성을 수치(정확도)로서 유저에게 제공하여, 유저에 의한 파티클 발생 요인의 판정에 공헌한다.
그리고, 상술한 파티클 발생 요인 판정 시스템과 같은 정보 제공 시스템에서는 정보의 제공에 대하여 과금하고 유저로부터 당해 정보 제공 시스템의 이용 요금을 징수한다.
일본특허출원 2008-056431호
그러나, 통상적으로 정보 제공 시스템에서는, 유저에게 제공된 정보의 수(종류) 또는 유저에 의한 당해 정보 제공 시스템의 이용 회수에 따라 당해 정보 제공 시스템의 이용 요금이 산출되는 것이 일반적이고, 제공된 정보의 질이나 문제 해결에 대한 기여도에 따라 이용 요금이 산출되지 않는다. 즉, 유저는 도움이 되지 않는 정보의 제공에 대해서도 이용 요금을 지불할 필요가 있기 때문에, 유저에게 있어서 정보 제공 시스템의 이용에 관한 비용 대비 효과를 쉽게 알 수 없고, 그 결과 정보 제공 시스템의 이용에 관한 유저에게 인센티브를 줄 수 없어 정보 제공 시스템의 이용 가치를 낮추고 있다.
본 발명의 목적은 유저의 파티클 발생 요인 판정 시스템의 이용에 관한 인센티브를 줄 수 있는 파티클 발생 요인 판정 시스템, 과금 방법 및 기억 매체를 제공하는 것에 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 청구항 1에 기재된 과금 방법은 표시부를 가지고, 유저가 기판에 부착된 파티클에 관한 제 1 정보를 입력하는 유저 인터페이스 장치와, 복수의 파티클 발생 요인의 각각에 대한 가능성을 검토하는 서버 장치를 적어도 구비하는 파티클 발생 요인 판정 시스템에서의 과금 방법으로서, 상기 서버 장치가 상기 입력된 제 1 정보를 수취하고, 상기 수취한 제 1 정보에 기초하여 상기 복수의 파티클 발생 요인의 각각에 대한 가능성을 점수로서 산출하는 점수 산출 단계와, 상기 유저 인터페이스 장치가 상기 산출된 각 점수와 함께 상기 점수에 대응하는 상기 각 파티클 발생 요인에 관한 제 2 정보의 일부를 상기 표시부에 표시하는 정보 표시 단계와, 상기 서버 장치가 상기 표시된 제 2 정보의 일부의 선택에 따라 상기 제 2 정보를 상기 유저 인터페이스 장치로 제공하고 또한, 상기 제 2 정보의 제공에 대해 과금하는 과금 단계를 가지고, 상기 과금 단계에서는, 적어도 상기 제공되는 제 2 정보에 대응하는 상기 파티클 발생 요인의 점수에 기초하여 과금액이 결정되고, 상기 유저 인터페이스 장치로는, 상기 제 2 정보의 전체 또는 상기 제 2 정보에서의 보다 상세한 정보가 제공되는 것을 특징으로 한다.
청구항 2에 기재된 과금 방법은 청구항 1에 기재된 과금 방법에서, 상기 과금 단계에서는 또한, 상기 제 2 정보의 수익에의 기여 실적, 상기 제 2 정보를 이전에 이용한 다른 유저에 의한 평가치, 지금까지의 상기 제 2 정보의 제공 회수, 상기 제 2 정보가 마지막에 제공되고 난 후의 경과 시간 중 적어도 하나에 기초하여 상기 과금액이 결정되는 것을 특징으로 한다.
청구항 3에 기재된 과금 방법은 청구항 1 또는 2에 기재된 과금 방법에서, 상기 과금 단계에서는 상기 제 2 정보의 제공 형태에 따라 상기 과금액이 결정되는 것을 특징으로 한다.
청구항 4에 기재된 과금 방법은 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 기재된 과금 방법에서, 상기 과금 단계에서는 상기 제 2 정보의 카테고리에 따라 상기 과금액이 결정되는 것을 특징으로 한다.
청구항 5에 기재된 과금 방법은 청구항 1 내지 4 중 어느 한 항에 기재된 과금 방법에서, 상기 제 1 정보는 파티클에 관한 화상 데이터로 이루어지고, 상기 점수 산출 단계에서는, 상기 서버 장치가 상기 화상 데이터의 화상 해석 결과에 기초하여 상기 점수를 산출하는 것을 특징으로 한다.
청구항 6에 기재된 과금 방법은 청구항 1 내지 5 중 어느 한 항에 기재된 과금 방법에서, 상기 서버 장치가 상기 복수의 파티클 발생 요인의 각각에 관련되는 제 1 키워드를 취득하고, 상기 취득된 제 1 키워드에 기초하여 상기 제 2 정보를 선택하여 취득하는 것을 특징으로 한다.
청구항 7에 기재된 과금 방법은 청구항 6에 기재된 과금 방법에서, 상기 제 1 정보는 파티클에 관한 문서 데이터로 이루어지고, 상기 유저 인터페이스 장치가 상기 문서 데이터로부터 텍스트 마이닝에 의해 제 2 키워드를 추출하고, 상기 서버 장치가 상기 추출된 제 2 키워드에 기초하여 상기 제 2 정보를 선택하여 취득하는 것을 특징으로 한다.
청구항 8에 기재된 과금 방법은 청구항 6 또는 7에 기재된 과금 방법에서, 상기 파티클 발생 요인 판정 시스템은 또한 데이터베이스 장치를 구비하고, 상기 제 2 정보는 문서 데이터로 이루어져 상기 데이터베이스 장치에 저장되고, 상기 데이터베이스 장치는, 상기 제 2 정보의 선택에 앞서 상기 각 제 2 정보로부터 텍스트 마이닝에 의해 제 3 키워드를 추출하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 청구항 9에 기재된 파티클 발생 요인 판정 시스템은 표시부를 가지고, 유저가 기판에 부착된 파티클에 관한 제 1 정보를 입력하는 유저 인터페이스 장치와, 복수의 파티클 발생 요인의 각각에 대한 가능성을 검토하는 서버 장치를 적어도 구비하는 파티클 발생 요인 판정 시스템에서, 상기 서버 장치가, 상기 입력된 제 1 정보를 수취하고, 상기 수취한 제 1 정보에 기초하여 상기 복수의 파티클 발생 요인의 각각에 대한 가능성을 점수로서 산출하고, 상기 유저 인터페이스 장치가 상기 산출된 각 점수와 함께 상기 점수에 대응하는 상기 각 파티클 발생 요인에 관한 제 2 정보의 일부를 상기 표시부에 표시하고, 상기 서버 장치가 상기 표시된 제 2 정보의 일부의 선택에 따라 상기 제 2 정보를 상기 유저 인터페이스 장치로 제공하고 또한, 상기 제 2 정보의 제공에 대해 과금하고, 상기 제 2 정보의 제공에 대한 과금액은, 적어도 상기 제공되는 제 2 정보에 대응하는 상기 파티클 발생 요인의 점수에 기초하여 결정되고, 상기 유저 인터페이스 장치로는, 상기 제 2 정보의 전체 또는 상기 제 2 정보에서의 보다 상세한 정보가 제공되는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 청구항 10에 기재된 기억 매체는 표시부를 가지고, 유저가 기판에 부착된 파티클에 관한 제 1 정보를 입력하는 유저 인터페이스 장치와, 복수의 파티클 발생 요인의 각각에 대한 가능성을 검토하는 서버 장치를 적어도 구비하는 파티클 발생 요인 판정 시스템에서의 과금 방법을 컴퓨터에 실행시키는 프로그램을 저장하는 컴퓨터로 판독 가능한 기억 매체로서, 상기 과금 방법은, 상기 서버 장치가 상기 입력된 제 1 정보를 수취하고, 상기 수취한 제 1 정보에 기초하여 상기 복수의 파티클 발생 요인의 각각에 대한 가능성을 점수로서 산출하는 점수 산출 단계와, 상기 유저 인터페이스 장치가 상기 산출된 각 점수와 함께 상기 점수에 대응하는 상기 각 파티클 발생 요인에 관한 제 2 정보의 일부를 상기 표시부에 표시하는 정보 표시 단계와, 상기 서버 장치가 상기 표시된 제 2 정보의 일부의 선택에 따라 상기 제 2 정보를 상기 유저 인터페이스 장치로 제공하고 또한, 상기 제 2 정보의 제공에 대해 과금하는 과금 단계를 가지고, 상기 과금 단계에서는, 적어도 상기 제공되는 제 2 정보에 대응하는 상기 파티클 발생 요인의 점수에 기초하여 과금액이 결정되고, 상기 유저 인터페이스 장치로는, 상기 제 2 정보의 전체 또는 상기 제 2 정보에서의 보다 상세한 정보가 제공되는 것을 특징으로 한다.
청구항 1에 기재된 과금 방법, 청구항 9에 기재된 파티클 발생 요인 판정 시스템 및 청구항 10에 기재된 기억 매체에 따르면, 기판에 부착된 파티클에 관한 제 1 정보에 기초하여 복수의 파티클 발생 요인의 각각에 대한 가능성이 점수로서 산출되고, 각 파티클 발생 요인에 관한 제 2 정보의 제공에 대한 과금액은 적어도 제공되는 제 2 정보에 대응하는 파티클 발생 요인의 점수에 기초하여 결정되므로, 과금액이 높은 제 2 정보에 대응하는 파티클 발생 요인이 진짜 발생 요인일 가능성이 높다. 따라서, 유저에게 있어서 파티클 발생 요인 판정 시스템의 이용에 관한 비용 대비 효과를 쉽게 알 수 있게 되고, 그 결과 파티클 발생 요인 판정 시스템의 이용에 관한 유저의 인센티브를 줄 수 있다.
청구항 2에 기재된 과금 방법에 따르면, 또한, 제 2 정보의 수익에의 기여 실적, 제 2 정보를 이전에 이용한 다른 유저에 의한 평가치, 지금까지의 제 2 정보의 제공 회수, 제 2 정보가 마지막에 제공되고 난 후의 경과 시간 중 적어도 하나에 기초하여 과금액이 결정되므로, 과금액에 제 2 정보의 가치를 반영시킬 수 있어 과금액을 합리적인 액수로 할 수 있다. 그 결과 파티클 발생 요인 판정 시스템의 이용에 관한 유저의 인센티브를 더 줄 수 있다.
청구항 3에 기재된 과금 방법에 따르면, 제 2 정보의 제공 형태에 따라 과금액이 결정되므로, 과금액을 제 2 정보를 사용 정도에 알맞은 액수로 할 수 있다.
청구항 4에 기재된 과금 방법에 따르면, 제 2 정보의 카테고리에 따라 과금액이 결정되므로, 과금액을 제 2 정보로부터 유저가 얻을 수 있는 경제적 메리트에 알맞은 액수로 할 수 있다.
청구항 5에 기재된 과금 방법에 따르면, 파티클에 관한 화상 데이터의 화상 해석 결과에 기초하여 파티클 발생 요인의 점수가 산출되므로, 기판을 촬영하는 등 하여 화상 데이터를 준비하는 것만으로 제 2 정보를 얻을 수 있어 유저의 수고를 생략할 수 있다.
청구항 6에 기재된 과금 방법에 따르면, 복수의 파티클 발생 요인의 각각에 관련되는 제 1 키워드가 취득되고, 상기 취득된 제 1 키워드에 기초하여 제 2 정보가 선택되어 취득되므로, 각 파티클 발생 요인과 각 제 2 정보를 직접적으로 링크시켜 둘 필요가 없다. 따라서, 제 2 정보의 준비 또는 갱신을 용이하게 행할 수 있다.
청구항 7에 기재된 과금 방법에 따르면, 파티클에 관한 문서 데이터로부터 텍스트 마이닝에 의해 제 2 키워드가 추출된다. 텍스트 마이닝에서는 문서 데이터가 단어로 분할되고, 분할된 단어의 출현 빈도 또는 상관 관계에 의해 주요한 키워드가 추출되므로, 파티클에 관한 문서 데이터의 내용이 정리되어 있지 않아도 주요한 키워드를 추출할 수 있다.
청구항 8에 기재된 과금 방법에 따르면, 문서 데이터로 이루어지는 제 2 정보의 선택에 앞서 각 제 2 정보로부터 텍스트 마이닝에 의해 제 3 키워드를 추출하므로, 제 2 정보의 선택 시에는 각 제 2 정보에 관련되는 제 3 키워드가 존재한다. 그 결과 제 1 키워드 또는 제 2 키워드와 추출된 제 3 키워드를 비교하는 것만으로 원하는 제 2 정보를 용이하고 또한 신속하게 얻을 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 과금 방법을 실행하는 파티클 발생 요인 판정 시스템의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2a 및 도 2b는 도 1에서의 유저 인터페이스 장치의 디스플레이에 표시되는, 입력하고자 하는 화상 데이터의 확인용 화상이며, 도 2a는 웨이퍼의 촬영 화상 데이터의 확인용 화상이고, 도 2b는 SEM 화상 데이터의 확인용 화상이다.
도 3은 도 1에서의 유저 인터페이스 장치의 디스플레이에 표시되는 텍스트 데이터의 입력용 화상이다.
도 4는 도 1에서의 서버 장치가 실행하는 파티클 발생 요인 정확도 산출 처리를 나타낸 플로우 차트이다.
도 5는 테이퍼 패드와의 접촉에 관한 정확도 산출 처리를 나타낸 플로우 차트이다.
도 6a 및 6b는 파티클 맵에서의 테이퍼 패드 대응 영역 및 테이퍼 패드 주변 영역을 도시한 도이며, 도 6a는 파티클 맵에서의 각 테이퍼 패드 대응 영역의 위치를 도시한 평면도이고, 도 6b는 파티클 맵에서의 테이퍼 패드 대응 영역 및 테이퍼 패드 주변 영역을 도시한 확대 평면도이다.
도 7은 포커스 링과의 마찰에 관한 정확도 산출 처리를 나타낸 플로우 차트이다.
도 8a 내지 8c는 포커스 링과의 마찰에 관한 정확도 산출에 이용되는 데이터를 설명하기 위한 도이며, 도 8a는 파티클 맵의 주연부에서 10 등분된 각 영역을 도시한 평면도이고, 도 8b는 도 8a의 각 영역에서의 파티클 수를 플롯한 그래프이고, 도 8c는 엣지 영역을 도시한 평면도이다.
도 9는 도 1에서의 유저 인터페이스 장치의 디스플레이에 표시되는 해석 결과 표시 화상이다.
도 10은 도 1에서의 유저 인터페이스 장치가 출력하는 발생 요인 관련 정보가 인쇄된 용지를 도시한 도이다.
이하, 본 발명의 실시예에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 본 실시예에 따른 과금 방법을 실행하는 파티클 발생 요인 판정 시스템의 구성을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 1에서, 파티클 발생 요인 판정 시스템(10)은 유저가 데이터의 입출력을 행하는 단말로서의 유저 인터페이스 장치(11)와, 이 유저 인터페이스 장치(11) 또는 후술하는 데이터베이스 장치(12)와 데이터를 교환하는 서버 장치(13)와, 데이터베이스 장치(12)를 구비한다.
파티클 발생 요인 판정 시스템(10)은 유저가 입력한 화상 데이터, 예를 들면 파티클이 부착된 웨이퍼의 촬영 화상 데이터 또는 파티클의 SEM(Scanning Electron Microscope) 화상 데이터의 화상 분석 또는 유저가 입력한 파티클의 부착 상황에 관한 문서 데이터의 문언 분석을 통하여 파티클 발생 요인을 판정하고, 그 파티클 발생 요인이 진짜 발생 요인일 가능성을 수치로 나타낸 점수(이하, ‘정확도’라고 함)를 산출한다. 또한 파티클 발생 요인 판정 시스템(10)은 유저에게 각 파티클 발생 요인에 관한 정보, 예를 들면 발생 메카니즘 또는 당해 파티클 발생 요인의 해소 방법을 제공하고, 이 정보의 제공에 대하여 과금한다.
파티클 발생 요인으로서는 예를 들면 테이퍼 패드와의 접촉, 포커스 링과의 마찰, 포커스 링의 숄더부 마모(Attacked Shoulder), 가스홀 전사(傳寫), 주연부 편향, COP(Crystal Originated Particle), 석출 분진, 물-플루오로카본계 가스의 반응, 및 메트롤로지 유닛에서의 분진의 발생이 주요한 요인임이 본 발명자 등에 의해 실험 또는 조사에 의해 확인되어 있고, 본 실시예에 따른 파티클 발생 요인 판정 시스템(10)은 상술한 각 파티클 발생 요인에 대하여 정확도를 산출한다.
유저 인터페이스 장치(11)는 예를 들면 퍼스널 컴퓨터로 이루어지고, 유저에 의한 웨이퍼의 촬영 화상 데이터 또는 파티클의 SEM 화상 데이터(제 1 정보)를 입력받는다. 또한, 유저 인터페이스 장치(11)는 디스플레이(14)(표시부)를 가지고, 유저는 브라우저에 의해 디스플레이(14)에 표시된 화상(15)을 통하여 입력하고자 하는 웨이퍼의 촬영 화상 데이터 또는 SEM 화상 데이터를 확인, 가공하고, 또한 판정된 파티클 발생 요인의 일람을 이들의 정확도와 함께 확인할 수 있다. 유저 인터페이스 장치(11)에서의 브라우저로서는, 시중의 브라우저, 예를 들면 Internet Explorer(등록 상표)를 이용해도 좋고, 또는 유저 인터페이스 장치(11)의 전용의 브라우저를 이용해도 좋다.
도 2a 및 도 2b는 도 1에서의 유저 인터페이스 장치의 디스플레이에 표시되는, 입력하고자 하는 화상 데이터의 확인용 화상으로서, 도 2a는 웨이퍼의 촬영 화상 데이터의 확인용 화상이며, 도 2b는 SEM 화상 데이터의 확인용 화상이다.
도 2a의 확인용 화상(16)은 웨이퍼의 촬영 화상 데이터를 표시하는 프레임(17)을 가지고, 유저는 프레임(17)에 표시된 촬영 화상 데이터에 대하여 원하는 직경의 원을 설정하는 등 하여 작업할 화상 데이터의 범위를 결정한다. 이 범위의 결정 후, 범위 내의 화상 데이터는 파티클의 분포 상황을 나타내는 화상 데이터(이하, ‘파티클 맵’이라고 함)로서 서버 장치(13)로 송신된다.
도 2b의 확인용 화상(18)은 파티클의 SEM 화상 데이터를 표시하는 프레임(19)과, 파티클의 사이즈를 설정하는 체크 박스 형식의 선택지(20)와, 파티클의 개략 형상을 설정하는 체크 박스 형식의 선택지(21)를 가진다. 유저는 프레임(19)에 표시된 SEM 화상을 확인하면서 선택지(20, 21)에 의해 파티클의 사이즈 및 형상을 설정한다. 설정된 사이즈나 형상은 SEM 화상 데이터와 함께 서버 장치(13)로 송신된다.
또한, 유저 인터페이스 장치(11)는 파티클의 부착 상황에 관한 문서 데이터, 예를 들면 텍스트 데이터(제 1 정보)도 입력받는다.
도 3은 도 1에서의 유저 인터페이스 장치의 디스플레이에 표시되는 텍스트 데이터의 입력용 화상이다.
도 3의 입력용 화상(22)은 텍스트 입력 박스(23)를 가지고, 유저는 파티클의 부착 상황에 관한 텍스트 데이터로서 소정 자료의 텍스트 데이터를 카피(copy)하여 텍스트 입력 박스(23)에 페이스트(paste)하여 입력하거나, 또는 파티클의 부착 상황을 설명하는 문장을 직접 텍스트 입력 박스(23)에 입력한다.
유저 인터페이스 장치(11)는 텍스트 마이닝 기능을 가진다. 텍스트 마이닝에서는 텍스트 데이터가 단어 등으로 분할되고, 분할된 단어의 출현 빈도나 상관 관계에 의해 주요한 키워드가 추출된다. 따라서, 유저 인터페이스 장치(11)는 텍스트 입력 박스(23)에 입력된 텍스트 데이터로부터 주요한 키워드(제 2 키워드)를 추출하고, 이 추출된 키워드(이하, ‘텍스트 키워드’라고 함)를 서버 장치(13)로 송신한다.
유저 인터페이스 장치(11)는 파티클의 부착 상황을 설명하는 데이터로서 텍스트 입력 박스(23)에 입력되는 텍스트 데이터뿐만 아니라, 시중의 문서 작성 소프트웨어로 작성된 문서 데이터도 입력받을 수 있다.
또한, 유저 인터페이스 장치(11)는 화상 데이터나 문서 데이터 외에 그래프 데이터를 입력받을 수도 있고, 입력된 그래프 데이터에서의 피크 수나 데이터 값의 진폭치를 키워드로서 추출하고, 이 추출된 키워드를 서버 장치(13)로 송신한다.
또한, 유저는 유저 인터페이스 장치(11)에서 파티클 발생 요인의 일람을 확인한 후, 원하는 파티클 발생 요인에 대하여 그 발생 메카니즘 또는 해소 방법에 관한 정보를 입수할 수 있다. 이 정보의 입수 방법에 대해서는 나중에 상술한다.
서버 장치(13)는 유저 인터페이스 장치(11)로부터 전송된 파티클 맵 또는 텍스트 키워드를 수신한다. 또한, 서버 장치(13)의 메모리는 화상 해석 프로그램(24)을 저장한다. 화상 해석 프로그램(24)은 각 파티클 발생 요인의 정확도를 산출하는 DLL(Dynamic Link Library)로 이루어진다. 또한, 화상 해석 프로그램(24)을 구성하는 DLL은 서버 장치(13)의 메모리에 저장되어 있는 것에 한정되지 않고, 다른 서버 장치로부터 제공되는 DLL이 화상 해석 프로그램(24)의 일부를 구성해도 좋다. 또한, 화상 해석 프로그램(24)을 구성하는 DLL의 종류도 고정되어 있지 않고, 예를 들면 기판 처리 시스템의 사양 등에 따라 화상 해석 프로그램(24)을 구성하는 DLL의 종류도 변경된다.
화상 해석 프로그램(24)은 서버 장치(13)의 RAM 또는 CPU를 이용하고, 파티클 맵, SEM 화상 및 파티클의 형상 및 사이즈에 기초하여 각 파티클 발생 요인의 정확도를 산출한다(점수 산출 단계).
도 4는 도 1에서의 서버 장치가 실행하는 파티클 발생 요인 정확도 산출 처리를 나타내는 플로우 차트이다. 본 처리는 화상 해석 프로그램(24)에 따라 서버 장치(13)의 CPU가 실행한다.
도 4에서, 우선 유저 인터페이스 장치(11)로부터 파티클 맵을 취득하고(단계(S401)), 파티클 맵의 입수처인 기판 처리 시스템의 명칭을 취득하고(단계(S402)), 또한 파티클의 형상 및 사이즈를 취득한다(단계(S403)).
이어서, 화상 해석 프로그램(24)에서의 테이퍼 패드와의 접촉에 관한 정확도 산출의 DLL을 사용하여 파티클 맵 또는 각 파티클의 형상 및 사이즈의 데이터로부터, 테이퍼 패드와의 접촉에 관한 정확도를 산출한다(단계(S404)). 이하, 마찬가지로 포커스 링과의 마찰에 관한 정확도를 산출하고(단계(S405)), 포커스 링의 숄더부 마모에 관한 정확도를 산출하고(단계(S406)), 가스홀 전사에 관한 정확도를 산출하고(단계(S407)), 주연부 편향에 관한 정확도를 산출하고(단계(S408)), COP에 관한 정확도를 산출하고(단계(S409)), 석출 분진에 관한 정확도를 산출하고(단계(S410)), 물-CF계 가스의 반응에 관한 정확도를 산출하고(단계(S411)), 메트롤로지 유닛에서의 분진의 발생에 관한 정확도를 산출한다(단계(S412)).
이어서, 산출된 각 파티클 발생 요인에 관한 정확도를 일단 서버 장치(13)의 메모리에 저장한 후, 본 처리를 종료한다.
이하, 상술한 각 파티클 발생 요인의 정확도 산출 처리 중에, 예로서 ‘테이퍼 패드와의 접촉에 관한 정확도의 산출 처리’ 및 ‘포커스 링과의 마찰에 관한 정확도의 산출 처리’에 대하여 상술한다.
도 5는 테이퍼 패드와의 접촉에 관한 정확도 산출 처리를 나타내는 플로우 차트이다. 웨이퍼 반송용의 반송 포크에 설치된 볼록 형상의 테이퍼 패드 및 웨이퍼의 접촉에 의해 발생하는 파티클은 웨이퍼에서의 테이퍼 패드와 접촉하는 부위에 주로 부착된다. 따라서, 도 5의 처리에서는 웨이퍼에서의 테이퍼 패드와 접촉하는 부위의 파티클의 분포 밀도에 기초하여 정확도가 산출된다.
도 5에서, 우선 기판 처리 시스템의 종류에 따라 반송 포크의 형상 또는 이 반송 포크 상의 테이퍼 패드의 배치 위치, 수가 상이하기 때문에, 도 4의 단계(S402)에서 취득한 기판 처리 시스템의 명칭 등에 기초하여 테이퍼 패드의 타입(배치 위치, 수)을 특정한다(단계(S51)).
이어서, 특정된 테이퍼 패드의 배치 위치 또는 수로부터 웨이퍼에서의 테이퍼 패드와의 접촉 부위를 특정하고, 파티클 맵에서 이 특정된 접촉 부위에 대응하는 영역을 테이퍼 패드 대응 영역(25)으로서 설정하고, 이 테이퍼 패드 대응 영역(25)에 파티클이 존재하는지의 여부를 판별한다(단계(S52)).
테이퍼 패드 대응 영역(25)은 도 6a에서 사선부로 도시한 바와 같이, 각 테이퍼 패드와의 접촉 부위로부터 파티클 맵의 중심을 회전 중심으로 하는 경우의 회전 각도로 ± 5°, 파티클 맵의 주연부로부터 내측으로 30 mm에 이르는 영역이다. 또한 도 6a는 반송 포크가 8 개의 테이퍼 패드를 가지는 경우에 해당된다.
단계(S52)의 판별 결과, 테이퍼 패드 대응 영역(25)에 파티클이 존재할 경우, 파티클 맵으로부터 테이퍼 패드 대응 영역내 비율, 테이퍼 패드 주변 영역내 비율 및 테이퍼 패드 대응 영역내 집중도를 산출한다. 테이퍼 패드 주변 영역(26)은 각 테이퍼 패드 대응 영역(25)을 둘러싸는 영역이며, 각 테이퍼 패드와의 접촉 부위로부터 파티클 맵의 중심을 회전 중심으로 하는 경우의 회전 각도로 ± 10°, 파티클 맵의 주연부로부터 내측으로 50 mm에 이르는 영역으로서, 이 영역으로부터 테이퍼 패드 대응 영역(25)을 제외한 영역이다(도 6b).
테이퍼 패드 대응 영역내 비율, 테이퍼 패드 주변 영역내 비율 및 테이퍼 패드 대응 영역내 집중도는 각각 하기 식으로 나타낸다.
?테이퍼 패드 대응 영역내 비율 = 테이퍼 패드 대응 영역(25) 내에서의 파티클 분포 밀도 / 파티클 맵에서의 반경 200 mm ~ 300 mm의 사이(외측)에서의 파티클 분포 밀도
?테이퍼 패드 주변 영역내 비율 = 테이퍼 패드 주변 영역(26) 내에서의 파티클 분포 밀도 / 파티클 맵에서의 반경 200 mm ~ 300 mm의 사이(외측)에서의 파티클 분포 밀도
?테이퍼 패드 대응 영역내 집중도 = 테이퍼 패드 대응 영역(25) 내의 파티클 수 / (테이퍼 패드 대응 영역(25) 내의 파티클 수 ＋ 테이퍼 패드 주변 영역(26) 내의 파티클 수) × 100
또한, 정확도를 하기 식으로부터 산출하고(단계(S53)) 단계(S55)로 진행한다.
?정확도 = 테이퍼 패드 대응 영역내 비율 ＋ 테이퍼 패드 주변 영역내 비율 × 테이퍼 패드 대응 영역내 집중도
이어지는 단계(S55)에서는 산출된 정확도가 0보다 큰지의 여부를 판별하고, 산출된 정확도가 0일 경우 본 처리를 종료하고, 산출된 정확도가 0보다 클 경우 이 정확도에 파티클의 형상 및 사이즈로부터 산출된 정확도를 가산하고(단계(S56)), 본 처리를 종료한다.
단계(S56)에서는, 메모리에 저장된, 테이퍼 패드와의 접촉에 의해 발생되는 파티클의 대표적인 형상 및 사이즈의 데이터와, 도 4의 단계(S403)에서 취득한 각 파티클의 형상 및 사이즈의 데이터를 비교한다. 형상 및 사이즈의 일치도가 소정 임계치 이상이면, 테이퍼 패드와의 접촉이 파티클 발생 요인일 가능성이 높은 것으로 하고 정확도로서 5를 산출한다.
단계(S52)의 판별 결과, 테이퍼 패드 대응 영역(25)에 파티클이 존재하지 않을 경우 정확도를 0으로 설정하고(단계(S54)), 본 처리를 종료한다.
도 7은 포커스 링과의 마찰에 관한 정확도 산출 처리를 나타내는 플로우 차트이다. 포커스 링 및 웨이퍼의 마찰에 의해 발생하는 파티클은 웨이퍼의 주연부에 주로 부착된다. 또한 마찰이란, 웨이퍼가 포커스 링과 국소적으로 접촉되는 현상이기 때문에, 파티클은 웨이퍼의 주연부에서 국소적 또한 비교적 내측에 분포된다. 따라서, 도 7의 처리에서는 웨이퍼의 주연부에서의 파티클의 분포 밀도에 기초하여 정확도가 산출된다.
기판 처리 시스템의 종류에 따라 포커스 링의 종류가 상이하고, 기판 처리 시스템의 종류에 따라서는 포커스 링 및 웨이퍼의 마찰이 발생하지 않는 경우가 있다. 따라서 도 7에서, 우선 도 4의 단계(S402)에서 취득한 기판 처리 시스템 등의 명칭에 기초하여 포커스 링과의 마찰이 파티클 발생 요인에 해당하는지의 여부를 판별한다(단계(S701)).
단계(S701)의 판별 결과, 포커스 링과의 마찰이 파티클 발생 요인에 해당될 경우, 테이퍼 패드와의 접촉에 관한 정확도가 50 이하인지 여부를 판별한다(단계(S702)).
단계(S702)의 판별 결과, 테이퍼 패드와의 접촉에 관한 정확도가 50 이하인 경우, 정확도를 하기 식으로부터 산출하고(단계(S703)), 단계(S705)로 진행한다.
?정확도 = 안정도 × 100
여기서, 안정도는 하기 식으로부터 산출된다.
?안정도 = 벡터 평균 / 스칼라 평균
단, 스칼라 평균은 파티클 맵에서의 반경 250 mm 이상의 영역에 존재하는 모든 파티클의 파티클 맵의 중심으로부터의 거리의 평균치이며, 벡터 평균은 파티클 맵의 중심을 원점으로 했을 경우의 파티클 맵에서의 반경 250 mm 이상의 영역에 존재하는 모든 파티클의 위치 벡터의 x 성분 및 y 성분을 각각 평균한 평균 x 성분 및 평균 y 성분에 대응하는 포인트의 좌표의 원점으로부터의 거리이다.
단계(S702)의 판별 결과, 테이퍼 패드와의 접촉에 관한 정확도가 50보다 클 경우, 정확도를 하기 식으로부터 산출하고(단계(S704)), 단계(S705)로 진행된다.
?정확도 = 테이퍼 패드 대응 영역을 제외한 경우의 안정도 × 100
테이퍼 패드 대응 영역을 제외한 경우의 안정도는, 파티클 맵에서의 반경 250 mm 이상의 영역으로서, 테이퍼 패드 대응 영역이 제외된 영역에 존재하는 모든 파티클에 관한 안정도이다. 이 안정도도 상기 식으로부터 산출된다.
이어서, 웨이퍼의 주연부에서의 피크 수가 1 인지의 여부를 판별한다(단계(S705)). 여기서는, 파티클 맵에서의 반경 200 mm 이상의 영역을 둘레 방향으로 10 등분한 경우(도 8a)에서의 각 영역(1, 2, 3…)에 존재하는 파티클 수를 그래프(도 8b)에 플롯했을 때, 이 그래프에서 소정 영역의 파티클 수와 인접하는 다른 영역의 파티클 수의 차이가 전체 영역에서의 파티클 수의 표준 편차보다 클 경우, 당해 소정 영역을 상기 피크로 한다(도 8b에서는 영역(9)이 피크에 해당함).
단계(S705)의 판별 결과, 피크 수가 1일 경우, 정확도에 20을 가산하여(단계(S706)) 단계(S707)로 진행하고, 피크 수가 1이 아닐 경우는 그대로 단계(S707)로 진행한다.
이어서, 엣지 영역의 각도가 45° 이하인지의 여부를 판별하여(단계(S707)), 엣지 영역의 각도가 45° 이하인 경우 단계(S711)로 진행하고, 엣지 영역의 각도가 45°보다 큰 경우 단계(S708)로 진행한다.
여기서 엣지 영역은 도 8b에서의 피크(영역(9))를 사이에 둔 2 개의 골(영역 7, 영역 4) 사이의 영역 중, 이 영역에 존재하는 전체 파티클의 90% 이상이 분포하는 영역(도 8c에서의 진한색 부분이 해당함)이다.
이어지는 단계(S708)에서는, 엣지 영역의 각도가 90° 이하인지 여부를 판별하여 엣지 영역의 각도가 90° 이하인 경우, 추가로, 파티클 맵의 중심으로부터 파티클 맵에서의 반경 200 mm 이상의 영역에 존재하는 전체 파티클까지의 거리의 평균(이하, ‘파티클 평균 거리’라고 함)이 270 mm보다 작은지의 여부를 판별하여(단계(S709)), 파티클 평균 거리가 270 mm보다 작은 경우 단계(S711)로 진행한다.
단계(S708)의 판별 결과 엣지 영역의 각도가 90°보다 큰 경우, 및 단계(S709)의 판별 결과 파티클 평균 거리가 270 mm 이상인 경우, 정확도를 3으로 제산(除算)하고(단계(S710)) 단계(S711)로 진행한다.
계속되는 단계(S711)에서는, 산출된 정확도가 0보다 큰지의 여부를 판별하여, 산출된 정확도가 0인 경우 본 처리를 종료하고, 산출된 정확도가 0보다 큰 경우 도 5의 단계(S56)와 마찬가지로, 정확도에 파티클의 형상 및 사이즈로부터 산출된 파티클 발생 요인에 관한 정확도를 가산하고(단계(S713)) 본 처리를 종료한다.
또한, 단계(S701)의 판별 결과, 포커스 링과의 마찰이 파티클 발생 요인에 해당되지 않을 경우, 정확도를 0으로 설정하고(단계(S712)), 본 처리를 종료한다.
또한, ‘테이퍼 패드와의 접촉에 관한 정확도의 산출 처리’ 및 ‘포커스 링과의 마찰에 관한 정확도의 산출 처리’ 이외의 정확도의 산출 처리는 일본 특허 출원 2008-056431호의 명세서에 상세하게 기재되어 있다.
또한, 서버 장치(13)는 메모리에 각 파티클 발생 요인에 관련되는 키워드를 저장하고, 산출된 정확도가 높은 파티클 발생 요인에 관련되는 키워드(제 1 키워드)를 메모리로부터 취득하고, 이 취득된 키워드(이하, ‘화상 키워드’라고 함)를 데이터베이스 장치(12)로 송신한다. 또한, 메모리가 키워드를 저장하지 않고, 키워드가 각 파티클 발생 요인의 정확도를 산출하는 DLL에 의해 실행되는 프로그램에 기술되고, 서버 장치(13)가 기술된 키워드를 취득하도록 해도 좋다.
서버 장치(13)가 취득하는 키워드로서는, ‘테이퍼 패드와의 접촉에 관한 정확도의 산출 처리’에 관해서는, 예를 들면 ‘테이퍼 패드’ 또는 ‘반송 포크’가 해당되고, ‘포커스 링과의 마찰에 관한 정확도의 산출 처리’에 관해서는, 예를 들면 ‘포커스 링’, ‘주연부’ 또는 ‘국소적’이 해당된다.
또한, 서버 장치(13)가 송신하는 키워드는 화상 키워드에 한정되지 않고, 유저 인터페이스 장치(11)가 서버 장치(13)로 송신한 텍스트 키워드도 포함된다.
또한 서버 장치(13)는 산출된 정확도가 높은 파티클 발생 요인의 약칭(예를 들면, ‘테이퍼 패드와의 접촉’의 경우에는 ‘테이퍼 패드’만, 또한 ‘가스홀 전사’의 경우에는 ‘가스홀’만) 및 그 정확도를 유저 인터페이스 장치(11)로 송신한다. 그리고 서버 장치(13)는, 후술하는 바와 같이 데이터베이스 장치(12)로부터 발생 요인 관련 정보(27)를 수신하고, 이 수신된 발생 요인 관련 정보(27)에서의 표제, 파티클원, 카테고리 등을 유저 인터페이스 장치(11)로 송신하고, 유저 인터페이스 장치(11)로 발생 요인 관련 정보(27)를 제공할 때, 그 제공에 대한 과금액을 산출한다.
데이터베이스 장치(12)는 각 파티클 발생 요인에 관한 다수의 정보(제 2 정보)(이하, ‘발생 요인 관련 정보’라고 함)를 문서 데이터로서 저장하고 있다. 발생 요인 관련 정보(27)로서는, 기판 처리 시스템의 개발자의 지견이 기재된 문서 데이터 또는, 파티클 발생에 관한 문헌 등의 문서 데이터가 해당된다. 또한, 데이터베이스 장치(12)는 텍스트 마이닝 기능을 가지고, 도 4의 처리에 앞서 각 발생 요인 관련 정보(27)로부터 각각 대응되는 주요한 키워드(제 3 키워드)를 추출하여 저장한다. 각 발생 요인 관련 정보(27)는 텍스트 마이닝에 의해 추출되는 키워드 외에, 표제, 파티클원, 카테고리를 키워드로서 가진다. 표제는 발생 요인 관련 정보(27)의 내용을 간결하게 나타내고, 파티클원은 발생 요인 관련 정보(27)가 취급하는 파티클의 발생원을 나타내고, 카테고리는 발생 요인 관련 정보(27)의 내용의 종류별, 예를 들면 단순한 발생 메카니즘이나 파티클 발생 요인의 해소 방법을 나타낸다. 이들 키워드는 하이엔드 유저 또는 시스템 관리자가 발생 요인 관련 정보(27)에 관련지어 설정한다. 이하, 각 발생 요인 관련 정보(27)가 가지는 키워드를 ‘관련 정보 키워드’라고 칭한다.
발생 요인 관련 정보(27)는 관련 정보 키워드 외에, 발생 요인 관련 정보(27)의 가치를 나타내는 지표를 가진다. 이 지표는 당해 발생 요인 관련 정보(27)를 이용했을 때에 얻을 수 있는 경제적 메리트를 금액으로 나타낸 것이며, 이하 ‘ROK(Return on Knowledge)’라고 칭한다. ROK는 하이엔드 유저 또는 시스템 관리자가 설정하는 초기치와, 당해 발생 요인 관련 정보(27)를 이용한 유저가 실제로 얻은 경제적 메리트를 고려하여 설정하는 피드백치(제 2 정보를 이전에 이용한 다른 유저에 의한 평가치)로 이루어진다.
데이터베이스 장치(12)는 서버 장치(13)로부터 화상 키워드 또는 텍스트 키워드를 수신하면, 화상 키워드 또는 텍스트 키워드와 관련 정보 키워드를 비교하여, 화상 키워드 또는 텍스트 키워드와 일치도가 높은 관련 정보 키워드에 대응하는 발생 요인 관련 정보(27)를 선택하여 서버 장치(13)로 송신한다. 이 때, 데이터베이스 장치(12)는 발생 요인 관련 정보(27)에 부수하여 이 발생 요인 관련 정보(27)에 대응하는 표제, 파티클원, 카테고리를 송신하고, 또한 ROK도 송신한다.
발생 요인 관련 정보(27)는 데이터베이스 장치(12) 그 자체에 저장되어 있을 필요는 없고, 데이터베이스 장치(12)와 접속된 외부의 데이터베이스 장치에 저장되어 있어도 좋다. 단, 이 경우에는, 외부의 데이터베이스 장치에 저장되어 있는 발생 요인 관련 정보(27)로부터도 텍스트 마이닝에 의해, 도 4의 처리에 앞서 주요한 키워드를 추출하고, 데이터베이스 장치(12)가 이 추출된 키워드를 저장할 필요가 있다.
데이터베이스 장치(12)는 텍스트 마이닝 기능을 가지므로, 과거에 축적되었지만 내용이 정리되어 있지 않은 문헌 등의 문서 데이터도 발생 요인 관련 정보(27)로서 활용할 수 있다.
서버 장치(13)는 데이터베이스 장치(12)로부터 발생 요인 관련 정보(27), 이 발생 요인 관련 정보(27)에 대응하는 표제, 파티클원, 카테고리 및 ROK를 수신하면, 우선 수신한 발생 요인 관련 정보(27)에 대응하는 파티클 발생 요인의 약칭, 이 파티클 발생 요인의 정확도, 수신한 발생 요인 관련 정보(27)의 표제, 파티클원, 카테고리 등을 유저 인터페이스 장치(11)로 송신한다.
유저 인터페이스 장치(11)는 서버 장치(13)로부터 발생 요인 관련 정보(27) 등을 수신하면, 이들을 해석 결과로서 디스플레이(14)에 표시한다(정보 표시 단계).
도 9는, 도 1에서의 유저 인터페이스 장치의 디스플레이에 표시되는 해석 결과 표시 화상이다.
도 9의 해석 결과 표시 화상(28)은 파티클 맵을 표시하는 프레임(29)과, 수신된 파티클 발생 요인의 약칭 및 정확도를 일람 표시하는 정확도 리스트(30)와, 수신된 발생 요인 관련 정보(27)의 표제, 파티클원, 카테고리(제 2 정보의 일부)를 일람 표시하는 관련 정보 리스트(31)를 가진다. 여기서, 관련 정보 리스트(31)에 표제가 표시되는 발생 요인 관련 정보(27)는 정확도가 높은 파티클 발생 요인의 화상 키워드에 기초하여 선택되어 있으므로, 유저에게는 정확도가 높은 파티클 발생 요인에 관련되는 발생 요인 관련 정보(27)가 제공되게 된다. 또한, 관련 정보 리스트(31)는 각 표제에 대응하는 다운로드 버튼(32)을 가진다.
유저가 관련 정보 리스트(31)의 다운로드 버튼(32)을 마우스 등으로 선택하면, 이 다운로드 버튼(32)에 대응하는 표제의 발생 요인 관련 정보(27)가 문서 데이터, 예를 들면 pdf 형식의 데이터로서 서버 장치(13)로부터 유저 인터페이스 장치(11)로 송신되어 제공된다.
유저 인터페이스 장치(11)는 제공된 발생 요인 관련 정보(27)를 프린터(도시하지 않음) 등에 의해 출력할 때 출력한 유저가 특정될 수 있도록, 예를 들면 유저 인터페이스 장치(11)의 IP 주소나 유저의 개인 특정 정보, 예를 들면 메일 주소 등을 배경으로서 발생 요인 관련 정보(27)와 함께 출력되는 용지에 인쇄한다(도 10). 이에 따라, 출력된 발생 요인 관련 정보(27)의 무단 전용을 방지할 수 있다.
파티클 발생 요인 판정 시스템(10)에서는 유저가 원하는 발생 요인 관련 정보(27)의 유저 인터페이스 장치(11)로의 제공에 대하여 과금이 행해진다(과금 단계). 과금액은 이하의 식 (1)에 기초하여 산출된다.
?과금액 = ROK(초기치, 피드백치의 양방을 포함함) × ROK 계수 × 제공되는 발생 요인 관련 정보(27)에 관련된 파티클 발생 요인의 정확도 × 당해 발생 요인 관련 정보(27)의 지금까지의 선택 빈도 … (1)
‘ROK 계수’는 과금액을 적절한 액수로 조정하기 위하여 하이 엔드 유저 또는 시스템 관리자가 설정하는 계수이며, ‘발생 요인 관련 정보(27)의 지금까지의 선택 빈도’는 지금까지 파티클 발생 요인의 판정이 행해진 회수에 대한, 당해 발생 요인 관련 정보(27)가 화상 키워드 또는 텍스트 키워드에 기초하여 지금까지 선택된 회수의 비율이다.
예를 들면, ROK의 초기치가 1000 만엔, ROK의 피드백치가 1000 만엔, ROK 계수가 0.1, 정확도가 0.90, 선택 빈도가 0.5(1000 회의 판정에서 당해 발생 요인 관련 정보(27)가 500 회 선택된)인 경우, 과금액은 90 만엔이 된다.
상술한 과금액의 산출 방법은 일례이며, 이 외에 발생 요인 관련 정보(27)가 반도체 디바이스의 제조 라인의 수익에 기여한 실적이나 기판 처리 시스템의 개발에 기여한 실적(제 2 정보의 수익에 대한 기여 실적), 지금까지의 발생 요인 관련 정보(27)의 제공 횟수, 발생 요인 관련 정보(27)가 마지막으로 제공되고 난 후의 경과 시간 중 적어도 하나를 과금액의 산출 요소로서 이용해도 좋다. 단, 정확도는 과금액의 산출 요소로서 반드시 이용할 필요가 있다.
유저 인터페이스 장치(11)는 발생 요인 관련 정보(27)의 제공 시에 유저의 레벨, 예를 들면 정보 입수 허가 레벨에 따라 발생 요인 관련 정보(27)의 제공 형태를 변경한다. 예를 들면, 통상의 유저이면, 발생 요인 관련 정보(27)의 문서 데이터에 기재된 모든 내용을 용지에 인쇄하여 제공하지만, 정보 입수 허가 레벨이 낮은 유저이면, 문서 데이터에 기재된 내용의 개요만을 용지에 인쇄하여 제공하고, 또한 파티클 발생 요인 판정 시스템(10)을 시험하고 있는 유저이면, 문서 데이터에 기재된 내용을 용지에 인쇄하지 않고 유저 인터페이스 장치(11)의 디스플레이(14)에 표시할 뿐이다. 또한 파티클 발생 요인 판정 시스템(10)은 발생 요인 관련 정보(27)의 제공 형태에 따라서도 과금액을 변경한다. 예를 들면, 상기 식 (1)에서 산출된 과금액에 제공 형태에 따른 계수를, 예를 들면 문서 데이터에 기재된 모든 내용을 제공할 경우에는 1.0을 계수로 하고, 문서 데이터에 기재된 내용의 개요만을 제공할 경우에는 0.3을 계수로 하고, 문서 데이터에 기재된 내용의 표제만(타이틀)을 디스플레이(14)에 표시할 경우에는 0.0을 계수로 한다.
또한, 발생 요인 관련 정보(27)의 문서 데이터에 기재된 모든 내용이 유저에게 제공될 경우에도, 발생 요인 관련 정보(27)의 카테고리에 따라 유저가 얻을 수 있는 경제적 메리트가 상이하다. 예를 들면, 발생 메카니즘이 제공될 경우, 유저는 용이하게 파티클 발생의 해소에 이를 수 없기 때문에 유저가 얻을 수 있는 경제적 메리트는 작지만, 파티클 발생 요인의 해소 방법이 제공될 경우, 유저는 용이하게 파티클 발생의 해소에 이를 수 있으므로 유저가 얻을 수 있는 경제적 메리트는 크다. 따라서, 파티클 발생 요인 판정 시스템(10)은 발생 요인 관련 정보(27)의 카테고리에 따라서도 과금액을 변경한다. 예를 들면, 상기 식 (1)에서 산출된 과금액에 카테고리에 따른 계수를, 예를 들면 발생 요인 관련 정보(27)가 발생 메카니즘인 경우에는 0.3을 계수로 하고, 발생 요인 관련 정보(27)가 파티클 발생 요인의 해소 방법인 경우에는 1.0을 계수로 한다.
본 실시예에 따른 과금 방법을 실행하는 파티클 발생 요인 판정 시스템(10)에 따르면, 파티클 맵에 기초하여 복수의 파티클 발생 요인의 각각에 대하여 정확도가 산출되고, 발생 요인 관련 정보(27)의 제공에 대한 과금액은 적어도 제공되는 발생 요인 관련 정보(27)에 대응하는 파티클 발생 요인의 정확도에 기초하여 결정되므로, 과금액이 높은 발생 요인 관련 정보(27)에 대응하는 파티클 발생 요인이 진짜 발생 요인일 가능성이 높다. 따라서, 유저에게 있어서 파티클 발생 요인 판정 시스템(10)의 이용에 관한 비용 대비 효과를 쉽게 알 수 있게 되고, 그 결과, 파티클 발생 요인 판정 시스템(10)의 이용에 관한 유저에게 인센티브를 줄 수 있다.
상술한 파티클 발생 요인 판정 시스템(10)에서는, 반도체 디바이스의 제조 라인의 수익에 기여한 실적이나 기판 처리 시스템의 개발에 기여한 실적, 당해 발생 요인 관련 정보(27)를 이용한 유저가 실제로 얻은 경제적 메리트를 고려하여 설정하는 피드백치, 지금까지의 발생 요인 관련 정보(27)의 제공 회수, 발생 요인 관련 정보(27)가 마지막으로 제공되고 난 후의 경과 시간 중 적어도 하나에 기초하여 과금액이 결정되므로, 과금액에 발생 요인 관련 정보(27)의 가치를 반영시킬 수 있어 과금액을 리즈너블한 액수로 할 수 있다.
또한 상술한 파티클 발생 요인 판정 시스템(10)에서는 발생 요인 관련 정보(27)의 제공 형태에 따라 과금액이 결정되므로, 과금액을 발생 요인 관련 정보(27)를 사용 정도에 알맞은 액수로 할 수 있다.
또한 상술한 파티클 발생 요인 판정 시스템(10)에서는 발생 요인 관련 정보(27)의 카테고리에 따라 과금액이 결정되므로, 과금액을 유저가 얻을 수 있는 경제적 메리트에 알맞은 액수로 할 수 있다.
상술한 파티클 발생 요인 판정 시스템(10)에서는 파티클 맵의 화상 해석 결과에 기초하여 파티클 발생 요인의 정확도가 산출되고 정확도가 높은 파티클 발생 요인에 관련된 발생 요인 관련 정보(27)가 제공되므로, 유저는 웨이퍼를 촬영하는 등 하여 웨이퍼의 화상 데이터를 준비하는 것만으로 발생 요인 관련 정보(27)를 얻을 수 있어, 유저의 수고를 생략할 수 있다.
상술한 파티클 발생 요인 판정 시스템(10)에서는 화상 키워드가 취득되고, 이 취득된 화상 키워드에 기초하여 발생 요인 관련 정보(27)가 선택되어 취득되므로, 각 파티클 발생 요인과 각 발생 요인 관련 정보(27)를 직접적으로 링크시켜 둘 필요가 없다. 따라서, 발생 요인 관련 정보(27)의 준비나 갱신을 용이하게 행할 수 있다.
상술한 파티클 발생 요인 판정 시스템(10)에서는 텍스트 입력 박스(23)에 입력된 텍스트 데이터로부터 텍스트 마이닝에 의해 텍스트 키워드가 추출되므로, 텍스트 입력 박스(23)에 입력된 텍스트 데이터의 내용이 정리되어 있지 않아도 텍스트 키워드를 추출할 수 있다.
또한 상술한 파티클 발생 요인 판정 시스템(10)에서는 도 4의 처리, 적어도 발생 요인 관련 정보(27)의 선택에 앞서, 각 발생 요인 관련 정보(27)로부터 텍스트 마이닝에 의해 관련 정보 키워드를 추출하므로, 발생 요인 관련 정보(27)의 선택 시에는 관련 정보 키워드가 존재한다. 그 결과, 화상 키워드 또는 텍스트 키워드와 추출된 관련 정보 키워드를 비교하는 것만으로 원하는 발생 요인 관련 정보(27)를 용이하고 신속하게 얻을 수 있다.
상술한 파티클 발생 요인 판정 시스템(10)에서는 유저가 직접 과금액을 아는 일은 없지만, 발생 요인 관련 정보(27)의 제공 전, 구체적으로는 유저가 다운로드 버튼(32)을 선택했을 때, 그 다운로드 버튼(32)에 대응하는 표제의 발생 요인 관련 정보(27)의 제공에 대한 과금액을 산출하여 유저에게 제시해도 좋다. 이에 따라, 유저는 사전에 입수하고자 하는 발생 요인 관련 정보(27)의 가치를 알 수 있어, 발생 요인 관련 정보(27)를 입수할지 여부에 대하여 적절히 판단할 수 있다.
또한, 파티클 발생 요인 판정 시스템(10)에서, 각 발생 요인 관련 정보(27)에 대한 과금 실적을 기록해도 좋다. 이에 따라, 발생 요인 관련 정보(27)를 파티클 발생 요인 판정 시스템(10)으로 제공한 기판 처리 시스템의 개발자 등의 수익에의 공헌도가 명확해져, 이 개발자의 파티클 발생 요인 판정 시스템(10)으로의 정보 제공에 대한 인센티브를 향상시킬 수 있다.
본 발명의 목적은 상술한 실시예의 기능을 실현시키는 소프트웨어의 프로그램을 기록한 기억 매체를 서버 장치(13) 등으로 공급하고, 서버 장치(13)의 CPU가 기억 매체에 저장된 프로그램을 독출하여 실행함으로써도 달성된다.
이 경우, 기억 매체로부터 독출된 프로그램 자체가 상술한 실시예의 기능을 실현시키게 되고, 프로그램 및 그 프로그램을 기억한 기억 매체는 본 발명을 구성하게 된다.
또한, 프로그램을 공급하기 위한 기억 매체로서는, 예를 들면 RAM, NV-RAM, 플로피(등록 상표) 디스크, 하드 디스크, 광자기 디스크, CD-ROM, CD-R, CD-RW, DVD(DVD-ROM, DVD-RAM, DVD-RW, DVD+RW) 등의 광디스크, 자기 테이프, 불휘발성의 메모리 카드, 다른 ROM 등의 상기 프로그램을 기억할 수 있는 것이면 된다. 혹은 상기 프로그램은 인터넷, 상용 네트워크, 혹은 로컬 에어리어 네트워크 등에 접속되는 도시하지 않은 다른 컴퓨터 또는 데이터베이스 등으로부터 다운로드함으로써 서버 장치(13)로 공급되어도 좋다.
또한, 서버 장치(13)의 CPU가 독출한 프로그램을 실행함으로써, 상기 실시예의 기능이 실현될 뿐만 아니라, 그 프로그램의 지시에 기초하여 CPU 상에서 가동되고 있는 OS(오퍼레이팅 시스템) 등이 실제 처리의 일부 또는 전부를 행하고, 그 처리에 의해 상술한 실시예의 기능이 실현되는 경우도 포함된다.
또한, 기억 매체로부터 독출된 프로그램이, 서버 장치(13)에 삽입된 기능 확장 보드 또는 서버 장치(13)에 접속된 기능 확장 유닛에 구비되는 메모리에 기입된 후, 그 프로그램의 지시에 기초하여 그 기능 확장 보드 또는 기능 확장 유닛에 구비되는 CPU 등이 실제 처리의 일부 또는 전부를 행하고, 그 처리에 의해 상술한 실시예의 기능이 실현되는 경우도 포함된다.
상기 프로그램의 형태는 오브젝트 코드, 인터프리터에 의해 실행되는 프로그램, OS로 공급되는 스크립트 데이터 등의 형태로 이루어져도 좋다.
10 : 파티클 발생 요인 판정 시스템
11 : 유저 인터페이스 장치
12 : 데이터베이스 장치
13 : 서버 장치
16, 18 : 확인용 화상
22 : 입력용 화상
27 : 발생 요인 관련 정보
28 : 해석 결과 표시 화상
31 : 관련 정보 리스트

Claims (10)

  1. 표시부를 가지고, 유저가 기판에 부착된 파티클에 관한 제 1 정보를 입력하는 유저 인터페이스 장치와, 복수의 파티클 발생 요인의 각각에 대한 가능성을 검토하는 서버 장치를 적어도 구비하는 파티클 발생 요인 판정 시스템에서의 과금 방법으로서,
    상기 서버 장치가 상기 입력된 제 1 정보를 수취하고, 상기 수취된 제 1 정보에 기초하여 상기 복수의 파티클 발생 요인의 각각에 대한 가능성을 점수로서 산출하는 점수 산출 단계와,
    상기 유저 인터페이스 장치가 상기 산출된 각 점수와 함께 상기 점수에 대응하는 상기 각 파티클 발생 요인에 관한 제 2 정보의 일부를 상기 표시부에 표시하는 정보 표시 단계와,
    상기 서버 장치가 상기 표시된 제 2 정보의 일부의 선택에 따라 상기 제 2 정보를 상기 유저 인터페이스 장치로 제공하고, 상기 제 2 정보의 제공에 대해 과금하는 과금 단계를 가지고,
    상기 과금 단계에서는, 적어도 상기 제공되는 제 2 정보에 대응하는 상기 파티클 발생 요인의 점수에 기초하여 과금액이 결정되고,
    상기 유저 인터페이스 장치로는, 상기 제 2 정보의 일부의 정보의 일람 표시 또는 상기 제 2 정보에서의 보다 상세한 정보가 제공되는 것을 특징으로 하는 과금 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 과금 단계에서는, 상기 제 2 정보의 수익에의 기여 실적, 상기 제 2 정보를 이전에 이용한 다른 유저에 의한 평가치, 지금까지의 상기 제 2 정보의 제공 회수, 상기 제 2 정보가 마지막으로 제공되고 난 후의 경과 시간 중 적어도 하나에 기초하여 상기 과금액이 결정되는 것을 특징으로 하는 과금 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 과금 단계에서는, 상기 제 2 정보의 제공 형태에 따라 상기 과금액이 결정되는 것을 특징으로 하는 과금 방법.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 과금 단계에서는, 상기 제 2 정보의 카테고리에 따라 상기 과금액이 결정되는 것을 특징으로 하는 과금 방법.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 정보는 파티클에 관한 화상 데이터로 이루어지고,
    상기 점수 산출 단계에서는, 상기 서버 장치가 상기 화상 데이터의 화상 해석 결과에 기초하여 상기 점수를 산출하는 것을 특징으로 하는 과금 방법.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 서버 장치가 상기 복수의 파티클 발생 요인의 각각에 관련되는 제 1 키워드를 취득하고, 상기 취득된 제 1 키워드에 기초하여 상기 제 2 정보를 선택하여 취득하는 것을 특징으로 하는 과금 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1 정보는 파티클에 관한 문서 데이터로 이루어지고,
    상기 유저 인터페이스 장치가 상기 문서 데이터로부터 텍스트 마이닝에 의해 제 2 키워드를 추출하고,
    상기 서버 장치가 상기 추출된 제 2 키워드에 기초하여 상기 제 2 정보를 선택하여 취득하는 것을 특징으로 하는 과금 방법.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 파티클 발생 요인 판정 시스템은 데이터베이스 장치를 더 구비하고,
    상기 제 2 정보는 문서 데이터로 이루어져 상기 데이터베이스 장치에 저장되고,
    상기 데이터베이스 장치는, 상기 제 2 정보의 선택에 앞서 상기 각 제 2 정보로부터 텍스트 마이닝에 의해 제 3 키워드를 추출하는 것을 특징으로 하는 과금 방법.
  9. 표시부를 가지고, 유저가 기판에 부착된 파티클에 관한 제 1 정보를 입력하는 유저 인터페이스 장치와, 복수의 파티클 발생 요인의 각각에 대한 가능성을 검토하는 서버 장치를 적어도 구비하는 파티클 발생 요인 판정 시스템에 있어서,
    상기 서버 장치가 상기 입력된 제 1 정보를 수취하고, 상기 수취한 제 1 정보에 기초하여 상기 복수의 파티클 발생 요인의 각각에 대한 가능성을 점수로서 산출하고,
    상기 유저 인터페이스 장치가 상기 산출된 각 점수와 함께 상기 점수에 대응하는 상기 각 파티클 발생 요인에 관한 제 2 정보의 일부를 상기 표시부에 표시하고,
    상기 서버 장치가 상기 표시된 제 2 정보의 일부의 선택에 따라 상기 제 2 정보를 상기 유저 인터페이스 장치로 제공하고, 상기 제 2 정보의 제공에 대해 과금하고,
    상기 제 2 정보의 제공에 대한 과금액은, 적어도 상기 제공되는 제 2 정보에 대응하는 상기 파티클 발생 요인의 점수에 기초하여 결정되고,
    상기 유저 인터페이스 장치로는, 상기 제 2 정보의 일부의 정보의 일람 표시 또는 상기 제 2 정보에서의 보다 상세한 정보가 제공되는 것을 특징으로 하는 파티클 발생 요인 판정 시스템.
  10. 표시부를 가지고, 유저가 기판에 부착된 파티클에 관한 제 1 정보를 입력하는 유저 인터페이스 장치와, 복수의 파티클 발생 요인의 각각에 대한 가능성을 검토하는 서버 장치를 적어도 구비하는 파티클 발생 요인 판정 시스템에서의 과금 방법을 컴퓨터에 실행시키는 프로그램을 저장하는 컴퓨터로 판독 가능한 기억 매체로서, 상기 과금 방법은,
    상기 서버 장치가 상기 입력된 제 1 정보를 수취하고, 상기 수취한 제 1 정보에 기초하여 상기 복수의 파티클 발생 요인의 각각에 대한 가능성을 점수로서 산출하는 점수 산출 단계와,
    상기 유저 인터페이스 장치가 상기 산출된 각 점수와 함께 상기 점수에 대응하는 상기 각 파티클 발생 요인에 관한 제 2 정보의 일부를 상기 표시부에 표시하는 정보 표시 단계와,
    상기 서버 장치가 상기 표시된 제 2 정보의 일부의 선택에 따라 상기 제 2 정보를 상기 유저 인터페이스 장치로 제공하고, 상기 제 2 정보의 제공에 대해 과금하는 과금 단계를 가지고,
    상기 과금 단계에서는, 적어도 상기 제공되는 제 2 정보에 대응하는 상기 파티클 발생 요인의 점수에 기초하여 과금액이 결정되고,
    상기 유저 인터페이스 장치로는, 상기 제 2 정보의 일부의 정보의 일람 표시 또는 상기 제 2 정보에서의 보다 상세한 정보가 제공되는 것을 특징으로 하는 기억 매체.
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