JPH08261745A - 三次元座標測定装置 - Google Patents

三次元座標測定装置

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JPH08261745A
JPH08261745A JP8046439A JP4643996A JPH08261745A JP H08261745 A JPH08261745 A JP H08261745A JP 8046439 A JP8046439 A JP 8046439A JP 4643996 A JP4643996 A JP 4643996A JP H08261745 A JPH08261745 A JP H08261745A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】可搬式で、精度及び使いやすさが向上した新し
い改良型三次元CMMを提供すること。 【解決手段】 新規な可搬式座標測定器10は、好適な
実施例では直径が6〜8フィート(182〜244セン
チメートル)の球を有する体積を2Σ±0.003イン
チの測定精度で正確に容易に測定する多重ジョイント式
(好ましくは6または7ジョイント)手動位置決め形測
定アーム12を有している。測定アーム12に加えて、
本発明は、アーム12及びホストコンピュータ18間の
電子インターフェースとして作用するコントローラ(ま
たはシリアルボックス)16を用いている。また、測定
以外の機能を実施する多数の端部作動プローブ56が設
けられている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、三次元座標測定器
(CMM:coordinate measuring machine)に関するも
のである。本発明は特に、可搬式で、精度及び使いやす
さが向上した新しい改良型三次元CMMに関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】物理的世界では全てのものが体積すなわ
ち空間を占めることは理解されるであろう。空間内の位
置は長さ、幅及び高さによって定められ、これらは技術
用語ではX、Y、Z座標と呼ばれることが多い。X、
Y、Zの数字が長さ、幅及び高さすなわち3つの寸法を
表す。三次元物体は位置及び方位で、すなわち物体がど
こにあるかだけでなく、それがどの方向を向いているか
で表される。空間内での物体の方位は、物体上の3点の
位置で定めることができる。方位はまた、空間内の物体
の整合角度によっても表される。X、Y及びZ座標は3
つの直尺によって最も簡単に測定できる。言い換える
と、空間の長さ、幅及び高さに沿って直尺を当てれば、
空間内の1点の位置を測定できる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】現在では、座標測定器
CMMは3つの直尺を用いて空間内の物体を測定する。
これらの装置は一般的に持ち運びできず、高価で、容易
に測定できる大きさすなわち体積が限定される。
【0004】米国フロリダ州、レイク・メアリのファロ
(FARO)・テクロノジーズ社(本発明の譲受人)が、医療
分野用の一連の測角器形計数化装置の製造に成功してい
る。特に、ファロ・テクロノジーズ社は、メトレコム(M
ETRECOM)(登録商標)として知られる骨格分析用の装
置、及びサージコム(SURGICOM)(商標)として知られる
外科用の装置を製造している。メトレコム及びサージコ
ム装置に実現されている形式の測角器形装置は、米国特
許第4,670,851号、第5,251,127号及
び第5,305,203号に開示されており、これらは
全て本発明の譲受人に譲渡され、その開示内容は参考と
して本説明に含まれる。
【0005】メトレコム及びサージコム測角器形計数化
装置はその使用目的には十分に適しているが、部品及び
アセンブリの三次元測定がしばしば必要である一般的な
工業用にはあまり適していない。従って、工業及びその
関連分野で使用できる改良型の正確で低コストのCMM
が必要とされている。
【0006】
【課題を解決するための手段】従来技術の上記及び他の
問題及び欠点は、本発明の三次元測定器(例えば測角
器)によって解決されるか、軽減される。本発明による
新規な可搬式座標測定器は、好適な実施例では、直径が
6〜12フィート(182〜366センチメートル。し
かし、この範囲の上下の直径も含むこともできる)の球
を有する体積を好ましくは、2Σ±0.003インチ
(1インチ=約2.54センチメートル。オプションと
して2Σ(シグマ)±0.001インチ)の測定精度で
正確に容易に測定する多重ジョイント式(好ましくは6
または7ジョイント)手動位置決め形測定アームを有し
ている。測定アームに加えて、本発明は、アーム及びホ
ストコンピュータ間の電子インターフェースとして作用
するコントローラ(またはシリアルボックス)を用いて
いる。
【0007】本発明のCMMに使用されている機械式測
定アームは一般的に、複数の移動ハウジング(各移動ハ
ウジングはジョイントで構成され、1回転自由度を備え
ている)と伸張部材とを互いに取り付けて構成されてお
り、好ましくは5、6または7自由度を備えた可動アー
ムを形成できるように隣接の移動ハウジングが直角に配
置されている。各移動ハウジングは、測定トランスジュ
ーサと新規な軸受構造とを備えている。これらの新規な
軸受構造は、対向配置された円錐形玉軸受で形成された
プレストレスを加えた軸受と、低い縦断面構造での曲げ
強さを高めるための補剛スラスト軸受か、あるいは標準
形組み合わせ軸受とを備えている。又、各移動ケーシン
グは、機械的応力による機械的過負荷を防止するために
物理的に見えるか、聞こえる端部ストップインジケータ
を備えている。
【0008】可動アームは、(1)温度安定性を監視す
る温度監視ボードと、(2)汎用エンコーダ選択用のエ
ンコーダ取り付けプレートと、(3)ユニットの混乱を
避けるために校正及び識別データを含むEEPROM回
路盤と、(4)コントローラ内の遠隔カウンタボードへ
高増幅信号を送る、エンコーダ取り付けプレート付近に
取り付けられた前置増幅器ボードとを備えて、ベースま
たはポストに取り付けられている。
【0009】先行技術のメトレコム装置の場合と同様
に、移動ケーシングはモジュラー化されて、様々な組み
立て配置が可能であり、熱膨張係数(CTE)を一定に
するため、可動アームアセンブリ全体が同一物質で構成
されている。メトレコム装置の場合と同様に、回転止め
及びワイヤコイル巻きキャビティを備えた内部配線によ
って、多数のワイヤを完全に封入することができる。ま
た先行技術のメトレコム装置と同様に、本発明にはユー
ザの便宜を図ってばねで釣り合わせて衝撃吸収した支持
機構と、手動操作で高精度の測定ができるようにする2
つのスイッチ(取り出し/受け取り)データ入力装置と
が設けられている。また、先行技術のメトレコム装置に
使用されている形式の汎用オプションが、三次元での変
数の測定用に設けられている(例えば、オプションポー
トに取り付けられたサーモカップルを用いて、温度を三
次元で測定することができる)。
【0010】離散的マイクロプロセッサベースのコント
ローラボックスを使用することが本発明の重要な特徴で
あるが、それは、ホストレベルの処理要求を伴わないで
特殊な、または総合的なコントローラの計算を事前処理
できるからである。これは、様々な外部ホスト(例えば
外部コンピュータ)とのプログラマブル適合性及び互換
性を与えるインテリジェント前処理プログラムをコント
ローラボックスに搭載することによって達成される。シ
リアルボックスはまた、ホストからの通信要求を感知す
ることによって、インテリジェント多重プロトコル評価
及び自動切り替えを行う。例えば、ある製造者からのホ
ストコンピュータ運転ソフトウェアがある形式の呼び出
し要求を発生すると、それがコントローラボックスによ
って自動的に感知される。コントローラボックスのさら
に別の特徴として、様々な工業環境で規格化された長距
離通信用の直列ポート通信と、(移動ハウジング内に位
置する)全てのエンコーダを同時捕捉し、それによって
高精度の測定を行うための新規なアナログ・デジタル/
デジタルカウンタボードとがある。
【0011】本発明のCMMの効果的な現場校正は、取
り付けが複雑になることを避けるためにCMMのベース
に配置されたシステム精度評価用の基準ボールを使用す
ることによって行われる。また、本発明のCMMは、好
ましくは新規な円錐形ボールバー装置を使用して体積精
密測定プロトコルを暫定的に実行する手段を備えてい
る。
【0012】具体的には、請求項1に記載の発明は、
「第1及び第2の対向端部を備え、また複数のジョイン
トを設け、該各ジョイントが1自由度(a degree of fre
edom)に対応することによって選択体積(selected volum
e) 内を移動できるようになっており、前記ジョイント
の各々が位置信号を発生する位置トランスジューサ手段
を収納するための回転移動ハウジングを有するようにし
た可動アームと、可動アームの前記第1端部に取り付け
られた支持ベースと、可動アームの前記第2端部に取り
付けられたプローブと、前記トランスジューサから前記
位置信号を受け取って、選択体積内での前記プローブの
位置及び方位に対応したデジタル座標を発生する電子回
路手段とを有する三次元座標測定装置。」である。
【0013】請求項2に記載の発明は、「前記移動ハウ
ジングはさらに、1組の初荷重を加えられた組み合わせ
軸受を設けており、前記初荷重は内レース及び外レース
の特殊な研削によって決定されて、設置中のローディン
グ時に一定量の初荷重がアセンブリに加えられるように
した請求項1に記載の測定装置。」である。請求項3に
記載の発明は、「前記組み合わせ軸受組のレースは前記
ケーシングに永久的に固定されている請求項2に記載の
測定装置。」である。
【0014】請求項4に記載の発明は、「前記組み合わ
せ軸受組にプレストレスを加える圧縮手段を設けている
請求項2に記載の測定装置。」である請求項5に記載の
発明は、「前記圧縮手段は、前記ケーシングの前記軸に
螺着されて、その間に前記組み合わせ玉軸受を挟み込む
圧縮ナットを有している請求項4に記載の測定装置。」
である。請求項6に記載の発明は、「前記移動ハウジン
グは、ハウジング肩部及び軸肩部を備えており、さら
に、各移動ハウジングが660゜回転できるようにする
ために移動ハウジング肩部及び移動軸肩部の両方に設け
られた溝手段と、前記移動ハウジングの機械的応力によ
る機械的過負荷を防止するせん断シャトル手段とを備え
ている請求項1に記載の測定装置。」である。
【0015】請求項7に記載の発明は、「前記移動ハウ
ジングは、ハウジング肩部及び軸肩部を備えており、さ
らに、各移動ハウジングが330゜回転できるようにす
るために移動ハウジング肩部及び移動軸肩部の両方に設
けられた溝手段と、前記移動ハウジングの機械的応力に
よる機械的過負荷を防止するせん断シャトル手段とを備
えている請求項1に記載の測定装置。」である。請求項
8に記載の発明は、「前記せん断シャフトはプラスチッ
ク製である請求項6に記載の測定装置。」である。
【0016】請求項9に記載の発明は、「シャトルの長
さは、移動手段の移動ハウジング肩部及び移動軸肩部の
両方の溝手段によって定められる丸味の20゜の円弧で
ある請求項6に記載の測定装置。」である。請求項10
に記載の発明は、「前記支持ベースと測定される物体と
の間に剛性及び安定性を与えるため、調節可能な支柱手
段が設けられている請求項1に記載の測定装置。」であ
る。
【0017】請求項11に記載の発明は、「端部作動器
がCMMによって自動的に識別されるようにするための
手段がプローブアセンブリ内に設けられている請求項1
に記載の測定装置。」である。請求項12に記載の発明
は、「端部作動器にマーキングプローブを取り付けるた
めの手段が設けられている請求項11に記載の測定装
置。」である。請求項13に記載の発明は、「前記手段
はねじ付き手段である請求項12に記載の測定装置。」
である。
【0018】請求項14に記載の発明は、「前記マーキ
ングプローブは取り付け装置及びマーキングペンを有し
ている請求項12に記載の測定装置。」である。請求項
15に記載の発明は、「前記取り付け装置は取り付けス
テムを備えており、前記ステムは第1端部に前記可動ア
ームの内孔にはめ込まれるシャンクを、第2端部に前記
プローブと螺合されるねじ付き構造部を設けている請求
項14に記載の測定装置。」である。請求項16に記載
の発明は、「端部作動器にパンチマーキングプローブを
取り付ける手段が設けられている請求項11に記載の測
定装置。」である。
【0019】請求項17に記載の発明は、「前記パンチ
プローブは反跳ばね及びトリガアセンブリを有している
請求項16に記載の測定装置。」である。請求項18に
記載の発明は、「端部作動器に感圧トランスジューサプ
ローブを取り付ける手段が設けられている請求項11に
記載の測定装置。」である。請求項19に記載の発明
は、「端部作動器にドリルプローブを取り付ける手段が
設けられている請求項11に記載の測定装置。」であ
る。請求項20に記載の発明は、「外部動力源をドリル
プローブに取り付ける手段が設けられている請求項19
に記載の測定装置。」である。
【0020】請求項21に記載の発明は、「端部作動器
に導通プローブを取り付ける手段が設けられている請求
項11に記載の測定装置。」である。請求項22に記載
の発明は、「7自由度を備えている請求項1に記載の測
定装置。」である。請求項23に記載の発明は、「信号
が遠隔測定によって送信されて、遠隔測定信号を介して
ホストコンピュータによって受信される請求項1に記載
の測定装置。」である。
【0021】請求項24に記載の発明は、「前記支持ベ
ースはさらに、それから測定すべき物体用の支持部材ま
で延出した支柱を備えており、前記支柱が可動アームと
測定すべき物体との間の安定性を向上させる請求項1に
記載の測定装置。」である。請求項25に記載の発明
は、「前記支柱は、少なくとも1つの調節可能な部材に
よって軸方向に取り付けられた少なくとも2つの部分を
有しており、また支柱は第1及び第2端部の各々に回動
取り付け部を備えており、前記第1端部は支持ベースに
回動可能に取り付けられ、前記第2端部は測定すべき物
体用の支持部材に回動可能に取り付けられている請求項
24に記載の測定装置。」である。
【0022】請求項26に記載の発明は、「前記少なく
とも1つの調節可能な部材は前記少なくとも2つの部分
に螺着されている請求項25に記載の測定装置。」であ
る。請求項27に記載の発明は、「前記第2端部側の前
記支持部材との回動取り付け部は前記支持部材を把持す
るクランプを備えており、前記クランプは前記第2端部
に回動可能に取り付けられている請求項25に記載の測
定装置。」である。請求項28に記載の発明は、「前記
クランプはCクランプである請求項27に記載の測定装
置。」である。請求項29に記載の発明は、「前記可動
アームは第1、第2及び第3ジョイント構造部を設けて
おり、第1ジョイント構造部は2自由度を備え、第2ジ
ョイント構造部は2自由度を備え、第3ジョイント構造
部は2自由度を備えて、6自由度を与える請求項1に記
載の測定装置。」である。
【0023】請求項30に記載の発明は、「前記可動ア
ームは第1、第2及び第3ジョイント構造部を設けてお
り、第1ジョイント構造部は2自由度を備え、第2ジョ
イント構造部は1自由度を備え、第3ジョイント構造部
は3自由度を備えて、6自由度を与える請求項1に記載
の測定装置。」である。請求項31に記載の発明は、
「前記可動アームは第1、第2及び第3ジョイント構造
部を設けており、第1ジョイント構造部は2自由度を備
え、第2ジョイント構造部は2自由度を備え、第3ジョ
イント構造部は3自由度を備えて、7自由度を与える請
求項1に記載の測定装置。」である。
【0024】請求項32に記載の発明は、「前記可動ア
ームに順次作動可能に接続されたシリアルボックス及び
ホストコンピュータを備えている請求項1に記載の測定
装置。」である。請求項33に記載の発明は、「前記可
動アーム、シリアルボックス及びホストコンピュータ
は、遠隔測定信号送信機及び遠隔測定信号受信機を介し
て相互接続されている請求項32に記載の測定装置。」
である。請求項34に記載の発明は、「前記アームは1
対の向き合わせて層状配置された軸受によって支持され
ている請求項1に記載の測定装置。」である。請求項3
5に記載の発明は、「前記軸受はねじ付きナットによっ
て初荷重を加えられている請求項34に記載の測定装
置。」である。
【0025】請求項36に記載の発明は、「前記プロー
ブは感圧プローブである請求項1に記載の測定装置。」
である。請求項37に記載の発明は、「前記プローブ
は、球形、平底形、ボール形及び先細形から選択された
端部チップを備えた感圧プローブである請求項36に記
載の測定装置。」である。請求項38に記載の発明は、
「前記感圧プローブは、測定装置回路に作動連結された
少なくとも1つの内蔵型ひずみ計を有している請求項3
6に記載の測定装置。」である。請求項39に記載の発
明は、「前記プローブは接触プローブである請求項1に
記載の測定装置。」である。請求項40に記載の発明
は、「前記接触プローブは自動スイッチになる請求項3
9に記載の測定装置。」である。請求項41に記載の発
明は、「前記移動ハウジングは約30゜のストップ円弧
を備えている請求項6に記載の測定装置。」である。
【0026】本発明の上記及び他の特徴及び利点は、以
下の詳細な説明及び図面から当業者には理解されるであ
ろう。図面を通して、同一部材には同一番号が付けられ
ている。
【0027】
【発明の実施の形態】まず図1を参照しながら本発明の
好適実施例について説明すると、本発明の三次元測定装
置は、手動操作式多重ジョイント式アーム12及び支持
ベースまたはポスト14で構成された座標測定器(CM
M)10と、コントローラまたはシリアルボックス16
と、ホストコンピュータ18とを有している。CMM1
0は、シリアルボックス16に電子的に連通し、またシ
リアルボックス16はホストコンピュータ18に電子的
に連通している。
【0028】以下にさらに詳細に説明と、CMM10
は、回転位置データを収集してこの基本データをシリア
ルボックス16へ送るトランスジューサ(例えば各自由
度に対して1つのトランスジューサ)を備えている。シ
リアルボックス16は、一定の複雑な計算を処理するた
めのホストコンピュータ18の要件全体を減少させるた
めのもので、一定の事前データ処理を行う。図2に示さ
れているように、シリアルボックス16はホストコンピ
ュータ18(例えば図2に示されているノート型コンピュ
ータ)の下に配置されるもので、データ処理ソフトウェ
ア、マイクロコンピュータプロセッサ、信号処理ボード
及び多数のインジケータライト20を含むEEPROM
Sを備えている。前述したように、基本トランスジュー
サデータはCMM10からシリアルボックス16へ送ら
れる。次に、シリアルボックス16は進行中に生トラン
スジューサデータを処理して、ホストコンピュータの照
会に対して所望の三次元位置または方位情報で応答す
る。
【0029】好ましくは、本発明の三次元測定装置を構
成する3つの構成要素(すなわちCMM10、シリアル
ボックス16及びホストコンピュータ18)は全て、剛
性プレートと標準的光学測定器ねじの両方またはいずれ
か一方を用いて固定取り付け表面に取り付けられてか
ら、図3に22で示されているような公知の標準的なセ
オドライト可動スタンドに取り付けられる。好ましく
は、セオドライトスタンド22は、ブランソン(Brunso
n)製の部品番号MWS750の部品である。そのような
可動スタンドは、伸縮式の垂直タワーと一般的な取り付
け具及びロック機構とを備えた安定的な回転台を特徴と
している。図2及び3に示されているように、CMM1
0の支持ベース14は、スタンド22の垂直支持部材24
上にねじ止めされるか、他の方法で取り付けられている
のに対して、シリアルボックス16/ホストコンピュー
タ18は、第2ジョイント32に回動可能に取り付けられ
たアーム30に第1ジョイント28で回動可能に連結さ
れた棚26上に支持されている。連結部材34が、部材
24の上部の上方に取り付けられたキャップ38に取り
付けられた自在連結部36にジョイント32を連結して
いる。
【0030】次に、図1及び図4〜図9を参照しなが
ら、CMM10を詳細に説明する。図5に詳細に示すよ
うに、CMM10に設けられたベース14は、第1移動
ハウジング40を(ハウジング40に対して直角方向に
配置された)第2移動ハウジング42に連結してなる第
1組の2つの移動ハウジングに連結されている。第1延
長部材44が、第3移動ハウジング46を第4移動ハウ
ジング48に直角方向に取り付けてなる第2組の2つの
移動ハウジングに固定されている。第1延長部材44
は、移動ハウジング42及び46間に垂直に配置されて
いる。第2延長部材50が、移動ハウジング48に対し
て整合してそれに固定されている。剛性の延長部材50
は、第5移動ハウジング52を第6移動ハウジング54
に直角方向に取り付けてなる第3組の2つの移動ハウジ
ングに固定されている。第6移動ハウジング54にハン
ドル/プローブアセンブリ56が取り付けられている。
【0031】一般的に(また以下にさらに詳細に述べる
ように)、6個の移動ハウジング40、42、46、4
8、52及び54の各々の内部に位置感知トランスジュ
ーサが取り付けられている。各ハウジングは、軸受支持
部と、45゜傾斜取り付けねじ(図6)を用いて互いに
円筒状に取り付けられるように形成されたトランスジュ
ーサ室とで構成されている。ベース14には、アーム1
2を標準的な垂直配置に支持するための釣り合いばね装
置60が設けられている(図8)。
【0032】次に、図6及び図7を参照しながら、移動
ハウジング及びその内部構成部材について詳細に説明す
る。図6は移動ハウジングの分解図であるのに対し、図
7は直角向きに取り付けられた移動ハウジング(すなわ
ちハウジング46及び48)の拡大図である。各ハウジ
ングは、内部キャリヤ62と外部ケーシング64とを備
えている。内部キャリヤ62と外部ケーシング64との
間の機械的安定性は、それぞれの円錐形レース70、7
2に押し付けられるように配置された2つの対向配置さ
れた(例えば向き合わせて設けられた)円錐形玉軸受6
6、68によって与えられる。円錐形レース70及び7
2は、外部移動ケーシング64内に永久的に固定されて
いる。キャリヤから軸122が延出しており、それの終
端部にねじ74が付けられている。円錐形軸受66、6
8は焼き入れ鋼で製造するのが好ましく、レース70、
72も焼き入れ鋼で製造される。わかりやすくするため
に、好適な第1実施例を十分に説明した後で好適な第2
実施例の軸受構造を説明する。
【0033】移動ケーシング48の組み立て中に、ナッ
ト73をねじ74に特定トルクまで締め付けることによ
って圧縮力を加えて、プレストレスを加えた軸受状態に
することによって、一般的に加えられる負荷状態では軸
方向回転以外に移動しないようにする。手動処理ではそ
のようなアームの縦断面を低くする必要があり、それに
伴って全体の剛性が低下するため、キャリヤ62とケー
シング64との間の接合面にスラスト軸受76も設ける
ことが好ましく、また実際に一部の用例では必要であ
る。スラスト軸受76は、移動ハウジングのキャリヤ6
2とケーシング64との間をさらに機械的に補剛する。
スラスト軸受76は、スラスト調節リング300、平板
状の環状レース302、ころ軸受及び保持器304、環
状レース306及び向き合ったスラストカバー308の
5つの部材を有している。スラスト軸受76は、一連の
止めねじ78で調節されて、高い曲げ強さを与える。ト
ランスジューサ(好ましくはハインデンハイン(Heinden
hain)からミニロッド(Mini Rod)(部品番号450M−
03600)の名前で入手できるようなエンコーダ8
0)は、移動ケーシング内に取り付けるために汎用取り
付けプレート82に取り付けられる。トランスジューサ
80の製造変更及びそれに伴った取り付けねじ形状の変
更に取り付けプレート82の変更によって対応できるよ
うにするため、汎用取り付けプレート82は部品調達で
考えられる問題に対処するために重要である。取り付け
プレート82は、図29Aには角に丸味を付けた三角形
のプレートとして示されている。図29Aはまた、ねじ
付き部材88及び90と、ピン86と、カプラー84と
を示している(これら全てについて後述する)。
【0034】エンコーダ80を用いた高精度回転測定で
は、エンコーダに負荷がまったく加わらないようにし、
また移動ケーシングの軸線とエンコーダの軸線とにわず
かな位置ずれがあっても、移動ケーシングの移動がエン
コーダに正確に伝達されることが必要である。角度伝達
誤差は、発行されているエンコーダの文献から当該分野
の専門家には公知である。エンコーダ80には、レンブ
ラント(Renbrandt)から部品番号B1004R51Rで
入手できるカプラー84が連通している。エンコーダ8
0を移動ケーシング64に最終的に連結するために延長
軸86が用いられている。軸86は、カプラー84と、
キャリヤ62のねじ74側の端部との両方に止めねじ8
8、90で取り付けられている(図7を参照)。本発明
の重要な特徴によれば、電子前置増幅器ボード92がエ
ンコーダ80に近接して配置されており、(ねじ94
で)キャップカバー96の内側に取り付けられている。
キャップカバー96はねじ97によってケーシング64
に取り付けられている。つなぎハウジング98が、キャ
ップカバー96をねじ97で及びねじ100でケーシン
グ64に連結している。ジョイントにOリング溝102
設けて、それに標準的なゴムOリング104を取り付け
ることによって、移動ハウジングが環境から密封されて
いる。回転端部ストップ106(後述する)が図29B
にわかりやすく示されており、これは、開口を貫設した
正方形の金属ハウジングを設けており、ハウジングの開
口にねじ込まれたボルト108によってケーシング64
に取り付けられている。長期使用による磨耗を防止する
ために、キャリヤ62及びケーシング64の両方に取り
付けられたグロメット110及び112をワイヤが通っ
ている。2つの隣接した移動ケーシングの相対方位を維
持するため、位置決めピン114がキャリヤ62内の対
応形状のリセス116にはめ込まれている。
【0035】図7に示すように、環境上または他の理由
から、すべてのワイヤを見えないように完全に隠蔽し、
従ってアーム12内部に収容することが重要である。図
7は互いに直角に取り付けられた2つの組み付け移動ハ
ウジング46、48を示し、ワイヤの通路を説明してい
る。CMM10の使用中に、エンコーダ80からのエン
コーダ情報がワイヤ118を通ってプロセッサボード9
2へ送られ、そこで増幅されて、機械加工された通路1
20によってアーム内を通ることが理解されるであろ
う。ワイヤ118は次に移動ハウジング46の内部キャ
リヤ62の軸122の内部のチャネル120を通り、さ
らにグロメット孔124を通ることによって、移動ハウ
ジング46の外部ケーシング64に機械加工された大き
いキャビティ126に入る。キャビティ126は、移動
ハウジングの回転時にワイヤをコイル状に巻くことがで
きるようにし、ワイヤの磨耗やわずかなワイヤの曲げも
生じない形状になっている。しかし、ワイヤは全回転範
囲全体を限定するため、不完全な球形の溝128が形成
されて、その内部に端部ストップねじ130が配置され
ており、これが全回転を、この場合は330゜に制限す
る。わかりやすくするために、第1の好適な実施例を完
全に説明した後で、660゜回転できるようにする第2
の好適な変更形端部ストップ構造を説明する。通過チャ
ネル120及びワイヤコイル巻きキャビティ126は、
各移動ハウジングに同様に設けられており、ワイヤはベ
ース14に取り付けられたコネクタまで順次進むことが
できるため、配線の露出がまったくないことが理解され
るであろう。
【0036】図8に示されているように、アルミニウム
アーム及び様々な軸受及びトランスジューサの構造か
ら、CMM10のプローブハンドルアセンブリ56にお
ける累積重量は約10〜15ポンド(約4530〜68
00グラム)になる。通常の状況では、これは使用中に
相当な疲労を発生するため、釣り合わせる必要がある。
釣り合いおもりは、可搬性を考えた時に装置の全重量を
相当に増加させるため、好ましくない。従って、好適な
実施例では、プラスチックケーシング134内に収容さ
れて、ベース14及び移動ハウジング42に取り付けら
れてアーム12に揚力を与えるトーションばね132を
有する釣り合い装置60を用いて釣り合いがとられてい
る。コイル状のトーションばね132は、全初荷重に作
用する様々な位置に取り付けることができ、従って様々
な長さ及び重量のアーム12に使用することができる。
同様に、アーム12の重量及び反跳ばねの作用のため、
アームが保管位置へ戻る時に大きさ衝撃負荷が発生する
可能性がある。後退時のアームの大きな衝撃を防止する
ため、空気ピストンショックアブソーバ134も釣り合
いばね装置60のプラスチックハウジング142内に設
けられている。これによって、衝撃負荷が吸収され、休
止位置へゆっくり弛緩する。図8は押し付けられた状態
のショックアブソーバ134を示しているのに対して、
図16〜18は完全伸張位置にあるショックアブソーバ
134を示している。
【0037】図9A及び図9Bは、プローブハンドルア
センブリ56の上面図及び底面図である。プローブハン
ドルアセンブリ56は、鉛筆又はピストルのグリップの
ように保持されるもので、データの受け取り用の2つの
スイッチ(図9Aの150及び152)、オプションの
電子機器の取り付け用のコネクタ(図9Bの154)及
び様々なプローブをはめるねじ付き取り付け部156を
備えている。CMM10は手動測定器であるので、ユー
ザは測定を行ってから、その測定が認められるか否かを
CMM10に確認できなければならない。これは、2つ
のスイッチ150、152を使用することによって行わ
れる。前方のスイッチ150は3次元データ情報を取り
込むためのもので、後方スイッチ152はそれの受容性
を確認して、それをホストコンピュータ18へ送る。ス
イッチケース158(ハウジング150、152)の背
後に設けられたコネクタ154は、多数の電圧線と、レ
ーザスキャニング装置やタッチプローブ等の多くのオプ
ションへの一般的な取り付けを行うためのアナログ/デ
ジタル変換器の線を備えている。
【0038】様々なプローブをハンドルアセンブリ56
に取り付けることができる。図10Aには、硬質の1/
4インチ(約6.4mm) 直径のボールプローブ158
が示されており、図10Bには先細プローブ160が示
されている。両プローブ158、160は(雄ねじ部材
157を用いて)取り付け部156に螺着され、取り付
け部はプローブハウジング58に螺着される。また、レ
ンチを使用してプローブの着脱を容易に行うことができ
るようにするため、取り付け部156に複数の平坦面1
59が設けられている。
【0039】わかりやすくするため、CMM10の第1
の好適な実施例の残りの部材を完全に説明した後、さら
に6個の好適な変更形プローブ構造を説明する。図11
及び12を参照しながら、コントローラまたはシリアル
ボックス16を説明する。図11は、コントローラまた
はシリアルボックス16の前パネル面162を示してい
る。前パネル162には、電源インジケータライト16
4、エラー状態ライト166及び各移動ハウジング内に
配置された6個のトランスジューサの各々(1〜6)に
1つずつ対応した6個のライト20を含む8個のライト
を備えている。起動時に電源ライト164がアーム12
への送電を示す。その時、6個のトランスジューサライ
ト全てが、6個のトランスジューサの各々の状態を表示
する。本発明の好適な実施例では、トランスジューサは
増分デジタル光学エンコーダ80であって、基準化を必
要とする。(好適さが低下するが、トランスジューサを
アナログ装置にすることもできる。)このため、始動時
に、6個のジョイント(例えば移動ハウジング)の各々
は、基準位置を求めて回転する必要があり、この時には
6個のライトが消える。
【0040】本発明の重要な特徴によれば、使用中にト
ランスジューサのいずれかがそれの回転端部ストップ1
06から2度以内に接近すると、そのトランスジューサ
に対応したライト及びビーという警告音によって、ユー
ザが端部ストップに近づきすぎており、現在の測定に対
してアームの向きを調整し直す必要があることをユーザ
に知らせる。シリアルボックス16は測定を継続する
が、その端部ストップ状態が解消されるまで、データの
取り込みを許可しない。この端部ストップ機能が必要に
なる一般的な状態は、特定のトランスジューサが端部ス
トップ限界まで回転することによって自由度が失われる
ため、アームに力を加えると、測定できないたわみが発
生し、測定が不正確になる場合である。
【0041】測定処理中のいつでも、様々な通信及び計
算エラーが発生する可能性がある。これらは、エラーラ
イトの点滅によってユーザに伝えられてから、6個のト
ランスジューサのライトの組み合わせが、特定のエラー
状態をコードによって表示する。前パネル162は変更
例として、英数字エラー及び端部ストップ警告を与える
英数字LCDパネルを用いることができる。
【0042】図12に示されているように、シリアルボ
ックス16の後パネル168は、マイクロプロセッサを
リセットするためのリセットボタン170、空気循環用
のAC入力ファン172、標準PC ATキーボード用
のコネクタ174、シリアルボックス16の内部作動の
監視用のオプションのVGAボード用のコネクタ17
6、CMMデータ用の様々な信号線を受け取るコネクタ
178、及びホストコンピュータ18用の標準RS23
2コネクタを含む様々な標準PCコネクタ及びスイッチ
を備えている。
【0043】シリアルボックス16は、CMMの温度を
監視して、温度変化による様々な部品の膨張及び収縮を
説明する式に従ってそれの運動を説明する運動学または
数学をリアルタイムで変更することができる。このた
め、また本発明の重要な特徴に従って、温度監視ボード
182(温度トランスジューサを含む)がカバー184
の内部の第2ジョイント42の位置に配置されている
(図4及び図5を参照)。CMM10は、好ましくは外
部を航空機用アルミニウムで構成して、陽極酸化させ
る。好ましくは、ステンレス鋼の取り付けねじを除い
て、アーム12全体を同一素材で構成する。アーム12
の膨張及び収縮特徴を均一にし、また電子補正しやすく
するため、同一素材が全体に使用される。さらに重要な
ことに、広い温度範囲において全ての部品間に必要な高
度の安定性を得るためには、部品間で熱膨張の差がない
ことが必要である。前述したように、温度トランスジュ
ーサ182は移動ハウジング42に配置されることが好
ましいが、それはこの場所が最も高質量の領域であり、
従って大きな温度変動の後に安定化する最後の領域であ
ると考えられるからである。
【0044】次に図13を参照しながら、CMM10及
びシリアルボックス16の電子回路配置全体を説明す
る。6個のエンコーダ80が示され、各エンコーダに
は、信号伝送時の雑音を最小限に抑えるためにそれに近
接して増幅器ボード92が配置されている。様々なオプ
ションを取り付けるためにハンドル56に設けられる6
ピンコネクタであるオプションポート154が示されて
いる。測定プロセスをシリアルボックス16に示すため
の2つの制御ボタン150及び152も示す。
【0045】温度トランスジューサは、図13に示され
ているようにやはりアーム12内に配置された温度回路
ボード182に関連している。本発明のさらに別の重要
な特徴によれば、温度ボード182はEEPROMボー
ドを有している。EEPROMは、小型の計算機化メモ
リ装置(電気的に消去可能なプログラマブルROM)で
あって、アームの様々な校正率及び連続番号データを入
れるためのものである(図19〜図21に関する説明を
参照されたい)。これは、CMM10の高品質制御を可
能にし、また重要なことであるがソフトウェア及びアー
ムの不都合な混乱を排除することができる、本発明の非
常に重要な特徴である。これはまた、CMMアーム12
がコントローラボックス16に校正率データを備える必
要がない独立型装置であって、個別の点検及び他の機械
との切り替えの両方またはいずれか一方が必要であろう
ことを意味している。
【0046】アーム電子機器からの電子及びパルスデー
タは、12ビットアナログ/デジタル変換器及び多重チ
ャンネル16ビットデジタルカウンタを有する対のセッ
トであるアナログ/デジタル変換器・デジタルカウンタ
組み合わせボード186へ送られる。ボード186はコ
ントローラボックスの標準バス上に配置されている。計
数情報の処理には、(アンプロ(Ampro)から入手できる
部品番号CMX−286−Q51等の市販のインテル(I
ntel)286マイクロプロセッサを有する)コアモジュ
ール188と、やはりコントローラボックスに備えられ
たEEPROMに記憶されたプログラムとが使用され
る。そこから出たデータは、次に直列通信ポート189
へ送られる。
【0047】マイクロプロセッサベースのシリアルボッ
クス16は、ホストレベルの処理要求事項を伴わない
で、CMM10特有の計算の前処理を行うことができ
る。そのようなプロセッサ計算の典型例として、座標系
変換、ユニットの変換、中間ジグを使用することによる
座標系間での蛙とび、(ANSI B89ボールバー等
での)2ボール間の距離計算を含む一定の証明手続きの
実行、様々なホスト及びユーザプログラムへのダウンロ
ードに必要な特定フォーマットでのデータの出力があ
る。
【0048】シリアルボックスは、PC、MSDOS、
ウインドウズ、Unix、Apple、VME等を含む
様々なホストフォーマットと通信できる構造である。こ
のため、シリアルボックスは、進行中に生トランスジュ
ーサデータを処理して、ホストコンピュータの情報要求
またはポーリングに対して所望の三次元位置または方位
情報で応答する。シリアルボックスの言語について述べ
ると、直列ポートを駆動してCMM10と通信するた
め、マイクロプロセッサ188内のドライバまたはコン
ピュータ通信サブルーチンがホストコンピュータの言語
で書かれている。この機能は、「インテリジェント・多
重プロトコル・エミュレーション及びオートスイッチン
グ」機能と呼ばれ、次のように作用する。様々なホスト
プログラムをホストコンピュータにインストールするこ
とができる。これらのホストプログラムは、シリアルボ
ックスが応答しなければならない様々な要求を直列ポー
トにポーリングする。様々な種類の一般的なソフトウェ
アに対する直列ポート上のポーリングまたは照会に応答
するために、多数のプロトコルがシリアルボックス内に
プログラムされている。ソフトウェアによるポーリング
要求は特定の応答を必要とする。シリアルボックスはポ
ーリング要求を受け取り、それがどのプロトコルに属す
るかを判断して、適当に応答する。これによって、CM
M10と計算機援用設計及び品質制御ソフトウェア等の
広範囲のアプリケーションソフトとの間の即応形通信が
可能になり、そのようなソフトウェアの例として、オー
トデスク(Autodesk)社のオートキャド(AutoCad)(登録
商標)、キャドケイ(CADKEY)社のキャドケイ(CADKEY)
(登録商標)及び他のCADプログラムと共に、ジオメ
ット・システムズ(Geomet Systems)社のジオメット(GEO
MET)(登録商標)、ブラウン&シャープ(Brown and Sha
rpe)社のマイクロメジャー(Micromeasure)III等の品
質制御プログラムがある。
【0049】本発明の三次元CMMは、次のように作動
する。起動時に、シリアルボックス16内のマイクロプ
ロセッサ188が始動自己検査手続きを実行して、イン
ストルメントポートを介してCMM10のアーム12へ
電力を送る。EEPROM182に搭載されたマイクロ
プロセッサ及びソフトが、初期起動時にエンコーダ80
のいずれも初期化されていないことを確認する。それか
ら、マイクロプロセッサ188はディスプレイボードへ
すべてのライト20を点灯する信号を送って、基準化す
る必要があることを表示する。次に、ユーザはアームを
機械的に移動させ、これによってトランスジューサがそ
の範囲を個別に走査し、この時に基準マークを通過す
る。基準マークを通過した時、デジタルカウンタボード
186が応答して、その位置を取り込んで、トランスジ
ューサが基準化されたことを確認して前ディスプレイボ
ードへ知らせライトが消える。全てのトランスジューサ
が基準化されれば、システムはホストとの直列通信を確
立し、さらなる命令を待つ。ハンドル56の前または後
ボタンを押すことによって、測定処理が開始される。前
ボタン150を押すと、現在のトランスジューサ読取り
値が取り込まれる。後ボタン152を押すと、これらの
値を次元座標に変換して直列ポートからホストコンピュ
ータ18へ送る必要があることをマイクロプロセッサに
知らせる。そして、ホストコンピュータ18及びシリア
ルボックス16は、互いの直列線要求事項に反応し続け
る。
【0050】次に、CMM10の組み立てに続いて、図
19及び図20に示すように、組み立てまたは機械加工
のある程度の不良に合わせるためにプログラムソフトウ
ェアを変更することによって、装置の最適化または校正
が行われる。この初期校正は本発明の重要な特徴であ
り、2段階で行われる。第1に、装置の全体積の位置、
方位及び寸法を含む様々な寸法測定が行われる。続い
て、ジョイント軸線の各々に存在する実際の位置ずれを
決定するために最適化ソフトウェアプログラムが使用さ
れ、これによってアームの運動を説明する運動学的式が
調節される。一般的にその結果として、不完全な機械加
工及び組み立てを同定して、それらを装置の運動学に包
括することによってそれらの不完全なものが完全なもの
になる。
【0051】図19及び20A〜20Eにおいて、デー
タが膨大な量であり、それを正確に簡単に得られるよう
にする必要があるため、校正及びテストジグが320で
示されている。ジグ320は大型の花崗岩プレート32
2で構成されており、これに水平面上で360度回転で
きる2つのタワー324及び326が互いに離して取り
付けられている。CMM10はタワー326に取り付け
られ、調節可能な寸法テストジグ320が他方のタワー
324に取り付けられる。ジグ320は、タワー324
に貫設された開口330内を垂直方向に移動可能な伸縮
式垂直アーム328に取り付けられている。アーム32
8は完全伸張位置に図示されている。
【0052】さらに図19及び図20を参照しながら説
明すると、調節可能な寸法テストジグ320は3つの基
本部材、すなわち1組の精密ボール334を設けた24
インチ(約61.0cm) のバー332と、その長手方
向に沿って配置された一連の孔336と、24インチの
精密ステップゲージ(図20A〜20Eに詳細に示され
ている)で構成されている。アーム332は、テスト軸
の様々な位置で、また図21に示されているアームの体
積の全領域内で孔、ステップ及びボールの位置を測定す
るために使用される。次に、このデータが最適化され
る。要約すると、重要な最適化手順は以下のように説明
できる。物体の所定位置及び方位を備えた標準テストジ
グ320がアーム10で測定される。次にデータは、ア
ームの全主要構成要素の相対的位置ずれ及び寸法を与え
るように作成された多変数最適化プログラムで処理され
る。最適化が実施され、この時にアームの総合特性を含
む校正ファイルが作成される。これらの総合特性及び以
降のトランスジューサ読取り値を様々な運動学的式で組
み合わせることにより、絶対座標系でのX、Y及びZの
値が得られる。
【0053】さらに性能を最適化するため、新規な基準
ボール192がCMM10のベース14に取り付けられ
た取り外し式取り付け部194から側方へ延出している
(図14及び15参照)。ベース14に基準ボール19
2を配置することによって、ボール192はX、Y及び
Z軸に対する装置の絶対原点(0、0、0)を表す。基
準ボール192の位置が既知であるため、図15に示す
ように、チップの位置決めによって本発明は、CMM1
0の最終リンクに対するデジタイザーチップ158の座
標を決定することができる。この位置を知ることによっ
て、CMM10は以降の測定を行う時にそのボールの中
心位置を決定することができる。一般的に、これは特定
の用途に応じて様々な種類のプローブを取り付けること
ができ、各々を基準ボールに対して校正することができ
ることを意味している。
【0054】本発明の可搬性のため、それは様々な環境
で重大な誤操作や場所の移動を加えられるであろう。従
って、本発明は、ユーザが好都合なメンテナンススケジ
ュールに従って装置を使用する前にある程度の体積精度
を確立できるようにするプロトコルを備えている。AS
ME ANSI B891.1.12(1989)基準
によれば、体積精度は、作動体積内に様々な方位に位置
する固定長さを測定する装置の能力であると定義され
る。図16は、第1ボールバー方法を用いて本発明がこ
れを実施できることを示しており、図17及び図18
は、第2ボールバー方法を説明している。
【0055】図16は、2つの磁気ソケット202及び
204内にそれぞれ取り付けられた精密球形ボール19
8、200を各端部に設けた標準ボールバー196を示
している。ソケット202はCMM10のベース14に
設けられ、ソケット204はプローブハンドル56に設
けられている。アーム12が動き回ると、ソケット20
2、204及びボール198、200が回転してこの動
きに合わせ、CMM10はハンドル56側のボール20
0及びソケット204の中心とベース側のボール198
の中心との間の固定位置を測定することを要求される。
もちろん、ベース14側のソケット202はCMM10
の(0、0、0)座標を表すことを思い出して、コント
ローラボックス16内の校正ソフトウェアが(0、0、
0)からプローブのボールの中心までのベクトル長さを
計算し、この長さはもちろんテスト中は不変であって、
ハンドル及び他のジョイントの様々な配置及び回転によ
って全体積にわたって常に測定しなければならない。
【0056】ハンドル上の特別なプローブの精度を確認
したい時、ハンドル側のソケット204が不都合で不確
定的になりがちであることが理解されるであろう。従っ
て、本発明の重要な特徴によれば、図17に206で示
されているような新規な円錐形ソケットボールバーが使
用される。円錐形ソケットボールバー206は、一端部
に円錐部208を、他端部に2つのボール210、21
2を備えている。円錐部及びボールを連結するバー20
7に傾斜部分209が設けられ、その角度αは好ましく
は20度である。ボール212は、バー207から側方
へ延出した取り付け部211に取り付けられている。ボ
ールプローブ158または先細プローブ160が円錐形
ソケット208内に配置され、ボール210はCMM1
0のベース14の標準的な磁気ソケット202内に取り
付けることができる。図16の校正方法の場合と同様
に、ボール及びバーの多くの位置及びジョイント位置が
測定され、円錐形ソケット208とボール210との間
の距離は一定でなければならない。ユーザが装置の反対
側(214で示された位置)に到達できないことは、ボ
ールソケット202の位置決めでは仕方がない。このた
め、図18に示されているようにボール212が使用さ
れる。これによって、ユーザは円錐形ボールバー206
をCMM10の裏の反対側に到達するように位置決めし
て、ボール212の中心から円錐形ソケット208の中
心までの距離を測定できる。
【0057】本発明によるCMM(可搬式座標測定器)
を使用する際に直面する最も深刻な問題の1つは、アー
ムが載置プレートを介して取り付けられるスタンドまた
はベースが、測定中の物体に対して完全には安定できな
いことである。これは、測定される物体が別体の取り付
け台に固定されているか、大きいアセンブリの一部であ
るために、アームのベースを取り付ける載置プレートが
測定中の物体に対して完全には安定できないからであ
る。この不安定性は、CMMの高精度に悪影響を与える
可能性がある。この問題を解決するため、ベース載置プ
レートから半径方向外向きに設けられたねじ付き孔に一
端部を取り付け、第2端部をユニバーサルクランプ(す
なわちCクランプ)にはめ合わせた支柱が設けられてい
る。支柱には、測定すべき物体に適当に到達するように
支柱の長さを調節するための調節ねじが設けられてい
る。支柱は、ベース載置プレートの反対側の同じ支柱と
対にして使用されるのが好ましい。
【0058】次に図22を参照しながら、支柱及びその
使い方を詳細に説明する。測定アーム10のベース14
は、セオドライトスタンド22のベースプレート38ま
たは他の適当な剛性プレート内に公知のようにして取り
付けられている。ベースプレート38には、互いに向き
合った少なくとも2カ所に適当な既知寸法のねじ孔40
0が外向きに設けられている。支柱402は、ほぼ4つ
の部材で構成されている。すなわち、2つのアーム部材
404と、調節ねじ406と、図示のユニバーサルクラ
ンプ408(すなわちCクランプ)である。もちろん、
図示のCクランプの代わりに、磁気クランプ、吸引クラ
ンプ等の多くの適当な取り付け装置を用いることができ
る。図22に示されているように、三次元測定アーム1
0によって測定すべき物体410が第2取り付けプレー
ト412上に取り付けられるか、他の方法で固定され
る。このため、両方のベースプレート38及び412は
互いに対して固定保持され、不安定性が最小限に抑えら
れる。
【0059】三次元座標測定器即ちCMMの本発明によ
る3つの基本的なアーム構造が、広範囲な要求及び状態
に適合するために開発されている。これらのアーム構造
の2つは6自由度を与える。第3アーム構造は7自由度
を与える。これらの3つのアーム構造は、本発明の3つ
の好適な実施例を示している。各実施例は、異なった機
能及び測定中の物体によって決定される測定状態の両方
またはいずれか一方、または実行中の機能または作動に
対して利点を備えている。図3及び図23A〜23Cは
これらの構造の各々を示している。図3も参照された
い。図23A〜23Cは、CMM10に許される自由度
を概略的に示している。支持ベース14により、回転方
向矢印421及び422で示される2つの自由度が与え
られる。
【0060】CMM10は、支持ベース14に相当する
肩等の部位からなる人体の腕構造にたとえることができ
る。エルボ部材444、50は、人間の腕の肘に相当
し、ハンドル/プローブアセンブリ56は人間の手首に
相当する。肩、肘及び手首に示された2自由度を備えた
図23Aの構造(2−2−2配置)は、到達し難い部分
の探索を容易にすることができる。反対に、肩に2自由
度、肘に1自由度、手首に3自由度を備えた図23Bの
構造には次のような利点がある。端部作動器(手首)に
3自由度を設けている(2−1−3配置)構造によっ
て、物体の完全な方向決め及び位置決め、すなわち非軸
方向プローブが可能になる。以上に述べた2つの構造
(図23A及び23B)の各々には上記の非常に特殊な
利点がある。第3の好適なアーム構造(図23C)は、
上記2つのアーム構造を組み合わせた利点を備え、7自
由度を与える(2−2−3配置)。この第3の好適なア
ーム構造は、2−2−2構造の到達範囲及び位置決め
と、2−1−3構造の端部作動器の完全な方向決め能力
とを組み合わせた利点を与える。
【0061】前述したように、3つの構造すべてが肩
(支持ベース14)に2自由度を備えている。図23A
では、肘の2自由度が回転方向矢印424、426で示
されており、最後の手首(作動部材)アセンブリ56の
2自由度は、回転方向矢印428、430で示されてい
る。図23Bでは、肘部分の1自由度が回転方向矢印4
34、436及び438で示されている。最後になる
が、図23Cでは、肘部分の2自由度が回転方向矢印4
44、446及び448で示されている。
【0062】もちろん、各自由度はCMMのコスト及び
重量の両方またはいずれか一方を増加させることに注意
する必要がある。それが、必要以外にCMMのコストを
増加させることなく必要とされる異なった要求事項(測
定または処理)の様々なニーズに答えるために本発明に
従って3種類の構造を提供する理由の1つである。
【0063】図24A及び24Bは、CMM10(座標
測定器)またはコントローラまたはシリアルボックス1
6とホストコンピュータ18との間の信号路の相互接続
を行うための本発明による2つの好適な手段を概略的に
示す。図24Aでは(図1も参照されたい)、CMM1
0が公知の配線手段460によってシリアルボックス1
6に電子的に接続されており、シリアルボックス16は
公知の配線手段462によってホストコンピュータ18
に接続されている。CMM10、コントローラまたはシ
リアルボックス16及びホストコンピュータ18を相互
接続するこの方法は、本発明の非常に多くの用途に対し
て極めて満足できるものであることがわかっている。し
かし、距離、環境上または他の条件によって、無線遠隔
測定がCMM10、シリアルボックス16及びホストコ
ンピュータ18間で信号を相互接続する唯一の、または
好適な方法になる用例が現在知られており、また将来的
に予想される。これは、本発明によれば図24Bに示さ
れている手段によって達成される。回路及び部材は小型
化されて、464で示されるように装置10のポートベ
ース14に直接的に取り付けられる。小型化されたシリ
アルボックス464に遠隔測定装置466が設けられて
おり、これには遠隔測定信号468を送信できる手段が
設けられ、この信号をホストコンピュータ18に取り付
けられた遠隔測定受信機470が受け取る。このため、
装置10及び18は配線460、462を使用する必要
がなくなる。
【0064】図25A及び25Bは、2つの好適な軸受
構造を示している。図25Aの軸受構造は、図6及び7
の説明で十分に詳細に説明されている。要約すると、内
レース480及び外レース482を備えた1対の向き合
わせて層状配置された軸受が軸の周囲に配置されて、ナ
ット484を用いて初荷重が加えられている。初荷重
は、ナット484に加える回転量だけによって決定され
る。この構造は、多くの用例で極めて満足でき、相当な
成功を収めながら使用されてきた。しかし、一部の状態
及び用例では、一定の負荷パラメータの維持が困難であ
る。このような場合、本発明に従った軸受構造の第2の
好適な変更実施例が提供されている。
【0065】軸受構造のこの第2の好適な変更実施例が
図25Bに示されている。図25Bでは、一般的にラジ
アル玉軸受であって、非常に特殊な初荷重を可能にする
ように事前研削された1対の軸受(一般的に組み合わせ
軸受と呼ばれる)486が、図25Aの円錐形軸受の代
わりに用いられている。初荷重は、固定スペーサ48
8、490を使用して事前に設定され、これらの固定ス
ペーサ488、490はナット492で完全に締め付け
られている。ナット492を締め付ける時の移動ケーシ
ングの変形によって、組み合わせ軸受ケーシング間の差
が吸収され、初荷重の量が事前に決定される。この第2
の好適な実施例の好都合な特徴は、軸受486に軸49
4に沿った過負荷を加えることによる破損を生じること
なくナット492を可能な限り締め付けることができる
ことである。
【0066】前述したように、図10A〜10Bを参照
しながらボールプローブ158及び先細プローブ160
が説明されており、もちろん本発明に従って目的用途に
対して満足できるものである。本発明に従ったプローブ
のさらに6つの実施例を図26、30、31及び図9
A、9Bを参照しながら詳細に説明する。図9A及び9
Bはプローブハンドルアセンブリ56のそれぞれ前面図
及び背面図である。
【0067】まず図26A〜26Cを参照しながら説明
すると、アダプタ500がプローブハンドルアセンブリ
506の端部作動器にはめ付けられている。大きさ及び
配置の両方またはいずれか一方が異なったプローブ50
8に510で表される比較的深い内孔が設けられてお
り、内孔は512で示されている。両プローブ502及
び508には、アダプタ500の端部の雌ねじ516に
螺合される大きさの雄ねじ514が付けられている。こ
れらのプローブを使用することが必要であって望ましい
工業用途の汚れた過酷な環境のため、電気接点を使用す
ると問題が頻発する場合が多い。この問題を解決するた
め、プローブ軸518がトランスジューサ520から下
向きに延出しており、トランスジューサ520は配線5
22によって内部回路に接続しており、この配線によっ
てプローブ信号がプローブハンドルアセンブリ56を通
ってCMM10の他の部分へ送られる。このように、本
発明によれば、いずれのプローブでも自動的に識別で
き、このために手動で間違ったプローブを選択する誤り
を防止できる。このように、人間の目では識別すること
が困難な多数のプローブを使用することができる。もち
ろん、多くの他の用途にこの自動プローブ識別システム
を利用することができる。プローブ軸518は内孔50
4、512よりもわずかに小径になっていることに注意
されたい。矢印524は、プローブ軸518の軸方向移
動を示している。
【0068】図30(30E)は、本発明によるプロー
ブの別の実施例を530で示す。マーキングプローブ5
30は、取り付けステム532と、クランプ534と、
マーキングペン536とで構成されている。取り付けス
テム532に設けられたシャンク538は、内孔540
に圧入される適当な大きさにするか、クランプ534に
溶接または他の適当な方法で固定してもよい。取り付け
ステム532のシャンク538の他端部には、プローブ
ハンドルアセンブリ56の雌孔544にねじ込まれる適
当な大きさの雄ねじ542が設けられている。図30E
は、マーキングペン締め付け止めねじ546の中心線を
通る線30E−30E線に沿ったクランプ534の断面
図である。空間548によってマーキングペン締め付け
止めねじ546をしっかり締め付けることができること
に注意されたい。矢印550はマークを記す方向を示
す。このように、マーキングプローブ530を様々なマ
ーキング用具と共に使用することにより、本発明のCM
M10本来の正確さによって非常に正確な線を描いたり
他の動作を行うことができることに注意されたい。
【0069】本発明によるプローブの第3の好適な実施
例を図31に560で示す。自動パンチプローブ560
が、標準的な反動パンチプローブで構成されている。パ
ンチプローブ560の取り付け部分562に雄ねじ56
4が設けられており、それはプローブハンドルアセンブ
リ56の雌ねじ566にねじ込まれる大きさになってい
る。自動パンチプローブ560は、内部に反跳ばね及び
トリガアセンブリ568を備えており、それによってパ
ンチの先端570を矢印572で示されている軸方向に
沿って位置決めすることができる。自動パンチプローブ
560を所望位置に位置決めしてから、パンチ先端57
0を軸方向572にプローブハンドルアセンブリ56に
向けて押すことによって、(反跳ばね及びトリガアセン
ブリ568の一部である)ばね解放部材が作動して、ハ
ンマを使用することなくパンチプローブ先端を貫通させ
るため、測定だけに使用された時に同じCMM10で可
能な精度限界と同じか、それに近いCMM10の高精度
限界内の位置決めを達成できる。
【0070】次に図32を参照しながら、感圧プローブ
として知られている本発明によるプローブの第4実施例
を説明する。基本的にこの感圧プローブは、プローブ本
体582に取り付けられた様々な端部チップ(ボールチ
ップ、先細チップ、平底チップ等)を備えることができ
る。感圧プローブ全体は580で示されている。図32
には球形の端部チップ584が示されている。感圧プロ
ーブ580の上部に取り付け雄ねじ586が設けられて
おり、これはプローブハンドルアセンブリ56の雌ねじ
588にねじ込まれる大きさになっている。感圧プロー
ブ580の内部にひずみ計590が取り付けられてお
り、これは入手が容易で公知の標準抵抗形(例えばスタ
ンフォードのオメガ・エンジニアリング(Omega Enginee
ring) 社製のもの)であることが好ましく、コネクタ5
92、ケーブル594、及び最終的にプローブハンドル
56のオプションポート154に接続する適当なコネク
タ596を介して回路に接続されている。端部チップ5
84が測定すべき表面に接触した時、発生する対応力が
プローブ本体582を変形させ、それによってひずみ計
590内に電気変化が発生し、これが自動的に信号をケ
ーブル594に流し、それからプローブハンドルアセン
ブリ56のオプションポート154を通ってから、CM
M10の回路を通り、シリアルボックス16及びホスト
コンピュータ18へ流れる。ひずみ計技術は十分に確立
されており、当該分野では公知であることに注意された
い。ひずみの測定には様々な他の方法があるが、当該分
野での経験から、ここに説明した方法が好適であること
がわかっている。
【0071】図33は、本発明によるプローブの第5実
施例を示しており、このプローブはドリル取り付けプロ
ーブとして知られている。ドリル取り付けプローブ全体
が600で示されている。ドリル取り付けプローブ60
0は、取り付けステム602と、本体604と、取り付
けステム602から側方に変位している回転アセンブリ
及び軸606とで構成されている。取り付けステム60
2は、一端部がベース608への圧入で取り付けられる
大きさになっている。
【0072】もちろん、取り付けステム602を本体6
04に取り付けるために、溶接等のいずれの公知の方法
を使用してもよい。取り付けステム602は、プローブ
ハンドルアセンブリ56の取り付け雌ねじ612にはめ
る大きさの雄ねじ610を上端部に備えている。回転ア
センブリ606は、軸614と、組み付けナット620
と、1対の軸受616と、チャック618とで構成され
ている。軸614は、一端部が標準ドリルまたは工業分
野で知られている他の回転ポータブル動力源622のチ
ャックにはまる大きさになっている。本体604はほぼ
矩形であって、上記の回転動力源を適当に支持できる大
きさで、アルミニウム製であることが好ましい。組み付
けナット620、軸614、1対の軸受616及びチャ
ック618は公知の方法のいずれで組み立ててもよい。
軸受616は、玉軸受形式であることが好ましい。チャ
ック618は、いずれの所望サイズのドリルビットまた
は他の工具(すなわち面取りフライス等)も取り扱うこ
とができる大きさである。動力源622と回転アセンブ
リ606との間に示されている回転矢印624、及びド
リルビット628の下方に示されている回転矢印626
で示されているように、ドリルの回転方向は動力源62
2の方向と同じである。上記プローブを使用して得られ
る穴または他の作動は、CMM10の高精度限界に入っ
ている。
【0073】本発明のプローブの第6実施例は接触プロ
ーブとして知られるもので、図34に650で概略的に
示されている。ケーブル652の一端部がコネクタ65
4を介してプローブハンドルアセンブリ56のオプショ
ンポート154に接続している。ケーブル652の他端
部は、測定または他の所望機能を実施すべき金属物体6
58と接触するためのわにぐちクリップまたは他の適当
な端子656になっている。ケーブル652に電圧が加
えられる。端部プローブ660(後退位置が実線で、伸
張位置が点線で示されている)が物体658に接触する
ことによって接地が行われる。このように物体658に
接触する結果、電圧Vが大地電位まで降下し、アナログ
/デジタル変換器659内のソフトウェアが、アナログ
/デジタル変換器659を介したケーブル652の接地
をプローブハンドルアセンブリ56のボタン150、1
52の作動と同一であると見なすように設計されてい
る。このオプションポート154は、ケーブル652及
び端子656を介して金属製または導電性の物体658
に接続している。このようにプローブ660が導電性物
体658に接触した時、プローブ660が接地される。
ケーブル652が接地し、電圧Vが大地レベルまで降下
することによって、接地信号がアナログ/デジタル変換
器659及びソフトウェアを介して送られて、プローブ
ハンドルアセンブリ56を作動させる。従って、端部プ
ローブ660が物体658と接触した結果は、プローブ
ハンドルアセンブリ56のスイッチの作動に相当する。
これは、金属物体を走査するための理想的なセットアッ
プであり、プローブハンドルアセンブリ56のスイッチ
を常にオンにしておく必要がなくなる。本発明のこの接
触プローブ650のさらなる好都合な特徴は、プローブ
チップ660が物体658に接触する最初の瞬間に接触
スイッチが作動するため、物体658を巻き込む余分
な、また後の移動が回避または排除され、初期測定が外
的衝撃を受けない。
【0074】図7には、アームの様々な移動ハウジング
の回転範囲に関して詳細に説明されており、不完全な球
形溝128と、各組の移動ハウジングの全回転を最大3
30゜に制限することによってアームの部材を保護する
ストップねじ130とが設けられている。この構造はC
MM10の多くの使用例で完全に満足できるものであ
る。しかし、ここで説明するように、本発明の第2の好
適な実施例は、各移動ハウジング組の回転を330゜で
はなく660゜にすることができる。
【0075】この新規な機構は、移動ハウジングの2つ
の半割体に2つの不完全な円形溝を形成し、その中に入
った2つの円弧形のシャトルが上記2つのそれぞれの溝
内を自由に移動できるようにしており、また660゜全
回転した後の不完全溝の端部にハードストップを設けて
いる。図27A〜27Eには、移動ハウジングセットが
700で概略的に示されている。図28Aは本発明の移
動ハウジング組に660゜の全回転を与える第2の好適
な構造に使用される円弧形シャトルの上面図であり、図
28Bは円弧形シャトルの側面図である。組み合わされ
る溝は、シャトル702(図28A及び図28Bを参照
されたい)を収容できる大きさで、移動ハウジング軸の
肩部及び移動ハウジングの対応の肩部に適当な深さで加
工されている。一例では、シャトル702は高さが0.
246”(約6.25mm)、内径が1.042”(約
2.647cm)、外径が1.187”(約3.015
cm)で、シャトル702の長さ部分がこれらの半径の
円の20゜の円弧であることが好ましく、シャトル70
2はプラスチック材製である。Xは移動ケースハウジン
グ肩部内の30゜のストップ円弧を示し、Yは移動ハウ
ジング軸肩部の30゜のストップ円弧を示している。移
動ケースハウジング内の溝704は、シャトル702の
高さの半分を収容できる大きさであって、適当に仕上げ
されて、シャトル702が移動ハウジングの溝704
(図27Bを参照されたい)及び移動ハウジング軸の溝
706(図27Cを参照されたい)内を自由に移動でき
るようにしている。図27B〜図27Eではシャトル7
02に斜線の陰が付けられている。図27B及び27C
に示されているように、シャトル溝は図27BのXスト
ップ部分(移動ハウジング肩部内のシャトル溝を表
す。)に隣接したP位置及び図27CのYストップ部分
(移動ハウジング軸肩部内のシャトル溝を表す)に隣接
したP位置から図27BのXストップ部分に隣接したP
1位置及び図27CのYストップ部分に隣接したP1位
置まで330゜移動自在である。図27Dに示されてい
るように、シャトル702はこの時、反時計回りに33
0゜回転した後に図27Dに示されているようにY部分
及びX部分の間に固定される。図27Eに示すように、
このために移動ケースアセンブリがさらに時計回り方向
に330゜回転することができる。予防措置として、ア
ームが本発明によって660゜以上移動した場合にCM
M10の部材の変形を防止するため、シャトル702は
せん断強さを備えるように設計されることに注意された
い。シャトル702の交換を容易にするために設けられ
る窓スロットは図示されていない。
【0076】以上に好適な実施例を説明してきたが、発
明の精神の範囲内において様々な変更を加えることがで
きる。従って、本発明の上記記載は説明のためであっ
て、制限を加えるものではないことを理解されたい。
【0077】
【発明の効果】以上、詳述したように、本発明において
は、装置の持ち運びができ、安価で、容易に測定できる
大きさすなわち体積が限定されることもない三次元座標
測定装置を提供することができるという優れた効果を奏
する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 座標測定器、コントローラボックス及びホス
トコンピュータを備えた本発明の三次元測定装置を説明
する概略前面図である。
【図2】 操縦可能なアームに載せられたシリアルボッ
クスの上に載せられたホストコンピュータを示す側面図
である。
【図3】 セオドライトスタンド上に取り付けられた本
発明の三次元測定装置の側面図である。
【図4】 図1に示されているCMMの背面図である。
【図5】 図1のCCMの、一部断面で示した立面図で
ある。
【図6】 図1のCMMに使用されている移動ハウジン
グの分解側面図。
【図7】 直角向きに組み合わせられた2つの移動ハウ
ジングの断面図。
【図8】 図1のCCMに使用されている釣り合いばね
の拡大側面図である。
【図9】 図9A及び図9Bは、図1のハンドル/プロ
ーブアセンブリの上面図及び下面図である。
【図10】 ボールプローブ及び先細プローブの側面図
である。
【図11】 図1のコントローラボックスの拡大前面図
である。
【図12】 図1のコントローラボックスの拡大背面図
である。
【図13】 図1の三次元測定装置用の電子部材の概略
図である。
【図14】 プローブチップ校正システムを説明する図
1のCMMの側面図である。
【図15】 プローブチップを校正する方法を説明する
概略上面図である。
【図16】 ボールバーで校正中の図1のCMMの側面
図である。
【図17】 新規な円錐形ボールバー装置で校正中の図
1のCMMの側面図である。
【図18】 新規な円錐形ボールバー装置で校正中の図
1のCMMの側面図である。
【図19】 最適化ジグを使用して図1のCMMを最適
化する方法を説明する側面図である。
【図20】 図19のジグに使用される精密ステップゲ
ージの、それぞれ前面図、背面図、上面図、右側面図、
左側面図である。
【図21】 図19の装置を用いて図1のCMMを最適
化する方法を示す概略図である。
【図22】 測定アームと測定すべき物体との間に安定
性を与えるための支柱を説明する、本発明の測定アーム
の概略的前面図である。
【図23】 図23Aは、6自由度を2−2−2の配置
で有する好適な実施例を示す本発明の測定アームの概略
的前面図である。図23Bは、6自由度を2−1−3の
配置で有する第2の好適な実施例を示す本発明の測定ア
ームの概略的前面図である。図23Cは、7自由度を2
−2−3の配置で有する第3の好適な実施例を示す本発
明の測定アームの概略的前面図である。
【図24】 図24Aは、図1のCMMの概略的前面図
で、CMM、シリアルボックス及びホストコンピュータ
がケーブルで接続されているところを示す。図24B
は、シリアルボックスを小型化して、直接的に測定アー
ムの側部(またはベース)に取り付けた変更形CMMの
概略的前面図で、シリアルボックス及びホストコンピュ
ータの両方が遠隔測定によって信号を送受信できる。
【図25】 図6の移動ハウジングの一部分の中心線に
沿った断面図であり、本発明の好適な変更形軸受構造を
示している。
【図26】 適正なローブを自動的に識別するためにプ
ローブ軸を受け取る深さが異なった加工穴を備えた2種
類のプローブの、一部断面で示した各々の側面図であ
る。図26Cは、図26A及び図26Bのプローブの加
工穴深さを自動的に感知できるトランスジューサプロー
ブ軸取り付け部の中心線を通る断面図。
【図27】 図27Aは、本発明によるCMMの各自由
度で660゜の回転を可能にする移動ハウジング及び軸
の第2の好適な変更形ストップ構造の、一部断面で示し
た部分概略図である。図27Bは、回転前の図27Aの
27B−27B線に沿った断面図である。図27Cは、
回転前の図27Aの27C−27C線に沿った断面図で
ある。図27Dは、反時計回りに330゜回転した後の
図27Aの27D−27D線に沿った断面図である。図
27Eは、時計回りに330゜回転した後の図27Aの
27E−27E線に沿った断面図である。
【図28】 図28Aは、本発明によるシャトルの上面
図で、図28Bは、本発明によるシャトルの前面図であ
る。
【図29】 図29A及び図29Bは、図6のそれぞれ
29A−29A線及び29B−29B線に沿った図面で
ある。
【図30】 本発明によるプローブ取り付け部を一部断
面で示したマーキングペンプローブの前面図である。図
30Eは、図中の30E−30E線に沿った断面図であ
る。
【図31】 本発明の自動パンチプローブの、一部断面
で示した前面図。
【図32】 本発明の感圧プローブの、一部断面で示し
た前面図。
【図33】 本発明のドリル取り付けプローブの、一部
断面で示した前面図である。
【図34】 本発明の接地時に測定を行う接触プローブ
の概略図。
【符号の説明】
10 座標測定器 12 アーム 14 支持ベース 16 シリアルボックス 18 ホストコンピュータ 40、42、46、48、52、54 移動ハウジング 80 エンコーダ 158、160 プローブ

Claims (41)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1及び第2の対向端部を備えており、
    また複数のジョイントを設けて、その各ジョイントが1
    自由度に対応することによって選択体積内を移動できる
    ようになっており、前記ジョイントの各々が位置信号を
    発生する位置トランスジューサ手段を収納するための回
    転移動ハウジングを有するようにした可動アームと、 前記可動アームの前記第1端部に取り付けられた支持ベ
    ースと、 前記可動アームの前記第2端部に取り付けられたプロー
    ブと、 前記トランスジューサから前記位置信号を受け取って、
    選択体積内での前記プローブの位置及び方位に対応した
    デジタル座標を発生する電子回路手段とを有することを
    特徴とする三次元座標測定装置。
  2. 【請求項2】 前記移動ハウジングはさらに、 1組の初荷重を加えられた組み合わせ軸受を設けてお
    り、前記初荷重は内レース及び外レースの特殊な研削に
    よって決定されて、設置中のローディング時に一定量の
    初荷重がアセンブリに加えられるようにしたことを特徴
    とする請求項1に記載の測定装置。
  3. 【請求項3】 前記組み合わせ軸受組のレースは前記ケ
    ーシングに永久的に固定されていることを特徴とする請
    求項2に記載の測定装置。
  4. 【請求項4】 前記組み合わせ軸受組にプレストレスを
    加える圧縮手段を設けていることを特徴とする請求項2
    に記載の測定装置。
  5. 【請求項5】 前記圧縮手段は、 前記ケーシングの前記軸に螺着されて、その間に前記組
    み合わせ玉軸受を挟み込む圧縮ナットを有していること
    を特徴とする請求項4に記載の測定装置。
  6. 【請求項6】 前記移動ハウジングは、ハウジング肩部
    及び軸肩部を備えており、さらに、 各移動ハウジングが660゜回転できるようにするため
    に移動ハウジング肩部及び移動軸肩部の両方に設けられ
    た溝手段と、 前記移動ハウジングの機械的応力による機械的過負荷を
    防止するせん断シャトル手段とを備えていることを特徴
    とする請求項1に記載の測定装置。
  7. 【請求項7】 前記移動ハウジングは、ハウジング肩部
    及び軸肩部を備えており、さらに、 各移動ハウジングが330゜回転できるようにするため
    に移動ハウジング肩部及び移動軸肩部の両方に設けられ
    た溝手段と、 前記移動ハウジングの機械的応力による機械的過負荷を
    防止するせん断シャトル手段とを備えていることを特徴
    とする請求項1に記載の測定装置。
  8. 【請求項8】 前記せん断シャフトはプラスチック製で
    あることを特徴とする請求項6に記載の測定装置。
  9. 【請求項9】 シャトルの長さは、移動手段の移動ハウ
    ジング肩部及び移動軸肩部の両方の溝手段によって定め
    られる丸味の20゜の円弧であることを特徴とする請求
    項6に記載の測定装置。
  10. 【請求項10】 前記支持ベースと測定される物体との
    間に剛性及び安定性を与えるため、調節可能な支柱手段
    が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の測
    定装置。
  11. 【請求項11】 端部作動器がCMMによって自動的に
    識別されるようにするための手段がプローブアセンブリ
    内に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の
    測定装置。
  12. 【請求項12】 端部作動器にマーキングプローブを取
    り付けるための手段が設けられていることを特徴とする
    請求項11に記載の測定装置。
  13. 【請求項13】 前記手段はねじ付き手段であることを
    特徴とする請求項12に記載の測定装置。
  14. 【請求項14】 前記マーキングプローブは取り付け装
    置及びマーキングペンを有していることを特徴とする請
    求項12に記載の測定装置。
  15. 【請求項15】 前記取り付け装置は取り付けステムを
    備えており、前記ステムは第1端部に前記可動アームの
    内孔にはめ込まれるシャンクを、第2端部に前記プロー
    ブと螺合されるねじ付き構造部を設けていることを特徴
    とする請求項14に記載の測定装置。
  16. 【請求項16】 端部作動器にパンチマーキングプロー
    ブを取り付ける手段が設けられていることを特徴とする
    請求項11に記載の測定装置。
  17. 【請求項17】 前記パンチプローブは反跳ばね及びト
    リガアセンブリを有していることを特徴とする請求項1
    6に記載の測定装置。
  18. 【請求項18】 端部作動器に感圧トランスジューサプ
    ローブを取り付ける手段が設けられていることを特徴と
    する請求項11に記載の測定装置。
  19. 【請求項19】 端部作動器にドリルプローブを取り付
    ける手段が設けられていることを特徴とする請求項11
    に記載の測定装置。
  20. 【請求項20】 外部動力源をドリルプローブに取り付
    ける手段が設けられていることを特徴とする請求項19
    に記載の測定装置。
  21. 【請求項21】 端部作動器に導通プローブを取り付け
    る手段が設けられていることを特徴とする請求項11に
    記載の測定装置。
  22. 【請求項22】 7自由度を備えていることを特徴とす
    る請求項1に記載の測定装置。
  23. 【請求項23】 信号が遠隔測定によって送信されて、
    遠隔測定信号を介してホストコンピュータによって受信
    されることを特徴とする請求項1に記載の測定装置。
  24. 【請求項24】 前記支持ベースはさらに、それから測
    定すべき物体用の支持部材まで延出した支柱を備えてお
    り、前記支柱が可動アームと測定すべき物体との間の安
    定性を向上させることを特徴とする請求項1に記載の測
    定装置。
  25. 【請求項25】 前記支柱は、少なくとも1つの調節可
    能な部材によって軸方向に取り付けられた少なくとも2
    つの部分を有しており、また前記支柱は第1及び第2端
    部の各々に回動取り付け部を備えており、前記第1端部
    は前記支持ベースに回動可能に取り付けられ、前記第2
    端部は測定すべき物体用の前記支持部材に回動可能に取
    り付けられていることを特徴とする請求項24に記載の
    測定装置。
  26. 【請求項26】 前記少なくとも1つの調節可能な部材
    は前記少なくとも2つの部分に螺着されていることを特
    徴とする請求項25に記載の測定装置。
  27. 【請求項27】 前記第2端部側の前記支持部材との回
    動取り付け部は前記支持部材を把持するクランプを備え
    ており、前記クランプは前記第2端部に回動可能に取り
    付けられていることを特徴とする請求項25に記載の測
    定装置。
  28. 【請求項28】 前記クランプはCクランプであること
    を特徴とする請求項27に記載の測定装置。
  29. 【請求項29】 前記可動アームは第1、第2及び第3
    ジョイント構造部を設けており、第1ジョイント構造部
    は2自由度を備え、第2ジョイント構造部は2自由度を
    備え、第3ジョイント構造部は2自由度を備えて、6自
    由度を与えることを特徴とする請求項1に記載の測定装
    置。
  30. 【請求項30】 前記可動アームは第1、第2及び第3
    ジョイント構造部を設けており、第1ジョイント構造部
    は2自由度を備え、第2ジョイント構造部は1自由度を
    備え、第3ジョイント構造部は3自由度を備えて、6自
    由度を与えることを特徴とする請求項1に記載の測定装
    置。
  31. 【請求項31】 前記可動アームは第1、第2及び第3
    ジョイント構造部を設けており、第1ジョイント構造部
    は2自由度を備え、第2ジョイント構造部は2自由度を
    備え、第3ジョイント構造部は3自由度を備えて、7自
    由度を与えることを特徴とする請求項1に記載の測定装
    置。
  32. 【請求項32】 前記可動アームに順次作動可能に接続
    されたシリアルボックス及びホストコンピュータを備え
    ていることを特徴とする請求項1に記載の測定装置。
  33. 【請求項33】 前記可動アーム、シリアルボックス及
    びホストコンピュータは、遠隔測定信号送信機及び遠隔
    測定信号受信機を介して相互接続されていることを特徴
    とする請求項32に記載の測定装置。
  34. 【請求項34】 前記アームは1対の向き合わせて層状
    配置された軸受によって支持されていることを特徴とす
    る請求項1に記載の測定装置。
  35. 【請求項35】 前記軸受はねじ付きナットによって初
    荷重を加えられていることを特徴とする請求項34に記
    載の測定装置。
  36. 【請求項36】 前記プローブは感圧プローブであるこ
    とを特徴とする請求項1に記載の測定装置。
  37. 【請求項37】 前記プローブは、球形、平底形、ボー
    ル形及び先細形から選択された端部チップを備えた感圧
    プローブであることを特徴とする請求項36に記載の測
    定装置。
  38. 【請求項38】 前記感圧プローブは、測定装置回路に
    作動連結された少なくとも1つの内蔵型ひずみ計を有し
    ていることを特徴とする請求項36に記載の測定装置。
  39. 【請求項39】 前記プローブは接触プローブであるこ
    とを特徴とする請求項1に記載の測定装置。
  40. 【請求項40】 前記接触プローブは自動スイッチにな
    ることを特徴とする請求項39に記載の測定装置。
  41. 【請求項41】 前記移動ハウジングは約30゜のスト
    ップ円弧を備えていることを特徴とする請求項6に記載
    の測定装置。
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