JPH08166540A - 投影光学系 - Google Patents

投影光学系

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JPH08166540A
JPH08166540A JP6311050A JP31105094A JPH08166540A JP H08166540 A JPH08166540 A JP H08166540A JP 6311050 A JP6311050 A JP 6311050A JP 31105094 A JP31105094 A JP 31105094A JP H08166540 A JPH08166540 A JP H08166540A
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lens group
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Abstract

(57)【要約】 【目的】比較的広い露光領域と大きな開口数とを確保し
つつ両側テレセントリックとしながらも、諸収差、特に
ディストーションを極めて良好に補正する。 【構成】本発明の投影光学系は、物体側から順に、正の
第１レンズ群G1、負の第２レンズ群G2、正の第３レンズ
群G3、負の第４レンズ群G4、正の第５レンズ群G5及び正
の第６レンズ群G6を有し、第２レンズ群G2は、負の前方
レンズＬ2Fと負の後方レンズＬ2Rとの間の中間レンズ群
G2M を含み、中間レンズ群G2M は、物体側から順に、正
の第１レンズ、負の第２レンズ、負の第３レンズ及び負
の第４レンズを少なくとも含むように構成される。そし
て、本発明は、第１〜第６レンズ群G1〜G6の好適な焦点
距離範囲と、第２レンズ群G2の焦点距離に対する負の第
２レンズから第４レンズまでの合成焦点距離の最適な範
囲とを見出したものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、第１物体のパターンを
第２物体としての基板等に投影するための投影光学系に
関するものであり、特に、第１物体としてのレチクル
（マスク）上に形成された半導体用または液晶用のパタ
ーンを第２物体としての基板（ウェハ、プレート等）上
に投影露光するのに好適な投影光学系に係るものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】集積回路のパターンの微細化が進むに従
って、ウェハの焼付けに用いられる投影光学系に対し要
求される性能もますます厳しくなってきている。このよ
うな状況の中で、投影光学系の解像力の向上について
は、露光波長λをより短くするか、あるいは投影光学系
の開口数（ＮＡ）を大きくする事が考えられる。
【０００３】近年においては、転写パターンの微細化に
対応するために、露光用の光源は、ｇ線(436nm) の露光
波長の光を発するものからｉ線(365nm) の露光波長の光
を発するものが主として用いられるようになってきてお
り、さらには、より短波長の光を発する光源、例えばエ
キシマレーザ（248nm,193nm)が用いられようとしてい
る。
【０００４】そして、以上の各種の露光波長の光によっ
てレチクル上のパターンをウェハ上に投影露光するため
の投影光学系が提案されている。投影光学系において
は、解像力の向上と共に要求されるのは、像歪を少なく
することである。ここで、像歪とは、投影光学系に起因
するディストーション（歪曲収差）によるものの他、投
影光学系の像側で焼き付けられるウェハの反り等による
ものと、投影光学系の物体側で回路パターン等が描かれ
ているレチクルの反り等によるものがある。
【０００５】近年ますます転写パターンの微細化が進
み、像歪の低減要求も一段と厳しくなってきている。そ
こで、ウェハの反りによる像歪への影響を少なくするた
めには、投影光学系の像側での射出瞳位置を遠くに位置
させる、所謂像側テレセントリック光学系が従来より用
いられてきた。
【０００６】一方、レチクルの反りによる像歪の軽減に
ついても、投影光学系の入射瞳位置を物体面から遠くに
位置させる、所謂物体側テレセントリック光学系にする
ことが考えられ、またそのように投影光学系の入射瞳位
置を物体面から比較的遠くに位置させる提案がなされて
いる。それらの例としては、特開昭６３−１１８１１５
号、特開平４−１５７４１２号、特開平５−１７３０６
５号等のものがある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】以上の各特許公報にて
提案された光学系の中には、物体側と像側とが共にテレ
セントリックである、所謂両側テレセントリック投影光
学系が開示されている。しかしながら、以上の各特許公
報にて提案されている両側テレセントリック投影光学系
では、解像力に寄与する開口数（ＮＡ）が十分に大きく
なく、さらには各収差、特にディストーションの補正が
十分ではなかった。
【０００８】本発明は、以上の問題点に鑑みてなされた
ものであり、比較的広い露光領域と大きな開口数とを確
保つつ両側テレセントリックとしながらも、諸収差、特
にディストーションを極めて良好に補正し得る高性能な
投影光学系を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するために、第１物体の像を第２物体上に投影する
投影光学系において、前記投影光学系は、前記第１物体
側から順に、正の屈折力を持つ第１レンズ群と、負の屈
折力を持つ第２レンズ群と、正の屈折力を持つ第３レン
ズ群と、負の屈折力を持つ第４レンズ群と、正の屈折力
を持つ第５レンズ群と、正の屈折力を第６レンズ群とを
有し、前記第２レンズ群は、最も第１物体側に配置され
て前記第２物体側に凹面を向けた負の屈折力を持つ前方
レンズと、最も第２物体側に配置されて前記第１物体側
に凹面を向けた負の屈折力を持つ後方レンズと、前記第
２レンズ群中の前方レンズと前記第２レンズ群中の後方
レンズとの間に配置される中間レンズ群を含み、前記中
間レンズ群は、前記第１物体側から順に、正の屈折力を
持つ第１レンズと、負の屈折力を持つ第２レンズと、負
の屈折力を持つ第３レンズ、負の屈折力を持つ第４レン
ズとを少なくとも有し、前記第１レンズ群の焦点距離を
ｆ1 とし、前記第２レンズ群の焦点距離をｆ2、前記第
３レンズ群の焦点距離をｆ3 、前記第４レンズ群の焦点
距離をｆ4 、前記第５レンズ群の焦点距離をｆ5 、前記
第６レンズ群の焦点距離をｆ6 、前記第２レンズ群中の
前記第２レンズから前記第４レンズまでの合成焦点距離
をｆn 、前記第１物体から前記第２物体までの距離をＬ
とするとき、以下の条件（１）〜（５）を満足するよう
に構成したものである。 （１） ０．１＜ｆ1 ／ｆ3 ＜１７ （２） ０．１＜ｆ2 ／ｆ4 ＜１４ （３） ０．０１＜ｆ5 ／Ｌ＜０．９ （４） ０．０２＜ｆ6 ／Ｌ＜１．６ （５） ０．０１＜ｆn ／ｆ2 ＜２．０ 以上の構成に基づいて、前記第１物体から前記投影光学
系全体の第１物体側焦点までの軸上距離をＩとすると
き、以下の条件を満足することが好ましい。 （６） １．０＜Ｉ／Ｌ また、前記第２レンズ群中の負の屈折力を持つ第３レン
ズの焦点距離をｆ23とし、前記第２レンズ群中の負の屈
折力を持つ第４レンズの焦点距離をｆ24とするとき、以
下の条件を満足することが望ましい。 （７） ０．０７＜ｆ24／ｆ23＜７ さらに、前記第２レンズ群中の負の屈折力を持つ第２レ
ンズの焦点距離をｆ22とし、前記第２レンズ群中の負の
屈折力を持つ第３レンズの焦点距離をｆ23とするとき、
以下の条件を満足することがより好ましい。 （８） ０．１＜ｆ22／ｆ23＜１０ さらに、前記第２レンズ群中の中間レンズ群における負
の屈折力の第４レンズの第２物体側のレンズ面から第２
レンズ群における後方レンズの第１物体側のレンズ面ま
での軸上距離をＤとし、第１物体から第２物体までの距
離をＬとするとき、以下の条件を満足することが好まし
い。 （９） ０．０５＜Ｄ／Ｌ＜０．４ また、前記第４レンズ群は、第４レンズ群の焦点距離を
ｆ4 とし、第１物体から第２物体までの距離をＬとする
とき、以下の条件を満足することが好ましい。 （１０） −０．０９８＜ｆ4 ／Ｌ＜−０．００５ また、前記第２レンズ群は、第２レンズ群の焦点距離を
ｆ2 とし、第１物体から第２物体までの距離をＬとする
とき、以下の条件を満足することが好ましい。 （１１） −０．８＜ｆ2 ／Ｌ＜−０．０５０ また、前記第５レンズ群は、負メニスカスレンズと、該
負メニスカスレンズの凹面と隣接して配置されかつ該負
メニスカスレンズの凹面と対向する凸面を持つ正レンズ
とを有し、前記第５レンズ群中の前記負メニスカスレン
ズにおける凹面の曲率半径ｒ5nとし、前記第５レンズ群
中の前記負メニスカスレンズの凹面に隣接して配置され
た正レンズにおける前記負メニスカスレンズの凹面と対
向する凸面の曲率半径ｒ5pとするとき、以下の条件を満
足することがより好ましい。 （１２） ０＜（ｒ5p−ｒ5n）／（ｒ5p＋ｒ5n）＜１ この場合、前記第５レンズ群中の少なくとも１枚の正レ
ンズと、前記第５レンズ群中の少なくとも１枚の正レン
ズとの間には、負メニスカスレンズと、負メニスカスレ
ンズの凹面に隣接する正レンズとが配置されることが好
ましい。
【００１０】また、前記第４レンズ群は、最も第１物体
側に配置されて第２物体側に凹面を向けた負の屈折力を
持つ前方レンズと、最も第２物体側に配置されて第１物
体側に凹面を向けた負の屈折力を持つ後方レンズと、前
記第４レンズ群中の前方レンズと前記第４レンズ群中の
後方レンズとの間に配置された少なくとも１枚以上の負
レンズとを有し、前記第４レンズ群中の最も第２物体側
に配置された後方レンズにおける第１物体側の曲率半径
をｒ4Fとし、前記第４レンズ群中の最も第２物体側に配
置された後方レンズにおける第２物体側の曲率半径をｒ
4Rとするとき、以下の条件を満足することが望ましい。 （１３） −１．００≦（ｒ4F−ｒ4R）／（ｒ4F＋ｒ4R）＜０ また、前記第５レンズ群は、最も第２物体側に配置され
て第２物体側に凹面を向けた負レンズを有し、第６レン
ズ群は、最も第１物体側に配置されて第１物体側に凸面
を向けたレンズを有し、前記第５レンズ群の最も第２物
体側に配置される負レンズの第２物体側の曲率半径をｒ
5Rとし、前記第６レンズ群の最も第１物体側に配置され
るレンズの第１物体側の曲率半径をｒ6Fとするとき、以
下の条件を満足することが望ましい。 （１４） −０．９０＜（ｒ5R−ｒ6F）／（ｒ5R＋ｒ6F）＜−０．００１ さらに、前記第５レンズ群と前記第６レンズ群との間の
レンズ群間隔をｄ56とし、前記第１物体から前記第２物
体までの距離をＬとするとき、以下の条件を満足するこ
とがより好ましい。 （１５） ｄ56／Ｌ＜０．０１７ また、前記第６レンズ群の最も第１物体側のレンズ面の
曲率半径をｒ6Fとし、第６レンズ群の最も第１物体側の
レンズ面から第２物体までの軸上距離をｄ6 とすると
き、以下の条件を満足することが望ましい。 （１６） ０．５０＜ｄ6 ／ｒ6F＜１．５０ また、前記第５レンズ群は、最も第２物体側に配置され
て第２物体側に凹面を向けた負レンズを有し、前記第５
レンズ群中の最も第２物体側に設けられた負レンズにお
ける第１物体側の曲率半径をｒ5F、前記第５レンズ群中
の最も第２物体側に設けられた負レンズにおける第２物
体側の曲率半径をｒ5Rとするとき、以下の条件を満足す
ることがより望ましい。 （１７） ０．３０＜（ｒ5F−ｒ5R）／（ｒ5F＋ｒ5R）＜１．２８ また、前記第２レンズ群中の中間レンズ群における正の
屈折力の第１レンズは、第２物体側に凸面を向けたレン
ズ形状を有し、前記第２レンズ群中の中間レンズ群にお
ける正の屈折力を持つ第１レンズの第２物体側のレンズ
面の屈折力をφ21とし、第１物体から第２物体までの距
離をＬとするとき、以下の条件を満足することが好まし
い。 （１８） ０．５４＜１／（φ21・Ｌ）＜１０ また、前記第２レンズ群中の中間レンズ群における正の
屈折力の第１レンズの焦点距離をｆ21とし、第１物体か
ら第２物体までの距離をＬとするとき、以下の条件を満
足することがより望ましい。 （１９） ０．２３０＜ｆ21／Ｌ＜０．４０ また、前記第２レンズ群中の最も第１物体側に配置され
て前記第２物体側に凹面を向けた負の屈折力を持つ前方
レンズの焦点距離をｆ2F、前記第２レンズ群中の最も第
２物体側に配置されて前記第１物体側に凹面を向けた負
の屈折力を持つ後方レンズの焦点距離をｆ2Rとすると
き、以下の条件を満足することが好ましい。 （２０） ０≦ｆ2F／ｆ2R＜１８
【００１１】
【作 用】本発明の投影光学系では、第１物体側から順
に、正の屈折力を持つ第１レンズ群と、負の屈折力を持
つ第２レンズ群と、正の屈折力を持つ第３レンズ群と、
負の屈折力を持つ第４レンズ群と、正の屈折力を持つ第
５レンズ群と、正の屈折力を第６レンズ群とを少なくと
も有する構成としている。
【００１２】まず、正の屈折力を持つ第１レンズ群はテ
レセントリック性を維持しながら主にディストーション
の補正に寄与しており、具体的には、第１レンズ群にて
正のディストーションを発生させて、この第１レンズ群
よりも第２物体側に位置する複数のレンズ群にて発生す
る負のディストーションをバランス良く補正している。
負の屈折力を持つ第２レンズ群及び負の屈折力を持つ第
４レンズ群は、主にペッツバール和の補正に寄与し、像
面の平坦化を図っている。負の屈折力を持つ第２レンズ
群及び正の屈折力を持つ第３レンズ群では、この２つの
レンズ群において逆望遠系を形成しており、投影光学系
のバックフォーカス（投影光学系の最も第２物体側のレ
ンズ面等の光学面から第２物体までの距離）の確保に寄
与している。正の屈折力を持つ第５レンズ群及び同じく
正の屈折力を第６レンズ群は、ディストーションの発生
を抑えることと、第２物体側での高ＮＡ化に十分対応す
るために特に球面収差の発生を極力抑えることとに主に
寄与している。
【００１３】以上の構成に基づいて、第２レンズ群にお
ける最も第１物体側に配置されて第２物体側に凹面を向
けた負の屈折力を持つ前方レンズは、像面湾曲、コマ収
差の補正に寄与し、第２レンズ群における最も第２物体
側に配置されて第１物体側に凹面を向けた負の屈折力を
持つ後方レンズは、像面湾曲、コマ収差並びに非点収差
の補正に寄与する。また、前方レンズと後方レンズとの
間に配置された中間レンズ群において、正の屈折力を持
つ第１レンズは、像面湾曲の補正に大きく寄与している
負の屈折力の第２〜第４レンズにて発生する負のディス
トーションの補正に寄与している。
【００１４】条件（１）では、正の屈折力の第１レンズ
群の焦点距離ｆ1 と正の屈折力の第３レンズ群の焦点距
離ｆ3 との最適な比率、即ち、第１レンズ群と第３レン
ズ群との最適な屈折力（パワー）配分を規定している。
この条件（１）は、主にディストーションをバランス良
く補正するためのものであり、この条件（１）の下限を
越えると、第３レンズ群の屈折力が第１レンズ群の屈折
力に対して相対的に弱くなるため、負のディストーショ
ンが大きく発生する。また、条件（１）の上限を越える
と、第１レンズ群の屈折力が第３レンズ群の屈折力に対
して相対的に弱くなるため、負のディストーションが大
きく発生する。
【００１５】条件（２）では、負の屈折力の第２レンズ
群の焦点距離ｆ2 と負の屈折力の第４レンズ群の焦点距
離ｆ4 との最適な比率、即ち、第２レンズ群と第４レン
ズ群との最適な屈折力（パワー）配分を規定している。
この条件（２）は、主にペッツバール和を小さくして、
広い露光フィールドを確保しながら、像面湾曲を良好に
補正するためのものであり、この条件（２）の下限を越
えると、第４レンズ群の屈折力が第２レンズ群の屈折力
に対して相対的に弱くなるため、正のペッツバール和が
大きく発生する。また、条件（２）の上限を越えると、
第２レンズ群の屈折力が第４レンズ群の屈折力に対して
相対的に弱くなるため、正のペッツバール和が大きく発
生する。なお、第４レンズ群の屈折力を第２レンズ群の
屈折力に対して相対的に強くして、広い露光フィールド
のもとでペッツバール和をよりバランス良く補正するた
めには、上記条件（２）の下限値を０．８として、０．
８＜ｆ2 ／ｆ4 とすることが好ましい。
【００１６】条件（３）では、正の屈折力の第５レンズ
群の焦点距離ｆ5 と第１物体（レチクル等）と第２物体
（ウェハ等）までの距離（物像間距離）Ｌとの最適な比
率を規定している。この条件（３）は、大きな開口数を
保ちながら球面収差、ディストーション及びペッツバー
ル和をバランス良く補正するためのものである。この条
件（３）の下限を越えると、第５レンズ群の屈折力が大
きくなり過ぎ、この第５レンズ群にて負のディストーシ
ョンのみならず負の球面収差が甚大に発生する。この条
件（３）の上限を越えると、第５レンズ群の屈折力が弱
くなり過ぎ、これに伴って負の屈折力の第４レンズ群の
屈折力も必然的に弱くなり、この結果、ペッツバール和
を良好に補正することができない。
【００１７】条件（４）では、正の屈折力の第６レンズ
群の焦点距離ｆ6 と、第１物体（レチクル等）から第２
物体（ウェハ等）までの距離（物像間距離）Ｌとの最適
な比率を規定している。この条件（４）は、大きな開口
数を保ちながら高次の球面収差及び負のディストーショ
ンの発生を抑えるためのものである。この条件（４）の
下限を越えると、第６レンズ群自身にて負のディストー
ションが大きく発生し、この条件（４）の上限を越える
と、高次の球面収差が発生する。
【００１８】条件（５）では、第２レンズ群中の中間レ
ンズ群における負の屈折力の第２レンズから負の屈折力
の第４レンズまでの合成焦点距離ｆn と第２レンズ群の
焦点距離ｆ2 との最適な比率を規定している。但し、こ
こで言う第２レンズ群の中間レンズ群における負の屈折
力の第２レンズから負の屈折力の第４レンズまでの合成
焦点距離ｆn とは、第２レンズから第４レンズまでの３
枚のレンズの合成焦点距離を意味するのみならず、第２
レンズと第４レンズとの間に複数のレンズが存在する場
合には、第２レンズから第４レンズまでの３枚以上のレ
ンズを含めた上での合成焦点距離を意味する。
【００１９】この条件（５）は、ディストーションの発
生を抑えながらペッツバール和を小さく保つためのもの
である。この条件（５）の下限を越えると、第２レンズ
群中の中間レンズ群における負の第２レンズから負の第
４レンズまでの少なくとも３枚の負レンズを含む負のサ
ブレンズ群の合成屈折力が強くなり過ぎるため、負のデ
ィストーションが大きく発生する。なお、ディストーシ
ョン並びにコマ収差を十分に補正するためには、上記条
件（５）の下限値を０．１として、０．１＜ｆ n ／ｆ2
とすることが好ましい。
【００２０】この条件（５）の上限を越えると、第２レ
ンズ群中の中間レンズ群における負の第２レンズから負
の第４レンズまでの少なくとも３枚の負レンズを含む負
のサブレンズ群の屈折力が弱くなり過ぎるため、正のペ
ッツバール和が大きく発生するのみならず、第３レンズ
群の屈折力も弱くなり、投影光学系のコンパクト化が困
難となる。なお、ペッツバール和を良好に補正しつつよ
り十分なるコンパクト化を図るには、上記条件（５）の
上限値を１．３として、ｆn ／ｆ2 ＜１．３とすること
が好ましい。
【００２１】さらに、第１物体から投影光学系全体の第
１物体側焦点までの軸上距離をＩとし、第１物体から第
２物体までの距離をＬとするとき、以下の条件（６）を
満足することが好ましい。 （６） １．０＜Ｉ／Ｌ 条件（６）では、第１物体から投影光学系全体の第１物
体側焦点までの軸上距離Ｉと、第１物体（レチクル等）
から第２物体（ウェハ等）までの距離（物像間距離）Ｌ
との最適な比率を規定している。ここで、投影光学系全
体の第１物体側焦点とは、投影光学系の光軸に対して近
軸領域での平行光を投影光学系の第２物体側から入射さ
せ、その近軸領域の光が投影光学系を射出する時に、そ
の射出光が光軸と交わる点を意味するものである。
【００２２】この条件（６）の下限を越えると、投影光
学系の第１物体側でのテレセントリック性が大幅に崩れ
て、第１物体の光軸方向のずれに起因する倍率の変動並
びにディストーションの変動が大きくなり、その結果、
第１物体の像を所望の倍率のもとで忠実に第２物体上に
投影することが困難となる。なお、第１物体の光軸方向
のずれに起因する倍率の変動並びにディストーションの
変動をより十分に抑えるためには、上記条件（６）の下
限値を１．７として、１．７＜Ｉ／Ｌとすることが好ま
しい。さらに、投影光学系のコンパクト化を維持しなが
ら、瞳の球面収差及びディストーションを共にバランス
良く補正するためには、上記条件（６）の上限値を６．
８として、Ｉ／Ｌ＜６．８とすることが好ましい。
【００２３】また、第２レンズ群中の中間レンズ群にお
ける負の屈折力を持つ第３レンズの焦点距離をｆ23と
し、前記第２レンズ群中の中間レンズ群における負の屈
折力を持つ第４レンズの焦点距離をｆ24とするとき、以
下の条件（７）を満足することがより好ましい。 （７） ０．０７＜ｆ24／ｆ23＜７ 条件（７）の下限を越えると、負の第４レンズの屈折力
が負の第３レンズの屈折力に対して相対的に強くなり、
負の第４レンズにて、コマ収差と負のディストーション
が大きく発生する。負のディストーションを補正しつ
つ、コマ収差をより良好に補正するためには、上記条件
（７）の下限値を０．１４として、０．１４＜ｆ24／ｆ
23とすることが好ましい。この条件（７）の上限を越え
ると、負の第３レンズの屈折力が負の第４レンズの屈折
力に対して相対的に強くなり、負の第３レンズにてコマ
収差と負のディストーションが大きく発生する。コマ収
差を補正しつつ、負のディストーションをより良好に補
正するためには、上記条件（７）の上限値を３．５とし
て、ｆ24／ｆ23＜３．５とすることが好ましい。
【００２４】また、第２レンズ群中の中間レンズ群にお
ける負の屈折力を持つ第２レンズの焦点距離をｆ22と
し、第２レンズ群中の中間レンズ群における負の屈折力
を持つ第３レンズの焦点距離をｆ23とするとき、以下の
条件（８）を満足することがより望ましい。 （８） ０．１＜ｆ22／ｆ23＜１０ 条件（８）の下限を越えると、負の第２レンズの屈折力
が負の第３レンズの屈折力に対して相対的に強くなり、
負の第２レンズにて、コマ収差と負のディストーション
が大きく発生する。より負のディストーションをバラン
ス良く補正するためには、上記条件（８）の下限値を
０．２として、０．２＜ｆ22／ｆ23とすることが好まし
い。この条件（８）の上限を越えると、負の第３レンズ
の屈折力が負の第２レンズの屈折力に対して相対的に強
くなり、負の第３レンズにてコマ収差と負のディストー
ションが大きく発生する。コマ収差を良好に補正しなが
ら、より負のディストーションをバランス良く補正する
ためには、上記条件（８）の上限値を５として、ｆ24／
ｆ23＜５とすることが好ましい。
【００２５】また、第２レンズ群中の中間レンズ群中に
おける負の屈折力の第４レンズの第２物体側のレンズ面
から第２レンズ群中における後方レンズの第１物体側の
レンズ面までの軸上距離をＤとし、第１物体から第２物
体までの距離をＬとするとき、以下の条件（９）を満足
することがより望ましい。 （９） ０．０５＜Ｄ／Ｌ＜０．４ 条件（９）の下限を越えると、第２物体側での十分なる
バックフォーカスを確保することが困難となるのみなら
ず、ペッツバール和を良好に補正することも困難とな
る。条件（９）の上限を越えると、コマ収差と負のディ
ストーションが大きく発生する。さらには、例えば、第
１物体としてのレチクルを保持するレチクルステージと
第１レンズ群との機械的な干渉を避けるために、第１物
体と第１レンズ群との間の空間を十分に確保することが
好ましい場合があるが、条件（９）の上限を越えた場合
には、この空間を十分に確保することが困難となるとい
う問題もある。
【００２６】また、第４レンズ群は、第４レンズ群の焦
点距離をｆ4 とし、第１物体と第２物体までの距離をＬ
とするとき、以下の条件を満足することが好ましい。 （１０） −０．０９８＜ｆ4 ／Ｌ＜−０．００５ 条件（１０）の下限を越えると、球面収差の補正が困難
となるため好ましくない。また、条件（１０）の上限を
越えると、コマ収差が発生するため好ましくない。球面
収差及びペッツバール和を良好に補正するためには、条
件（１０）の下限値を−０．０７８として、−０．０７
８＜ｆ4 ／Ｌとすることが好ましく、さらにコマ収差の
発生を抑えるためには条件（１０）の上限値を−０．０
４７として、ｆ4 ／Ｌ＜−０．０４７とすることが好ま
しい。
【００２７】また、第２レンズ群は、第２レンズ群の焦
点距離をｆ2 とし、第１物体と第２物体までの距離をＬ
とするとき、以下の条件を満足することが好ましい。 （１１） −０．８＜ｆ2 ／Ｌ＜−０．０５０ ここで、条件（１１）の下限を越えると、正のペッツバ
ール和が発生するため好ましくない。また、条件（１
１）の上限を越えると、負のディストーションが発生す
るため好ましくない。なお、ペッツバール和をさらに良
好に補正するためには、条件（１１）の下限値を−０．
１６として、−０．１６＜ｆ2 ／Ｌとすることが好まし
く、負のディストーションとコマ収差とをさらに良好に
補正するためには、条件（１１）の上限値を−０．０７
１０として、ｆ2 ／Ｌ＜−０．０７１０とすることが好
ましい。
【００２８】また、主に３次の球面収差を良好に補正す
るためには、正の屈折力を持つ第５レンズ群は、負メニ
スカスレンズと、その負メニスカスレンズの凹面と隣接
して配置されかつその負メニスカスレンズの凹面と対向
する凸面を持つ正レンズとを有し、第５レンズ群中の負
メニスカスレンズにおける凹面の曲率半径ｒ5nとし、第
５レンズ群中の負メニスカスレンズの凹面に隣接して配
置された正レンズにおける負メニスカスレンズの凹面と
対向する凸面の曲率半径ｒ5pとするとき、以下の条件
（１２）を満足することがより望ましい。 （１２） ０＜（ｒ5p−ｒ5n）／（ｒ5p＋ｒ5n）＜１ 条件（１２）の下限を越えると、３次の球面収差が補正
不足となり、逆に条件（１２）の上限を越えると、３次
の球面収差が補正過剰となり、好ましくない。ここで、
３次の球面収差をより良好に補正するためには、条件
（１２）の下限値を０．０１として、０．０１＜（ｒ5p
−ｒ5n）／（ｒ5p＋ｒ5n）とすることがさらに好まし
く、条件（１２）の上限値を０．７として、（ｒ5p−ｒ
5n）／（ｒ5p＋ｒ5n）＜０．７とすることがさらに好ま
しい。
【００２９】ここで、第５レンズ群中の少なくとも１枚
の正レンズと、第５レンズ群中の少なくとも１枚の正レ
ンズとの間には、負メニスカスレンズと、負メニスカス
レンズの凹面に隣接する正レンズとが配置されることが
好ましい。この構成により、高ＮＡに応じて発生しがち
な高次の球面収差の発生を抑えることができる。また、
負の屈折力を持つ第４レンズ群は、最も第１物体側に配
置されて第２物体側に凹面を向けた負の屈折力を持つ前
方レンズと、最も第２物体側に配置されて第１物体側に
凹面を向けた負の屈折力を持つ後方レンズと、第４レン
ズ群中の前方レンズと第４レンズ群中の後方レンズとの
間に配置された少なくとも１枚以上の負レンズとを有
し、その第４レンズ群中の最も第２物体側に位置する後
方レンズにおける第１物体側の曲率半径をｒ4Fとし、第
４レンズ群中の最も第２物体側に位置する後方レンズに
おける第２物体側の曲率半径をｒ4Rとするとき、以下の
条件（１３）を満足することがさらに望ましい。 （１３） −１．００≦（ｒ4F−ｒ4R）／（ｒ4F＋ｒ4R）＜０ 条件（１３）の下限を越えると、第４レンズ群中の最も
第２物体側に位置する負の後方レンズは両凹形状とな
り、高次の球面収差が発生し、逆に、条件（１３）の上
限を越えると、第４レンズ群中の最も第２物体側に位置
する負の後方レンズは正の屈折力を持つことになり、ペ
ッツバール和の補正が難しくなる傾向となる。
【００３０】さらに、第５レンズ群は、これの最も第２
物体側において、第２物体側に凹面を向けた負レンズを
有することが望ましい。これによって、第５レンズ群中
の最も第２物体側に位置する負レンズにて、正のディス
トーション並びに負のペッツバール和を発生させること
が可能となるため、第５レンズ群中の正レンズにて発生
する負のディストーション並びに正のペッツバール和を
相殺することが可能となる。
【００３１】このとき、第６レンズ群の最も第１物体側
に位置するレンズにおいて、高次の球面収差を発生させ
ずに負のディストーションを抑えるためには、最も第１
物体側のレンズ面は第１物体側に凸面を向けた形状を有
することが望ましく、第５レンズ群の最も第２物体側に
配置される負レンズの第２物体側の曲率半径をｒ5Rと
し、第６レンズ群の最も第１物体側に位置するレンズの
第１物体側（第６レンズ群の最も第１物体側のレンズ
面）の曲率半径をｒ6Fとするとき、以下の条件を満足す
ることがより望ましい。 （１４） −０．９０＜（ｒ5R−ｒ6F）／（ｒ5R＋ｒ6F）＜−０．００１ この条件（１４）は、第５レンズ群と第６レンズ群との
間に形成される気体レンズの最適な形状を規定するもの
であり、この条件（１４）の下限を越えると、第５レン
ズ群の最も第２物体側に配置される負レンズの第２物体
側の凹面の曲率が強くなり、高次のコマ収差が発生す
る。この条件（１４）の上限を越えると、第５レンズ群
と第６レンズ群との間に形成される気体レンズ自体の屈
折力が弱くなり、この気体レンズでの正のディストーシ
ョンの発生量が小さくなり、第５レンズ群中の正レンズ
にて発生する負のディストーションを良好に補正するこ
とが困難となる。なお、高次のコマ収差の発生をより十
分に抑えるためには、上記条件（１４）の下限値を−
０．３０として、−０．３０＜（ｒ5R−ｒ6F）／（ｒ5R
＋ｒ6F）とすることが好ましい。
【００３２】また、第５レンズ群と第６レンズ群との間
のレンズ群間隔（第５レンズ群中の最も第２物体側に位
置する負レンズにおける第２物体側のレンズ面から、第
６レンズ群の最も第１物体側に位置するレンズにおける
第１物体側のレンズ面までの軸上距離）をｄ56とし、第
１物体（レチクル等）から第２物体（ウェハ等）までの
距離（物像間距離）をＬとするとき、以下の条件（１
５）を満足することがさらに好ましい。 （１５） ｄ56／Ｌ＜０．０１７ この条件（１５）の上限を越えると、第５レンズ群と第
６レンズ群との間のレンズ群間隔が大きくなり、正のデ
ィストーションの発生量が小さくなる。この結果、第５
レンズ群中の正レンズにて発生する負のディストーショ
ンをバランス良く補正することが困難となる。
【００３３】また、第６レンズ群の最も第１物体側のレ
ンズ面の曲率半径をｒ6Fとし、第６レンズ群の最も第１
物体側のレンズ面から第２物体までの軸上距離をｄ6 と
するとき、以下の条件を満足することがより好ましい。 （１６） ０．５０＜ｄ6 ／ｒ6F＜１．５０ この条件（１６）の下限を越えると、第６レンズ群の最
も第１物体側のレンズ面の正の屈折力が強くなり過ぎる
ため、負のディストーション及びコマ収差が大きく発生
する。この条件（１６）の上限を越えると、第６レンズ
群の最も第１物体側のレンズ面の正の屈折力が弱くなり
過ぎるため、コマ収差が大きく発生する。なお、よりコ
マ収差の発生を抑えるためには条件（１６）の下限値を
０．８４として、０．８４＜ｄ6 ／ｒ6Fとすることが望
ましい。
【００３４】また、第５レンズ群中の最も第２物体側に
位置する負レンズにおける第１物体側の曲率半径を
ｒ5F、第５レンズ群中の最も第２物体側に位置する負レ
ンズにおける第２物体側の曲率半径をｒ5Rとするとき、
以下の条件（１７）を満足することが望ましい。 （１７） ０．３０＜（ｒ5F−ｒ5R）／（ｒ5F＋ｒ5R）＜１．２８ この条件（１７）の下限を越えると、ペッツバール和及
びコマ収差を共に補正することが困難となり、この条件
（１７）の上限を越えると、高次のコマ収差が大きく発
生するため好ましくない。より高次のコマ収差の発生を
防ぐためには、条件（１７）の上限値を０．９３とし、
（ｒ5F−ｒ5R）／（ｒ5F＋ｒ5R）＜０．９３とすること
が好ましい。
【００３５】また、第２レンズ群中の中間レンズ群中の
正の屈折力の第１レンズの第２物体側のレンズ面は第２
物体側に凸面を向けたレンズ形状とすることが望まし
く、このとき、第２レンズ群中の中間レンズ群中の正の
第１レンズの第２物体側のレンズ面の屈折力をφ21と
し、第１物体から第２物体までの距離をＬとするとき、
以下の条件（１８）を満足することがより好ましい。 （１８） ０．５４＜１／（φ21・Ｌ）＜１０ 但し、ここで言う、中間レンズ群中の正の屈折力の第１
レンズの第２物体側のレンズ面の屈折力とは、第１レン
ズの媒質の屈折率をｎ1 とし、その第１レンズの第２物
体側のレンズ面に接している媒質の屈折率をｎ2 、第１
レンズの第２物体側のレンズ面の曲率半径をｒ21とする
とき、次式にて与えられるものである。
【００３６】φ21＝（ｎ2 −ｎ1 ）／ｒ21 条件（１８）の下限を越えると、高次のディストーショ
ンが発生し、逆に、条件（１８）の上限を越えると、第
１レンズ群においてディストーション補正をより過剰に
行なう必要がでてくるため、瞳の球面収差が発生し好ま
しくない。また、第２レンズ群中の中間レンズ群中の正
の屈折力の第１レンズの焦点距離をｆ21とし、第１物体
から第２物体までの距離をＬとするとき、以下の条件
（１９）を満足することがより好ましい。 （１９） ０．２３０＜ｆ21／Ｌ＜０．４０ 条件（１９）の下限を越えると、正のディストーション
が発生し、条件（１９）の上限を越えると、負のディス
トーションが発生するため好ましくない。
【００３７】また、第２レンズ群中の前方レンズ及び後
方レンズは、第２レンズ群中の最も第１物体側に配置さ
れて第２物体側に凹面を向けた負の屈折力を持つ前方レ
ンズの焦点距離をｆ2F、第２レンズ群中の最も第２物体
側に配置されて第２物体側に凹面を向けた負の屈折力を
持つ後方レンズの焦点距離をｆ2Rとするとき、以下の条
件を満足することが好ましい。 （２０） ０≦ｆ2F／ｆ2R＜１８ 条件（２０）では、前記第２レンズ群中の後方レンズの
焦点距離ｆ2Rと第２レンズ群中の前方レンズの焦点距離
をｆ2Fとの最適な比率を規定している。この条件（２
０）の下限及び上限を越えると、第１レンズ群或いは第
３レンズ群の屈折力のバランスが崩れ、ディストーショ
ンを良好に補正すること或いはペッツバール和と非点収
差とを同時に良好に補正することが困難となる。
【００３８】なお、以上の各レンズ群において、十分な
る収差機能を果たさせるには、具体的には、以下の構成
とすることが望ましい。まず、第１レンズ群において高
次のディストーション並びに瞳の球面収差の発生を抑え
る機能を持たせるには、この第１レンズ群は、少なくと
も２枚の正レンズを有することが好ましく、第３レンズ
群において球面収差及びペッツバール和の悪化を抑える
機能を持たせるには、この第３レンズ群は、少なくとも
３枚の正レンズを有することが好ましく、さらには、第
４レンズ群においてペッツバール和を補正しつつコマ収
差の発生を抑える機能を持たせるには、この第４レンズ
群は、少なくとも３枚の負レンズを有することが好まし
い。また、第５レンズ群において負のディストーション
及び球面収差の発生を抑える機能を持たせるには、この
第５レンズ群は、少なくとも５枚の正レンズを有するこ
とが好ましく、さらに第５レンズ群において、負のディ
ストーションとペッツバール和とを補正する機能を持た
せるには、この第５レンズ群は、少なくとも１枚の負レ
ンズとを有することが好ましい。また、第６レンズ群に
おいて球面収差を大きく発生しないように第２物体上に
集光させるには、この第６レンズ群は、少なくとも１枚
の正レンズを有することが好ましい。
【００３９】また、ペッツバール和をさらに良好に補正
するためには、第２レンズ群中の中間レンズ群は、負の
屈折力を有することが好ましい。第６レンズ群におい
て、さらに負のディストーションの発生を抑える機能を
持たせるには、この第６レンズ群は、以下の条件（２
１）を満足するレンズ面を少なくとも１面有する３枚以
下のレンズから構成されることが好ましい。 （２１） １／｜φＬ｜＜２０ 但し、φ：レンズ面の屈折力、 Ｌ：第１物体から第２物体までの物像間距離、 である。尚、ここで言う、レンズ面の屈折力とは、その
レンズ面の曲率半径をｒとし、そのレンズ面の第１物体
側の媒質の屈折率をｎ1 とし、そのレンズ面の第２物体
側の媒質をｎ2 とするとき、次式にて与えられるもので
ある。
【００４０】φ＝（ｎ2 −ｎ1 ）／ｒ ここで、この条件（２１）を満足するレンズ面を有する
レンズが４枚以上となる場合には、第２物体の近傍に配
置されるある程度の曲率を持つレンズ面が増すことにな
り、ディストーションの発生を招くため好ましくない。
【００４１】
【実施例】次に、本発明による実施例について詳述す
る。本実施例における投影光学系は、図１に示す露光装
置に応用したものである。まず、図１について簡単に説
明すると、図示の如く、投影光学系ＰＬの物体面には所
定の回路パターンが形成された投影原版としてのレチク
ルＲ（第１物体）が配置されており、投影光学系ＰＬの
像面には、基板としてのウェハＷ（第２物体）が配置さ
れている。レチクルＲはレチクルステージＲＳに保持さ
れ、ウェハＷはウェハステージＷＳに保持されている。
また、レチクルＲの上方には、レチクルＲを均一照明す
るための照明光学装置ＩＳが配置されている。
【００４２】以上の構成により、照明光学装置ＩＳから
供給される光は、レチクルＲを照明し、投影光学系ＰＬ
の瞳位置（開口絞りＡＳ位置）には照明光学装置ＩＳ中
の光源の像が形成され、所謂ケーラー照明がされる。そ
して、投影光学系ＰＬによって、ケーラー照明されたレ
チクルＲのパターン像が、投影光学系ＰＬによりウェハ
Ｗ上に露光（転写）される。
【００４３】本実施例では、照明光学装置ＩＳ内部に配
置される光源として、248.4nm の露光波長λを持つ光を
供給するエキシマレーザとしたときの投影光学系の例を
示しており、図２〜図７には本発明による第１〜第６実
施例の投影光学系のレンズ構成図を示している。図２〜
図７に示す如く、各実施例の投影光学系は、第１物体と
してのレチクルＲ側より順に、正の屈折力を持つ第１レ
ンズ群G1と、負の屈折力を持つ第２レンズ群G2と、正の
屈折力を持つ第３レンズ群G3と、負の屈折力を持つ第４
レンズ群G4と、正の屈折力を持つ第５レンズ群G5と、正
の屈折力を第６レンズ群G6とを有し、物体側（レチクル
Ｒ側）及び像側（ウェハＷ側）においてほぼテレセント
リックとなっており、縮小倍率を有するものである。
【００４４】図２〜図７に示す各実施例の投影光学系
は、それぞれ物像間距離（物体面から像面までの距離、
またはレチクルＲからウェハＷまでの距離）Ｌが1200、
像側の開口数ＮＡが0.55、投影倍率Ｂが１／５、ウェハ
Ｗ上での露光領域の直径が31.2である。第１実施例の具
体的なレンズ構成を説明すると、図２に示す如く、ま
ず、第１レンズ群G1は、物体側から順に、像側に凸面を
向けた形状の正レンズ（正メニスカスレンズ）Ｌ11と、
物体側に凸面を向けたメニスカス形状の負レンズＬ
12と、両凸形状の２枚の正レンズ（Ｌ13、Ｌ14）とを有
している。
【００４５】そして、第２レンズ群G2は、最も物体側に
配置されてその像側に凹面を向けた負メニスカスレンズ
（前方レンズ）Ｌ2Fと、最も像側に配置されて物体側に
凹面を向けた負メニスカスレンズ（後方レンズ）Ｌ
2Rと、第２レンズ群G2内の最も物体側に位置する負メニ
スカスレンズＬ2Fと第２レンズ群内の最も像側に位置す
る負メニスカスレンズＬ2Rとの間に配置されて負の屈折
力を持つ中間レンズ群G2Mとから構成されている。
【００４６】その中間レンズ群G2M は、物体側から順
に、両凸形状の正レンズ（第１レンズ）ＬM1と、像側に
より強い曲率の面を向けた負レンズ（第２レンズ）ＬM2
と、両凹形状の負レンズ（第３レンズ）ＬM3、物体側に
より強い曲率の面を向けた負レンズ（第４レンズ）
ＬM4、像側により強い曲率の面を向けた正レンズ（第５
レンズ）ＬM5から構成されている。
【００４７】また、第３レンズ群G3は、像側により強い
曲率の面を向けた正レンズ（正メニスカスレンズ）Ｌ31
と、両凸形状の正レンズＬ32と、物体側に凸面を向けた
正レンズ（両凸形状の正レンズ）Ｌ33と、物体側により
強い曲率の面を向けた正レンズＬ34とから構成されてお
り、第４レンズ群G4は、像側に凹面を向けた負レンズ
（負メニスカスレンズ）Ｌ41と、像側に凹面を向けた負
メニスカスレンズＬ42と、両凹形状の負レンズＬ43と、
物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ44とから構
成されている。
【００４８】ここで、第４レンズ群G4中の負レンズＬ41
の像側の凹面と、負メニスカスレンズＬ44の物体側の凹
面との間の光路中には、開口絞りＡＳが配置される。第
５レンズ群G5は、像側に凸面を向けた正メニスカスレン
ズＬ51と、像側により強い曲率の面を向けた正レンズ
（両凸形状の正レンズ）Ｌ52と、両凸形状の正レンズＬ
53と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ
54と、物体側により強い曲率の面を向けた正レンズＬ55
と、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ56と、
物体側により強い曲率の面を向けた正レンズ（正メニス
カスレンズ）Ｌ57と、像側に凹面を向けた負レンズ（負
メニスカスレンズ）Ｌ58とから構成され、第６レンズ群
G6は、物体側に凸面を向けた厚肉の正レンズＬ61のみか
ら構成される。
【００４９】ここで、第１実施例の第１レンズ群G1にお
いては、物体側に凸面を向けたメニスカス形状の負レン
ズＬ12の像側のレンズ面と、両凸形状の正レンズＬ13の
物体側のレンズ面とが同程度の曲率を有しかつ比較的近
接しているため、これらの２つのレンズ面が高次のディ
ストーションを補正している。本実施例では、第２レン
ズ群G2の最も物体側に配置される負の屈折力を持つ前方
レンズＬ2Fが像側に凹面を向けたメニスカス形状で構成
されているため、コマ収差の発生を軽減することがで
き、中間レンズ群G2M の正の屈折力を持つ第１レンズＬ
M1が像側に凸面を向けた形状のみならず物体側にも凸面
を向けた両凸形状で構成されているため、瞳の球面収差
の発生を抑えることができる。また、中間レンズ群G2M
の正の屈折力を持つ第５レンズＬM5が、その像側に配置
される負の屈折力を持つ後方レンズＬ2Rの凹面と対向す
る凸面を有するため、非点収差を補正することができ
る。
【００５０】また、第４レンズ群G4では、負レンズ（両
凹形状の負レンズ）Ｌ43の物体側に凹面を像側に向けた
負レンズＬ41を配置し、負レンズ（両凹形状の負レン
ズ）Ｌ 43の像側に凹面を物体側に向けた負メニスカスレ
ンズＬ44を配置する構成であるため、コマ収差の発生を
抑えつつペッツバール和を補正することができる。本実
施例において、第４レンズ群G4中の負レンズＬ41の像側
の凹面と負メニスカスレンズＬ44の物体側の凹面との間
に開口絞りＡＳを配置することによって、第３レンズ群
G3から第６レンズ群G6までのレンズ群を開口絞りＡＳを
中心にして、多少縮小倍率を掛けつつ対称性をあまり崩
さずに構成できるため、非対称収差、特にコマ収差やデ
ィストーションの発生を抑制することができる。
【００５１】また、第５レンズ群G5中の正レンズＬ
53が、負メニスカスレンズＬ54に対向する凸面を有し、
かつ負メニスカスレンズＬ54と反対側のレンズ面も凸面
である両凸形状であるため、高ＮＡ化に伴う高次の球面
収差の発生を抑えることがてきる。図３に示す第２実施
例の投影光学系の具体的なレンズ構成は、先に述べた図
２に示す第１実施例と類似したレンズ構成を有するが、
第４レンズ群G4は、像側に凹面を向けた負レンズ（平凹
形状の負レンズ）Ｌ41と、像側に凹面を向けた負メニス
カスレンズＬ42と、両凹形状の負レンズＬ43と、物体側
に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ44とから構成され
ており、第６レンズ群G6は、物体側に凸面を向けた正レ
ンズ（正メニスカスレンズ）Ｌ61と、物体側に凸面を向
けた正レンズ（正メニスカスレンズ）Ｌ62とから構成さ
れている点で異なる。
【００５２】この第２実施例においても、上述の第１実
施例と同様に、物体側に凸面を向けたメニスカス形状の
負レンズＬ12の像側のレンズ面と、両凸形状の正レンズ
Ｌ13の物体側のレンズ面とが高次のディストーションを
補正している。また、第６レンズ群G6から発生するディ
ストーションを抑えるためには、第６レンズ群G6の構成
枚数は少ない方が良いが、厚肉レンズの製造が困難な場
合には、本実施例のように第６レンズ群G6を２枚のレン
ズで構成しても良い。なお、第２実施例における他のレ
ンズ群（第２レンズ群G1乃至第５レンズ群G5）に関して
は、第１実施例と同様の機能を達成している。
【００５３】図４に示す第３実施例の投影光学系の具体
的なレンズ構成は、先に述べた図２に示す第１実施例と
類似したレンズ構成を有するが、第１レンズ群G1は、物
体側から順に、像側に凸面を向けた形状の正レンズ（両
凸形状の正レンズ）Ｌ11と、像側に凸面を向けた形状の
正レンズ（両凸形状の正レンズ）Ｌ12と、物体側に凹面
を向けた負メニスカスレンズＬ13と、両凸形状の正レン
ズＬ14とから構成され、第３レンズ群G3は、像側により
強い曲率の面を向けた正レンズ（正メニスカスレンズ）
Ｌ31と、両凸形状の正レンズＬ32と、物体側により強い
曲率の面を向けた正レンズ（両凸形状の正レンズ）Ｌ33
と、物体側に凸面を向けた正レンズ（正メニスカスレン
ズ）Ｌ34とから構成されている点で異なる。
【００５４】第３実施例においては、像側に凸面を向け
た形状の正レンズＬ12の像側のレンズ面と、物体側に凹
面を向けた負メニスカスレンズＬ13の物体側のレンズ面
とが高次のディストーションを補正している。なお、第
３実施例における他のレンズ群（第２レンズ群G2、第４
レンズ群G4乃至第６レンズ群G6）に関しては、第１実施
例と同様の機能を達成している。
【００５５】図５に示す第４実施例の投影光学系の具体
的なレンズ構成は、上述の図４に示す第３実施例と類似
したレンズ構成を有するが、第３レンズ群G3は、像側に
より強い曲率の面を向けた正レンズ（正メニスカスレン
ズ）Ｌ31と、両凸形状の正レンズＬ32と、物体側に凸面
を向けた正レンズ（両凸形状の正レンズ）Ｌ33と、物体
側により強い曲率の面を向けた正レンズ（両凸形状の正
レンズ）Ｌ34とから構成されており、第４レンズ群G
4は、像側に凹面を向けた負レンズ（両凹形状の負レン
ズ）Ｌ41と、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ
42と、両凹形状の負レンズＬ43と、物体側に凹面を向け
た負メニスカスレンズＬ44とから構成されている点で異
なる。また、第６レンズ群G6は、物体側に凸面を向けた
正レンズ（正メニスカスレンズ）Ｌ61と、物体側に凸面
を向けた正レンズ（正メニスカスレンズ）Ｌ62とから構
成されている点で第３実施例とは異なる。
【００５６】第４実施例における第１レンズ群G1は、先
に述べた第３実施例と同様の機能を達成しており、第２
レンズ群G2乃至第５レンズ群G5は、第１実施例と同様の
機能を達成しており、第６レンズ群G6は、第２実施例と
同様の機能を達成している。図６に示す第５実施例の投
影光学系の具体的なレンズ構成は、先に述べた図２に示
す第１実施例と類似したレンズ構成を有するが、第１レ
ンズ群G1は、物体側から順に、像側に凸面を向けた形状
の正レンズ（両凸形状の正レンズ）Ｌ11と、像側に凹面
を向けた形状の負レンズ（両凹形状の負レンズ）Ｌ
12と、両凸形状の２枚の正レンズ（Ｌ13、Ｌ14）とから
構成されている点で異なる。第３レンズ群G3は、像側に
より強い曲率の面を向けた正レンズ（正メニスカスレン
ズ）Ｌ31と、両凸形状の正レンズＬ32と、物体側に凸面
を向けた正レンズ（正メニスカスレンズ）Ｌ33と、物体
側により強い曲率の面を向けた正レンズ（両凸形状の正
レンズ）Ｌ34とから構成されている点で異なる。第４レ
ンズ群G4は、像側に凹面を向けた負レンズ（両凹形状の
負レンズ）Ｌ41と、像側に凹面を向けた負メニスカスレ
ンズＬ42と、両凹形状の負レンズＬ43と、物体側に凹面
を向けた負メニスカスレンズＬ44とから構成されている
点で第１実施例のレンズ構成とは異なる。そして、第５
レンズ群G5は、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズ
Ｌ51と、像側により強い曲率の面を向けた正レンズ（正
メニスカスレンズ）Ｌ52と、両凸形状の正レンズＬ
53と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ
54と、物体側により強い曲率の面を向けた正レンズ（正
メニスカスレンズ）Ｌ55と、物体側に凸面を向けた正メ
ニスカスレンズＬ56と、物体側により強い曲率の面を向
けた正レンズ（正メニスカスレンズ）Ｌ57と、像側に凹
面を向けた負レンズ（負メニスカスレンズ）Ｌ58とから
構成されている点で異なる。
【００５７】第５実施例においては、正レンズＬ11の像
側の凸面及び負レンズＬ12の物体側の凹面の組と、負レ
ンズＬ12の像側の凹面及び正レンズＬ13の物体側の凸面
の組とが高次のディストーションを補正している。な
お、第５実施例における他のレンズ群（第２乃至第５レ
ンズ群G2〜G5）に関しては、第１実施例と同様の機能を
達成している。
【００５８】また、図７に示す第６実施例は、上述の第
５実施例と同様のレンズ構成であり、ほぼ同様の機能を
達成している。さて、以下の表１乃至表１２において、
それぞれ本発明における各実施例の諸元の値並びに条件
対応数値を掲げる。
【００５９】但し、左端の数字は物体側（レチクル側）
からの順序を表し、ｒはレンズ面の曲率半径、ｄはレン
ズ面間隔、ｎは露光波長λが248.4nm における合成石英
ＳｉＯ2 の屈折率、ｄ0 は第１物体（レチクル）から第
１レンズ群G1の最も物体側（レチクル側）のレンズ面
（第１レンズ面）までの距離、Ｂｆは第６レンズ群G6の
最も像側（ウェハ側）のレンズ面から像面（ウェハ面）
までの距離、Ｂは投影光学系の投影倍率、ＮＡは投影光
学系の像側での開口数、Ｌは物体面（レチクル面）から
像面（ウェハ面）までの物像間距離、Ｉは第１物体（レ
チクル）から投影光学系全体の第１物体側焦点までの軸
上距離（但し、投影光学系全体の第１物体側焦点とは、
投影光学系の光軸に関する近軸領域での平行光を投影光
学系の第２物体側から入射させ、その近軸領域の光が投
影光学系を射出する時に、その射出光が光軸と交わる点
を意味する）、ｆ1 は第１レンズ群G1の焦点距離、ｆ2
は第２レンズ群G2の焦点距離、ｆ3 は第３レンズ群G3の
焦点距離、ｆ4 は第４レンズ群G4の焦点距離、ｆ5 は第
５レンズ群G5の焦点距離、ｆ6 は 第６レンズ群G6の焦
点距離、ｆn は第２レンズから第４レンズまでの合成焦
点距離、ｆ2Fは第２レンズ群中の最も第１物体側に配置
されて第２物体側に凹面を向けた負の屈折力を持つ前方
レンズの焦点距離、ｆ2Rは第２レンズ群中の最も第２物
体側に配置されて第１物体側に凹面を向けた負の屈折力
を持つ後方レンズの焦点距離、ｆ21は第２レンズ群内の
中間レンズ群における正の屈折力の第１レンズの焦点距
離、ｆ22は第２レンズ群中の負の屈折力を持つ第２レン
ズの焦点距離、ｆ23は第２レンズ群中の負の屈折力を持
つ第３レンズの焦点距離、ｆ24は第２レンズ群中の負の
屈折力を持つ第４レンズの焦点距離、φ21は第２レンズ
群内の中間レンズ群G2M における正の屈折力を持つ第１
レンズの第２物体側のレンズ面の屈折力、Ｄは第２レン
ズ群内の中間レンズ群における第４レンズの第２物体側
のレンズ面から第２レンズ群における後方レンズの第１
物体側のレンズ面までの軸上距離、ｒ5nは第５レンズ群
中の負メニスカスレンズにおける凹面の曲率半径、ｒ5p
は第５レンズ群中の負メニスカスレンズの凹面に隣接し
て配置された正レンズにおける負メニスカスレンズの凹
面と対向する凸面の曲率半径、ｒ4Fは第４レンズ群中の
最も第２物体側に配置された後方レンズにおける第１物
体側の曲率半径、ｒ4Rは第４レンズ群中の最も第２物体
側に配置された後方レンズにおける第２物体側の曲率半
径、ｒ5Fは第５レンズ群中の最も第２物体側に設けられ
た負レンズにおける第１物体側の曲率半径、ｒ5Rは第５
レンズ群の最も第２物体側に配置される負レンズの第２
物体側の曲率半径、ｒ6Fは第６レンズ群の最も第１物体
側に配置されるレンズの第１物体側の曲率半径、ｄ56は
第５レンズ群と第６レンズ群との間のレンズ群間隔、ｄ
6 は第６レンズ群の最も第１物体側のレンズ面から第２
物体までの軸上距離、φは第６レンズ群を構成するレン
ズのレンズ面の屈折力を表している。
【００６０】
【表１】 〔第１実施例〕 ｄ0 ＝ 105.33208 Ｂ＝１／５ ＮＡ＝ 0.55 Ｂｆ＝ 28.62263 Ｌ＝ 1200
【００６１】
【表２】 〔第１実施例の条件対応値〕 （１）ｆ1 ／ｆ3 ＝ 1.47 （２）ｆ2 ／ｆ4 ＝ 1.31 （３）ｆ5 ／Ｌ＝ 0.0988 （４）ｆ6 ／Ｌ＝ 0.154 （５）ｆn ／ｆ2 ＝ 0.589 （６）Ｉ／Ｌ＝ 2.33 （７）ｆ24／ｆ23＝ 0.990 （８）ｆ22／ｆ23＝ 1.31 （９）Ｄ／Ｌ＝ 0.0852 （１０）ｆ4 ／Ｌ＝ -0.0638 （１１）ｆ2 ／Ｌ＝ -0.0834 （１２）（ｒ5p−ｒ5n）／（ｒ5p＋ｒ5n）＝ 0.207 （１３）（ｒ4F−ｒ4R）／（ｒ4F＋ｒ4R）＝ -0.660 （１４）（ｒ5R−ｒ6F）／（ｒ5R＋ｒ6F）＝ -0.0613 （１５）ｄ56／Ｌ＝ 0.00587 （１６）ｄ6 ／ｒ6F＝ 1.10 （１７）（ｒ5F−ｒ5R）／（ｒ5F＋ｒ5R）＝ 0.733 （１８）１／（φ21・Ｌ）＝ 0.895 （１９）ｆ21／Ｌ＝ 0.260 （２０）ｆ2F／ｆ2R＝ 0.604
【００６２】
【表３】 〔第２実施例〕 ｄ0 ＝ 103.54346 Ｂ＝１／５ ＮＡ＝ 0.55 Ｂｆ＝ 29.06029 Ｌ＝ 1200
【００６３】
【表４】 〔第２実施例の条件対応値〕 （１）ｆ1 ／ｆ3 ＝ 1.50 （２）ｆ2 ／ｆ4 ＝ 1.39 （３）ｆ5 ／Ｌ＝ 0.0971 （４）ｆ6 ／Ｌ＝ 0.158 （５）ｆn ／ｆ2 ＝ 0.568 （６）Ｉ／Ｌ＝ 2.21 （７）ｆ24／ｆ23＝ 1.01 （８）ｆ22／ｆ23＝ 1.21 （９）Ｄ／Ｌ＝ 0.0858 （１０）ｆ4 ／Ｌ＝ -0.0621 （１１）ｆ2 ／Ｌ＝ -0.0861 （１２）（ｒ5p−ｒ5n）／（ｒ5p＋ｒ5n）＝ 0.202 （１３）（ｒ4F−ｒ4R）／（ｒ4F＋ｒ4R）＝ -0.731 （１４）（ｒ5R−ｒ6F）／（ｒ5R＋ｒ6F）＝ -0.0637 （１５）ｄ56／Ｌ＝ 0.00587 （１６）ｄ6 ／ｒ6F＝ 1.08 （１７）（ｒ5F−ｒ5R）／（ｒ5F＋ｒ5R）＝ 0.739 （１８）１／（φ21・Ｌ）＝ 0.719 （１９）ｆ21／Ｌ＝ 0.239 （２０）ｆ2F／ｆ2R＝ 0.533
【００６４】
【表５】 〔第３実施例〕 ｄ0 ＝ 104.69561 Ｂ＝１／５ ＮＡ＝ 0.55 Ｂｆ＝ 29.13809 Ｌ＝ 1200
【００６５】
【表６】 〔第３実施例の条件対応値〕 （１）ｆ1 ／ｆ3 ＝ 1.46 （２）ｆ2 ／ｆ4 ＝ 1.27 （３）ｆ5 ／Ｌ＝ 0.0977 （４）ｆ6 ／Ｌ＝ 0.156 （５）ｆn ／ｆ2 ＝ 0.591 （６）Ｉ／Ｌ＝ 2.93 （７）ｆ24／ｆ23＝ 0.816 （８）ｆ22／ｆ23＝ 1.04 （９）Ｄ／Ｌ＝ 0.0848 （１０）ｆ4 ／Ｌ＝ -0.0645 （１１）ｆ2 ／Ｌ＝ -0.0816 （１２）（ｒ5p−ｒ5n）／（ｒ5p＋ｒ5n）＝ 0.184 （１３）（ｒ4F−ｒ4R）／（ｒ4F＋ｒ4R）＝ -0.698 （１４）（ｒ5R−ｒ6F）／（ｒ5R＋ｒ6F）＝ -0.0636 （１５）ｄ56／Ｌ＝ 0.00587 （１６）ｄ6 ／ｒ6F＝ 1.10 （１７）（ｒ5F−ｒ5R）／（ｒ5F＋ｒ5R）＝ 0.725 （１８）１／（φ21・Ｌ）＝ 0.590 （１９）ｆ21／Ｌ＝ 0.234 （２０）ｆ2F／ｆ2R＝ 0.611
【００６６】
【表７】 〔第４実施例〕 ｄ0 ＝ 104.71662 Ｂ＝１／５ ＮＡ＝ 0.55 Ｂｆ＝ 28.76320 Ｌ＝ 1200
【００６７】
【表８】 〔第４実施例の条件対応値〕 （１）ｆ1 ／ｆ3 ＝ 1.55 （２）ｆ2 ／ｆ4 ＝ 1.39 （３）ｆ5 ／Ｌ＝ 0.0975 （４）ｆ6 ／Ｌ＝ 0.158 （５）ｆn ／ｆ2 ＝ 0.576 （６）Ｉ／Ｌ＝ 3.05 （７）ｆ24／ｆ23＝ 0.787 （８）ｆ22／ｆ23＝ 0.974 （９）Ｄ／Ｌ＝ 0.0851 （１０）ｆ4 ／Ｌ＝ -0.0606 （１１）ｆ2 ／Ｌ＝ -0.0843 （１２）（ｒ5p−ｒ5n）／（ｒ5p＋ｒ5n）＝ 0.169 （１３）（ｒ4F−ｒ4R）／（ｒ4F＋ｒ4R）＝ -0.738 （１４）（ｒ5R−ｒ6F）／（ｒ5R＋ｒ6F）＝ -0.0695 （１５）ｄ56／Ｌ＝ 0.00587 （１６）ｄ6 ／ｒ6F＝ 1.07 （１７）（ｒ5F−ｒ5R）／（ｒ5F＋ｒ5R）＝ 0.725 （１８）１／（φ21・Ｌ）＝ 0.672 （１９）ｆ21／Ｌ＝ 0.244 （２０）ｆ2F／ｆ2R＝ 0.642
【００６８】
【表９】 〔第５実施例〕 ｄ0 ＝ 105.99385 Ｂ＝１／５ ＮＡ＝ 0.55 Ｂｆ＝ 28.96856 Ｌ＝ 1200
【００６９】
【表１０】 〔第５実施例の条件対応値〕 （１）ｆ1 ／ｆ3 ＝ 1.58 （２）ｆ2 ／ｆ4 ＝ 1.63 （３）ｆ5 ／Ｌ＝ 0.0923 （４）ｆ6 ／Ｌ＝ 0.161 （５）ｆn ／ｆ2 ＝ 0.554 （６）Ｉ／Ｌ＝ 2.27 （７）ｆ24／ｆ23＝ 1.04 （８）ｆ22／ｆ23＝ 1.17 （９）Ｄ／Ｌ＝ 0.0853 （１０）ｆ4 ／Ｌ＝ -0.0564 （１１）ｆ2 ／Ｌ＝ -0.0919 （１２）（ｒ5p−ｒ5n）／（ｒ5p＋ｒ5n）＝ 0.219 （１３）（ｒ4F−ｒ4R）／（ｒ4F＋ｒ4R）＝ -0.912 （１４）（ｒ5R−ｒ6F）／（ｒ5R＋ｒ6F）＝ -0.0715 （１５）ｄ56／Ｌ＝ 0.00587 （１６）ｄ6 ／ｒ6F＝ 1.07 （１７）（ｒ5F−ｒ5R）／（ｒ5F＋ｒ5R）＝ 0.757 （１８）１／（φ21・Ｌ）＝ 0.650 （１９）ｆ21／Ｌ＝ 0.242 （２０）ｆ2F／ｆ2R＝ 0.541
【００７０】
【表１１】 〔第６実施例〕 ｄ0 ＝ 105.91377 Ｂ＝１／５ ＮＡ＝ 0.55 Ｂｆ＝ 28.96856 Ｌ＝ 1200
【００７１】
【表１２】 〔第６実施例の条件対応値〕 （１）ｆ1 ／ｆ3 ＝ 1.58 （２）ｆ2 ／ｆ4 ＝ 1.63 （３）ｆ5 ／Ｌ＝ 0.0924 （４）ｆ6 ／Ｌ＝ 0.161 （５）ｆn ／ｆ2 ＝ 0.554 （６）Ｉ／Ｌ＝ 2.25 （７）ｆ24／ｆ23＝ 1.04 （８）ｆ22／ｆ23＝ 1.17 （９）Ｄ／Ｌ＝ 0.0853 （１０）ｆ4 ／Ｌ＝ -0.0564 （１１）ｆ2 ／Ｌ＝ -0.0919 （１２）（ｒ5p−ｒ5n）／（ｒ5p＋ｒ5n）＝ 0.218 （１３）（ｒ4F−ｒ4R）／（ｒ4F＋ｒ4R）＝ -0.911 （１４）（ｒ5R−ｒ6F）／（ｒ5R＋ｒ6F）＝ -0.0715 （１５）ｄ56／Ｌ＝ 0.00587 （１６）ｄ6 ／ｒ6F＝ 1.07 （１７）（ｒ5F−ｒ5R）／（ｒ5F＋ｒ5R）＝ 0.757 （１８）１／（φ21・Ｌ）＝ 0.650 （１９）ｆ21／Ｌ＝ 0.242 （２０）ｆ2F／ｆ2R＝ 0.541 なお、上述の第１実施例において、正レンズＬ61の物体
側のレンズ面では１／｜φＬ｜＝ 0.149であり、条件
（２１）を満足している。第２実施例において、正レン
ズＬ61の物体側のレンズ面では１／｜φＬ｜＝ 0.152で
あり、正レンズＬ 62の物体側のレンズ面では１／｜φＬ
｜＝ 0.709であり、条件（２１）を満足している。第３
実施例において、正レンズＬ61の物体側のレンズ面では
１／｜φＬ｜＝ 0.149であり、条件（２１）を満足して
いる。第４実施例において、正レンズＬ61の物体側のレ
ンズ面では１／｜φＬ｜＝ 0.153であり、正レンズＬ62
の物体側のレンズ面では１／｜φＬ｜＝ 1.36 であり、
条件（２１）を満足している。第５実施例では、正レン
ズＬ61の物体側のレンズ面では１／｜φＬ｜＝ 0.153で
あり、条件（２１）を満足している。また、第６実施例
において、正レンズＬ 61の物体側のレンズ面では、１／
｜φＬ｜＝ 0.154であり、条件（２１）を満足してい
る。このように、各実施例の第６レンズ群G6は、条件
（２１）を満足するレンズ面を持つ３枚以下のレンズか
ら構成されている。
【００７２】以上の各実施例の諸元の値より、各実施例
のものは、比較的広い露光領域と大きな開口数とを確保
しながら、物体側（レチクル側）及び像側（ウェハ側）
においてテレセントリックが達成されている事が理解で
きる。また、図８、図９、図１０、図１１、図１２及び
図１３はそれぞれ本発明による第１乃至第６実施例にお
ける諸収差図を示している。
【００７３】ここで、各収差図において、ＮＡは投影光
学系の開口数、Ｙは像高を示しており、また、各非点収
差図中において、点線は子午的像面（メリジオナル像
面）、実線は球欠的像面（サジタル像面）を示してい
る。各収差図の比較より、各実施例とも諸収差がバラン
ス良く補正され、特にディストーションが像全体にわた
り殆ど零に近い状態まで極めて良好に補正されながら、
大きな開口数を持つ高解像力な投影光学系が達成されて
いることが理解される。
【００７４】なお、以上の各実施例では、248.4nm の光
を供給するエキシマレーザを光源として用いた例を示し
たがこれに限ることなく、193nm の光を供給するエキシ
マレーザ等の極紫外光源や、ｇ線（436nm)，ｉ線（365n
m)の光を供給する水銀アークランプ、さらにはそれ以外
の紫外領域の光を供給する光源を用いたものにも応用し
得ることは言うまでもない。
【００７５】また、各実施例では、投影光学系を構成す
るレンズは、非貼合せであり全て単一の光学材料、すな
わち石英（ＳｉＯ2 ）から構成されている。ここで、上
述の各実施例では単一の光学材料で構成されているた
め、低コスト化を達成している。しかしながら、露光光
がある半値幅を持つ場合には、石英（ＳｉＯ2 ）と蛍石
（ＣａＦ2 ）との組み合わせ、あるいはその他の光学材
料の組み合わせにより、色収差を補正することも可能で
ある。さらに、露光光源が広帯域な場合には、複数種の
光学材料を組み合わせて色収差を補正することも可能で
ある。
【００７６】
【発明の効果】以上のように、本発明による投影光学系
によれば、比較的広い露光領域を確保して、両側テレセ
ントリックな光学系としながら、諸収差がバランス良く
補正され、しかも大きな開口数を持つ高解像力な投影光
学系が達成できる。特に、本発明の投影光学系では、デ
ィストーションが極めて良好に補正されている。従っ
て、本発明では、両側テレセントリック性の達成のみな
らず、ディストーションも極めて良好に補正されている
ため、像歪を非常に低減できる効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による投影光学系を露光装置に適用した
際の概略的な構成を示す図である。
【図２】本発明による第１実施例のレンズ構成図であ
る。
【図３】本発明による第２実施例のレンズ構成図であ
る。
【図４】本発明による第３実施例のレンズ構成図であ
る。
【図５】本発明による第４実施例のレンズ構成図であ
る。
【図６】本発明による第５実施例のレンズ構成図であ
る。
【図７】本発明による第６実施例のレンズ構成図であ
る。
【図８】本発明による第１実施例の諸収差図である。
【図９】本発明による第２実施例の諸収差図である。
【図１０】本発明による第３実施例の諸収差図である。
【図１１】本発明による第４実施例の諸収差図である。
【図１２】本発明による第５実施例の諸収差図である。
【図１３】本発明による第６実施例の諸収差図である。
【符号の説明】
G1 … 第１レンズ群、 G2 … 第２レンズ群、 G3 … 第３レンズ群、 G4 … 第４レンズ群、 G5 … 第５レンズ群、 G6 … 第６レンズ群、 Ｌ2F … 第２レンズ群中の前方レンズ、 Ｌ2R … 第２レンズ群中の後方レンズ、 Ｇ2M … 第２レンズ群中の中間レンズ群、

Claims (27)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】第１物体の像を第２物体上に投影する投影
    光学系において、前記投影光学系は、前記第１物体側か
    ら順に、正の屈折力を持つ第１レンズ群と、負の屈折力
    を持つ第２レンズ群と、正の屈折力を持つ第３レンズ群
    と、負の屈折力を持つ第４レンズ群と、正の屈折力を持
    つ第５レンズ群と、正の屈折力を第６レンズ群とを有
    し、 前記第２レンズ群は、最も第１物体側に配置されて前記
    第２物体側に凹面を向けた負の屈折力を持つ前方レンズ
    と、最も第２物体側に配置されて前記第１物体側に凹面
    を向けた負の屈折力を持つ後方レンズと、前記第２レン
    ズ群中の前方レンズと前記第２レンズ群中の後方レンズ
    との間に配置される中間レンズ群を含み、 前記中間レンズ群は、前記第１物体側から順に、正の屈
    折力を持つ第１レンズと、負の屈折力を持つ第２レンズ
    と、負の屈折力を持つ第３レンズ、負の屈折力を持つ第
    ４レンズとを少なくとも有し、 前記第１レンズ群の焦点距離をｆ1 とし、前記第２レン
    ズ群の焦点距離をｆ2、前記第３レンズ群の焦点距離を
    ｆ3 、前記第４レンズ群の焦点距離をｆ4 、前記第５レ
    ンズ群の焦点距離をｆ5 、前記第６レンズ群の焦点距離
    をｆ6 、前記第２レンズ群中の前記第２レンズから前記
    第４レンズまでの合成焦点距離をｆn 、前記第１物体か
    ら前記第２物体までの距離をＬとするとき、以下の条件
    を満足することを特徴とする投影光学系。 （１） ０．１＜ｆ1 ／ｆ3 ＜１７ （２） ０．１＜ｆ2 ／ｆ4 ＜１４ （３） ０．０１＜ｆ5 ／Ｌ＜０．９ （４） ０．０２＜ｆ6 ／Ｌ＜１．６ （５） ０．０１＜ｆn ／ｆ2 ＜２．０
  2. 【請求項２】前記第１物体から前記投影光学系全体の第
    １物体側焦点までの軸上距離をＩとし、前記第１物体か
    ら前記第２物体までの距離をＬとするとき、以下の条件
    を満足することを特徴とする請求項１記載の投影光学
    系。 （６） １．０＜Ｉ／Ｌ
  3. 【請求項３】前記第２レンズ群中の負の屈折力を持つ第
    ３レンズの焦点距離をｆ23とし、前記第２レンズ群中の
    負の屈折力を持つ第４レンズの焦点距離をｆ 24とすると
    き、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１ま
    たは請求項２記載の投影光学系。 （７） ０．０７＜ｆ24／ｆ23＜７
  4. 【請求項４】前記第２レンズ群中の負の屈折力を持つ第
    ２レンズの焦点距離をｆ22とし、前記第２レンズ群中の
    負の屈折力を持つ第３レンズの焦点距離をｆ 23とすると
    き、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１乃
    至請求項３の何れか一項記載の投影光学系。 （８） ０．１＜ｆ22／ｆ23＜１０
  5. 【請求項５】前記第２レンズ群中の中間レンズ群におけ
    る負の屈折力の第４レンズの第２物体側のレンズ面から
    第２レンズ群における後方レンズの第１物体側のレンズ
    面までの軸上距離をＤとし、前記第１物体から前記第２
    物体までの距離をＬとするとき、以下の条件を満足する
    ことを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れか一項記
    載の投影光学系。 （９） ０．０５＜Ｄ／Ｌ＜０．４
  6. 【請求項６】前記第４レンズ群の焦点距離をｆ4 とし、
    前記第１物体から前記第２物体までの距離をＬとすると
    き、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１乃
    至請求項５の何れか一項記載の投影光学系。 （１０） −０．０９８＜ｆ4 ／Ｌ＜−０．００５
  7. 【請求項７】前記第２レンズ群の焦点距離をｆ2 とし、
    前記第１物体から前記第２物体までの距離をＬとすると
    き、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１乃
    至６の何れか一項記載の投影光学系。 （１１） −０．８＜ｆ2 ／Ｌ＜−０．０５０
  8. 【請求項８】前記第５レンズ群は、負メニスカスレンズ
    と、該負メニスカスレンズの凹面と隣接して配置されか
    つ該負メニスカスレンズの凹面と対向する凸面を持つ正
    レンズとを有し、前記第５レンズ群中の前記負メニスカ
    スレンズにおける凹面の曲率半径ｒ5nとし、前記第５レ
    ンズ群中の前記負メニスカスレンズの凹面に隣接して配
    置された正レンズにおける負メニスカスレンズの凹面と
    対向する凸面の曲率半径ｒ5pとするとき、以下の条件を
    満足することを特徴とする請求項１乃至請求項７の何れ
    か一項記載の投影光学系。 （１２） ０＜（ｒ5p−ｒ5n）／（ｒ5p＋ｒ5n）＜１
  9. 【請求項９】前記第５レンズ群中の少なくとも１枚の正
    レンズと、前記第５レンズ群中の少なくとも１枚の正レ
    ンズとの間には、前記負メニスカスレンズと前記負メニ
    スカスレンズの凹面に隣接する前記正レンズとが配置さ
    れることを特徴とする請求項８記載の投影光学系。
  10. 【請求項１０】前記第４レンズ群は、最も第１物体側に
    配置されて第２物体側に凹面を向けた負の屈折力を持つ
    前方レンズと、最も第２物体側に配置されて第１物体側
    に凹面を向けた負の屈折力を持つ後方レンズと、前記第
    ４レンズ群中の前方レンズと前記第４レンズ群中の後方
    レンズとの間に配置された少なくとも１枚以上の負レン
    ズとを有し、前記第４レンズ群中の最も第２物体側に配
    置された後方レンズにおける第１物体側の曲率半径をｒ
    4Fとし、前記第４レンズ群中の最も第２物体側に配置さ
    れた後方レンズにおける第２物体側の曲率半径をｒ4Rと
    するとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求
    項１乃至請求項９の何れか一項記載の投影光学系。 （１３） −１．００≦（ｒ4F−ｒ4R）／（ｒ4F＋ｒ4R）＜０
  11. 【請求項１１】前記第５レンズ群は、最も第２物体側に
    配置されて第２物体側に凹面を向けた負レンズを有し、
    第６レンズ群は、最も第１物体側に配置されて第１物体
    側に凸面を向けたレンズを有し、 前記第５レンズ群の最も第２物体側に配置される負レン
    ズの第２物体側の曲率半径をｒ5Rとし、前記第６レンズ
    群の最も第１物体側に配置されるレンズの第１物体側の
    曲率半径をｒ6Fとするとき、以下の条件を満足すること
    を特徴とする請求項１乃至請求項１０の何れか一項記載
    の投影光学系。 （１４） −０．９０＜（ｒ5R−ｒ6F）／（ｒ5R＋ｒ6F）＜−０．００１
  12. 【請求項１２】前記第５レンズ群と前記第６レンズ群と
    の間のレンズ群間隔をｄ56とし、前記第１物体と前記第
    ２物体までの距離をＬとするとき、以下の条件を満足す
    ることを特徴とする請求項１乃至請求項１１の何れか一
    項記載の投影光学系。 （１５） ｄ56／Ｌ＜０．０１７
  13. 【請求項１３】前記第６レンズ群の最も第１物体側のレ
    ンズ面の曲率半径をｒ6Fとし、第６レンズ群の最も第１
    物体側のレンズ面から第２物体までの軸上距離をｄ6 と
    するとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求
    項１乃至請求項１２の何れか一項記載の投影光学系。 （１６） ０．５０＜ｄ6 ／ｒ6F＜１．５０
  14. 【請求項１４】前記第５レンズ群は、最も第２物体側に
    配置されて第２物体側に凹面を向けた負レンズを有し、
    前記第５レンズ群中の最も第２物体側に設けられた負レ
    ンズにおける第１物体側の曲率半径をｒ5F、前記第５レ
    ンズ群中の最も第２物体側に設けられた負レンズにおけ
    る第２物体側の曲率半径をｒ5Rとするとき、以下の条件
    を満足することを特徴とする請求項１乃至請求項１３の
    何れか一項記載の投影光学系。 （１７） ０．３０＜（ｒ5F−ｒ5R）／（ｒ5F＋ｒ5R）＜１．２８
  15. 【請求項１５】前記第２レンズ群中の中間レンズ群にお
    ける正の屈折力の第１レンズは、第２物体側に凸面を向
    けたレンズ形状を有し、前記第２レンズ群中の中間レン
    ズ群における正の屈折力を持つ第１レンズの第２物体側
    のレンズ面の屈折力をφ21とし、前記第１物体から前記
    第２物体までの距離をＬとするとき、以下の条件を満足
    することを特徴とする請求項１乃至請求項１４の何れか
    一項記載の投影光学系。 （１８） ０．５４＜１／（φ21・Ｌ）＜１０
  16. 【請求項１６】前記第２レンズ群中の中間レンズ群にお
    ける正の屈折力の第１レンズの焦点距離をｆ21とし、前
    記第１物体から前記第２物体までの距離をＬとすると
    き、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１乃
    至請求項１５の何れか一項記載の投影光学系。 （１９） ０．２３０＜ｆ21／Ｌ＜０．４０
  17. 【請求項１７】前記第２レンズ群中の最も第１物体側に
    配置されて前記第２物体側に凹面を向けた負の屈折力を
    持つ前方レンズの焦点距離をｆ2F、前記第２レンズ群中
    の最も第２物体側に配置されて前記第１物体側に凹面を
    向けた負の屈折力を持つ後方レンズの焦点距離をｆ2Rと
    するとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求
    項１乃至１６の何れか一項記載の投影光学系。 （２０） ０≦ｆ2F／ｆ2R＜１８
  18. 【請求項１８】前記第１レンズ群は、少なくとも２枚の
    正レンズを有し、前記第３レンズ群は、少なくとも３枚
    の正レンズを有し、前記第４レンズ群は、少なくとも３
    枚の負レンズを有し、前記第５レンズ群は、少なくとも
    ５枚の正レンズ及び少なくとも１枚の負レンズとを有
    し、前記第６レンズ群は、少なくとも１枚の正レンズを
    有することを特徴とする請求項１乃至請求項１７の何れ
    か一項記載の投影光学系。
  19. 【請求項１９】前記第２レンズ群中の中間レンズ群は、
    負の屈折力を持つことを特徴とする請求項１乃至１８の
    何れか一項記載の投影光学系。
  20. 【請求項２０】前記第６レンズ群は、以下の条件を満足
    するレンズ面を少なくとも一面有する３枚以下のレンズ
    からなることを特徴とする請求項１乃至請求項１９の何
    れか一項記載の投影光学系。 （２１） １／｜φＬ｜＜２０ 但し、φ：前記レンズ面の屈折力、 Ｌ：前記第１物体と前記第２物体までの物像間距離、 である。
  21. 【請求項２１】前記投影光学系のレンズ面の曲率半径を
    ｒとし、前記投影光学系のレンズ面間隔をｄとし、屈折
    率をｎとするとき、以下の諸元を満足することを特徴と
    する請求項１乃至２０の何れか一項記載の投影光学系。
  22. 【請求項２２】前記投影光学系のレンズ面の曲率半径を
    ｒとし、前記投影光学系のレンズ面間隔をｄとし、屈折
    率をｎとするとき、以下の諸元を満足することを特徴と
    する請求項１乃至２０の何れか一項記載の投影光学系。
  23. 【請求項２３】前記投影光学系のレンズ面の曲率半径を
    ｒとし、前記投影光学系のレンズ面間隔をｄとし、屈折
    率をｎとするとき、以下の諸元を満足することを特徴と
    する請求項１乃至２０の何れか一項記載の投影光学系。
  24. 【請求項２４】前記投影光学系のレンズ面の曲率半径を
    ｒとし、前記投影光学系のレンズ面間隔をｄとし、屈折
    率をｎとするとき、以下の諸元を満足することを特徴と
    する請求項１乃至２０の何れか一項記載の投影光学系。
  25. 【請求項２５】前記投影光学系のレンズ面の曲率半径を
    ｒとし、前記投影光学系のレンズ面間隔をｄとし、屈折
    率をｎとするとき、以下の諸元を満足することを特徴と
    する請求項１乃至２０の何れか一項記載の投影光学系。
  26. 【請求項２６】前記投影光学系のレンズ面の曲率半径を
    ｒとし、前記投影光学系のレンズ面間隔をｄとし、屈折
    率をｎとするとき、以下の諸元を満足することを特徴と
    する請求項１乃至２０の何れか一項記載の投影光学系。
  27. 【請求項２７】前記投影光学系の倍率は、１／５である
    ことを特徴とする請求項２１乃至２６の何れか一項記載
    の投影光学系。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100573913B1 (ko) * 1996-09-04 2006-10-24 가부시키가이샤 니콘 투영광학계및노광장치

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09311278A (ja) 1996-05-20 1997-12-02 Nikon Corp 反射屈折光学系
JP3395801B2 (ja) 1994-04-28 2003-04-14 株式会社ニコン 反射屈折投影光学系、走査型投影露光装置、及び走査投影露光方法
USRE38438E1 (en) 1994-08-23 2004-02-24 Nikon Corporation Catadioptric reduction projection optical system and exposure apparatus having the same
JPH08179204A (ja) 1994-11-10 1996-07-12 Nikon Corp 投影光学系及び投影露光装置
JP3454390B2 (ja) * 1995-01-06 2003-10-06 株式会社ニコン 投影光学系、投影露光装置及び投影露光方法
JP3750123B2 (ja) † 1996-04-25 2006-03-01 株式会社ニコン 投影光学系
JPH1048517A (ja) * 1996-08-07 1998-02-20 Nikon Corp 投影光学系
JPH1054932A (ja) * 1996-08-08 1998-02-24 Nikon Corp 投影光学装置及びそれを装着した投影露光装置
JP3757536B2 (ja) * 1996-10-01 2006-03-22 株式会社ニコン 投影光学系及びそれを備えた露光装置並びにデバイス製造方法
JPH116957A (ja) * 1997-04-25 1999-01-12 Nikon Corp 投影光学系および投影露光装置並びに投影露光方法
JP3925576B2 (ja) 1997-07-24 2007-06-06 株式会社ニコン 投影光学系、該光学系を備えた露光装置、及び該装置を用いたデバイスの製造方法
JPH1195095A (ja) 1997-09-22 1999-04-09 Nikon Corp 投影光学系
JPH11214293A (ja) 1998-01-22 1999-08-06 Nikon Corp 投影光学系及び該光学系を備えた露光装置並びにデバイス製造方法
US6700645B1 (en) 1998-01-22 2004-03-02 Nikon Corporation Projection optical system and exposure apparatus and method
DE19855108A1 (de) 1998-11-30 2000-05-31 Zeiss Carl Fa Mikrolithographisches Reduktionsobjektiv, Projektionsbelichtungsanlage und -Verfahren
US6710930B2 (en) 1999-12-01 2004-03-23 Nikon Corporation Illumination optical system and method of making exposure apparatus
US6590715B2 (en) * 1999-12-21 2003-07-08 Carl-Zeiss-Stiftung Optical projection system
JP2004524554A (ja) * 2000-12-22 2004-08-12 カール・ツアイス・エスエムテイ・アーゲー 投射対物レンズ
JP2002244034A (ja) 2001-02-21 2002-08-28 Nikon Corp 投影光学系および該投影光学系を備えた露光装置
JP2002323652A (ja) 2001-02-23 2002-11-08 Nikon Corp 投影光学系，該投影光学系を備えた投影露光装置および投影露光方法
DE10151309A1 (de) * 2001-10-17 2003-05-08 Carl Zeiss Semiconductor Mfg S Projektionsbelichtungsanlage der Mikrolithographie für Lambda <200 nm
DE10221386A1 (de) 2002-05-14 2003-11-27 Zeiss Carl Smt Ag Projektionsbelichtungssystem
US8208198B2 (en) 2004-01-14 2012-06-26 Carl Zeiss Smt Gmbh Catadioptric projection objective
US20080151364A1 (en) 2004-01-14 2008-06-26 Carl Zeiss Smt Ag Catadioptric projection objective
DE602005003665T2 (de) 2004-05-17 2008-11-20 Carl Zeiss Smt Ag Katadioptrisches projektionsobjektiv mit zwischenbildern
US8405915B2 (en) * 2009-02-26 2013-03-26 Nikon Corporation Zooming optical system, optical apparatus and zooming optical system manufacturing method
KR101709641B1 (ko) * 2009-12-21 2017-02-23 엘지이노텍 주식회사 촬상 렌즈
US9348112B2 (en) * 2012-09-05 2016-05-24 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Optical system
CN107664809B (zh) * 2016-07-29 2019-11-26 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种投影物镜
CN109856915B (zh) * 2017-11-30 2020-07-14 上海微电子装备（集团）股份有限公司 光刻投影物镜、边缘曝光系统和边缘曝光装置
CN113093480B (zh) * 2021-04-15 2024-02-13 之江实验室 一种并行曝光抑制超衍射极限激光直写物镜

Family Cites Families (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3737215A (en) * 1972-04-06 1973-06-05 Eastman Kodak Co Six element unit magnification lens
JPS5336326B2 (ja) * 1972-12-26 1978-10-02
JPS5416410B2 (ja) * 1974-03-07 1979-06-22
JPS5820402B2 (ja) * 1975-10-14 1983-04-22 オリンパス光学工業株式会社 チヨウコウカイゾウリヨクシユクシヨウレンズ
JPS581763B2 (ja) * 1978-06-19 1983-01-12 旭光学工業株式会社 回折限界の解像力を有する等倍複写用レンズ
JPS584112A (ja) † 1981-06-30 1983-01-11 Olympus Optical Co Ltd 画角の広い標準レンズ
US4666273A (en) * 1983-10-05 1987-05-19 Nippon Kogaku K. K. Automatic magnification correcting system in a projection optical apparatus
DE3443856A1 (de) * 1983-12-02 1985-06-13 Nippon Kogaku K.K., Tokio/Tokyo Optisches projektionsgeraet
GB2153543B (en) * 1983-12-28 1988-09-01 Canon Kk A projection exposure apparatus
US4811055A (en) * 1984-02-27 1989-03-07 Canon Kabushiki Kaisha Projection exposure apparatus
US4772107A (en) * 1986-11-05 1988-09-20 The Perkin-Elmer Corporation Wide angle lens with improved flat field characteristics
JPH0812329B2 (ja) † 1986-11-06 1996-02-07 株式会社シグマ 投影レンズ
US4770477A (en) * 1986-12-04 1988-09-13 The Perkin-Elmer Corporation Lens usable in the ultraviolet
US5105075A (en) * 1988-09-19 1992-04-14 Canon Kabushiki Kaisha Projection exposure apparatus
JPH03288112A (ja) * 1990-04-04 1991-12-18 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 色消しレンズ系
JPH046512A (ja) * 1990-04-24 1992-01-10 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 顕微鏡用対物レンズ
JP3041939B2 (ja) * 1990-10-22 2000-05-15 株式会社ニコン 投影レンズ系
JP3353902B2 (ja) * 1990-12-12 2002-12-09 オリンパス光学工業株式会社 投影レンズ系
JP2830492B2 (ja) * 1991-03-06 1998-12-02 株式会社ニコン 投影露光装置及び投影露光方法
US5506684A (en) * 1991-04-04 1996-04-09 Nikon Corporation Projection scanning exposure apparatus with synchronous mask/wafer alignment system
US5097291A (en) * 1991-04-22 1992-03-17 Nikon Corporation Energy amount control device
JPH04369209A (ja) * 1991-06-17 1992-12-22 Nikon Corp 露光用照明装置
JPH06501792A (ja) * 1991-08-23 1994-02-24 イーストマン・コダック・カンパニー マイクロリレーレンズとして使用するに適した高開口数の有限共役レンズ系及びそのレンズ系を用いたプリンタ
JPH05107469A (ja) * 1991-10-18 1993-04-30 Canon Inc レトロフオーカス型レンズ
JP3298131B2 (ja) † 1991-10-24 2002-07-02 株式会社ニコン 縮小投影レンズ
JPH05164962A (ja) * 1991-12-11 1993-06-29 Canon Inc レトロフォーカス型レンズ
US5247324A (en) * 1991-12-13 1993-09-21 Eastman Kodak Company Real image zoom viewfinder
JPH06302496A (ja) * 1993-04-13 1994-10-28 Nikon Corp 位置合わせ方法
JPH06313845A (ja) * 1993-04-28 1994-11-08 Olympus Optical Co Ltd 投影レンズ系
JPH08179204A (ja) * 1994-11-10 1996-07-12 Nikon Corp 投影光学系及び投影露光装置
JP3454390B2 (ja) * 1995-01-06 2003-10-06 株式会社ニコン 投影光学系、投影露光装置及び投影露光方法
JP3624973B2 (ja) * 1995-10-12 2005-03-02 株式会社ニコン 投影光学系
JP3750123B2 (ja) * 1996-04-25 2006-03-01 株式会社ニコン 投影光学系
US5856884A (en) * 1997-09-05 1999-01-05 Nikon Corporation Projection lens systems

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100573913B1 (ko) * 1996-09-04 2006-10-24 가부시키가이샤 니콘 투영광학계및노광장치

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Publication number Publication date
EP0717299A1 (en) 1996-06-19
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DE69522422T3 (de) 2007-03-01
EP0717299B1 (en) 2001-08-29
DE69522422T2 (de) 2002-05-16
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KR100378921B1 (ko) 2003-11-10
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